JP2741380B2 - Manufacturing method of magnetic recording medium - Google Patents

Manufacturing method of magnetic recording medium

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JP2741380B2
JP2741380B2 JP63018699A JP1869988A JP2741380B2 JP 2741380 B2 JP2741380 B2 JP 2741380B2 JP 63018699 A JP63018699 A JP 63018699A JP 1869988 A JP1869988 A JP 1869988A JP 2741380 B2 JP2741380 B2 JP 2741380B2
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、磁気ディスク装置に使用される磁気記録媒
体に関し、特にCSS(コンタクト スタート アンド
ストップ)耐久性を良好にする磁気記録媒体に関するも
のである。
Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic recording medium used for a magnetic disk drive, and more particularly to a CSS (contact start and
Stop) The present invention relates to a magnetic recording medium for improving durability.

〔従来の技術〕 従来、この種の磁気記録媒体としては、アルミニウム
合金からなる基板上に、磁性層を成膜し、次にこの磁性
層上にシリカからなる微粒子と有機ケイ素とを含む溶液
を塗布し、加熱処理してSiO2からなる母材中にシリカ粒
子を含有した薄膜(保護膜)を積層したものがあった
(例えば、特開昭61−229227号公報参照。以下「従来技
術1」という。)。また、ガラスからなる基板上に磁性
層、保護膜等を順次積層し、かつ、前述したガラス基板
の磁性層を積層する表面をAl2O3等の粒子で傷をつけて
凹凸を形成した磁気記録媒体があった(以下「従来技術
2」という。)。
[Prior art] Conventionally, as a magnetic recording medium of this type, a magnetic layer is formed on a substrate made of an aluminum alloy, and then a solution containing silica fine particles and organosilicon is formed on the magnetic layer. In some cases, a thin film (protective film) containing silica particles was laminated on a base material made of SiO 2 by coating and heat treatment (see, for example, JP-A-61-229227. "). In addition, a magnetic layer, a protective film, and the like are sequentially laminated on a glass substrate, and the surface on which the magnetic layer of the glass substrate is laminated is scratched with particles of Al 2 O 3 or the like to form irregularities. There was a recording medium (hereinafter referred to as “prior art 2”).

〔発明が解決しようとする課題〕[Problems to be solved by the invention]

しかしながら従来技術1による磁気記録媒体によれ
ば、保護膜の母材中に微粒子を散在させていることか
ら、CSS耐久性を十分に上げ、かつ磁気ヘッドとの摩擦
係数を小さくするためには、保護膜表面の凹凸の大きさ
を大きくする必要がある。このために保護膜の膜厚を厚
くすることが考えられるが、この保護膜を厚くしていく
と、磁気ヘッド得と磁性層との間の距離が大きくなり、
例えば情報再生時の出力が低下してしまうという問題点
がある。したがって保護膜の膜厚には限度がある。ま
た、従来技術1では、磁性層を成膜後保護膜を成膜する
ために、前述した溶液を塗布し加熱することから、磁性
層がその加熱処理により酸化されることがあり、磁性層
の酸化によって、磁気特性(例えば保磁力、残留磁束密
度)を著しく悪化させてしまう問題点がある。さらに、
従来技術1では基板としてアルミニウム合金からなるも
のであることから、アルミニウム合金からなる基板中の
不純物(例えばAl2O3,MgO,SiO2,Al−Mg−O等及びAl−S
i−Fe等の金属間化合物等)により、ミッシングパル
ス、エクストラパルスが生じ、またモデュレーション特
性の悪化となる。
However, according to the magnetic recording medium according to the prior art 1, since fine particles are scattered in the base material of the protective film, in order to sufficiently increase the CSS durability and reduce the friction coefficient with the magnetic head, It is necessary to increase the size of the unevenness on the surface of the protective film. To this end, it is conceivable to increase the thickness of the protective film. However, as the thickness of the protective film increases, the distance between the magnetic head and the magnetic layer increases.
For example, there is a problem that the output at the time of reproducing information is reduced. Therefore, the thickness of the protective film is limited. Further, in the prior art 1, since the above-described solution is applied and heated in order to form a protective film after the formation of the magnetic layer, the magnetic layer may be oxidized by the heat treatment. There is a problem that the oxidation significantly deteriorates magnetic characteristics (for example, coercive force and residual magnetic flux density). further,
In the prior art 1, since the substrate is made of an aluminum alloy, impurities (for example, Al 2 O 3 , MgO, SiO 2 , Al—Mg—O, etc. and Al—S
A missing pulse or an extra pulse is generated due to an intermetallic compound such as i-Fe, and the modulation characteristics are deteriorated.

また、従来技術2の磁気記録媒体では、表面を高精度
に研摩することができることから、従来技術1のような
基板の材質に起因する問題点は生じないが、Al2O3等の
粒子で基板表面に傷をつけて凹凸を形成すると、粒子の
大きさが数μであることから、凹部の深さ及び凸部の高
さをそれぞれ数1000Åに制御することが困難となり、そ
のために高精度に適さなくなってしまう問題点がある。
In the magnetic recording medium of the prior art 2, since the surface can be polished with high precision, there is no problem caused by the material of the substrate as in the prior art 1, but particles such as Al 2 O 3 are used. If the surface of the substrate is scratched to form irregularities, it is difficult to control the depth of the concave portions and the height of the convex portions to several thousand mm each because the size of the particles is several μm. There is a problem that becomes unsuitable for.

〔課題を解決するための手段〕[Means for solving the problem]

本発明は前述した課題を解決するためになされたもの
で、本発明の磁気記録媒体の製法方法は、ガラス基板の
主表面上に微粒子と有機ケイ素又は有機金属化合物とを
含有した溶液を用いて予備薄膜を形成する工程と、前記
予備薄膜を加熱処理し、母材中に前記微粒子を含有した
薄膜を形成すると共にイオン交換法により前記ガラス基
板を化学強化する工程と、前記薄膜上に磁性層と保護層
と潤滑層とを順次積層する工程とを備えたことを特徴と
する磁気記録媒体の製造方法である。
The present invention has been made to solve the above-described problems, and a method for manufacturing a magnetic recording medium of the present invention uses a solution containing fine particles and organosilicon or an organometallic compound on the main surface of a glass substrate. Forming a preliminary thin film, heat-treating the preliminary thin film, forming a thin film containing the fine particles in a base material, and chemically strengthening the glass substrate by an ion exchange method, and a magnetic layer on the thin film. And a step of sequentially laminating a protective layer and a lubricating layer.

〔作用〕[Action]

また、本発明の磁気記録媒体の製造方法によれば、磁
性層の成膜前に、前述した溶液を用いて予備薄膜を形成
し加熱処理し薄膜を形成することから、磁性層の酸化防
止となり、また、加熱処理とともにイオン交換法により
基板を化学強化することから、基板の強度も向上する。
また、ガラス基板そのものにAl2O3等の粒子により凹凸
を形成する必要もなくなる。
Further, according to the method of manufacturing a magnetic recording medium of the present invention, before forming the magnetic layer, a preliminary thin film is formed using the above-described solution and heat-treated to form the thin film. Further, since the substrate is chemically strengthened by the ion exchange method together with the heat treatment, the strength of the substrate is also improved.
Further, there is no need to form irregularities on the glass substrate itself with particles such as Al 2 O 3 .

〔実施例1〕 本例の磁気記録媒体及びその製造方法を第1図に基づ
き以下に詳述する。なお、同図は部分断面図である。
Embodiment 1 A magnetic recording medium of the present embodiment and a method of manufacturing the same will be described below in detail with reference to FIG. This figure is a partial sectional view.

先ず、対向する両主表面を精密研摩した、ソーダライ
ムガラスからなる、外径130mmφ、中心の穴径40mmφ、
厚さ1.9mmの円板状のガラス基板1を用意する。次に、
このガラス基板1を、有機金属化合物であるトリエトキ
シアルミニウムと水とメタノールと酢酸と平均粒径が10
0Å〜200Åのアルミナからなる微粒子とを重量比で1:2:
100:0.01:0.0001の割合で混合した溶液中にガラス基板
1を立てて浸漬(約1分間)する。次に、ガラス基板1
を徐々に前述した溶液から引き上げて(約20cm/分)取
り出し、アルミナ粒子を含有する有機アルミニウム化合
物からなる予備薄膜をガラス基板1の両主表面に塗布
し、約300℃の空気中で約60分間加熱処理し、表面に凹
凸を有する、アルミニウム酸化物からなる母材中にアル
ミナ粒子21を含有した薄膜2(膜厚約100〜300Å)を形
成する。なお、同図において、薄膜2は一方の主表面の
みに図示し、もう一方は省略する。なお、後述する下地
層3、磁性層4、保護層5及び潤滑層6も同様である。
次に、薄膜2を積層したガラス基板1を直流マグネトロ
ンスパッタ装置に配置し、Crターゲットを用い、前述し
た装置内に導入したArガスの圧力20mTorr、直流電力1kW
の条件で、直流マグネトロンスパッタ法により、厚さ約
2000ÅのCrからなる下地層3を薄膜2上に積層する。次
に、同様の方法で、CoNiCrからなるターゲットを用い
て、厚さ約700ÅのCoNiCrからなる磁性層4を下地層3
上に積層し、Cからなるターゲットを用いて、厚さ約30
0ÅのCからなる保護層5を磁性層4上に積層する。次
に、保護層5まで積層したガラス基板1を直流マグネト
ロンスパッタリング装置から取り出し、スピンコート法
によりフロロカーボン系からなる潤滑剤(フッ素化オイ
ル、例えばMONTEDISON社製のフォンプリンAM2001)を保
護膜5上に塗布し、潤滑剤6(膜厚約30Å)を形成し、
磁気記録媒体7を製造する。
First, the opposite main surfaces were precisely polished, made of soda lime glass, outer diameter 130 mmφ, center hole diameter 40 mmφ,
A disk-shaped glass substrate 1 having a thickness of 1.9 mm is prepared. next,
This glass substrate 1 was treated with an organometallic compound of triethoxyaluminum, water, methanol, acetic acid and an average particle size of 10
Fine particles comprising alumina of 0 to 200 mm in a weight ratio of 1: 2:
The glass substrate 1 is immersed (about 1 minute) in a solution mixed at a ratio of 100: 0.01: 0.0001. Next, the glass substrate 1
Is gradually pulled up from the above-mentioned solution (about 20 cm / min) and taken out, and a preliminary thin film made of an organoaluminum compound containing alumina particles is applied to both main surfaces of the glass substrate 1, and about 60 ° C. in air at about 300 ° C. Then, a thin film 2 (thickness: about 100 to 300 °) containing alumina particles 21 in a base material made of aluminum oxide and having irregularities on the surface is formed. In the figure, the thin film 2 is shown only on one main surface, and the other is omitted. The same applies to the underlayer 3, the magnetic layer 4, the protective layer 5, and the lubricating layer 6, which will be described later.
Next, the glass substrate 1 on which the thin film 2 was laminated was placed in a DC magnetron sputtering apparatus, and a Cr target was used.
Under the conditions described above, a thickness of approximately
An underlayer 3 made of 2000 mm of Cr is laminated on the thin film 2. Next, the magnetic layer 4 made of CoNiCr having a thickness of about 700 mm is formed on the underlayer 3 in the same manner using a target made of CoNiCr.
Laminated on top, using a target made of C, thickness about 30
A protective layer 5 made of 0 ° C is laminated on the magnetic layer 4. Next, the glass substrate 1 laminated up to the protective layer 5 is taken out of the DC magnetron sputtering apparatus, and a fluorocarbon-based lubricant (fluorinated oil, for example, FONPRIN AM2001 manufactured by MONTEDISON) is applied onto the protective film 5 by spin coating. Apply to form lubricant 6 (thickness about 30mm)
The magnetic recording medium 7 is manufactured.

本例の磁気記録媒体7は、第1図に示すように薄膜2
の表面の凹凸が、下地層3、磁性層4、保護層5及び潤
滑層6の各表面に影響を与えることから、それぞれの層
(膜)表面に凹凸が形成される。したがって従来技術1
の磁気記録媒体のように保護膜層中には微粒子を混入さ
せていない。
As shown in FIG. 1, the magnetic recording medium 7 of the present embodiment has a thin film 2
Of the surface of the base layer 3, the magnetic layer 4, the protective layer 5, and the lubricating layer 6, affect the respective surfaces of the base layer 3, the magnetic layer 4, the protective layer 5, and the lubricating layer 6, so that the surface of each layer (film) has irregularities. Therefore, prior art 1
No fine particles are mixed in the protective film layer as in the magnetic recording medium of (1).

本例の磁気記録媒体7の諸特性を以下に示す。なお、
CSS耐久性は、Al2O3−TiC焼結体をスライダー部にもつ
磁気ヘッドを15gの荷重で磁気記録媒体7に押圧し測定
したものである。また、摩擦係数は、CSS耐久性で用い
たものと同様の磁気ヘッドで測定したものである。
Various characteristics of the magnetic recording medium 7 of this example are shown below. In addition,
The CSS durability was measured by pressing a magnetic head having an Al 2 O 3 —TiC sintered body in the slider portion against the magnetic recording medium 7 with a load of 15 g. The coefficient of friction was measured with the same magnetic head as that used for CSS durability.

ミッシングパルス:0個 エクストラパルス:0個 ポジティブモデュレーション:0個 ネガティブモデュレーション;0個 欠陥トラック:0個 CSS耐久性:20000回以上 初期摩擦係数:0.2 CSS 10000回後の摩擦係数:0.4 回転速度:27000rpm 以上のとおり、本例の磁気記録媒体7によれば薄膜2
の凹凸により潤滑層6の表面も凹凸となることから、CS
S耐久性、摩擦係数が良好な値となり、またガラス基板
等により他の特性も良好な値となった。
Missing pulse: 0 Extra pulse: 0 Positive modulation: 0 Negative modulation: 0 Defect tracks: 0 CSS durability: 20,000 times or more Initial friction coefficient: 0.2 CSS Friction coefficient after 10,000 times: 0.4 Rotation speed : 27000rpm As described above, according to the magnetic recording medium 7 of this example, the thin film 2
Since the surface of the lubricating layer 6 becomes uneven due to the unevenness of the
S durability and friction coefficient were good values, and other characteristics were also good values depending on the glass substrate and the like.

〔実施例2〕 本例の磁気記録媒体及びその製造方法を第2図に基づ
き詳述する。なお同図も部分断面図であり、積層される
層(膜)も前記実施例と同様にガラス基板の一方の主表
面のみに示す。
Embodiment 2 A magnetic recording medium of the present embodiment and a method of manufacturing the same will be described in detail with reference to FIG. This figure is also a partial cross-sectional view, and the layers (films) to be laminated are also shown only on one main surface of the glass substrate as in the above embodiment.

先ず、前記実施例と同様のガラス基板10を用意し、有
機ケイ素であるテトラキシシランと水とイソプロピルア
ルコールと酢酸と平均粒径が約100〜200Åのシリカから
なる微粒子とを重量比1:2:50:0.01:0.001の割合で混合
した溶液を用いてスピンコート法によりガラス基板10の
両主表面に塗布し、シリカ粒子を含む有機ケイ素化合物
からなる予備薄膜層を形成する。次に、この薄膜が塗布
されたガラス基板10を約300℃の温度で30分間大気中で
予備加熱し、引き続き約400℃の硝酸カリウム溶液中に
8時間浸漬し、ソーダライムガラスからなるガラス基板
10をイオン交換して化学強化を行う。この予備加熱から
化学強化までの工程において、前述した薄膜は、ケイ素
酸化物からなる母材中にシリカ粒子111を含有した薄膜1
1(膜厚約100Å〜400Å)となる。次に、前記実施例と
同様の直流マグネトロンスパッタ法により、CoNiPtをタ
ーゲットとしてCoNiPtからなる磁性層12(膜厚約700
Å)を、CrをターゲットとしてCrからなる中間層13(膜
厚約100Å)を順次薄膜11上に積層する。次に、Arガス2
0mTorr、RF電力1kWで、SiO2からなるターゲットを用い
て、高周波マグネトロンスパッタ法により、厚さ約200
ÅのSiO2からなる保護膜14を中間層13上に積層する。次
に、スピンコート法により、例えばデュポン社製のKRYT
OX157FSHからなるフッ素化オイルを保護膜14上に塗布
し、厚さ30Åの潤滑層15を積層し、磁気記録媒体16を製
造する。
First, a glass substrate 10 similar to that of the above example was prepared, and a weight ratio of tetraxysilane, which is organosilicon, water, isopropyl alcohol, acetic acid, and fine particles made of silica having an average particle diameter of about 100 to 200 ° was 1: 2. A solution mixed at a ratio of: 50: 0.01: 0.001 is applied to both main surfaces of the glass substrate 10 by spin coating to form a preliminary thin film layer made of an organosilicon compound containing silica particles. Next, the glass substrate 10 coated with this thin film is preheated in the air at a temperature of about 300 ° C. for 30 minutes, and then immersed in a potassium nitrate solution at about 400 ° C. for 8 hours, and a glass substrate made of soda lime glass is formed.
10 is ion-exchanged for chemical strengthening. In the process from the preheating to the chemical strengthening, the above-mentioned thin film is a thin film 1 containing silica particles 111 in a base material made of silicon oxide.
1 (film thickness of about 100 to 400 mm). Next, a magnetic layer 12 of CoNiPt (with a film thickness of about 700
1), an intermediate layer 13 (about 100 mm thick) made of Cr is sequentially laminated on the thin film 11 using Cr as a target. Next, Ar gas 2
0 mTorr, RF power 1 kW, using a target made of SiO 2 and using a high-frequency magnetron sputtering method, a thickness of about 200
A protective film 14 made of SiO 2 is laminated on the intermediate layer 13. Next, for example, KRYT manufactured by DuPont
A fluorinated oil composed of OX157FSH is applied on the protective film 14 and a lubricating layer 15 having a thickness of 30 mm is laminated, thereby producing a magnetic recording medium 16.

本例の磁気記録媒体16も前記実施例と同様に保護膜14
中に微粒子を混入させなくてむ、磁気記録媒体16の表面
には凹凸が形成される。
The magnetic recording medium 16 of the present embodiment also has the protective film 14 as in the previous embodiment.
Irregularities are formed on the surface of the magnetic recording medium 16 so that fine particles are not mixed therein.

本例の磁気記録媒体16の諸特性を以下に示す。なお、
CSS耐久性及び摩擦係数の測定方法は前記実施例と同様
である。
The characteristics of the magnetic recording medium 16 of this example are shown below. In addition,
The methods for measuring the CSS durability and the coefficient of friction are the same as those in the above-described embodiment.

ミッシングパルス:0個 エクストラパルス:0個 ポジティブモデュレーション:0個 ネガティブモデュレーション:0個 欠陥トラック:0個 CSS耐久性:20000回以上 初期摩擦係数:0.2 CSS 10000回後の摩擦係数:0.3 回転強度:35000rpm 以上のとおり、本例の磁気記録媒体16によれば、CSS
耐久性や摩擦係数のみならず他の特性も良好な値となっ
た。また、化学強化を施こしていることから、回転強度
は前記実施例の磁気記録媒体7よりも向上している。さ
らに磁性層13上にCrからなる中間層13を積層しているこ
とから、磁性層12の耐湿性が向上する。
Missing pulse: 0 Extra pulse: 0 Positive modulation: 0 Negative modulation: 0 Defect track: 0 CSS durability: 20,000 times or more Initial friction coefficient: 0.2 CSS Friction coefficient after 10,000 times: 0.3 Rotational strength : 35000rpm As described above, according to the magnetic recording medium 16 of this example, the CSS
Not only the durability and the coefficient of friction but also other characteristics were good. In addition, the rotation strength is higher than that of the magnetic recording medium 7 of the above embodiment because of the chemical strengthening. Further, since the intermediate layer 13 made of Cr is laminated on the magnetic layer 13, the moisture resistance of the magnetic layer 12 is improved.

本発明は前記実施例に限らず以下のものであってもよ
い。先ず、有機金属化合物としては、トリエトキシアル
ミニウム以外にTi,Sn,Ta,W,Cr,Zn,Ce,Co,Mg等のメトキ
シド、エトキシド等のアルコキシドであってもよく、ま
た微粒子もシリカやアルミナ以外のSi3N4、SiC等でもよ
く、またこれらの混合物であってもよい。ただし、シリ
カ、アルミナ又はシリカとアルミナとの混合物の方が入
手しやすく安価であることから製造上非常に利点があ
る。また、この微粒子の径粒は100〜400Åに限らず、10
00Å程度以下であれば、磁気ヘッドの浮上安定性に影響
を与えないことから、実用上問題はない。また、薄膜の
母材もケイ素酸化物やアルミニウム酸化物に限らず、前
述したアルコキシド中の金属酸化物からなるものであっ
てもよく、この薄膜の膜厚も100〜400Åに限らず実用上
問題のない程度まで厚くしてもよい。また、有機ケイ素
や有機金属化合物を含ませる溶液ろして、メタノール、
イソプロピルアルコールや酢酸以外に、n−ブタノール
等の他のアルコールや、塩酸等の他の酸であってもよ
く、また界面活性剤を含ませてもよい。また、この薄膜
の塗布として、浸漬法やスピンコート法以外にスプレー
法であってもよい。また、ガラス基板としては、ソーダ
ライムガラス以外に、アミノシリケートガラス、アルミ
ノボロシリケートガラス、石英ガラス等の他のガラスで
あってもよい。ただし、化学強化するときはソーダライ
ムガラスのようにLiイオン又はNaイオンを含有したガラ
スでなければならない。
The present invention is not limited to the above embodiment, but may be the following. First, as the organometallic compound, in addition to triethoxyaluminum, methoxides such as Ti, Sn, Ta, W, Cr, Zn, Ce, Co, and Mg, and alkoxides such as ethoxide may be used, and fine particles may be silica or alumina. Other Si 3 N 4 , SiC, etc. may be used, or a mixture thereof. However, silica, alumina or a mixture of silica and alumina is very advantageous in production because it is easily available and inexpensive. The size of the fine particles is not limited to 100 to 400 mm,
If it is less than about 00 °, there is no practical problem because the flying stability of the magnetic head is not affected. Further, the base material of the thin film is not limited to silicon oxide or aluminum oxide, and may be made of the above-described metal oxide in the alkoxide. The thickness of this thin film is not limited to 100 to 400 mm and is not a practical problem. It may be thick to the extent that there is no problem. Also, a solution containing an organosilicon or an organometallic compound is filtered, and methanol,
In addition to isopropyl alcohol and acetic acid, other alcohols such as n-butanol, other acids such as hydrochloric acid, and a surfactant may be included. The application of the thin film may be a spray method other than the dipping method or the spin coating method. In addition, as the glass substrate, other glass such as aminosilicate glass, aluminoborosilicate glass, and quartz glass may be used in addition to soda lime glass. However, when chemically strengthening, it must be a glass containing Li ions or Na ions, such as soda lime glass.

また、下地層、磁性層、保護膜、潤滑層も前記実施例
に限らずそれぞれ、W等の下地の地層、CoNi、CoNiCrPt
等の磁性層、Si3N4,Al2O3等の保護膜及びステアリング
等の固体潤滑層であってもよい。
Further, the underlayer, the magnetic layer, the protective film, and the lubricating layer are not limited to those in the above-described embodiment, but may be respectively an underlayer such as W, CoNi, CoNiCrPt.
, A protective film such as Si 3 N 4 , Al 2 O 3, and a solid lubricating layer such as a steering wheel.

さらに、微粒子を含有した薄膜及び磁性層等をガラス
基板の一方の主表面のみに積層してもよい。
Further, a thin film containing fine particles, a magnetic layer, and the like may be laminated only on one main surface of the glass substrate.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

本発明は、以上説明したように構成されているので、
以下のように効果を奏する。
Since the present invention is configured as described above,
The following effects are obtained.

ガラス基板と磁性層との間に母材中に微粒子を含有し
た薄膜を設けることにより、その薄膜の膜厚を厳密に制
御しなくともよくなり、また厚くなっても磁性層の下で
あるので磁気記録媒体の特性には影響を与えないことか
ら、製造が非常に容易になるのみならず、薄膜塗布方法
も浸漬法等種々の方法を用いることができる。
By providing a thin film containing fine particles in the base material between the glass substrate and the magnetic layer, it is not necessary to strictly control the film thickness of the thin film, and even if the thickness becomes thicker, the thin film is below the magnetic layer. Since the characteristics of the magnetic recording medium are not affected, not only the production becomes very easy, but also various methods such as a dipping method can be used as a thin film coating method.

そしてガラス基板と磁性層との間に下地層も設けるこ
とにより磁気特性が向上する。
By providing an underlayer between the glass substrate and the magnetic layer, the magnetic properties are improved.

また、磁性層を形成する前に、ガラス基板の主表面上
に微粒子と有機ケイ素又は有機金属化合物とを含有した
溶液を用いて予備薄膜を形成し、この薄膜を加熱処理す
ることから、磁性層を酸化させることがなく良好な磁気
特性が得られる。
Before forming the magnetic layer, a preliminary thin film is formed on the main surface of the glass substrate using a solution containing fine particles and organosilicon or an organometallic compound, and this thin film is subjected to heat treatment. And good magnetic properties can be obtained without oxidizing.

また、前述した予備薄膜の加熱処理と共にイオン交換
法によりガラス基板の化学強化もすることから、従来技
術1で述べた磁気記録媒体において、基板をガラス基板
とし、そのガラス基板を化学強化するときよりも製造を
簡素にすることができる。すなわち、従来技術1の磁気
記録媒体は、ガラス基板上に磁性層と保護膜(微粒子を
含有した薄膜)とを順次積層したものであることから、
磁性層が妨害して、保護膜の加熱処理と共にガラス基板
の強化はできないが、一方本発明によれば、予備薄膜形
成後直ちにイオン交換をするので、薄膜の加熱処理と共
にガラス基板の化学強化もできる。
Further, since the glass substrate is chemically strengthened by the ion exchange method together with the heat treatment of the preliminary thin film described above, in the magnetic recording medium described in the prior art 1, the substrate is a glass substrate and the glass substrate is chemically strengthened. Can also simplify manufacturing. That is, the magnetic recording medium of the prior art 1 is a magnetic recording medium in which a magnetic layer and a protective film (a thin film containing fine particles) are sequentially laminated on a glass substrate.
Although the magnetic layer interferes and the glass substrate cannot be strengthened together with the heat treatment of the protective film, on the other hand, according to the present invention, ion exchange is performed immediately after the formation of the preliminary thin film. it can.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は本発明の一実施例を示す部分断面図であり、第
2図は本発明の他の実施例を示す部分断面図である。 1,10……ガラス基板、2,11……微粒子を含有した薄膜、
3……下地層、4,12……磁性層、5,14……保護膜、6,15
……潤滑層、7,16……磁気記録媒体、21,111……微粒
子。
FIG. 1 is a partial sectional view showing one embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a partial sectional view showing another embodiment of the present invention. 1,10: glass substrate, 2,11: thin film containing fine particles,
3 ... Underlayer, 4,12 ... Magnetic layer, 5,14 ... Protective film, 6,15
... lubricating layer, 7,16 ... magnetic recording medium, 21,111 ... fine particles.

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】ガラス基板の主表面上に微粒子と有機ケイ
素又は有機金属化合物とを含有した溶液を用いて予備薄
膜を形成する工程と、前記予備薄膜を加熱処理し、母材
中に前記微粒子を含有した薄膜を形成すると共にイオン
交換法により前記ガラス基板を化学強化する工程と、前
記薄膜上に磁性層と保護膜と潤滑層とを順次積層する工
程とを備えた磁気記録媒体の製造方法。
1. A step of forming a preliminary thin film on a main surface of a glass substrate using a solution containing fine particles and an organic silicon or an organometallic compound, and heating the preliminary thin film to form a fine particle in a base material. A method for producing a magnetic recording medium, comprising the steps of: forming a thin film containing Si and chemically strengthening the glass substrate by an ion exchange method; and sequentially laminating a magnetic layer, a protective film, and a lubricating layer on the thin film. .
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