JP2724970B2 - 微小位置決め方法及び装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、ねじ結合によって、
基台面上の部品や基台とテーブルとの傾き又は距離を相
対的に移動できるようにされた、角度又は位置決めのた
めの微小位置決め方法及び装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、ねじ結合によって、基台面上の部
品の位置調整や基台とテーブルとの傾き又は距離を調整
可能にされたもの、例えば、工作機等のテーブルにワー
クを取付加工するにあたって、角度を割り出したり、水
平を出したりする必要がある。角度の割り出し等におい
ては、細かいピッチを有する一対の歯やボールを噛み合
わせるインデックス装置等が用いられている。また、水
平、高さ等は、楔や押しねじ等を用いて調整していた。
しかし、近年、セラミック加工、ウェハ加工等において
超精密加工の要求が増大し、加工精度の向上のため、ミ
クロン、ナノメータオーダの位置決めが要求されるよう
になった。

【０００３】係る、微小位置決め制御には、例えば微小
アライメントテーブルと呼ばれるものが用いられる。こ
のものは図５に示すように、左右非対称の一方の端部に
一次元角柱ヒンジ６４を持つシーソ形状のテーブル６２
の他端にめねじ部６９を設け、このめねじに螺合する押
しねじ７０の一端を基台側に軸方向固定かつ回転自在の
設け、この押しねじを回転させることによってめねじを
介してテーブルを上下可能にされる。さらに、この押し
ねじの回転を、ワーク位置を測定する測定器２２によっ
て、測定信号をフィードバックしながらＮＣ装置等で制
御されるサーボモータ６６によって行い位置決めを自動
化すると共に、高精度の位置決めを行うようにしてい
る。また、特開平４−２３１０９号公報では押しねじ、
サーボモータの代わりに圧電素子等を用いて直接テーブ
ル位置を制御する方法が開示されている。

【０００４】しかし、これらの方法では、圧電素子や、
サーボモータをテーブル又は基台に設けるので、制御用
ケーブル等を接続しなければならず、微小アライメント
テーブルを無限回転させることができず、テーブルが無
限回転するラップ盤、回転テーブル形平面研削盤等には
使用できないという問題があった。

【０００５】一方、実公平６−３９０３０号公報では、
磁気記録再生装置（ＶＴＲ）を実施例として、ＶＴＲヘ
ッド部の取付調整部品の先端部に形成された係合部に調
整用治具の先端係合部を当接し、この調整治具をねじの
締めつけ力以下の回転力で回動して両係合部を互いに挿
入接触させた後、調整治具をねじの締めつけ力以上の回
転力で回動して取付調整部品の位置を微小調整するよう
にして、ねじ結合された取付部品等の位置を微小調整す
る位置調整方法が開示されている。この構成により、高
精度にかつ迅速に位置調整をおこない、自動化が可能と
なり作業効率、品質、信頼製向上等の効果を奏してい
る。

【０００６】このような位置決め装置によれば、微小ア
ライメントテーブルのような微小位置決め装置において
も、テーブル及び基台側の外部から位置決め調整可能で
あり、無限回転を可能にし、かつ、高精度を得られる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかし、かかる構成に
おいては調整用治具を回転させながら、調整治具先端係
合部を取付調整部品に当接させるので、挿入接触（嵌
合）時のショックが発生しサブミクロン、ミクロンオー
ダで制御しなければならない微小アライメントテーブル
等のような微小位置決め装置においては、装置の変形、
振動により誤差を増幅するばかりか、調整ボルトの頭部
の変形を生じ噛み合い精度が悪くなり、従来の押しねじ
方式の精度と同等の微小位置決め精度を確保できないと
いう問題があった。

【０００８】また、実公平６−３９０３０号公報のもの
では係合部に接触力がかかり、係合部品間で作用する力
による歪みあるいは力を除いた後に生ずる残留応力の影
響を防ぐため、非接触状態と接触状態を比較し調整する
場合があるという問題があった。さらに、係合部が嵌合
するまでと嵌合後の回転トルクを検出し、嵌合を確認し
さらに回転速度等を変化させる等嵌合させるまでの制御
も複雑でまた、トルク値や回転量の設定も煩雑であっ
た。さらにまた、量産加工するために微小アライメント
テーブル等を複数設けるためには、装置が大きくなると
いう問題や、ＮＣ制御装置の制御軸数に制限があるた
め、多数の制御装置を設置することができない、あるい
は、複雑になる等の問題があった。さらには、価格が高
価になるという問題があった。

【０００９】本発明の目的は、微小アライメントテーブ
ルのような微小位置決め装置のテーブル及び基台側の外
部から位置決め調整可能とし、無限回転可能で、かつ、
微小位置決め方法及び装置において、調整時の嵌合のシ
ョックや、押しつけ力により変形したり、精度が低下す
ることのない、かつ、簡単確実な従来の押しねじ方式の
精度と同等の高精度を得られる微小位置決め方法及び装
置を提供することを目的とする。また、本発明の別の目
的は複数のテーブルをより少ない制御装置にて位置決め
することを目的とする。さらには、微小位置決め装置の
小型化を目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明においては、基台面上の部品やテーブル等の
被位置決め部材を傾斜又は相対位置移動するために設け
られた調整ボルトを回転させ微調整する微小位置決め装
置、例えば、基台に設けられたテーブルを基台面より傾
斜又は相対位置移動するために、一方を基台又はテーブ
ルに回転可能に取り付けられ、他方をねじを介して軸方
向移動可動にテーブル又は基台に螺合された調整ボルト
を有し、この調整ボルトを回転させ微小位置決めを可能
とされた微小位置決め装置において、調整ボルトの先端
部に回転方向係止部を有する頭部を設け、被位置決め部
材と離設され、調整ボルト頭部の係止部に噛み合い可能
にかつ軸方向摺動自在にされたソケット部と、このソケ
ット部を軸方向移動する軸方向移動部材と、ソケット部
と軸方向移動部材との間に設けられた緩衝部材と、ソケ
ット部を回転制御する回転部材とを設ける。

【００１１】そして、軸方向移動部材によってソケット
を調整ボルト側に移動し、ソケット部と調整ボルトとが
嵌合した場合には回転部材によりソケット部を介して調
整ボルトを回転させ被位置決め部材の位置決めを行う。
一方、ソケット部が調整ボルト頭部と干渉し嵌合できな
いときは、一旦ソケット部を後退させ、微小角回転させ
再度ソケット部を調整ボルト側に移動させ、ソケット部
が調整ボルト頭部と嵌合するまで繰り返し行うようにす
る方法を提供することによって解決した。

【００１２】さらに、ソケット部離脱時には、ソケット
部を微小角逆回転させ、嵌合隙間を与えてからソケット
部を後退させるとよい。

【００１３】詳しくは、調整ボルトの先端部に回転方向
係止部を有する頭部を設け、被位置決め部材と離設さ
れ、調整ボルト頭部の係止部に噛み合い可能にかつ軸方
向摺動自在にされたソケット部と、このソケット部を軸
方向移動する軸方向移動部材と、ソケット部と軸方向移
動部材との間に設けられた緩衝部材と、ソケット部を回
転制御する回転部材と、被位置決め部材又は被位置決め
部材に固定されたワーク等の測定物の位置を測定する測
定部と、ソケット部と調整ボルト頭部とが当接している
か嵌合しているかを検知する検知部と、被位置決め部材
又は被位置決め部材に固定されたワーク等の測定物の位
置を指令する指令部と、を設ける。さらに、検知部の非
嵌合信号によりソケットを後退させ回転部を微小角回転
させ再度ソケット部を軸方向に移動させ、嵌合信号によ
り、測定部の信号をフィードバックさせ指令信号により
回転部材を制御する制御部を設ける。

【００１４】

【作用】軸方向移動部材によってソケット部を調整ボル
ト側に移動していく、ソケット部と調整ボルトとが嵌合
すれば、ソケット部によって調整ボルトが回転可能な状
態となるので、回転部材によりソケット部を介して調整
ボルトを回転させ被位置決め部材の位置決めが行える。
一方、ソケット部と調整ボルトとが嵌合できない場合
は、ソケット部を調整ボルト側に移動していくと、調整
ボルトの係止部と、ソケット部の係止部の位置がずれ、
互いに干渉しあう。このとき、ソケット部と軸方向移動
部材の間には緩衝部材が設けられているので、軸方向移
動部材によって生じる軸方向力は緩衝部材によって軽減
され調整ボルト、被位置決め部材に過大な力がかからな
い。

【００１５】次にソケット部が調整ボルトと接触しない
程度にソケット部を後退させ、微小角回転させる。この
ことによって、調整ボルトの係止部と、ソケット部の係
止部の相対位置が変更される。そして再度ソケット部を
調整ボルト側に移動させ、ソケット部の係止部と調整ボ
ルト頭部の係止部の位相が一致し嵌合するまで繰り返す
ことにより、被位置決め部材と離設されたソケット部に
よって位置決めができる。

【００１６】ソケット部離脱時に、微小角逆回転させ、
嵌合隙間を与えるので、ソケット部後退時に調整ボルト
とソケット部が干渉するとがなく変形や誤動作がなく、
設定値のずれがない。

【００１７】詳しくはソケット部と調整ボルト頭部とが
嵌合しているか否かを検知する検知部によって、ソケッ
ト部の後退、又は、ソケット部の回転を選択するように
される。ソケット部の回転が選択された場合は、テーブ
ル位置又はテーブルに固定されたワーク等の測定物の位
置を測定する測定部によって位置信号がフィードバック
され、テーブル位置又はテーブルに固定されたワーク等
の測定物の位置を指令する指令部からの信号によって比
較制御し回転部材を回転させ、ソケット部を介して調整
ボルトを回転させテーブルの位置決めのフィードバック
制御をおこなう。このとき、係合部には回転力のみかか
り軸方向力はかからない。

【００１８】

【実施例】本発明の実施例について、図面を参照して説
明すると、図１は本発明の第一実施例の説明図であり、
図２は本発明の調整ボルトの頭部とソケット部の制御方
法を図示したものである。図１において、ワーク１を固
定可能にされたテーブル２が基台３上に一次元角柱ヒン
ジ４を介して設けらた微小アライメントテーブル（角度
調整テーブル）５が例えば図示しない工作機の加工テー
ブル上に設けられている。微小アライメントテーブル５
の反ヒンジ側に下端を基台３に固定されたベアリング６
を介して軸方向に固定されかつ回転可能にされた調整ボ
ルト７が設けられている。調整ボルトの頭部には断面六
角形の係止部８が設けられている。テーブル２の反ヒン
ジ側の調整ボルトと対応する位置にめねじ９が設けられ
調整ボルト７と螺合されている。

【００１９】軸芯が工作機の加工テーブル上の微小アラ
イメントテーブル５の調整ボルト７の軸芯と一致するよ
うに内径にスプラインを有するスプライン軸１０が回転
自在に図示しない軸受によって、工作機の本体側に固定
されている。スプライン軸１０の上端は回転部材である
サーボモータ１１が取付けられている。スプライン軸１
０にスプラインに嵌合し上下方向移動可能な軸１２が連
結板１３を挟んでソケット部１４に接続されている。ソ
ケット部１４の下端には断面六角形の穴を有する係止部
１５が設けられ、調整ボルトの頭部の六角頭部と係合可
能にされている。連結板１３はベアリングを介して軸方
向固定に回転自在に軸１２に連結され、さらに軸直角方
向に延出している。この延出部１３ａは下端を工作機本
体に固定された上下方向移動可能な移動部材であるエア
ーシリンダ１７のロッド先端に設けられた支持板１７ａ
に当接し、上端をスプリング１８を介してロッド上部に
設けられた上部支持板１７ｂに当接するようにされてお
り、連結板１３が上下方向に支持されている。また、連
結板１３を介して軸１２及びソケット部１４がエアーシ
リンダ１７によって支持されている。

【００２０】エアーシリンダ１７は上端でソケット部１
４が調整ボルト係止部８と離れる位置（以下離脱位置と
いう）よりも上部の位置、下端でソケット部と調整ボル
ト頭部とが嵌合する位置（以下噛み合い位置という）に
移動可能である。スプリング１８はソケット部１４の噛
み合い位置から離脱位置までの距離よりも大きい撓み長
さを有している。連結板１３の一端には鉄プレート１６
が設けられ、ソケット部が噛み合い位置から離脱位置に
ある間には噛み合い信号を出力する近接スイッチ１９が
本体側に設けられている。

【００２１】サーボモータ１１を制御するサーボアンプ
２０、サーボアンプを制御するＮＣ制御部２１が図示し
ない工作機本体側制御部に設けられている。テーブル位
置又はワーク位置信号をＮＣ制御部を通してサーボモー
タにフィードバックするための測定器２２、測定器から
の信号をＮＣ制御部への入力信号に変換するカウンター
２３が設けられている。測定器２２は例えばワークにそ
の先端が直接当接してワーク位置を測定するプランジャ
形測定器やワークに非接触に測定可能な顕微鏡とカメラ
等から構成される。プランジャ形測定器の場合には測定
器をワークに当接、離脱移動させるためのエアーシリン
ダ等が設けられ、顕微鏡とカメラ等においては工作機本
体側に取付けられる。カウンター２３は測定器２２がプ
ランジャ形の場合は数値変換器であり、顕微鏡、カメラ
等の場合は画像処理装置が用いられる。

【００２２】ＮＣ制御部２１は位置決めモードにおい
て、サーボモータ停止の状態でエアーシリンダ１７が下
降し、近接スイッチ１９の噛み合い信号が入力されたと
きに、支持された位置を測定器２２からのフィードバッ
ク信号により制御しながらサーボモータを回転させるよ
うにされている。また、エアーシリンダ１７が下降して
も、噛み合い信号が入力されない場合はエアーシリンダ
を一旦上昇させ微小角サーボモータ１１を回転させソケ
ット部１４の角度を微小角変えて回転させることなく再
びエアーシリンダを下降するようにされている。

【００２３】本発明の第一実施例についてその作用を説
明すると、図１において、微小アライメントテーブル５
が位置決め位置にセットされ、位置決めモードが開始さ
れると、エアーシリンダ１７が下降し、連結板１３を介
してソケット部１４が下降する。図２の（ｃ−３）に示
すようにソケット部１４と調整ボルト７の係止部８とが
嵌合すれば、ソケット部は何ら抵抗なく噛み合い位置ま
で達する。噛み合い位置で近接スイッチ１９から噛み合
い信号が入力されるので測定器２２からのフィードバッ
ク信号により制御されながらサーボモータが回転されス
プライン１０、軸１２、ソケット部１４が回転し、図２
の（ｄ）に示すようにソケット部の係止部１５と噛み合
う係止部８を介して調整ボルト７が回転し測定器からの
信号が指定値に達するまでテーブル２を上昇させ位置決
めをおこなう。位置決め完了後、図２の（ｅ）に示すよ
うにソケット部を微小量逆回転し、噛み合い隙間を設け
て、エアーシリンダ１７を上昇させソケット部を原位置
に戻す。

【００２４】一方、ソケット部１４の係止部１５と調整
ボルト７の係止部８とが嵌合しない場合、例えば図２の
（ａ−３）に示すような場合にはエアーシリンダの下降
に対してソケット部が下降できないのでスプリング１８
が圧縮される。スプリング１８は非常に弱い力で連結板
１３を押すようにされているので、調整ボルトに変形を
生じることがなく、また、微小アライメントテーブル５
の変形は小さい。エアーシリンダが下端に達しても連結
板１３はスプリング１８の弾性圧縮によって下降しない
ので鉄プレート１６も近接スイッチ１９に達せず、近接
スイッチから噛み合い信号が入力されないので、エアー
シリンダは上昇する。上昇端でサーボモータを微小回転
させ、図２の（ｂ−２）に示すようにソケット部の係止
部１５の位相をずらし、再度エアーシリンダを下降させ
る。

【００２５】しかし、図２の（ｂ−３）に示すように位
相が一致しない場合には、前述したと同様エアーシリン
ダを上昇させ再度上昇端でサーボモータを微小回転さ
せ、図２の（ｃ−２）に示すようにソケット部の係止部
１５の位相をずらし、図２の（ｃ−３）のように噛み合
うまで繰り返し行う。ソケット部を回転せずにエアーシ
リンダを上下させて噛み合わせるので噛み合い時のショ
ック、軸方向の押しつけ力が無く、装置の変形、振動に
よる誤差、調整ボルトの変形等がなく高い位置決め精度
を確保できる。係止部の位相が揃い噛み合い嵌合された
ら前述したと同様に位置決め制御を行う。位置決め完了
後は例えば工作機テーブルが回転し、微小アライメント
テーブル５上のワークが加工される。微小位置決めテー
ブル５内に駆動装置を設けないので、配線等も無く無限
回転でき、また、微小位置決めテーブルが小型、簡便に
なり、テーブル自体の精度もよくなり、さらに、加工に
際しての切削液や加工粉等がテーブル、測定器、サーボ
モータやソケット部に付着することもなくより精度の高
い位置決め精度を得ることができる。

【００２６】なお、噛み合い後の調整ボルト７の回転方
向は左右（テーブル下降、上昇）どちらでもよいが、位
置決め時は常に右（テーブル上昇）回転とし、テーブル
位置を下げる場合は一旦、所定位置より下まで左（テー
ブル下降）回転させた後、再度右（テーブル上昇）回転
とし位置決めするようにすれば、係止部同志やねじ部の
隙間によって発生するバックラッシを防げる。

【００２７】次に本発明の第二実施例について説明す
る。前述した第一実施例と同様の部分については同じ符
号を付し説明の一部を省略する。第二実施例は調整ボル
ト及び微小テーブル位置決め装置が複数設けられ、全て
のソケット部及び調整ボルトが嵌合した後、回転部材を
回転させ位置決めをするようにしたものである。図３に
示すように、テーブル４２と基台４３とを相対的に移動
できるようにしたものである。前述した第一実施例とは
基台４３とテーブル４２は一体にされており、基台４３
の両端に２本の調整ボルト７が設けられ、この調整ボル
トにねじ嵌合するめねじ９がテーブルに設けられ、調整
ボルトを回転させるためのソケット部１４がそれぞれ設
けられている点で異なる。

【００２８】このようにすることにより、複数の調整ボ
ルトを回転させることにより、例えばテーブルを上下で
きるので、テーブル高さ、傾きを任意に設定でき、テー
ブルを傾けることは勿論相対位置を移動させることもで
きる。調整ボルト等は２本に限らず３本、４本でもよ
い。別々又は同時にソケット部と調整ボルト係止部とを
嵌合させ、その後リアルタイムに同時にソケット部を回
転させて位置決めを行うようにすれば、動きの相互干渉
を相殺できるので、高速での位置決めができる。なお、
係る場合にも回転しながら噛み合い嵌合させる方法では
制御が複雑となる。

【００２９】図４に示す本発明の第三実施例について説
明する。前述した第一、第二実施例と同様の部分につい
ては同じ符号を付し説明の一部を省略する。第三実施例
はテーブルを複数設け、テーブルの数より少ない単数又
は複数の微小テーブル位置決め装置を設けたものであ
る。図４の（ａ）に示すように、本体側にはソケット部
１４、サーボモータ１１等を含む駆動装置５２が設けら
れている。また、図４の（ｂ）に示すように工作機加工
テーブル５１上に複数個の微小位置決めテーブル５が配
置されている。各テーブルには調整ボルト７がそれぞれ
設けられており、加工テーブルを回転させることにより
調整ボルト位置が駆動装置５２のソケット部１４と噛み
合い可能な位置になるよう配設されている。

【００３０】このような構成によれば、一台の駆動装置
５２で複数の微小位置決めテーブル５の位置制御がで
き、高価な制御装置を複数配置する必要がない。なお、
第二実施例のように、微小位置決めテーブル５に複数の
調整ボルトを設け、この複数の調整ボルトを駆動可能に
ソケット部をもつ駆動装置を複数設けることにより、そ
れぞれの微小位置決めテーブル５の傾き、高さ等を調整
できることはいうまでもない。

【００３１】なお、実施例においては、上下方向の傾
き、高さ位置の位置決め装置について説明したが、加工
テーブルが垂直、斜め等の状態の場合でも可能であるこ
とはいうまでもない。また、ソケット部を有する駆動部
を工作機本体に取り付けたが、ロボットの手首に装着す
ることも可能である。この場合には微小位置決めテーブ
ルの配置が自由にできる。係止部の形状は六角に限らず
四角、八角、楕円等でもよいが、六角形状が加工し易
く、噛み合い状態も良好であり、好ましい。また、セン
サーはリミットスイッチ、リードスイッチ、あるいはス
プリングに直結させた圧力センサー等でもよい。

【００３２】

【発明の効果】本発明においては、微小位置決め装置、
例えば、微小位置決めテーブルを加工テーブル上に配置
し、加工テーブルおよび微小位置決めテーブルと離設さ
れた駆動部を設け、調整ボルトに嵌合回転するソケット
部を回転させることなく上下させながら噛み合わせるよ
うにしたので、ソケット部を調整ボルトに噛み合わせ時
には変形、ショック等がなく、また、調整時には押しつ
け力による変形がないので、精度低下を防止できるの
で、従来の押しねじ方式の精度と同等の高精度を得られ
る微小位置決め方法及び装置を提供するものとなった。
さらに、嵌合隙間を設けてから離脱させるので、離脱時
の摩擦や振動により設定精度が変化することがなく長寿
命の高精度位置決め方法、装置となった。

【００３３】また、ソケット部を微小回転させながら当
接しセンサーで嵌合を検知するようにているので、制御
も簡単確実なものとなった。さらに、多数の微小位置決
めテーブルに対しても１台あるいは数台の駆動装置があ
れば、位置決めができ、ＮＣの制御軸数の増加も少ない
ので、装置が小型化し、価格も安くできる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第一実施例である微小テーブル位置決
め装置の説明図である。

【図２】本発明の調整ボルト頭部とソケット部との噛み
合わせ状態の過程を示す説明図であり、（ａ−１）（ｂ
−１）（ｃ−１）は六角調整ボルトの頭部位相、（ａ−
２）（ｂ−２）（ｃ−２）は六角ソケット部の位相、
（ａ−３）（ｂ−３）（ｃ−３）（ｄ）（ｅ）は六角調
整ボルトの頭部と六角ソケット部の噛み合い状態を示す
説明図である。

【図３】本発明の第二実施例である微小テーブル位置決
め装置の説明図である。

【図４】本発明の第三実施例である微小テーブル位置決
め装置の説明図であり、（ａ）は調整方法の説明図、
（ｂ）は加工テーブル上の配置模式図である。

【図５】従来の微小アライメントテーブルの説明図であ
る。

【符号の説明】

１ ワーク ２、４２ 被位置決め部材（位置決めテーブル） ３、４３ 基台 ４、４４ 一次元角柱ヒンジ ５ 微小位置決め装置（微小位置決めテーブル，微小
アライメントテーブル） ６ ベアリング ７ 調整ボルト ８ 調整ボルトの係止部（頭部） ９ めねじ １０ スプライン軸 １１ サーボモータ（回転部材） １２ 軸 １３ 連結板 １４ ソケット部 １５ ソケット部の係止部 １６ 鉄プレート １７ エアーシリンダ（移動部材） １８ スプリング（緩衝部材） １９ 近接スイッチ（嵌合・噛み合い検知部材） ２０ サーボアンプ ２１ ＮＣ制御装置 ２２ 測定器 ２３ カウンター ５２ 駆動装置

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基台面上の部品やテーブル等の被位置決
   め部材を傾斜又は相対位置移動するために設けられた調
   整ボルトを回転させ微調整する微小位置決め方法におい
   て、前記調整ボルトの先端部に回転方向係止部を有する
   頭部を設け、前記被位置決め部材と離設され、前記調整
   ボルト頭部の係止部に噛み合い可能にかつ、軸方向摺動
   自在にされたソケット部と、該ソケット部を軸方向移動
   する軸方向移動部材と、前記ソケット部と軸方向移動部
   材との間に設けられた緩衝部材と、前記ソケット部を回
   転制御する回転部材と、を備え、前記軸方向移動部材に
   よって前記ソケットを前記調整ボルト側に移動し、前記
   ソケット部と前記調整ボルトとが嵌合した場合には前記
   回転部材によりソケット部を介して前記調整ボルトを回
   転させ前記被位置決め部材の位置決めを行い、前記ソケ
   ット部が前記調整ボルト頭部と干渉し嵌合できないとき
   は、一旦ソケット部を後退させ、微小角回転させ再度前
   記ソケット部を前記調整ボルト側に移動させ、前記ソケ
   ット部が前記調整ボルト頭部と嵌合するまで繰り返し行
   うことを特徴とする微小位置決め方法。
2. 【請求項２】 前記ソケット部と前記調整ボルト頭部と
   の離脱時には、ソケット部を微小角逆回転させ、前記ソ
   ケット部係止部と前記調整ボルト頭部との間に隙間を与
   えてからソケット部を後退させることを特徴とする請求
   項１項記載の微小位置決め方法。
3. 【請求項３】 基台面上の部品やテーブル等の被位置決
   め部材を傾斜又は相対位置移動するために設けられた調
   整ボルトを回転させ微調整可能とされた微小位置決め装
   置において、前記調整ボルトの先端部に回転方向係止部
   を有する頭部を設け、前記被位置決め部材と離設され、
   前記調整ボルト頭部の係止部に噛み合い可能にかつ軸方
   向摺動自在にされたソケット部と、該ソケット部を軸方
   向移動する軸方向移動部材と、前記ソケット部と軸方向
   移動部材との間に設けられた緩衝部材と、前記ソケット
   部を回転制御する回転部材と、前記被位置決め部材の位
   置又は被位置決め部材に固定されたワーク等の測定物の
   位置を測定する測定部と、前記ソケット部と前記調整ボ
   ルト頭部とが嵌合しているか否かを検知する検知部と、
   前記被位置決め部材の位置又は被位置決め部材に固定さ
   れたワーク等の測定物の位置を指令する指令部と、を備
   え、前記検知部の非嵌合信号によりソケット部を後退さ
   せ回転部を微小角回転させ再度ソケット部を軸方向に移
   動させ、前記嵌合信号により、前記測定部の信号をフィ
   ードバックさせ前記指令信号により前記回転部材を制御
   する制御部を有することを特徴とする微小位置決め装
   置。