JP2724354B2 - Printed board etching method and apparatus - Google Patents
Printed board etching method and apparatusInfo
- Publication number
- JP2724354B2 JP2724354B2 JP9978089A JP9978089A JP2724354B2 JP 2724354 B2 JP2724354 B2 JP 2724354B2 JP 9978089 A JP9978089 A JP 9978089A JP 9978089 A JP9978089 A JP 9978089A JP 2724354 B2 JP2724354 B2 JP 2724354B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- etching
- printed board
- spray
- bath
- liquid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はプリント板のエッチング方法及びその装置に
関し、特に、プリント板表面に対して空気中でのエッチ
ング液スプレーによるエッチング及びエッチング浴中で
のエッチング液噴流によるエッチングの2段階エッチン
グを特徴とするプリント板のエッチング方法及びその方
法の実施に適した装置に関する。Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and an apparatus for etching a printed board, and more particularly, to etching of a printed board surface by an etching solution spray in air and in an etching bath. The present invention relates to a method for etching a printed board characterized by two-stage etching using an etching liquid jet and an apparatus suitable for carrying out the method.
絶縁基板に銅箔を積層したプリント板に回路パターン
を形成する際、不要部分の銅は通常エッチングにより取
り除かれる。従来のエッチング法は、プリント板表面に
対して空気中でエッチング液をスプレーし、ホトレジス
トの被覆されていない部分の銅をエッチングする方法が
主流である。When a circuit pattern is formed on a printed circuit board in which copper foil is laminated on an insulating substrate, unnecessary portions of copper are usually removed by etching. In the conventional etching method, a method of spraying an etching solution on the surface of a printed board in air to etch copper in a portion of the photoresist that is not coated is mainly used.
このようなエッチング法を工業的に実施するには、エ
ッチング装置本体内を通過する搬送装置にプリント板を
載置し、搬送されるプリント板表面にエッチング液を空
気中でスプレーするものが多い。In order to industrially perform such an etching method, a printed board is often mounted on a transfer device that passes through the inside of the etching apparatus body, and an etching solution is sprayed on the surface of the transferred printed board in the air.
しかしながら、このように空気中でエッチング液をス
プレーすると、プリント板表面にスプレーされたエッチ
ング液は該表面に衝突した後、該表面に沿って四方へ流
れる。プリント板表面でのこのようなエッチング液の挙
動は、プリント板表面の均一なエッチングを妨げ、中央
部より周辺部へ向かってエッチング量の増大が起こるこ
とが判っている(約20%程)。However, when the etching solution is sprayed in the air as described above, the etching solution sprayed on the surface of the printed circuit board collides with the surface, and then flows in all directions along the surface. It has been found that such behavior of the etchant on the surface of the printed circuit board prevents uniform etching of the surface of the printed circuit board, and the amount of etching increases from the center toward the periphery (about 20%).
また、プリント板に形成される回路パターンは一般に
パターン密度の粗密がある。このようなパターン密度に
粗密のあるプリント板表面に対し、空気中でエッチング
液のスプレーを行うと、粗の部分のエッチング量は密の
部分より増加する傾向にある。そのため粗の部分のサイ
ドエッチングも大きくなる。In addition, circuit patterns formed on a printed board generally have a variation in pattern density. When an etchant is sprayed on the surface of a printed board having such a pattern density in air, the amount of etching in a rough portion tends to be larger than that in a dense portion. Therefore, side etching of a rough part also becomes large.
本発明はかかる従来のプリント板のエッチング法にお
ける問題点を解決し、均一で精度の高いエッチングを行
う方法を提供することを目的とするものである。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve the problems in the conventional printed board etching method and to provide a method for performing uniform and highly accurate etching.
また、本発明は前記方法を実施するのに適したエッチ
ング装置を提供することを目的とするものである。Another object of the present invention is to provide an etching apparatus suitable for performing the above method.
本発明者は、前記課題を解決し本発明の目的を達成す
るために多大の研究をした結果、空気中でのエッチング
液スプレーによる第1のエッチングを目的とする量の途
中まで行い、残りを第1のエッチングと逆のエッチング
特性を有する第2のエッチングにより行えば、均一なエ
ッチングが得られるという知見を得、それを基に本発明
はなされた。The inventor of the present invention has made extensive researches to solve the above problems and achieve the object of the present invention. As a result, the first etching with an etchant spray in air is performed halfway through the target amount, and the remainder is performed. It has been found that uniform etching can be obtained by performing the second etching having the opposite etching characteristic to the first etching, and the present invention has been made based on the finding.
本発明のプリント板のエッチング方法は、空気中にお
いてプリント板の表面にエッチング液をスプレーし第1
のエッチングを行う工程と、エッチング浴中において前
記表面にエッチング液の噴流を当てつつ第2のエッチン
グを行う工程と、を有し両工程のうちいずれか一方を先
に行い他方を後に行うことを特徴とする。The method of etching a printed board according to the present invention comprises spraying an etching solution on the surface of the printed board in air to form
Performing a second etching while applying a jet of an etching solution to the surface in an etching bath, and performing one of the two steps first and performing the other later. Features.
次に、このようなエッチング方法を実施するのに適し
た本発明のエッチング装置は、装置本体1内に設けられ
た空間部2及びエッチング浴槽3と、前記空間部2及び
エッチング浴槽3中のいずれか一方から他方に順にプリ
ント板を搬送するための搬送装置5と、前記空間部2を
搬送されるプリント板の表面に向けてエッチング液を空
気中でスプレーするための第1のスプレー手段12と、前
記エッチング浴槽3中をエッチング液に浸漬されて搬送
されるプリント板の表面に向けてエッチング液の噴流を
当てるための第2のスプレー手段18とを具備することを
特徴とする。Next, the etching apparatus of the present invention suitable for carrying out such an etching method includes a space 2 and an etching bath 3 provided in the apparatus main body 1, and any one of the space 2 and the etching bath 3. A transport device 5 for transporting the printed board in order from one side to the other, and a first spray means 12 for spraying an etching solution in the air toward the surface of the printed board transported in the space 2. And a second spray means 18 for applying a jet of the etching solution toward the surface of the printed board which is immersed in the etching bath 3 and conveyed by the etching solution.
本発明の方法及び装置は、プリント板の片面のみをエ
ッチングする場合、及び両面を同時にエッチングする場
合のいずれにも適用できる。片面にのみエッチングする
場合は、搬送装置によって搬送されるプリント板のエッ
チング面に合わせて、搬送装置の上方または下方からエ
ッチング液をスプレーし且つ、噴流を当て、両面に同時
にエッチングする場合は、搬送装置の上方及び下方から
同時にエッチング液をスプレーし且つ、噴流を当てれば
よい。The method and apparatus of the present invention can be applied to both the case where only one side of a printed board is etched and the case where both sides are simultaneously etched. If only one side is to be etched, spray the etching solution from above or below the transporting device according to the etching surface of the printed board transported by the transporting device, apply a jet, and if both surfaces are etched simultaneously, transport What is necessary is just to spray the etching liquid simultaneously from above and below the apparatus and apply a jet.
空気中において、プリント板の表面にエッチング液を
スプレーして第1のエッチングを行うと、前述のように
プリント板表面の中央部より周辺部のエッチング量が大
きくなり、また、パターンの密な部分より粗な部分のエ
ッチング量が大きくなる。そのように不均一な特性でエ
ッチングされたプリント板に対し、次にエッチング浴中
でその表面にエッチングの噴流を当てつつ第2のエッチ
ングを行うと、該第2のエッチング特性は第1のエッチ
ング特性と逆、即ち中央部より周辺部のエッチング量及
び、パターンの密の部分より粗の部分のエッチング量が
共に小さくなる特性を有するので、両エッチングを併用
することにより、均一にエッチングがなされたプリント
板を得ることができる。When the first etching is performed by spraying the etching liquid on the surface of the printed board in the air, the etching amount in the peripheral portion is larger than that in the central portion of the printed board surface as described above, and the dense portion of the pattern is The amount of etching in a rougher portion increases. When a second etching is performed on the printed board etched in such a non-uniform manner while applying a jet of etching to the surface thereof in an etching bath, the second etching property becomes the first etching property. In contrast to the characteristics, that is, the etching amount in the peripheral portion from the central portion and the etching amount in the rough portion from the dense portion of the pattern are both small, so that the etching is uniformly performed by using both etchings in combination. A printed board can be obtained.
次に、図面に基づいて本発明の実施例を説明する。 Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
第1図は本発明のプリント板のエッチング方法を実施
するためのエッチング装置の一例を示す正面断面図であ
り、第2図は第1図のA−A断面図である。FIG. 1 is a front sectional view showing an example of an etching apparatus for carrying out the method for etching a printed board of the present invention, and FIG. 2 is a sectional view taken along line AA of FIG.
装置本体1内に空間部2及びエッチング浴槽3が設け
られると共に、該空間部2及びエッチング浴槽3中にプ
リント板4を順に搬送するための搬送装置5が設けられ
ている。A space 2 and an etching bath 3 are provided in the apparatus body 1, and a transfer device 5 for sequentially transferring the printed board 4 into the space 2 and the etching bath 3 is provided.
図示の搬送装置5はローラコンベア式の例であり、装
置本体1内を直線状に通過する全搬送路にわたて下側ロ
ーラ6が適宜の間隔で設けられ、空間部2及びエッチン
グ浴槽3等のプリント板の下面に噴流が衝突する位置に
おいては、上側ローラ7が適宜設け設けられている。The illustrated transporting device 5 is an example of a roller conveyor type, in which lower rollers 6 are provided at appropriate intervals over the entire transporting path that linearly passes through the inside of the device body 1, and the space 2, the etching bath 3, and the like. An upper roller 7 is provided at a position where the jet collides with the lower surface of the printed board.
これら下側ローラ6及び上側ローラ7は、第2図に示
されているように、搬送方向と直角方向に配置されてい
る下側軸8及び上側軸9に夫々一定間隔で複数個ずつ固
定されている。各ローラはゴム製の比較的厚さの薄い円
板形状をなし、軸貫通方向にエッチング液を流通させる
ための流通孔が多数形成されている。As shown in FIG. 2, the lower roller 6 and the upper roller 7 are fixed to a lower shaft 8 and an upper shaft 9 which are arranged in a direction perpendicular to the conveying direction, respectively, at a fixed interval. ing. Each roller has a relatively thin disk shape made of rubber and has a large number of flow holes for flowing the etchant in the axial through direction.
下側軸8及び上側軸9の一端部は装置本体1に軸支さ
れ、他端部は夫々ベベルギヤ10及び11を介して搬送方向
に平行な2本の駆動軸に連結されている。各駆動軸は互
いに反対方向に同期して回転するようにギヤ結合される
と共に、共通の駆動源によって駆動される(駆動源等は
周知のものであり図面上省略されている)。One end of the lower shaft 8 and the upper shaft 9 is pivotally supported by the apparatus main body 1, and the other end is connected to two drive shafts parallel to the transport direction via bevel gears 10 and 11, respectively. The drive shafts are gear-coupled to rotate synchronously in opposite directions, and are driven by a common drive source (drive sources and the like are well-known and omitted from the drawings).
空間部2には搬送装置5を挟むようにその上方及び下
方に第1のスプレー手段12が設けられている。図示の装
置はプリント板の両面を同時にエッチングできる装置で
あり、上方及び下方に設けられた第1のスプレー手段12
は、プリント板のエッチングを片面ずつ受け持つ。しか
し、上方または下方のいずれかの(好ましくは下方の)
第1のスプレー手段12の弁(図示せず)を閉じて、スプ
レーを停止させ、プリント板の片面のみのエッチング用
としても使用できるようになっている。A first spray means 12 is provided above and below the space 2 so as to sandwich the transport device 5. The illustrated apparatus is an apparatus capable of simultaneously etching both sides of a printed board, and includes first spray means 12 provided above and below.
Is responsible for the etching of the printed board one side at a time. However, either above or below (preferably below)
The valve (not shown) of the first spraying means 12 is closed to stop the spraying, so that it can be used for etching only one side of the printed board.
上方及び下方に設けられた夫々の第1のスプレー手段
12は、搬送方向に平行な主ヘッダー13,該主ヘッダー13
から直角方向に分岐された複数の分岐ヘッダー14及び各
分岐ヘッダー14の夫々に適宜の間隔で設けられた複数の
スプレーノズル15から構成されている。これら各スプレ
ーノズル15は空間部2を搬送されるプリント板4の表面
に向けてエッチング液をスプレーするように配置されて
いる。Respective first spray means provided above and below
12 is a main header 13 parallel to the transport direction,
And a plurality of spray nozzles 15 provided at appropriate intervals in each of the branch headers 14 branched in a direction perpendicular to. These spray nozzles 15 are arranged so as to spray the etching liquid toward the surface of the printed board 4 conveyed in the space 2.
次に、エッチング浴槽3はその上方が開放され且つ、
プリント板4が通過できるようにその夫々の側壁の対応
する2箇所の位置に開口部16及び17が設けられている。
該浴槽3内には搬送装置5を挟むようにその上方及び下
方に第2のスプレー手段18が設けられている。この上方
と下方に設けられた第2のスプレー手段18のプリント板
表面に対するエッチング分担については、前述した第1
のスプレー手段12の場合と同様である。Next, the upper part of the etching bath 3 is opened and
Openings 16 and 17 are provided at two corresponding positions on the respective side walls so that the printed board 4 can pass through.
In the bathtub 3, second spray means 18 are provided above and below the conveying device 5 so as to sandwich the conveying device 5. The above-mentioned first spray means 18 provided on the upper and lower sides of the printed circuit board with respect to the etching is shared by the first spray means.
This is the same as the case of the spraying means 12.
上方及び下方に設けられた夫々の第2のスプレー手段
18は、搬送方向に平行な主ヘッダー19,該主ヘッダー19
から直角方向に分岐された複数の分岐ヘッダー20及び各
分岐ヘッダー20の夫々に適宜の間隔で設けられた複数の
スプレーノズル21から構成されている。これら各スプレ
ーノズル21はエッチング浴槽3中をエッチング液に浸漬
されて搬送されるプリント板4の表面に向けてエッチン
グ液の噴流を当てるように、そのスプレー方向が定めら
れている。Upper and lower second spray means respectively
18 is a main header 19 parallel to the transport direction,
And a plurality of spray nozzles 21 provided at appropriate intervals in each of the branch headers 20 branched in a direction perpendicular to the vertical direction. The spray direction of each of the spray nozzles 21 is determined so as to apply a jet of the etching solution toward the surface of the printed board 4 which is immersed in the etching bath 3 and conveyed by the etching solution.
装置本体1内の下部には所定量のエッチング液を貯留
するための液留め22が設けられている該液留め22内のエ
ッチング液23はヒーター等の加熱装置24及び冷却装置25
によって所定温度に維持される。冷却装置25は例えば冷
却水等の冷媒を通した冷却コイルを用いることができ
る。温度コントロールは液留め22内に設けられた温度セ
ンサー(図示せず)の温度信号を制御回路26において設
定値と比較し、前記加熱装置24の出力または冷却装置25
の冷媒量等をコントロールすることによってなされる。A liquid stopper 22 for storing a predetermined amount of etching liquid is provided at a lower portion in the apparatus main body 1. An etching liquid 23 in the liquid stopper 22 includes a heating device 24 such as a heater and a cooling device 25.
Is maintained at a predetermined temperature. As the cooling device 25, for example, a cooling coil through which a coolant such as cooling water passes can be used. In the temperature control, a temperature signal of a temperature sensor (not shown) provided in the liquid holder 22 is compared with a set value in a control circuit 26, and an output of the heating device 24 or a cooling device 25 is output.
By controlling the amount of the refrigerant.
液溜め22内のエッチング液23は、配管27から導出され
図示しない加圧ポンプによって加圧されて配管28へ導入
され、第1の分岐配管29により第1のスプレー手段12の
各主ヘッダー13,第2の分岐配管30により第2のスプレ
ー手段18の主ヘッダー19へ夫々供給される。なお、液溜
め22の底部には、液撹拌ポンプに連通する配管31が設け
られ、更に、新しいエッチング液補給用の配管(図示せ
ず)が接続される。The etching liquid 23 in the liquid reservoir 22 is led out of the pipe 27, is pressurized by a pressurizing pump (not shown), and is introduced into the pipe 28. The second branch pipe 30 supplies the main spray 19 to the main header 19 of the second spray means 18, respectively. In addition, a pipe 31 communicating with the liquid stirring pump is provided at the bottom of the liquid reservoir 22, and a pipe (not shown) for supplying a new etching liquid is further connected.
なお、装置本体1の上部は保守点検等のため複数に分
割された開口部32が設けられ、各開口部32はふた33によ
って閉鎖されている。各ふた33の間隙34は液シールのた
めに水が満たされている。The upper part of the apparatus main body 1 is provided with a plurality of divided openings 32 for maintenance and inspection and the like, and each opening 32 is closed by a lid 33. The gap 34 in each lid 33 is filled with water for liquid sealing.
次に、第1図及び第2図に示したエッチング装置の作
用を説明する。先ず、新たなエッチング液を補給配管か
ら補給し、加圧ポンプによって加圧して配管28から装置
本体1へ導入する。導入されたエッチング液は第1の分
岐配管29−主ヘッダー13−分岐ヘッダー14−スプレーノ
ズル15のルートを経て空間部2へスプレーされると共
に、第2の分岐配管30−主ヘッダー19−分岐ヘッダー20
−スプレーノズル21のルートを経てエッチング浴槽3内
にスプレーされる。Next, the operation of the etching apparatus shown in FIGS. 1 and 2 will be described. First, a new etching solution is supplied from a supply pipe, pressurized by a pressure pump, and introduced into the apparatus main body 1 from the pipe 28. The introduced etchant is sprayed into the space 2 through the route of the first branch pipe 29-main header 13-branch header 14-spray nozzle 15 and the second branch pipe 30-main header 19-branch header. 20
Sprayed into the etching bath 3 via the route of the spray nozzle 21;
空間部2へスプレーされたエッチング液はそのまま液
留め22へ落下する。一方、エッチング浴槽3内へスプレ
ーされたエッチング液は該槽3内の液位を上昇させ、そ
の上部の開口部からオーバフローすると共に、一部はそ
の側壁の開口部16及び17から流出し、共に液留め22へ落
下する。The etching solution sprayed into the space 2 falls to the liquid retaining 22 as it is. On the other hand, the etching solution sprayed into the etching bath 3 raises the liquid level in the bath 3 and overflows from the upper opening, and partly flows out from the openings 16 and 17 on the side walls thereof. It falls to the liquid stopper 22.
そして、加熱装置24または冷却装置25によりエッチン
グ液23の温度をコントロールして所定温度とする。この
状態で搬送装置5を起動することによりエッチング準備
が完了する。(なお、搬送装置5の起動はそれ以前でも
よい。) 次に、エッチングすべきプリント板4を第1図から左
方から矢印のように装置本体1に導入する。プリント板
4は搬送装置5により搬送され空間部2を通過中に、第
1のスプレー手段12により空気中においてその表面にス
プレーされ第1のエッチングがなされる。Then, the temperature of the etching solution 23 is controlled by the heating device 24 or the cooling device 25 to a predetermined temperature. In this state, the preparation for etching is completed by activating the transfer device 5. (Note that the transfer device 5 may be activated before that time.) Next, the printed board 4 to be etched is introduced into the device main body 1 from the left in FIG. The printed board 4 is conveyed by the conveying device 5 and, while passing through the space 2, is sprayed on the surface of the printed board 4 in the air by the first spraying means 12 to perform first etching.
続いてプリント板4は搬送装置5によりエッチング浴
槽3へ導入され、そのエッチング浴中を通過中に、第2
のスプレー手段18によるエッチング液噴流をその表面に
当てられつつ、第2のエッチングがなされる。Subsequently, the printed board 4 is introduced into the etching bath 3 by the transfer device 5, and while passing through the etching bath, the second
The second etching is performed while the jet of the etching liquid by the spray means 18 is applied to the surface.
第1のエッチング及び第2のエッチングが完了したプ
リント板4は、そのまま搬送装置5により搬送され、第
1図の右方へ矢印のように装置本体1から排出される。
プリント板4は次いで図示しない洗浄装置へ搬送されて
後処理される。The printed board 4 on which the first etching and the second etching have been completed is directly conveyed by the conveying device 5 and discharged from the apparatus main body 1 as indicated by an arrow to the right in FIG.
The printed board 4 is then conveyed to a cleaning device (not shown) for post-processing.
第1のエッチング及び第2のエッチングの夫々のエッ
チング量比は、例えば第1のスプレー手段12と第2のス
プレー手段18の搬送方向の長さの割合を変えることによ
り変化することができる。一例として第1のスプレー手
段12の長さを長めに設計しておき、スプレーすべき分岐
ヘッダー14の本数を開始弁(図示せず)等により調整す
る方法がある。この第1のエッチングと第2のエッチン
グの量比は、前述したような夫々のエッチング特性を考
慮し、最終的に均一なエッチング特性が得られるように
定められるが、その最適値は実験によることが好まし
い。なお、本発明は空気中におけるエッチング液のスプ
レーによるエッチングから、エッチング浴中の噴流によ
るエッチングに切り換える場合と、エッチング浴中の噴
流によるエッチングから、空気中におけるエッチング液
のスプレーによるエッチングに切り換える場合の両者を
含むが、両者の条件は各種プリント板によって同一の場
合と、異ならせる必要がある場合とが考えられる。その
場合には、前述の如く、第1のエッチングと第2のエッ
チングのエッチングの量比を、夫々のエッチング特性を
考慮し、最終的に均一なエッチング特性を得られるよう
に実験的にその最適値を求めることが好ましい。The respective etching amount ratios of the first etching and the second etching can be changed, for example, by changing the ratio of the length of the first spray unit 12 and the second spray unit 18 in the transport direction. As an example, there is a method in which the length of the first spray means 12 is designed to be longer, and the number of branch headers 14 to be sprayed is adjusted by a start valve (not shown) or the like. The amount ratio between the first etching and the second etching is determined so as to finally obtain a uniform etching characteristic in consideration of the respective etching characteristics as described above. Is preferred. Note that the present invention relates to a case where the etching is switched from spraying an etching solution in air to a jet flow in an etching bath, and a case where the etching is switched from a jet in an etching bath to etching by spraying an etching solution in air. Both conditions are included, but the conditions for both may be the same depending on the type of printed circuit board, or may be required to be different. In such a case, as described above, the optimal etching ratio between the first etching and the second etching is determined by considering the respective etching characteristics and experimentally so as to finally obtain a uniform etching characteristic. Preferably, the value is determined.
同様に、パターンの粗密によるエッチング特性の違い
と、中央部と周辺部のエッチング特性の違いよって、第
1のエッチングと第2のエッチングとの量比のみによっ
ては完全に均一なエッチングができない場合が考えられ
るが、その場合には実用上差し支えない範囲で実験にお
いて最適値を求めればたりる。Similarly, due to the difference in etching characteristics due to the density of the pattern and the difference in etching characteristics between the central part and the peripheral part, complete uniform etching may not be achieved only by the quantitative ratio of the first etching and the second etching. Although it is conceivable, in that case, an optimum value can be obtained in an experiment within a range that is practically acceptable.
次に第1図及第2図に示したエッチング装置を使用し
た実験例を示す。Next, an experimental example using the etching apparatus shown in FIGS. 1 and 2 will be described.
<装置仕様> 第1のスプレー手段12;搬送方向に沿って21cm間隔で
5個のヘッダー14,各分岐ヘッダー14には8個の口径1.2
mmのスプレーノズル 第2のスプレー手段18;搬送方向に沿って100cm長さの
エッチング浴槽3中に、50cm間隔で5個の分岐ヘッダー
20,各ヘッダー20には12個の口径1.2mmのスプレーノズル <エッチング液> アルカリエッチング液(アルカリエッチャント)でメ
ルテックス株式会社製の商品名Aプローセスを用いる。
その組成は、液1中に銅成分145g,塩素145g〜170g,ト
ータルアンモニウムNH3(N)8.0〜9.2g,残部水 温度;50℃ 圧力;1kg/cm2(スプレーノズルにおいて) <プリント板> 60cm×50cm,厚さ2.0mmのガラス繊維補強エポキシ基板
の両面に50ミクロン厚の銅箔を積層。<Apparatus specifications> First spray means 12; five headers 14 at intervals of 21 cm along the transport direction, and eight branch diameters in each branch header 14
mm spray nozzle Second spray means 18; 5 branch headers at 50 cm intervals in etching bath 3 having a length of 100 cm along the transport direction
20, 12 spray nozzles having a diameter of 1.2 mm are used for each header 20. <Etching solution> An alkali etching solution (alkali etchant), trade name A process manufactured by Meltex Co., Ltd. is used.
The composition is as follows: 145 g of copper component, 145 g to 170 g of chlorine, 8.0 to 9.2 g of total ammonium NH 3 (N), liquid temperature: 50 ° C., pressure: 1 kg / cm 2 (at spray nozzle) in liquid 1. A 50 micron thick copper foil is laminated on both sides of a glass fiber reinforced epoxy board of 60cm x 50cm and thickness of 2.0mm.
該銅箔の両面にパターン,粗密含み幅80ミクロンの多
数の回路が間隔80ミクロンで配線された回路パターンを
ホトレジストにより施した。On both surfaces of the copper foil, a circuit pattern in which a large number of circuits having a width of 80 μm, including a pattern and a coarse / dense pattern, were wired at an interval of 80 μm was applied by a photoresist.
上記条件でプリント板を0.5m/minの速度で装置内を通
過させ、次いで洗浄・乾燥した後、要部を切取り、その
断面を顕微鏡観察(倍率100倍)した。その結果、周辺
部と中央部とのエッチング量の差は認められなかった。
また、回路パターンの粗部分と密部分においても同様で
あった。Under the above conditions, the printed board was passed through the apparatus at a speed of 0.5 m / min, and then washed and dried. After that, the main part was cut out, and the cross section was observed with a microscope (100 times magnification). As a result, no difference in the etching amount between the peripheral portion and the central portion was observed.
The same was true for the rough and dense portions of the circuit pattern.
本発明のプリント板のエッチング方法は以上のような
構成としたので、プリント板の中央部と周辺部間,及び
回路パターンの粗部分と密部分間のエッチング量の差が
実質的にない均一なエッチングができる。Since the method for etching a printed board according to the present invention is configured as described above, there is a uniform difference between the center and the periphery of the printed board and between the rough portion and the dense portion of the circuit pattern. Can be etched.
また、前記方法を実施するに適した本発明のエッチン
グ装置は、多数のプリント板を連続的に且つ効率良く均
一にエッチングすることができる。Further, the etching apparatus of the present invention suitable for carrying out the above method can continuously and efficiently etch a large number of printed boards.
第1図は本発明のプリント板のエッチング方法を実施す
るためのエッチング装置の一例を示す正面断面図、第2
図は第1図のA−A断面図。 1……装置本体、2……空間部 3……エッチング浴槽、4……プリント板 5……搬送装置、6……下側ローラ 7……上側ローラ、8……下側軸 9……上側軸、10,11……ベベルギヤ 12……第1のスプレー手段、13,19……主ヘッダー 14,20……分岐ヘッダー 15,21……スプレーノズル、16,17,32……開口部 18……第2のスプレー手段、22……液留め 23……エッチング液、24……加熱装置 25……冷却装置、26……制御回路 27,28……配管、29……第1の分岐配管 30……第2の分岐配管、31……配管 33……ふた、34……間隙FIG. 1 is a front sectional view showing an example of an etching apparatus for carrying out a method of etching a printed board according to the present invention.
The figure is a sectional view taken along the line AA in FIG. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Device main body, 2 ... Space part 3 ... Etching bath, 4 ... Printed board 5 ... Conveying device, 6 ... Lower roller 7 ... Upper roller, 8 ... Lower shaft 9 ... Upper Shaft, 10, 11 Bevel gear 12 First spray means 13, 19 Main header 14, 20 Branch header 15, 21 Spray nozzle 16, 17, 32 Opening 18 ... Second spraying means, 22... Liquid retaining 23... Etching solution, 24... Heating device 25... Cooling device 26... Control circuit 27, 28. … Second branch pipe, 31 pipe 33, lid, 34 gap
Claims (2)
ング液をスプレーし第1のエッチングを行う工程と、エ
ッチング浴中において前記表面にエッチング液の噴流を
当てつつ第2のエッチングを行う工程と、を有し両工程
のうちいずれか一方を先に行い他方を後に行うことを特
徴とするプリント板のエッチング方法。A step of spraying an etching solution on a surface of a printed board in air to perform a first etching; and a step of performing a second etching while applying a jet of an etching solution to the surface in an etching bath. A method of etching a printed board, wherein one of the two steps is performed first and the other is performed later.
(2)及びエッチング浴槽(3)と、前記空間部(2)
及びエッチング浴槽(3)中のいずれか一方から他方に
順にプリント板を搬送するための搬送装置(5)と、前
記空間部(2)を搬送されるプリント板の表面に向けて
エッチング液を空気中でスプレーするための第1のスプ
レー手段(12)と、前記エッチング浴槽(3)中をエッ
チング液に浸漬されて搬送されるプリント板の表面に向
けてエッチング液の噴流を当てるための第2のスプレー
手段(18)とを具備してなるプリント板のエッチング装
置。2. A space (2) and an etching bath (3) provided in an apparatus body (1), and said space (2).
And a transport device (5) for transporting the printed board in order from one of the two to the other in the etching bath (3), and blowing the etching liquid toward the surface of the printed board transported in the space (2). A first spraying means (12) for spraying the inside of the substrate, and a second spraying means for applying a jet of the etching solution toward the surface of the printed board which is immersed in the etching bath (3) and conveyed. And a spray means (18).
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9978089A JP2724354B2 (en) | 1989-04-18 | 1989-04-18 | Printed board etching method and apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9978089A JP2724354B2 (en) | 1989-04-18 | 1989-04-18 | Printed board etching method and apparatus |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02277281A JPH02277281A (en) | 1990-11-13 |
JP2724354B2 true JP2724354B2 (en) | 1998-03-09 |
Family
ID=14256458
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9978089A Expired - Lifetime JP2724354B2 (en) | 1989-04-18 | 1989-04-18 | Printed board etching method and apparatus |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2724354B2 (en) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1079565A (en) * | 1996-08-06 | 1998-03-24 | Kenshin Ka | Printed circuit board etching method |
CN114051326A (en) * | 2022-01-13 | 2022-02-15 | 广州添利电子科技有限公司 | Circuit board and processing method thereof |
-
1989
- 1989-04-18 JP JP9978089A patent/JP2724354B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH02277281A (en) | 1990-11-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4938994A (en) | Method and apparatus for patch coating printed circuit boards | |
US5183508A (en) | Apparatus for patch coating printed circuit boards | |
KR100251034B1 (en) | Method and apparatus for spray etching | |
US20200221579A1 (en) | Method, device, and system for manufacturing printed circuit boards | |
JP2724354B2 (en) | Printed board etching method and apparatus | |
KR20020084122A (en) | Oscillating shower transfer type substrate treatment device | |
US5180465A (en) | Etching method of forming microcircuit patterns on a printed circuit board | |
US5169477A (en) | Etching apparatus for forming microcircuit patterns on a printed circuit board | |
WO2002049086A1 (en) | Transfer type substrate treating device | |
JP2824031B2 (en) | Substrate surface treatment equipment | |
JPH08293660A (en) | Apparatus and method for etching board | |
JPH06132660A (en) | Pretreatment device and treatment for plating printed board | |
JP2006245446A (en) | Resist peeling and removing device | |
JP2010199455A (en) | Surface treating apparatus for substrate material | |
JPH10242047A (en) | Treatment liquid treating method and continuously treating apparatus of substrate | |
JP4069229B2 (en) | Printed board etching apparatus and method | |
JP3108750B2 (en) | Substrate etching equipment | |
JPH05226809A (en) | Etching method for printed wiring board | |
JP2004125342A (en) | Control method and device for air knife drying | |
JPH05226810A (en) | Etching apparatus for printed board | |
JPH05129756A (en) | Etching device | |
JPH0677624A (en) | Method and system for etching printed wiring board | |
JP4593908B2 (en) | Substrate processing equipment with processing liquid | |
JPH08229674A (en) | Production of flux coating material and flux coating device | |
JP2003303805A (en) | Method and apparatus for chemical treatment |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091205 Year of fee payment: 12 |