JP2716389B2 - インクジェット式記録ヘッド - Google Patents
インクジェット式記録ヘッドInfo
- Publication number
- JP2716389B2 JP2716389B2 JP7011580A JP1158095A JP2716389B2 JP 2716389 B2 JP2716389 B2 JP 2716389B2 JP 7011580 A JP7011580 A JP 7011580A JP 1158095 A JP1158095 A JP 1158095A JP 2716389 B2 JP2716389 B2 JP 2716389B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ink
- piezoelectric element
- recording head
- jet recording
- ink jet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
- Facsimile Heads (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、インクジェット式記録
ヘッドに係り、とくに振動板に圧電素子が接合されて成
るインクジェット式記録ヘッドに関する。
ヘッドに係り、とくに振動板に圧電素子が接合されて成
るインクジェット式記録ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】インクジェット式記録ヘッドを用いたハ
ードコピー装置は、構成が簡単であるためプリンタ装
置，或いはファクシミリ装置などの分野で従来より一般
に広く用いられている。インクジェット式記録ヘッド
は、いくつかの方式が提案されているが、その中で振動
板に圧電素子を接着もしくは接合した後、圧電素子に電
界をかけることにより圧電素子を伸縮させ、その伸縮運
動によってインクを吐出させる方式は、ヘッド寿命が半
永久的であり、且つランニングコストが安いという特長
をもつため、今後の進展が期待されている。
ードコピー装置は、構成が簡単であるためプリンタ装
置，或いはファクシミリ装置などの分野で従来より一般
に広く用いられている。インクジェット式記録ヘッド
は、いくつかの方式が提案されているが、その中で振動
板に圧電素子を接着もしくは接合した後、圧電素子に電
界をかけることにより圧電素子を伸縮させ、その伸縮運
動によってインクを吐出させる方式は、ヘッド寿命が半
永久的であり、且つランニングコストが安いという特長
をもつため、今後の進展が期待されている。
【０００３】図３に、従来より知られているインクジェ
ット式記録ヘッドの基本的な断面構成を示す。
ット式記録ヘッドの基本的な断面構成を示す。
【０００４】この図３に示す従来例は、インク供給路５
１およびインク加圧室５２用の凹溝を備えた基板５３
と、この基板５３の前述したインク供給路５１，インク
加圧室５２に対応して装備され且つインク供給路５１，
インク加圧室５２の一方の面を構成する振動板５４と、
この振動板５４上に装着された圧電素子５５とを備えて
いる。
１およびインク加圧室５２用の凹溝を備えた基板５３
と、この基板５３の前述したインク供給路５１，インク
加圧室５２に対応して装備され且つインク供給路５１，
インク加圧室５２の一方の面を構成する振動板５４と、
この振動板５４上に装着された圧電素子５５とを備えて
いる。
【０００５】基板５３には、その図３における左端部に
前述したインク供給路５１に連通するインクタンク５６
が併設されている。符号５６Ａはインク供給路５１に連
通されたインクタンク５６側のインク補給路を示す。
前述したインク供給路５１に連通するインクタンク５６
が併設されている。符号５６Ａはインク供給路５１に連
通されたインクタンク５６側のインク補給路を示す。
【０００６】また、インク供給路５１の図３における右
端部にはインク吐出部としてのインクノズル５１Ａが設
けられている。
端部にはインク吐出部としてのインクノズル５１Ａが設
けられている。
【０００７】圧電素子５５は振動板５４に接着され、こ
れによってバイモルフ（屈曲型振動系）としての圧電振
動部が構成されている。
れによってバイモルフ（屈曲型振動系）としての圧電振
動部が構成されている。
【０００８】そして、圧電素子５５の電極にパルス状電
圧を印加すると、圧電素子５５がその厚さ方向に膨張す
るとともに長さ方向に収縮し、振動板５４がインク加圧
室５２の内側方向に撓む。
圧を印加すると、圧電素子５５がその厚さ方向に膨張す
るとともに長さ方向に収縮し、振動板５４がインク加圧
室５２の内側方向に撓む。
【０００９】これにより、インク加圧室５２の容積が僅
かながら瞬時に減少し、振動板５４の変形によって生じ
た圧力波により、インク加圧室５２のインクがインク滴
となってインクノズル５１Ａの吐出口から図３中のａ方
向に噴射され、図示しない印字媒体に着弾して記録が実
行される。
かながら瞬時に減少し、振動板５４の変形によって生じ
た圧力波により、インク加圧室５２のインクがインク滴
となってインクノズル５１Ａの吐出口から図３中のａ方
向に噴射され、図示しない印字媒体に着弾して記録が実
行される。
【００１０】また、図４に、実際に使用されているイン
クジェット式記録ヘッドの横断面図（ハッチング省略）
を示す。この図４において、符号６３Ａは基板６３上に
形成されたインク溜りとしてのインク池を示す。ここ
で、一つのインクジェット記録ヘッドに形成されるイン
クノズル６１Ａのノズル数は、その初期の目的よって決
定されるが、図４の例では、基板６３の端面で一方の面
に偏った位置に２４個のノズルが配置されている。この
図４において、符号６１はインク供給路を示し、符号６
２はインク加圧室を示し、符号６５は圧電素子を示す。
クジェット式記録ヘッドの横断面図（ハッチング省略）
を示す。この図４において、符号６３Ａは基板６３上に
形成されたインク溜りとしてのインク池を示す。ここ
で、一つのインクジェット記録ヘッドに形成されるイン
クノズル６１Ａのノズル数は、その初期の目的よって決
定されるが、図４の例では、基板６３の端面で一方の面
に偏った位置に２４個のノズルが配置されている。この
図４において、符号６１はインク供給路を示し、符号６
２はインク加圧室を示し、符号６５は圧電素子を示す。
【００１１】ここで、基板５３，６３の材料としては、
一般にシリコン，ガラス，金属などが選定されている。
そして、エッチング或いは機械加工等の手法でインク供
給路５１，６１やインク加圧室５２，６２，インクノズ
ル５１Ａ，６１Ａ，インク池６３Ａ等の溝が形成される
ようになっている。
一般にシリコン，ガラス，金属などが選定されている。
そして、エッチング或いは機械加工等の手法でインク供
給路５１，６１やインク加圧室５２，６２，インクノズ
ル５１Ａ，６１Ａ，インク池６３Ａ等の溝が形成される
ようになっている。
【００１２】また、振動板５４の材料は、基板５３との
関連で決定され、金属などの導電性材料，ガラス或いは
プラスチックなどの絶縁性材料，に分類される。後者の
絶縁性材料の場合は、圧電素子５５との導通をとるため
振動板５４の表面には電極を設ける必要がある。この振
動板５４の電極としては、例えばガラスの場合であると
金属酸化物（ＩＴＯなど）の薄膜を蒸着又はスパッタな
どの手段で付与することが一般的に採用されている。
関連で決定され、金属などの導電性材料，ガラス或いは
プラスチックなどの絶縁性材料，に分類される。後者の
絶縁性材料の場合は、圧電素子５５との導通をとるため
振動板５４の表面には電極を設ける必要がある。この振
動板５４の電極としては、例えばガラスの場合であると
金属酸化物（ＩＴＯなど）の薄膜を蒸着又はスパッタな
どの手段で付与することが一般的に採用されている。
【００１３】また、圧電素子５５の両面に付される電極
層は、その材質として銀（Ａｇ），金（Ａｕ），或いは
銀合金Ａｇ−Ｐｄ合金などから選択される。
層は、その材質として銀（Ａｇ），金（Ａｕ），或いは
銀合金Ａｇ−Ｐｄ合金などから選択される。
【００１４】更に、振動板５４と圧電素子５５は、通
常、熱硬化型エポキシ樹脂を用いて接着される。図３に
おける振動板５４と圧電素子５５との接合状況の詳細
を、図５に示す。
常、熱硬化型エポキシ樹脂を用いて接着される。図３に
おける振動板５４と圧電素子５５との接合状況の詳細
を、図５に示す。
【００１５】この図５は、振動板５４と圧電素子５５と
を一液性もしくは二液性の熱硬化型エポキシ樹脂Ｎを用
いて接合した場合を示す。この図５において、符号５４
Ａは振動板５４に形成された電極（ガラスの場合ＩＴ
Ｏ）を示し、記号Ｎは熱硬化型エポキシ樹脂を示す。
を一液性もしくは二液性の熱硬化型エポキシ樹脂Ｎを用
いて接合した場合を示す。この図５において、符号５４
Ａは振動板５４に形成された電極（ガラスの場合ＩＴ
Ｏ）を示し、記号Ｎは熱硬化型エポキシ樹脂を示す。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】上述したインクジェッ
ト式記録ヘッドは、プリンタ装置あるいはファクシミリ
装置などに搭載されて使用される。そして、これらハー
ドコピー装置は、通常、温度が５〜３５℃、湿度が５〜
８５％ＲＨの範囲で正常な印字動作と長期の耐久性が要
求される。即ち、圧電素子と振動板の接着部に剥離等が
生じるとインク吐出は不可能となるので、この接着部の
接着技術には高い信頼性が求められる。
ト式記録ヘッドは、プリンタ装置あるいはファクシミリ
装置などに搭載されて使用される。そして、これらハー
ドコピー装置は、通常、温度が５〜３５℃、湿度が５〜
８５％ＲＨの範囲で正常な印字動作と長期の耐久性が要
求される。即ち、圧電素子と振動板の接着部に剥離等が
生じるとインク吐出は不可能となるので、この接着部の
接着技術には高い信頼性が求められる。
【００１７】一方、従来例にあっては、前述したよう
に、振動板５４圧電素子５５との接着には熱硬化型エポ
キシ樹脂Ｎが多用されてきた。そして、一般的には、本
接着剤は常温常湿下の条件では優れた接着力を示す。
に、振動板５４圧電素子５５との接着には熱硬化型エポ
キシ樹脂Ｎが多用されてきた。そして、一般的には、本
接着剤は常温常湿下の条件では優れた接着力を示す。
【００１８】しかしながら、接着剤組成や接着条件など
を厳しく管理しないと、特に高湿度下あるいは高温高湿
の条件では接着剤自身の吸湿により接着力が低下し、振
動板と接着層の界面で剥離が発生し易いという問題があ
る。また、電圧印加の初期では剥離は生じないが、前述
した接着部の吸湿と相俟って繰り返しの電圧印加で接着
部が次第に劣化し剥離にいたるという不都合が生じる。
を厳しく管理しないと、特に高湿度下あるいは高温高湿
の条件では接着剤自身の吸湿により接着力が低下し、振
動板と接着層の界面で剥離が発生し易いという問題があ
る。また、電圧印加の初期では剥離は生じないが、前述
した接着部の吸湿と相俟って繰り返しの電圧印加で接着
部が次第に劣化し剥離にいたるという不都合が生じる。
【００１９】また、熱硬化型エポキシ樹脂Ｎは高分子材
料であり弾性率が一般的には低位であるため、圧電素子
の変形がその接着層に吸収され易く、このため、インク
吐出力が低位になるという不都合も内在していた。更
に、この熱硬化型エポキシ樹脂は絶縁性であるため電圧
印加時に接触抵抗によって発熱し易いという不都合もあ
った。
料であり弾性率が一般的には低位であるため、圧電素子
の変形がその接着層に吸収され易く、このため、インク
吐出力が低位になるという不都合も内在していた。更
に、この熱硬化型エポキシ樹脂は絶縁性であるため電圧
印加時に接触抵抗によって発熱し易いという不都合もあ
った。
【００２０】
【発明の目的】本発明は、かかる従来例の有する不都合
を改善し、とくに、高湿度下或いは高温高湿の条件下で
も剥離が発生せず、かつ圧電素子の繰り返し変形にも長
期にわたって耐え得ると共に、更に剛性の高い接合部を
有し、安定したインク吐出力を備えたインクジェット式
記録ヘッドを提供することを、その目的とする。
を改善し、とくに、高湿度下或いは高温高湿の条件下で
も剥離が発生せず、かつ圧電素子の繰り返し変形にも長
期にわたって耐え得ると共に、更に剛性の高い接合部を
有し、安定したインク吐出力を備えたインクジェット式
記録ヘッドを提供することを、その目的とする。
【００２１】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明で
は、インク供給路およびインク加圧室用の凹溝を備えた
基板と、この基板のインク供給路，インク加圧室に対応
して装備され且つインク供給路，インク加圧室の一方の
面を構成する振動板と、この振動板上に装着された圧電
素子とを有するインクジェット式記録ヘッドにおいて、
この圧電素子を、クリーム半田を用いて振動板上の導通
面に接合する、という構成を採っている。
は、インク供給路およびインク加圧室用の凹溝を備えた
基板と、この基板のインク供給路，インク加圧室に対応
して装備され且つインク供給路，インク加圧室の一方の
面を構成する振動板と、この振動板上に装着された圧電
素子とを有するインクジェット式記録ヘッドにおいて、
この圧電素子を、クリーム半田を用いて振動板上の導通
面に接合する、という構成を採っている。
【００２２】請求項２記載の発明では、前述した圧電素
子は、振動板にリフロー半田付けの手法によりクリーム
半田を用いて接合される、という構成を採っている。
子は、振動板にリフロー半田付けの手法によりクリーム
半田を用いて接合される、という構成を採っている。
【００２３】請求項３記載の発明では、前述したクリー
ム半田は、圧電素子の電極が金製の場合，Ｐｂ−６３％
Ｓｎ合金（重量比）のものを使用する、という構成を採
っている。
ム半田は、圧電素子の電極が金製の場合，Ｐｂ−６３％
Ｓｎ合金（重量比）のものを使用する、という構成を採
っている。
【００２４】請求項４記載の発明では、前述したクリー
ム半田は、圧電素子の電極が銀製もしくは銀合金製の場
合，Ｐｂ−６２％Ｓｎ２％のＡｇ合金（重量比）のもの
を使用する、という構成を採っている。
ム半田は、圧電素子の電極が銀製もしくは銀合金製の場
合，Ｐｂ−６２％Ｓｎ２％のＡｇ合金（重量比）のもの
を使用する、という構成を採っている。
【００２５】これによって前述した目的を達成しようと
するものである。
するものである。
【００２６】
【作用】圧電素子を振動板上の導通面にクリーム半田を
用いて接合することにより、従来の高分子材料の熱硬化
型エポキシ樹脂に比較して、耐熱性，耐湿性，および電
気伝導性に優れ、かつ機械的剛性も高くなり、インクジ
ェット式記録ヘッドの耐久性，耐候性およびインク吐出
性能等の著しい向上を図り得る。
用いて接合することにより、従来の高分子材料の熱硬化
型エポキシ樹脂に比較して、耐熱性，耐湿性，および電
気伝導性に優れ、かつ機械的剛性も高くなり、インクジ
ェット式記録ヘッドの耐久性，耐候性およびインク吐出
性能等の著しい向上を図り得る。
【００２７】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１乃至図２に基
づいて説明する。
づいて説明する。
【００２８】図１は本実施例におけるインクジェット式
記録ヘッドの圧電素子と振動板との接合関係を示す部分
断面図である。
記録ヘッドの圧電素子と振動板との接合関係を示す部分
断面図である。
【００２９】この図１において、インクジェット式記録
ヘッドは、前述した従来例と同様にインク供給路１およ
びインク加圧室２用の凹溝３Ａを備えた基板３と、この
基板３の前述したインク供給路１，インク加圧室２に対
応して装備され且つインク供給路１，インク加圧室２の
一方の面を構成する振動板４と、この振動板４上に装着
された圧電素子５とを備えている。そして、圧電素子５
は、クリーム半田Ｋにより、リフロー半田付けの手法に
て前述した振動板４上の電極面４Ａ上に載置され接合さ
れている。
ヘッドは、前述した従来例と同様にインク供給路１およ
びインク加圧室２用の凹溝３Ａを備えた基板３と、この
基板３の前述したインク供給路１，インク加圧室２に対
応して装備され且つインク供給路１，インク加圧室２の
一方の面を構成する振動板４と、この振動板４上に装着
された圧電素子５とを備えている。そして、圧電素子５
は、クリーム半田Ｋにより、リフロー半田付けの手法に
て前述した振動板４上の電極面４Ａ上に載置され接合さ
れている。
【００３０】基板３は本実施例ではシリコン製のものが
使用され、また、振動板４はガラス製のものが使用され
ている。
使用され、また、振動板４はガラス製のものが使用され
ている。
【００３１】これを更に詳述すると、まず、表面が鏡面
加工されたシリコン製の基板３にフォトプロセス工程に
より各インク流路のパータニングを行い、その後プラズ
マエッチング加工によって、前述した図３に於ける従来
例と同一構造のインク供給路１，インク加圧室２，イン
クノズル等が形成される。また、前述したガラス製の振
動板４には、表面に１０００〜３０００オングストロー
ムの厚さの金属酸化膜（ＩＴＯ）が電極面４Ａとして設
けられている。また、この振動板４は、その下部が静電
接合にて前述した基板３に一体的に接合されている。
加工されたシリコン製の基板３にフォトプロセス工程に
より各インク流路のパータニングを行い、その後プラズ
マエッチング加工によって、前述した図３に於ける従来
例と同一構造のインク供給路１，インク加圧室２，イン
クノズル等が形成される。また、前述したガラス製の振
動板４には、表面に１０００〜３０００オングストロー
ムの厚さの金属酸化膜（ＩＴＯ）が電極面４Ａとして設
けられている。また、この振動板４は、その下部が静電
接合にて前述した基板３に一体的に接合されている。
【００３２】そして、この工程で一体化された振動板４
への圧電素子５の貼着は下記の条件で実行される。
への圧電素子５の貼着は下記の条件で実行される。
【００３３】インク加圧室２に対応した振動板４に対す
る圧電素子５の貼着位置に、クリーム半田Ｋをスクリー
ン印刷にて塗布する。この場合、半田組成は、圧電素子
５の電極５Ａが金（Ａｕ）である場合は「Ｐｂ−６３％
Ｓｎ合金（重量比）」が、電極５Ａが銀（Ａｇ）もしく
はＡｇ−Ｐｄ合金である場合は「Ｐｂ−６２％Ｓｎ−２
％Ａｇ（重量比）」が好ましい組成である。
る圧電素子５の貼着位置に、クリーム半田Ｋをスクリー
ン印刷にて塗布する。この場合、半田組成は、圧電素子
５の電極５Ａが金（Ａｕ）である場合は「Ｐｂ−６３％
Ｓｎ合金（重量比）」が、電極５Ａが銀（Ａｇ）もしく
はＡｇ−Ｐｄ合金である場合は「Ｐｂ−６２％Ｓｎ−２
％Ａｇ（重量比）」が好ましい組成である。
【００３４】半田粉末の粒度およびフラックス含有量
は、本実施例の場合、それぞれ１０〜５０μｍ、１０％
（重量比）が最適であった。
は、本実施例の場合、それぞれ１０〜５０μｍ、１０％
（重量比）が最適であった。
【００３５】塗布量は、図１に示すように、リフロー時
に圧電素子５の上部電極５Ａ部分へ吸い上がらない量で
且つ下部電極５Ａ部分の全周を前述した振動板４とまん
べんなく接合し得る量にしてある。そして、前述した条
件のクリーム半田Ｋを塗布した後、所定位置に圧電素子
５を搭載し、これを所定の条件に設定された電気炉に挿
入してリフロー半田付けを行った。これにより、圧電素
子５は振動板４に有効に接合される。
に圧電素子５の上部電極５Ａ部分へ吸い上がらない量で
且つ下部電極５Ａ部分の全周を前述した振動板４とまん
べんなく接合し得る量にしてある。そして、前述した条
件のクリーム半田Ｋを塗布した後、所定位置に圧電素子
５を搭載し、これを所定の条件に設定された電気炉に挿
入してリフロー半田付けを行った。これにより、圧電素
子５は振動板４に有効に接合される。
【００３６】ここで、リフローの温度としてはクリーム
半田の共晶点より３０〜４０〔℃〕高く設定する必要が
あり、本実施例では、接合保持時間として、２２０
〔℃〕で約５秒間に設定して接合した。
半田の共晶点より３０〜４０〔℃〕高く設定する必要が
あり、本実施例では、接合保持時間として、２２０
〔℃〕で約５秒間に設定して接合した。
【００３７】リフローの加熱方法としては電気抵抗熱方
式（電気炉）、遠赤外線加熱方式（ＩＲ）、飽和蒸気加
熱方式（ＶＰＳ）、熱風加熱方式（エアリフロー）等が
実用化されており、今回は電気炉での加熱方式を採用し
た。
式（電気炉）、遠赤外線加熱方式（ＩＲ）、飽和蒸気加
熱方式（ＶＰＳ）、熱風加熱方式（エアリフロー）等が
実用化されており、今回は電気炉での加熱方式を採用し
た。
【００３８】以上の条件で製作したインクジェット式記
録ヘッドを各種の環境で評価した。比較品としては同様
な形状品を二液性の熱硬化型エポキシ樹脂（主剤：硬化
剤＝１００：３０）を用いて１２０〔℃〕、三時間の条
件で接着して成るインクジェット式記録ヘッドを供試し
た。
録ヘッドを各種の環境で評価した。比較品としては同様
な形状品を二液性の熱硬化型エポキシ樹脂（主剤：硬化
剤＝１００：３０）を用いて１２０〔℃〕、三時間の条
件で接着して成るインクジェット式記録ヘッドを供試し
た。
【００３９】この場合、評価試験は以下の条件で行っ
た。 ．剥離試験：４５℃，９０％ＲＨに１６Ｈ保持後に１
００Ｖを印加する。 ．耐久試験：２３℃，５０％ＲＨで１００Ｖ（周波数
＝４ｋＨｚ）を印加して２０億ドットまで繰り返し作動
させる（前後でのインク速度も測定）。
た。 ．剥離試験：４５℃，９０％ＲＨに１６Ｈ保持後に１
００Ｖを印加する。 ．耐久試験：２３℃，５０％ＲＨで１００Ｖ（周波数
＝４ｋＨｚ）を印加して２０億ドットまで繰り返し作動
させる（前後でのインク速度も測定）。
【００４０】その結果を表１（図２）に示す。本発明品
は、上記の剥離試験において、高湿環境下の放置でも
問題がなく、また、の耐久試験においても耐久試験後
のインク速度も劣化せず、良好な結果を得た。
は、上記の剥離試験において、高湿環境下の放置でも
問題がなく、また、の耐久試験においても耐久試験後
のインク速度も劣化せず、良好な結果を得た。
【００４１】一方、比較品（従来例）の場合は、の剥
離試験において、高湿環境下の放置後の電圧印加テスト
では貼着した圧電素子の７０％が接着部で剥離を生じて
いることが確認された。また、の耐久試験において
も、２３℃，５０％ＲＨの環境で、２０億回の変形を繰
り返すと、インク速度が大幅に低下した。これは、２３
〔℃〕でも、変形の繰り返しによって接着部の吸湿の進
行とそれによる接着剤の疲労からくる微小な亀裂が発生
したためと推定することができる。
離試験において、高湿環境下の放置後の電圧印加テスト
では貼着した圧電素子の７０％が接着部で剥離を生じて
いることが確認された。また、の耐久試験において
も、２３℃，５０％ＲＨの環境で、２０億回の変形を繰
り返すと、インク速度が大幅に低下した。これは、２３
〔℃〕でも、変形の繰り返しによって接着部の吸湿の進
行とそれによる接着剤の疲労からくる微小な亀裂が発生
したためと推定することができる。
【００４２】なお、上記の試験以外にも種々の印字試験
を実施したが、本発明品が従来方法品に比べて性能が劣
化する現象は皆無であった。
を実施したが、本発明品が従来方法品に比べて性能が劣
化する現象は皆無であった。
【００４３】また、上記実施例は、シリコン基板とガラ
ス振動板の組合せについて実施した場合の例であるが、
振動板４が金属であっても、本発明は同様に適用するこ
とができる。
ス振動板の組合せについて実施した場合の例であるが、
振動板４が金属であっても、本発明は同様に適用するこ
とができる。
【００４４】
【発明の効果】以上のように、本発明によると、クリー
ム半田を用いてリフロー半田付けの方法で振動板と圧電
素子とを接合するようにしたので、その接着部は耐湿
性，耐熱性，耐久性および導電性に優れ、更には機械的
剛性に優れており、このため、インクジェット式記録ヘ
ッドとしての高品位印字と高信頼性とを長期にわたって
維持し得るという従来にない優れたインクジェット式記
録ヘッドを提供することができる。
ム半田を用いてリフロー半田付けの方法で振動板と圧電
素子とを接合するようにしたので、その接着部は耐湿
性，耐熱性，耐久性および導電性に優れ、更には機械的
剛性に優れており、このため、インクジェット式記録ヘ
ッドとしての高品位印字と高信頼性とを長期にわたって
維持し得るという従来にない優れたインクジェット式記
録ヘッドを提供することができる。
【図１】本発明の一実施例を示すインクジェット式記録
ヘッドの振動板と圧電素子の接着部分の状況を示す縦断
面図である。
ヘッドの振動板と圧電素子の接着部分の状況を示す縦断
面図である。
【図２】図１に示す実施例の試験結果（従来例との比
較）を示す図表である。
較）を示す図表である。
【図３】従来例を示す縦断面図である。
【図４】他の従来例における振動板を取り除いた場合の
状態を示す一部省略した平面図である。
状態を示す一部省略した平面図である。
【図５】図３の従来例に於ける振動板と圧電素子の接着
部を示す拡大説明図である。
部を示す拡大説明図である。
１ インク供給路 ２ インク加圧室 ３ 基板 ３Ａ 凹溝 ４ 振動板 ４Ａ 電極面 ５ 圧電素子 Ｋ クリーム半田
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平６−155069（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−337679（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−318170（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−318169（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−228685（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−185278（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−22595（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−117794（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−117793（ＪＰ，Ａ)
Claims (4)
- 【請求項１】 インク供給路およびインク加圧室用の凹
溝を備えた基板と、この基板の前記インク供給路とイン
ク加圧室に対応して装備され且つ前記インク供給路とイ
ンク加圧室の一方の面を構成する振動板と、この振動板
上に装着された圧電素子とを有するインクジェット式記
録ヘッドにおいて、 この圧電素子を、クリーム半田を用いて前記振動板上の
電極面に接合したことを特徴とするインクジェット式記
録ヘッド。 - 【請求項２】 前記圧電素子は、前記振動板にリフロー
半田付けの手法によりクリーム半田を用いて接合されて
いることを特徴とした請求項１記載のインクジェット式
記録ヘッド。 - 【請求項３】 前記クリーム半田は、前記圧電素子の電
極が金製の場合，Ｐｂ−６３％Ｓｎ合金（重量比）のも
のを使用することを特徴とした請求項１又は２記載のイ
ンクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項４】 前記クリーム半田は、前記圧電素子の電
極が銀製もしくは銀合金製の場合，Ｐｂ−６２％Ｓｎ２
％のＡｇ合金（重量比）のものを使用することを特徴と
した請求項１又は２記載のインクジェット式記録ヘッ
ド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7011580A JP2716389B2 (ja) | 1995-01-27 | 1995-01-27 | インクジェット式記録ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7011580A JP2716389B2 (ja) | 1995-01-27 | 1995-01-27 | インクジェット式記録ヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08197730A JPH08197730A (ja) | 1996-08-06 |
| JP2716389B2 true JP2716389B2 (ja) | 1998-02-18 |
Family
ID=11781856
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7011580A Expired - Fee Related JP2716389B2 (ja) | 1995-01-27 | 1995-01-27 | インクジェット式記録ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2716389B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002141576A (ja) * | 2000-11-02 | 2002-05-17 | Fujitsu Ltd | ピエゾ素子と電極との接合方法及び該接合方法を使用したピエゾマイクロアクチュエータ |
| JP5851677B2 (ja) | 2009-08-12 | 2016-02-03 | ローム株式会社 | インクジェットプリンタヘッド |
-
1995
- 1995-01-27 JP JP7011580A patent/JP2716389B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08197730A (ja) | 1996-08-06 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6928731B2 (en) | Ultrasonic bonding process for making a microfluid device | |
| JPH11268286A (ja) | インクジェットヘッド | |
| JP2716389B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッド | |
| JP3166268B2 (ja) | インクジェット式印字ヘッド及びその製造方法 | |
| JP3972639B2 (ja) | インクジェットヘッドの構成部材の接合方法 | |
| US20060050109A1 (en) | Low bonding temperature and pressure ultrasonic bonding process for making a microfluid device | |
| JP4129614B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 | |
| JP4214798B2 (ja) | インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 | |
| JPH10230611A (ja) | 液体噴射記録ヘッドおよびその製造方法 | |
| JP3218664B2 (ja) | インクジェット印字ヘッド | |
| US6474785B1 (en) | Flextensional transducer and method for fabrication of a flextensional transducer | |
| JPH10278263A (ja) | インクジェット記録ヘッド | |
| JP3332563B2 (ja) | インクジェット記録ヘッドの製造方法 | |
| JP3622484B2 (ja) | 圧電アクチュエータ及びこれを用いたインクジェットヘッド | |
| JP2822963B2 (ja) | インクジェット記録ヘッド | |
| JP4408582B2 (ja) | インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置 | |
| JP4145481B2 (ja) | インクジェットヘッドの製造方法、インクジェットヘッド、インクジェット記録装置及び画像形成装置 | |
| JPH05193131A (ja) | インクジェットヘッド | |
| JPH03173652A (ja) | 圧電素子の貼着方法 | |
| JP2000052545A (ja) | インクジェットヘッド | |
| JPH05193130A (ja) | インクジェットヘッドユニット | |
| JP2940225B2 (ja) | インクジェット記録ヘッドの製造方法 | |
| JP3108975B2 (ja) | インクジェットヘッド | |
| JPH06106724A (ja) | インクジェットヘッド | |
| JP2000108343A (ja) | インクジェットヘッド |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19971007 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071107 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081107 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081107 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091107 Year of fee payment: 12 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |