JP2714200B2 - インクジェット記録ヘッドの製造方法 - Google Patents
インクジェット記録ヘッドの製造方法Info
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- JP2714200B2 JP2714200B2 JP2003479A JP347990A JP2714200B2 JP 2714200 B2 JP2714200 B2 JP 2714200B2 JP 2003479 A JP2003479 A JP 2003479A JP 347990 A JP347990 A JP 347990A JP 2714200 B2 JP2714200 B2 JP 2714200B2
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- ink jet
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、インクジェット記録ヘッドの製造方法に関
する。
する。
インクジェット記録方式に用いられる記録ヘッドは、
インク液滴を形成するための一般に複数の微細な吐出口
（オリフィスともいう），オリフィスに連通するインク
液路，各インク液路へインクを供給するための共通液
室、およびインク液路に対応する部分に設けられる吐出
エネルギー発生素子を備えている。
インク液滴を形成するための一般に複数の微細な吐出口
（オリフィスともいう），オリフィスに連通するインク
液路，各インク液路へインクを供給するための共通液
室、およびインク液路に対応する部分に設けられる吐出
エネルギー発生素子を備えている。
多数のオリフィスを精度良く配設形成する方法として
は、例えば、感光性樹脂によって基板上にインク液路形
成用の多数の溝を形成し、その溝が形成された面上に基
板（以下、天板と称す）を接着剤を用いて接合し、管路
としての流路を形成して多数のオリフィスを精度良く配
設形成する方法がある。
は、例えば、感光性樹脂によって基板上にインク液路形
成用の多数の溝を形成し、その溝が形成された面上に基
板（以下、天板と称す）を接着剤を用いて接合し、管路
としての流路を形成して多数のオリフィスを精度良く配
設形成する方法がある。
ところで、以上のようにして製造された記録ヘッドに
ついて、出荷時等の検査においてオリフィスやオリフィ
ス近傍を観察しインク液滴の吐出具合などを調べること
がある。
ついて、出荷時等の検査においてオリフィスやオリフィ
ス近傍を観察しインク液滴の吐出具合などを調べること
がある。
この観察はオリフィスの各々について行なわれ、ま
た、不具合等が仮に発見された場合には、例えばこのオ
リフィスに対応する吐出エネルギー発生素子を駆動して
インク液滴を吐出し、さらに詳細に吐出具合や記録媒体
に付着するインクドットの状態を調べる場合もある。さ
らに、不具合等の生じたオリフィスを特定し、何らかの
手当を施す場合もある。
た、不具合等が仮に発見された場合には、例えばこのオ
リフィスに対応する吐出エネルギー発生素子を駆動して
インク液滴を吐出し、さらに詳細に吐出具合や記録媒体
に付着するインクドットの状態を調べる場合もある。さ
らに、不具合等の生じたオリフィスを特定し、何らかの
手当を施す場合もある。
このように、オリフィスの観察等においてオリフィス
を特定する場合、以下のような問題点があった。
を特定する場合、以下のような問題点があった。
すなわち、オリフィスの観察等では、オリフィスを一
番端から数えるため、特に多数のオリフィスを有するヘ
ッドにおいてはオリフィスをまちがえやすい。また、オ
リフィスを特定するのに時間がかかり、結果として検査
工程のコストアップになるという問題があった。
番端から数えるため、特に多数のオリフィスを有するヘ
ッドにおいてはオリフィスをまちがえやすい。また、オ
リフィスを特定するのに時間がかかり、結果として検査
工程のコストアップになるという問題があった。
本発明は、上述した従来の記録ヘッド検査における問
題点を解消するためになされたものであり、吐出口が配
列される吐出面に吐出口の所定の個数毎にマークを設け
ることにより、吐出口の特定を容易に行なうことがで
き、また、上記マークを記録ヘッドの製造工程において
設けることにより、例えばインク液滴の吐出と干渉しな
いような位置に正確に上記マークを設けることのできる
インクジェット記録ヘッドの製造方法を提供することを
目的とする。
題点を解消するためになされたものであり、吐出口が配
列される吐出面に吐出口の所定の個数毎にマークを設け
ることにより、吐出口の特定を容易に行なうことがで
き、また、上記マークを記録ヘッドの製造工程において
設けることにより、例えばインク液滴の吐出と干渉しな
いような位置に正確に上記マークを設けることのできる
インクジェット記録ヘッドの製造方法を提供することを
目的とする。
そのために、本発明では、インク液滴を形成するため
の複数の吐出口を有し、該吐出口からインク液滴を吐出
して記録を行うためのインクジェット記録ヘッドの製造
方法において、前記吐出口が配設される吐出面を構成す
る工程は、前記吐出面に所定のマークを設ける工程を含
むことを特徴とする。
の複数の吐出口を有し、該吐出口からインク液滴を吐出
して記録を行うためのインクジェット記録ヘッドの製造
方法において、前記吐出口が配設される吐出面を構成す
る工程は、前記吐出面に所定のマークを設ける工程を含
むことを特徴とする。
以上の構成によれば、複数の吐出口が配列される吐出
面に吐出口の所定個数おきにマークを設けることによ
り、このマークを基準として吐出口の位置を計数するこ
とができ、吐出口の特定を容易に行なうことが可能とな
る。
面に吐出口の所定個数おきにマークを設けることによ
り、このマークを基準として吐出口の位置を計数するこ
とができ、吐出口の特定を容易に行なうことが可能とな
る。
また、上記マークを、記録ヘッド製造工程中のインク
吐出口およびインク液路形成工程において形成すること
により、吐出口との位置関係を正確にとることができ、
このマークによってインク吐出に悪影響を及ぼすことが
ない。
吐出口およびインク液路形成工程において形成すること
により、吐出口との位置関係を正確にとることができ、
このマークによってインク吐出に悪影響を及ぼすことが
ない。
以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明す
る。
る。
第１図は、本発明の一実施例に関する製造方法によっ
て製造されたいわゆるフルラインタイプのインクジェッ
ト記録ヘッドを示す斜視図である。この記録ヘッドは、
約3,000個以上のオリフィスを有し、このオリフィスか
ら吐出されるインク液滴によって記録を行なうものであ
る。
て製造されたいわゆるフルラインタイプのインクジェッ
ト記録ヘッドを示す斜視図である。この記録ヘッドは、
約3,000個以上のオリフィスを有し、このオリフィスか
ら吐出されるインク液滴によって記録を行なうものであ
る。
図において、１は、吐出エネルギーを発生する電気熱
変換素子およびこれら素子を駆動するための機能素子等
を配設する基体であり、この基体はシリコンウエハより
なる。２はインク液路の構成部材となる活性エネルギー
線硬化性材料層、３はガラス材で構成されている天板、
４はインク液滴を形成するための吐出口（オリフィ
ス）、５はインクタンクから記録ヘッドにインクを供給
するためのインク供給口、６は、オリフィスの10個おき
に設けられる溝であり、この溝をオリフィス特定用のマ
ークとし、これらマークを基準としてオリフィスを計数
することにより、少ない計数でオリフィスを特定するこ
とができる。
変換素子およびこれら素子を駆動するための機能素子等
を配設する基体であり、この基体はシリコンウエハより
なる。２はインク液路の構成部材となる活性エネルギー
線硬化性材料層、３はガラス材で構成されている天板、
４はインク液滴を形成するための吐出口（オリフィ
ス）、５はインクタンクから記録ヘッドにインクを供給
するためのインク供給口、６は、オリフィスの10個おき
に設けられる溝であり、この溝をオリフィス特定用のマ
ークとし、これらマークを基準としてオリフィスを計数
することにより、少ない計数でオリフィスを特定するこ
とができる。
第２図（Ａ）〜（Ｅ）は、第１図に示したインクジェ
ット記録ヘッドを製造するための本発明の一実施例に関
する製造方法の各工程を示す斜視図である。以下、これ
らの図面を参照しつつ記録ヘッドの製造方法を説明す
る。
ット記録ヘッドを製造するための本発明の一実施例に関
する製造方法の各工程を示す斜視図である。以下、これ
らの図面を参照しつつ記録ヘッドの製造方法を説明す
る。
第２図（Ａ）は、吐出エネルギー発生素子を備えた基
体を示す斜視図である。この吐出エネルギー発生素子７
は、基体１のインク液路形成予定部位に対する部分に設
けられている。この基体１には、例えばガラス、シリコ
ーンウエハ等を用いることができ、また吐出エネルギー
発生素子７には、例えば圧電素子、発熱素子などを用い
ることができるが、本例では、上述の如く基体としてシ
リコンウエハを用い、素子７としては電気熱変換素子を
用いる。
体を示す斜視図である。この吐出エネルギー発生素子７
は、基体１のインク液路形成予定部位に対する部分に設
けられている。この基体１には、例えばガラス、シリコ
ーンウエハ等を用いることができ、また吐出エネルギー
発生素子７には、例えば圧電素子、発熱素子などを用い
ることができるが、本例では、上述の如く基体としてシ
リコンウエハを用い、素子７としては電気熱変換素子を
用いる。
なお、基体１には電気熱変換素子７を駆動するための
機能素子および電極配線が設けられている。
機能素子および電極配線が設けられている。
次に、第２図（Ｂ）に示すように、基体１上に液路お
よびその全ての液路と連通する共通液室に対応したパタ
ーンで、さらにはオリフィス10個おきオリフィスに隣接
する溝のパターンで、溶解除去可能な固体層８をパター
ン形成する。
よびその全ての液路と連通する共通液室に対応したパタ
ーンで、さらにはオリフィス10個おきオリフィスに隣接
する溝のパターンで、溶解除去可能な固体層８をパター
ン形成する。
この固体層８としては、例えばナフトキノンジアジド
誘導体とオルソクレゾールノボラック樹脂を主成分とす
るポジ型レジスト材料、あるいはポジ型ドライフィルム
レジストなどを用いることができる。固体層８のパター
ン形成は、例えばフォトリソグラフィーによって厚さ20
μｍ〜100μｍ、流路巾20μｍ〜100μｍの程度にパター
ン形成することにより行なう。また、固体層８は、その
パターン形成後に任意の溶媒等によって溶解除去できる
ものであれば、それ以外の化学的性質は特に限定されな
いので、ポジ型の化学反応形態はいずれであっても良
い。なお、共通液室形成予定部位への固体層８の形成は
必ずしも必要というものではなく、例えば作製しようと
するヘッドの種類、引き続く加工工程などに応じて、形
成するかどうか選択すればよい。
誘導体とオルソクレゾールノボラック樹脂を主成分とす
るポジ型レジスト材料、あるいはポジ型ドライフィルム
レジストなどを用いることができる。固体層８のパター
ン形成は、例えばフォトリソグラフィーによって厚さ20
μｍ〜100μｍ、流路巾20μｍ〜100μｍの程度にパター
ン形成することにより行なう。また、固体層８は、その
パターン形成後に任意の溶媒等によって溶解除去できる
ものであれば、それ以外の化学的性質は特に限定されな
いので、ポジ型の化学反応形態はいずれであっても良
い。なお、共通液室形成予定部位への固体層８の形成は
必ずしも必要というものではなく、例えば作製しようと
するヘッドの種類、引き続く加工工程などに応じて、形
成するかどうか選択すればよい。
次に、第２図（Ｃ）に示すように、固体層８が形成さ
れた基体１の面に活性エネルギー線硬化性材料２を被覆
する。この活性エネルギー線硬化性材料２は、流路壁等
の構成材であるので、基体との接着性、機械的強度、耐
薬品性の優れた物質を選ぶことが望ましい。また、この
硬化性材料２は、固体層８上に被覆したときに固体層８
を容易に溶解するものであってはならない。
れた基体１の面に活性エネルギー線硬化性材料２を被覆
する。この活性エネルギー線硬化性材料２は、流路壁等
の構成材であるので、基体との接着性、機械的強度、耐
薬品性の優れた物質を選ぶことが望ましい。また、この
硬化性材料２は、固体層８上に被覆したときに固体層８
を容易に溶解するものであってはならない。
第２図（Ｄ）は、共通液室となるべき掘り込み９が形
成された天板を示す斜視図である。この天板３の上面側
にはインク供給口５が設けられる。天板３の材料には、
例えば金属、ガラス、プラスチック、セラミックス等を
用いることができ、またその材質に適した加工法に従っ
て掘り込み９およびインク供給口５を形成すればよい。
成された天板を示す斜視図である。この天板３の上面側
にはインク供給口５が設けられる。天板３の材料には、
例えば金属、ガラス、プラスチック、セラミックス等を
用いることができ、またその材質に適した加工法に従っ
て掘り込み９およびインク供給口５を形成すればよい。
次に、第２図（Ｅ）に示すように、第２図（Ｃ）に示
した活性エネルギー線硬化性材料２の上面と第２図
（Ｄ）に示した天板３とを接合する。その後、共通液室
形成予定部位をマスクし、活性エネルギー線を照射す
る。この照射を行なった後、現像液にて現像処理する。
した活性エネルギー線硬化性材料２の上面と第２図
（Ｄ）に示した天板３とを接合する。その後、共通液室
形成予定部位をマスクし、活性エネルギー線を照射す
る。この照射を行なった後、現像液にて現像処理する。
上記接着においては、双方の接合面はそり等が少ない
ことが必要であるが、表面は平滑であることは必ずしも
必要とされない。また、接着性向上のための物理的，化
学的処理がされたものであってもよい。
ことが必要であるが、表面は平滑であることは必ずしも
必要とされない。また、接着性向上のための物理的，化
学的処理がされたものであってもよい。
次に、上記接合体のオリフィスが形成される側の面を
切断、研摩し、吐出エネルギー発生素子７からオリフィ
ス５までの距離を正確な所定の距離とし、かつ平滑なオ
リフィス面（吐出面）に仕上げる。次に発インク処理、
金属の蒸着等のメタライジング処理等を行なう。以上の
ような研摩および他の処理工程を行なう際には、流路内
およびオリフィス10個おきに設けられる溝には固体層８
が充填されており、その研磨および他の処理は流路の内
壁に影響を与えることがない。なお、必要ならば、他の
部分の切断を行なってもよいし、必要がなければ上記研
磨および他の処理を行なわなくともよい。また、上記切
断には、例えば半導体製造用の精密切断装置などを用い
ることが好ましい。
切断、研摩し、吐出エネルギー発生素子７からオリフィ
ス５までの距離を正確な所定の距離とし、かつ平滑なオ
リフィス面（吐出面）に仕上げる。次に発インク処理、
金属の蒸着等のメタライジング処理等を行なう。以上の
ような研摩および他の処理工程を行なう際には、流路内
およびオリフィス10個おきに設けられる溝には固体層８
が充填されており、その研磨および他の処理は流路の内
壁に影響を与えることがない。なお、必要ならば、他の
部分の切断を行なってもよいし、必要がなければ上記研
磨および他の処理を行なわなくともよい。また、上記切
断には、例えば半導体製造用の精密切断装置などを用い
ることが好ましい。
次に、流路とオリフィス10個おきの溝を設けるため
に、充填されている固体層８を溶解除去し、その内部を
洗浄することによって、液路とオリフィス面上に溝を設
けることが出来る。
に、充填されている固体層８を溶解除去し、その内部を
洗浄することによって、液路とオリフィス面上に溝を設
けることが出来る。
固体層８の溶解除去および洗浄としては、例えば有機
溶剤に浸漬して超音波洗浄槽中で処理することにより、
短時間に完了させることができる。
溶剤に浸漬して超音波洗浄槽中で処理することにより、
短時間に完了させることができる。
なお、以上の研磨および他の処理工程ならびに固体層
８の溶解除去工程は、天板３を接合する工程の前に行な
ってもかまわない。
８の溶解除去工程は、天板３を接合する工程の前に行な
ってもかまわない。
以上説明した本発明の方法により、第１図に示したイ
ンクジェット記録ヘッドを得ることができる。
ンクジェット記録ヘッドを得ることができる。
第３図は、上記実施例で示した製造方法によって製造
されたフルラインタイプの記録ヘッドの他の実施例を示
す斜視図である。
されたフルラインタイプの記録ヘッドの他の実施例を示
す斜視図である。
本実施例では、オリフィスを簡単に特定するための溝
を、オリフィスの10個,100個,1000個おきにそれぞれ溝
の数を変えての形態を異ならせたものとする。これによ
り、オリフィスの特定をより速く行なうことが可能とな
る。
を、オリフィスの10個,100個,1000個おきにそれぞれ溝
の数を変えての形態を異ならせたものとする。これによ
り、オリフィスの特定をより速く行なうことが可能とな
る。
以上の説明から明らかなように、本発明によれば複数
の吐出口が配列される吐出面に吐出口の所定個数おきに
溝等のマークを設けることにより、このマークを基準と
して吐出口の位置を計数することができ、吐出口の特定
を容易に行なうことが可能となる。
の吐出口が配列される吐出面に吐出口の所定個数おきに
溝等のマークを設けることにより、このマークを基準と
して吐出口の位置を計数することができ、吐出口の特定
を容易に行なうことが可能となる。
また、上記マークを、記録ヘッド製造工程中のインク
吐出口およびインク液路形成工程において、形成するこ
とにより、吐出口との位置関係を正確にとることがで
き、このマークによってインク吐出に悪影響を及ぼすこ
とがない。
吐出口およびインク液路形成工程において、形成するこ
とにより、吐出口との位置関係を正確にとることがで
き、このマークによってインク吐出に悪影響を及ぼすこ
とがない。
以上の結果、例えば吐出口検査工程において吐出口の
特定を速やかに行なうことができ、検査のための時間を
短縮化することができる。この様に、本発明は、インク
ジェット記録ヘッドの吐出口という非常に緻密に配され
たものに対して所定の個数毎にマークを作るため吐出口
面を作る際に同時にマークを作り込むものであり、この
様な構成を採ることによってインクジェット記録ヘッド
の印字品位を落とすことなく確実に所望の位置にマーク
を形成することができる。
特定を速やかに行なうことができ、検査のための時間を
短縮化することができる。この様に、本発明は、インク
ジェット記録ヘッドの吐出口という非常に緻密に配され
たものに対して所定の個数毎にマークを作るため吐出口
面を作る際に同時にマークを作り込むものであり、この
様な構成を採ることによってインクジェット記録ヘッド
の印字品位を落とすことなく確実に所望の位置にマーク
を形成することができる。
第１図は、本発明の一実施例に関するインクジェット記
録ヘッドの斜視図、 第２図（Ａ）〜（Ｅ）は、第１図に示したインクジェッ
ト記録ヘッドを製造するための方法の一例を示す斜視
図、 第３図は、本発明の他の実施例に関するインクジェット
記録ヘッドの斜視図である。 １……基体、 ２……活性エネルギー線硬化性材料、 ３……天板、 ４……オリフィス、 ５……インク供給口、 ６……オリフィス認識用溝、 ７……吐出エネルギー発生素子、 ８……固体層、 ９……掘り込み。
録ヘッドの斜視図、 第２図（Ａ）〜（Ｅ）は、第１図に示したインクジェッ
ト記録ヘッドを製造するための方法の一例を示す斜視
図、 第３図は、本発明の他の実施例に関するインクジェット
記録ヘッドの斜視図である。 １……基体、 ２……活性エネルギー線硬化性材料、 ３……天板、 ４……オリフィス、 ５……インク供給口、 ６……オリフィス認識用溝、 ７……吐出エネルギー発生素子、 ８……固体層、 ９……掘り込み。
Claims (3)
- 【請求項１】インク液滴を形成するための複数の吐出口
を有し、該吐出口からインク液滴を吐出して記録を行う
ためのインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
前記吐出口が配設される吐出面を構成する工程は、前記
吐出面に所定のマークを設ける工程を含むことを特徴と
するインクジェット記録ヘッドの製造方法。 - 【請求項２】前記吐出口面に所定のマークを設ける工程
は、前記吐出口および前記吐出口に連通するインク液路
の形成工程と同時に行われる請求項１に記載のインクジ
ェット記録ヘッドの製造方法。 - 【請求項３】前記吐出口、インク液路およびマークの形
成は溶解除去可能な固体層を用いて行われる請求項２に
記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003479A JP2714200B2 (ja) | 1990-01-12 | 1990-01-12 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
| EP90303137A EP0389296B1 (en) | 1989-03-24 | 1990-03-23 | Ink jet head substrate and ink jet head having the same |
| AT90303137T ATE123705T1 (de) | 1989-03-24 | 1990-03-23 | Tintendruckkopf-substrat und tintendruckkopf mit einem solchen substrat. |
| DE69020021T DE69020021T2 (de) | 1989-03-24 | 1990-03-23 | Tintendruckkopf-Substrat und Tintendruckkopf mit einem solchen Substrat. |
| US07/849,809 US5237343A (en) | 1989-03-24 | 1992-03-11 | Ink jet head substrate, ink jet head having same and manufacturing method for ink jet head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003479A JP2714200B2 (ja) | 1990-01-12 | 1990-01-12 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03208659A JPH03208659A (ja) | 1991-09-11 |
| JP2714200B2 true JP2714200B2 (ja) | 1998-02-16 |
Family
ID=11558477
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2003479A Expired - Fee Related JP2714200B2 (ja) | 1989-03-24 | 1990-01-12 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2714200B2 (ja) |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5698470U (ja) * | 1979-12-27 | 1981-08-04 | ||
| JPS6238174U (ja) * | 1985-08-26 | 1987-03-06 | ||
| JPS6364758A (ja) * | 1986-09-05 | 1988-03-23 | Ricoh Co Ltd | 荷電偏向型インクジエツト記録装置 |
-
1990
- 1990-01-12 JP JP2003479A patent/JP2714200B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03208659A (ja) | 1991-09-11 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |