JP2705736B2 - ロボツトのハンド機構 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、ロボツトにおけるア
ーム部の先端に取り付けられ、所定の要素運動を実行す
るためのモジユールを独立した状態で互いに組み合わせ
可能に備え、これらモジユールの中の任意のモジユール
を適宜組み合わせる事により、所望の要素運動を行わせ
る様に構成されたロボツトのハンド機構、特に、コンプ
ライアンスモジユールを備えたロボツトのハンド機構に
関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、ロボツトにおけるフインガ部
とアーム部との間に介設され、フインガ部に所定の姿勢
変換動作を行なわせるロボツトのハンド機構には、反転
動作、シフト動作、旋回動作、クツシヨン動作、コンプ
ライアンス動作の各要素運動を任意に組み合わせた状態
でフインガ部の姿勢変換動作を行なわせる構成が、普通
に採用されている。しかしながら、このような従来のハ
ンド機構においては、一つのハンド機構において、固有
の一つの姿勢変換動作をフインガ部に行なわせる構成が
採用されているため、フインガ部に他の姿勢変換動作を
行なわせる必要が生じた場合には、それ毎に、設計を行
ない、ハンド機構を全体として取り替えるようなされて
いる。

【０００３】例えば、具体的には、同一のピンを同一の
穴に挿入する際において、この穴が水平面に形成されて
いる場合と、傾斜面に形成されている場合とでは、フイ
ンガ部の構成は同一であるものの、ハンド機構の構成は
夫々に固有な状態で設計され、製造されなければならな
いことになる。このように、従来のハンド機構において
は、フインガ部における姿勢変換動作が異なる毎に、設
計変更が行なわれ、その姿勢変換動作に固有な構成で製
造されなければならないため、姿勢変換動作を変更する
ために、設計変更等の時間が長くかかる問題点が指摘さ
れると共に、各姿勢変換動作に対する機構の共通化がな
されておらず、経済性の観点からも問題があるものであ
る。

【０００４】この問題を解決するものとして、本願出願
人と同一出願人による先願として、特願平１−１３１４
０２号及び特願平１−１３１４０３号がある。これらの
先願に開示されたハンド機構は、ロボツトにおけるフイ
ンガ部とアーム部との間に介設され、フインガ部に所定
の姿勢変換動作を行わせるもので、反転動作、シフト動
作、旋回動作、クツシヨン動作、コンプライアンス動作
の各要素運動を行わせるためのモジユールを独立した状
態で、互いに組み合わせ可能に備え、これらモジユール
の中の任意のモジユールを組み合わせる事により、フイ
ンガ部に所定の姿勢変更動作を行わせる事を特徴として
いる。

【０００５】また、この先願に係わるハンド機構におい
ては、前記各モジユールの取付面と、ハンド部の取付面
と、フインガ部の取付面とには、夫々に、所定のピッチ
で離間した取付穴が形成されると共に、各モジユールを
相互に所定の取付状態で取り付けるための位置規制手段
が設けられる事を特徴としている。以上の様に構成され
るロボツトのハンド機構においては、反転動作、シフト
動作、旋回動作、クツシヨン動作、コンプライアンス動
作の各要素運動を行うためのモジユールを独立した状態
で、互いに組み合わせ可能に備えているので、フインガ
部における姿勢変換動作に必要となる各要素運動を担当
するモジユールを単に組み合わせるのみで、何らハンド
機構の設計変更を必要とする事無く、フインガ部におけ
る所要の姿勢変換動作を達成することが出来る事にな
る。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】以上の様に構成される
先願に係わるハンド機構においては、複数のモジユール
の組み合わせを行うため、各モジユールの寸法誤差、重
量、高さ寸法が積み重ねられる事となる。この結果、所
定の機能を満たす様にモジユールを組み合わせると、重
量や高さ寸法あるいは取り付け精度等が許容される値を
越えてしまい、このようなハンド機構が実質的に使用す
ることが出来ない虞がある。このことから、複数のモジ
ユールの組み合わせで構成されるハンド機構において
は、個々のモジユールにおいて、軽量化、高精度化、小
型化が要求されるものである。この発明は上述した課題
に鑑みなされたもので、この発明の目的は、軽量化、高
精度化、小型化が達成されるコンプライアンスモジユー
ルを備えたロボツトのハンド機構を提供することであ
る。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上述した課題を解決し、
目的を達成するため、この発明に係わるロボツトのハン
ド機構は、ロボツトにおけるアーム部の先端に取り付け
られ、所定の要素運動を実行するためのモジユールを独
立した状態で互いに組み合わせ可能に備え、これらモジ
ユールの中の任意のモジユールを適宜組み合わせる事に
より、所望の要素運動を行わせる様に構成されたハンド
機構において、上取付板と、この上取付板に間隔を置い
て対向する様に取り付けられた下取付板と、これら上取
付板と下取付板との互いの中心軸線の整合を弾性的に維
持するコンプライアンス手段とを備えるコンプライアン
スモジユールを具備し、前記コンプライアンス手段は、
前記下取付板に固定され、外周部が上取付板の外周下面
まで延出する第１の整合部材と、前記上取付板に固定さ
れ、外周が第１の整合部材の外周と下取付板の外周との
間に延出する第２の整合部材と、第１及び第２の整合部
材間に介設され、両者の中心軸線に直交する面内の相対
移動を許容するベアリングと、第１及び第２の整合部材
の互いの中心軸線が整合する様に付勢する付勢手段とを
備える事を特徴としている。

【０００８】また、この発明に係わるロボツトのハンド
機構において、前記付勢手段は、第１及び第２の整合部
材の外周に上下に整列した状態で複数対形成された凹部
と、各対の凹部に上端及び下端が夫々収納された支持ピ
ンと、各支持ピンを対応する凹部内に弾性的に収納され
る様に付勢する付勢部材とを備える事を特徴としてい
る。また、この発明に係わるロボツトのハンド機構にお
いて、前記付勢部材は、第１の整合部材の外周面に形成
された円周溝内に嵌入されると共に、各支持ピンの上部
に形成された上切り溝にも外方から嵌入される第１の付
勢リングと、第２の整合部材の外周面に形成された円周
溝内に嵌入されると共に、各支持ピンの下部に形成され
た下切り溝にも外方から嵌入される第２の付勢リングと
から構成される事を特徴としている。また、この発明に
係わるロボツトのハンド機構において、前記上取付板と
下取付板との間には、両者を互いに軸方向に沿つて離間
する様に付勢するコイルスプリングが介設され、このコ
イルスプリングにより、上取付板と下取付板との互いの
中心軸線が所定角度をなす様にずれる事を弾性的に吸収
する事を特徴としている。また、この発明に係わるロボ
ツトのハンド機構は、前記上取付板と下取付板とを互い
にロックするロック手段を更に具備する事を特徴として
いる。

【０００９】

【作用】以上のように構成されるロボツトのハンド機構
においては、コンプライアンスモジユールは、上取付板
とこれに間隔を置いて対向する様に取り付けられた下取
付板と、これら上取付板と下取付板との互いの中心軸線
の整合を弾性的に維持するコンプライアンス手段とを備
え、このコンプライアンス手段は、前記下取付板に固定
され、外周部が上取付板の外周下面まで延出する第１の
整合部材と、前記上取付板に固定され、外周が第１の整
合部材の外周と下取付板の外周との間に延出する第２の
整合部材と、第１及び第２の整合部材間に介設され、両
者の中心軸線に直交する面内の相対移動を許容するベア
リングと、第１及び第２の整合部材の互いの中心軸線が
整合する様に付勢する付勢手段とを備えているので、上
述した要求を満たすことが出来る事になる。

【００１０】

【実施例】以下に、この発明に係わるロボツトのハンド
機構の一実施例の構成を添付図面を参照して、詳細に説
明する。 （ハンド機構の概略構成）この一実施例のハンド機構１
０は、図１乃至図４に示すように、ロボツト１２（図５
に示す）のアーム部としてのｚ軸アーム１４の先端に取
り付けられ、所定の要素運動を実行するためのモジユー
ルを独立した状態で互いに組み合わせ可能に備え、これ
らモジユールの中の任意のモジユールを適宜組み合わせ
る事により、所望の要素運動を行わせる様に構成されて
いる。即ち、このハンド機構１０は、ｚ軸アーム１４の
下端に取り付けられ、以下に述べる種々のモジユールの
Ｚ軸アーム１４への取付を許容するホルダモジユールＭ
１と、反転動作を実行する反転モジユールＭ２と、旋回
動作を実行する旋回モジユールＭ３と、クツシヨン動作
を実行するクツシヨンモジユールＭ４と、コンプライア
ンス動作を実行するコンプライアンスモジユールＭ５
と、シフト動作を実行するシフトモジユールＭ６と、物
品のクランプ動作を実行するクランプモジユールＭ７と
を、任意の組み合せで備えた状態で構成されるものであ
り、図示する一実施例の構成においては、７種類のモジ
ユールＭ１〜Ｍ７を、このハンド機構１０が取り付けら
れるロボツト１２のｚ軸アーム１４（後述する）から、
先端に向けて、上述した順序で配列した状態で備えてい
る。

【００１１】ここで、上述した反転モジユールＭ２にお
ける反転動作は、図３及び図４に示す様に、自身の中心
軸線ＣＬと直交するように設定された回転支軸ＲＬ回り
の回転動作を意味し、旋回モジユールＭ３における旋回
動作は、自身の中心軸線ＣＬに沿う軸線回りの回転動作
を意味し、シフトモジユールＭ６におけるシフト動作
は、自身の中心軸線ＣＬに沿う移動動作を意味し、クラ
ンプモジユールＭ７におけるクランプ動作は、物品を両
側から把持する把持動作を意味している。そして、これ
ら動作は、後に詳細に説明するが、対応する夫々のモジ
ユールＭ２，Ｍ３，Ｍ６，Ｍ７に夫々備えられた駆動機
構により駆動動作される所謂アクテイブモジユールとし
て機能する様に構成されている。また、クツシヨンモジ
ユールＭ４におけるクツシヨン動作は、自身の中心軸に
沿つて作用する異常な力の吸収動作を意味し、コンプラ
イアンスモジユールＭ５におけるコンプライアンス動作
は、自身の中心軸に直交する方向の位置ずれ、及び、角
度ずれの吸収動作を意味しており、これら動作は、対応
する夫々のモジユールＭ４，Ｍ５に駆動源を有さずに、
相手側の力により動作する所謂パツシブモジユールとし
て機能する様に構成されている。

【００１２】尚、これら７種類のモジユールＭ１〜Ｍ７
の順序設定の最適性に関しては、後に詳細に説明する
が、ホルダモジユールＭ１は必ずｚ軸アーム１４の下端
に直接的に取り付けられるものであり、また、クランプ
モジユールＭ７は最も先端部に取り付けられるものであ
り、最小個数の組み合わせとすれば、このホルダモジユ
ールＭ１とクツシヨンモジユールＭ７との２つのモジユ
ールの組み合わせが存在し、反転モジユールＭ２、旋回
モジユールＭ３、クツシヨンモジユールＭ４、コンプラ
イアンスモジユールＭ５、シフトモジユールＭ６の装着
の有無及びその配列順序は、クランプモジユールＭ７の
姿勢変換動作を如何に達成させるかの観点から、任意に
設定されるものである。

【００１３】また、これら７種類のモジユールＭ１〜Ｍ
７を全て組み合わせて備えた上で、上述した配列順序に
基づくハンド機構１０の動作態様は、後に詳細に説明す
るが、図６に示すように、ハンド機構１０の先端に取り
付けらえたクランプモジユールＭ７により、水平面部Ｓ
₁ 上にその中心軸線を起立した状態で載置された歯車部
材Ｇをに把持して、この歯車部材Ｇを、水平面Ｓ１に対
して所定角度α（この一実施例においては例えば４５
度）傾斜した傾斜面部Ｓ２上に形成された穴Ｈ２に整合
する様に、ｚ軸アーム１４の中心軸線ＣＬから角度αだ
け回転（反転）させ、この歯車部材Ｇの中心軸線回りに
所定角度θ（この一実施例においては例えば９０度）だ
け回転（旋回）させた状態で、この穴Ｈ内に挿入する動
作を実行するように設定されている。

【００１４】ここで、このハンド機構１０により把持さ
れる物品としてのギヤＧは、図６に示す様に、ギヤ本体
Ｇ１と、このギヤ本体Ｇ１の図中上面に同軸に一体に形
成された第１の軸部Ｇ２と、図１に示す様に、ギヤ本体
Ｇ１の図中下面に同軸に一体に形成された第２の軸部Ｇ
３とから概略構成されている。尚、第１の軸部Ｇ２の周
面の、互いに対向する部位には、図６から明らかな様
に、クランプモジユールＭ７によるクランプ動作が確実
になされる様に、一対の平面部Ｇ４が形成されている。
そして、このギヤＧはハンド機構１０により把持される
前の状態においては、図１に示す様に、その第２の軸部
Ｇ３を水平面部Ｓ１に形成された第１の穴Ｈ１内に挿入
された状態で、水平面部Ｓ１上に載置されており、この
ハンド機構１０により把持された状態で、上述した様
に、傾斜面部Ｓ２に形成された第２の穴Ｈ２内に第２の
軸部Ｇ３を挿入される様にして、この傾斜面部Ｓ２上に
載置される様に移動されるよう設定されている。

【００１５】（ロボツトの概略構成）ここで、このハン
ド機構１０が適用されるロボツト１２は、図５に示すよ
うに、ｘ軸アーム１６と、このｘ軸アーム１６に直交し
た状態で、ｘ軸に沿つて移動可能に取り付けられたｙ軸
アーム１８と、このｙ軸アーム１８に、ｙ軸方向に沿つ
て移動可能に取り付けられたｙ軸移動ブロツク２０と、
このｙ軸移動ブロツク２０を上下方向に貫通した状態で
取り付けられ、上下動可能に支持されたｚ軸アーム１４
とから構成されている。このｚ軸アーム１４の下端に
は、ハンド機構１０が取り付けられるものであるが、詳
細には、上述したホルダモジユールＭ１を介して、以下
のモジユールが取り付けられるように設定されている。
尚、これらｙ軸アーム１８と、ｙ軸移動ブロツク２０
と、ｚ軸アーム１４とは、駆動モータ２２，２４，２６
により、夫々移動駆動されるように設定されている。

【００１６】（各モジユールの説明）次に、各モジユー
ルＭ１〜Ｍ７の構成について説明する。 ［ホルダモジユールＭ１の説明］ハンド機構１０の種々
のモジユールをロボツト装置１２のｚ軸アーム１４に取
り付けるためのホルダモジユールＭ１は、図７乃至図１
３に示す様に構成されている。即ち、このホルダモジユ
ールＭ１は、主として、図７及び図８に示す様に、ｚ軸
アーム１４の下端に固着される固着部材２８と、下面に
任意のモジユールが取り付けられる取付板３０と、固着
部材２８と取付板３０とを互いに連結する連結機構３２
とから概略構成されている。尚、このｚ軸アーム１４の
下端の外周面には、これに取り付けられたホルダモジユ
ールＭ１の中心軸面回りの回動を禁止するために、軸方
向に沿つて延出した状態で、長溝１４ａが所定の深さで
形成されている。

【００１７】詳細には、この固着部材２８は、取付板３
０の上面に載置され、ｚ軸アーム１４が挿通される透孔
３４ａが中心に沿つて貫通して形成された本体３４と、
この透孔３４ａの半円部分に相当する本体３４の外周か
ら一体的に起立し、平坦面からなる一側面３６ａに、こ
の透孔３４ａの半円部分と連通する断面半円状の溝３６
ｂが形成された半円柱状の受け部３６と、この受け部３
６と別体に設けられ、この受け部３６の一側面に当接す
る平坦面からなる一側面３８ａを有すると共に、この一
側面に、透孔３４ａの残りの半円部分に連通する断面半
円状の溝３８ｂが形成された半円柱状の押え部３８とを
備えた状態で構成されている。即ち、この受け部３６に
押え部３８が互いの一側面３６ａ，３８ａが当接する様
に連結される事により、ｚ軸アーム１４が挿通される透
孔（３６ｂ，３８ｂ）がこの連結体の中心に沿つて延出
する状態で形成される事となる。

【００１８】ここで、断面半円状の溝３６ｂ，３８ｂか
らなる透孔内にｚ軸アーム１４が挿通された状態で、受
け部３６の一側面３６ａと押え部３８の一側面３８ａと
は互いに離間する様に設定されている。そして、これら
受け部３６と押え部３８とは、一対のボルト４０ａ，４
０ｂを介して、互いの一側面３６ａ，３８ａとが互いに
近接する様に締め付けられる。このように、受け部３６
と押え部３８とが締め付けられる事により、両者の間に
ｚ軸アーム１４が固着される事となる。

【００１９】尚、この押え部３８には、これの半径方向
に沿つて貫通した状態で、ピン４２が挿通される挿通穴
３８ｃが形成されている。そして、このピン４２の先端
が、上述した長溝１４ａ内に嵌入する事により、ｚ軸ア
ーム１４と固着部材２８との相対回転が禁止され、両者
の固着状態がより確実に達成される事になる。また、こ
の取付板３０は、その４隅に、図９に示すように、ハン
ド機構１０の種々のモジユールを取り付けるための取付
用通し穴３０ａが上下方向に沿つて貫通した状態で形成
されている。これら通し穴３０ａの直径及び配設ピツチ
は、一定の値ｄ₁ 及び距離Ｄ₁ に夫々設定されている。
また、この取付板３０の下面には、これに取り付けられ
るモジユールＭ２〜Ｍ７の取り付け位置を正確に規定す
るために、所定の直径ｄ₂及び所定の離間距離Ｄ₂で一対
の位置決めピン３０ｂが下方に突出した状態で固定され
ている。

【００２０】一方、この取付板３０と固着部材２８とを
互いに連結する連結機構３２は、ｚ軸アーム１４の中心
軸線と取付板３０の中心軸線とを互いに整合させるセン
タリング４４を備えている。このセンタリング４４は、
スリーブ状に形成され、これの上端開口にｚ軸アーム１
４の下端が嵌入され、これの下端が取付板３０の中心部
に形成された位置決め穴３０ｃに嵌入された状態で、ｚ
軸アーム１４の中心軸線と取付板３０の中心軸線とが互
いに整合する様に設定されている。

【００２１】ここで、このセンタリング４４は、履歴部
材として機能する様に、これの中心軸線に直交する方向
（即ち、固着部材２８と取付板３０とが互いの取り付け
面を境に、ずれる方向）に沿う剪断力が作用した際に、
所定の変形を生じる様に形成されている。そして、この
センタリング４４の外周面には、歪みセンサ４５が取着
されており、このセンタリング４４に作用する剪断力の
大きさを検出することが出来る様になされている。この
歪みセンサ４５は図示しない制御装置に接続されてお
り、常時、検出結果を出力している。この制御装置は、
この歪みセンサ４５から出力される検出結果に基づき、
この歪み量が許容値を越えた場合に、警報を発する様に
なされている。

【００２２】即ち、このホルダモジユールＭ１の下に取
り付けられた少なくとも１種類の他のモジユールを備え
て、ロボツト１２が所定の組み付け動作を実行している
途中において、このハンド機構１０が予期しない障害物
に軽く当接し、衝撃を受けた場合には、ハンド機構１０
自身が有する剛性により、この当接により発生する誤差
（ｚ軸アーム１４と取付板３０との互いの中心軸線のず
れ量）は微小に抑制され、以降、組み付け動作を続行し
ても何ら問題が無いものであるが、このような軽い当接
が何度も繰り返されると、このような当接により発生す
る誤差が集積され、正確な組み付け動作を実行すること
が出来なくなる虞がある。このため、制御装置はこの歪
みセンサ４５から出力される検出結果を常時監視し、そ
の累積値及び／または各検出値が所定の許容値を越えた
場合には、このホルダモジユールＭ１におけるｚ軸アー
ム１４と取付板３０との中心位置合せを再度実行せしめ
る様にするために、警報を発する事になる。

【００２３】尚、この一実施例においては、ハンド機構
１０に作用した衝撃を歪みセンサ４５を用いて検出する
様に説明したが、この発明は、このような構成に限定さ
れることなく、この歪みセンサ４５を用いない構成をも
採用することが出来るものである。即ち、この歪みセン
サ４５を備えない場合においても、ハンド機構１０に作
用した衝撃は、この履歴リングとして機能するセンタリ
ング４４の永久変形として、その事実が残される事とな
る。このため、例えば、定期点検等において、このハン
ド機構１０を分解掃除する際に、このセンタリング４４
を取り出して、その変形の有無を検査する事により、こ
のハンド機構１０に衝撃が作用したか否かが判別され、
衝撃があったと判断される場合には、それに応じた検査
が要求される事となる。

【００２４】また、固着部材２８の本体３４の４隅に
は、夫々厚さ方向に貫通した状態で第１の取り付け穴３
４ｃが形成され、また、これら第１の取り付け穴３４ｃ
に夫々対応した状態で、取付板３０にはねじ穴３０ｄが
形成されている。そして、上述した連結機構３２は、各
取り付け穴３４ｃを介して挿通され、先端が対応するね
じ穴３０ｄに螺合されるシヤーピンボルト４６を備えて
いる。ここで、各シヤーピンボルト４６は、所定の取り
付け強度で固着部材２８と取付板３０とを互いに取り付
けるものであるが、各々は長さ方向の略中央部におい
て、即ち，固着部材２８と取付板３０の取付境面におい
て脆弱部としての切り込みを有しており、この切り込み
があるため、上述した所定の取り付け強度以上の衝撃力
がハンド機構１０に作用すると、各シヤーピンボルト４
６は対応する切り込みで破壊され、上下に二分される事
となる。

【００２５】即ち、このホルダモジユールＭ１において
は、通常の組み付け動作を実行する上で、この所定の取
り付け強度を有する事により、何ら問題が無いものであ
るが、仮に、ハンド機構１０が組み付け動作の最中に、
固定物に衝突し、強い衝撃を受けた場合には、このシヤ
ーピンボルト４６が先ず破壊されて、ｚ軸アーム１４と
取付板３０との連結を解除し、この衝撃がロボツト１２
側に伝達されて、このロボツト１２が破損される事を未
然に防止する様になされている。

【００２６】一方、上述した固着部材２８の本体３４の
一部には、厚さ方向に貫通した状態で第２の取り付け穴
３４ｄが形成され、また、この第２の取り付け穴３４ｄ
に対応した状態で、取付板３０には厚さ方向に貫通した
状態で取り付け穴３０ｅが形成されている。そして、上
述した連結機構３２は、これら取り付け穴３４ｄ，３０
ｅを共に貫通した状態で、落下防止ピン４８が取り付け
られている。この落下防止ピン４８は、固着部材２８の
本体３４の厚さと取付板３０の厚さを合計した厚さより
も長い長さを有して形成され、その上端は固着部材２８
の本体３４の上面に係止可能に、また、その下端は取付
板３０の下面に係止可能になされている。尚、この落下
防止ピン４８の直径は、両取り付け穴３０ｄ，３０ｅの
直径よりも小さく設定されている。即ち、この落下防止
ピン４８の存在が、後述する角度調整用の偏心ピン５０
による角度調整動作を損ねない様になされている。

【００２７】このようにして、上述した様に、ハンド機
構１０に強い衝撃が作用して、シヤーピンボルト４６が
破壊され、固着部材２８と取付板３０との連結状態が解
除される状態において、この取付板３０は落下防止ピン
４８により固着部材２８に吊持される事となる。この結
果、例え、固着部材２８と取付板３０との連結状態が解
除されたとしても、この取付板３０の下に取り付けられ
た種々のモジユールＭ２〜Ｍ７が床面上に落下して、こ
れらが破損する事が確実に防止される事となる。

【００２８】また、この固着部材２８の本体３４の一部
には、厚さ方向に貫通した状態で、第３の取り付け穴３
４ｅが形成され、また、この第３の取り付け穴３４ｅに
対応した状態で、取付板３０の上面には、半径方向に沿
つて延出する長溝３０ｆが形成されている。そして、上
述した連結機構３２は、これら第３の取り付け穴３４ｅ
を貫通し、下端が長溝３０ｆ内に嵌入した状態で、取り
付け角度調整用の偏心ピン５０を備えている。この偏心
ピン５０は、第３の取り付け穴３４ｅを貫通するピン本
体５０ａと、このピン本体５０ａの下端に偏心量Δｘだ
け偏心した状態で一体的に取り付けられ、上述した長溝
３０ｆに嵌入する偏心円板５０ｂとから構成されてい
る。そして、この偏心円板５０ｂの直径は、長溝３０ｆ
の幅に略合致する様に設定されている。また、この第３
の取り付け穴３４ｅは、固着部材２８の中心位置から半
径ｒだけ偏倚した位置に形成されている。

【００２９】このようにして、この偏心ピン５０を自身
の中心軸線回りに第３の取り付け穴３４ｅ内で回動させ
る事により、最大tan^-1(Δｘ／ｒ）の範囲で、ｚ軸アー
ム１４に対する取付板３０の取り付け角度の角度調整が
実施される事となる。また、上述した固着部材２８の受
け部３６の側方には、これから一体的に略水平に延出し
た状態で、取り付け片５２が形成されている。この取り
付け片５２の下面には、取付板３０が固着部材２８に正
常な状態で取り付けられている事を検出するための第１
のセンサ５４が取り付けられている。ここで、この第１
のセンサ５４による検出動作を妨げない様にするため
に、この第１のセンサ５４の直下方に位置する本体３４
の部分には、凹部３４ｆが形成されており、この凹部３
４ｆを見通した状態で、第１のセンサ５４は取付板３０
の上面を直接検出する事が出来る様になされている。

【００３０】ここで、この一実施例においては、この第
１のセンサ５４は近接センサから構成され、取付板３０
の上面が予め設定された所定距離にある場合には、検出
信号を何ら発生せず、上述した様に、シヤーピンボルト
４６が折れる事により、固着部材２８と取付板３０との
連結状態が解除された状態で、この取付板３０が落下防
止ピン４８により固着部材２８に吊持される事になる
と、この取付板３０の上面は第１のセンサ５４から離間
する事となり、この結果、この第１のセンサ５４は所定
の第１の検出信号を制御装置に出力し、取付板３０の固
着部材２８への取り付け状態が解除された事を報知する
様になされている。

【００３１】［反転モジユールＭ２の説明］上述した反
転動作を行なうための反転モジユールＭ２は、図１４乃
至図２３に一実施例として示すように構成されている。
即ち、この反転モジユールＭ２は、主として図１４及び
図１５に示す様に、反転モジユールＭ２の中心軸線（即
ち、ｚ軸アーム１４の中心軸線ＣＬ）に対して直交する
ように設定された回動軸６０回りに互いに相対的に回動
自在に取り付けられた上下一対の取付板６２，６４を備
えている。ここで、上取付板６２の下面には、下取付板
６４を上取付板６２に対して反転駆動させるベーンタイ
プの空圧作動式の回転駆動機構６５が一体的に取り付け
られている。即ち、この回転駆動機構６５は、上取付板
６２の下面から下方に立ち下がつて一体的に形成された
本体ブロツク６６を備えている。この本体ブロツク６６
内には、断面円形状のベーン室６８が形成されている。
このベーン室６８の中心軸線は、上述した回動軸６０の
中心軸線と一致する様に設定されている。

【００３２】即ち、この本体ブロツク６６には、これと
同軸に貫通した状態で、回動軸６０が一対のベアリング
７０ａ，７０ｂを介して軸支されている。そして、この
ベーン室６８内に位置する回動軸６０の部分には、軸方
向の全長に渡り、半径方向に沿つて延出するベーン体７
２が取り付けられている。このベーン体７２により、ベ
ーン室６８は、図２２に示す様に、２つのベーン分室６
８ａ，６８ｂに分割される事になる。また、これらベー
ン分室６８ａ，６８ｂに選択的に作動流体としての圧縮
空気を導入したり、これらベーン分室６８ａ，６８ｂか
ら選択的に圧縮空気を排出するために、上取付板６２に
は、図１４及び図１５に示す様に、一対のエアーポート
７４ａ，７４ｂが取り付けられている。

【００３３】一方、図２２に示す様に、ベーン室６８内
には、第１のベーン分室６８ａへの圧縮空気の導入・排
出をするための第１の接続ポート７６ａが、また、この
第１の接続ポート７６ａの時計方向側に隣接して、第２
のベーン分室６８ｂへの圧縮空気の導入・排出をするた
めの第２の接続ポート７６ｂが、夫々配設されている。
これら第１及び第２の接続ポート７６ａ，７６ｂは、上
取付板６２及び本体ブロツク６６を貫通して形成された
連通通路７８ａ，７８ｂを介して、夫々連通されてい
る。また、これら第１及び第２の接続ポート７６ａ，７
６ｂの外面は、夫々に近接する様に回動してきたベーン
体７２の外面が、夫々当接することが出来る様に形成さ
れている。即ち、このベーン体７２が取り付けられた回
動軸６０は、ベーン体７２の時計方向側端面が第１の接
続ポート７６ａの反時計方向側外面に当接する位置か
ら、その反時計方向側端面が第２の接続ポート７６ｂの
時計方向側外面に当接する位置までの間で、回動自在に
なされる事となる。

【００３４】ここで、上述した第１及び第２のエアーポ
ート７４ａ，７４ｂには、後述する電磁ソレノイドバル
ブからなる第１の切り換え弁８０を介して、空圧源８２
に接続されている。この第１の切り換え弁８０は、第１
の切り換えモードが設定される状態で、第１のエアーポ
ート７４ａを介して第１のベーン分室６８ａ内に圧縮空
気を導入し、第２のエアーポート７４ｂを介して第２の
ベーン分室６８ｂから圧縮空気を排出する様に切り換え
設定され、一方、第２の切り換えモードが設定される事
により、第１のエアーポート７４ａを介して第１のベー
ン分室６８ａ内から圧縮空気を排出し、第２のエアーポ
ート７４ｂを介して第２のベーン分室６８ｂに圧縮空気
を導入する様に切り換え設定される様に構成されてい
る。

【００３５】このように、第１の切り換え弁８０におい
て第１の切り換えモードが設定される事により、図２２
において回動軸６０は反時計方向に沿つて回動駆動さ
れ、下取付板６４は上取付板６２に対して平行な待機位
置から、９０度反転した反転位置まで反転駆動される事
となる。また、第１の切り換え弁８０において第２の切
り換えモードが設定される事により、回動軸６０は反転
位置から時計方向に沿つて９０度だけ回動駆動され、図
２２に示す待機位置に復帰される事となる。

【００３６】また、上述した回動軸６０の本体ブロツク
６６から突出する両端には、サイドアーム８４，８６が
取り付けられており、これらサイドアーム８４，８６の
下端には、上述した下取付板６４が一体的に連結されて
いる。ここで、回動軸６０の図１５における左方の端部
と左方に位置するサイドアーム８４とが、キー８８を介
して一体回転する様に接続されている。また、この左方
のサイドアーム８４は図示する様に、略円形状に形成さ
れ、これの外周には、全周に渡り、多数のストツパピン
挿入穴９０が夫々厚さ方向に貫通した状態で等間隔に形
成されている。これらストツパピン挿入穴９０の何れか
２つには、反転角度αを規制するためのストツパピン９
２ａ，９２ｂが挿入・固定される様になされている。

【００３７】一方、図１７及び図２３に示す様に、サイ
ドアーム８４の内方に隣接した状態で、本体ブロツク６
６の図１５における左方には、一方のストツパピン９２
ａが選択的に当接して、下取付板６４の上取付板６２に
対する待機状態を達成する第１の停止位置を規定するた
めの第１のシヨツクアブソーバ９４ａと、他方のストツ
パピン９２ｂが選択的に当接して、下取付板６４の上取
付板６２に対する反転状態を達成する第２の停止位置を
規定するための第２のシヨツクアブソーバ９４ｂとが並
設されてている。即ち、これら第１及び第２の停止位置
の間の回動角度により、上述した反転角度αが規定され
る事になる。尚、この第１の停止位置は、図２３におい
て、実線で示す下取付板６４により示されており、第２
の停止位置は、同図において、二点鎖線により示す下取
付板６４により示されている。

【００３８】ここで、図２３に示す状態においては、反
転角度αは９０度に設定されており、これは、一対のス
トツパピン９２ａ，９２ｂの配設位置を任意に設定する
事により、１度乃至１８０度の範囲で任意の角度に設定
することが出来るものである。尚、第１及び第２のシヨ
ツクアブソーバ９４ａ，９４ｂは、これらストツパピン
９２ａ，９２ｂが配設された円周の直径に相当する距離
だけ、中心間距離が離間する様に設定されており、夫々
の下端において、対応するストツパピン９２ａ，９２ｂ
が当接状態を緩衝された状態で受けることが出来る様に
構成されている。また夫々のシヨツクアブソーバ９４
ａ，９４ｂは、対応するストツパピン９２ａ，９２を緩
衝して受けて終えた位置で、夫々の停止位置を規定され
る様になされている。

【００３９】尚、図示していないが、ストツパピン９２
ａ，９２ｂが取り付けられていない残りのストツパピン
挿入穴９０は、全て、ダミーピンが挿入されており、各
ダミーピンはシヨツクアブソーバ９４ａ，９４ｂに当接
しない長さに形成されている。このように、全てのスト
ツパピン挿入穴９０には、一対のストツパピン９２ａ，
９２ｂとダミーピンとが挿入される事により、この左方
のサイドアーム８４の内方空間、即ち、一対のシヨツク
アブソーバ９４ａ，９４ｂが配設されている空間は、実
質的に密閉される事となる。

【００４０】また、図１４における右方のサイドアーム
８６の内方には、円板状のセンサドグ取り付け用のプレ
ート９６が固定されている。一方、図２２に示す用に、
本体ブロツク６６の左右の外側面であつて、プレート９
６の外周に対向する位置には、センサ取り付け用の溝６
６ａ，６６ｂが夫々形成されており、これら溝６６ａ，
６６ｂには、反転モジユールＭ２における復帰状態及び
反転状態を夫々検出するための第２及び第３のセンサ９
８ａ，９８ｂが夫々収納されている。また、上述したプ
レート９６の外周の所定の回動位置には、下取付板６４
が図２３において実線で示す様に復帰状態（または、待
機状態）にある場合において、第２のセンサ９８ａによ
り検出される第１の検出ドグ１００ａと、図２３におい
て二点鎖線で示す様に反転状態にある場合において、第
３のセンサ９８ｂにより検出される第２の検出ドグ１０
０ｂとが、取り付け・固定されている。

【００４１】ここで、この第２及び第３のセンサ９８
ａ，９８ｂは、対応する第１及び第２の検出ドグ１００
ａ，１００ｂが近接する事により夫々オンする近接セン
サから構成され、共に、上述した制御装置に接続され、
これに検出結果を出力する様になされている。検出ドグ
は磁気センサ用のマグネツトを内蔵し、動作検知を磁気
センサで行うことにしてもよい。即ち、この制御装置
は、上述した第１の切り換え弁８０を第１の切り換えモ
ードに切り換え設定して、駆動軸６０を図２３に示す待
機状態から、図中反時計方向に回動させて、第２のスト
ツパピン９２ｂを対応する第２のシヨツクアブソーバ９
４ｂに当接させる様に駆動制御した状態において、所定
時間経過しても、尚、第３のセンサ１００ｂからオン信
号が出力されない場合に、下取付板６４が待機状態から
所望の反転角度αだけ回動せずに、途中で停止した異常
状態であるとして、警報動作を実行し、所定時間以内に
第３のセンサ１００ｂからオン信号が出力される事によ
り、引き続く制御手順を実行する様になされている。

【００４２】また、この制御装置は、上述した第１の切
り換え弁８０を第２の切り換えモードに切り換え設定し
て、駆動軸６０を反転状態から、図中時計方向に回動さ
せて、第１のストツパピン９２ａを対応する第１のシヨ
ツクアブソーバ９４ａに当接させる様に駆動制御した状
態において、所定時間経過しても、尚、第２のセンサ９
８ａからオン信号が出力されない場合に、下取付板６４
が反転状態から所望の反転角度αだけ復帰せずに、途中
で停止した異常状態であるとして、警報動作を実行し、
所定時間以内に第２のセンサ９８ａからオン信号が出力
される事により、引き続く制御手順を実行する様になさ
れている。

【００４３】ここで、この上取付板６２の４隅には、図
１７に示す様に、上述した一定の配設ピツチＤで互いに
離間した状態で、直径ｄ₁ の取付用ねじ穴６２ａが、ま
た、下取付板６４の４隅には、図１８に示す様に、同様
な状態で、取付用通し穴６４ａが夫々形成されている。
また、上取付板６２の上面の互いに対向する二辺の中央
部には、各モジユールＭ１〜Ｍ６の底面に共通に形成さ
れた一対の位置決めピンが夫々挿入される位置決め穴６
２ｂ及び位置決め溝６２ｃが形成されている。そして、
下取付板６４の下面の互いに対向する二辺の中央部に
は、他のモジユールＭ２〜Ｍ７の上取付板に形成された
位置決め穴及び位置決め溝に夫々挿入される所の、直径
ｄ２を有し、所定距離Ｄ２だけ離間した一対の位置決め
ピン６４ｂが下方に突出した状態で一体に取り付けられ
ている。

【００４４】このようにして、この反転モジユールＭ２
の下部には、他のモジユールＭ２〜Ｍ７が選択的に取り
付けられると共に、これの上部には、他のモジユールＭ
１〜Ｍ６の何れかが選択的に取り付けられる事になる。
尚、この反転モジユールＭ２は、上述した一実施例の構
成に限定されることなく、この発明の要旨を逸脱しない
範囲で種々変形可能であることは言うまでも無い。例え
ば、上述した一実施例においては、一対のストツパピン
９２ａ，９２ｂを用いて、下取付板６４の第１及び第２
の反転停止位置を夫々規定するように説明したが、この
構成に限定される事なく、例えばストツパピンを一本の
み配設するように構成しても良い。このように一本のス
トツパピン９２を配設する事により、下取付板６４の反
転角度αは１８０度に設定されることとなる。また、こ
の反転モジユールは、図２４及び図２５に他の実施例の
反転モジユールＭ２ｂとして構成しても良いものであ
る。このような他の実施例における反転モジユールＭ２
ｂは、特に、クリーンルームで使用するに最適な様に構
成されている。

【００４５】以下に、他の実施例における反転モジユー
ルＭ２ｂの構成を説明するが、以下の説明においては、
上述した一実施例の反転モジユールＭ２と同一部分に
は、同一符号を付し、その説明を省略すると共に、上述
した一実施例の反転モジユールと異なる点のみを説明す
るものとする。即ち、この他の実施例においては、図２
４及び図２５に示す様に、本体ブロツク６６には、これ
の中に配設された一対のベアリング７０ａ，７０ｂと一
対のシヨツクアブソーバ９４ａ，９４ｂが配設された空
間に到達する位置に、一対のバキユームポート１０２
ａ，１０２ｂが取り付けられている。また、各ストツパ
ピン挿入穴９０は、ダミーピン１０４が挿入される事に
より、全て閉塞されている。

【００４６】ここで、この空間は、全ての挿入穴９０が
一対のストツパピン９２ａ，９２ｂ及びダミーピン１０
４により閉塞される事により、上述した一実施例におい
て既に説明した様に、実質的に密閉された空間として形
成される事となる。この結果、この空間を一対のバキユ
ームポート１０２ａ，１０２ｂを介して真空引きする事
により、一対のベアリング７０ａ，７０ｂにおける軸支
動作において発生する塵や、第１及び第２のストツパピ
ン９２ａ，９２ｂが対応する第１及び第２のシヨツクア
ブソーバ９４ａ，９４ｂに衝突して位置決めされる位置
決め動作において発生する塵が、この反転モジユールＭ
２ｂ外に排出されずに、図示しないクリーナ内に集塵さ
れ、周囲はクリーンに保持される事となる。このように
して、この他の実施例における反転モジユールＭ２ｂを
クリーンルームにおいて用いたとしても、所定の清浄度
が維持され、このクリーンルームにおける使用に最適と
なるものである。

【００４７】［旋回モジユールＭ３の説明］上述した旋
回動作を行なうための旋回モジユールＭ３の一実施例
は、図２６乃至図３７に示すように構成されている。即
ち、この旋回モジユールＭ３は、主として図２６及び図
２７に示す様に、これの中心軸線に沿うように設定され
た回動支軸１１０回りに互いに相対的に回動自在に取り
付けられた上下一対の取付板１１２，１１４を備えてい
る。ここで、上取付板１１２の下部には、下取付板１１
４を上取付板１１２に対して、旋回モジユールＭ３の中
心軸線回りに旋回駆動するための回転駆動機構１１６が
一体的に取り付けられている。即ち、この回転駆動機構
１１６は、上取付板１１２の下面中央部に下方に突出し
た状態で一体的に形成された本体ブロツク１１８を備え
ている。この本体ブロツク１１８の中心部には、中心軸
線に沿つて図中上下に貫通した状態で透孔１２０が形成
されている。

【００４８】そして、上述した回動支軸１１０が、この
透孔１２０内を上下に貫通しつつ、一対の軸受１２２
ａ，１２２ｂを介して旋回モジユールＭ３の中心軸線回
りに回動自在に支持されている。また、この回動支軸１
１０の下端には、下取付板１１４の上面が固定され、一
体回転する様になされている。即ち、図３４に示す様
に、この回動支軸１１０の下端には、断面略四角状に形
成された嵌合部１１０ｂが一体的に形成され、一方、下
取付板１１４の中央部には、この回動支軸１１０の下端
の嵌合部１１０ｂが相補的に嵌入される様に、四角形状
の嵌合穴１１４ａが形成されている。この様に回動支軸
１１０の下端が下取付板１１４に嵌合する事により、こ
の回動支軸１１０の回転に伴い、下取付板１１４が一体
的に回転する事となる。

【００４９】この回動支軸１１０の中央部外周には、ピ
ニオンギヤ１２４が一体回転するように同軸に取り付け
られている。一方、上述した回転駆動機構１１６は、空
圧作動のシリンダ機構から構成されている。即ち、この
回転駆動機構１１６の本体ブロツク１１８は、回動支軸
１１０と直交する方向に沿つて延出すると共に、この回
動支軸１１０を間に挟んで互いに平行な第１及び第２の
シリンダ体１２６，１２８を駆動シリンダ体及び従動シ
リンダ体として一体に備えており、両シリンダ体１２
６，１２８内には、回動支軸１１０に直交する方向に沿
つて延出する第１及び第２のシリンダ室１３０，１３２
が夫々駆動シリンダ室及び従動シリンダ室として形成さ
れている。

【００５０】ここで、図３２及び図３３において図中右
方に配設された第１のシリンダ室１３０内には、第１の
ピストン１３４が駆動ピストンとして気密状態を維持し
つつ摺動可能に収納されており、図中左方に配設された
第２のシリンダ室１３２内には、第２のピストン１３６
が従動ピストンとして気密でない状態で摺動自在に遊嵌
されている。また、両シリンダ室１３０，１３２は、夫
々の中央部において、透孔１２０に連通した状態で開口
しており、両ピストン１３４，１３６には、夫々のの開
口を介して上述したピニオンギヤ１２４に両側から噛合
するラツク１３８，１４０が夫々駆動ラツク及び従動ラ
ツクとして形成されている。そして、第１のピストン１
３４よりも図３２中下方に位置するシリンダ室１３０の
部分により一方のシリンダ分室１３０ａが規定され、こ
の第１のピストン１３４よりも図中上方に位置するシリ
ンダ室１３０の部分により、他方のシリンダ分室１３０
ｂが規定されている。また、第１のシリンダ体１２６に
は、一方及び他方のシリンダ分室１３０ａ，１３０ｂの
夫々の外方端において、作動圧縮空気が導入される圧縮
空気導入通路１４２ａ，１４２ｂが夫々形成されて接続
されており、これら圧縮空気導入通路１４２ａ，１４２
ｂは、一方のシリンダ体１２６の外面に取着された第１
及び第２のエアーポート１４４ａ，１４４ｂに夫々連結
されている。

【００５１】ここで、上述した第１及び第２のエアーポ
ート１４４ａ，１４４ｂには、後述する電磁ソレノイド
バルブからなる第２の切り換え弁１４６を介して、上述
した空圧源８２に接続されている。この第２の切り換え
弁１４６は、第１の切り換えモードが設定される状態
で、第１のエアーポート１４４ａを介して一方のシリン
ダ分室１３０ａ内に圧縮空気を導入し、第２のエアーポ
ート１４４ｂを介して他方のシリンダ分室１３０ｂから
空気を排出する様に切り換え設定され、一方、第２の切
り換えモードが設定される事により、第１のエアーポー
ト１４４ａを介して一方のシリンダ分室１３０ａ内から
空気を排出し、第２のエアーポート１４４ｂを介して他
方のシリンダ分室１３０ｂに圧縮空気を導入する様に切
り換え設定される様に構成されている。このように、第
２の切り換え弁１４６において第１の切り換えモードが
設定される事により、図２７において回動支軸１１０は
反時計方向に沿つて回動駆動され、また、第２の切り換
えモードが設定される事により、時計方向に沿つて回動
駆動される事になる。

【００５２】一方、図３０から明かなように、下取付板
１１４には、回動支軸１１０を中心とした同心円状に複
数の旋回量規制穴１４２が４５度置きに形成されてい
る。そして、これら回動量規制穴１４２には、２本の回
動量規制部材としてのストツパピン１５０ａ，１５０ｂ
が、図３６に示す様に、係止ねじ１５１を夫々介して、
その取り付け位置を交換可能に挿入されている。また、
上取付板１１２の本体ブロツク１１８には、一対のスト
ツパボルト１５２ａ，１５２ｂがその位置を調整可能に
進退することが出来るように螺着されている。ここで、
第１及び第２のストツパボルト１５２ａ，１５２ｂは、
これらストツパピン１５０ａ，１５０ｂが配設された円
周の直径に相当する距離だけ、中心間距離が離間する様
に設定されており、夫々の先端において、対応するスト
ツパピン１５０ａ，１５０ｂが当接状態で受けられるよ
うに取り付けられている。また、夫々のストツパボルト
１５２ａ，１５２ｂは、対応するストツパピン１５０
ａ，１５０ｂが当接した位置で、夫々の旋回停止位置を
規定される様になされている。

【００５３】ここで、図３２に示す様に、図中左方に位
置する第２のシリンダ室１３２の両端には、シヨツクア
ブソーバ１５４ａ，１５４ｂが夫々取り付けられてい
る。即ち、上述した様に、第２の切り換え弁１４６にお
いて第２の切り換えモードが設定される事により、下取
付板１１４が上取付板１１２に対して図２７において時
計方向（即ち、図３０及び図３５においては反時計方
向）に旋回駆動した場合に、回動支軸１１０のピニオン
ギヤ１２４に噛合する第２のラツク１４０を有する第２
のピストン１３６は、第１のピストン１３４と同期し
て、これと逆方向に移動する事となる。そして、第１の
ストツパピン１５０ａが対応する第１のストツパボルト
１５２ａの先端に当接する直前において、図３２に示す
様に、図中左方に位置する第２のピストン１３６の図中
上端が対応する第１のシヨツクアブソーバ１５４ａに当
接し、これにより当接状態を緩衝された上で、第１のス
トツパピン１５０ａが対応する第１のストツパボルト１
５２ａの先端に当接し、その旋回停止位置を正確に規定
される様になされている。一方、第２の切り換え弁１４
６において第１の切り換えモードが設定される事によ
り、下取付板１１４が上取付板１１２に対して図２７に
おいて反時計方向（即ち、図３０及び図３５においては
時計方向）に旋回駆動した場合には、第２のストツパピ
ン１５０ｂが対応する第２のストツパボルト１５２ｂの
先端に当接する直前において、第２のピストン１３６の
図３２における下端が対応する第２のシヨツクアブソー
バ１５４ｂに当接し、これにより当接状態を緩衝された
上で、第２のストツパピン１５０ｂが対応する第２のス
トツパボルト１５２ｂの先端に当接し、その旋回停止位
置を正確に規定される様になされている。

【００５４】ここで、図３２に示す様に、第２のピスト
ン１３６の第１のシヨツクアブソーバ１５４ａに当接す
る端部には、これへの当接時における衝撃及び当接音を
弱めるために、頭部にゴム製の当接片１５６ａが取り付
けられた当接ピン１５６が取着されている。一方、第２
のピストン１３６の第２のシヨツクアブソーバ１５４ｂ
に当接する端部には、これへの当接時における衝撃及び
当接音を弱めるために、頭部にゴム製の当接片１５８ａ
が取り付けられた当接ピン１５８が取着されている。

【００５５】また、図３２に示す様に、図中右方に位置
する第１のピストン１３４の外方に向かう側面には、軸
方向に沿う両端に位置した状態で、旋回状態確認用のド
グとしての、第１及び第２のマグネツト１６０ａ，１６
０ｂが取り付けられている。一方、本体ブロツク１１８
の図中右側の側面には、旋回状態を検出するための第４
及び第５のセンサ１６２，１６４が取り付けられてい
る。ここで、第４のセンサ１６２は、下取付板１１４が
図２７において時計方向に旋回駆動して、第１のストツ
パピン１５０ａが対応する第１のストツパボルト１５２
ａに当接して、その旋回停止位置を正確に規定された状
態で、第１のマグネツト１６０ａによりオン動作する様
に、その配設位置を規定されると共に、非接触式の磁気
センサから構成されている。即ち、この第４のセンサ１
６２は、下取付板１１４が上取付板１１２に対して上下
に一致する待機状態にある事を検出するようになされて
いる。一方、第５のセンサ１６４は、下取付板１１４が
図２７において反時計方向に旋回駆動して、第２のスト
ツパピン１５０ｂが対応する第２のストツパボルト１５
２ｂに当接し、その旋回停止位置を正確に規定された状
態で、第２のマグネツト１６０ｂによりオン動作する様
に、その配設位置を規定されると共に、非接触式の磁気
センサから構成されている。即ち、この第５のセンサ１
６４は、下取付板１１４が上取付板１１２に対して中心
軸線ＣＬ回りに所定角度θだけ旋回した旋回位置にある
事を検出するようになされている。

【００５６】ここで、この第４及び第５のセンサ１６
２，１６４は、上述した制御装置に接続され、これに検
出結果を出力する様になされている。即ち、この制御装
置は、上述した第２の切り換え弁１４６を第２の切り換
えモードに切り換え設定して、回動支軸１１０を図３２
に示す第１の旋回停止位置から、図中反時計方向に回動
させて、第２のストツパピン１５０ｂを対応する第２の
ストツパボルト１５２ｂに当接させる様に駆動制御した
状態において、所定時間経過しても、尚、第５のセンサ
１６４からオン信号が出力されない場合に、下取付板１
１４が第１の旋回停止位置から所望の旋回角度θだけ回
動せずに、途中で停止した異常状態であるとして、警報
動作を実行し、所定時間以内に第５のセンサ１６４から
オン信号が出力される事により、引き続く制御手順を実
行する様になされている。また、この制御装置は、上述
した第２の切り換え弁１４６を第１の切り換えモードに
切り換え設定して、回動支軸１１０を第２の旋回停止位
置から、図中時計方向に回動させて、第１のストツパピ
ン１５０ａを対応する第１のストツパボルト１５２ａに
当接させる様に駆動制御した状態において、所定時間経
過しても、尚、第４のセンサ１６２からオン信号が出力
されない場合に、下取付板１１４が第２の旋回停止位置
から所望の旋回角度θだけ復帰せずに、途中で停止した
異常状態であるとして、警報動作を実行し、所定時間以
内に第４のセンサ１６２からオン信号が出力される事に
より、引き続く制御手順を実行する様になされている。

【００５７】尚、図２６及び図３３に示す様に、上取付
板１１２に開口している透孔１２０は、蓋部材１６６に
より覆われている。尚、この蓋部材１６６には、図３７
に示す様に、ベアリング１２２ａに与圧を掛けるための
ねじ１６８が取り付けられており、これによりベアリン
グ１２２ａのアウターレースを押し付ける様に構成され
ている。この様にして、スペーサ調整工程を削減して、
この旋回モジユールＭ３の薄型化及びローコスト化を達
成する様になされている。

【００５８】以上のように、この旋回モジユールＭ３は
構成されているので、図３２に示すように、図中上方の
シリンダ分室１３０ｂに圧縮空気が導入され、第１のピ
ストン１３４が図中可能に偏倚されている状態におい
て、ピニオンギヤ１２４を介して連結された第２のピス
トン１３６は図中上方に偏倚され、図示するように、第
１の当接ピン１５６が対応する第１のシヨツクアブソー
バ１５４ａに緩衝された状態で受けられた状態で、第１
のストツパピン１５０ａが対応する第１のストツパボル
ト１５２ａに当接する事により、その回動量を規制、即
ち、第１の旋回停止位置に停止することになる。

【００５９】一方、この旋回モジユールＭ３において
は、図３２に示す状態から、第２の切り換え弁１４６が
切り換えられて、第１の切り換えモードが設定される
と、図中下方のシリンダ分室１３０ａに圧縮空気が導入
されることになり、第１のピストン１３４は図中上方に
押し上げられるので、これに噛合するピニオンギヤ１２
４は、反時計方向に沿つて回動し、従つて、これと一体
回転する下取付板１１４も反時計方向に沿つて回動する
事となる。そして、第２の当接ピン１５８が対応する第
２のシヨツクアブソーバ１５４ｂに緩衝された状態で受
けられた状態で、第２のストツパピン１５０ｂが対応す
る第２のストツパボルト１５２ｂに当接する事により、
その回動量を規制、即ち、第２の旋回停止位置に停止す
ることになる。

【００６０】ここで、この上取付板１１２の４隅には、
上述した一定の配設ピツチＤで互いに離間した状態で、
直径ｄ₁ の取付用ねじ穴１１２ａが、また、下取付板１
１４の４隅には、同様な状態で、取付用通し穴１１４ｂ
が夫々形成されている。また、上取付板１１２の上面の
互いに対向する二辺の中央部には、各モジユールＭ１，
Ｍ２，Ｍ４〜Ｍ６の底面に共通に形成された一対の位置
決めピンが夫々挿入される位置決め穴１１２ｂ及び位置
決め溝１１２ｃが形成されている。 そして、下取付板
１１４の下面の互いに対向する二辺の中央部には、他の
モジユールＭ２，Ｍ４〜Ｍ７に形成された位置決め穴及
び位置決め溝に夫々挿入される所の、直径ｄ２を有し、
所定距離Ｄ２だけ離間した一対の位置決めピン１１４ｃ
が下方に突出した状態で一体に取り付けられている。

【００６１】このようにして、この旋回モジユールＭ３
の下部には、他のモジユールＭ２，Ｍ４〜Ｍ７の何れか
が選択的に取り付けられると共に、これの上部には、他
のモジユールＭ１，Ｍ２，Ｍ４〜Ｍ６の何れかが選択的
に取り付けられるようになる。尚、この旋回モジユール
Ｍ３は、上述した一実施例の構成に限定されることな
く、この発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々変形可能
である。例えば、上述した一実施例においては、一対の
ストツパピン１５０ａ，１５０ｂを用いて、下取付板１
１４の第１及び第２の旋回停止位置を夫々規定するよう
に説明したが、この構成に限定される事なく、例えばス
トツパピンを一本のみ配設するように構成しても良い。
このように一本のストツパピン１５０を配設する事によ
り、下取付板１１４の旋回角度θは１８０度に設定され
ることとなる。また、この旋回モジユールは、図３８及
び図３９に他の実施例の旋回モジユールＭ３ｂとして構
成しても良いものである。このような他の実施例におけ
る旋回モジユールＭ３ｂは、特に、クリーンルームで使
用するに最適な様に構成されている。

【００６２】以下に、他の実施例における旋回モジユー
ルＭ３ｂの構成を説明するが、以下の説明においては、
上述した一実施例の旋回モジユールＭ３と同一部分に
は、同一符号を付し、その説明を省略すると共に、上述
した一実施例の旋回モジユールと異なる点のみを説明す
るものとする。即ち、この他の実施例においては、図３
８及び図３９に示す様に、本体ブロツク１１８の一側面
には、これの中に配設された一対のベアリング１２２
ａ，１２２ｂが配設された透孔１２０に到達する位置
に、バキユームポート１７０が取り付けられている。

【００６３】ここで、この透孔１２０は、上述した蓋部
材１６６で閉塞される事により、実質的に密閉された空
間として形成される事となる。この結果、この透孔１２
０をバキユームポート１７０を介して真空引きする事に
より、一対のベアリング１２２ａ，１２２ｂにおける軸
支動作において発生する塵が、この旋回モジユールＭ３
ｂ外に排出されずに、図示しないクリーナ内に集塵さ
れ、周囲はクリーンに保持される事となる。またストツ
パ部の発塵も透孔１７０ｂを介してバキユームポート１
７０より吸引される。このようにして、この他の実施例
における旋回モジユールＭ３ｂをクリーンルームにおい
て用いたとしても、所定の清浄度が維持され、このクリ
ーンルームにおける使用に最適となるものである。

【００６４】［クツシヨンモジユールＭ４の説明］上述
したクツシヨン動作を行なうためのクツシヨンモジユー
ルＭ４は、図４０乃至図４６に一実施例として示すよう
に、クツシヨンモジユールＭ４の中心軸線Ｃ０に沿つて
互いに相対的に移動自在に取り付けられた上下一対の取
付板１８０，１８２を互いに平行に備えている。ここ
で、下取付板１８２上には、中心軸線を間に置いて互い
に点対称な位置に、下取付板１８２を中心軸線Ｃ０に沿
つて移動する様に、即ち、上取付板１８０に対して近接
・離間する様にガイドするための、一対のガイドピン１
８４ａ，１８４ｂが起立した状態で固定されている。

【００６５】ここで、第１のガイドピン１８４ａの中心
軸線Ｃ１は、図４１に示す様に、クツシヨンモジユール
Ｍ４の正面視において、クツシヨンモジユールＭ４の中
心軸線Ｃ０よりも図中左方に距離Ｌ１だけ、また、図４
４に示す様に、クツシヨンモジユールＭ４を右側面視し
た状態において、クツシヨンモジユールＭ４の中心軸線
Ｃ０よりも図中右方に距離Ｌ２だけ、夫々偏倚した位置
に設定されている。尚、上述した様に両ガイドピン１８
４ａ，１８４ｂは点対称な関係にあるので、第２のガイ
ドピン１８４ｂの中心軸線Ｃ２は、図示していないが、
クツシヨンモジユールＭ４の背面視において、クツシヨ
ンモジユールＭ４の中心軸線Ｃ０よりも図中左方に距離
Ｌ１だけ、また、図示していないが、クツシヨンモジユ
ールＭ４を左側面視した状態において、クツシヨンモジ
ユールＭ４の中心軸線よりも図中左方に距離Ｌ２だけ、
夫々偏倚した位置に設定されている。

【００６６】一方、上取付板１８０には、その中央部の
下面に取付ブロツク１８６が一体的に形成されている。
そして、上取付板１８０と取付ブロツク１８６とを厚さ
方向に貫通した状態で、これらガイドピン１８４ａ，１
８４ｂに夫々対向する位置に、第１及び第２の透孔１８
８ａ，１８８ｂが形成されている。ここで、各ガイドピ
ン１８４ａ，１８４ｂの上部は、対応する透孔１８８
ａ，１８８ｂに取り付けられたスライド軸受１９０ａ，
１９０ｂを夫々介して摺動自在に貫通している。尚、下
取付板１８２がクツシヨン動作に伴い、上取付板１８０
に近接する様に移動した状態において、各ガイドピン１
８４ａ，１８４ｂの上端は、対応する透孔１８８ａ，１
８８ｂの上部開口から外方に突出せずに、夫々の内部に
納まる様に、夫々の長さを設定されている。

【００６７】また、下取付板１８２上には、中心軸線を
間に置いて互いに点対称な位置に、下取付板１８２の上
取付板１８０からの脱落を防止するために、一対のスト
ツパピン１９２ａ，１９２ｂが起立した状態で固定され
ている。ここで、第１のストツパピン１９２ａの中心軸
線Ｃ３は、図４１に示す様に、クツシヨンモジユールＭ
４の正面視において、クツシヨンモジユールＭ４の中心
軸線Ｃ０よりも図中右方に距離Ｌ３だけ、また、図４４
に示す様に、クツシヨンモジユールＭ４を右側面視した
状態において、クツシヨンモジユールＭ４の中心軸線Ｃ
０よりも図中左方に距離Ｌ４だけ、夫々偏倚した位置に
設定されている。尚、上述した様に両ストツパピン１９
２ａ，１９２ｂは点対称な関係にあるので、第２のスト
ツパピン１９２ｂの中心軸線Ｃ４は、図示していない
が、クツシヨンモジユールＭ４の背面視において、クツ
シヨンモジユールＭ４の中心軸線Ｃ０よりも図中右方に
距離Ｌ３だけ、また、図示していないが、クツシヨンモ
ジユールＭ４を左側面視した状態において、クツシヨン
モジユールＭ４の中心軸線Ｃ０よりも図中右方に距離Ｌ
４だけ、夫々偏倚した位置に設定されている。

【００６８】一方、上取付板１８０には、厚さ方向に貫
通した状態で、これらストツパピン１９２ａ，１９２ｂ
に夫々対向する位置に、第３及び第４の透孔１９４ａ，
１９４ｂが形成されている。また、上述した取付ブロツ
ク１８６の、これらストツパピン１９２ａ，１９２ｂが
挿通される部分の厚さは薄く設定されており、上取付板
１８０の下面との間に所定の空間が規定される様に、薄
肉部１８６ａ，１８６ｂが形成されている。そして、こ
れら薄肉部１８６ａ，１８６ｂにも、夫々の厚さ方向に
貫通した状態で、対応するストツパピン１９２ａ，１９
２ｂに夫々対向する位置に、第４及び第５の透孔１９６
ａ，１９６ｂが形成されている。ここで、これらストツ
パピン１９２ａ，１９２ｂの上端は、対応する第４及び
第５の透孔１９６ａ，１９６ｂを夫々貫通して上方に突
出しており、夫々の上端には、対応する第４及び第５の
透孔１９６ａ，１９６ｂの直径よりも径大に形成された
頭部１９８ａ，１９８ｂが夫々一体的に取り付けられて
いる。

【００６９】この様にして、このクツシヨンモジユール
Ｍ４においては、各頭部１９８ａ，１９８ｂの底面が対
応する薄肉部１８６ａ，１８６ｂの上面に、緩衝材２０
０ａ，２００ｂを夫々介して当接する事により、下取付
板１８２は上取付板１８０に吊持される事となる。ここ
で、下取付板１８２の中心部上には、略円柱状に形成さ
れた係止部材２０２が固定されており、上取付板１８０
の中心部には、これを厚さ方向に貫通した状態で、中央
透孔２０４が形成されている。そして、両取付板１８
０，１８２の間には、これの中心軸線に沿つた状態で、
コイルスプリング２０６が介設されている。このコイル
スプリング２０６は、両取付板１８０，１８２を互いに
離間する方向に付勢する付勢力を有している。詳細に
は、このコイルスプリング２０６の下端は、上述した係
止部材２０２の外周に係止され、これの上端は、中央透
孔２０４を閉塞する様に、Ｃリング２０８を介して取り
付けられた蓋部材２１０の下面に係止されている。

【００７０】尚、このＣリング２０８は、図４６に詳細
に示す様に、中央透孔２０４の内周面に軸方向に沿つて
複数形成された円周溝２１２の一つの円周溝内に嵌入す
る事により、蓋部材２１０を下取付板１８２に対して任
意の高さ位置に設定した状態で取り付ける様になされて
いる。この様に、蓋部材２１０の下取付板１８２に対す
る高さ位置を任意に設定する事により、コイルスプリン
グ２０６のセツト長さを調節して、これが発揮する弾性
付勢力を調整することが出来るものである。

【００７１】一方、上述した係止部材２０２の上端外周
には、非検出部としてのマグネツト２１４が取り付けら
れている。そして、上述した中央透孔２０４の外周面で
あつて、マグネツト２１４が配設された側には、下取付
板１８２の上取付板１８０への近接動作に伴い、このマ
グネツト２１４が接近する事によるオン動作される第６
のセンサ２１６が配設されている。ここで、この一実施
例においては、この第６のセンサ２１６は、非接触式の
センサとしての磁気センサとして構成されている。尚、
この第６のセンサ２１６は、下取付板１８２が上取付板
１８０に対して許容される最近接位置まで近接した時点
でオンする位置に取りつけられている。尚、この最近接
位置において、上述した一対のガイドピン１８４ａ，１
８４ｂと一対のストツパピン１９２ａ，１９２ｂは、夫
々上取付板１８０に形成された所の対応する透孔１８８
ａ，１８８ｂ；１９４ａ，１９４ｂから上方に突出され
ずに、夫々の中に納まる様に、夫々の長さを設定されて
いる。

【００７２】この第６のセンサ２１６は、上述した制御
装置に接続されている。ここで、この制御装置は、第６
のセンサ２１６からオン信号が出力される事により、後
述するシフトモジユールＭ６の作動に伴い、このクツシ
ヨンモジユールＭ４において発揮されたクツシヨン機能
が許容量を越え、これ以上のクツシヨン機能の発揮が不
可能となつたと判断し、所定の警報動作を発する様に構
成されている。このように構成されたクツシヨンモジユ
ールＭ４においては、非クツシヨンモード状態におい
て、下取付板１８２は、コイルスプリング２０６の付勢
力により、ストツパピン１９２ａ，１９２ｂの頭部１９
８ａ，１９８ｂが、夫々対応する緩衝材２００ａ，２０
０ｂを介して薄肉部１８６ａ，１８６ｂの上面に当接す
る状態まで、上取付板１８０に対して離間することにな
る。

【００７３】一方、後述するクランプモジユールＭ７に
把持されたギヤＧを、図６に示す穴Ｈ２に挿入する際に
おいて、ギヤＧの第２の軸部Ｇ３の下面が穴Ｈ２の底面
に当接した場合に、このクツシヨンモジユールＭ４にお
いて、クツシヨン動作が受動的に行なわれる。即ち、ギ
ヤＧの第２の軸部Ｇ３の下面が穴Ｈ２の底面に当接した
状態で、更に、シフトモジユールＭ６におけるシフト動
作、即ち、ギヤＧの挿入動作が続行された場合におい
て、クランプモジユールＭ７に連結された下取付板１８
２は、コイルスプリング２０６の付勢力に抗して、上取
付板１８０に近接するように、一対のガイドピン１８４
ａ，１８４ｂを介して、中心軸線Ｃ０に沿つて移動する
ことになる。

【００７４】このようにして、このクツシヨンモジユー
ルＭ４がハンド機構１０に組み込まれていれば、例え、
ギヤＧの挿入時等において、ギヤＧと穴Ｈ２との干渉に
伴なう中心軸線Ｃ０に沿うシヨツクが吸収され、クラン
プモジユールＭ７を初めとする内蔵する各モジユールや
ロボツト１２に対して、過大な力が作用することが効果
的に防止されることになる。

【００７５】ここで、この上取付板１８０の４隅には、
上述した一定の配設ピツチＤで互いに離間した状態で、
直径ｄ₁ の取付用ねじ穴１８０ａが、また、下取付板１
８２の４隅には、同様な状態で、取付用通し穴１８２ａ
が夫々形成されている。また、上取付板１８０の上面の
互いに対向する二辺の中央部には、各モジユールＭ１〜
Ｍ３，Ｍ５，Ｍ６の底面に共通に形成された一対の位置
決めピンが夫々挿入される位置決め穴１８０ｂ及び位置
決め溝１８０ｃが形成されている。そして、下取付板１
８２の下面の互いに対向する二辺の中央部には、他のモ
ジユールＭ２，Ｍ３，Ｍ５〜Ｍ７に形成され位置決め穴
及び位置決め溝に夫々挿入される所の、直径ｄ₂ を有
し、所定距離Ｄ₂ だけ離間した一対の位置決めピン１８
２ｂが下方に突出した状態で一体に取り付けられてい
る。

【００７６】このようにして、このクツシヨンモジユー
ルＭ４の下部には、他のモジユールＭ２，Ｍ３，Ｍ５〜
Ｍ７の何れかが選択的に取り付けられると共に、これの
上部には、他のモジユールＭ１〜Ｍ３，Ｍ５，Ｍ６の何
れかが選択的に取り付けられるようになる。尚、このク
ツシヨンモジユールＭ４は、上述した一実施例の構成に
限定されることなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲
で種々変形可能である事は言うまでも無い。例えば、こ
のクツシヨンモジユールは、図４７乃至図５２に他の実
施例のクツシヨンモジユールＭ４ｂとして構成しても良
いものである。このような他の実施例におけるクツシヨ
ンモジユールＭｂは、特に、クツシヨンストロークを長
く設定する上で最適な様に構成されている。

【００７７】以下に、他の実施例におけるクツシヨンモ
ジユールＭｂ４の構成を説明するが、以下の説明におい
ては、上述した一実施例のクツシヨンモジユールＭと同
一部分には、同一符号を付し、その説明を省略すると共
に、上述した一実施例のクツシヨンモジユールと異なる
点のみを説明するものとする。即ち、この他の実施例に
おいては、図５０乃至図５２に主として示す様に、この
他の実施例のクツシヨンモジユールＭ４ｂは、上取付板
１８０と下取付板１８２との他に、主たる構成要素とし
て、両者の間に配設された中間部材２１８を備えてい
る。

【００７８】先ず、上取付板１８０は、その下面中央に
中心軸線Ｃ０に沿つて下方に延出するスリーブ２２０を
一体的に備えている。このスリーブ２２０の内面には、
ねじ溝が切られており、このねじ溝にはねじ部材２２２
が中心軸線Ｃ０に沿つて進退自在に螺合している。尚、
このねじ部材２２２の下面には、下取付板１８２を上取
付板１８０から離間する方向に付勢するコイルスプリン
グ２０６の上端が係止されている。この様にして、上述
した一実施例のクツシヨンモジユールＭ４と同様に、こ
のねじ部材２２２を回動して、中心軸線Ｃ０に沿つて進
退駆動する事により、コイルスプリング２０６の弾性付
勢力を調整することが出来る事になる。

【００７９】一方、上述した中間部材２１８は、このス
リーブ２２０が遊嵌される透孔２２４ａが中央部に厚さ
方向に貫通した状態で形成された平板からなる本体部分
２２４と、この本体部分２２４の中心軸線を間において
互いに対向する位置であつて同一直径上に位置する様に
配設されると共に、本体部分２２４の中心軸線と平行な
中心軸線を夫々有する第１及び第２のスリーブ２２６
ａ，２２６ｂと、この本体部分２２４の中心軸線を間に
おいて、第１及び第２のスリーブ２２６ａ，２２６ｂが
配設された円周上に位置すると共に、これらと略等間隔
に離間する様に配設され、本体部分２２４の中心軸線と
平行な中心軸線を夫々有する第３及び第４のスリーブ２
２６ｃ，２２６ｄとを備えている。ここで、これら第１
乃至第４のスリーブ２２６ａ〜２２６ｄは、本体部分２
２４を上下に貫通する様に取り付けられている。

【００８０】そして、図４８と図５０とから明らかな様
に、上取付板１８０の下面には、第１及び第２のスリー
ブ２２６ａ，２２６ｂに向けて夫々延出し、下端が対応
するスリーブ２２６ａ，２２６ｂに夫々挿入される第１
及び第２のガイドピン２２８ａ，２２８ｂが立ち下がっ
た状態で固定されている。これら第１及び第２のガイド
ピン２２８ａ，２２８ｂの下端は、第１及び第２のスリ
ーブ２２６ａ，２２６ｂの内周に夫々取り付けられたス
ライドベアリング２３０ａ，２３０ｂにより軸方向に沿
つて摺動自在に支持されている。一方、下取付板１８２
の上面には、第３及び第４のスリーブ２２６ｃ，２２６
ｄに向けて夫々延出し、上端が対応するスリーブ２２６
ｃ，２２６ｄに夫々挿入される第３及び第４のガイドピ
ン２２８ｃ，２２８ｄが起立した状態で固定されてい
る。これら第３及び第４のガイドピン２２８ａ，２２８
ｂの上端は、第３及び第４のスリーブ２２６ｃ，２２６
ｄの内周に夫々取り付けられたスライドベアリング２３
０ｃ，２３０ｄにより軸方向に沿つて摺動自在に支持さ
れている。この様にして、この実施例においては、互い
に等間隔に配設された４本のガイドピン２２８ａ〜２２
８ｄを介して、下取付板１８２は上取付板１８０に対し
て接近・離間動作可能に支持される事となる。

【００８１】一方、図４８と図５１とに示す様に、この
実施例においては、第１のストツパピン１９２ａは、そ
の上端を上取付板１８０の下面に固定され、その下端を
中間部材２１８の本体部分２２４に厚さ方向に貫通した
状態で形成された透孔２３２ａを介して、この本体部分
２２４の下方に取り出される様に、上取付板１８０に取
り付けられている。一方、第２のストツパピン１９２ｂ
は、その下端をした取付板１８２の上面に固定され、そ
の上端を中間部材２１８の本体部分２２４に厚さ方向に
貫通した状態で形成された透孔２３２ｂを介して、この
本体部分２２４の上方に取り出される様に、下取付板１
８２に取り付けられている。

【００８２】そして、第１のストツパピン１９２ａの下
端には、これが挿通される透孔２３２ａの直径よりも径
大な頭部２３４ａが一体的に取り付けられ、この頭部２
３４ａの上面が緩衝材２３６ａを介して本体部分２２４
の下面に当接する事により、中間部材２１８は上取付板
１８０に吊持される事となる。また、第２のストツパピ
ン１９２ｂの上端には、これが挿通される透孔２３２ｂ
の直径よりも径大な頭部２３４ａが一体的に取り付けら
れ、この頭部２３４ｂの下面が緩衝材２３６ｂを介して
本体部分２２４の上面に当接する事により、下取付板１
８２は中間部材２１８に吊持される事となる。この様に
して、この実施例においては、下取付板１８２は、中間
部材２１８を介して、上取付板１８０に吊持される事と
なる。

【００８３】この様に構成される他の実施例のクツシヨ
ンモジユールＭ４ｂにおいては、クツシヨンストローク
Ｓは、上取付板１８０と中間部材２１８との間の軸方向
に沿う移動可能距離Ｓ１と、下取付板１８２と中間部材
２１８との間の軸方向に沿う移動可能距離Ｓ２との合計
値として規定されるものであり、この様にして、上述し
た一実施例におけるクツシヨンストロークよりも長くな
されたクツシヨンストロークを、この実施例においては
達成することが出来る事になると同時に、この実施例に
おいて、ガイドピン２２８ａ〜２２８ｄの４本で、本モ
ジユールの下に取り付いている荷重を保持する為、上述
した実施例にくらべ、剛性において優位である。

【００８４】尚、図５２に示す様に、マグネツト２１４
は、下取付板１８２から上方に向けて一体的に突出する
取り付け片１８２ｃに取り付けられている。ここで、こ
の取り付け片１８２ｃは、図示する様に、中間部材２１
８の直外方に位置する様に設定されている。そして、こ
のマグネツト２１４によりオン動作される第６のセンサ
２１６は、上取付板１８０から下方に向けて一体的に突
出する取り付け片１８０ｄに取り付けられている。ここ
で、この取り付け片１８０ｄは、上述した取り付け片１
８２ｃの直外方に位置する様に設定されている。この様
にマグネツト２１４及び第６のセンサ２１６を下取付板
１８２及び上取付板１８０に夫々一体的に形成された取
り付け片１８２ｃ，１８０ｄに夫々取り付ける事によ
り、上述した一実施例と同様な検出結果を得ることが出
来る事になる。また、上述した両実施例においては、コ
イルスプリング２０６の弾性付勢力を調整する手段とし
てのＣリング２０８及びねじ部材２２２は、共に、上取
付板１８０に取り付けられる様に説明したが、この発明
にはこれに限定されることなく、下取付板１８２に取り
付けられる様に構成しても良い。要は、コイルスプリン
グ２０６のセツト長さが調節することが出来る構成であ
れば良い。

【００８５】［コンプライアンスモジユールＭ５の説
明］上述したコンプライアンス動作を行なうためのコン
プライアンスモジユールＭ５は、図５３乃至図６２に一
実施例として示すように構成されている。 即ち、この
コンプライアンスモジユールＭ５は、これの中心軸線に
対して直交する方向に沿つて相対的に移動可能になされ
た上下一対の取付板２４０，２４２を互いに所定間隔を
有して平行に備えている。ここで、これら取付板２４
０，２４２の間には、図５７及び図６０に示す様に、コ
ンプライアンス機構２４４が介設され、また、このコン
プライアンス機構２４４には、ロボツト１２の作動に基
づき、ハンド機構１０が移動駆動される事に伴い、上下
両取付板２４０，２４２をロックして、互いの整合状態
を固定して、ハンド機構１０の移動停止直後における動
作待機時間を短縮化させるために、ロツク機構２４６が
設けられている。

【００８６】ここで、コンプライアンス機構２４４は、
主として、図５７乃至図６０に示す様に、ともに略円板
状に形成され、互いに同軸に配設されると共に、間にベ
アリング２４８が介して重ね合わされた第１及び第２の
整合部材２５０，２５２を備えている。この第１の整合
部材２５０は、下取付板２４２の上面中央部にボルト２
５４（図５７に示す）を介して固定される中央部２５０
ａと、この中央部２５０ａの外周から起立するスリーブ
部２５０ｂと、このスリーブ部２５０ｂの上端縁から外
方に延出する外方フランジ部２５０ｃとから一体的に形
成されている。ここで、この外方フランジ部２５０ｃの
上面は、上取付板２４０の下面外周部の直下方に位置
し、これに対向する様になされている。また、この外方
フランジ部２５０ｃの一部には、図６０に示す様に、後
述する上取付板２４０と第２の整合部材２５２とを固定
するために、上取付板２４０の下面に、下方に向けて一
体的に突出する取り付けボス部２４０ａが挿通される透
孔２５０ｄが厚さ方向に貫通した状態で形成されてい
る。

【００８７】一方、第２の整合部材２５２は、図６０に
示す様に、第１の整合部材２５０の中央部２５０ａが挿
通される中央透孔２５２ａを中心部に厚さ方向に貫通し
た状態で備え、その外周部２５２ｂを、第１の整合部材
２５０の外方フランジ部２５０ｃの直下方に位置する様
に形成されている。そして、この第２の整合部材２５２
の外周部２５２ｂと上述した透孔２５０ｄを貫通して外
方フランジ部２５０ｃの下方まで取り出された取り付け
ボス部２４０ａとは、ボルト２５６を介して互いに一体
に取り付けられている。換言すれば、このボルト２５６
を介して、第２の整合部材２５２は上取付板２４０に固
定されている。

【００８８】また、第１及び第２の整合部材２５０，２
５２間に介設されるベアリング２４８は、両者の間に位
置する略円板状の薄板からなるベアリングレース２４８
ａと、このベアリングレース２４８ａの外周における同
一円周上に形成された複数の透孔２４８ｂと、各透孔２
４８ｂ内に収納されたベアリングボール２４８ｃとから
構成されている。この様にベアリング２４８は構成され
ているので、第１及び第２の整合部材２５０，２５２
は、中心軸線に直交する面（以下、横断面と呼ぶ。）内
で、互いに相対移動可能な状態で支持される事となる。
即ち、これら第１及び第２の整合部材２５０，２５２
は、夫々、下取付板２４２及び上取付板２４０に固定さ
れているので、この結果、上下取付板２４０，２４２
は、中心軸線に直交する面内で、互いの中心軸線がずれ
移動する事が可能な状態になされる事となる。

【００８９】ここで、このコンプライアンス機構２４４
は、これら上下取付板２４０，２４２の互いの中心軸線
が整合する状態を弾性的に保持するために、付勢機構２
５８を備えている。即ち、このコンプライアンス機構２
４４は、この付勢機構２５８により、通常状態におい
て、下取付板２４２に何等外力が作用していない場合
に、上取付板２４０の中心軸Ｃ₁ と、下取付板２４２の
中心軸Ｃ₂ とが、互いに、コンプライアンスモジユール
Ｍ５の中心軸線に沿つて整合された状態に弾性的に維持
されると共に、下取付板２４２に横断面内における外力
が作用した場合に、この外力に応じて、所定範囲でこの
横断面内で柔らかく偏倚することを許容することが出来
ることとなる。

【００９０】この付勢機構２５８を説明する前に、この
付勢機構２５８に関連した第１及び第２の整合部材２５
０，２５２の具体的形状について、先ず説明する。即
ち、第１及び第２の整合部材２５０，２５２は、互いに
上下に重ねられた状態で、完全に一致する様に同一形状
に形成されている。そして、各整合部材２５０，２５２
の外周面には、互いに等間隔に設定された４か所に、平
面視で略く字状に形成された凹部２６０ａ〜２６０ｄ；
２６２ａ〜２６２ｄが夫々形成されている。そして、各
整合部材２５０，２５２の外周面には、夫々の周方向に
沿つて、円周溝２６４，２６６が全周に渡り形成されて
いる。

【００９１】この様に形成された第１及び第２の整合部
材２５０，２５２を互いに整合した状態に付勢するため
の付勢機構２５８は、上下各対の凹部２６０ａ，２６２
ａ；２６０ｂ，２６２ｂ；２６０ｃ，２６２ｃ；２６０
ｄ，２６２ｄ毎に設けられた合計４本の支持ピン２６８
と、各支持ピン２６８の上端を第１の整合部材２５０の
外周に弾性的に一括して付勢するリング状の第１の付勢
部材２７０と、各支持ピン２６８の下端を第２の整合部
材２５２の外周に弾性的に一括して付勢するリング状の
第２の付勢部材２７２とを備えている。ここで、各支持
ピン２６８の直径は、これが対応する上下各対の凹部２
６０ａ，２６２ａ；２６０ｂ，２６２ｂ；２６０ｃ，２
６２ｃ；２６０ｄ，２６２ｄに収納された状態で、夫々
の半径方向に関しての外側部分が、第１及び第２の整合
部材２５０，２５２の外周面よりも半径方向外方に突出
する様に設定されている。

【００９２】詳細には、各支持ピン２６８は、上端部及
び下端部に、夫々環状の切り溝２６８ａ，２６８ｂが形
成されている。そして、これら支持ピン２６８が対応す
る上下各対の凹部２６０ａ，２６２ａ；２６０ｂ，２６
２ｂ；２６０ｃ，２６２ｃ；２６０ｄ，２６２ｄに収納
された状態で、上切り溝２６８ａは第１の整合部材２５
０の外周面に形成された円周溝２６４と周方向に沿つて
連通する様に、また、下切り溝２６８ｂは第２の整合部
材２５２の外周面に形成された円周溝２６６と周方向に
沿つて連通する様に、夫々設定されている。この収納状
態において、４本の支持ピン２６８は、第１の整合部材
２５０の円周溝２６４に嵌入された第１の付勢部材２７
０が、夫々の上切り溝２６８ａに嵌入し、第２の整合部
材２５２の円周溝２６６に嵌入された第２の付勢部材２
７２が、夫々の下切り溝２６８ｂに嵌入する事により、
対応するにより上下各対の凹部２６０ａ，２６２ａ；２
６０ｂ，２６２ｂ；２６０ｃ，２６２ｃ；２６０ｄ，２
６２ｄの外周面に弾性的に当接する事になる。この様に
して、第１及び第２の整合部材２５０，２５２は、互い
に中心軸線を整合した状態に、弾性的に保持される事と
なる。尚、この一実施例においては、この付勢部材２７
０及び２７２は、細かく捲回されたリング状のコイルス
プリングから形成されている。また、上述したロツク機
構２４６は、ロボツト１２のｚ軸アーム１４が横方向に
高速で移動した際に、その慣性により下取付板２４２が
上取付板２４０に対して横方向に偏倚することを防止す
るために設けられている。

【００９３】ここで、このロツク機構２４６は、上述し
た上取付板２４０の下面に、図５８に示す様に、左右各
一対の支持ピン２６８の各々の間に延出する状態で、一
対のシリンダ体２７４を、図５７に示す様に、コンプラ
イアンスモジユールＭ５の中心軸線に平行な中心軸線を
有する状態で一体的に備えている。各シリンダ体２７４
には、自身の中心軸線に沿つて延出するシリンダ室２７
６が下端で開口した状態で形成されている。このシリン
ダ室２７６内には、ロックピンとして機能するピストン
２７８が軸線方向に沿つて摺動可能に収納されている。
尚、このピストン２７８の下端面には、後述するロック
用ボール２８０を受ける円錐状のロック穴２７８ａが形
成されている。

【００９４】一方、図５７に示すように、各シリンダ体
２７４は、第１及び第２の整合部材２５０，２５２の外
周面に、これを避ける様に形成された凹部２８２，２８
４を介して、その下端面は、下取付板２４２の上面に近
接し、これに対向する位置まで延出している。一方、各
シリンダ体２７４の下端面に対向する下取付板２４２の
上面には、上述したロック用のボール２８０が収納・固
定される凹部２４２ａが形成されている。ここで、この
ボール２８０は、打ち込み加工により、対応する凹部２
４２内に収納され、固定されている。

【００９５】また、上述した上取付板２４０内には、各
シリンダ室２７６の上部に連通する連通通路２８６が形
成されており、各連通通路２８６の外端は、上取付板２
４０の外面に取り付けられたエアーポート２８８に共通
に連通されている。このエアーポート２８８は、後述す
る第１の開閉弁２９０を介して、上述した空圧源８２に
接続されている。ここで、この第１の開閉弁２９０は上
述した制御装置により開閉駆動される様に構成されてお
り、この制御装置は、ロボツト１２がｚ軸アーム１４を
移動駆動していると判断される間だけ、第１の開閉弁２
９０を接続モードに設定し、エアーポート２８８を介し
て空圧源８２と各シリンダ室２７６とを接続し、エアー
ポート２８８を介して、各シリンダ室２７６内に圧縮空
気を導入するように制御動作し、また、それ以外の状態
では、第１の開閉弁２９０を開放モードに設定して、エ
アーポート２８８を介して各シリンダ室２７６を大気に
開放し、圧縮空気が各シリンダ室２７６内から大気に排
出される様に制御動作する。この結果、第１の開閉弁２
９０が接続駆動される事により、各ピストン２７８は対
応するシリンダ室２７６から突出駆動され、これの下端
面に形成されたロック穴２７８ａ内に、下取付板２４２
に固定されたボール２８０が嵌入するロック位置にもた
らされ、この結果、上取付板２４０と下取付板２４２と
は互いに横方向に関してロツクされ、一体的に横移動す
ることになる。

【００９６】ここで、図５７及び図６０に示す様に、上
取付板２４０の下面中央部と、下取付板２４２に固定さ
れた第１の整合部材２５０の上面中央部との間には、コ
イルスプリング２９２が介設され、このコイルスプリン
グ２９２の付勢力により、両者は互いに軸方向に沿つて
離間する方向に偏倚させられている。この結果、第１の
整合部材２５０の外方フランジ部２５０ｃは、第２の整
合部材２５２の外周部２５２ｂ上に弾性的に当接し、両
者の延出面（即ち、中心軸線に直交する面）が所定角度
を形成する様にずれた場合に、その角度ずれが許容され
ると共に、この角度ずれを生じさせている力が取り除か
れた場合に、両者が密着する状態に、復帰される事とな
る。即ち、このコイルスプリング２９２を備える事によ
り、このコンプライアンスモジユールＭ５は、垂直軸線
に直交する面内のずれを吸収すると共に、この垂直軸線
に直交する面間の角度ずれをも吸収することが出来る事
になる。また、このコンプライアンスモジユールＭ５
は、上取付板２４０の外周縁から立ち下がった状態で、
スリーブ上のカバー２９４を備え、内部に配設されたコ
ンプライアンス機構２４４及びロック機構２４６を実質
的に閉塞する様になされている。

【００９７】以上のように構成されるコンプライアンス
モジユールＭ５における芯合せ動作を、以下に説明す
る。尚、この芯合せ動作は、以上の説明から明らかな様
に、ロック機構２４６において、第１の開閉弁２９０が
閉塞駆動され、ロック状態が解除されている場合にの
み、実行され得るものである。先ず、図６に示すよう
に、クランプモジユールＭ７に把持された１本のギヤＧ
の第３の軸部Ｇ３を穴Ｈ２内に嵌入する場合において、
予め、穴Ｈ２のｘーｙ′平面上における位置情報と、ロ
ボツト１２のｚ軸アーム１４の立体位置、即ち、嵌入し
ようとするギヤＧの位置情報とが、入力されており、こ
のｚ軸アーム１４は、これら位置情報に基づく制御装置
の制御動作により、移動制御されるものである。

【００９８】ここで、このｚ軸アーム１４の移動制御に
より、水平方向に沿つて、即ち、ｘ−ｙ′平面内で移動
する状態においては、第１の開閉弁２９０が開放され
て、連通通路２８６を夫々介して、各シリンダ室２７６
内に圧縮空気が供給されることになる。このようにし
て、各ピストン２７８は下方に押し下げられ、ロツク位
置に偏倚される。このようにロツク機構２４６が起動し
て、ロツク作動状態となり、各ピストン２７８がロツク
位置にもたらされて、ロック穴２７８ａ内に嵌入するこ
とにより、上下一対の取付板２４０，２４２とは、互い
に横方向に関してロツクされて、一体的に横移動するこ
とになる。

【００９９】一方、このｚ軸アーム１４の移動制御によ
り、垂直方向に沿つて、即ち、ｘ−ｚ′またはｙ′−
ｚ′平面内で移動する状態においては、第１の開閉弁が
閉塞駆動され、各シリンダ室２７６内に圧縮空気が供給
されないことになる。このようにして、各ピストン２７
８は、ロツク位置から解放される。このようにロツク機
構２４６が非ロック状態となり、上下の取付板２４０，
２４２は、互いに横方向に関して相対的に自由に移動で
きる状態にもたらされることになる。

【０１００】また、ここで、これら位置情報が正確であ
り、制御機構の制御内容通りにｚ軸アーム１４が移動駆
動され、また、設定値通りに穴Ｈ２は位置決めされてい
る場合には、この穴Ｈ２の直上方に、上述した移動制御
動作に基づいて、ギヤＧが移動され、その後、垂直下方
に下されることにより、ギヤＧの第３の軸部Ｇ３は、良
好に穴Ｈ２内に嵌入することになる。しかしながら、穴
Ｈ２の位置決めが正確でなく、ｘーｙ′平面内で設定値
より僅かにずれていたり、ｚ軸アーム１４の位置が、駆
動系の誤差、例えば、ギヤにおけるバツクラツシユ等に
より、制御機構により規定した位置から僅かにずれてい
る場合が発生する。

【０１０１】このようなずれが生じている場合には、ｚ
軸アーム１４の下降により垂直下方に下されてきたギヤ
Ｇの第３の軸部Ｇ３は、その下端縁が穴Ｈ２の開口端縁
に形成されたテーパ面に当接することになる。そして、
ｚ軸アーム１４が更に下降することにより、ギヤＧの下
端縁は、テーパ面に沿つてｘーｙ′平面に沿う分力を受
けることになる。ここで、上述したように、ｚ軸アーム
１４が上下方向に沿つて移動する場合において、両ロツ
ク機構２４６は、非作動状態となされている。このた
め、上下一対の取付板２４０、２４２は、互いに相対的
に横方向に偏倚可能になされている。この結果、上述し
たｘーｙ′平面に沿う分力をギヤＧが受けることによ
り、この分力は、下取付板２４２を介して、コンプライ
アンス機構２４４に作用することになる。

【０１０２】このため、この分力が作用している状態に
おいては、上下一対の付勢部材２７０，２７２により、
弾性的に第１及び第２の整合部材２５０，２５２が互い
の中心軸線を整合されていた状態から、これら付勢部材
２７０，２７２の付勢力に抗して、図６１に示す様に、
支持ピン２６８は斜めに傾くことにより、下取付板２４
２が上取付板２４０に対して、中心軸線に直交する面に
沿つてずれるように移動することになる。尚、このずれ
移動する場合において、図６１に示すように、下取付板
２４２は、その姿勢を傾かせること無く、ギヤＧを垂直
に延出するように支持した状態で移動することになる。
このため、以降の嵌入動作が非常に容易に行なわれるこ
とになる。

【０１０３】このようにして、ギヤＧの第３の軸部Ｇ３
と穴Ｈ２とのずれが、各コンプライアンス機構２４４に
おける第１及び第２の整合部材２５０，２５２のずれに
より弾性的に吸収され、ギヤＧと穴Ｈ２とは互いに垂直
方向に沿つて整合された状態にもたらされ、ｚ軸アーム
１４の下降に伴ない、ギヤＧの第３の軸部Ｇ３は穴Ｈ２
内に良好に嵌入されることになる。そして、ギヤＧの穴
Ｈ２への嵌入動作が終了した後、クランプモジユールＭ
７によるギヤＧの把持が解除され、ｚ軸アーム１４が上
昇駆動されると、クランプモジユールＭ７はギヤＧを離
した状態で、単独で上昇する。そして、ギヤＧがクラン
プモジユールＭ７から完全に離れた状態で、上述した分
力が、下取付板２４２に作用しなくなる。この結果、コ
ンプライアンス機構２４４において下取付板２４２に作
用していた分力が解消されることになり、上下一対の付
勢部材２７０，２７２の付勢力により、両取付板２４
０，２４２は、図６１に示すずれ状態から、図５７に示
す整合状態に良好に復帰することになる。

【０１０４】このようにして、このコンプライアンスモ
ジユールＭ５における芯合せ動作、換言すれば、コンプ
ライアンス機構２４４における弾性的な偏倚・復帰動作
が終了する。一方、このコンプライアンス機構２４４に
おける芯合せ動作は、上述した中心軸線に直交する面内
のずれを吸収する事のみならず、図６２に示す様に、こ
の中心軸線に直交する面内のずれを吸収しつつ、上取付
板２４０の中心軸線に対する下取付板２４２の中心軸線
の傾きをも吸収する所の、芯合せ動作を実行することが
出来るものである。

【０１０５】ここで、この上取付板２４０の４隅には、
図５５に示す様に、上述した一定の配設ピツチＤで互い
に離間した状態で、直径ｄ₁ の取付用ねじ穴２４０ｂ
が、また、下取付板２４２の４隅には、図５６に示す様
に、同様な状態で、取付用通し穴２４２ｂが夫々形成さ
れている。また、上取付板２４０の上面の互いに対向す
る二辺の中央部には、各モジユールＭ１〜Ｍ４，Ｍ６の
底面に共通に形成された一対の位置決めピンが夫々挿入
される位置決め穴２４０ｃ及び位置決め溝２４０ｄが形
成されている。そして、下取付板２４２の下面の互いに
対向する二辺の中央部には、他のモジユールＭ２〜Ｍ
４，Ｍ６，Ｍ７に形成された位置決め穴及び位置決め溝
に夫々挿入される所の、直径ｄ₂ を有し、所定距離Ｄ₂
だけ離間した一対の位置決めピン２４２ｃが下方に突出
した状態で一体に取り付けられている。このようにし
て、このコンプライアンスモジユールＭ５の下部には、
他のモジユールＭ２〜Ｍ４，Ｍ６，Ｍ７が選択的に取り
付けられると共に、これの上部には、他のモジユールＭ
１〜Ｍ４，Ｍ６が選択的に取り付けられるようになる。

【０１０６】［シフトモジユールＭ６の説明］上述した
シフト動作を行なうためのシフトモジユールＭ６は、図
６３乃至図７０に一実施例として示すように、シフトモ
ジユールＭ６の中心軸に沿つて互いに相対的に移動自在
に取り付けられた上下一対の取付板３００，３０２と、
上下両取付板３００，３０２との間にテレスコープ状に
介設された中間部材３０４とを備えている。ここで、上
取付板３００の下面中央部には、下取付板３０２を上取
付板３００に対して、軸線方向に沿つて近接・離間移動
するための移動駆動機構３０６が一体的に取り付けられ
ている。この移動駆動機構３０６は、この一実施例にお
いては、空圧シリンダ機構として構成されている。

【０１０７】先ず、上述した上取付板３００の下面に
は、同一直径上に位置し、互いに中心軸線から同一距離
だけ離間した位置に、下方に向けて延出する一対の第１
のガイドロツド３０８が固定されている。また、この上
取付板３００の下面外周には、上述した一対の第１のガ
イドロツド３０８を取り囲む様になされたスリーブ状の
第１のカバー３１０が一体的に立ち下がった状態で形成
されている。一方、上述した下取付板３０２の上面に
は、上述した第１のガイドロツド３０８が配設された直
径と直交する直径上に位置し、第１のガイドロツド３０
８の中止軸線からの離間距離と同一距離だけ、中心軸線
から離間した位置に、上方に向けて延出する一対の第２
のガイドロツド３１２が固定されている。また、この下
取付板３０２の上面外周には、上述した第１のカバー３
１０と整合する状態で、第２のカバー３１４が一体的に
起立した状態で形成されている。

【０１０８】一方、上述した中間部材３０４は、第１及
び第２のカバー３１０，３１４の内方に位置し、これら
により取り囲まれる状態で配設されている。即ち、この
中間部材３０４は、中央に、上述した移動駆動機構３０
６が貫通される中央透孔３１６ａが形成された円板状の
本体部３１６と、この本体部３１６の外周において、上
述した一対の第１のガイドロツド３０８が夫々上方から
挿入される一対のスリーブ３１８と、一対の第２のガイ
ドロツド３１２が夫々下方から挿入される一対のスリー
ブ３２０とから一体的に形成されている。尚、これら第
１及び第２のガイドロツド３０８，３１２は対応するス
リーブ３１８，３２０内において、夫々の内周に収納さ
れたスライドベアリング３２２，３２４により摺動自在
に支持されている。

【０１０９】一方、図６４と図６８とに示す様に、上述
した第１の一対のガイドロツド３０８が配設された直径
と、上述した第２の一対のガイドロツド３１２が配設さ
れた直径とは異なる直径上に位置し、これらが配設され
た円周上と同一円周上に位置した状態で、中間部材３０
４の本体３１６の上面には、シフトモジユールＭ６にお
ける上昇端位置を規制するための第１の一対のストツパ
ピン３２６が起立した状態で固定されている。各第１の
ストツパピン３２６の上端には、上取付板３００の下面
に当接する事により中間部材３０４の上昇端を規定する
第１の頭部３２８が取り付けられ、この第１の頭部３２
８は第１の緩衝材３３０を介して上取付板３００の下面
に当接する様になされている。

【０１１０】尚、この第１のストツパピン３２６の外周
には全長に渡りねじ溝が形成されており、上述した第１
の頭部３２８は、このねじ溝に螺合している。この結
果、この第１の頭部３２８は、第１のストツパピン３２
６の軸方向に沿つて移動可能になされている。即ち、こ
の第１の頭部３２８を第１のストツパピン３２６の軸方
向に沿つて移動する事により、中間部材３０４の上取付
板３００へのシフトストローク量を変更調整することが
出来ものである。

【０１１１】また、第１の一対のガイドロツド３０８が
配設された直径と、上述した第２の一対のガイドロツド
３１２が配設された直径と、第１の一対のストツパピン
３２６が配設された直径とは異なる直径上に位置し、こ
れらが配設された円周上と同一円周上に位置した状態
で、下取付板３０２の上面には、シフトモジユールＭ６
における下降端位置を規制するための第２の一対のスト
ツパピン３３２が立ち下がった状態で固定されている。
尚、これら第２のストツパピン３３２の上端は、中間部
材３０４の本体部３１６に厚さ方向に貫通した状態で形
成されたサイド透孔３１６ｂを介して、本体部３１６の
上方に取り出されている。そして、各第２のストツパピ
ン３３２の上端には、このサイド透孔３１６の直径より
も径大になされた第２の頭部３３４が取り付けられてい
る。ここで、この第２の頭部３３４の下面が、第２の緩
衝材３３６を介して中間部材３０４の本体部３１６の上
面に当接する事により、下取付板３０２の中間部材３０
４に対する下降端位置が規定される事になる。

【０１１２】尚、各第２のストツパピン３３２の上端に
取り付けられた第２の頭部３３４は、図６８に示す様
に、第１のストツパピン３２６の頭部３２８が第１の緩
衝材３３０を介して上取付板３００の下面に当接して、
上昇端位置を規定された状態で、上取付板３００に形成
された透孔３００ａ内に挿入される様になされている。
尚、この第２のストツパピン３３２の外周には全長に渡
りねじ溝が形成されており、上述した第２の頭部３３４
は、このねじ溝に螺合している。この結果、この第２の
頭部３３４は、第２のストツパピン３３２の軸方向に沿
つて移動可能になされている。即ち、この第２の頭部３
３４を第２のストツパピン３３２の軸方向に沿つて移動
する事により、下取付板３０２の中間部材３０４へのシ
フトストローク量を変更調整することが出来ものであ
る。

【０１１３】この様に、上取付板３００及び下取付板３
０２に対してテレスコープ状に介設された中間部材３０
４を介して、上取付板３００と下取付板３０２とを互い
の中心軸線に沿つて近接・離間する様にガイドしている
ので、小さな高さ寸法で、十分なシフトストロークを得
ることが出来、各モジユールを組み合わせた場合に、よ
りコンパクトな構造を達成することが出来る事になる。
また第１の一対のガイドロツド３０８と第２の一対のガ
イドロツド３１２の４本のガイドロツドにより荷重に抗
する為、剛性において優位な構造となっている。また、
上述した移動駆動機構３０６は、上取付板３００の下面
中央部に立ち下がった状態で一体に取り付けられたシリ
ンダ体３３８と、このシリンダ体３３８の内部に形成さ
れたシリンダ室３４０内に、シフトモジユールＭ６の中
心軸線に沿つて往復摺動可能に収納されたピストン３４
２と、このピストン３４２の下面に一体的に接続され、
シリンダ体３３８の下部を貫通した状態で、下方に突出
されて、下端が上述した下取付板３０２の上面中央部に
連結されたピストンロツド３４４とから構成されてい
る。

【０１１４】ここで、このピストン３４２より下方に位
置するシリンダ室３４０の部分により第１のシリンダ分
室３４０ａが規定され、一方、ピストン３４２より上方
に位置するシリンダ室３４０の部分により第２のシリン
ダ分室３４０ｂが規定されている。そして、図７０から
明らかな様に、上取付板３００とシリンダ体３３８の周
壁とを共に貫通した状態で、第１のシリンダ分室３４０
ａに一端が接続された第１の連通通路３４６ａが形成さ
れている。この第１の連通通路３４６ａは、上取付板３
００の外側面に取り付けられた第１のエアーポート３４
８ａに接続されている。一方、この第１のエアーポート
３４８ａに並設された状態で、第２のエアーポート３４
８ｂが上取付板３００の外側面に取り付けられている。
ここで、この第２のエアーポート３４８ｂは、図示して
いないが、上取付板３００内を貫通した状態で形成され
た第２の連通通路を介して、第２のシリンダ分室３４０
ｂに連通している。

【０１１５】尚、これら第１及び第２のエアーポート３
４８ａ，３４８ｂは、後述する電磁ソレノイドバルブか
らなる第３の切り換え弁３５０を介して、上述した空圧
源８２に接続されている。この第３の切り換え弁３５０
は、第１の切り換えモードが設定される状態で、第１の
エアーポート３４８ａを介して第１のシリンダ分室３４
０ａに圧縮空気を導入し、第２のエアーポート３４８ｂ
を介して第２のシリンダ分室３４０ｂから空気を排出す
る様に切り換え設定され、一方、第２の切り換えモード
が設定される状態で、第１のエアーポート３４８ａを介
して第１のシリンダ分室３４０ａから空気を排出し、第
２のエアーポート３４８ｂを介して第２のシリンダ分室
３４０ｂに圧縮空気を導入する様に切り換え設定される
様に構成されている。この様に第３の切り換え弁３５０
において、第１の切り換えモードが設定される事によ
り、下取付板３０２は上取付板３００に近接駆動され、
第２の切り換えモードが設定される事により、下取付板
３０２は上取付板３００から離間駆動される事になる。

【０１１６】また、図６３及び図６９に示す様に、上取
付板３００の一外側面には、これから立ち下がった状態
で、センサ取り付けステイ３５２が取り付けられてい
る。また、このセンサ取り付けステイ３５２の内面に対
向して、取付板３０２の一外側面には、これから起立し
た状態で、ドグ取り付けステイ３５４が取り付けられて
いる。そして、このドグ取り付けステイ３５４の上端に
は、下取付板３０２の下降端位置を規定する第１のドグ
３５６ａが取り付けられ、これの下端には、下取付板３
０２の上昇端位置を規定する第２のドグ３５６ｂが取り
付けられている。ここで、これら第１及び第２のドグ３
５６ａ，３５６ｂは、マグネツトから構成されている。
また、これら第１及び第２のドグ３５６ａ，３５６ｂ
は、円周方向に沿つて互いに離間した位置に配設されて
いる。

【０１１７】一方、上述したセンサ取り付けステイ３５
２には、下取付板３０２が下降端位置に下降した状態
で、第１のドグ３５６ａによりオン動作される第７のセ
ンサ３５８と、下取付板３０２が上昇端位置に上昇した
状態で、第２のドグ３５６ｂによりオン動作される第８
のセンサ３６０とが取り付けられている。ここで、これ
ら第７及び第８のセンサ３５８，３６０は、共に、マグ
ネツトが近接する事によりオン動作する非接触式の磁気
センサから構成されている。

【０１１８】ここで、これら第７及び第８のセンサ３５
８，３６０は、上述した制御装置に接続され、これに検
出結果を出力する様になされている。即ち、この制御装
置は、上述した第３の切り換え弁３５０を第１の切り換
えモードに切り換え設定して、下取付板３０２を上取付
板３００から離間する様に駆動制御した状態において、
所定時間経過しても、尚、第７のセンサ３５８からオン
信号が出力されない場合に、下取付板３０２が下降動作
途中において停止したか、もしくは、下降動作を実行し
ない異常状態であるとして、警報動作を実行し、所定時
間内に第７のセンサ３５８からオン信号が出力される事
により、引き続く制御手順を実行する様になされてい
る。また、この制御装置は、上述した第３の切り換え弁
３５０を第２の切り換えモードに切り換え設定して、下
取付板３０２を上取付板３００に近接する様に駆動制御
した状態において、所定時間経過しても、尚、第８のセ
ンサ３６０からオン信号が出力されない場合に、下取付
板３０２が上昇動作途中において停止したか、もしく
は、上昇動作を実行しない異常状態であるとして、警報
動作を実行し、所定時間内に第８のセンサ３６０からオ
ン信号が出力される事により、引き続く制御手順を実行
する様になされている。

【０１１９】以上の様に、このシフトモジユールＭ６は
構成されているので、第３の切り換え弁３５０において
第１の切り換えモードが設定され、第１のエアーポート
３４８ａを介して第１のシリンダ分室３４０ａに圧縮空
気が導入され、第２のエアーポート３４８ｂを介して第
２のシリンダ分室３４０ｂから空気が排出される事によ
り、下取付板３０２は上取付板３００に近接駆動され、
また、第３の切り換え弁３５０において第２の切り換え
モードが設定され、第２のエアーポート３４８ｂを介し
て第２のシリンダ分室３４０ｂに圧縮空気が導入され、
第１のエアーポート３４８ｂを介して第１のシリンダ分
室３４０ａから空気が排出される事により、下取付板３
０２は上取付板から離間駆動される事となる。

【０１２０】ここで、この上取付板３００の４隅には、
上述した一定の直径ｄ₁ を有し、一定の配設ピツチＤ₁
で互いに離間した状態で、取付用ねじ穴３００ｂが、ま
た、下取付板３０２の４隅には、同様な状態で、取付用
通し穴３０２ａが夫々形成されている。また、上取付板
３００の上面の互いに対向する二辺の中央部には、各モ
ジユールＭ１〜Ｍ５の底面に共通に形成された一対の位
置決めピンが夫々挿入される位置決め穴３００ｃ及び位
置決め溝３００ｄが形成されている。

【０１２１】そして、下取付板３０２の下面の互いに対
向する二辺の中央部には、他のモジユールＭ２〜Ｍ５，
Ｍ７に形成された位置決め穴及び位置決め溝に夫々挿入
される一対の位置決めピン３０２ｂが、所定の直径ｄ₁
を有し、所定距離Ｄ２だけ離間して下方に突出した状態
で一体に取り付けられている。このようにして、このシ
フトモジユールＭ６の下部には、他のモジユールＭ２，
Ｍ５，Ｍ７が選択的に取り付けられると共に、これの上
部には、他のモジユールＭ１〜Ｍ５の何れかが選択的に
取り付けられるようになる。

【０１２２】［クランプモジユールＭ７の説明］また、
このハンド機構１０の下部に取り付けられ、部品を把持
するためのクランプモジユールＭ７は、図７１乃至図７
８に第１の実施例として示すように構成されている。即
ち、このクランプモジユールＭ７は、空圧駆動、即ち、
作動圧縮空気により駆動されるよう構成されており、他
のモジユールの下取付板（ホルダモジユールＭ１に関し
ては取付板）の下面に取り付けられる取付板３７０を備
えている。この取付板３７０の周囲には、これを取り囲
む様にして、フレーム部材３７２が立ち下がった状態で
一体的に取り付けられている。即ち、このフレーム部材
３７２は、取付板３７０の４つの片に夫々対応して、４
つのフレーム片３７２ａ〜３７２ｄから構成されてい
る。この取付板３７０の下面には、図７２と図７４とに
示す様に、これの中心線に沿つて延出する一本のガイド
レール３７４が固定されている。このガイドレール３７
４には、一対のスライドブロツク３７６，３７８がスラ
イドガイド３８０，３８２を夫々介して、摺動自在に案
内されている。尚、これらスライドガイド３８０，３８
２は、ガイドレール３７４に脱落不能に支持されてい
る。

【０１２３】即ち、これらスライドブロツク３７６，３
７８は、図７７に示す様に、取付板３７０の下方におい
て、フレーム部材３７２に囲まれる空間内で、互いに対
抗する一対のフレーム片３７２ａ，３７２ｃの間でスラ
イド自在になされている。詳細には、これらスライドブ
ロツク３７６，３７８は、対応するフレーム片３７２
ａ，３７２ｃに夫々取り付けられたアンクランプ量調整
用ストツパボルト３８４，３８６の先端面に夫々の外面
が当接するアンクランプ位置（即ち、最大離間位置）
と、反対側のフレーム片３７２ｃ，３７２ａに夫々取り
付けられたクランプ量調整用ストツパボルト３８８，３
９０の先端面に夫々の内面が当接する当接するクランプ
位置（即ち、最大近接位置）との間で、夫々独立にスラ
イド可能になされている。

【０１２４】尚、両アンクランプ量調整用ストツパボル
ト３８４，３８６は、夫々独立に、対応するフレーム片
３７２ａ，３７２ｃに対して進退自在に取り付けられて
おり、これらを進退させる事により、アンクランプ位置
（即ち、最大離間量）は任意に設定されるものである。
一方、両クランプ量調整用ストツパボルト３８８，３９
０は、対向するスライドブロツク３７８，３７６に貫通
した状態で形成された透孔３７８ａ，３７６ａを夫々介
して、その先端が中央部付近まで延出しいる。そして、
両クランプ量調整用ストツパボルト３８８，３９０は、
夫々独立に、反対側のフレーム片３７２ｃ，３７２ａに
対して進退自在に取り付けられており、これらを進退さ
せる事により、クランプ位置（即ち、最小離間量）は任
意に設定されるものである。

【０１２５】ここで、図７６において左方に位置する第
１のスライドブロツク３７６は、基端部を対応するクラ
ンプ量調整用ストツパボルト３８８の外周に巻回され、
第２のスライドブロツク３７８に形成された透孔３７８
ａを貫通して、先端が内面に係止される第１のコイルス
プリング３９２により、常時、アンクランプ位置に付勢
されている。また、図７６において右方に位置する第２
のスライドブロツク３７８は、基端部を対応するクラン
プ量調整用ストツパボルト３９０の外周に巻回され、第
１のスライドブロツク３７６に形成された透孔３７６ａ
を貫通して、先端が内面に係止される第２のコイルスプ
リング３９４により、常時、アンクランプ位置に付勢さ
れている。即ち、これらスライドブロツク３７６，３７
８は、こらに何ら外力が作用しない限りにおいて、常
時、アンクランプ状態に弾性的に保持されている。

【０１２６】一方、これらスライドブロツク３７６，３
７８を対応するコイルスプリング３９２，３９４の付勢
力に抗してクランプ位置まで移動駆動するために、移動
駆動機構３９６が設けられている。この移動駆動機構３
９６は、この実施例においては、夫々のスライドブロツ
ク３７６，３７８に取り付けられたエアーシリンダ機構
３９６ａ，３９６ｂから構成されている。ここで、これ
らエアーシリンダ機構３９６ａ，３９６ｂは同様に構成
されているので、第１のスライドブロツク３７６を移動
駆動するためのエアーシリンダ機構３９６ａを、各参照
符号に「ａ」を付した状態で代表して説明し、第２のス
ライドブロツク３７８を移動駆動するためのエアーシリ
ンダ機構３９６ｂには、同様な符号に「ｂ」を付して、
その説明を省略する。

【０１２７】即ち、このエアーシリンダ機構３９６ａ
は、第１のスライドブロツク３７６の外面には、丁度、
対応するクランプ量調整用ストツパボルト３８８と整合
する延出軸線を有する状態で、断面円形状の凹所３９８
ａが形成されており、この凹所３９８ａ内には、この開
口部を介してピストン４００ａの先端部が遊挿されてい
る。尚、このピストン４００ａの基端部は、対応するフ
レーム片３７２ａに固定されている。そして、このピス
トン４００ａの先端部の外周には、薄板鋼板から形成さ
れ、先端が閉塞されたシリンダ体４０２ａが気密な状態
で摺動可能に嵌入されている。ここで、このシリンダ体
４０２ａは、その先端を凹所３９８ａの端面に固着され
る事により、第１のスライドブロツク３７６に固定され
ている。この結果、このシリンダ体４０２ａの内部空間
であつて、ピストン４００ａの先端面より前方に位置す
る空間により、シリンダ室４０４ａが規定される事にな
る。

【０１２８】一方、このピストン４００ａ内には、上述
したシリンダ室４０４ａに圧縮空気を導入するために一
端で連通する連通通路４０６ａが形成されており、この
連通通路４０６ａの他端は、ピストン４００ａの対応す
るフレーム片３７２ａから外方に突出する基端部に取り
付けられたエアーポート４０８ａに接続されている。こ
こで、両エアーシリンダ機構３９６ａ，３９６ｂに夫々
備えられたエアーポート４０８ａ，４０８ｂは、後述す
る第２の開閉弁４１０を介して、上述した空圧源８２に
接続されている。この第２の開閉弁４１０は、制御装置
により接続モードが設定される状態で、第１のエアーポ
ート４０８ａ，４０８ｂを夫々介して上述した空圧源８
２に第１及び第２のエアーポート４０８ａ，４０８ｂを
接続し、第１及び第２のシリンダ室４０４ａ，４０４ｂ
に圧縮空気を導入する様に設定され、一方、開放モード
が設定される状態で、第１及び第２のエアーポート４０
８ａ，４０８ｂを夫々介して第１及び第２のシリンダ４
０４ａ，４０４ｂを大気に開放して、これらから空気を
排出する様に切り換え設定される様に構成されている。

【０１２９】この様に第２の開閉弁４１０において、接
続モードが設定される事により、第１及び第２のスライ
ドブロツク３７６，３７８はアンクランプ位置からクラ
ンプ位置に向けて、夫々のコイルスプリング３９２，３
９４の付勢力に抗して移動駆動され、開放モードが設定
される事により、第１及び第２のスライドブロツク３７
６，３７８はクランプ位置からアンクランプ位置に向け
て、夫々のコイルスプリング３９２，３９４の付勢力に
より復帰移動される事になる。尚、これら第１及び第２
のスライドブロツク３７６，３７８の下面には、夫々に
部品を両側から把持するためのジヨー４１２，４１４が
取り付けられている。従つて、第２の開閉弁４１０にお
いて接続モードが設定される事により、これらジヨー４
１２，４１４により部品としてのギヤＧは両側から把持
される事となる。ここで、各ジヨー４１２，４１４の下
面には、各中央部に位置決め溝４１２ａ，４１４ａが形
成されている。各位置決め溝４１２ａ，４１４ａは対応
するジヨー４１２，４１４の損傷時に、これを取り外し
て新たなジヨー４１２，４１４を組み付ける際の基準と
なるように、全てのジヨーに対して互換性を有するよう
に形成されている。

【０１３０】ここで、この実施例においては、第１のエ
アーシリンダ機構３９６ａにおけるシリンダ室４０４ａ
の直径は、第２のエアーシリンダ機構３９６ｂにおける
シリンダ室４０４ｂの直径よりも大きく設定されてい
る。この結果、第１のエアーシリンダ機構３９６ａにお
ける移動駆動力は、第２のエアーシリンダ機構３９６ｂ
における移動駆動力よりも大きく設定される事となる。
このため、具体的に部品を把持する状態においては、大
きな駆動力で移動される第１のスライドブロツク３７６
が対応するクランプ量調整用ストツパボルト３８８に必
ず当接する状態で、クランプ位置が規定される事にな
る。この様にして、例え、部品の載置位置が所定位置か
らずれていたとしても、両ジヨー４１２，４１４により
クランプされた状態で、そのクランプ位置は、取付板３
７０に対して常に一定した位置に設定される事になる。

【０１３１】また、図７５及び図７８に示す様に、上述
したフレーム部材３７２の互いに対抗する一対のフレー
ム片３７２ｂ，３７２ｄの下端面には、取り付け用の第
１の溝４１６，４１８が長手軸方向に沿つて延出した状
態で夫々形成されている。また、これらフレーム片３７
２ｂ，３７２ｄの互いに対向する内面には、スライドブ
ロツク３７６，３７８の対向する外側面に一体的に取り
付けられた検出ドグ３７６ｂ，３７８ｂが夫々挿通され
る第２の溝４２０，４２２が夫々形成されている。一
方、このフレーム片３７２ｄの内側面に形成された第２
の溝４２２内には、第１のスライドブロツク３７６がク
ランプ位置にもたらされる事により対応する検出ドグ３
７６ｂによりオン動作される第９のセンサ４２４が収納
されており、また、フレーム片３７２ｂの内側面に形成
された第２の溝４２０には、第２のスライドブロツク３
７８がクランプ位置にもたらされる事により対応する検
出ドグ３７８ｂによりオン動作される第１０のセンサ４
２６が収納されている。ここで、これら第９及び第１０
のセンサ４２４，４２６は、共に、対応するドグ３７６
ｂ，３７８ｂが近接する事によりオン動作する非接触式
の近接センサから構成されている。

【０１３２】ここで、これら第９及び第１０のセンサ４
２４，４２６は、上述した制御装置に接続され、これに
検出結果を出力する様になされている。即ち、この制御
装置は、上述した第２の開閉弁４１０を接続モードに切
り換え設定して、両スライドブロツク３７６，３７８が
アンクランプ位置からクランプ位置に向けて移動する様
に駆動制御した状態において、所定時間経過しても、
尚、第９及び第１０のセンサ４２４，４２６から共にオ
ン信号が出力されない場合に、両スライドブロツク３７
６，３７８が移動動作途中において停止したか、もしく
は、移動動作を実行しない異常状態であるとして、警報
動作を実行し、所定時間内に第９及び第１０のセンサ４
２４，４２６から共にオン信号が出力される事により、
引き続く制御手順を実行する様になされている。

【０１３３】また、この制御装置は、上述した第２の開
閉弁４１０を開放モードに切り換え設定して、両スライ
ドブロツク３７６，３７８をアンクランプ位置からクラ
ンプ位置に向けて移動する様に駆動制御した状態におい
て、所定時間を経過しても、尚、第９及び第１０のセン
サ４２４，４２６からオン信号が出力されている場合
に、両スライドブロツク３７６，３７８がクランプ位置
に停止したままの状態に係止された異常状態であるとし
て、警報動作を実行し、所定時間内に第９及び第１０の
センサ４２４，４２６からオン信号が出力されなくなる
事により、引き続く制御手順を実行する様になされてい
る。

【０１３４】一方、上述したスライド片３７２ｂ，３７
２ｄの外側面には、必要に応じて補機類がオプシヨンと
して取り付けられる上下一対の取り付け溝４２８ａ，４
２８ｂ；４３０ａ，４３０ｂが断面略Ｔ字状に形成され
ている。尚、この実施例においては、スライド片３７２
ｂの外側面に、これら上下一対の取り付け溝４２８ａ，
４２８ｂを介して取り付けられる補機として、図１に示
す様に、ハンド機構１０のギヤ載置面Ｓ１に対する相対
位置を正確に検出するための照準ユニツト４４０が用意
されており、この照準ユニツト４４０はスライド片３７
２ｂの外側面に着脱自在に取り付けられている。この照
準ユニツト４４０は、この発明の特徴を何ら規定しない
ものであるため、その詳細な説明を省略するが、載置面
Ｓ１に規定された基準マーク（図示せず）を検出する第
１１のセンサ４４２を備え、この第１１のセンサ４４２
を介して基準マークを検出する事により、ハンド機構１
０の原点位置を校正するようになされている。尚、この
第１１のセンサ４４２は、この実施例においては、光学
センサから構成され、具体的には、反射式のフォトカプ
ラから構成されている。

【０１３５】以上のように構成されるクランプモジユー
ルＭ７においては、第２の開閉弁４１０において接続モ
ードが設定され、第１及び第２ののエアーポート４０８
ａ，４０８ｂを介して第１及び第２のシリンダ室に圧縮
空気が導入される事により、両ジヨー４１２，４１４は
近接駆動され、ギヤＧの第１の軸部Ｇ２の両側に形成さ
れた平坦面Ｇ４を両側からクランプする事になる。ま
た、第２の開閉弁４１０において開放モードが設定さ
れ、第１及び第２のエアーポート４０８ａ，４０８ｂを
介して第１及び第２のシリンダ室から圧縮空気が排出さ
れる事により、両ジヨー４１２，４１４は互いに離間駆
動され、アンクランプ状態にもたらされる事になる。

【０１３６】ここで、この取付板３７０の上面の４隅に
は、上述した一定の直径ｄ₁ を有し、一定の配設ピツチ
Ｄ₁ で互いに離間した状態で、取付用ねじ穴３７０ａが
形成されている。そして、この直径ｄ₁ 及び配設ピツチ
Ｄ₁ は、上述した６種類のモジユールＭ１〜Ｍ６に関し
て、夫々共通な値に設定されている。また、取付板３７
０の上面の互いに対向する２片の中央部には、上述した
各モジユールＭ１〜Ｍ６の底面に共通の直径ｄ２を有
し、共通の離間距離Ｄ２で離間した状態で形成された一
対の位置決めピンが夫々挿入される位置決め穴３７０ｂ
及び位置決め溝３７０ｃが形成されている。尚、これら
の位置決め穴３７０ｂ及び位置決め溝３７０ｃは、上述
した各ジヨー４１２，４１４における位置決め溝４１２
ａ，４１４ａと精度よく位置決めされている。この結
果、各ジヨー４１２，４１４に対する位置出し用の位置
決めピンの取り付けに対して互換性を有する構造となる
ものである。

【０１３７】そして、これら位置決め穴３７０ｂ及び位
置決め溝３７０ｃは、上述したように各モジユールＭ１
〜Ｍ６に対して夫々共通に設定されているので、このク
ランプモジユールＭ７は、モジユールＭ１〜Ｍ６の何れ
の下部にも同一の状態で取り付けられることが出来るこ
とになる。ここで、例えば、このクランプモジユールＭ
７を直接にホルダモジユールＭ１の取付板３０に取り付
ける場合には、取付板３０の取付用通し穴３０ａを上方
から挿通された取付ねじ（図示せず）の下端に形成され
たねじ部が、取付用ねじ穴３７０ａに螺着されることに
なる。

【０１３８】このクランプモジユールＭ７は、上述した
第１の実施例の構成に限定されることなく、この発明の
要旨を逸脱しない範囲で種々変形可能である事は言うま
でも無い。例えば、このクランプモジユールは、図７９
乃至図８５に第２の実施例として示すように構成するこ
とが出来るものである。即ち、上述した第１の実施例に
おいては、第１及び第２のジヨー４１２，４１４の両ア
ンクランプ位置は、フレーム部材３７２内に設定され、
従つて、両ジヨー４１２，４１４の最大離間距離は制限
されている。このため、これによりクランプされる部品
の大きさには、フレーム部材３７２より小さく無ければ
ならないとの限界があるものである。これに対して、第
２の実施例のクランプモジユールＭ７ｂにおいては、ク
ランプされる部品の大きさに実質的に限界が無くなり、
任意のサイズの部品をクランプすることが出来るように
なされている。

【０１３９】以下に、この第２の実施例のクランプモジ
ユールＭ７ｂを説明するが、上述した第１の実施例のク
ランプモジユールＭ７と同一部分には、同一符号を付し
て、その説明を省略する。詳細には、この第２の実施例
においては、クランプモジユールＭ７ｂの取付板４５０
は、その中央部において、他のモジユールＭ１〜Ｍ６に
選択的に取り付けられるようになされた長尺の板体から
構成されている。そして、第１及び第２のスライドブロ
ツク３７６，３７８はこの長尺の取付板４５０の両端に
おいて、互いに独立した状態で配設されている。即ち、
上述したガイドレール３７４は左右一対のガイドレール
３７４ａ，３７４ｂに分割され、第１及び第２のスライ
ドブロツク３７６，３７８はこれらガイドレール３７４
ａ，３７４ｂに夫々分離・独立した状態でガイドされて
いる。そして、第１のスライドブロツク３７６に関して
は、第１の実施例においては、対応するクランプ量調整
用ストツパボルト３８８は反対側のフレーム片３８２ｃ
に取り付けられるように設定されていたが、この実施例
においては、これが取り付け支持されるために、第１の
補助取り付け片４５２が取付板４５０の下面に固定され
ている。一方、第１のスライドブロツク３７８に関して
は、第１の実施例においては、対応するクランプ量調整
用ストツパボルト３９０は反対側のフレーム片３８２ａ
に取り付けられるように設定されていたが、この実施例
においては、これが取り付け支持されるために、第２の
補助取り付け片４５４が取付板４５０の下面に固定され
ている。

【０１４０】一方、上述した第１の実施例においては、
第１及び第２のスライドブロツク３７６，３７８のクラ
ンプ位置からアンクランプ位置に向けての移動は、対応
するコイルスプリング３９２，３９４の付勢力に基づく
ように構成したが、この実施例においては、第１のスラ
イドブロツク３７６をクランプ位置からアンクランプ位
置に向けて駆動させるために、第２のエアーシリンダ機
構３９６ｂと実質的に同様に構成された第３のエアーシ
リンダ機構３９６ｃが、この第１のスライドブロツク３
７６に取り付けられている。また、第２のスライドブロ
ツク３７８をクランプ位置からアンクランプ位置に向け
て駆動させるために、第１のエアーシリンダ機構３９６
ａと実質的に同様に構成された第４のエアーシリンダ機
構３９６ｄが、この第２のスライドブロツク３７８に取
り付けられている。

【０１４１】但し、この第２の実施例においては、第１
及び第２のスライドブロツク３７６，３７８の往復移動
に、夫々空圧作動力を利用しているため、第１乃至第４
のエアーシリンダ機構３９６ａ，３９６ｄは、図示して
いないが、第４の切り換え弁を介して空圧源８２に接続
されている。ここで、この第４の切り換え弁は、制御装
置により第１の切り換えモードを設定される事により、
第１及び第２のエアーシリンダ機構３９６ａ，３９６ｂ
を空圧源８２に接続し、第３及び第４のエアーシリンダ
機構３９６ｃ，３９６ｄを大気に開放するように夫々切
り換え設定され、また、第２の切り換えモードを設定さ
れる事により、第１及び第２のエアーシリンダ機構３９
６ａ，３９６ｂを大気に開放し、第３及び第４のエアー
シリンダ機構３９６ｃ，３９６ｄを空圧源８２に接続す
るように夫々切り換え設定されるように構成されてい
る。

【０１４２】この様に、この第２の実施例のクランプモ
ジユールＭ７ｂは構成されているので、第４の切り換え
弁において第２の切り換えモードから第１の切り換えモ
ードが切り換え設定され、第１及び第２のエアーポート
３４８ａ，３４８ｂを夫々介して第１及び第２のシリン
ダ室４０４ａ，４０４ｂに夫々圧縮空気が導入され、第
３及び第４のエアーポート３４８ｃ，３４８ｄを夫々介
して第３及び第４のシリンダ分室４０４ｃ，４０４ｄか
ら空気が排出される事により、第１及び第２のスライド
ブロツク３７６，３７８はアンクランプ位置からクラン
プ位置に向けて移動され、互いに近接駆動されることと
なる。また、第４の切り換え弁において第１の切り換え
モードから第２の切り換えモードが切り換え設定され、
第３及び第４のエアーポート３４８ｃ，３４８ｄを夫々
介して第３及び第４のシリンダ室４０４ｃ，４０４ｄに
圧縮空気が導入され、第１及び第２のエアーポート３４
８ａ，３４８ｂを夫々介して第１及び第２のシリンダ室
４０４ａ，４０４ｂから空気が排出される事により、第
１及び第２のスライドブロツク３７６，３７８はクラン
プ位置からアンクランプ位置に向けて移動され、互いに
離間駆動される事となる。

【０１４３】尚、この様に第１及び第２のスライドブロ
ツク３７６，３７８のアンクランプ位置からクランプ位
置への移動と、クランプ位置からアンクランプ位置への
移動を、共に、空圧制御により駆動するように構成して
いるため、上述した第１の実施例において備えられた所
の、第１及び第２のスライドブロツク３７６，３７８が
夫々クランプ位置にもたらされた事を検知する第９及び
第１０のセンサ４２４，４２６の他に、これらがアンク
ランプ位置にもたらされた事を夫々検知する第１１及び
第１２のセンサ４５６，２５８が更に備えられている。
この様に第２の実施例に示すようにクランプモジユール
Ｍ７ｂを構成する事により、任意のサイズの部品をクラ
ンプする事が出来る事になる。

【０１４４】この第２の実施例において、取付板４５０
の下面中央部に、図８６に示すように、コンプライアン
スモジユールＭ５ｂを別途取り付ける構成が考えられ
る。尚、このコンプライアンスモジユールＭ５ｂは、上
述したコンプライアンスモジユールＭ５と同一構成であ
るが、このコンプライアンスモジユールＭ５ｂの下取付
板２４２の下面には、クランプモジユールＭ７ｂでクラ
ンプしようとするワークＷの位置決めを行うための一対
の位置決めピン２９６ａ，２９６ｂが下方に突出した状
態で取り付けられている。また、このワークＷの上面に
は、これら一対の位置決めピン２９６ａ，２９６ｂが夫
々挿入されて位置決めされる位置決め穴Ｗａ，Ｗｂが形
成されている。

【０１４５】このような構成において、クランプモジユ
ールＭ７ｂを介してワークＷをクランプすべく、ハンド
機構１０が下降してきた場合に、ピン２９６ａ，２９６
ｂがワークＷの位置決め穴Ｗａ，Ｗｂに夫々上方から挿
入される事になる。ここで、ワークＷが水平面内で位置
ずれを起こしていた場合でも、ロツク機構２４６がアン
ロツク状態に設定される事により、図８７に示すよう
に、コンプライアンス動作がパツシブに実行され、両位
置決めピン２９６ａ，２９６ｂは対応する位置決め穴Ｗ
ａ，Ｗｂ内に夫々挿入される事となる。この状態でワー
クＷの中心とコンプライアンスモジユールＭ５ｂの中心
とは互いに水平方向に沿ってずれている。そして、この
後ロツク機構２４６をロツク状態とする事により、図８
８に示すように、ワークＷの中心とコンプライアンスモ
ジユールＭ５ｂの中心とは互いに整合する事となる。こ
の結果、所定の中心位置にもたらされた（即ち、ワーク
Ｗの中心をハンド機構１０の中心と一致させられた）ワ
ークＷは、クランプモジユールＭ７ｂにより確実にクラ
ンプされることとなる。

【０１４６】また、このクランプモジユールＭ７は、上
述した第１及び第２の実施例の構成に限定されることな
く、この発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形可能で
ある事は言うまでも無い。例えば、このクランプモジユ
ールは、図８９乃至図９２に第３の実施例として示すよ
うに構成することが出来るものである。即ち、上述した
第２の実施例においては、両ジヨー４１２，４１４の最
大離間距離を延長する事により、任意のサイズの部品を
クランプすることが出来るように構成したが、細長い部
品を両端でクランプする事は困難である。これに対し
て、第３の実施例のクランプモジユールＭ７ｃにおいて
は、細長い部品を確実にクランプすることが出来るよう
になされている。

【０１４７】以下に、この第３の実施例のクランプモジ
ユールＭ７ｃを説明するが、上述した第１及び第２の実
施例のクランプモジユールＭ７，Ｍ７ｂと同一部分に
は、同一符号を付して、その説明を省略する。詳細に
は、この第３の実施例のクランプモジユールＭ７ｃは、
その中央部で、他のモジユールＭ１〜Ｍ６に選択的に取
り付けられる長尺の基台４６０を備えている。この長尺
の基台４６０の両端の下面には、上述した第１の実施例
のクランプモジユールＭ７と同一に構成された第１及び
第２のクランプユニツト４６２，４６４が、その取り付
け位置を変更可能な状態で取り付けられている。ここ
で、第１及び第２のクランプユニツト４６２，４６４
は、夫々のクランプ方向（即ち、ガイドレール３９４の
延出方向）が、長尺の基台４６０の長手軸方向と直交す
るように設定されている。この様にクランプモジユール
Ｍ７ｃを構成する事により、細長い部品は、その両端
を、第１及び第２のクランプユニツト４６２，２６４に
より夫々クランプされる事となり、この様にして、この
第３の実施例によれば、この細長い部品が確実にクラン
プされる事となる。

【０１４８】（７種のモジユールＭ１〜Ｍ７を全て備え
たハンド機構１０の作動説明）次に、ハンド機構１０に
おいて、図６に示すように、水平面部Ｓ１に形成された
穴Ｈ１内に挿入・載置されたギヤＧをハンド機構１０の
下部に取着したクランプモジユールＭ７においてクラン
プし、このギヤＧを自身の中心軸線回りに所定角度θ、
例えば、９０度だけ旋回駆動した上で、所定角度αだけ
水平面部に対して傾斜した傾斜面部Ｓ２に形成された穴
Ｈ２内に挿入する動作を、図９３乃至図９５を参照して
説明する。即ち、この一実施例においては、ハンド機構
１０は、上述した把持・挿入動作を実行するに際して、
７種のモジユールＭ１〜Ｍ７を、ロボツト１２のｚ軸ア
ーム１４から下方に向けて、上述した記載の順序で配列
するように設定されている。

【０１４９】尚、図９３においては、上述した図６に示
す場合と同様に、傾斜面部Ｓ２は、水平面部Ｓ１に対し
て傾斜角度θ（この一実施例においては、４５度）で傾
斜して設定されている。また、図９４には、ハンド機構
１０の作動の上で必要となるセンサ類と弁類の接続態様
が概略的に示されている。これらは、先に、各モジユー
ルＭ１〜Ｍ７の説明において詳細に説明してあるが、ホ
ルダモジユールＭ１には、第１のセンサ５４が取り付け
られており、この第１のセンサ５４は、取付板３０が落
下して、固着部材２８との連結状態が解除された場合に
オン動作するように設定されている。また、反転モジユ
ールＭ２には、第１の切り換え弁８０が接続されてお
り、この第１の切り換え弁８０は第１の切り換えモード
が設定される事により、回動軸６０を下取付板６４が上
取付板６２に対して平行な待機位置から、角度αだけ回
転軸線ＲＬ回りに反転した反転位置まで回動駆動し、第
２の切り換えモードが設定される事により、回動軸６０
を反転位置から待機位置まで回動駆動するように構成さ
れている。また、この反転モジユールＭ２には、下取付
板６４が待機位置にあることを検知する第２のセンサ９
８と、反転位置にある事を検知する第３のセンサ１００
とが設けられている。一方、旋回モジユールＭ３には、
第２の切り換え弁１４６が接続されており、この第２の
切り換え弁１４６は、第１の切り換えモードが設定され
る事により、回動支軸１１０を下取付板１１４が上取付
板６２に対して上下に一致する待機位置から、角度θだ
け中心軸線ＣＬ回りに旋回した旋回位置まで回動駆動
し、第２の切り換えモードが設定される事により、回動
支軸１１０を旋回位置から待機位置まで回動駆動するよ
うに構成されている。また、この旋回モジユールＭ３に
は、下取付板１１４が待機位置にある事を検出する第４
のセンサ１６２と、旋回位置にある事を検知する第５の
センサ１６４とが設けられている。

【０１５０】また、クツシヨンモジユールＭ４には、下
取付板１８２が上取付板１８０に対して、許容されるク
ツシヨン量まで近接した事を検知する第６のセンサ２１
６が設けられている。更に、コンプライアンスモジユー
ルＭ５には、第１の開閉弁２９０が接続されており、こ
の第１の開閉弁２９０は接続モードが設定される事によ
り、ロック機構２４６をロック状態に設定し、開放モー
ドが設定される事により、アンロック状態に設定するよ
うに構成されている。また、シフトモジユールＭ６に
は、第３の切り換え弁３５０が接続されており、この第
３の接続弁３５０は、第１の切り換えモードが設定され
る事により、下取付板３０２を上取付板３００に対して
近接駆動させ、第２の切り換えモードが設定される事に
より、下取付板３０２を上取付板３００から離間駆動さ
せるように構成されている。また、このシフトモジユー
ルＭ６には、下取付板３０２が下降端位置にある事を検
知する第７のセンサ３５８と、上昇端位置にある事を検
知する第８のセンサ３６０とが設けられている。最後
に、クランプモジユールＭ７には、第２の開閉弁４１０
が接続されており、この第２の開閉弁４１０は接続モー
ドが設定される事により、両ジヨー４１２，４１４を互
いに近接駆動して、部品（ギヤＧ）をクランプし、開放
モードが設定される事により、互いを離間駆動して部品
（ギヤＧ）をアンクランプするように構成されている。
また、このクランプモジユールＭ７には、両ジヨー４１
２，４１４がクランプ状態にある事を検出する第９及び
第１０のセンサ４２４，４２６が設けられている。

【０１５１】この様に構成されるハンド機構１０におけ
る部品（ギヤＧ）のピツク・アンド・プレース動作につ
いて、図９５に示すタイミングチヤートを参照して、説
明する。先ず、各モジユールＭ１〜Ｍ７の各々の中心軸
線が、図１に示すように、ｚ軸アーム１４の延出軸線、
即ち、垂直軸と一致している状態において、先ず、この
ｚ軸アーム１４をこれの延出軸線が、図９３に示す様に
ギヤＧの中心軸線と整合する位置まで水平面部内（即
ち、ｘ−ｙ平面）で移動する。この後、ｚ軸アーム１４
を下降し、シフトモジユールＭ６を介して、クランプモ
ジユールＭ７でギヤＧをクランプすることが出来る高さ
ｈ₀ まで近接させる。この状態から、ハンド機構１０に
おける各モジユールＭ１〜Ｍ７の動作が開始される。

【０１５２】即ち、先ず、クランプモジユールＭ７に取
り付けられた照準ユニツト４４０を介して、ハンド機構
１０が水平面部Ｓ１の基準点に対して所定の相対位置関
係にあるかが判断され、所定時間内に所定の相対位置関
係にあると判断されないと、この照準ユニツト４４０か
ら制御装置に対してＮＧ信号が出力され、以下の制御手
順が停止される。また、所定時間内に所定の相対位置関
係にあると判断されると、ＯＫ信号が出力され、このＯ
Ｋ信号の出力に伴い、シフトモジユールＭ６においてシ
フト動作が開始される。即ち、このシフトモジユールＭ
６における第３の切り換え弁３５０が第１の切り換えモ
ードから第２の切り換えモードに換えモードに切り換え
設定される。この結果、下取付板３０２が上取付板３０
０から下降するシフト動作が開始され、このシフト動作
に伴い、クランプモジユールＭ７はギヤＧをクランプ可
能な状態にもたらされる。即ち、クランプモジユールＭ
７の両ジヨー４１２，４１４はギヤＧの第１の軸部Ｇ２
に互いに対向する様に形成された一対の平面部Ｇ４の両
側に位置する事となる。

【０１５３】そして、シフトモジユールＭ６において、
第３の切り換え弁３５０において第１の切り換えモード
が切り換え設定されてから第７のセンサ３５８が所定時
間内にオン信号が出力されないと、異常事態が発生した
と判断されて、以下の制御手順が停止され、警報が発せ
られる。一方、第７のセンサ３５８から所定時間内にオ
ン信号が出力されると、下取付板３０２が下降端位置ま
で下降した事が検知されるので、このオン信号の出力に
伴い、クランプモジユールＭ７において、クランプ動作
が開始される。即ち、このクランプモジユールＭ７にお
ける第２の開閉弁４１０が開放モードから接続モードに
切り換え設定される。この結果、両ジヨー４１２，４１
４はギヤＧの平面部Ｇ４を両側から把持する事になる。

【０１５４】ここで、クランプモジユールＭ７における
第９及び第１０のセンサ４２４，４２６において、接続
モードが切り換え設定されてから所定時間内に共にオン
信号が出力されないと、異常事態が発生したと判断され
て、以下の制御手順が停止され、警報が発せられる。一
方、第９及び第１０のセンサ４２４，４２６から所定時
間内に共にオン信号が出力されると、ギヤＧが両ジヨー
４１２，４１４によりクランプされたと判断される。そ
して、シフトモジユールＭ６において、引き上げ動作が
開始される。

【０１５５】即ち、このシフトモジユールＭ６において
は、両センサ４２４，４２６からのオン信号の出力に伴
い、第３の切り換え弁３５０は第２の切り換えモードか
ら第１の切り換えモードに切り換え設定される。この結
果、下取付板３０２が上取付板３００に向けて上昇する
引き上げ動作が開始され、この引き上げ動作に伴い、ク
ランプモジユールＭ７はギヤＧをクランプしたままの状
態で上昇され、ギヤＧを符号Ｇａで示す位置まで持ち上
げる。ここで、このシフトモジユールＭ６においては、
第３の切り換え弁３５０において第１の切り換えモード
が切り換え設定されてから所定時間内に、第８のセンサ
３６０からオン信号が出力されないと、異常事態が発生
したと判断されて、以下の制御手順が停止され、警報が
発せられる。一方、この第８のセンサ３６０から所定時
間内にオン信号が出力されると、所定のシフト動作が完
了したと判断される。そして、旋回モジユールＭ３にお
いて、旋回動作が開始される。

【０１５６】即ち、この旋回モジユールＭ３において
は、第８のセンサ３６０からのオン信号の出力に伴い、
第２の切り換え弁１４６は第２の切り換えモードから第
１の切り換えモードに切り換え設定される。この結果、
下取付板１１４は上取付板１１２に対して中心軸線回り
に所定角度θだけ、即ち、９０度だけ旋回駆動される事
になる。ここで、この旋回モジユールＭ３においては、
第２の切り換え弁１４６において第１の切り換えモード
が切り換え設定されてから、所定時間内に第５のセンサ
１６４からオン信号が出力されないと、異常事態が発生
したと判断されて、以下の制御手順が停止され、警報が
発せられる。一方、この第５のセンサ１６４から所定時
間内にオン信号が出力されると、所定の旋回動作が完了
したと判断される。そして、反転モジユールＭ２におい
て、反転動作が開始される。

【０１５７】即ち、この反転モジユールＭ２において
は、第５のセンサ１６４からのオン信号の出力に伴い、
第１の切り換え弁８０は第２の切り換えモードから第１
の切り換えモードに切り換え設定される。この結果、下
取付板６２は回動軸６０回りに上取付板６０に対して所
定角度αだけ、即ち、４５度だけ反転駆動される事にな
る。ここで、この反転モジユールＭ２においては、第１
の切り換え弁８０において第１の切り換えモードが切り
換え設定されてから、所定時間内に第３のセンサ１００
からオン信号が出力されないと、異常事態が発生したと
判断されて、以下の制御動作が停止され、警報が発せら
れる。一方、この第３のセンサ１００から所定時間内に
オン信号が出力されると、所定の反転動作が完了したと
判断され、次の制御手順が実行される。

【０１５８】一方、上述した第５のセンサ１６４からの
オン信号の出力に伴い、上述した反転動作と並行して、
ロボツト１２において、ｚ軸アーム１４をｙ軸方向に沿
つて所定距離ｋ₀ だけ移動して、ギヤＧを符号Ｇｃで示
すように、穴Ｈ２の、傾斜面部Ｓ２に対して直上方（即
ち、穴Ｈ２とギヤＧとが夫々互いに整合する状態）に位
置させる。ここで、所定距離ｋ₀ は、以下の式から演算
されるものである。即ち、 ｋ₀ ＝ｋ１ー（ｈ₁ ＋ｈ₀ ーｈ_H ）tan α ここで、 ｋ₁ ：設置位置におけるギヤＧの中心点と、穴Ｈ２の中
心点までの水平面部Ｓ１上における距離 ｈ１：回動軸６０の中心軸線から、把持したギヤＧのギ
ヤ本体Ｇ１の底面までの距離 尚、このロボツト１２におけるｚ軸アーム１４の移動中
においては、コンプライアンスモジユールＭ５における
第１の開閉弁２９０が開放モードから接続モードに切り
換え設定され、ロック機構２４６がロック動作を実行す
る事になる。この結果、ｚ軸アーム１４の移動中におい
ては、コンプライアンスモジユールＭ５における芯合せ
動作は禁止される事になる。

【０１５９】一方、上述したように、ギヤＧが穴Ｈ２と
整合状態にもたらされた状態で、ｚ軸アーム１４の移動
は停止され、停止信号が出力される。そして、この停止
信号の出力に応じて、コンプライアンスモジユールＭ５
における第１の開閉弁２９０は接続モードから開放モー
ドに切り換え設定され、ロック機構２４６におけるロッ
ク動作が禁止され、コンプライアンスモジユールＭ５に
おける芯合せ動作が再開されると共に、シフトモジユー
ルＭ６においてシフト動作が開始される。即ち、このシ
フトモジユールＭ６における第３の切り換え弁３５０
が、再び、第１の切り換えモードから第２の切り換えモ
ードに換えモードに切り換え設定される。この結果、下
取付板３０２が上取付板３００から下降するシフト動作
が開始され、このシフト動作に伴い、クランプモジユー
ルＭ７はクランプしているギヤＧを穴Ｈ２内に挿入する
事になる。

【０１６０】即ち、シフトモジユールＭ６の起動に伴
い、このシフトモジユールＭ６の中心軸線に沿つて（換
言すれば、垂直線から傾斜角度αだけ傾斜した軸線に沿
つて）クランプモジユールＭ７を押し下げ、ギヤＧは、
対応する穴Ｈ２に挿入される事になる。ここで、この挿
入動作に際して、上述したようにして、コンプライアン
スモジユールＭ５においては、自動的に芯合わせ動作が
パツシブに実行され、また、クツシヨンモジユールＭ４
において、干渉時におけるシヨツクの緩衝動作がパツシ
ブに実行される。

【０１６１】そして、シフトモジユールＭ６において、
第３の切り換え弁３５０において第１の切り換えモード
が切り換え設定されてから第７のセンサ３５８が所定時
間内にオン信号が出力されないと、異常事態が発生した
と判断されて、以下の制御手順が停止され、警報が発せ
られる。一方、第７のセンサ３５８から所定時間内にオ
ン信号が出力されると、下取付板３０２が下降端位置ま
で下降した事が検知されるので、このオン信号の出力に
伴い、クランプモジユールＭ７において、アンクランプ
動作が開始される。即ち、このクランプモジユールＭ７
における第２の開閉弁４１０が接続モードから開放モー
ドに切り換え設定される。この結果、両ジヨー４１２，
４１４はギヤＧの平面部Ｇ４から両側に離間して、ギヤ
ＧはクランプモジユールＭ７からアンクランプされる事
になる。

【０１６２】ここで、クランプモジユールＭ７における
第９及び第１０のセンサ４２４，４２６において、開放
モードが切り換え設定されてから所定時間経過しても
尚、共にオン信号が出力されていると、異常事態が発生
したと判断されて、以下の制御手順が停止され、警報が
発せられる。一方、第９及び第１０のセンサ４２４，４
２６から所定時間内に共にオン信号の出力が停止される
と、ギヤＧが両ジヨー４１２，４１４から離間してアン
クランプされたと判断される。そして、シフトモジユー
ルＭ６において、再び引き上げ動作が開始される。

【０１６３】即ち、このシフトモジユールＭ６において
は、両センサ４２４，４２６からのオン信号の出力停止
に伴い、第３の切り換え弁３５０は第２の切り換えモー
ドから第１の切り換えモードに切り換え設定される。こ
の結果、下取付板３０２が上取付板３００に向けて上昇
する引き上げ動作が開始され、この引き上げ動作に伴
い、クランプモジユールＭ７はギヤＧをアンクランプし
た状態で上昇され、ギヤＧは穴Ｈ２内に残される事にな
る。ここで、このシフトモジユールＭ６においては、第
３の切り換え弁３５０において第１の切り換えモードが
切り換え設定されてから所定時間内に、第８のセンサ３
６０からオン信号が出力されないと、異常事態が発生し
たと判断されて、以下の制御手順が停止され、警報が発
せられる。一方、この第８のセンサ３６０から所定時間
内にオン信号が出力されると、所定のシフト動作が完了
したと判断され、所定の待機状態にもたらされる。

【０１６４】そして、ロボツト１２において、ｚ軸アー
ム１４をｙ軸方向に沿つて所定距離ｋ₀ だけ復帰移動し
て、元の位置に戻す動作が実行される。尚、このｚ軸ア
ーム１４の移動動作においても、上述した移動動作と同
様に、コンプライアンスモジユールＭ５における第１の
開閉弁２９０が開放モードから接続モードに切り換え設
定され、ロック機構２４６がロック動作を実行する事に
なる。この結果、ｚ軸アーム１４の移動中においては、
コンプライアンスモジユールＭ５における芯合せ動作は
禁止される事になる。

【０１６５】そして、このロボツト１２によるｚ軸アー
ム１４の復帰移動が終了すると、復帰移動終了信号が出
力される。この復帰移動終了信号の出力に伴い、反転モ
ジユールＭ２及び旋回モジユールＭ３において、夫々、
待機位置への復帰動作が開始される。即ち、反転モジユ
ールＭ２においては、この復帰移動終了信号の出力に伴
い、第１の切り換え弁８０は第１の切り換えモードから
第２の切り換えモードに切り換え設定される。この結
果、下取付板６２は回動軸６０回りに上取付板６０に対
して所定角度αだけ、即ち、４５度だけ待機位置に向け
て復帰回動される事になる。ここで、この反転モジユー
ルＭ２においては、第１の切り換え弁８０において第２
の切り換えモードが切り換え設定されてから、所定時間
内に第２のセンサ９８からオン信号が出力されないと、
異常事態が発生したと判断されて、以下の制御動作が停
止され、警報が発せられる。一方、この第２のセンサ９
８から所定時間内にオン信号が出力されると、所定の復
帰動作が完了したと判断され、所定の待機状態が設定さ
れる。

【０１６６】一方、旋回モジユールＭ３においては、上
述した復帰移動完了信号の出力に伴い、第２の切り換え
弁１４６は第１の切り換えモードから第２の切り換えモ
ードに切り換え設定される。この結果、下取付板１１４
は上取付板１１２に対して中心軸線回りに所定角度θだ
け、即ち、９０度だけ待機位置に向けて復帰回動される
事になる。ここで、この旋回モジユールＭ３において
は、第２の切り換え弁１４６において第２の切り換えモ
ードが切り換え設定されてから、所定時間内に第４のセ
ンサ１６２からオン信号が出力されないと、異常事態が
発生したと判断されて、以下の制御手順が停止され、警
報が発せられる。一方、この第４のセンサ１６２から所
定時間内にオン信号が出力されると、所定の旋回動作が
完了したと判断され、所定の待機状態が設定される。

【０１６７】尚、上述した制御手順の全範囲において、
ホルダモジユールＭ１における第１のセンサ５４からオ
ン信号が出力され、取付板３０が落下して、固着部材２
８との連結状態が解除されたと判断される場合には、何
れの制御ステツプを実行している場合であつても、即座
に制御手順を停止して、警報動作が発せられるようにな
されているし、また、シフトモジユールＭ６におけるシ
フト動作が実行されている間は、クツシヨンモジユール
Ｍ４における第６のセンサ２１６からオン信号が出力さ
れ、下取付板１８２が上取付板１８０に対して、許容さ
れるクツシヨン量まで近接したと判断される場合には、
即座にシフト動作の制御手順を停止して、警報を発する
ようになされている。

【０１６８】このようにして、この一実施例において
は、ギヤＧを、載置状態と異なる軸線に沿つて傾斜面部
に並設された穴Ｈ２に挿入するに際して、ロボツト１２
側においては、単に、ｘ軸、ｙ軸、ｚ軸方向に沿つて独
立した状態で移動するのみで良く、ギヤＧをクランプす
るための下降動作、及び、傾斜した軸線に沿う挿入動作
は、直接的には、シフトモジユールＭ６の駆動により達
成されることになる。即ち、仮に、このシフトモジユー
ルＭ６が備えられていないとすると、上述したようにギ
ヤＧを傾斜した姿勢に保持した状態で、ロボツト１２に
おいて、クランプモジユールＭ７を、ｙ軸及びｚ軸方向
に沿つて同時に、且つ、それらの移動速度を互いに正確
に規定した状態で移動させる制御を実行させなければな
らず、その制御内容が複雑になる。しかしながら、この
一実施例においては、上述したように、ハンド機構１０
にはシフトモジユールＭ６が備えられているので、ロボ
ツト１２側においては、単に、ｙ軸、ｚ軸方向に沿つて
独立した状態で移動するのみで良く、挿入動作を直接に
実行する必要が無く、ロボツト１２における制御内容は
簡素化されることになる。

【０１６９】特に、この一実施例のハンド機構１０にお
いては、クランプモジユールＭ７の姿勢変換動作を、夫
々の要素毎にモジユール化して、各モジユール毎に独立
した状態で実行するように構成している。この結果、製
品変更や設計変更等が起こり、クランプモジユールＭ７
における姿勢変更動作を変化させる必要が生じたとして
も、その変化が生じた姿勢変更要素を担当するモジユー
ルのみに関して、その移動量等を設定変更したり設計変
更すれば良く、ハンド機構全体の設計変更をする必要が
無くなるものである。このようにして、その姿勢変更動
作の変化に短時間の内に対応することが出来ると共に、
設定変更の必要の無い他のモジユールは、そのまま利用
することが出来るので、非常に経済性の高いハンド機構
１０が提供されることになる。

【０１７０】（７種のモジユールＭ１〜Ｍ７の配列順序
の最適性の説明）次に、上述したハンド機構１０におけ
る動作を実行する場合における、７種のモジユールＭ１
〜Ｍ７の配列順序の最適性について説明する。即ち、各
モジユール２〜Ｍ７の何れかをｚ軸アーム１４に取り付
けるためには、ホルダモジユールＭ１は最上位に位置し
た状態で必須であり、また、ギヤＧをクランプするため
に、クランプモジユールＭ７も最下位に位置した状態で
必須である。このため、間に置かれる５種類のモジユー
ルＭ２〜Ｍ６を一群とした場合の、ホルダモジユールＭ
１からクランプモジユールＭ７に向かう配列順序が問題
となる。

【０１７１】先ず、第１条件として、この一群において
は、反転モジユールＭ１が最も取付板２２側に位置する
ことである。換言すれば、他のモジユールＭ２，Ｍ３，
Ｍ４，Ｍ５は、Ｍ１よりもクランプモジユールＭ７側に
位置することである。次に、第２条件として、シフトモ
ジユールＭ６と旋回モジユールＭ３とは、クツシヨンモ
ジユールＭ４とコンプライアンスモジユールＭ５よりも
ホルダモジユールＭ１側に位置することである。そし
て、第３条件として、シフトモジユールＭ６と旋回モジ
ユールＭ３との順序は入れ換え可能であり、また、クツ
シヨンモジユールＭ４とコンプライアンスモジユールＭ
５との順序も入れ換え可能であることである。

【０１７２】この結果、上述した一実施例においては、
ホルダモジユールＭ１からクランプモジユールＭ７に向
けて、 （１）Ｍ１→Ｍ２→Ｍ３→Ｍ４→Ｍ５→Ｍ６→Ｍ７ の配列順序で各モジユールは配列されるように説明した
が、これに限定されることなく、以下の３種類の配列順
序が上述した挿入動作を実行するに際して最適とされる
ものである。 （２）Ｍ１→Ｍ２→Ｍ３→Ｍ５→Ｍ４→Ｍ６→Ｍ７ （３）Ｍ１→Ｍ３→Ｍ２→Ｍ４→Ｍ５→Ｍ６→Ｍ７ （４）Ｍ１→Ｍ３→Ｍ２→Ｍ５→Ｍ４→Ｍ６→Ｍ７ 即ち、第１の条件におけるシフトモジユールＭ６を反転
モジユールＭ１よりもクランプモジユールＭ７側に位置
させることを無視して、ホルダモジユールＭ１側に配設
すると、このシフトモジユールＭ６により達成されるシ
フト方向（移動方向）は、垂直軸方向に限定されること
になり、この結果、傾斜面部Ｓ２に形成された穴にピン
を挿入する動作を、このシフトモジユールＭ６により実
行することが不可能となる。このようにして、シフトモ
ジユールＭ６は、反転モジユールＭ１よりもクランプモ
ジユールＭ７側に位置することが必須となる。

【０１７３】一方、上述した第１の条件における旋回モ
ジユールＭ３を反転モジユールＭ１よりもクランプモジ
ユールＭ７側に位置させることを無視してホルダモジユ
ールＭ１側に配設すると、この旋回モジユールＭ３の旋
回動作に伴ない、反転モジユールＭ１の回動軸６０も旋
回してｙ軸に沿う状態となる。この結果、旋回動作の次
に実行される反転動作において、クランプモジユールＭ
７に把持されたギヤＧは、ｙ軸回りに回動されることと
なり、これらギヤＧは、穴Ｈ２に夫々決して対向しない
こととなる。このようにして、旋回モジユールＭ３は反
転モジユールＭ１よりもクランプモジユールＭ７側に位
置することが必須となる。

【０１７４】次に、第２の条件におけるシフトモジユー
ルＭ６と旋回モジユールＭ３とを、クツシヨンモジユー
ルＭ４よりもホルダモジユールＭ１側に位置することを
無視して、クランプモジユールＭ７側に位置させると、
仮に、ピンＰと穴Ｈとの間で、傾斜面部Ｓ２に直交する
方向に沿い位置ずれが発生していた場合には、この位置
ずれに基づく干渉による衝撃が、クツシヨンモジユール
Ｍ４において吸収される前に、シフトモジユールＭ６ま
たは旋回モジユールＭ３に直接に作用することになる。
このため、シフトモジユールＭ６と旋回モジユールＭ３
と干渉による衝撃から保護するために、これらを、クツ
シヨンモジユールＭ４よりもホルダモジユールＭ１側に
位置することが必須となる。

【０１７５】一方、第２の条件におけるシフトモジユー
ルＭ６と旋回モジユールＭ３とを、コンプライアンスモ
ジユールＭ５よりもホルダモジユールＭ１側に位置する
ことを無視して、クランプモジユールＭ７側に位置させ
ると、仮に、ピンＰと穴Ｈとの間で傾斜面部Ｓ２に沿う
位置ずれが発生していた場合には、この位置ずれに基づ
く分力Ｆ₀ は、コンプライアンスモジユールＭ５で補償
される前に、シフトモジユールＭ６またはクツシヨンモ
ジユールＭ４に直接に作用することになる。このため、
シフトモジユールＭ６と旋回モジユールＭ３と、位置ず
れによる分力Ｆ ₀ の作用から保護するために、これら
を、コンプライアンスモジユールＭ５よりもホルダモジ
ユールＭ１側に位置することが必須となる。

【０１７６】尚、第３条件であるシフトモジユールＭ６
と旋回モジユールＭ３との配列順序の入れ換え性に関し
ては、シフトモジユールＭ６におけるシフト方向が自身
の中心軸線に沿う方向に規制され、また、旋回モジユー
ルＭ３における旋回軸が、自身の中心軸線に沿う方向に
規制されているので、両者の配列順序を入れ換えたとし
ても、何等問題を生じないものである。また、第３条件
であるクツシヨンモジユールＭ４とコンプライアンスモ
ジユールＭ５との配列順序の入れ換え性に関しては、何
れも、パツシブに作動するものであるため、とちらを優
先することも出来ないものであり、両者の配列順序を入
れ換えたとしても、同様な状況しか達成し得ないもので
ある。この発明は、上述した一実施例の構成に限定され
ることなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変
形可能であることは言うまでもない。

【０１７７】例えば、上述した一実施例においては、こ
のハンド機構１０は、７種類のモジユールＭ１〜Ｍ７を
全て備えるように説明したが、これは、上述したよう
に、水平面部Ｓ１上に載置しているギヤＧを、ハンド機
構１０の下部に取着したクランプモジユールＭ７におい
て一度に把持し、傾斜面部Ｓ２上に形成された穴Ｈ２に
挿入する動作を実行するに際して必要となる構成であ
り、この発明は、このような構成に限定されることな
く、他の動作を実行する場合においては、必要となるク
ランプモジユールＭ７における姿勢変更動作を実現する
に必須となる動作要素を、これら５種類のモジユールＭ
２〜６を任意に組み合わせた状態で達成すれば良いもの
である。

【０１７８】また、上述した一実施例においては、７種
類のモジユールＭ１〜Ｍ７を一群とした場合に、このハ
ンド機構１０をこれら一群のモジユールＭ１〜Ｍ７のみ
から構成するように説明したが、この発明は、このよう
な構成に限定されることなく、例えば、この一群よりも
更にホルダモジユールＭ１側に旋回モジユールＭ３を備
えるように構成しても良い。このように更に旋回モジユ
ールＭ３を備えることにより、ロボツト１２側におい
て、ｚ軸アーム２２を自身の中心軸（即ち垂直軸）回り
に旋回駆動する構成を採用する必要が無くなり、ロボツ
ト１２全体の構成を簡素化することが可能となる。

【０１７９】

【発明の効果】以上詳述した様に、この発明に係わるロ
ボツトのハンド機構は、ロボツトにおけるアーム部の先
端に取り付けられ、所定の要素運動を実行するためのモ
ジユールを独立した状態で互いに組み合わせ可能に備
え、これらモジユールの中の任意のモジユールを適宜組
み合わせる事により、所望の要素運動を行わせる様に構
成されたハンド機構において、上取付板と、この上取付
板に間隔を置いて対向する様に取り付けられた下取付板
と、これら上取付板と下取付板との互いの中心軸線の整
合を弾性的に維持するコンプライアンス手段とを備える
コンプライアンスモジユールを具備し、前記コンプライ
アンス手段は、前記下取付板に固定され、外周部が上取
付板の外周下面まで延出する第１の整合部材と、前記上
取付板に固定され、外周が第１の整合部材の外周と下取
付板の外周との間に延出する第２の整合部材と、第１及
び第２の整合部材間に介設され、両者の中心軸線に直交
する面内の相対移動を許容するベアリングと、第１及び
第２の整合部材の互いの中心軸線が整合する様に付勢す
る付勢手段とを備える事を特徴としている。

【０１８０】また、この発明に係わるロボツトのハンド
機構において、前記付勢手段は、第１及び第２の整合部
材の外周に上下に整列した状態で複数対形成された凹部
と、各対の凹部に上端及び下端が夫々収納された支持ピ
ンと、各支持ピンを対応する凹部内に弾性的に収納され
る様に付勢する付勢部材とを備える事を特徴としてい
る。また、この発明に係わるロボツトのハンド機構にお
いて、前記付勢部材は、第１の整合部材の外周面に形成
された円周溝内に嵌入されると共に、各支持ピンの上部
に形成された上切り溝にも外方から嵌入される第１の付
勢リングと、第２の整合部材の外周面に形成された円周
溝内に嵌入されると共に、各支持ピンの下部に形成され
た下切り溝にも外方から嵌入される第２の付勢リングと
から構成される事を特徴としている。

【０１８１】また、この発明に係わるロボツトのハンド
機構において、前記上取付板と下取付板との間には、両
者を互いに軸方向に沿つて離間する様に付勢するコイル
スプリングが介設され、このコイルスプリングにより、
上取付板と下取付板との互いの中心軸線が所定角度をな
す様にずれる事を弾性的に吸収する事を特徴としてい
る。また、この発明に係わるロボツトのハンド機構は、
前記上取付板と下取付板とを互いにロックするロック手
段を更に具備する事を特徴としている。従つて、この発
明によれば、軽量化、高精度化、小型化が達成されるコ
ンプライアンスモジユールを備えたロボツトのハンド機
構が提供される事になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明に係わるハンド機構の一実施例の構成
を示す正面図である。

【図２】この発明に係わるハンド機構の一実施例の構成
を示す斜視図である。

【図３】図１に示すハンド機構を角度αだけ反転させ、
９０度だけ旋回させた状態で示す状態で示す正面図であ
る。

【図４】図２に示すハンド機構を角度αだけ反転させ、
９０度だけ旋回させた状態で示す状態で示す斜視図であ
る。

【図５】この発明に係わるハンド機構が適用されるロボ
ツトの構成を概略的に示す斜視図である。

【図６】図１に示すハンド機構によりクランプされた物
品を移送する動作を説明するための斜視図である。

【図７】図１に示すハンド機構に備えられたホルダモジ
ユールの構成を具体的に示す斜視図である。

【図８】図７に示すホルダモジユールの構成を具体的に
示す分解斜視図である。

【図９】図７に示すホルダモジユールの構成を示す上面
図である。

【図１０】図９に示すホルダモジユールを、ａ−ａ線に
沿つて切断した状態で示す縦断面図である。

【図１１】図９に示すホルダモジユールの右側面形状を
示す右側面図である。

【図１２】図９に示すホルダモジユールの左側面形状を
示す左側面図である。

【図１３】図９に示すホルダモジユールの正面形状を示
す正面図である。

【図１４】図１に示すハンド機構に備えられた反転モジ
ユールの一実施例の構成を具体的に示す斜視図である。

【図１５】図１４に示す反転モジユールの内部構成を示
すため分割して示す分解斜視図である。

【図１６】図１４に示す反転モジユールの正面形状を示
す正面図である。

【図１７】図１４に示す反転モジユールの上面形状を示
す上面図である。

【図１８】図１４に示す反転モジユールの下面形状を示
す下面図である。

【図１９】図１４に示す反転モジユールの左側面形状を
示す左側面図である。

【図２０】図１４に示す反転モジユールの背面形状を示
す背面図である。

【図２１】図１６に示す反転モジユールを、ａ−ａ線に
沿つて切断した状態で示す断面図である。

【図２２】図２１に示す反転モジユールを、ｂ−ｂ線に
沿つて切断した状態で示す断面図である。

【図２３】図２１に示す反転モジユールを、ｃ−ｃ線に
沿つて切断した状態で示す断面図である。

【図２４】図１に示すハンド機構に備えられた反転モジ
ユールを他の実施例の構成として示す左側面図である。

【図２５】図２４に示す他の実施例の反転モジユールの
正面形状を示す正面図である。

【図２６】図１に示すハンド機構に備えられた旋回モジ
ユールの構成を具体的に示す斜視図である。

【図２７】図２６に示す旋回モジユールの内部構成を示
すため分割して示す分解斜視図である。

【図２８】図２６に示す旋回モジユールの正面形状を示
す正面図である。

【図２９】図２６に示す旋回モジユールの上面形状を示
す上面図である。

【図３０】図２６に示す旋回モジユールの下面形状を示
す下面図である。

【図３１】図２６に示す旋回モジユールの右側面形状を
示す左側面図である。

【図３２】図２８に示す旋回モジユールを、ａ−ａ線に
沿つて切断した状態で示す断面図である。

【図３３】図２１に示す旋回モジユールを、ｂ−ｂ線に
沿つて切断した状態で示す断面図である。

【図３４】図３３に示す旋回モジユールを、ｃ−ｃ線に
沿つて切断した状態で示す断面図である。

【図３５】図３１に示す旋回モジユールを、ｄ−ｄ線に
沿つて切断した状態で示す断面図である。

【図３６】図３０に示す旋回モジユールを、ｅ−ｅ線に
沿つて切断した状態で示す断面図である。

【図３７】図２９に示す旋回モジユールを、ｆ−ｆ線に
沿つて切断した状態で示す断面図である。

【図３８】図２６乃至図３７に示す旋回モジユールを他
の実施例の構成として示す正面図である。

【図３９】図３８に示す他の実施例の旋回モジユールの
上面形状を示す上面図である。

【図４０】図１に示すハンド機構に備えられたクツシヨ
ンモジユールの一実施例の構成を具体的に示す斜視図で
ある。

【図４１】図４０に示すクツシヨンモジユールの正面形
状を示す正面図である。

【図４２】図４０に示すクツシヨンモジユールの上面形
状を示す上面図である。

【図４３】図４０に示すクツシヨンモジユールの下面形
状を示す下面図である。

【図４４】図４０に示すクツシヨンモジユールの右側面
形状を一部判断した状態で示す右側面図である。

【図４５】図４２に示すクツシヨンモジユールを、ａ−
ａ線に沿つて切断した状態で示す断面図である。

【図４６】図４５に示す中央透孔の内周面に形成された
円周溝の形成状態を取り出して示す断面図である。

【図４７】図１に示すハンド機構に備えられたクツシヨ
ンモジユールを他の実施例の構成として示す正面図であ
る。

【図４８】図４７に示す他の実施例のクツシヨンモジユ
ールの上面形状を示す上面図である。

【図４９】図４７に示す他の実施例のクツシヨンモジユ
ールの左側面形状を示す左側面図である。

【図５０】図４８に示す他の実施例のクツシヨンモジユ
ールを、ａ−ａ線に沿つて切断した状態で示す断面図で
ある。

【図５１】図４８に示す他の実施例のクツシヨンモジユ
ールを、ｂ−ｂ線に沿つて切断した状態で示す断面図で
ある。

【図５２】図４８に示す他の実施例のクツシヨンモジユ
ールを、ｃ−ｃ線に沿つて切断した状態で示す断面図で
ある。

【図５３】図１に示すハンド機構に備えられたクツシヨ
ンモジユールの構成を具体的に示す斜視図である。

【図５４】図５３に示すクツシヨンモジユールの正面形
状を示す正面図である。

【図５５】図５３に示すクツシヨンモジユールの上面形
状を示す上面図である。

【図５６】図５３に示すクツシヨンモジユールの下面形
状を示す下面図である。

【図５７】図５５に示すクツシヨンモジユールを、ｄ−
ｄ線に沿つて切断した状態で示す断面図である。

【図５８】図５７に示すクツシヨンモジユールを、ａ−
ａ線に沿つて切断した状態で示す断面図である。

【図５９】図５７に示すクツシヨンモジユールを、ｃ−
ｃ線に沿つて切断した状態で示す断面図である。

【図６０】図５５に示すクツシヨンモジユールを、ｂ−
ｂ線に沿つて切断した状態で示す断面図である。

【図６１】図５２に示すクツシヨンモジユールを、中心
軸線に直交する面内でのコンプライアンス動作の実行状
態を示す断面図である。

【図６２】図５２に示すクツシヨンモジユールを、中心
軸線に直交する面内、及び、中心軸線に対する傾きにお
けるコンプライアンス動作の実行状態を示す断面図であ
る。

【図６３】図１に示すハンド機構に備えられたシフトモ
ジユールの正面形状を示す正面図である。

【図６４】図６３に示すシフトモジユールの上面形状を
示す上面図である。

【図６５】図６３に示すシフトモジユールの下面形状を
示す下面図である。

【図６６】図６３に示すシフトモジユールの左側面形状
を示す左側面図である。

【図６７】図６４に示す反転モジユールを、ａ−ａ線に
沿つて切断した状態で示す断面図である。

【図６８】図６４に示す反転モジユールを、ｂ−ｂ線に
沿つて切断した状態で示す断面図である。

【図６９】図６４に示す反転モジユールを、ｃ−ｃ線に
沿つて切断した状態で示す断面図である。

【図７０】図６９に示す第１の連通通路の形成状態を詳
細に示す断面図である。

【図７１】図１に示すハンド機構に備えられたクランプ
モジユールの第１の実施例の構成を具体的に示す斜視図
である。

【図７２】図７１に示すクランプモジユールの正面形状
を示す正面図である。

【図７３】図７１に示すクランプモジユールの上面形状
を示す上面図である。

【図７４】図７１に示すクランプモジユールの下面形状
を示す下面図である。

【図７５】図７１に示すクランプモジユールの右側面形
状を示す右側面図である。

【図７６】図７２に示すクランプモジユールを、ａ−ａ
線に沿つて切断した状態で示す断面図である。

【図７７】図７５に示すクランプモジユールを、ｂ−ｂ
線に沿つて切断した状態で示す断面図である。

【図７８】図７３に示すクランプモジユールを、ｃ−ｃ
線に沿つて切断した状態で示す断面図である。

【図７９】図１に示すハンド機構に備えられたクランプ
モジユールを第２の実施例の構成として示す斜視図であ
る。

【図８０】図７９に示す第２の実施例のクランプモジユ
ールの正面形状を示す正面図である。

【図８１】図７９に示す第２の実施例のクランプモジユ
ールの上面形状を示す上面図である。

【図８２】図７９に示す第２の実施例のクランプモジユ
ールの下面形状を示す下面図である。

【図８３】図７９に示す第２の実施例のクランプモジユ
ールの右側面形状を示す右側面図である。

【図８４】図８０に示す第２の実施例のクランプモジユ
ールを、ａ−ａ線に沿つて切断した状態で示す断面図で
ある。

【図８５】図８３に示す第２の実施例のクランプモジユ
ールを、ｂ−ｂ線に沿つて切断した状態で示す断面図で
ある。

【図８６】図８３に示す第２の実施例のクランプモジユ
ールの取付板の下面中央に、コンプライアンスモジユー
ルを取り付けた態様を示す正面図である。

【図８７】図８６に示す態様で、位置ずれしたワークに
位置決めピンが挿入された状態を示す正面図である。

【図８８】図８７に示す状態からコンプライアンスモジ
ユールのロツク機構がロツク動作して、ワークの中心と
クランプモジユールの中心とを整合させた状態で示す正
面図である。

【図８９】図１に示すハンド機構に備えられたクランプ
モジユールを第３の実施例の構成として示す斜視図であ
る。

【図９０】図８９に示す第３の実施例のクランプモジユ
ールの正面形状を示す正面図である。

【図９１】図８９に示す第３の実施例のクランプモジユ
ールの上面形状を示す上面図である。

【図９２】図８９に示す第３の実施例のクランプモジユ
ールの右側面形状を示す右側面図である。

【図９３】この一実施例におけるハンド機構によるギヤ
のピツク・アンド・プレース動作を説明するための図で
ある。

【図９４】この一実施例においてハンド機構に設けられ
たセンサ類及び弁類の接続態様を示す図である。

【図９５】この一実施例におけるハンド機構によるギヤ
のピツク・アンド・プレース動作を実行するためのタイ
ミングチヤートである。

【符号の説明】

Ｍ１ ホルダモジユール、 Ｍ２ 反転モジユール、 Ｍ３ 旋回モジユール、 Ｍ４ クツシヨンモジユール、 Ｍ５ コンプライアンスモジユール、 Ｍ６ シフトモジユール、 Ｍ７ クランプモジユール、 ＣＬ ｚ軸アームの中心軸線、 ＲＬ 反転モジユールにおける回転軸線、 Ｓ１ 水平面部、 Ｓ２ 傾斜面部、 Ｈ１ 第１の穴、 Ｈ２ 第２の穴、 α 反転角度、 θ 旋回角度 Ｇ ギヤ（物品）、 Ｇ１ ギヤ本体、 Ｇ２ 第１の軸部、 Ｇ３ 第２の軸部、 Ｇ４ 平面部、 １０ ハンド機構、 １２ ロボツト、 １４ ｚ軸アーム、 １４ａ 長溝、 １６ ｘ軸アーム、 １８ ｙ軸アーム、 ２０ ｙ軸移動ブロツク、 ２２；２４；２６ 駆動モータ、 ２８ 固着部材、 ３０ 取付板、 ３０ａ 取り付け用通し穴、 ３０ｂ 位置決めピン、 ３０ｃ 位置決め穴、 ３０ｄ ねじ穴、 ３０ｅ 取り付け穴、 ３０ｆ 長溝、 ３２ 連結機構、 ３４ 本体、 ３４ａ 透孔、 ３４ｃ 第１の取り付け穴、 ３４ｄ 第２の取り付け穴、 ３４ｅ 第３の取り付け穴、 ３４ｆ 凹部、 ３６ 受け部、 ３６ａ 一側面、 ３６ｂ 溝、 ３８ 押え部、 ３８ａ 一側面、 ３８ｂ 溝、 ３８ｃ 挿通穴、 ４０ａ；４０ｂ ボルト、 ４２ ピン、 ４４ センタリング（履歴部材）、 ４５ 歪みセンサ、 ４６ シヤーピンボルト、 ４８ 落下防止ピン、 ５０ 偏心ピン、 ５０ａ ピン本体、 ５０ｂ 偏心円板、 ５２ 取り付け片、 ５４ 第１のセンサである。

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ロボツトにおけるアーム部の先端に取り
   付けられ、所定の要素運動を実行するためのモジユール
   を独立した状態で互いに組み合わせ可能に備え、これら
   モジユールの中の任意のモジユールを適宜組み合わせる
   事により、所望の要素運動を行わせる様に構成されたハ
   ンド機構において、 上取付板と、この上取付板に間隔を置いて対向する様に
   取り付けられた下取付板と、これら上取付板と下取付板
   との互いの中心軸線の整合を弾性的に維持するコンプラ
   イアンス手段とを備えるコンプライアンスモジユールを
   具備し、 前記コンプライアンス手段は、前記下取付板に固定さ
   れ、外周部が上取付板の外周下面まで延出する第１の整
   合部材と、前記上取付板に固定され、外周が第１の整合
   部材の外周と下取付板の外周との間に延出する第２の整
   合部材と、第１及び第２の整合部材間に介設され、両者
   の中心軸線に直交する面内の相対移動を許容するベアリ
   ングと、第１及び第２の整合部材の互いの中心軸線が整
   合する様に付勢する付勢手段とを備える事を特徴とする
   ロボツトのハンド機構。
2. 【請求項２】 前記付勢手段は、第１及び第２の整合部
   材の外周に上下に整列した状態で複数対形成された凹部
   と、各対の凹部に上端及び下端が夫々収納された支持ピ
   ンと、各支持ピンを対応する凹部内に弾性的に収納され
   る様に付勢する付勢部材とを備える事を特徴とする請求
   項１に記載のロボツトのハンド機構。
3. 【請求項３】 前記付勢部材は、第１の整合部材の外周
   面に形成された円周溝内に嵌入されると共に、各支持ピ
   ンの上部に形成された上切り溝にも外方から嵌入される
   第１の付勢リングと、第２の整合部材の外周面に形成さ
   れた円周溝内に嵌入されると共に、各支持ピンの下部に
   形成された下切り溝にも外方から嵌入される第２の付勢
   リングとから構成される事を特徴とする請求項２に記載
   のロボツトのハンド機構。
4. 【請求項４】 前記上取付板と下取付板との間には、両
   者を互いに軸方向に沿つて離間する様に付勢するコイル
   スプリングが介設され、 このコイルスプリングにより、上取付板と下取付板との
   互いの中心軸線が所定角度をなす様にずれる事を弾性的
   に吸収する事を特徴とする請求項１に記載のロボツトの
   ハンド機構。
5. 【請求項５】 前記上取付板と下取付板とを互いにロッ
   クするロック手段を更に具備する事を特徴とする請求項
   １に記載のロボツトのハンド機構。