TW201936311A - 被實施為研磨機器或侵蝕機器之機器工具、以及替換工具模組之方法 - Google Patents

Abstract

本發明關於一機器工具（20），如研磨機器及/或侵蝕機器（21）。機器工具（20）具有機器底座（22）及軸配置（23），其用於相對機器底座（22）移動工具載體（25）及/或工件夾緊裝置（26）。機器底座（22）上設有運輸裝置（75），其較佳準確具有二運輸空間（76），各自用於一工具模組（27）。具有抓取裝置（44）之機械臂（42）配置成抓移二工件（38）或作為另一選擇抓移單個工具模組（27）。因此可直接經由機械臂（42）實行利用工件夾緊裝置（26）之工件變化，或工具模組（27）可被拾取並排列於運輸裝置（75）中或自運輸裝置（75）移除。運輸裝置（75）可移出機器工具（20）之工作區（A）及移入工作區（A），且工具載體（25）上之工具模組（27）可與工具機器（20）之軸配置（23）協同合作而被改變。

Description

被實施為研磨機器或侵蝕機器之機器工具、以及替換工具模組之方法

本發明係關於一種機器工具，更具體而言係關於一種研磨機器及/或侵蝕機器。該機器工具具有用於接收一工具模組之一工具載體以及被配置成替換該工具模組之一機械臂。本發明亦關於一種改變該工具模組之方法。

已知用於儲存工具或工件之庫具有不同形式。舉例而言，DE 1 074 367 A揭露一種包含一主動庫之一工件改變裝置，該工件改變裝置具有一運輸裝置用來將工件運輸至一改變位置中。在該庫與用於夾緊該工件之卡盤之間提供一雙抓取器（double gripper）。此抓取器可抓握被夾緊之工件以及位於替換位置中之庫中之工件，且可藉由180度旋轉來交換所述兩者。

文件DE 198 44 242 A1揭露一種通用研磨機器，在該通用研磨機器中具有複數個工具模組之一工具庫能夠在該研磨機器之研磨主軸（grinding spindle）前方橫向移動。藉由將一工具模組定位於研磨主軸軸線前方，可藉由該研磨主軸之移動將具有一工具及一冷卻劑分配器之一新的工具模組接收在該研磨主軸中。

在機器工具之情形中，對一工具模組及一工件二者進行替換可為可取的。相較於工件，一工具模組重得多且更不易於抓握。此一般需要與用於改變工件之改變裝置不同的改變裝置。另外使改變一工具模組及一工件所需之時間長度最小化亦為可取的。

藉由具有以下所揭露之特徵之一機器工具以及一種具有該等特徵之方法而達成了此目的。

該機器工具較佳地被實施為一研磨機器及/或侵蝕機器。該機器工具具有一機器底座，藉由該機器底座將該機器工具安裝於一安裝表面（例如，一廠房之地面）上。在該機器底座上設置有包含複數個機器軸之一軸配置。每一機器軸可為一旋轉或平移機器軸。該軸配置用於相對於軌底（rail base）或相對於彼此定位及/或移動一工具載體，例如一工具主軸及/或一工件夾緊裝置。可提供最多六個機器軸。

該工具載體被配置成接收一工具模組。在每一情形中一工具模組包含一工具（例如一研磨工具或一侵蝕工具）以及一流體分配器。該流體分配器可用於分配冷卻劑或介電液體。為了將該工具模組儲存於一工具庫中且運輸該工具模組，在每一情形中較佳地提供一模組載體，該模組載體能夠可釋放地連接至相關聯的工具模組或保持該相關聯的工具模組。隨著將工具模組嵌入工具載體中，可移除模組載體，且隨著自工具載體移除工具模組，模組載體可再次連接至工具模組。

設置有一運輸裝置，該運輸裝置能夠在工具之工作區之外的一第一位置與在該工具之該工作區之內的一第二位置之間移動。該運輸裝置具有至少二個運輸空間，且較佳準確地具有二個運輸空間，該二個運輸空間具體而言各自藉由一模組載體用於接收一個工具模組。在該第一位置中之二個運輸空間皆位於該機器工具之該工作區之外。在該第二位置中，該等運輸空間至少其中之一位於該工作區內。該工作區具體而言由能夠藉由軸配置移動工具載體所到達的工具模組位置表徵，且舉例而言可用於對工件進行機械加工。根據實例，排列於工具載體上之一工具模組無法被移出該工作區。該工作區較佳地位於作為該機器底座之一部分之一機床上方。

該機器工具另外具有一機械臂，該機械臂具有一抓取裝置。該抓取裝置被設計成抓取至少一個工件以及抓取該等工具模組其中之一。可藉由機械臂改變一工件，較佳地直接藉由自工件夾緊裝置移除一工件並將一工件供應於該工件夾緊裝置中而改變一工件。機械臂另外被配置成將工具模組其中之一排列於運輸裝置之一運輸空間上或自該運輸空間移除工具模組其中之一。機械臂較佳地不可經由軸配置移動，且具體而言可排列於工作區之外。然而，機械臂能夠到達工作區中且具體而言能夠到達工件夾緊裝置。

藉由該機械臂，在正利用一當前工具模組對一工件進行機械加工的同時，可已將待被改變之一工具模組排列於運輸裝置中。為了改變工具模組，使用機器工具之運輸裝置以及軸配置。由於運輸裝置包含二個運輸空間，因此待被卸載之工具模組可被接收在該等運輸空間中，且待被裝載之工具模組可被排列於工具載體上。因此機械臂不需要能夠同時承載二個工具模組。因此，機械臂可為小的且質量輕的。同時，當改變工具模組時，運輸裝置與機器軸及工具載體協同合作，機械臂在一個實施例中可在此階段中用於例如替換工作場所或執行其他運輸活動。亦可在改變工具模組之前或之後按時間順序改變工件，或工件改變之階段與工具改變之階段可部分交疊。

可足夠快地執行改變製程。該機器工具整體上僅需要一小的安裝面積。可以緊湊且簡單的方式構造該機械臂及該運輸裝置。

若該運輸裝置在第一位置與一第二位置之間平移或旋轉時能夠準確地以一個自由度移動，則此為有利的。單個軸足以在二個位置之間移動運輸裝置。

在一較佳實例性實施例中，運輸裝置具有包含二個運輸空間之一樞轉載體。該樞轉載體較佳地能夠圍繞一樞轉軸在第一位置及/或第二位置中樞轉。該等運輸空間可一次一個樞轉至一裝載及卸載位置中。為此，運輸裝置可包含一樞轉驅動器或旋轉軸。當運輸裝置之樞轉驅動器執行樞轉移動時，該二個運輸空間較佳地總是聯合樞轉。用於在第一位置與第二位置之間移動運輸裝置之較佳的平移軸以及用於對樞轉載體進行樞轉之樞轉驅動器二者較佳地例如藉由相應的汽缸而被氣動驅動。亦可使用其他裝置，具體而言電驅動器。較佳地不提供用於移動運輸裝置或作為運輸裝置之一部分之另外的平移或旋轉軸。在第一位置與第二位置之間的運輸方向可被取向成與樞轉載體之樞轉軸成直角。樞轉載體之樞轉軸較佳地水平取向。

在一較佳實施例中，抓取裝置包含至少一個抓取手指單元以及至少一個夾緊裝置。該抓取手指單元被配置成抓取該等工件其中之一。在一個實例性實施例中，該抓取裝置包含二個（且更具體而言為二個）抓取手指單元。該夾緊裝置被配置成抓取一工具模組。該抓取裝置較佳地被設計成使得準確地提供一個夾緊裝置以準確地抓取一個工具模組。該工具模組相對較重。若該抓取裝置能夠抓取及接收最多一個工具模組，則具有該抓取裝置之機械臂可被制得更輕便且更緊湊。

各該所提供的抓取手指單元可例如藉由一抓取致動單元而被個別地致動。該抓取致動單元被配置成在一抓取位置與一打開位置之間移動相關聯的抓取手指單元。

該夾緊裝置包含至少一個夾緊單元，該至少一個夾緊單元在每一情形中具有一夾緊本體以及一保持凹陷部。該保持凹陷部被配置成接收工具模組或模組載體之一固定銷（holding pin）。藉由一夾緊致動單元，該夾緊本體能夠在作用於該固定銷上之一保持位置與釋放該固定銷之一釋放位置之間移動，條件是該固定銷係位於該夾緊裝置之該保持凹陷部中。

若該夾緊裝置被設計成使得該等夾緊致動單元其中之一與該等抓取致動單元其中之一彼此流體/或機械耦合用於聯合致動，則此為較佳的。因此可使流體連接件之數目最小化。

夾緊致動單元及/或抓取致動單元較佳地被實施為一氣動驅動器，且為此例如具有一對應的汽缸。亦可使用其他驅動器，具體而言電動驅動器。

機器工具在一個實例性實施例中具有用於儲存複數個工具模組之一工具庫及/或用於儲存複數個工件之一工件庫。可提供複數個工件庫以將經機械加工之工件儲存於一個工件庫中並將未經機械加工之工件儲存於另一工件庫中。經機械加工之工件以及未經機械加工之工件亦可排列於一共用工件庫中。該工具庫及/或該工件庫排列於機械臂之範圍內，使得抓取裝置可拾取所儲存之工具模組或工件。所有的庫皆較佳地相對於機器底座固定不動地排列，且具體而言不具有其自身的驅動器。

若一支撐配置排列於機器底座上或貼附至機器底座並承載機械臂，則此為較佳的。該支撐配置較佳地不支撐於地面上而是專門由機器底座承載。該支撐配置位於機器工具之工作區之外且另外可承載一工具庫及/或一工件庫。

該支撐配置能夠較佳地在一固定狀態（fixed state）與一阻尼狀態（damping state）之間切換。對於切換而言，該支撐配置可例如包含一對應的驅動器，該對應的驅動器被配置成相對於該機器底座以至少一個自由度且例如準確地以一個自由度、較佳地以一平移自由度移動該支撐配置之至少一部分。在阻尼狀態中，一支撐配置具體而言經由一阻尼配置彈性耦合或連接至機器底座。相比而言，該支撐配置包含耦合元件，藉由該等耦合元件該支撐配置能夠相對於機器底座實質上無間隙地連接或耦合。該等耦合元件係為剛性元件。剛性元件被理解為意指在被暴露於作用於該等元件上之通常力及力矩時不會發生形變或僅略發生形變之元件。相比而言，阻尼配置在機器底座與支撐配置之間提供彈性、阻尼耦合。由於存在可切換的支撐配置，可產生一阻尼狀態，在該阻尼狀態中，由機械臂之移動產生之振動未被引入至機器底座中或僅以阻尼形式（damped form）被引入。由於阻尼的存在，工件機械加工（具體而言，一研磨製程）之準確度不受所引入之振盪或振動之影響，機械臂移動或加速時可產生該所引入之振盪或振動。在工件機械加工期間機械臂亦可以高加速度移動。

替換一工具模組之方法之次序如下所述：

首先將運輸裝置排列於工作區之外的第一位置中。此位置將被假定為起始位置。抓取裝置之機械臂例如可自工具庫移除一工具模組（具體而言，藉由一模組載體），且可將該工具模組排列於運輸裝置之一空閒運輸空間處（具體而言，藉由模組載體）。此可在仍對工件進行機械加工的同時進行實施。若然後將實施工具改變，則首先將運輸裝置移動至第二位置中。工具載體將當前工具模組安置在空閒運輸空間處，較佳地安置在一模組載體中。當前工具模組利用機器軸進行安置。然後將工具載體自運輸裝置間隔開一定距離，使得運輸裝置可執行樞轉移動。然後樞轉一樞轉載體運輸裝置以使待被裝載之工具模組進入一裝載位置。運輸裝置保持處於其第二位置中。工具載體然後可利用機器軸自運輸裝置接收待被裝載之工具模組，且可遠離運輸裝置移動。模組載體較佳地保持處於運輸裝置上。所裝載之工具模組現在準備就緒以供使用。將運輸裝置自第二位置移動至位於工作區之外的第一位置中，使得可執行機械加工而不受工作區內之一干擾外形（interfering contour）之阻礙。

第1圖在立體圖中示出一機器工具20之一實例性實施例。機器工具20可被實施為一研磨機器及/或侵蝕機器21。機器工具20具有一機器底座22，機器工具20藉由機器底座22安裝於一安裝表面（例如，一大廳之地板）上。在機器底座22上設置有一軸配置23。軸配置23包含複數個機器軸24，在相對於機器底座22平移或旋轉時，一工具載體25及/或一工件夾緊裝置26可藉由該等機器軸24移動。每一機器軸24可被形成為一旋轉或平移軸，且例如可具有一電動驅動器。平移機器軸具有一平移導件，例如一托架導件（carriage guide），且旋轉機器軸24具有一旋轉導件。此軸配置23在原理上為已知的。

在此處所示的機器工具20之實例性實施例中，工具載體25能夠相對於機器底座22在三個空間方向上經由三個平移機器軸24移動。

工件夾緊裝置26能夠經由二個旋轉機器軸24移動。一個旋轉軸根據實例在一垂直方向上延伸，而其他旋轉機器軸可圍繞一所接收工件之工件縱向軸W旋轉該所接收工件。工件之縱向軸根據實例在夾緊狀態中水平取向。

工件夾緊裝置26被配置成夾緊一工件38（在第9圖及第10圖中示意性地示出），具體而言一圓柱形工件。工件38亦可為一待被生產或機械加工之工具，例如一碾磨工具、一鑽孔工具等。

在此處所述之實例性實施例中，工具載體25設置有一工具主軸（tool spindle）。一研磨及/或侵蝕工具因此可被驅動圍繞一主軸軸線（spindle axis）旋轉。該主軸軸線根據實例水平取向。

工具載體25被配置成接收一工具模組27，且在較佳的實例性實施例中準確地接收一個工具模組27。工具模組27包含單個工具28（例如，一研磨工具或一侵蝕工具）以及一流體分配器29。當與工具載體25建立連接時，流體分配器29用於鄰近工具28在所界定的點處排放冷卻劑或介電液體。一工具模組27之一實例性實施例示出於第2圖及第3圖中。對於與工具載體28之流體連接而言，根據實例之流體分配器29包含一連接本體30，連接本體30具有一或多個流體連接件31。工具28具有連接至一工具本體（例如，一研磨碟或一侵蝕碟）以與該工具本體共同旋轉之一耦合件32，藉由該耦合件可產生與工具主軸之旋轉驅動器連接以驅動工具28之工具本體圍繞旋轉軸旋轉。在建立旋轉驅動器連接期間，亦建立與流體分配器29之流體連接。

一工具模組27之工具28以及流體分配器29藉由一模組載體35在一期望位置中相對於彼此定位及取向（第3圖）。在此相對位置中，流體分配器29以及工具28可連接至機器工具20之工具載體25。模組載體35根據實例被實施為具有二個分支（limb）之一支架（bracket），該支架在一側處開放且可具有近似U形或V形設計。該二個分支在一側連接且在相對側不彼此連接，以在該等分支之間形成一接收區。

模組載體35用於支撐一工具庫36中之一模組27，其用於保持一模組27之庫保持件37僅大大以示意性方式在第1圖中示出。工具庫36可連接至機器底座22或可排列於機器底座22上。工具庫36位於機器工具之一工作區A之外。機器工具之工作區A被定義為作為藉由軸配置23定位一工具28之結果可由排列於工具保持器25上之工具28到達之區。

可針對經機械加工之工件以及未經機械加工之工件提供至少一個工件庫39。工具庫39較佳地同樣排列於工作區A之外。作為另一選擇，至少一個工件庫39亦可連接至工件載體26且可經由軸配置23與工件載體26聯合移動。

工具庫36以及視情況至少一個工件庫39經由一支撐配置40連接至機器底座22。支撐配置40根據實例被形成為一框架且包含互連的載體元件41。在實例性實施例中，載體元件41水平地或垂直地延伸。此外，亦可提供呈支柱（strut）形式之對角載體元件。

一機械臂42排列於支撐配置40上。機械臂之一基礎部分43固定地連接至支撐配置40。在與基礎部分43相對的一端處，機械臂42包含一抓取裝置44。抓取裝置44在第4圖及第5圖中示出，且在第10圖中以示意性局部圖示出。機械臂42包含以平移及/或旋轉方式連接至彼此的複數個臂部件，以能夠在空間中自由地移動抓取裝置44及對抓取裝置44進行取向。

抓取裝置44被配置成能夠拾取並運輸一工件38（第9圖及第10圖）以及一工具模組27二者。

抓取裝置44根據實例包含二個抓取手指單元45。可藉由二個抓取手指單元45其中之每一者拾取並運輸一工件38。抓取裝置44因此可同時拾取二個工件38。每一抓取手指單元45為此具有二個能夠相對於彼此移動之抓取手指46。二個抓取手指46較佳地能夠移動以朝向彼此及遠離彼此平移。作為另一選擇，二個抓取手指46亦可被形成為能夠朝向彼此或遠離彼此樞轉。在實例性實施例中，二個抓取手指46其中之一固定不動地固定至抓取裝置44之一手指承載部47。同一抓取手指單元45之其他抓取手指26能夠經由一抓取致動單元48相對於首先提及之抓取手指46移動。

抓取致動單元48包含一汽缸49，汽缸49根據實例排列於手指承載部47內或排列於手指承載部47上。汽缸49包含能夠在一汽缸內腔中移動之一活塞50，該活塞將汽缸49之汽缸內腔流體劃分成二個工作內腔。一個工作內腔能夠經由一第一氣動連接件51氣動連接，且另一個工作內腔能夠經由一第二氣動連接件52氣動連接至一壓力源或一壓力槽（pressure sink）。各該工作內腔因此能夠被作用以壓力或通風進行壓力釋放。在以舉例方式在第9圖中所示之情景中，經由第一氣動連接件51饋送壓縮空氣，藉此活塞50將能夠移動之抓取手指46朝向另一抓取手指46移動且可在該等抓取手指之間保持或夾緊一工件38。第二氣動連接件52可連接至周圍環境或大氣（通風）。若相反地經由第二氣動連接件52饋送壓縮空氣且對第一氣動連接件51進行通風，則抓取手指單元45切換至釋放工件38之位置中。

在此處所示之實例性實施例中，能夠移動之抓取手指46經由一活塞杆根據運動耦合至汽缸49之活塞50，並安裝於手指承載部46上且根據實例被引導進行平移。

在第4圖中示意性地示出二個抓取手指單元45包含以使得由抓取手指單元45同時拾取之二個工件38保持平行且相對於彼此偏置之方式偏置排列之抓取手指46。此在第4圖中藉由由虛實線所示之工件縱向軸W示出，工件縱向軸W不彼此相交且根據實例彼此平行地取向。因此亦可由抓取裝置44或相應的抓取手指單元40同時拾取並保持較長的工件38。

每一抓取手指單元45因此被分派一單獨的抓取手指致動單元48，使得二個抓取手指單元45能夠獨立地且個別地在用於保持或夾緊一工件38之一抓取位置與一打開位置之間切換或移動。

抓取裝置44另外包含一夾緊裝置56。夾緊裝置56具有至少一個夾緊單元57，且根據實例具有二個夾緊單元57。一夾緊單元57之示意性構造示出於第6圖至第8圖以及第10圖中。能夠藉由一相關聯之夾緊致動單元58在一保持位置H（第6圖及第8圖）與一釋放位置F（第7圖）之間移動之一夾緊本體59屬於每一夾緊單元57。根據實例，夾緊本體59可移動地被安裝在釋放位置F與保持位置H之間的一引導槽60中平移。引導槽60被設置於抓取裝置44之一主體61中。夾緊單元57之一保持凹陷部62穿過引導槽60。保持凹陷部62根據實例具有一圓柱形外形且至少在主體51的一側上係開放的。保持凹陷部62可被實施為一貫穿孔或實施為穿過主體61之一盲孔。保持凹陷部62被配置成至少部分地接收一固定銷63。

至少一個固定銷63排列於工具模組27上，或如在此處所述之實例中排列於模組載體35上。模組載體35由固定銷63形成作為一適配器，該適配器使得可由抓取裝置44拾取工具模組27。在實例性實施例中，模組載體35包含二個彼此間隔開一定距離排列之固定銷63。該等固定銷根據實例排列成在叉狀模組載體35之二個分支其中之每一者上存在一個固定銷且平行於彼此延伸，且較佳地在排列於模組載體35上之狀態中亦平行於工具模組27之工具28之旋轉軸（第3圖）。

每一固定銷63在其自由端具有一銷頭64，該銷頭由一銷部65鄰接，銷部65相較於銷頭64具有較小之尺寸或較小之橫截面。銷部65經由一連接部66連接至固定銷63之一緊固部67。連接部66根據實例係為圓柱形的，且具有近似對應於保持凹陷部62中之內徑之一外徑。根據實例，銷頭64之尺寸或直徑對應於連接部66之直徑。因此圍繞具有較小直徑之銷部65形成在圓周方向上閉合之一環形凹槽，且該環形凹槽一方面藉由銷頭64且在另一方面藉由連接部66在軸向上定界。緊固部67根據實例過渡到形成有一環形台階68之連接部66。緊固部相較於連接部66可具有一較大之直徑，且用於將固定銷63緊固至模組載體35。緊固部67可例如藉由一緊固螺絲69被緊固至模組載體35。

環形台階68用作抓取裝置44之一止擋器，且根據實例用作主體61之止擋器。若固定銷63接合在保持凹陷部62中使得環形台階68抵靠主體61，則銷部65將位於引導槽60之區中且因此將鄰近夾緊本體59定位。藉由移動夾緊本體59，可將此移入圍繞銷部65之圓周凹槽中以呈現保持位置H（第8圖）。在保持位置H中，夾緊本體59可以形狀配合方式保持固定銷63抵靠抓取裝置44。另外或作為另一選擇，夾緊本體59亦可對固定銷63施加一夾緊力。

如參照第7圖及第8圖所示，夾緊本體59之移動方向亦可被設置成相對於固定銷63之縱向軸偏置。為此，夾緊本體59具有一楔狀或梯形區70，該楔狀或梯形區70在釋放位置F中排列於圍繞銷部65之圓周凹槽之外，且在保持位置H中排列於此圓周凹槽內（參見第7圖及第8圖）。

夾緊致動單元58類似於抓取致動單元48包含一汽缸49，汽缸49之汽缸內腔被一活塞50流體劃分成二個工作內腔，該二個工作內腔其中之一流體連接至第一氣動連接件51，且該二個工作內腔其中之另一者流體連接至第二氣動連接件52。活塞50依據施加至工作內腔之壓力而移動，且經由一活塞杆根據移動耦合至夾緊本體59。

如所提及，夾緊致動單元58其中之一之汽缸49以及抓取致動單元48其中之一之汽缸49二者皆流體連接至共用第一氣動連接件51及第二氣動連接件52其中之每一者。在第一氣動連接件51處施加壓力之情形中，抓取手指單元45因此切換到抓取位置中且夾緊單元57因此切換到保持位置H中。相反，在第一氣動連接件51處減輕壓力且在第二氣動連接件52處施加壓力之情形中，夾緊單元57移動或切換到釋放位置F中，且抓取手指單元45移動或切換到打開位置中以釋放一工件38。在每一情形中，一抓取手指單元45與一夾緊單元57因此被聯合致動。在抓取裝置44之實例性實施例中，提供二對能夠聯合致動之抓取手指單元45以及夾緊單元57，且在每一情形中該二對抓取手指單元45以及夾緊單元57包含一第一氣動連接件51及一第二氣動連接件52。在第4圖中以舉例方式示出了總共四個氣動連接件。第10圖示出由夾緊單元57其中之一以及抓取手指單元45其中之一形成之二對其中之一對的流體、以及根據實例氣動耦合。在抓取單元44之中心軸M之另一側上以類似方式實施由抓取手指單元45及夾緊單元57形成之另一對（亦參見第4圖）。

機器工具10另外具有一運輸裝置75，運輸裝置75根據實例排列於機器底座22上（第11圖至第17圖）。在改變一工具模組27之情形中，運輸裝置75被配置成與機械臂42以及與軸配置23及工件載體35協同合作。運輸裝置75包含一定位驅動器（圖中未示出），以在機器工具之工作區A之外的一第一位置P1（第11圖、第12圖及第13圖）與至少部分位於機器工具之工作區A之內的一第二位置P2（第14圖至第17圖）之間移動運輸裝置75。定位驅動器可被形成為一平移及/或旋轉驅動器。

在實例性實施例中，運輸裝置75準確地具有二個運輸空間76，該二個運輸空間76各自準確地用於一個工具模組27，該工具模組由一工具28及一流體分配器29形成。二個運輸空間76根據實例排列於一共用樞轉載體77上，該共用樞轉載體77能夠圍繞一樞轉軸樞轉。為此，運輸裝置75包含一樞轉驅動器（圖中未示出）。樞轉載體77根據實例能夠由樞轉驅動器沿逆時針方向樞轉90度且沿順時針方向樞轉90度。樞轉範圍根據實例較佳地被限制為圍繞樞轉軸樞轉移動至多90度。不可能達成更大之樞轉移動。作為另一選擇，樞轉範圍亦可被限制為另一角度範圍，例如100度，亦小於90度（例如，60度或45度）。運輸裝置75平行於樞轉軸延伸之一平面（根據實例，一水平平面）在第一位置P1與第二位置P2之間移動。

用於移動之樞轉驅動器以及定位驅動器可各自例如藉由一相應的汽缸被氣動驅動。

二個運輸空間76其中之一位於一裝載及卸載位置X中。在裝載位置X中，排列於此處之工具模組27之工具28之旋轉軸平行於工具載體25之主軸軸線取向，且例如水平地取向。若二個運輸空間其中之一位於裝載及卸載位置X中，則另一運輸空間76以距工作區A更大之一距離垂直地排列於其下方或水平地排列於其後方（例如，參見第15圖及第16圖）。

可參照第11圖至第17圖闡釋用於一工具模組27之一改變程序。

運輸裝置75首先位於工作區A之外的第一位置P1中（第11圖）。機械臂42可自工具庫36移除待被裝載之模組27且可例如藉由模組載體35將模組27排列於二個運輸空間76其中之一處。在將待被裝載之模組27排列於位於裝載及卸載位置X（第12圖）中之運輸空間76處時，然後對樞轉載體77進行樞轉使得僅包含一模組載體35之未被佔用之運輸空間76位於裝載及卸載位置X中（第13圖）。

可在利用當前使用之工具模組27對一工件38進行機械加工的同時實行上述該等預備性措施。

工具模組27一需要被改變，便將運輸裝置75移動至第二位置P2中使得具有空模組載體35之運輸空間76位於裝載及卸載位置X中（第14圖）。藉由軸配置23，朝向空的運輸空間76移動工具載體25，且將當前工具模組27存放在模組載體35中。然後遠離運輸裝置75移動工具載體25，使得該運輸裝置可以無碰撞方式執行樞轉移動（第15圖）。

藉由將樞轉載體77樞轉移動90度，待被裝載之工具模組27被樞轉到裝載及卸載位置X中（第16圖）且然後可藉由工具載體25之移動被接收在工具載體25處，其中工具載體25之移動係藉由軸配置23執行的（第17圖）。模組載體35保持在運輸裝置75之運輸空間76處。然後遠離運輸裝置75移動具有所裝載之工具模組27之工具載體25，並將工具載體25移出工作區A並移回到第一位置P1中。為了自運輸裝置75移除未經裝載之工具模組27，可將該運輸裝置樞轉至裝載及卸載位置X中使得運輸裝置75重新呈現在第12圖中所示之位置。

現在可使用所裝載之工具模組27來對一工件38進行機械加工。在此機械加工期間，機械臂42可自運輸裝置75移除未經裝載之工具模組27，且若下一工具改變不會再次使用該未經裝載之工具模組27，則將該未經裝載之工具模組27存放在工具庫36中。藉由製備，可藉由機械臂將接下來待被裝載之工具模組27放回運輸裝置75中，且所述製程以所闡述之方式再次開始。

如所闡釋且如在第1圖中所示，機械臂42經由支撐配置40排列於機器底座22上，其中出於清晰起見，在第11圖至第7圖中未示出支撐配置40。

機械臂42根據實例被設計成僅能夠拾取並承載單個工具模組27。因此可以較低之負載承載能力且以更緊湊之方式構造機械臂42。為了仍能夠足夠快地改變工具模組27，機械臂42操作運輸裝置75，運輸裝置75然後在工具模組27之改變階段期間可拾取未經裝載之工具模組27，且可藉由快速的樞轉移動使待被裝載之工具模組27進入裝載及卸載位置X。因此改變時間短。

機械臂42以及抓取裝置44能夠被裝載以同時拾取二個工件38。因此可在與工件夾緊裝置26之直接協同合作中藉由機械臂42及抓取裝置44執行工件改變。運輸裝置75對工件改變而言係為非必要的。

如所闡釋且如在第1圖中所示，機械臂42經由支撐配置40排列於機器底座22上。由於在對一工件38執行之一機械加工製程期間機械臂運作或能夠運作以使運輸裝置25配備有一工具模組27或移除一未經裝載之工具模組27，因此存在由機械臂42之加速度導致之振盪及振動將被引入至機器底座22中之風險。在機器工具20之一個實例性實施例中，可消除或至少最小化對振盪的引入，使得即使在存在相對較大加速度或加速度改變之情形中仍能夠防止對機械加工製程（具體而言，一高度準確之研磨或侵蝕製程）產生不利影響。

為此，支撐配置40或支撐配置40之連接至機械臂40之基礎部分43的至少一部分在阻尼狀態中可以僅彈性阻尼的方式經由一阻尼配置81被解耦及連接至機器底座。阻尼配置81例如具有至少一個能夠發生彈性形變之阻尼本體82。阻尼本體82可由一彈性材料製成，具體而言由橡膠彈力材料製成。

為此，舉例而言，可在支撐配置40上設置一切換驅動器83，例如一線性驅動器。切換驅動器83可包含一液缸或汽缸或亦可被電動驅動。其較佳地僅以一個自由度在旋轉或平移中執行移動，且在實例性實施例中在平移中執行移動。藉由切換驅動器83，支撐配置40可於一剛性耦合固定狀態S與經由阻尼配置81以相對於振動阻尼之方式耦合之一阻尼狀態D之間切換或移動。

在實例性實施例中，至少一個載體元件41可被劃分成一第一部分41a及一第二部分41b，該第一部分41a與該第二部分41b能夠經由切換驅動器83相對於彼此移動。舉例而言，複數個或所有的垂直取向之載體元件41可因此被劃分成一第一部分41a及一第二部分41b，且能夠經由一共用或獨立的切換驅動器83相對於彼此移動。使支撐配置40之上面排列有機械臂42之一部分能夠在固定狀態S與阻尼狀態D之間切換使得能夠在機器底座22與機械臂42之間達成剛性耦合或彈性耦合係為必要的。

在第18圖及第19圖中大大以示意性方式示出的實例中，該等部分其中之一（且根據實例，第一部分41a）包含剛性耦合元件84，剛性耦合元件84根據實例被形成為耦合掛鉤（coupling peg）84。在暴露至通常有效的力時不發生形變或僅略發生形變之耦合元件84被認為係為剛性的。當支撐配置40處於固定狀態S中時，第一部分41a之二個耦合元件84實質上無間隙地接收在第二部分41b上的耦合凹陷部85中（第18圖）。在此固定狀態S中，第一部分41a無法相對於第二部分41b移動或僅可略微移動。機械臂42之位置或抓取裝置44之位置可相對於關於機器底座22固定之一座標系極準確地定位於固定狀態S中。此例如對於將工件38裝載至工件夾緊裝置26中及自工件夾緊裝置26卸載工件38或在將一工件38插入以靜止方式排列於機器底座22上之一工件庫39/自該工件庫39移除一工件38時係為必要的。

在固定位置S中，切換驅動器83亦可在第一部分41a與第二部分41b之間產生一夾緊力，使得二個部分41a與41b利用一力彼此按壓抵靠。

藉由切換至阻尼狀態D中，耦合元件84被移出其相關聯的耦合凹陷部85。載體元件41之第一部分41a與第二部分41b之間的一夾緊力被取消，且僅藉由具有至少一個阻尼本體82之阻尼配置81達成該二個部分41a與41b之間的連接。根據實例，切換驅動器83可經由阻尼配置81支撐於二個部分其中之一上，且根據實例支撐於第二部分41b上，且可承載（例如，垂直支撐）另一部分（根據實例，第一部分41a）。在第19圖中示意性地示出此阻尼狀態D。二個部分41a及41b排列於此彼此間隔開一垂直距離，且仍僅經由阻尼配置81以彈性阻尼方式耦合。切換驅動器83之一耦合杆86較佳地經由第二部分41b上之一凹陷部突出而不接觸，且固定地連接至第一部分41a。耦合杆86之另一端連接至切換驅動器83之傳動缸，切換驅動器83經由阻尼配置81支撐於第二部分41b處。

第20圖及第21圖示出支撐配置之一替代實施例，其中在第20圖中示出了固定狀態S，且在第21圖中示出了阻尼狀態D。在經修改之實施例中，切換驅動器83之一汽缸總是經由阻尼配置81之一阻尼本體82而連接至載體元件41之第二部分41b。此處也會在固定狀態S中於二個部分41a與41b之間產生足夠大的夾緊力。耦合元件84在此實施例中係為台階式的，且具有直徑較大之一第一台階84a以及直徑較小之一第二台階84b。耦合凹陷部85之內徑在此實施例中適合於第一台階84之外徑，第一台階84a在固定狀態S中排列於耦合凹陷部85內且在二個部分41a與41b之間產生剛性、實質上無間隙之耦合。耦合元件84之第二台階84b延伸穿過阻尼配置81之一阻尼本體82中之一凹陷部。若現在切換至阻尼狀態D，則第一台階84a被移出耦合凹陷部85，使得現在僅有第二台階84b仍保持位於一阻尼本體82之凹陷部內。因此在二個部分41a與41b之間經由阻尼本體產生彈性、振動阻尼耦合。如在第一實例性實施例中，切換驅動器83自第二部分41b垂直地抬升第一部分41a，藉此達成阻尼狀態D。

根據第18圖及第19圖以及第20圖及第21圖之實例性實施例亦可彼此組合。舉例而言，亦在根據第18圖及第19圖之實例性實施例中，台階式的耦合元件84可與耦合凹陷部85內之額外的阻尼本體82一起使用。在根據第20圖及第21圖之實例性實施例中，亦可使用將處於固定狀態S中不具有阻尼本體82之切換驅動器83連接至二個部分41a及41b。用於支撐配置40之二個部分41a及41b之剛性耦合及阻尼解耦之另外實施例亦為可能的。作為對所示實例之另一選擇，二個部分41a及41b亦可在一水平方向上分離，其中較佳的為在一垂直方向上解耦。

本發明係有關於一種機器工具20，例如一研磨機器及/或一侵蝕機器21。機器工具20具有一機器底座22以及一軸配置23，軸配置23用於相對於機器底座22移動一工具載體25及/或一工件夾緊裝置26。在機器底座22上設置有一運輸裝置75，運輸裝置75較佳準確地具有二個運輸空間76，該二個運輸空間76各自用於一個工具模組27。具有一抓取裝置44之一機械臂42被配置成抓取及移動二個工件38或作為另一選擇抓取及移動單個工具模組27。因此可直接經由機械臂42實行利用工件夾緊裝置26之工件變化，或一工具模組27可被拾取並排列於運輸裝置75中或被自運輸裝置75移除。運輸裝置75可被移出機器工具20之工作區A以及移入工作區A，且工具載體25上之工具模組27可與工具機器20之軸配置23協同合作而被改變。

20‧‧‧機器工具

21‧‧‧研磨及/或侵蝕機器

22‧‧‧機器底座

23‧‧‧軸配置

24‧‧‧機器軸

25‧‧‧工具載體

26‧‧‧工件夾緊裝置/工件載體

27‧‧‧工具模組

28‧‧‧工具

29‧‧‧流體分配器

30‧‧‧連接本體

31‧‧‧流體連接件

32‧‧‧耦合件

35‧‧‧模組載體/工具載體

36‧‧‧工具庫

37‧‧‧庫保持件

38‧‧‧工件

39‧‧‧工件庫

40‧‧‧支撐配置

41‧‧‧載體元件

41a‧‧‧載體元件之第一部分

41b‧‧‧載體元件之第二部分

42‧‧‧機械臂

43‧‧‧基礎部分

44‧‧‧抓取裝置

45‧‧‧抓取手指單元

46‧‧‧抓取手指

47‧‧‧手指承載部

48‧‧‧抓取致動單元

49‧‧‧汽缸

50‧‧‧活塞

51‧‧‧第一氣動連接件

52‧‧‧第二氣動連接件

56‧‧‧夾緊裝置

57‧‧‧夾緊單元

58‧‧‧夾緊致動單元

59‧‧‧夾緊本體

60‧‧‧引導槽

61‧‧‧主體

62‧‧‧保持凹陷部

63‧‧‧固定銷

64‧‧‧銷頭

65‧‧‧銷部

66‧‧‧連接部

67‧‧‧緊固部

68‧‧‧環形台階

69‧‧‧緊固螺絲

70‧‧‧梯形區

75‧‧‧運輸裝置

76‧‧‧運輸空間

77‧‧‧樞轉載體

81‧‧‧阻尼配置

82‧‧‧阻尼本體

83‧‧‧切換驅動器

84‧‧‧耦合元件

84a‧‧‧耦合元件之第一台階

84b‧‧‧耦合元件之第二台階

85‧‧‧耦合凹陷部

86‧‧‧耦合杆

A‧‧‧工作區

D‧‧‧阻尼狀態

F‧‧‧釋放位置

H‧‧‧保持位置

M‧‧‧中心軸

P1‧‧‧第一位置

P2‧‧‧第二位置

S‧‧‧固定狀態

VIII-VIII‧‧‧截面線

W‧‧‧工件縱向軸

X‧‧‧裝載及卸載位置

藉由閱讀從屬申請專利範圍、說明及圖式，本發明之有利實施例將變得清晰。以下將參照附圖詳細闡釋本發明之較佳實例性實施例，在附圖中：

第1圖示出呈一研磨機器及/或侵蝕機器形式之一機器工具之一實例性實施例之立體圖。

第2圖示出一工具模組之一實例性實施例之立體圖。

第3圖示出來自第2圖的具有包含二個固定銷之一模組載體之工具模組之立體圖。

第4圖示出來自第1圖的機械臂之一抓取裝置之一實例性實施例之立體圖。

第5圖示出抓取裝置藉由模組載體接收一工具模組之立體圖。

第6圖示出在一保持位置中抓取裝置之一夾緊單元之示意性基本局部剖視圖。

第7圖示出在一釋放位置中沿第6圖中的截面線VIII-VIII截取的來自第6圖的夾緊單元之示意性基本局部剖視圖。

第8圖示出在一保持位置中沿第6圖中的截面線VIII-VIII截取的來自第6圖的夾緊單元之示意性局部剖視圖。

第9圖示出來自第4圖的抓取裝置之一抓取手指單元之示意性基本圖。

第10圖示出具有一共用致動單元之抓取裝置之一抓取手指單元以及一夾緊單元之配置之示意性基本局部剖視圖。

第11圖至第17圖各自示出在替換一工具模組時在不同階段中機器工具之示意性局部圖。

第18圖及第19圖各自示出用於在不同狀態中固定及自機床解耦一支撐配置之至少一部分之一裝置之示意性基本局部剖視圖。

第20圖及第21圖示出在不同狀態中來自第17圖及第18圖之裝置之一不同實例性實施例。

Claims (14)

1. 一種機器工具（20）， 具有一機器底座（22）， 具有一軸配置（23），該軸配置（23）排列於該機器底座（22）上，具有複數個機器軸（24）且被配置成相對於該機器底座（22）定位及/或移動一工具載體（25）及/或一工件夾緊裝置（26），其中該工具載體（35）被配置成接收一工具模組（27），該工具模組（27）包含一工具（28）以及一流體分配器（29）， 具有一運輸裝置（75），該運輸裝置（75）能夠在該工具（28）之工作區（A）之外的一第一位置（P1）與在該工作區（A）之內的一第二位置（P2）之間移動且包含二個運輸空間（26），該二個運輸空間（26）各自用於接收一個工具模組（27）， 具有一機械臂（42），該機械臂（42）包含一抓取裝置（44），該抓取裝置（44）被配置成抓取至少一個工件（38）以及抓取該等工具模組（27）其中之一，使得可藉由該機械臂（42）執行工件變化抑或可將一工具模組（27）排列於該運輸裝置（75）之該等運輸空間（76）其中之一中或可自該等運輸空間（76）其中之一移除該工具模組（27）。
2. 如請求項1所述之機器工具， 其中該運輸裝置（75）在該第一位置（P1）與該第二位置（P2）之間平移或旋轉時能夠準確地以一個自由度移動。
3. 如請求項1或2所述之機器工具， 其中該運輸裝置（75）包含一樞轉載體（77），該樞轉載體（77）包含該二個運輸空間（76）且能夠圍繞一樞轉軸在該第一位置（P1）與該第二位置（P2）中樞轉。
4. 如請求項1或2所述之機器工具， 其中該抓取裝置（44）包含至少一個抓取手指單元（45），該至少一個抓取手指單元（45）在每一情形中被設計成抓取該等工件（38）其中之一，且其中該抓取裝置（44）包含一夾緊裝置（56），該夾緊裝置（56）被配置成抓取該等工具模組（27）其中之一。
5. 如請求項4所述之機器工具， 其中提供二個抓取手指單元（45），且在每一情形中藉由一抓取致動單元（48）彼此獨立地致動該二個抓取手指單元（45）。
6. 如請求項4所述之機器工具，其特徵在於該夾緊裝置（56）包含至少一個夾緊單元（57），該至少一個夾緊單元（57）具有一夾緊本體（59）以及一保持凹陷部（62），其中該保持凹陷部（62）被配置成接收一固定銷（63），該固定銷（63）排列於該工具模組（27）上或保持該工具模組（27）之一模組載體（35）上，且其中該夾緊本體（59）能夠在作用於該固定銷（63）上之一保持位置（H）與釋放該固定銷（63）之一釋放位置（F）之間移動。
7. 如請求項6所述之機器工具， 其中該至少一個夾緊單元（58）藉由一夾緊致動單元（58）致動。
8. 如請求項7所述之機器工具， 其中該抓取裝置（44）包含至少一個抓取手指單元（45），該至少一個抓取手指單元（45）在每一情形中被設計成抓取該等工件（38）其中之一，其中該抓取裝置（44）包含一夾緊裝置（56），該夾緊裝置（56）被配置成抓取該等工具模組（27）其中之一，且提供二個抓取手指單元（45），且在每一情形中藉由一抓取致動單元（48）彼此獨立地致動該二個抓取手指單元（45），且其中該等夾緊致動單元（58）其中之一與該等抓取致動單元（48）其中之一彼此流體及/或機械耦合用於聯合致動。
9. 如請求項1或2所述之機器工具， 其中提供一工具庫（36）用於儲存複數個工具模組（27）及/或提供一工件庫（39）用於儲存複數個未經機械加工及/或經機械加工之工件（38），其中該工具庫（36）及/或該工件庫（39）排列於該機械臂（42）之範圍內。
10. 如請求項1或2所述之機器工具， 其中一支撐配置（40）排列於該機器底座（22）上且承載該機械臂（42）。
11. 如請求項1或2所述之機器工具，被實施為研磨及/或侵蝕機器（21）。
12. 如請求項10所述之機器工具， 其中該支撐配置（40）能夠在一固定狀態（S）與一阻尼狀態（D）之間切換，其中承載該機械臂（42）之該支撐配置（40）之至少一部分在該阻尼狀態（D）中經由一阻尼配置（81）彈性連接至該機器底座（22）且在該固定狀態（S）中經由至少一個耦合元件（84）實質上無間隙地連接至該機器底座（22）。
13. 如請求項12所述之機器工具， 其中該支撐配置（40）之至少一部分可經由一驅動器（83）以一個自由度移動，以產生在該固定狀態（S）與該阻尼狀態（D）之間的切換。
14. 一種替換一機器工具（10）之一工具載體（35）上之一工具模組（27）之方法，該機器工具（10）具有一軸配置（23），該軸配置（23）排列於機器底座（22）上，具有複數個機器軸（24）且被配置成相對於該機器底座（22）定位及/或移動工具載體（25）及/或一工件夾緊裝置（26），其中該工具模組（27）包含一工具（28）以及一流體分配器（10），該機器工具（10）具有一運輸裝置（75），該運輸裝置（75）能夠在排列於該工具（28）之工作區（A）之外的一第一位置（P1）與排列於該工作區（A）之內的一第二位置（P2）之間移動且包含二個運輸空間（76），該二個運輸空間（76）各自用於接收一個工具模組（27），且該機器工具（10）具有一機械臂（42），該機械臂（42）包含一抓取裝置（44），該抓取裝置（44）被配置成抓取至少一個工件（38）以及抓取該等工具模組（27）其中之一，該方法包含以下步驟： —將該運輸裝置（75）定位於該第一位置（P1）中， —藉由該機械臂（42）將待被裝載之一工具模組（27）排列於處於其該第一位置（P1）中之該運輸裝置（75）之該等運輸空間（76）其中之一中， —將該運輸裝置（76）移動至該第二位置（P2）中， —利用該軸配置（23）之至少一個機器軸（24）將當前設置於該工具載體（35）上之該工具模組（27）排列於處於其該第二位置（P2）中之該運輸裝置（75）之空閒運輸空間（76）中， —利用該軸配置（23）之至少一個機器軸（24）移除該工具載體（35）及該運輸裝置（75）， —將該運輸裝置（75）樞轉於其第二位置（P2）中以使待被裝載該工具模組（27）之該運輸空間（76）進入一裝載及卸載位置（X）， —藉由該工具載體（35）拾取待被裝載之該工具模組（27），並利用該軸配置（23）之至少一個機器軸（24）自該運輸裝置（75）移除該工具載體， —將該運輸裝置（75）自該第二位置（P2）移動至該第一位置（P1）中。