JP2697942B2 - 同時検出型質量分析装置 - Google Patents
同時検出型質量分析装置Info
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- JP2697942B2 JP2697942B2 JP2062006A JP6200690A JP2697942B2 JP 2697942 B2 JP2697942 B2 JP 2697942B2 JP 2062006 A JP2062006 A JP 2062006A JP 6200690 A JP6200690 A JP 6200690A JP 2697942 B2 JP2697942 B2 JP 2697942B2
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- Japan
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- ion
- lens
- detector
- magnetic field
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、同時検出型質量分析装置に関し、特に質量
分析系によるイオンの収束展開面を回転させることので
きる同時検出型質量分析装置に関する。
分析系によるイオンの収束展開面を回転させることので
きる同時検出型質量分析装置に関する。
［従来技術］ 第７図は、同時検出型質量分析装置の一例を示してい
る。図においてイオン源１で生成されたイオンは、円筒
電場２及び扇形一様磁場３から構成される質量分析系に
より、収束展開面ｌに沿って質量電荷比に応じて収束展
開される。この展開されたイオンを同時検出するため、
収束展開面ｌに沿って同時検出型イオン検出器４が配置
される。このイオン検出器４としては、例えばマイクロ
チャンネルプレートや半導体微小イオン検出器アレイを
用いたイオン検出器のように、異なった位置に入射した
イオンを別個に区別して検出することが可能なイオン検
出器が使用される。
る。図においてイオン源１で生成されたイオンは、円筒
電場２及び扇形一様磁場３から構成される質量分析系に
より、収束展開面ｌに沿って質量電荷比に応じて収束展
開される。この展開されたイオンを同時検出するため、
収束展開面ｌに沿って同時検出型イオン検出器４が配置
される。このイオン検出器４としては、例えばマイクロ
チャンネルプレートや半導体微小イオン検出器アレイを
用いたイオン検出器のように、異なった位置に入射した
イオンを別個に区別して検出することが可能なイオン検
出器が使用される。
［発明が解決しようとする課題］ 上述の様に同時検出型イオン検出器を用いた質量分析
装置においては、イオン検出器の検出面をイオン収束展
開面ｌに正確に沿うように配置する必要があるが、この
ための調整はイオン検出器を機械的に移動させて行わね
ばならず、必ずしも容易ではないという問題がある。
装置においては、イオン検出器の検出面をイオン収束展
開面ｌに正確に沿うように配置する必要があるが、この
ための調整はイオン検出器を機械的に移動させて行わね
ばならず、必ずしも容易ではないという問題がある。
更に、以下に述べるような課題も残されている。
いま、イオン中心軌道０を通るイオンの質量をm0、検
出器４の両端に入射するイオンの質量をma,mb、検出器
４の長さをＬ、質量分析器の質量分散をＡγとすると、
検出器４によって同時検出できる質量範囲Δｍは、下式
で表わされる。
出器４の両端に入射するイオンの質量をma,mb、検出器
４の長さをＬ、質量分析器の質量分散をＡγとすると、
検出器４によって同時検出できる質量範囲Δｍは、下式
で表わされる。
Δｍ＝|mb−ma| ＝（L/Aγ）m0 ……（１） 一方、検出器４の空間分解能をｄとすると、検出器４
によって決定される質量分解能Ｒの制限は、下式で表わ
される。
によって決定される質量分解能Ｒの制限は、下式で表わ
される。
Ｒ≦Ａγ/d ……（２） 通常、Ｌ及びｄは検出器を決定すると決まってしま
い、自由に選ぶことは出来ない。そのため、例えば
（１）式に従って質量範囲を大きくするためにＡγを小
さくすると、（２）式より分解能が小さくなる。そのた
め、設置設計者は、質量範囲と分解能の兼ね合いで、適
当なところで妥協しなければならなかった。即ち、同じ
装置では、質量範囲と分解能の両立は出来ない。
い、自由に選ぶことは出来ない。そのため、例えば
（１）式に従って質量範囲を大きくするためにＡγを小
さくすると、（２）式より分解能が小さくなる。そのた
め、設置設計者は、質量範囲と分解能の兼ね合いで、適
当なところで妥協しなければならなかった。即ち、同じ
装置では、質量範囲と分解能の両立は出来ない。
本発明は、上述した点に鑑みてなされたものであり、
質量分析系によるイオンの収束展開面とイオン中心軌道
との成す角度を任意に変化し得る装置を提供することに
より、上記問題点及び課題を解決することを目的として
いる。
質量分析系によるイオンの収束展開面とイオン中心軌道
との成す角度を任意に変化し得る装置を提供することに
より、上記問題点及び課題を解決することを目的として
いる。
［課題を解決するための手段］ この目的を達成するため、第１の本発明は、イオン源
と、該イオン源で生成されたイオンが導入される少なく
とも扇形磁場を含む質量分析系と、該質量分析系によっ
て質量電荷比に応じて収束展開されたイオンを動じ検出
するため、その収束展開面に沿って配置されるイオン検
出器とを備えた同時検出型質量分析装置において、前記
扇形磁場とイオン検出器との間のイオン通路上に強度を
変化し得る６重極レンズを配置すると共に、前記イオン
検出器をイオン中心軌道とイオン収束展開面の交点を中
心として回転させる機能を設けたことを特徴としてい
る。
と、該イオン源で生成されたイオンが導入される少なく
とも扇形磁場を含む質量分析系と、該質量分析系によっ
て質量電荷比に応じて収束展開されたイオンを動じ検出
するため、その収束展開面に沿って配置されるイオン検
出器とを備えた同時検出型質量分析装置において、前記
扇形磁場とイオン検出器との間のイオン通路上に強度を
変化し得る６重極レンズを配置すると共に、前記イオン
検出器をイオン中心軌道とイオン収束展開面の交点を中
心として回転させる機能を設けたことを特徴としてい
る。
さらに、第２の本発明は、イオン源と、該イオン源で
生成されたイオンが導入される少なくとも扇形磁場を含
む質量分析系と、該質量分析系によって質量電化比に応
じて収束展開されたイオンを動じ検出するため、その収
束展開面に沿って配置されるイオン検出器とを備えた同
時検出型質量分析装置において、前記扇形磁場とイオン
検出器との間のイオン通路上に直列に配置される２つの
レンズ手段と、該２つのレンズ手段の強度を変化させる
手段であって該強度変化にかかわらずイオン中心軌道と
イオン収束展開面の交点が移動しないように２つのレン
ズ手段の強度を組み合わせで変化させるレンズ強度可変
手段と、前記扇形磁場とイオン検出器との間のイオン通
路上に配置される強度可変の６重極レンズとを設けたこ
とを特徴としている。
生成されたイオンが導入される少なくとも扇形磁場を含
む質量分析系と、該質量分析系によって質量電化比に応
じて収束展開されたイオンを動じ検出するため、その収
束展開面に沿って配置されるイオン検出器とを備えた同
時検出型質量分析装置において、前記扇形磁場とイオン
検出器との間のイオン通路上に直列に配置される２つの
レンズ手段と、該２つのレンズ手段の強度を変化させる
手段であって該強度変化にかかわらずイオン中心軌道と
イオン収束展開面の交点が移動しないように２つのレン
ズ手段の強度を組み合わせで変化させるレンズ強度可変
手段と、前記扇形磁場とイオン検出器との間のイオン通
路上に配置される強度可変の６重極レンズとを設けたこ
とを特徴としている。
［実施例］ 以下、図面に基づき、本発明の一実施例を詳説する。
第１図は本発明を実施した同時検出型質量分析装置の
一例を示すイオン光学図である。第１図の実施例が第６
図の従来例と異なるのは、一様扇形磁場３とイオン検出
器４との間のイオン通路上に６重極レンズ５を挿入した
点である。この６重極レンズ５は、レンズ制御回路６に
よりそのレンズ強度が制御される。
一例を示すイオン光学図である。第１図の実施例が第６
図の従来例と異なるのは、一様扇形磁場３とイオン検出
器４との間のイオン通路上に６重極レンズ５を挿入した
点である。この６重極レンズ５は、レンズ制御回路６に
よりそのレンズ強度が制御される。
第２図は、６重極レンズ５のＢ−Ｂ断面図を示してい
る。第２図において、６重極レンズ５は60゜間隔で同一
円周上に配置される６本の円筒電極P1〜P6から構成され
る。各電極には、制御回路６から＋E,−Ｅの電圧が印加
される。
る。第２図において、６重極レンズ５は60゜間隔で同一
円周上に配置される６本の円筒電極P1〜P6から構成され
る。各電極には、制御回路６から＋E,−Ｅの電圧が印加
される。
ここで、６重極レンズ５の働きについて説明する。第
２図のように配置された６重極レンズにより６重極電場
が生成され、この６重極電場内において光軸に垂直な面
（ｘ−ｙ平面）上の任意の位置（x,y）のポテンシャル
Ｖは、次式で示される値（x,y）をとる。
２図のように配置された６重極レンズにより６重極電場
が生成され、この６重極電場内において光軸に垂直な面
（ｘ−ｙ平面）上の任意の位置（x,y）のポテンシャル
Ｖは、次式で示される値（x,y）をとる。
Ｖ（x,y）＝ｈ（x3−3xy2） （３） ここで、ｈはレンズ電極に印加した電圧に比例した係
数である。
数である。
イオンが質量に応じて展開される軌道平面（ｙ＝０）
内では、（３）式は Ｖ（ｘ）＝hx3 （４） と簡単化される。
内では、（３）式は Ｖ（ｘ）＝hx3 （４） と簡単化される。
（４）式で表わされるポテンシャルが与えられる電場
内を飛行する電荷ｅを持つイオンが受ける力Ｆ（ｘ）
は、次式で与えられる。
内を飛行する電荷ｅを持つイオンが受ける力Ｆ（ｘ）
は、次式で与えられる。
Ｆ（ｘ）＝edV（ｘ）/dx＝−3hx2 （５） 今、ｘ＝０を中心とするイオンビームに対するレンズ
効果を考える。レンズ効果は、力Ｆ（ｘ）の位置による
一次の変化率に比例する。従って、ｘ＝x0の近傍のレン
ズ効果は、 dF（ｘ）/dxｘ＝x0＝−6hx0 （６） となる。
効果を考える。レンズ効果は、力Ｆ（ｘ）の位置による
一次の変化率に比例する。従って、ｘ＝x0の近傍のレン
ズ効果は、 dF（ｘ）/dxｘ＝x0＝−6hx0 （６） となる。
（６）式は、６重極レンズによるレンズ効果の強さ
が、イオンの中心軌道（ｘ＝０）からの距離に比例し、
中心軌道を挟んでレンズ効果の向きが逆転することを示
している。従って、６重極レンズは、中心軸からの距離
に比例して焦点距離を変化させることができ、ｈの値に
よってイオンの収束展開面を任意の方向へ任意の角度回
転させることが可能である。
が、イオンの中心軌道（ｘ＝０）からの距離に比例し、
中心軌道を挟んでレンズ効果の向きが逆転することを示
している。従って、６重極レンズは、中心軸からの距離
に比例して焦点距離を変化させることができ、ｈの値に
よってイオンの収束展開面を任意の方向へ任意の角度回
転させることが可能である。
第３図はｈの値と収束展開面ｌの回転の関係を示して
おり、ｈ＝０（レンズ効果なし）における収束展開面l0
が、ｈ＞０ではl1、ｈ＜０ではl2と、互いに反対方向に
回転する。回転角度は、ｈの大きさによって決定され
る。ｈの大きさを変えるには、レンズ電極に印加する電
圧±Ｅを極性を含めて変化させれば良い。
おり、ｈ＝０（レンズ効果なし）における収束展開面l0
が、ｈ＞０ではl1、ｈ＜０ではl2と、互いに反対方向に
回転する。回転角度は、ｈの大きさによって決定され
る。ｈの大きさを変えるには、レンズ電極に印加する電
圧±Ｅを極性を含めて変化させれば良い。
このように、６重極レンズにより収束展開面を回転さ
せることができるため、第４図（ａ）に示すように、イ
オンの収束展開面ｌが検出器の入射面に対して角度θ傾
斜していた場合、第４図（ｂ）に示すように６極子レン
ズを設けることにより、収束展開面を−θ回転させ、入
射面と一致させることができる。
せることができるため、第４図（ａ）に示すように、イ
オンの収束展開面ｌが検出器の入射面に対して角度θ傾
斜していた場合、第４図（ｂ）に示すように６極子レン
ズを設けることにより、収束展開面を−θ回転させ、入
射面と一致させることができる。
実際には、イオン検出器４から得られる質量スペクト
ルを観察しつつ、制御回路６を操作して６重極レンス５
の強度を調節し、得られるスペクトル全域についてスペ
クトルピークの線幅が最小になるようにすれば、イオン
検出器の検出面をイオンの収束展開面ｌに正確に沿うよ
うに設定することができる。
ルを観察しつつ、制御回路６を操作して６重極レンス５
の強度を調節し、得られるスペクトル全域についてスペ
クトルピークの線幅が最小になるようにすれば、イオン
検出器の検出面をイオンの収束展開面ｌに正確に沿うよ
うに設定することができる。
尚、第１図の実施例において、イオン検出器４をイオ
ンビームの中心軌道Ｏとの交点を中心として矢印ａで示
すように回転し得るように構成することにより、イオン
検出器４にて検出し得る質量範囲を変化させることが可
能となる。即ち、第５図（ａ），（ｂ）に示すように、
イオン検出への入射角度がほぼ90゜,45゜になるように
イオン検出器４の角度を設定した場合について考える。
どちらの場合も、６重極レンズ５のレンズ強度を調節す
ることにより収束展開面ｌを回転させ、収束展開面ｌを
イオン検出器の入射面に正確に一致させることが可能で
ある。そして、２つの場合におけるイオン検出器４の端
から端への入射イオンの質量範囲を比較すると、第５図
（ａ）の方が狭く、同図（ｂ）の方が広いことがわか
る。従って、第５図（ａ）の状態では質量範囲は狭いも
のの高分解能の測定（高分解能モード）が可能で、一
方、第４図（ｂ）の状態では、分解能はそれよりも低く
なるものの広い質量範囲の測定（広質量範囲モード）が
可能となる。
ンビームの中心軌道Ｏとの交点を中心として矢印ａで示
すように回転し得るように構成することにより、イオン
検出器４にて検出し得る質量範囲を変化させることが可
能となる。即ち、第５図（ａ），（ｂ）に示すように、
イオン検出への入射角度がほぼ90゜,45゜になるように
イオン検出器４の角度を設定した場合について考える。
どちらの場合も、６重極レンズ５のレンズ強度を調節す
ることにより収束展開面ｌを回転させ、収束展開面ｌを
イオン検出器の入射面に正確に一致させることが可能で
ある。そして、２つの場合におけるイオン検出器４の端
から端への入射イオンの質量範囲を比較すると、第５図
（ａ）の方が狭く、同図（ｂ）の方が広いことがわか
る。従って、第５図（ａ）の状態では質量範囲は狭いも
のの高分解能の測定（高分解能モード）が可能で、一
方、第４図（ｂ）の状態では、分解能はそれよりも低く
なるものの広い質量範囲の測定（広質量範囲モード）が
可能となる。
第６図は、本出願人が先に特願昭63−176092号に提案
している質量分析装置に本発明を適用した実施例を示
す。
している質量分析装置に本発明を適用した実施例を示
す。
第６図の装置が第１図の装置と異なるのは、一様扇形
磁場３とイオン検出器４との間のイオン通路上に２つの
４重極レンズ7,8が更に配置されることである。９は４
重極レンズ7,8の強度Q1,Q2を予め定められた組み合わせ
で可変するレンズ強度調整回路である。
磁場３とイオン検出器４との間のイオン通路上に２つの
４重極レンズ7,8が更に配置されることである。９は４
重極レンズ7,8の強度Q1,Q2を予め定められた組み合わせ
で可変するレンズ強度調整回路である。
今、２つの４重極レンズ7,8の強度のある組合わせ（Q
11,Q12）で収束展開面がl1になっており、その時の質量
分散がＡγ１であるとする。また、その時のl1とイオン
中心軌道Ｏ（イオン光軸）との交点をＰとする。
11,Q12）で収束展開面がl1になっており、その時の質量
分散がＡγ１であるとする。また、その時のl1とイオン
中心軌道Ｏ（イオン光軸）との交点をＰとする。
次に、別のレンズ強度の組合わせ（Q12,Q22）をとっ
た時の収束展開面をl2とする。
た時の収束展開面をl2とする。
この時、l2とイオン中心軌道Ｏとの交点がＰとなるよ
うに（Q12,Q22）の値を定めることができる。なぜな
ら、４重極レンズ7,8の強度はQ1,Q2それぞれ任意に選択
できるが、Ｐを収束点とするという条件は、Q1,Q2の間
にただ１つの関係を与えるので、例えば、Q1の値を定め
ればQ2の値は自動的に定まることになるからである。こ
の時、一般にl1とl2とは同一ではなく、又、Ａγ１とＡ
γ２（l2上の質量分散）は異なる。
うに（Q12,Q22）の値を定めることができる。なぜな
ら、４重極レンズ7,8の強度はQ1,Q2それぞれ任意に選択
できるが、Ｐを収束点とするという条件は、Q1,Q2の間
にただ１つの関係を与えるので、例えば、Q1の値を定め
ればQ2の値は自動的に定まることになるからである。こ
の時、一般にl1とl2とは同一ではなく、又、Ａγ１とＡ
γ２（l2上の質量分散）は異なる。
従って、（Q1,Q2）の値によって、Ａγをある範囲で
自由に設定できることになる。Ａγを大きくすれば分解
能を高めた高分解能モードとなり、Ａγを小さくすれば
質量範囲を広げた高質量範囲モードとなる。
自由に設定できることになる。Ａγを大きくすれば分解
能を高めた高分解能モードとなり、Ａγを小さくすれば
質量範囲を広げた高質量範囲モードとなる。
前記レンズ強度調整回路９には、上述したように異な
る質量分散を与え、しかも収束展開面とイオン光軸との
交点が移動しないようなQ1とQ2の組合わせ（Q12,Q2
2），（Q12,Q22）が記憶されており、オペレータの指令
により、４重極レンズ7,8の強度を（Q12,Q22）又は（Q1
2,Q22）に夫々設定する。
る質量分散を与え、しかも収束展開面とイオン光軸との
交点が移動しないようなQ1とQ2の組合わせ（Q12,Q2
2），（Q12,Q22）が記憶されており、オペレータの指令
により、４重極レンズ7,8の強度を（Q12,Q22）又は（Q1
2,Q22）に夫々設定する。
ここで、もし６重極レンズ５が存在しなければ、収束
展開面は高分解能モードではl1の位置をとり、広質量範
囲モードではl2の位置をとる筈である。前述した特願昭
63−176092号では、それに合わせてイオン検出器を回転
させるようにしたが、本発明を適用した本実施例では、
イオン検出器４は収束展開面l1に沿うように固定的に配
置される。そして、６重極レンズ５は、表１に従って高
分解能モードの時にh1（＝０）、広質量範囲モードの時
にh2となるように、制御回路６によって付勢される。
展開面は高分解能モードではl1の位置をとり、広質量範
囲モードではl2の位置をとる筈である。前述した特願昭
63−176092号では、それに合わせてイオン検出器を回転
させるようにしたが、本発明を適用した本実施例では、
イオン検出器４は収束展開面l1に沿うように固定的に配
置される。そして、６重極レンズ５は、表１に従って高
分解能モードの時にh1（＝０）、広質量範囲モードの時
にh2となるように、制御回路６によって付勢される。
このh2は、収束展開面をl2からl1へΔθ回転させ得る
ように適切に選ばれている。そのため、高分解能モード
の時も広質量範囲モードの時も収束展開面はl1となり、
固定されたイオン検出器４で２つのモードに対応でき
る。
ように適切に選ばれている。そのため、高分解能モード
の時も広質量範囲モードの時も収束展開面はl1となり、
固定されたイオン検出器４で２つのモードに対応でき
る。
尚、２つの４重極レンズは、検出器前の自由空間に配
置されているため、どのようなQ1,Q2の組み合わせで
も、Ｐ点で方向収束していれば、エネルギー収束条件も
同時に満たされる。尚、４重極レンズに代えて例えばア
インツェルレンズを用いることができる。
置されているため、どのようなQ1,Q2の組み合わせで
も、Ｐ点で方向収束していれば、エネルギー収束条件も
同時に満たされる。尚、４重極レンズに代えて例えばア
インツェルレンズを用いることができる。
上述した実施例は異なる例示であって、本発明は幾多
の変形が可能である。例えば、６重極レンズを含む各レ
ンズは静電型，電磁型のいずれを用いても良く、位置も
一様磁場とイオン検出器との間のイオン通路上に配置す
れば良い。例えば、イオン源，一様磁場，電場，検出器
の順序で配置される所謂逆配置の光学系を質量分析系と
して用いる場合には、各レンズは一様磁場と電場の間又
は電場とイオン検出器との間のどちらに配置しても良
い。また、順序も上記実施例に限らず任意に設定でき
る。
の変形が可能である。例えば、６重極レンズを含む各レ
ンズは静電型，電磁型のいずれを用いても良く、位置も
一様磁場とイオン検出器との間のイオン通路上に配置す
れば良い。例えば、イオン源，一様磁場，電場，検出器
の順序で配置される所謂逆配置の光学系を質量分析系と
して用いる場合には、各レンズは一様磁場と電場の間又
は電場とイオン検出器との間のどちらに配置しても良
い。また、順序も上記実施例に限らず任意に設定でき
る。
［効果］ 以上詳述した如く、本発明によれば、質量分析系の一
様磁場とイオン検出器との間に６重極レンズを配置する
ようにしたため、イオンの収束展開面を任意に回転させ
ることが可能となり、以下のような優れた効果が得られ
る。
様磁場とイオン検出器との間に６重極レンズを配置する
ようにしたため、イオンの収束展開面を任意に回転させ
ることが可能となり、以下のような優れた効果が得られ
る。
（ａ）固定されたイオン検出器へ収束展開面を一致させ
る調整が電気的に容易にできる。
る調整が電気的に容易にできる。
（ｂ）回転可能に設けられるイオン検出器との組み合わ
せにより、測定質量範囲を重視した測定モードと、分解
能を重視した測定モードとを選択できる同時検出型質量
分析装置が実現される。
せにより、測定質量範囲を重視した測定モードと、分解
能を重視した測定モードとを選択できる同時検出型質量
分析装置が実現される。
（ｃ）特願昭63−176092号との組み合わせにより、固定
したイオン検出器で、測定質量範囲を重視した測定モー
ドと、分解能を重視した測定モードとを選択できる同時
検出型質量分析装置が実現される。
したイオン検出器で、測定質量範囲を重視した測定モー
ドと、分解能を重視した測定モードとを選択できる同時
検出型質量分析装置が実現される。
第１図及び第６図は夫々本発明の一実施例を示すイオン
光学図、第２図は６重極レンズのＢ−Ｂ断面図、第３図
は６重極レンズによる収束展開面の回転を説明するため
の図、第４図は６重極レンズによる収束展開面の調節を
説明するための図、第５図は高分解能モードと高質量範
囲モードを説明するための図、第７図は従来例を示すイ
オン光学図である。 1:イオン源、2:円筒電場 3:一様磁場、4:同時検出型イオン検出器 5:6重極レンズ 6:レンズ制御回路、7,8:4重極レンズ 9:レンズ強度調整回路
光学図、第２図は６重極レンズのＢ−Ｂ断面図、第３図
は６重極レンズによる収束展開面の回転を説明するため
の図、第４図は６重極レンズによる収束展開面の調節を
説明するための図、第５図は高分解能モードと高質量範
囲モードを説明するための図、第７図は従来例を示すイ
オン光学図である。 1:イオン源、2:円筒電場 3:一様磁場、4:同時検出型イオン検出器 5:6重極レンズ 6:レンズ制御回路、7,8:4重極レンズ 9:レンズ強度調整回路
Claims (2)
- 【請求項１】イオン源と、該イオン源で生成されたイオ
ンが導入される少なくとも扇形磁場を含む質量分析系
と、該質量分析系によって質量電荷比に応じて収束展開
されたイオンを動じ検出するため、その収束展開面に沿
って配置されるイオン検出器とを備えた同時検出型質量
分析装置において、前記扇形磁場とイオン検出器との間
のイオン通路上に強度を変化し得る６重極レンズを配置
すると共に、前記イオン検出器をイオン中心軌道とイオ
ン収束展開面の交点を中心として回転させる機構を設け
たことを特徴とする同時検出型質量分析装置。 - 【請求項２】イオン源と、該イオン源で生成されたイオ
ンが導入される少なくとも扇形磁場を含む質量分析系
と、該質量分析系によって質量電荷比に応じて収束展開
されたイオンを動じ検出するため、その収束展開面に沿
って配置されるイオン検出器とを備えた同時検出型質量
分析装置において、前記扇形磁場とイオン検出器との間
のイオン通路上に直列に配置される２つのレンズ手段
と、該２つのレンズ手段の強度を変化させる手段であっ
て該強度変化にかかわらずイオン中心軌道とイオン収束
展開面の交点が移動しないように２つのレンズ手段の強
度を組み合わせで変化させるレンズ強度可変手段と、前
記扇形磁場とイオン検出器との間のイオン通路上に配置
される強度可変の６重極レンズとを設けたことを特徴と
する同時検出型質量分析装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| GB8915234.2 | 1989-07-03 | ||
| GB8915234A GB2221566B (en) | 1988-07-14 | 1989-07-03 | Mass spectrometer capable of multiple simultaneous detection |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03129657A JPH03129657A (ja) | 1991-06-03 |
| JP2697942B2 true JP2697942B2 (ja) | 1998-01-19 |
Family
ID=10659462
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2062006A Expired - Fee Related JP2697942B2 (ja) | 1989-07-03 | 1990-03-13 | 同時検出型質量分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2697942B2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5780652A (en) * | 1980-11-06 | 1982-05-20 | Jeol Ltd | Mass analyzer |
-
1990
- 1990-03-13 JP JP2062006A patent/JP2697942B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03129657A (ja) | 1991-06-03 |
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