JP2687321B2 - 発光分光分析装置 - Google Patents
発光分光分析装置Info
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- JP2687321B2 JP2687321B2 JP2305590A JP30559090A JP2687321B2 JP 2687321 B2 JP2687321 B2 JP 2687321B2 JP 2305590 A JP2305590 A JP 2305590A JP 30559090 A JP30559090 A JP 30559090A JP 2687321 B2 JP2687321 B2 JP 2687321B2
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- Japan
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- light
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- polychromator
- monochromator
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Description
【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、試料を発光させる単一の発光源と、前記試
料から発する光のうち選択される多数の波長の光を同時
に検出するポリクロメータと、前記試料から発する光の
うちの所望の一波長の光についてのみ検出するモノクロ
メータとを具備した複合タイプの発光分光分析装置に関
する。
料から発する光のうち選択される多数の波長の光を同時
に検出するポリクロメータと、前記試料から発する光の
うちの所望の一波長の光についてのみ検出するモノクロ
メータとを具備した複合タイプの発光分光分析装置に関
する。
〈従来技術〉 従来のこの種の複合タイプの発光分光分析装置では、
ポリクロメータ及びモノクロメータの両方が横置き配
置、すなわち光学系の光軸を水平面方向に配向させる形
態になっており、これらの物体を横に並べて配置する関
係上、装置全体が横方向に大きなものになっている。
ポリクロメータ及びモノクロメータの両方が横置き配
置、すなわち光学系の光軸を水平面方向に配向させる形
態になっており、これらの物体を横に並べて配置する関
係上、装置全体が横方向に大きなものになっている。
〈発明が解決しようとする課題〉 上記従来の発光分光分析装置では、ポリクロメータ及
びモノクロメータの両方が横置き配置となっている関係
から、装置全体の横幅寸法が大きくなっていて、そのた
めに、大きな設置面積を必要とするなど設置場所を有効
に利用し難くなるといった不都合がある。
びモノクロメータの両方が横置き配置となっている関係
から、装置全体の横幅寸法が大きくなっていて、そのた
めに、大きな設置面積を必要とするなど設置場所を有効
に利用し難くなるといった不都合がある。
本発明は、このような事情に鑑みて創案されたもの
で、できるだけ小さな設置面積内に収まるようにして、
設置場所を有効利用できるようにすることを目的として
いる。
で、できるだけ小さな設置面積内に収まるようにして、
設置場所を有効利用できるようにすることを目的として
いる。
〈課題を解決するための手段〉 本発明は、このような目的を達成するために、試料を
発光させる単一の発光源と、前記試料から発する光のう
ち選択される多数の波長の光を同時に検出するポリクロ
メータと、前記試料から発する光のうちの所望の一波長
の光についてのみ検出するモノクロメータとを具備した
構成の発光分光分析装置において、次のような構成をと
る。
発光させる単一の発光源と、前記試料から発する光のう
ち選択される多数の波長の光を同時に検出するポリクロ
メータと、前記試料から発する光のうちの所望の一波長
の光についてのみ検出するモノクロメータとを具備した
構成の発光分光分析装置において、次のような構成をと
る。
本発明の発光分光分析装置では、前記モノクロメータ
が、その光軸が水平面内にあるように横置き配置とさ
れ、前記ポリクロータが、グレーティングに対する入射
光と反射光が水平面に対する垂直な面内に位置する形態
の縦置き配置とされ、かつこのポリクロメータは、前記
試料から発する光を光学系の光軸に沿わせるように反射
させる反射ミラーを有していることを特徴とする。
が、その光軸が水平面内にあるように横置き配置とさ
れ、前記ポリクロータが、グレーティングに対する入射
光と反射光が水平面に対する垂直な面内に位置する形態
の縦置き配置とされ、かつこのポリクロメータは、前記
試料から発する光を光学系の光軸に沿わせるように反射
させる反射ミラーを有していることを特徴とする。
〈作用〉 本発明装置は、ポリクロメータを縦方向に立てる形態
の縦置き配置にしたものである。したがって、本発明装
置では、横置き配置としていた従来例に比べて装置全体
の横幅寸法を縮小できるようになる。
の縦置き配置にしたものである。したがって、本発明装
置では、横置き配置としていた従来例に比べて装置全体
の横幅寸法を縮小できるようになる。
〈実施例〉 以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明す
る。
る。
第１図に本発明の一実施例を示している。図例の発光
分光分析装置において、10は発光源、20はポリクロメー
タ、30はモノクロメータである。本実施例では、ポリク
ロメータ20を縦置き配置、すなわち反射ミラー22からグ
レーティング24に入射する入射光の方向をほぼ垂直方向
（重力の方向）とした形態の例を挙げている。
分光分析装置において、10は発光源、20はポリクロメー
タ、30はモノクロメータである。本実施例では、ポリク
ロメータ20を縦置き配置、すなわち反射ミラー22からグ
レーティング24に入射する入射光の方向をほぼ垂直方向
（重力の方向）とした形態の例を挙げている。
発光源10は、供給される液体状の試料を霧状に噴出さ
せるネブライザ11と、ネブライザ11から噴出される試料
をプラズマ放電によって発光させるプラズマトーチ12と
からなる。このプラズマトーチ12は、発光させた光を放
射状に放出するようになっている。
せるネブライザ11と、ネブライザ11から噴出される試料
をプラズマ放電によって発光させるプラズマトーチ12と
からなる。このプラズマトーチ12は、発光させた光を放
射状に放出するようになっている。
ポリクロメータ20は、発光源10のプラズマトーチ12か
ら放出される光ｈν1を集光するレンズ21と、レンズ21
を通過した光を垂直方向の下方へ反射する反射ミラー22
（請求項に記載の反射ミラーに相当）と、この反射ミラ
ー22からの反射光を絞るスリット23と、スリット23を通
過した光を波長別に分光反射する回折格子24（凹面型グ
レーティング）と、回折格子24で分光反射された複数の
波長の光の光度をそれぞれ検出する検出器25……と、こ
れらを収納する平面ほぼ三角形状のケース26とからな
る。このポリクロメータ20は、予め設定された所望の複
数の波長に対応した光の強度を同時に検出することによ
り、図示しない処理装置でもって試料に含有する複数の
元素の含有量を一度に測定できるようにしたものであ
る。
ら放出される光ｈν1を集光するレンズ21と、レンズ21
を通過した光を垂直方向の下方へ反射する反射ミラー22
（請求項に記載の反射ミラーに相当）と、この反射ミラ
ー22からの反射光を絞るスリット23と、スリット23を通
過した光を波長別に分光反射する回折格子24（凹面型グ
レーティング）と、回折格子24で分光反射された複数の
波長の光の光度をそれぞれ検出する検出器25……と、こ
れらを収納する平面ほぼ三角形状のケース26とからな
る。このポリクロメータ20は、予め設定された所望の複
数の波長に対応した光の強度を同時に検出することによ
り、図示しない処理装置でもって試料に含有する複数の
元素の含有量を一度に測定できるようにしたものであ
る。
モノクロメータ30は、いわゆるツェルニターナ形と呼
ばれるマウンティング形態がとられたものであり、発光
源10のプラズマトーチ12から放出される光ｈν2を集光
するレンズ31と、レンズ31を通過した光を絞る入口スリ
ット32と、入口スリット32を通過した光を水平方向に反
射する第１反射ミラー33と、第１反射ミラー33で反射さ
れた光を波長別に分光反射する回折格子34（平面型グレ
ーティング）と、回折格子34で分光反射された光のうち
任意の波長の光のみを反射する第２反射ミラー35と、こ
の第２反射ミラー35で反射された光を絞る第２スリット
36と、第２スリット36を通過した光の強度を検出する検
出器37と、これらを収納する平面ほぼ長方形状のケース
38とからなる。なお、回折格子34は、特定の波長の光を
第２反射ミラー35へ照射させるべくサインバー機構39に
よって姿勢を変更できるように支持されている。このモ
ノクロメータ30は、ポリクロメータ20で測定しない任意
の一波長の光の強度のみを検出することにより、図示し
ない処理装置でもって試料の任意の一元素の含有量のみ
を測定できるようにしたものである。
ばれるマウンティング形態がとられたものであり、発光
源10のプラズマトーチ12から放出される光ｈν2を集光
するレンズ31と、レンズ31を通過した光を絞る入口スリ
ット32と、入口スリット32を通過した光を水平方向に反
射する第１反射ミラー33と、第１反射ミラー33で反射さ
れた光を波長別に分光反射する回折格子34（平面型グレ
ーティング）と、回折格子34で分光反射された光のうち
任意の波長の光のみを反射する第２反射ミラー35と、こ
の第２反射ミラー35で反射された光を絞る第２スリット
36と、第２スリット36を通過した光の強度を検出する検
出器37と、これらを収納する平面ほぼ長方形状のケース
38とからなる。なお、回折格子34は、特定の波長の光を
第２反射ミラー35へ照射させるべくサインバー機構39に
よって姿勢を変更できるように支持されている。このモ
ノクロメータ30は、ポリクロメータ20で測定しない任意
の一波長の光の強度のみを検出することにより、図示し
ない処理装置でもって試料の任意の一元素の含有量のみ
を測定できるようにしたものである。
以上説明した実施例では、液体状の試料についての分
析を行う構成例を示しているが、本発明はそれのみに限
定されず、固体状の試料についての分析を行えるような
構成っとしたものも本発明に含む。
析を行う構成例を示しているが、本発明はそれのみに限
定されず、固体状の試料についての分析を行えるような
構成っとしたものも本発明に含む。
〈発明の効果〉 以上のように、本発明では、モノクロメータを横置き
配置とし、ポリクロメータを縦置き配置としたから、装
置全体の横幅寸法を横置き配置としていた従来例に比べ
て大幅に縮小できるようになる。したがって、本発明装
置は小さな設置面積でも配置することができ、設置場所
の有効利用が可能となる。
配置とし、ポリクロメータを縦置き配置としたから、装
置全体の横幅寸法を横置き配置としていた従来例に比べ
て大幅に縮小できるようになる。したがって、本発明装
置は小さな設置面積でも配置することができ、設置場所
の有効利用が可能となる。
ポリクロメータはグレーティングや検出器などのすべ
ての構成要素が固定されており、可動部分が全くないの
で、従来の横置きから縦置き配置にしたときに各構成要
素にかかる重力のかかり方が変わったとしてもその影響
は少ない。したがって、本発明の発光分光分析装置は設
置面積が小さく、しかも動作的に安定しているという優
れた効果を奏する。
ての構成要素が固定されており、可動部分が全くないの
で、従来の横置きから縦置き配置にしたときに各構成要
素にかかる重力のかかり方が変わったとしてもその影響
は少ない。したがって、本発明の発光分光分析装置は設
置面積が小さく、しかも動作的に安定しているという優
れた効果を奏する。
第１図は本発明の一実施例に係る発光分光分析装置を模
式的に示す斜視図である。 10……発光源、20……ポリクロメータ 22……反射ミラー、30……モノクロメータ
式的に示す斜視図である。 10……発光源、20……ポリクロメータ 22……反射ミラー、30……モノクロメータ
Claims (1)
- 【請求項１】試料を発光させる単一の発光源と、前記試
料から発する光のうち選択される多数の波長の光を同時
に検出するポリクロメータと、前記試料から発する光の
うちの所望の一波長の光についてのみ検出するモノクロ
メータとを具備した構成の発光分光分析装置であって、 前記モノクロメータが、その光軸が水平面内にあるよう
に横置き配置とされ、前記ポリクロメータが、グレーテ
ィングに対する入射光と反射光が水平面に対する垂直な
面内に位置する形態の縦置き配置とされ、かつこのポリ
クロメータは、前記試料から発する光を光学系の光軸に
沿わせるように反射させる反射ミラーを有している、 ことを特徴とする発光分光分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2305590A JP2687321B2 (ja) | 1990-11-08 | 1990-11-08 | 発光分光分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2305590A JP2687321B2 (ja) | 1990-11-08 | 1990-11-08 | 発光分光分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04175621A JPH04175621A (ja) | 1992-06-23 |
| JP2687321B2 true JP2687321B2 (ja) | 1997-12-08 |
Family
ID=17946974
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2305590A Expired - Fee Related JP2687321B2 (ja) | 1990-11-08 | 1990-11-08 | 発光分光分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2687321B2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58127333U (ja) * | 1982-02-24 | 1983-08-29 | 株式会社日立製作所 | 分光器 |
-
1990
- 1990-11-08 JP JP2305590A patent/JP2687321B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04175621A (ja) | 1992-06-23 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |