JP2676028B2 - 実時間フーリエ分光光度計 - Google Patents

実時間フーリエ分光光度計

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Description

【発明の詳細な説明】 [従来の技術] 本発明は、干渉計で空間的に作成したインタフェログ
ラム像をリアルタイムで光学的にフーリエ変換する実時
間フーリエ分光光度計の改良に関する。
[従来の技術] 従来、可視紫外域から近赤外域にわたる被測定光をフ
ーリエ変換干渉計に入射させて空間的に作成したインタ
フェログラムを一次元イメージセンサ上に結像させ、こ
れをデジタル的にフーリエ変換してもとのスペクトルを
復元するという手法が提案されている。その例は以下の
文献に示されている。
Appl.Opt.23,269(1984) Appl.Spectrosco.40,691(1986) Appl.Spectrosco.39,693(1985) Appl.Opt.22、3702(1985) これらはいずれも、フーリエ変換干渉計が、それぞれ
三角光路型干渉計、偏光干渉計、傾斜型マイケルソン干
渉計、四角共通光路型干渉計と異なってはいるが、イン
ターフェログラムを空間的に作成するという点で基本的
な考え方は同じである。
これらの手法に共通な問題点は、FFT(高速フーリエ
変換)の実行時間が長過ぎること、微弱光に対する感度
が低いこと、そしてスペクトル分解能が低いことであ
る。
FFTの実行時間の問題に対してはハードウエア構成のF
FTを用いることにより、微弱光に対する感度の問題に対
してはイメージセンサの前部にインテンシファイヤーを
配置することにより、そしてスペクトル分解能の問題に
対してはデータ処理または光学的な改善手法により、そ
れぞれ個別に解決することが検討されている。
[発明が解決しようとする問題点] 本発明の目的は、全く別の視点から前記FFT及び感度
の問題を同時に解決できる実時間フーリエ分光光度計を
提供することにある。
[問題点を解決するための手段] この目的を達成するために、本発明に係る実時間フー
リエ分光光度計では、被測定光が入射され、第1のフー
リエ変換レンズまたはフーリエ変換鏡の焦点面に該被測
定光をフーリエ変換したインターフェログラム像を空間
的に作成する空間的フーリエ変換干渉計と、該焦点面に
光電変換部が置かれ、該インターフェログラム像を光電
変換し、これを輝度増倍して電気光学結晶面上に空間電
荷分布パターンを作成し、該電荷分布による電界に応じ
た複屈折性を該電気光学結晶に生じさせる空間光変調手
段と、直線偏光されたレーザ光が該電気光学結晶面に照
射され、その反射光を第2のフーリエ変換レンズまたは
フーリエ変換鏡、及び、検光子を通して、第2の該フー
リエ変換レンズまたはフーリエ変換鏡の焦点面に配設さ
れたイメージセンサ上に該電荷密度パターンのフーリエ
変換像を作成するフーリエ逆変換手段と、を有すること
を特徴としている。
[実施例] 図面に基づいて本発明の一実施例を説明する。
フーリエ変換干渉計として三角光路型を採用した場合
を例に、全体のブロック構成を第1図に示す。
三角光路型干渉計10は、アパーチャ10a、ビームスプ
リッタ10b、平面鏡10c、10d、フーリエ変換レンズ10eと
からなり、被測定光がアパーチャ10aから入射され、フ
ーリエ変換レンズ10eの焦点面に被測定光をフーリエ変
換したインターフェログラムを結像させる。
この焦点面には、空間光変調管(Microchannel Spati
al Light Modulator:MSLM)12の光電変換面12aが配置さ
れている。したがって、この光電変換面12aにインタフ
ェログラム像が空間的に作成される。
空間光変調管12に関しては、例えばAppl.Opt.25,2306
(1986)に詳細な報告がある。空間光変調管12は本来は
インコヒーレント像をコヒーレント像に変換する素子で
あり、光電変換面12a、電子偏向、収束機構、マイクロ
チャンネルプレート(MCP)および電気光学結晶12cから
成っている。その動作原理を要約すると、光電変換面12
a上のイメージパターンをMCPで輝度増倍し、電気光学結
晶12c上の空間的な電荷密度パターンに変換し、この電
荷分布による電界に応じた複屈折性を電気光学結晶12c
に生じさせる。
一方、読み出し光としてコリメートされたレーザ光、
例えばHe−Neレーザ光を、偏光子14、ビームスプリッタ
16を通して電気光学結晶面12c上に照射し、その反射光
をビームスプリッタ16で90度偏向させ、フーリエ変換レ
ンズ18、検光子20を通して、フーリエ変換レンズの焦点
面に配置されたイメージセンサ(1次元または2次元)
22上に結像させる。偏光子14及び検光子20は、読み出し
光と読み出された信号光を分離し、かつ、信号光のみを
抽出するためのもである。
したがって、電気光学結晶12面上の電荷密度分布(イ
ンターフェログラム像)をフーリエ変換したコヒーレン
ト像(被測定光のスペクトル)がイメージセンサ22上に
リアルタイムで得られる。この像は単色であるので、光
電変換特性は各受光素子にとって同一であり、各受光素
子の波長特性を考慮する必要がない。スペクトルデータ
は、ドライバ24により駆動されて順次読み出され、アン
プ26で増幅され、A/D変換器28でデジタル変換されてマ
イクロコンピュータ30に読み取られ、図示しないディス
プレイ及び記録計に供給される。
感度及びSN比の向上は、空間光変調管12のMCPによる
輝度増倍、空間光変調管12の電気光学結晶12c上での電
荷積算、読み出しレーザ光のパワーの加減そしてイメー
ジセンサ22上での積分(電荷蓄積)効果によってなされ
る。なお、空間光変調管12の特徴として、電極または電
気光学結晶12cへの印加電圧を制御することにより、像
拡大、シフト、回転、また、像の加算、減少なども行え
る(前述のAppl.Opt.25,2306(1986)参照)。これらの
機能を利用すれば、インターフェログラム像のバックグ
ラウンドレベルをリアルタイムで除去したり、干渉縞の
微調なアライメントを行うことができる。
また、上記実施例では、三角光路型のフーリエ変換干
渉計を例に説明を行ったが、空間的にインタフェログラ
ムを作成できる他の型のフーリエ変換干渉計を用いても
よいことは勿論である。
[発明の効果] 本発明に係る実時間フーリエ分光光度計では、フーリ
エ変換干渉計により被測定光をフーリエ変換したインタ
ーフェログラム像を空間的に作成し、空間光変調手段に
よりこのインターフェログラム像を光電変換し輝度増倍
した電荷分布を電気光学結晶面上に形成し、この電荷分
布による電界に応じた複屈折性を該電気光学結晶に生じ
させ、直線偏光されたレーザ光をこの電気光学結晶面上
に照射してインターフェログラム像を読みだし、再度フ
ーリエ変換したインターフェログラムをイメージセンサ
上に結像させるので、被測定光のスペクトルをリアルタ
イムで取得することができるという優れた効果がある。
そのうえ、空間光変調手段による輝度増倍及び電荷積
算、読み出しレーザ光のパワーの加減、イメージセンサ
上での積分効果によって感度が向上し、SN比も向上する
という優れた効果もある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例に係る実時間フーリエ分光光
度計のブロック図である。 10:三角光路型フーリエ変換干渉計 10a:アパーチャ 10b、16:ビームスプリッタ 10c、10d:平面鏡 10e、18:フーリエ変換レンズ 12:空間光変調器 14:偏光子、20:検光子 22:イメージセンサ

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】被測定光が入射され、第1のフーリエ変換
    レンズまたはフーリエ変換鏡(10e)の焦点面に該被測
    定光をフーリエ変換したインターフェログラム像を空間
    的に作成する空間的フーリエ変換干渉計(10)と、 該焦点面に光電変換部(12a)が置かれ、該インターフ
    ェログラム像を光電変換し、これを輝度増倍して電気光
    学結晶(12c)面上に空間電荷分布パターンを作成し、
    該電荷分布による電界に応じた複屈折性を該電気光学結
    晶(12c)に生じさせる空間光変調手段(12)と、 直線偏光されたレーザ光が該電気光学結晶(12c)面に
    照射され、その反射光を第2のフーリエ変換レンズまた
    はフーリエ変換鏡(18)、及び、検光子(12)を通し
    て、第2の該フーリエ変換レンズまたはフーリエ変換鏡
    の焦点面に配設されたイメージセンサ(22)上に該電荷
    密度パターンのフーリエ変換像を作成するフーリエ逆変
    換手段と、 を有することを特徴とする実時間フーリエ分光光度計。
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