JP2672909B2 - カーボンコート心線 - Google Patents

カーボンコート心線

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JP2672909B2 JP3237141A JP23714191A JP2672909B2 JP 2672909 B2 JP2672909 B2 JP 2672909B2 JP 3237141 A JP3237141 A JP 3237141A JP 23714191 A JP23714191 A JP 23714191A JP 2672909 B2 JP2672909 B2 JP 2672909B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、光ファイバの表面に
炭素被膜が形成されたカーボンコート心線に関する。
【0002】
【従来の技術】石英系光ファイバは、水素と接触すると
ファイバ内に拡散した水素分子の分子振動に起因する吸
収損失が増大し、さらにドーパントとして含有されてい
るP2O5、GeO2、B2O3などが水素と反応しOH基
としてファイバガラス中に取り込まれるため、OH基の
吸収による伝送損失も増大してしまう問題があった。こ
のような問題を解決するため、最近化学気相成長法(以
下、CVD法と略称する)によって、CVD反応炉内で
光ファイバの表面に炭素被膜を形成し、カーボンコート
心線を作り、これによって、光ファイバの耐水素特性を
向上させうることが発表されている。ところで、カーボ
ンコート心線の耐水素特性は、その炭素被膜の特性に依
存することが知られている。
【0003】従来の炭素被膜の特性の評価は、図4に示
すような評価装置1を用いて行なわれている。評価装置
1は、光ファイバの表面に炭素被膜を形成するCVD反
応炉(図示しない)の下方に設置され、マイクロ波を発
振する発振装置2と、マイクロ波を導波し、カーボンコ
ート心線3に前記マイクロ波を照射する導波管4と、マ
イクロ波の反射特性の変化を検出する検出器5と、上記
導波管4の両端に、発振装置2および検出器5とを接続
する同軸ケーブル6、6とからなるものである。図5
は、図4で示した導波管4のマイクロ波の導波方向に対
して垂直である断面図で、この導波管4には、カーボン
コート心線3を導波管4に導くための光ファイバ挿通孔
7が形成されている。このような評価装置1を用い、炭
素被膜の特性を評価しつつ、カーボンコート心線を得る
には、カーボンコート心線3を、光ファイバ挿通孔7に
通して導波管4に導き、この導波管4内でカーボンコー
ト心線3にマイクロ波を照射し、検出器5にて前記マイ
クロ波の反射特性の変化を検出する。ついで、この検出
値から炭素被膜の特性を評価して制御信号をCVD反応
炉に送り、例えば、CVD反応炉内にある反応管に供給
する原料ガスの濃度を変更する。
【0004】しかしながら、従来の炭素被膜の特性を評
価する方法において、検出器5で検出されるマイクロ波
の反射特性の変化は、マイクロ波の周波数に依存性があ
り、この周波数によってはマイクロ波の反射特性の変化
が小さく、この変化がノイズの範囲内に入ってしまった
り、ほぼ同様の特性の炭素被膜が形成されたカーボンコ
ート心線においてもマイクロ波の反射特性の変化の検出
値のバラツキが生じる。また、カーボンコート心線3に
照射したマイクロ波が光ファイバ挿通孔7から導波管4
の外部に漏れて検出感度が悪くなる。このような理由か
ら、マイクロ波の反射特性の変化の検出値から炭素被膜
の特性を正確に評価できないため、カーボンコート心線
の耐水素特性の予測も不可能で、マイクロ波の反射特性
の変化とカーボンコート心線の耐水素特性との間に明確
な相関関係を見出すことが困難であった。このため、マ
イクロ波の反射特性の変化の検出値から炭素被膜の特性
を評価し、炭素被膜の形成条件を制御して得られるカー
ボンコート心線は、常に優れた耐水素特性を有するもの
ではなかった。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】よって、この発明にお
ける課題は、炭素被膜の特性を評価する方法を用い
て、、マイクロ波の反射特性の変化の測定条件の最適化
を行ない、これに基づいて格段に優れた耐水素特性を有
するカーボンコート心線を得ることにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】かかる課題は、光ファイ
バの表面に炭素被膜が形成されたカーボンコート心線を
導波管に導き、このカーボンコート心線にマイクロ波を
照射して、マイクロ波の反射特性の変化を検出して、炭
素被膜の特性を評価する方法を用い、上記マイクロ波の
周波数を7GHZ以上9GHZ以下の範囲内とし、かつ、
上記導波管のマイクロ波入射側端面とカーボンコート心
線との間の水平距離が3.5mm以下とした測定条件での
マイクロ波の反射波損失変化が0.75dB以上である
炭素被膜を形成することで解決される。
【0007】以下、この発明を図面に基づき詳しく説明
する。カーボンコート心線に形成された炭素被膜の特性
の評価は、図4に示すものとほぼ同様の評価装置1を用
いて行なわれているが、従来と異なるところは、マイク
ロ波の周波数を1GHZ以上10GHZ以下の範囲内、好
ましくは7GHZ以上9GHZ以下の範囲内とすること
と、導波管4のマイクロ波入射側端面8とカーボンコー
ト心線3との間の水平距離Lを5mm以下、好ましくは
3.5mm以下とする2点である。
【0008】まず、始めに、マイクロ波の周波数を7G
Z以上9GHZ以下の範囲内とした点について説明す
る。図1は、図4に示すものと同様の評価装置1を用い
て、カーボンコート心線3に周波数が異なるマイクロ波
を照射して、このマイクロ波の反射特性の周波数依存性
に付いて検討した結果を示すものである。
【0009】図1において、曲線は、水素1気圧雰囲
気中に24時間放置した後の、波長1.24μmでの伝
送損失増が0dB/kmである、カーボンコート心線、
曲線は、水素1気圧雰囲気中に24時間放置した後
の、波長1.24μmでの伝送損失増が0.1dB/k
mであり、現在、炭素被膜の特性の良否の基準としてい
るカーボンコート心線、曲線は、水素1気圧雰囲気中
に24時間放置した後の、波長1.24μmでの伝送損
失増が0.5dB/kmである、炭素被膜の特性が不良
であるカーボンコート心線、曲線は、水素1気圧雰囲
気中に24時間放置した後の、波長1.24μmでの伝
送損失増が4.3dB/kmである、炭素被膜の特性が
曲線のカーボンコート心線よりさらに不良であるカー
ボンコート心線を表わす。
【0010】図1に示した結果において、曲線〜の
カーボンコート心線は、照射したマイクロ波の周波数が
1GHZ以上10GHZ以下の範囲において、マイクロ波
の反射波損失変化が1GHZより小さい範囲における変
化より大きく、これらの変化がノイズの範囲内に入るこ
とを防止できる。また、カーボンコート心線においても
検出器5で検出されるマイクロ波の反射波損失変化の検
出値にバラツキが生じることがなく、とくにマイクロ波
の周波数が8GHZにおいては、検出されるマイクロ波
の反射波損失変化が曲線のカーボンコート心線におい
ては約0.85dB、曲線のカーボンコート心線にお
いては約0.72dB、曲線のカーボンコート心線お
いては約0.65dB、曲線のカーボンコート心線に
おいては約0.4dBであるので、炭素被膜の特性によ
ってマイクロ波の反射波損失変化の検出値の差が大き
く、検出器5で炭素被膜の特性の評価が容易である。こ
れにくらべて、マイクロ波の周波数が1GHZより小さ
い範囲においては、マイクロ波の反射波損失変化が曲線
のカーボンコート心線においては約0.41dBより
小さく、曲線のカーボンコート心線においては、0.
4dBより小さく、曲線のカーボンコート心線におい
ては約0.39dBより小さく、曲線のカーボンコー
ト心線においては約0.35dBより小さく、炭素被膜
の特性が変化した際、とくに曲線のカーボンコート心
線においてはマイクロ波の反射波の損失変化が小さく、
この変化がノイズの範囲内に入ってしまう、また曲線
〜のカーボンコート心線は炭素被膜の特性が異なるに
もかかわらず、検出器5で検出されるマイクロ波の反射
特性の変化の検出値はほとんど差がなく、この検出値か
ら炭素被膜の特性を評価するのは困難であることがわか
る。さらに、マイクロ波の周波数が10GHZより大き
い範囲においては、同じカーボンコート心線において
も、検出器5で検出されるマイクロ波の反射波損失変化
にバラツキがあるため、この検出値から炭素被膜の特性
の評価は困難であることがわかる。
【0011】優れた耐水素特性を有するカーボンコート
心線を得るには、炭素被膜の特性が不良であるものを検
出器5にて評価し、炭素被膜の形成条件を制御すること
が重要であるので、上記検討結果より、マイクロ波の周
波数が1GHZ以上10GHZ以下の範囲内とし、より好
ましくは8GHZを中心とする7GHZ以上9GHZ以下
の範囲内とした。
【0012】つぎに、導波管4のマイクロ波入射側端面
8とカーボンコート心線3との間の水平距離Lを3.5
mm以下とした点について説明する。図2は、図4に示し
たものと同様の評価装置1を用いて、導波管のジオメト
リーについて検討した結果を示すものである。図2にお
いて曲線は、水素1気圧雰囲気中に24時間放置した
後の、波長1.24μmで 伝送損失増が0dB/km
である、カーボンコート心線、曲線は、水素1気圧雰
囲気中に24時間放置した後の、波長1.24μmでの
伝送損失増が0.1dB/kmであり、現在、炭素被膜
の特性の良否の基準としているカーボンコート心線、曲
線は、水素1気圧雰囲気中に24時間放置した後の、
波長1.24μmでの伝送損失増が1.0dB/kmで
ある、炭素被膜の特性が不良であるカーボンコート心線
を表わす。
【0013】図2に示した結果から、導波管4のマイク
ロ波入射側端面8とカーボンコート心線3との間の水平
距離Lが5mm以下では、導波管4の外部に漏れるマイク
ロ波の反射波の量を少なくすることができ、検出器5で
検出されるマイクロ波の反射波損失変化が曲線のカー
ボンコート心線においては約0.45dB以上、曲線
のカーボンコート心線においては約0.45dB以上、
曲線のカーボンコート心線においては約0.3dB以
上であるので、これらの変化がノイズの範囲内に入るこ
とを防止でき、炭素被膜の特性が変化した際、マイクロ
波の反射特性の変化の検出ができる。また、導波管4の
マイクロ波入射側端面8とカーボンコート心線3との間
の水平距離Lが約3.5mm以下では、炭素被膜の特性に
よってマイクロ波の反射波損失変化の差が大きく、検出
器5で炭素被膜の特性の評価が容易である。これに比べ
て、導波管4のマイクロ波入射側端面8とカーボンコー
ト心線3との間の水平距離Lが5mmより長くなると、導
波管4の外部に漏れるマイクロ波の反射波の量が多く、
検出感度が低下し、マイクロ波の反射波損失変化が曲線
のカーボンコート心線においては約0.45dBより
小さく、曲線のカーボンコート心線においては、0.
4dBより小さく、曲線のカーボンコート心線におい
ては約0.3dBより小さく、炭素被膜の特性が変化し
た際、とくに曲線のカーボンコート心線においてはマ
イクロ波の反射波の損失変化がノイズの範囲内に入って
しまう。
【0014】優れた耐水素特性を有するカーボンコート
心線を得るには、炭素被膜の特性が不良であるものを検
出器5にて評価し、炭素被膜の形成条件を制御すること
が重要であるので、上記検討結果により、図4に示した
導波管4のマイクロ波入射側端面8とカーボンコート心
線3との間の水平距離Lを5mm以下、より好ましくは
3.5mm以下とした。
【0015】ついで、図4に示すものと同様の評価装置
1を用いて、マイクロ波の周波数を7GHZ以上9GHZ
以下の範囲内とし、導波管4のマイクロ波入射側端面8
とカーボンコート心線3との間の水平距離Lを3.5mm
以下に定めた測定条件での、マイクロ波の反射波損失変
化とカーボンコート心線の耐水素特性との相関関係を検
討した。その結果を図3に示す。なお、カーボンコート
心線の耐水素特性は、カーボンコート心線の伝送損失増
によって評価でき、伝送損失増が小さい程耐水素特性が
優れていることが知られている。
【0016】図3において、曲線は、カーボンコート心
線を水素1気圧雰囲気中に24時間放置した後、波長
1.24μmの光を伝送した際のカーボンコート心線の
伝送損失増(dB/km)とマイクロ波の反射波損失変
化(dB)との相関関係を示したものである。図3に示
した結果において、カーボンコート心線に照射したマイ
クロ波の反射波損失変化が0.2dB以下においては、
伝送損失増がほぼ一定で約4.5dB/kmであるが、
現在のカーボンコート心線の耐水素特性の良否の基準は
伝送損失増が0.1dB/kmであるので、上記の伝送
損失増の値が約4.5dB/kmであるカーボンコート
心線の耐水素特性はかなり劣っていることが判る。ま
た、マイクロ波の反射波損失変化が0.2dBより大き
く0.75dB未満においては、マイクロ波の反射波損
失変化が同じ値でも、伝送損失増の値にバラツキが生じ
ており、カーボンコート心線の耐水素特性の評価ができ
ない。一方、マイクロ波の反射波損失変化が0.75d
B以上においては、伝送損失増の値にバラツキが生じる
ことがなく、さらに、その値は、0dB/kmであるの
で、カーボンコート心線の耐水素特性が格段に優れてい
ることが判る。
【0017】上記検討結果により、マイクロ波の反射特
性の変化を検出する場合、マイクロ波の周波数を7GH
Z以上9GHZ以下の範囲内とし、かつ導波管4のマイク
ロ波入射側端面8とカーボンコート心線3との間の水平
距離Lが3.5mm以下の条件下でのマイクロ波の反射波
損失変化が0.75dB以上にするのが好ましいとし
た。
【0018】つぎに、常に耐水素特性が格段に優れた炭
素被膜を有するカーボンコート心線を得る方法の一例を
説明する。まず、予めマイクロ波の反射波損失変化値
0.75dBを基準としておく。ついで、先に述べた好
ましい測定条件下でのマイクロ波の反射特性の変化の検
出値が前記基準以下にならないように制御信号をCVD
反応炉内に送り、この制御信号に基づいて、CVD反応
炉内の反応管を加熱する発熱体の加熱温度や、前記反応
管内に供給する減量ガスの濃度を変更させて、所定以上
の耐水素特性を有する炭素被膜を形成するように制御し
た。このようにして得られたカーボンコート心線を水素
1気圧雰囲気中に24時間放置した後、波長1.24μ
mの光を伝送した際の伝送損失増(dB/km)は、常
に0dB/kmで、従来のカーボンコート心線に比べ
て、格段に優れた耐水素特性を有した。
【0019】よって、この発明のカーボンコート心線
は、炭素被膜の特性を評価する方法を用い、マイクロ波
の周波数を7GHZ以上9GHZ以下の範囲内とし、か
つ、導波管のマイクロ波入射側端面とカーボンコート心
線との間の水平距離を3.5mm以下とした測定条件で、
マイクロ波の反射波損失変化を測定しているので、マイ
クロ波の反射特性の変化がマイクロ波の周波数に依存す
ることによる反射特性の変化値がノイズの範囲内に入る
ことがなく、ほぼ同様の特性の炭素被膜が形成されたカ
ーボンコート心線においてもマイクロ波の反射特性の変
化の検出値のバラツキが生じることがなく、カーボンコ
ート心線に照射したマイクロ波が導波管の外部に漏れて
検出感度が悪くなることがないので、炭素被膜の評価を
定量的に正確に行なえる。さらに、マイクロ波の反射特
性の変化とカーボンコート心線の耐水素特性との間に明
確な相関関係を見出すことができ、前記測定条件で求め
られたマイクロ波の反射波損失変化が0.75dB以上
になるようにした炭素被膜を有するものであるので、常
に格段に優れた耐水素特性を有する。
【0020】
【発明の効果】以上説明したように、この発明のカーボ
ンコート心線は、光ファイバの表面に炭素被膜が形成さ
れたカーボンコート心線を導波管に導き、このカーボン
コート心線にマイクロ波を照射して、マイクロ波の反射
特性の変化を検出して、炭素被膜の特性を評価する方法
を用い、上記マイクロ波の周波数を7GHZ以上9GHZ
以下の範囲内とし、かつ、上記導波管のマイクロ波入射
側端面とカーボンコート心線との間の水平距離が3.5
mm以下とした条件で測定しているので炭素被膜の特性の
評価を定量的に正確に行なえる。また、上記測定条件で
求められたマイクロ波の反射波損失変化が0.75dB
以上である炭素被膜を有するものであるので、常に格段
に優れた耐水素特性を有するという利点がある。そし
て、この発明のカーボンコート心線は、常に格段に優れ
た耐水素性を有するものであるので、不良品を生じる割
合が少なくカーボンコート心線を製造する際の生産性が
向上する。さらに、格段に優れた耐水素特性が要求され
る海底ケーブルや光ファイバ複合架空地線などに使用す
る際に威力を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【図1】 マイクロ波の周波数とマイクロ波反射波損失
変化との関係を示したグラフである。
【図2】 導波管のマイクロ波入射側端面とカーボンコ
ート心線との間の水平距離とマイクロ波の反射波損失変
化との関係を示したグラフである。
【図3】 マイクロ波の反射波損失変化とカーボンコー
ト心線の伝送損失増との相関関係を示したグラフであ
る。
【図4】 炭素被膜の特性の評価する方法に用いられる
評価装置の概略構成図である。
【図5】 図4に示した導波管のマイクロ波の導波方向
に対して垂直である断面図である。
【符号の説明】
3・・・カーボンコート心線、4・・・導波管、8・・・マイク
ロ波入射側端面、L・・・・・マイクロ波入射側端面8とカ
ーボンコート心線3との間の水平距離

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 光ファイバの表面に炭素被膜が形成され
    たカーボンコート心線を導波管に導き、このカーボンコ
    ート心線にマイクロ波を照射して、マイクロ波の反射特
    性の変化を検出して、炭素被膜の特性を評価する方法を
    用い、上記マイクロ波の周波数を7GHZ以上9GHZ
    下の範囲内とし、かつ、上記導波管のマイクロ波入射側
    端面とカーボンコート心線との間の水平距離が3.5mm
    以下とした測定条件でのマイクロ波の反射波損失変化が
    0.75dB以上である炭素被膜を有することを特徴と
    するカーボンコート心線。
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