JP2664929B2 - Resistance measuring instrument - Google Patents
Resistance measuring instrumentInfo
- Publication number
- JP2664929B2 JP2664929B2 JP10237088A JP10237088A JP2664929B2 JP 2664929 B2 JP2664929 B2 JP 2664929B2 JP 10237088 A JP10237088 A JP 10237088A JP 10237088 A JP10237088 A JP 10237088A JP 2664929 B2 JP2664929 B2 JP 2664929B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- base
- measured
- measuring instrument
- resistance
- temperature
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、導電性材料や半導電性材料等の表面抵抗
・抵抗率及び温度の同時測定に用いられる抵抗計測器、
特に、導電性材料や半導電性材料等の表面抵抗・抵抗率
温度特性を被破壊で測定することの出来る抵抗計測器に
関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention relates to a resistance measuring instrument used for simultaneous measurement of surface resistance, resistivity and temperature of a conductive material or a semiconductive material,
In particular, the present invention relates to a resistance measuring instrument capable of measuring the surface resistance and resistivity-temperature characteristics of a conductive material, a semiconductive material, and the like by destruction.
［従来の技術］ 一般に、半導体における成長層や拡散層、金属蒸着
膜、又は、導電性取膜等の抵抗率は、その材料の電気的
特性を表わす重要なパラメータの一つである。特に、導
電性塗膜の原料となる導電性高分子材料の導電レベルの
尺度としては、一般的に、単位面積当りの抵抗である表
面抵抗が用いられることが多い。ここで、表面抵抗は、
単位正方形の相対する一辺の間の電気抵抗値から規定さ
れている。[Related Art] Generally, the resistivity of a growth layer, a diffusion layer, a metal deposition film, a conductive film, or the like in a semiconductor is one of the important parameters representing the electrical characteristics of the material. In particular, as a measure of the conductivity level of a conductive polymer material that is a raw material of a conductive coating film, a surface resistance, which is a resistance per unit area, is generally often used. Where the surface resistance is
It is defined based on the electric resistance between opposing sides of the unit square.
更に、各種材料の電気的特性を詳細に調べるために抵
抗一温度特性が重要である。即ち、抵抗一温度特性を調
べることにより、絶縁体，半導体，半金属，金属，超電
導体等の区別が可能になり、このことから材料の電子状
態が推定され、材料の評価に有効である。Furthermore, the resistance-temperature characteristics are important for examining the electrical characteristics of various materials in detail. In other words, by examining the resistance-temperature characteristics, it is possible to distinguish insulators, semiconductors, semimetals, metals, superconductors, and the like. From this, the electronic state of the material can be estimated, which is effective in evaluating the material.
このような導電性塗膜の表面抵抗の測定に関しては、
本願出願人により、安価で、簡単にして、しかも非破壊
で被計測体の表面抵抗を測定することが出来る簡易表面
抵抗測定機として、昭和60年５月14日付けで、特願昭60
−71797号として既に出願されている。Regarding the measurement of the surface resistance of such a conductive coating,
By the applicant of the present application, as a simple surface resistance measuring instrument which can measure the surface resistance of the object to be measured inexpensively, simply and non-destructively, it was filed on May 14, 1985 as Japanese Patent Application No.
It has already been filed as -71797.
この出願による容易表面抵抗測定機は、電気絶縁材料
によつて架台を構成し、この架台の頂面には、４本のス
プリングコンタクトプローブを一定距離離間させて固定
し、これらスプリングコンタクトプローブの下端の接触
子は、スプリングの弾力により架台の両脚部の下面より
僅かに突出するよう弾発せしめるように構成されてい
る。The easy surface resistance measuring instrument according to the present application comprises a gantry made of an electrically insulating material, and four spring contact probes are fixed on a top surface of the gantry at a predetermined distance from each other. Are configured to resiliently project from the lower surfaces of both legs of the gantry by the elastic force of a spring.
このように簡易表面抵抗測定機は、電気絶縁体よりな
る架台上に４本のスプリングコンタクトプローブを設け
るように構成しているので、本測定機だけでその接触を
スプリングの弾力により常に一定の角度と圧力で被計測
体に当接し、正確に、また、非破壊で被計測体の表面抵
抗を測定することが出来ることになる。As described above, the simple surface resistance measuring device is configured so that four spring contact probes are provided on a pedestal made of an electrical insulator. Thus, the surface resistance of the object to be measured can be measured accurately and non-destructively.
［本発明が解決しようとする課題］ ここで、このような簡易表面抵抗測定機を用いて抵
抗，温度同時測定により抵抗一温度特性を測定する場合
において、被計測体の温度が均一に保たれる必要があ
る。即ち、被計測体内部に温度分布があると、この温度
分布に基づき熱起電力が発生し、被計測体の温度はもち
ろん抵抗値も真の値と異なり信頼性に問題が生ずる。[Problem to be Solved by the Invention] Here, when measuring the resistance-temperature characteristics by simultaneous measurement of resistance and temperature using such a simple surface resistance measuring device, the temperature of the object to be measured is kept uniform. Need to be done. That is, if there is a temperature distribution inside the object to be measured, a thermoelectromotive force is generated based on this temperature distribution, and the resistance of the object to be measured as well as the resistance value is different from the true value, causing a problem in reliability.
この発明は上述した課題に鑑みてなされたもので、こ
の発明の目的は、計測時において、常に被計測体が一様
の温度で計測出来るようにして、同一温度で同一の被計
測体に何回計測動作を繰り返しても同一の測定結果が得
られて、計測値に対する信頼性を向上させることが可能
であると共に、温度依存性を測定することのできる抵抗
計測器を提供することである。The present invention has been made in view of the above-described problems, and an object of the present invention is to make it possible to always measure an object to be measured at a uniform temperature at the time of measurement, and to perform measurement on the same object at the same temperature. An object of the present invention is to provide a resistance measuring instrument that can obtain the same measurement result even if the measurement operation is repeated a number of times, can improve the reliability of the measured value, and can measure the temperature dependency.
［課題を解決するための手段］ 上述した課題を解決し、目的を達成するため、この発
明の抵抗計測器は、高熱伝導性の絶縁体から形成され、
一側に被計測体が収納される凹部が形成されかつ温度測
定用センサ用の穴が形成された基台と、高熱伝導性絶縁
体から形成され、この基台に形成された凹部と相補的に
嵌合するように形成された凸部を一側に有した架台と、
この凸部と凹部とが互いに嵌合されて架台と基台とが合
体された状態で、凹部に収納された被計測体の表面に接
触するよう、凸部の表面に起立して設けられた複数の接
触探針とを具備する事を特徴としている。[Means for Solving the Problems] In order to solve the above problems and achieve the object, a resistance measuring instrument of the present invention is formed from an insulator having high thermal conductivity,
A base formed with a recess for accommodating the object to be measured on one side and a hole for a temperature measurement sensor formed thereon, and a base formed from a high thermal conductive insulator and complementary to the recess formed on the base. A pedestal having a convex portion formed on one side to be fitted to
In a state where the projection and the recess are fitted to each other and the gantry and the base are combined, the projection and the recess are provided upright on the surface of the projection so as to come into contact with the surface of the measured object stored in the recess. It is characterized by having a plurality of contact probes.
また、前記接触探針は、凸部内に押し込み可能に取付
けられると共に、付勢部材により凸部表面から突出する
ように付勢されている事を特徴としている。Further, the contact probe is mounted so as to be able to be pushed into the convex portion, and is urged by an urging member so as to protrude from the surface of the convex portion.
また、前記接触探針は４本備えられ、これらは直線上
に沿つて配設されている事を特徴としている。Further, four contact probes are provided, and these are arranged along a straight line.
また、前記基台には、ヒータ用の穴が形成されている
事を特徴としている。Further, the base is provided with a hole for a heater.
ここでいう絶縁体とは体積固有抵抗で1012Ω・cm以上
であり、それ以下では被計測体と基台との間で電気的に
短絡が生じてしまい、抵抗測定が困難になる。但し、被
計測体の体積固有抵抗が小さい場合には、基台及び架台
の体積固有抵抗との差が105Ω・cm以上であれば計測に
際し何ら問題は生じないものである。The insulator as referred to herein has a volume resistivity of 10 12 Ω · cm or more, and if it is less than 10 12 Ω · cm, an electrical short circuit occurs between the measured object and the base, making it difficult to measure the resistance. However, when the volume resistivity of the object to be measured is small, if the difference between the volume resistivity of the base and the mount is 10 5 Ω · cm or more, no problem occurs in the measurement.
また、高熱伝導体とは、熱伝導率で0.1cal/cm sec℃
以上であり、それ以下では被計測体と基台との間での熱
の移動が充分に行われなくなり被計測体内に温度分布が
生ずることになる。ここで、この高熱伝導性をもつ電気
絶縁体は、窒化アルミニウム，炭化ケイ素，窒化ホウ
素，酸化ベリリウム等のセラミツクあるいはダイヤモン
ド他の高熱伝導性電気絶縁材料で形成された部材から構
成されている。Also, a high thermal conductor is 0.1 cal / cm sec ° C in thermal conductivity.
Above that, below this, heat transfer between the object to be measured and the base is not sufficiently performed, and a temperature distribution occurs in the object to be measured. Here, the electrical insulator having high thermal conductivity is made of a ceramic, such as aluminum nitride, silicon carbide, boron nitride, beryllium oxide, or a member formed of diamond or other high thermal conductive electrical insulating material.
［作用］ 以上のように構成される抵抗計測器を用いて被計測体
の表面抵抗を測定する場合には、先ず、この被計測体を
基台の凹部内に収納し、次に、この基台の凹部と架台に
形成された凸部とを互いに嵌合させるように挿入する。
更に、温度測定用センサを取付ける。そして、基台と架
台とを組合わせたまま、温度制御装置に組み込みことに
より、被計測体の温度を均一にすることが可能になる。
また。被計測体、架台、基台の温度が均一になつている
ため、直接、被計測体の温度を測ることなく、基台に取
付けたセンサが被計測体の温度を示すことになる。この
ようにして、比計測体が常に均一な温度で計測できるよ
うになり、計測値に対する信頼性が向上することにな
る。[Operation] When measuring the surface resistance of the object to be measured using the resistance measuring instrument configured as described above, first, the object to be measured is housed in the concave portion of the base, and The concave portion of the base and the convex portion formed on the gantry are inserted so as to fit each other.
Further, a temperature measurement sensor is attached. Then, the temperature of the object to be measured can be made uniform by incorporating the base and the gantry into the temperature control device while keeping the combination.
Also. Since the temperatures of the object to be measured, the gantry, and the base are uniform, the sensor attached to the base indicates the temperature of the object to be measured without directly measuring the temperature of the object to be measured. In this way, the ratio measurement body can always measure at a uniform temperature, and the reliability of the measured value is improved.
［実施例］ 以下に、この発明の抵抗計測器の一実施例の構成を添
付図面を参照して、詳細に説明する。[Embodiment] A configuration of an embodiment of a resistance measuring instrument according to the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings.
この発明の一実施例に係わる抵抗計測器10は、第１図
に示すように、高熱伝導性をもつ電気絶縁体から形成さ
れ、一側に被計測体が収納される矩形状の凹部12が形成
されさらに温度センサ及びヒータ用の穴13,15が形成さ
れた基台14を備えている。ここで、この高熱伝導性をも
つ電気絶縁体は、石原薬品（株）製マシナブルセラミツ
クＨタイプで形成された部材から構成されている。ここ
で、凹部12は、基台14の一側（上面）の略中央部に形成
され、この凹部12の底面は、シート状の被計測体が載置
される載置面として規定されている。As shown in FIG. 1, a resistance measuring instrument 10 according to an embodiment of the present invention is formed from an electrical insulator having high thermal conductivity, and has a rectangular concave portion 12 on one side for accommodating a measured object. It has a base 14 formed and further formed with holes 13 and 15 for a temperature sensor and a heater. Here, the electrical insulator having high thermal conductivity is made of a member formed of a machineable ceramic H type manufactured by Ishihara Chemical Co., Ltd. Here, the concave portion 12 is formed at a substantially central portion on one side (upper surface) of the base 14, and the bottom surface of the concave portion 12 is defined as a mounting surface on which a sheet-like measurement object is mounted. .
一方、この抵抗計測器10は、基台14と同様に高熱伝導
性絶縁体から形成された直方体状の架台16を備えてい
る。この架台16の、基台14の一側に対向する面（下面）
には、基台14に形成された凹部12と相補的に嵌合するよ
うに形成された凸部18が形成されている。即ち、この凸
部18は、凹部12の対応する各内側面に摺接する外側面を
有した矩形状に形成されている。ここで、この凸部18の
突出面と凹部12の底面とは、基台14に架台16が嵌合され
た状態で、第２図に示すように、互いに所定距離だけ離
間するように設定されている。On the other hand, the resistance measuring device 10 includes a rectangular parallelepiped base 16 formed of a high thermal conductive insulator, like the base 14. The surface (lower surface) of the gantry 16 facing one side of the base 14
A convex portion 18 is formed on the base 14 so as to complementarily fit with the concave portion 12 formed on the base 14. That is, the convex portion 18 is formed in a rectangular shape having an outer surface that is in sliding contact with each corresponding inner surface of the concave portion 12. Here, the projecting surface of the convex portion 18 and the bottom surface of the concave portion 12 are set so as to be separated from each other by a predetermined distance in a state where the gantry 16 is fitted to the base 14, as shown in FIG. ing.
尚、このように基台14に架台16が嵌合された状態にお
いては、基台14の凹部12の各内側面と、架台16の凸部18
の対応する外側面とが、互いに摺接することになるの
で、凹部12の内部空間は、均一な温度で密閉されると共
に、互いの平面内における移動、即ち、横方向のガタ付
は、確実に防止されることになるので、嵌合状態が良好
に維持されることになる。また、基台14に架台16が嵌合
された状態で、基台14の上面の周囲部分に、架台16の下
面の周囲部分が当接することにより、凸部18の吐出面と
凹部12の底面とは、一定の離間距離に離間保持されるこ
とになる。In the state where the gantry 16 is fitted to the pedestal 14 in this manner, each inner side surface of the concave portion 12 of the pedestal 14 and the
And the corresponding outer surfaces thereof are in sliding contact with each other, so that the internal space of the concave portion 12 is sealed at a uniform temperature, and the movement in the plane of each other, that is, the rattling in the lateral direction is reliably performed. Since this is prevented, the fitted state is favorably maintained. Further, in a state where the gantry 16 is fitted to the pedestal 14, the peripheral portion of the lower surface of the gantry 16 abuts on the peripheral portion of the upper surface of the pedestal 14, so that the discharge surface of the convex portion 18 and the bottom surface of the concave portion 12 are formed. Means that a certain distance is maintained.
ここで、上述した架台16には、再び、第１図に示すよ
うに、上下両端が、夫々、上面及び下面から垂直方向に
沿つて上方及び下方に突出した状態で、４本のスプリン
グコンタクトプローブ22,24,26,28が同一直線上を一列
状に、互いに等間隔で並設された状態で設けられてい
る。各スプリングコンタクトプローブ22,24,26,28は、
架台16内において、垂直状態に埋設されたスリーブ22a,
24a,26a,28aと、各スリーブ22a,24a,26a,28a内を上下方
向に沿つて摺動可能に設けられたプローブ本体22b,24b,
26b,28bと、各スリーブ22a,24a,26a,28a内に配設され、
対応するプローブ本体22b,24b,26b,28bを下方に突出す
るように付勢するコイルスプリング22c,24c,26c,28cと
から構成されている。ここで、プローブ本体22b,24b,26
b,28bとコイルスプリング22c,24c,26c,28cとは、互いに
電気的に接続された状態に設定されている。Here, as shown in FIG. 1, the gantry 16 has four spring contact probes with the upper and lower ends projecting upward and downward along the vertical direction from the upper surface and the lower surface, respectively. 22, 24, 26, and 28 are provided in a line on the same straight line and arranged at equal intervals. Each spring contact probe 22, 24, 26, 28
In the gantry 16, the sleeve 22a buried in a vertical state,
24a, 26a, 28a, and probe bodies 22b, 24b, slidably provided in the respective sleeves 22a, 24a, 26a, 28a along the vertical direction.
26b, 28b and are arranged in each sleeve 22a, 24a, 26a, 28a,
Coil springs 22c, 24c, 26c, 28c for urging the corresponding probe bodies 22b, 24b, 26b, 28b to protrude downward. Here, the probe bodies 22b, 24b, 26
The b, 28b and the coil springs 22c, 24c, 26c, 28c are set to be electrically connected to each other.
尚、全てのスリーブ22a,24a,26a,28aの夫々の下端に
は、内方フランジ22d,24d,26d,28dが一体に形成されて
おり、また、各プローブ本体22b,24b,26b,28bの上端に
は、対応する内方フランジ22d,24d,26d,28dに係合可能
に外方フランジ22e,24e,26e,28eが一体に形成されてい
る。このような内方フランジ22d,24d,26d,28dと外方フ
ランジ22e,24e,26e,28eとの係合により、各プローブ本
体22b,24b,26b,28bは下方への脱落を防止されると共
に、この係合した位置で、下方へのそれ以上の突出が制
限されるよう構成されることになる。At the lower ends of all the sleeves 22a, 24a, 26a, 28a, inner flanges 22d, 24d, 26d, 28d are integrally formed, and each of the probe main bodies 22b, 24b, 26b, 28b is formed. Outer flanges 22e, 24e, 26e, 28e are integrally formed at the upper end so as to be engageable with corresponding inner flanges 22d, 24d, 26d, 28d. The engagement between the inner flanges 22d, 24d, 26d, 28d and the outer flanges 22e, 24e, 26e, 28e prevents the probe bodies 22b, 24b, 26b, 28b from falling down, and In this engaged position, further downward projection is limited.
また、夫々の各プローブ本体22b,24b,26b,28bの下端
の先端部は、逆円錐形状に形成され、夫々の尖端は、所
定の一定の微小面積（ピンポイント）で被計測体の表面
に当接するよう設定されている。In addition, the tip of the lower end of each probe body 22b, 24b, 26b, 28b is formed in an inverted conical shape, and each tip is formed on the surface of the measured object with a predetermined fixed minute area (pinpoint). It is set to abut.
この一実施例においては、互いに隣接するスプリング
コンタクトプローブ22,24,26,28の離間距離ｄは、0.05
〜1.0cm,好ましくは、0.15cmに設定されている。また、
各プローブ本体22b,24b,26b,28bに何等外力が作用しな
い状態における下方への突出量は、0.5〜5.0mmに設定さ
れている。In this embodiment, the distance d between the adjacent spring contact probes 22, 24, 26, 28 is 0.05
1.01.0 cm, preferably 0.15 cm. Also,
The amount of downward projection in a state where no external force acts on each probe body 22b, 24b, 26b, 28b is set to 0.5 to 5.0 mm.
また、コイルスプリング22c,24c,26c,28cのばね定数
は、出来るだけ大きい値が良く、その値は、各々のコイ
ルスプリングにつき10g以上、好ましくは、100g以上が
好適する。更に、各コイルスプリング22c,24c,26c,28c
の上端は、夫々導線22f,24f,26f,28fを介して、図示し
ない演算機に電気的に接続されている。詳細には、外側
のコイルスプリング22c,28cに接続された導線22f,28fは
定電流電源に、また、内側のコイルスプリング24c,26c
に接続された導線24f,26fは電圧計に、夫々接続されて
いる。The spring constants of the coil springs 22c, 24c, 26c, and 28c are preferably as large as possible, and the value is preferably 10 g or more, preferably 100 g or more for each coil spring. Furthermore, each coil spring 22c, 24c, 26c, 28c
Is electrically connected to a computer (not shown) via conductors 22f, 24f, 26f, and 28f, respectively. Specifically, the conductors 22f, 28f connected to the outer coil springs 22c, 28c are connected to a constant current power supply, and the inner coil springs 24c, 26c
Are connected to the voltmeter, respectively.
以上のように構成される抵抗測定器10を用いて、シー
ト状の被計測体の抵抗一温度特性を測定する場合につ
き、以下に説明する。The case where the resistance-temperature characteristic of a sheet-like measured object is measured using the resistance measuring device 10 configured as described above will be described below.
先ず、被計測体を基台14の凹部12内に収納し得るサン
プル形状に形成する。そして、このようなサンプルを基
台14の凹部12の底面上に載置する。このように、サンプ
ルを基台14に設置した後、架台16を、これの凸部18が基
台14の凹部12に嵌合するように、基台14に取付け、ビス
等で固定する。First, the measured object is formed in a sample shape that can be stored in the recess 12 of the base 14. Then, such a sample is placed on the bottom surface of the concave portion 12 of the base 14. After the sample is placed on the base 14 in this way, the gantry 16 is mounted on the base 14 and fixed with screws or the like so that the projections 18 of the sample 16 fit into the recesses 12 of the base 14.
又、温度センサをセンサ取付け穴13に、ヒータをヒー
タ取付け穴15に、夫々固定する。Further, the temperature sensor is fixed to the sensor mounting hole 13, and the heater is fixed to the heater mounting hole 15, respectively.
このように、架台16を基台14に取付けることにより、
前述したように、基台14の凹部12の各内側面と、架台16
の凸部18の対応する外側面とが、互いに摺接することに
なるので、互いの、平面内における移動、即ち、横方向
のガタ付は、確実に防止され、また、基台14の上面の周
囲部分に、架台16の下面の周囲部分が当接することによ
り、凸部18の突出面と凹部12の底面とは、一定の離間距
離に離間保持されることになり、このようにして、基台
14と架台16との間の位置関係が正確に規定されることに
なる。In this way, by attaching the gantry 16 to the base 14,
As described above, each inner surface of the recess 12 of the base 14 and the base 16
The corresponding outer surfaces of the convex portions 18 are in sliding contact with each other, so that movement of each other in the plane, that is, rattling in the lateral direction is reliably prevented, and the upper surface of the base 14 is When the peripheral portion of the lower surface of the gantry 16 comes into contact with the peripheral portion, the protruding surface of the convex portion 18 and the bottom surface of the concave portion 12 are kept at a predetermined distance, and thus the base is Table
The positional relationship between 14 and gantry 16 will be accurately defined.
また、この嵌合動作に応じて、基台14の上面の周囲部
分に、架台16の下面の周囲部分が当接する前に、４本の
スプリングコンタクトプローブ22,24,26,28の夫々の尖
端は、サンプルの表面に当接することになる。そして、
この当接動作後、基台14の上面の周囲部分に、架台16の
下面の周囲部分が当接するまでの間、夫々のスプリング
コンタクトプローブ22,24,26,28は、対応するコイルス
プリングコイルスプリング22c,24c,26c,28cの付勢力に
抗して、押し上げられることになる。Also, according to this fitting operation, before the peripheral portion of the lower surface of the gantry 16 contacts the peripheral portion of the upper surface of the base 14, the respective tips of the four spring contact probes 22, 24, 26, 28 Will come into contact with the surface of the sample. And
After this contacting operation, the respective spring contact probes 22, 24, 26, and 28 correspond to the corresponding coil springs and coil springs until the peripheral portion of the lower surface of the gantry 16 contacts the peripheral portion of the upper surface of the base 14. It will be pushed up against the urging force of 22c, 24c, 26c, 28c.
この結果、４本のスプリングコンタクトプローブ22,2
4,26,28は、凹部12の底面上に載置されたサンプルに対
して、常に一定圧力で、しかも、一定の角度で当接する
ことになる。このようにして、この一実施例の抵抗測定
器10を用いることにより、計測時において、常にサンプ
ルに対して、一定の姿勢で計測出来るようにして、同一
のサンプルに何回計測動作を繰り返しても同一の測定結
果が得られて、計測値に対する信頼性を向上させること
が出来ることになる。As a result, four spring contact probes 22, 2
4, 26 and 28 always contact the sample placed on the bottom surface of the concave portion 12 at a constant pressure and at a constant angle. In this way, by using the resistance measuring device 10 of this embodiment, at the time of measurement, it is possible to always measure the sample in a fixed posture, and repeat the measurement operation several times on the same sample. Also, the same measurement result can be obtained, and the reliability of the measured value can be improved.
次に、この抵抗測定器10を恒温槽内に設置し、この恒
温槽を所定の低温から高温まで変化させることにより、
あるいは、抵抗測定器10に組み込んだヒーターで加熱す
ることにより、抵抗の温度特性を正確に測定することが
可能となる。即ち、計測しようとする被計測体（サンプ
ル）は、従来においては熱伝導性の悪い基板（例えば、
エポキシ基板、熱伝導率0.0001cal/cm sec℃以下）上に
設定されていたので、基板からの熱の伝わり方が一様で
なく、被計測体内部に温度分布が生じやすく温度の検出
に問題があつた。Next, by installing this resistance measuring device 10 in a constant temperature bath, by changing the constant temperature bath from a predetermined low temperature to a high temperature,
Alternatively, by heating with a heater incorporated in the resistance measuring device 10, the temperature characteristics of the resistance can be accurately measured. That is, the measurement object (sample) to be measured is a substrate (eg,
(Epoxy board, thermal conductivity 0.0001cal / cm sec ° C or less), so the heat transfer from the board is not uniform, and the temperature distribution tends to occur inside the measured object, which is a problem for temperature detection. There was.
しかしながら、この一実施例においては、上述したよ
うに、測定時においてサンプルは高熱伝導性の基台14に
周囲を囲まれており、周囲から素早く均等に熱が伝わる
ため、サンプルの温度分布が少なくなり、更に、架台，
基台，サンプルの温度が短時間で一定になるため、基台
に設定した温度センサによつてサンプルの温度を読みと
ることが可能になる。かくして、安定に抵抗一温度特性
が測定可能となるものである。However, in this embodiment, as described above, at the time of measurement, the sample is surrounded by the base 14 having high thermal conductivity, and heat is quickly and evenly transmitted from the surroundings, so that the temperature distribution of the sample is small. And, moreover,
Since the temperatures of the base and the sample become constant in a short time, the temperature of the sample can be read by a temperature sensor set on the base. Thus, the resistance-temperature characteristics can be measured stably.
本発明は、上述した一実施例の構成に限定されること
なく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形可能で
あることは言うまでもない。It goes without saying that the present invention is not limited to the configuration of the above-described embodiment, but can be variously modified without departing from the gist of the present invention.
例えば、上述した一実施例の構成においては、基台14
の凹部12の形状を矩形として説明したが、これに限定さ
れることなく、例えば、基台を円筒体から形成し、凹部
を円柱状の内部空間から規定するように構成しても良
い。For example, in the configuration of one embodiment described above, the base 14
Although the shape of the concave portion 12 has been described as a rectangle, the present invention is not limited to this. For example, the base may be formed from a cylindrical body, and the concave portion may be defined from a cylindrical internal space.
また、冷却速度を速く設定したい場合には、基台14の
側壁に切り欠き、または、貫通孔を設けて、冷却ガスが
被計測体に直接接触するようにしても良い。When it is desired to set a high cooling rate, a cutout or a through hole may be provided in the side wall of the base 14 so that the cooling gas directly contacts the measured object.
［本発明の効果］ 以上詳述したように、本発明の抵抗測定器は、高熱伝
導性の絶縁体から形成され、一側に被計測体が収納され
る凹部が形成されかつ温度測定用センサ用の穴が形成さ
れた基台と、高熱伝導性の絶縁体から形成され、この基
台に形成された凹部と相補的に勘合するように形成され
た凸部を一側に有した架台と、この凸部と凹部とが互い
に嵌合されて架台と基台とが合体された状態で、凹部に
収納された被計測体の表面に接触するよう、凸部の表面
を起立して設けられた複数の接触探針とを具備する事を
特徴としている。[Effects of the present invention] As described in detail above, the resistance measuring instrument of the present invention is formed of a highly heat-conductive insulator, has a recess for accommodating a measured object on one side, and has a temperature measurement sensor. And a base having a convex portion formed on one side and formed from a highly thermally conductive insulator and formed to fit complementarily with a concave portion formed on the base. In a state where the projection and the recess are fitted to each other and the gantry and the base are united, the surface of the projection is provided upright so as to come into contact with the surface of the measured object stored in the recess. And a plurality of contact probes.
また、前記接触探針は、凸部内に押し込み可能に取付
けられると共に、付勢部材により凸部表面から突出する
ように付勢されている事を特徴としている。Further, the contact probe is mounted so as to be able to be pushed into the convex portion, and is urged by an urging member so as to protrude from the surface of the convex portion.
また、前記接触探針は４本備えられ、これらは直線上
に沿つて配設されている事を特徴としている。Further, four contact probes are provided, and these are arranged along a straight line.
また、前記基台には、ヒータ用の穴が形成されている
事を特徴としている。Further, the base is provided with a hole for a heater.
従つて、本発明によれば、計測時において、常に被計
測体が一様の温度で計測出来るようにして、同一温度で
同一の被計測体に何回計測動作を繰り返しても同一の測
定結果が得られて、計測値に対する信頼性を向上させる
ことが可能であると共に、温度依存性の測定を可能とす
る抵抗計測器が提供されることになる。Therefore, according to the present invention, at the time of measurement, the object to be measured can always be measured at a uniform temperature, and the same measurement result is obtained no matter how many times the measurement operation is repeated on the same object at the same temperature. Is obtained, and a resistance measuring instrument that can improve the reliability of the measured value and that can measure the temperature dependency is provided.
第１図はこの発明に係わる抵抗計測器の一実施例の構成
を示す斜視図； 第２図は一実施例の抵抗計測器における基台と架台との
嵌合状態を示す断面図；そして、 第３図は各スプリングコンタクトプローブの構成を示す
正面図である。 図中、10……抵抗計測器、12……凹部、13……温度セン
サ用穴、14……基台、15……ヒータ用穴、16……架台、
18……凸部、22;24;26;28……スプリングコンタクトプ
ローブ、22a;24a;26a;28a……スリーブ、22b;24b;26b;2
8b……プローブ本体、22c;24c;26c;28c……コイルスプ
リング、22d;24d;26d;28d……内方フランジ、22e;24e;2
6e;28e……外方フランジ、22f;24f;26f;28f……導線で
ある。FIG. 1 is a perspective view showing the configuration of an embodiment of a resistance measuring instrument according to the present invention; FIG. 2 is a cross-sectional view showing the fitting state of a base and a gantry in the resistance measuring instrument of one embodiment; FIG. 3 is a front view showing the configuration of each spring contact probe. In the figure, 10: resistance measuring instrument, 12: recess, 13: hole for temperature sensor, 14: base, 15: hole for heater, 16: mount,
18 ... convex part, 22; 24; 26; 28 ... spring contact probe, 22 a; 24 a; 26 a; 28 a ... sleeve, 22 b; 24 b; 26 b; 2
8b ... probe body, 22c; 24c; 26c; 28c ... coil spring, 22d; 24d; 26d; 28d ... inner flange, 22e; 24e; 2
6e; 28e: outer flange, 22f; 24f; 26f; 28f: conductive wire.
Claims (4)
被計測体が収納される凹部が形成され、かつ温度測定用
のセンサ用の穴が形成された基台と、 高熱伝導性の絶縁体から形成され、この基台に形成され
た凹部と相補的に嵌合するように形成された凸部を一側
に有した架台と、 この凸部と凹部とが互いに嵌合されて架台と基台とが合
体された状態で、凹部に収納された被計測体の表面に接
触するよう、凸部の表面に起立して設けられた複数の接
触探針とを具備する事を特徴とする抵抗計測器。1. A base formed of an insulator having high thermal conductivity, having a concave portion for accommodating an object to be measured on one side, and a hole for a sensor for measuring temperature, and a base having high thermal conductivity. A base having a convex portion formed on one side thereof so as to complementarily fit with a concave portion formed on the base, and the convex portion and the concave portion being fitted to each other; In a state where the gantry and the base are united, a plurality of contact probes provided upright on the surface of the convex portion so as to contact the surface of the measurement object stored in the concave portion are provided. And a resistance measuring instrument.
取付けられると共に、付勢部材により凸部表面から突出
するように付勢されている事を特徴とする請求項１に記
載の抵抗計測器。2. The resistance according to claim 1, wherein said contact probe is mounted so as to be able to be pushed into said projection, and is urged by an urging member so as to protrude from the surface of said projection. Measuring instrument.
線上に沿つて配設されている事を特徴とする請求１又は
２に記載の抵抗計測器。3. The resistance measuring instrument according to claim 1, wherein four contact probes are provided, and these are arranged along a straight line.
いる事を特徴とする請求項１乃至３の何れか１項に記載
の抵抗計測器。4. The resistance measuring instrument according to claim 1, wherein a hole for a heater is formed in the base.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10237088A JP2664929B2 (en) | 1988-04-27 | 1988-04-27 | Resistance measuring instrument |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10237088A JP2664929B2 (en) | 1988-04-27 | 1988-04-27 | Resistance measuring instrument |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01274073A JPH01274073A (en) | 1989-11-01 |
| JP2664929B2 true JP2664929B2 (en) | 1997-10-22 |
Family
ID=14325574
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10237088A Expired - Lifetime JP2664929B2 (en) | 1988-04-27 | 1988-04-27 | Resistance measuring instrument |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2664929B2 (en) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6161327B2 (en) * | 2013-02-28 | 2017-07-12 | 株式会社 エイブイシー | Four-terminal resistance measuring device and four-terminal measuring probe |
| CN108362743A (en) * | 2018-04-03 | 2018-08-03 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | Low-temperature resistivity measuring device and its installation method |
-
1988
- 1988-04-27 JP JP10237088A patent/JP2664929B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01274073A (en) | 1989-11-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TW495606B (en) | Calibrated isothermal assembly for a thermocouple thermometer | |
| Pope et al. | Apparatus for the rapid measurement of electrical transport properties for both “needle-like” and bulk materials | |
| US11385106B2 (en) | Assembly for detecting temperature and contact assembly having such an assembly | |
| US4718777A (en) | Isothermal block for temperature measurement system using a thermocouple | |
| JPS5937773B2 (en) | temperature detection device | |
| JP2664929B2 (en) | Resistance measuring instrument | |
| JP4982766B2 (en) | Sensor for thermoelectric property measurement | |
| US3716417A (en) | Profile thermocouple | |
| US6048095A (en) | External connection mechanism of temperature-measuring type for printed circuit board | |
| KR101252909B1 (en) | Heatable infrared sensor and infrared thermometer comprising such an infrared sensor | |
| JPH0634697Y2 (en) | Resistance measuring instrument | |
| Edler et al. | Reference material for Seebeck coefficients | |
| US8821013B2 (en) | Thermocouples with two tabs spaced apart along a transverse axis and methods | |
| JP2006040989A (en) | Thermoelectric characteristic measuring apparatus for semiconductor element | |
| CA1111471A (en) | Detachable electronic temperature control probe for electrically heated utensils | |
| JP2574802B2 (en) | Specific heat measurement device | |
| Werner et al. | Novel, low-cost device to simultaneously measure the electrical conductivity and the Hall coefficient from room temperature up to 600∘ C | |
| JP2009042127A (en) | Measurement method for thin-film shaped sample | |
| US5356216A (en) | Apparatus for measuring heat of circuit module | |
| TWI275783B (en) | Device for measuring temperature by a thermal couple | |
| US6864676B2 (en) | Substrate-holding device for testing circuit arrangements on substrates | |
| CN105509914B (en) | Insulating and electromagnetic field resistant thermocouple | |
| US7292132B1 (en) | NTC thermistor probe | |
| SU741125A1 (en) | Device for measuring solid material heat conductivity | |
| JP5290820B2 (en) | Electronic component measuring apparatus and measuring method |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |