JP2660028B2 - LSI test equipment - Google Patents
LSI test equipmentInfo
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Description
【発明の詳細な説明】 [発明の目的] (産業上の利用分野) 本発明は、論理回路の動作テストを行う装置に係わ
り、特に大規模な論理LSIをテストするためのLSIのテス
ト装置に関する。Description: Object of the Invention (Field of Industrial Application) The present invention relates to an apparatus for performing an operation test of a logic circuit, and particularly to an LSI test apparatus for testing a large-scale logic LSI. .
(従来の技術) 近年、LSIの大規模化に伴い、検査の対象となる論理
回路の規模が増大し、さらに対象回路そのものが複雑化
することにより、テストが非常に難しくなっている。ま
た、テスト装置も、LSIが多ピン及び高速になるに従い
高価なものとなっている。(Prior Art) In recent years, with the increase in the scale of LSI, the scale of a logic circuit to be inspected has increased, and the target circuit itself has become more complicated, which makes the test very difficult. Also, the test equipment becomes more expensive as the number of pins and the speed of the LSI increase.
この問題を解決するために、自己テスト法(BIST)や
スキャンデザイン手法等が提案されている。しかしなが
ら、自己テスト法では、LSIチップ内に自己テスト回路
が入っているため、チップサイズが大きくなり、実用的
ではない。さらに、スキャンデザイン手法では、テスト
ベクトルが膨大なものとなり、テスト時間が多くかか
り、高価な外部テスターを使用する必要があり、テスト
費用が高くなってしまう。To solve this problem, a self-test method (BIST), a scan design method, and the like have been proposed. However, in the self-test method, since a self-test circuit is included in the LSI chip, the chip size becomes large and is not practical. Furthermore, in the scan design method, the test vector becomes enormous, the test time is long, and it is necessary to use an expensive external tester, which increases the test cost.
(発明が解決しようとする課題) このように、従来のテスト方法では、LSIが複雑にな
るに伴い外部テスターに要求される仕様が複雑となり、
高価なテスターが必要になる。また、これを避けるため
にLSI自身に自己テスト回路を組み込むと、LSIのチップ
サイズが大きくなるという問題があった。(Problems to be Solved by the Invention) As described above, in the conventional test method, the specification required for the external tester becomes complicated as the LSI becomes more complicated.
You will need an expensive tester. Further, if a self-test circuit is incorporated in the LSI itself to avoid this, there is a problem that the chip size of the LSI becomes large.
本発明は、上記事情を考慮してなされたもので、その
目的とするところは、安価な外部テスターを用いてLSI
回路の動作テストを行うことができ、且つLSIのチップ
面積も最小限に抑えることのできるLSIのテスト装置を
提供することにある。The present invention has been made in view of the above circumstances, and a purpose thereof is to use an inexpensive external tester for an LSI.
An object of the present invention is to provide an LSI test apparatus capable of performing an operation test of a circuit and minimizing the chip area of the LSI.
[発明の構成] (課題を解決するための手段) 本発明の骨子は、テスト回路をLSI回路と同一チップ
に集積するのではなく、別チップに集積することにあ
る。[Structure of the Invention] (Means for Solving the Problems) The gist of the present invention resides in that the test circuit is integrated not on the same chip as the LSI circuit but on another chip.
即ち本発明は、LSI回路を駆動してその動作状態をテ
ストするLSIのテスト装置において、テストすべきLSI回
路とは別チップに形成されて該LSI回路に接続され、該L
SI回路の動作テストのためのテストデータを生成して該
LSI回路に高速で供給し、該LSI回路の出力を期待値と比
較しその比較結果を低速で出力するテスト回路と、この
テスト回路に接続され、該テスト回路に前記テストデー
タ生成のための指令を供給すると共に、該テスト回路か
ら出力される前記比較結果を入力する外部テスターとを
設けるようにしたものである。That is, the present invention relates to an LSI test apparatus for driving an LSI circuit and testing its operation state, wherein the LSI test apparatus is formed on a separate chip from the LSI circuit to be tested and connected to the LSI circuit.
Generate test data for SI circuit operation test
A test circuit for supplying the LSI circuit at a high speed, comparing the output of the LSI circuit with an expected value, and outputting the comparison result at a low speed, and a test circuit connected to the test circuit for instructing the test circuit to generate the test data. And an external tester for inputting the comparison result output from the test circuit.
(作 用) 本発明によれば、テストすべき論理LSI回路を設計製
造する場合に、その回路に専用のテスト回路を別に設計
製造する。このテスト用の論理回路は、被テスト回路で
あるLSI回路と同一の技術で製造できるので、同一の性
能を有することが可能である。従って、高速のタイミン
グ波形を容易に実現できること、大規模な回路をテスト
するに足りる記憶容量を有することが可能である。この
テスト回路を起動し、管理する目的として従来の外部テ
スターを用いれば良いので、テスターとしては高速,多
ピンのようなものは不要である。(Operation) According to the present invention, when designing and manufacturing a logic LSI circuit to be tested, a test circuit dedicated to the circuit is separately designed and manufactured. Since the test logic circuit can be manufactured by the same technology as the LSI circuit to be tested, it can have the same performance. Therefore, it is possible to easily realize a high-speed timing waveform and to have a storage capacity sufficient for testing a large-scale circuit. Since a conventional external tester may be used for the purpose of activating and managing the test circuit, a high-speed, multi-pin tester is not required.
なお、テスト回路としては、テスター専用のテストパ
ターン発生回路,比較回路,タイミング発生回路,テス
トデータ保存用のメモリ回路としてROM/RAM、及び外部
テスタとの通信や制御のためのマイクロプロセッサ等か
らなる。これらの回路をLSI回路と同一チップ上に集積
するとLSI回路のチップサイズが増大するが、テスト回
路を別チップに集積することによりLSI回路のチップサ
イズの増大を防止することができる。さらに、LSI回路
は一般に100Kゲート以上の大規模なものであり、それに
比べればテスト回路の設計は容易である。The test circuit includes a test pattern generation circuit for the tester, a comparison circuit, a timing generation circuit, a ROM / RAM as a memory circuit for storing test data, and a microprocessor for communication and control with an external tester. . When these circuits are integrated on the same chip as the LSI circuit, the chip size of the LSI circuit increases. However, by integrating the test circuit on another chip, an increase in the chip size of the LSI circuit can be prevented. Furthermore, LSI circuits are generally large-scale, with 100K gates or more, and test circuits are easier to design.
また本発明では、テスト回路が別LSIチップ上に作ら
れ、標準化部分とその被テスト回路に対応した特殊化部
分とからなっているので、テスト回路を標準の設計手順
で容易に作成することができる。外部テスターからはテ
スト回路に簡単な命令とデータを転送すれば良いので、
非常に安価なテスターがあればよい。即ち、本テスト装
置よれば、外部テスターの非常に高価な部分である。高
速タイミング回路及び比較回路を被テスト回路と同じよ
うにその被テスト回路毎に被テスト回路製造技術で作成
することにある。According to the present invention, the test circuit is formed on a separate LSI chip, and includes a standardized portion and a specialized portion corresponding to the circuit under test, so that the test circuit can be easily created by the standard design procedure. it can. Since simple commands and data can be transferred from the external tester to the test circuit,
All you need is a very inexpensive tester. That is, according to the test apparatus, it is a very expensive part of the external tester. A high-speed timing circuit and a comparison circuit are to be created for each circuit under test by a circuit under test manufacturing technique in the same manner as the circuit under test.
外部テスター側からは、少量の命令及びテストデータ
を転送すれば、テスト回路で解釈を行い、大量のテスト
データを高速で生成し、被テスト回路に出力し、被テス
ト回路からの出力とテスト回路内にある期待値と比較す
る。これらの一連の処理手続きは、一般のテスト手法で
通常に用いられており、本発明の請求するところではな
い。If a small amount of instructions and test data are transferred from the external tester, the test circuit interprets them, generates a large amount of test data at high speed, outputs it to the circuit under test, and outputs the test circuit and the test circuit. Compare with the expected value within. These series of processing procedures are commonly used in a general test method, and are not claimed by the present invention.
(実施例) 以下、本発明の詳細を図示の実施例によって説明す
る。(Examples) Hereinafter, details of the present invention will be described with reference to the illustrated examples.
第1図は本発明の一実施例に係わるLSIのテスト装置
を示す模式図である。図中10はテストすべきLSI回路、2
0はLSI回路10のテスト機能を持たせた専用のテスト回
路、30は外部テスターであり、LSI回路10と外部テスタ
ー30との間にテスト回路20が挿入されている。ここで、
テスト回路20はLSI回路10の設計と同時に設計される
が、LSI回路10とは別のチップに形成されている。FIG. 1 is a schematic diagram showing an LSI test apparatus according to one embodiment of the present invention. In the figure, 10 is the LSI circuit to be tested, 2
Reference numeral 0 denotes a dedicated test circuit having a test function of the LSI circuit 10, and reference numeral 30 denotes an external tester. The test circuit 20 is inserted between the LSI circuit 10 and the external tester 30. here,
The test circuit 20 is designed at the same time as the design of the LSI circuit 10, but is formed on a separate chip from the LSI circuit 10.
外部テスター30からは、テスト回路20にテストパター
ン生成命令等が供給され、テスト回路20ではこの命令に
基づいてテストパターンが展開され、展開されたテスト
パターンはLSI回路10に供給される。そして、このパタ
ーンを入力して動作するLSI回路10の出力は、テスト回
路20に供給される。テスト回路20では、この出力と予め
設定された期待値とが比較され、その比較結果(評価デ
ータ)は外部テスター30に供給される。ここで、LSI回
路10とテスト回路20との間のデータの転送は高速であ
り、テスト回路20と外部テスター30との間のデータの転
送は低速である。つまり、テスト回路20でテスト命令列
を受けて実テストパターンを生成することにより、低速
の外部テスター30でLSI回路10(高速デバイス)の高速
テストが可能となっている。ここで、外部テスター30側
を16進コードパラレルとし、LSI回路10側を2進コード
シリアルとすると、16倍高速のデバイスシミュレーショ
ンが可能となる。A test pattern generation command or the like is supplied from the external tester 30 to the test circuit 20, and the test circuit 20 develops a test pattern based on the command, and the developed test pattern is supplied to the LSI circuit 10. Then, the output of the LSI circuit 10 that operates by inputting this pattern is supplied to the test circuit 20. In the test circuit 20, this output is compared with a preset expected value, and the comparison result (evaluation data) is supplied to the external tester 30. Here, data transfer between the LSI circuit 10 and the test circuit 20 is high speed, and data transfer between the test circuit 20 and the external tester 30 is low speed. That is, the test circuit 20 receives the test instruction sequence and generates an actual test pattern, so that the low-speed external tester 30 can perform a high-speed test of the LSI circuit 10 (high-speed device). Here, when the external tester 30 is set to a hexadecimal code parallel and the LSI circuit 10 is set to a binary code serial, a device simulation at 16 times higher speed is possible.
本発明の効果を最大限に発揮するためには、テスト回
路20と外部テスター30との間での情報交換は抽象化或い
は高度化することにより、情報量を減らすことが重要で
ある。例えば、テスター30側からは、テスト実行命令を
テスト回路20に渡し、テスト回路20はその実行命令に従
ってテストパターンを生成し編集する。或いは、論理値
ベクトルにタイミング情報を付加して、実波形を形成す
る等の処理を行う等である。また、テストパターン編集
としては、ループへの展開,サブテストパターンの展開
等である。In order to maximize the effects of the present invention, it is important to reduce the amount of information by abstracting or upgrading the information exchange between the test circuit 20 and the external tester 30. For example, the tester 30 passes a test execution instruction to the test circuit 20, and the test circuit 20 generates and edits a test pattern according to the execution instruction. Alternatively, processing such as forming an actual waveform by adding timing information to the logical value vector is performed. The test pattern editing includes, for example, development into a loop and development of a subtest pattern.
第2図はテスト回路20に必要な回路のブロック構成図
である。図中21はテスト生成命令を解釈したり,テスト
パターンを生成するCPU、22はテストプログラムやテス
ト結果を格納するメモリ(ROM/RAM)、23は基本テスト
パターンデータを格納したメモリ(ROM)、24はテスト
パターンを展開するパターン展開回路、25は基本タイミ
ングデータを格納したメモリ(ROM)、26はタイミング
発生回路、27は合成回路、28はピン接続マトリックス、
29は比較回路である。FIG. 2 is a block diagram of a circuit necessary for the test circuit 20. In the figure, 21 is a CPU for interpreting a test generation instruction and generating a test pattern, 22 is a memory (ROM / RAM) for storing test programs and test results, 23 is a memory (ROM) for storing basic test pattern data, 24 is a pattern development circuit for developing test patterns, 25 is a memory (ROM) storing basic timing data, 26 is a timing generation circuit, 27 is a synthesis circuit, 28 is a pin connection matrix,
29 is a comparison circuit.
また、CPU21はテスターとのデータ交換,内部でのテ
ストパターン発生等に使用される。メモリ22にはテスト
パターン発生に使用する基本パターン,被テスト回路評
価に必要な専用テストパターン,またパターン発生に必
要な制御情報等を入れておく。他の部分回路もテスター
内に通常見られる回路であって標準的な回路構成が可能
である。メモリ内のテストパターン及びピン接続マトリ
ックス回路の制御情報等が被テスト回路に従って毎テス
ト化される。従って、自己テスト回路は標準化を行うこ
とが可能であり、各被テスト回路毎に回路の一部を修正
すればよい。なお、パターン展開回路24,タイミング発
生回路26及び合成回路27の各出力信号は、例えば第3図
に示すようになる。The CPU 21 is used for exchanging data with a tester, generating a test pattern inside, and the like. The memory 22 stores a basic pattern used for generating a test pattern, a dedicated test pattern required for evaluating a circuit under test, control information required for generating the pattern, and the like. Other subcircuits are also commonly found in testers, and standard circuit configurations are possible. The test pattern in the memory, control information of the pin connection matrix circuit, and the like are tested in accordance with the circuit under test. Therefore, the self-test circuit can be standardized, and a part of the circuit may be modified for each circuit under test. The output signals of the pattern development circuit 24, the timing generation circuit 26, and the synthesis circuit 27 are, for example, as shown in FIG.
ここで、第2図に示すテスト回路20の動作を簡単に説
明する。CPU21により外部テスター30からマクロテスト
パターン(テスト命令列及びテストデータ列)を読出さ
れ、メモリ22に格納されたテストプログラム及びメモリ
23に格納された基本テストパターンデータ等に基づい
て、16進のマクロテストパターンがバイナリーコードの
テストパターンに変換される。このテストパターンは、
パターン展開回路24により展開され、合成回路27により
テスト信号が生成される。そして、ピン結線マトリック
ス28を介してLSI回路10に供給される。一方、テスト動
作終了後、LSI回路10の出力データは、ピン結線マトリ
ックス28を介して比較回路29に入力され、予め設定され
た期待値と比較される。そして、比較回路29による比較
結果(評価データ)はメモリ22に格納された後、外部テ
スター30に送出されることになる。Here, the operation of the test circuit 20 shown in FIG. 2 will be briefly described. The macro test pattern (test instruction sequence and test data sequence) is read from the external tester 30 by the CPU 21 and the test program and the memory stored in the memory 22 are read.
A hexadecimal macro test pattern is converted to a binary code test pattern based on the basic test pattern data stored in 23. This test pattern is
The pattern is expanded by the pattern expansion circuit 24, and the synthesis circuit 27 generates a test signal. Then, it is supplied to the LSI circuit 10 via the pin connection matrix 28. On the other hand, after the end of the test operation, the output data of the LSI circuit 10 is input to the comparison circuit 29 via the pin connection matrix 28, and is compared with a preset expected value. Then, the comparison result (evaluation data) by the comparison circuit 29 is stored in the memory 22 and then sent to the external tester 30.
かくして本実施例によれば、同一チップ内にテスト回
路を埋め込むことによるチップサイズの増加を防ぐこと
ができると共に、複雑なテストも可能である。スキャン
デザインシグネチァ解析等は、10Kゲート内外でしか実
用的ではなかったが、本実施例により安価に膨大なテス
トが可能となるので、100Kゲートレベルの回路テストも
同時に行うことができる。高価な外部テスターに変り安
価な外部テスター等でテストの起動,テスト結果の解析
等を行えばよく、高価なテスターが行っている高速のタ
イミング波形発生,波形のストローク等は、テスト回路
が行う。このテスト回路は、VISI技術及ゲートアレー技
術により大量に作成することができるので、多数の被テ
スト回路を同時に大量に測定することができる。Thus, according to the present embodiment, it is possible to prevent an increase in chip size caused by embedding a test circuit in the same chip, and to perform a complicated test. Although scan design signature analysis and the like are practical only inside and outside the 10K gate, this embodiment enables a huge amount of tests at low cost, so that a circuit test at the 100K gate level can be performed at the same time. Instead of an expensive external tester, a test start, analysis of test results, and the like may be performed by an inexpensive external tester or the like, and a test circuit performs high-speed timing waveform generation and waveform stroke performed by the expensive tester. This test circuit can be manufactured in large quantities by using the VISI technology and the gate array technology, so that a large number of circuits under test can be simultaneously measured in large quantities.
なお、本発明は上述した実施例に限定されるものでは
なく、その要旨を逸脱しない範囲で、種々変形して実施
することができる。例えば、本発明装置を第4図に示す
如くテストラインに組み込んで、流れ作業的にテストを
行うことができる。第4図中31はテスト回路20に基本テ
ストパターン等を入力するテスト起動用テスター、32は
テスト回路20内のテスト結果を読出し評価するテスト結
果解析用テスター、40は自動的に流れるテストライン、
50はLSI回路10とテスト回路20とを電気的に接続すると
共に、テスター31,32等に接続されるパッドが設けられ
たテストベッドを示している。この方法では、テストが
終了する毎にLSI回路10のみを交換し、テスト回路20を
繰返し使用してテストを行うことが可能である。The present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be implemented with various modifications without departing from the spirit of the invention. For example, the apparatus of the present invention can be incorporated into a test line as shown in FIG. In FIG. 4, 31 is a test starter for inputting basic test patterns and the like to the test circuit 20, 32 is a test result analyzer for reading and evaluating test results in the test circuit 20, 40 is a test line that flows automatically,
Reference numeral 50 denotes a test bed which electrically connects the LSI circuit 10 and the test circuit 20 and has pads connected to the testers 31, 32 and the like. In this method, each time the test is completed, only the LSI circuit 10 is replaced, and the test can be performed using the test circuit 20 repeatedly.
[発明の効果] 以上詳述したように本発明によれば、テスト回路をLS
I回路と同一チップに集積するのではなく、別チップに
集積しているので、安価な外部テスターを用いてLSI回
路のテストを行うことができ、且つLSI回路のチップ面
積も最小限に抑えることができる。[Effects of the Invention] As described above in detail, according to the present invention, the test circuit
Since the I circuit is not integrated on the same chip but on a separate chip, it is possible to test the LSI circuit using an inexpensive external tester and minimize the chip area of the LSI circuit. Can be.
第1図は本発明の一実施例に係わるLSIのテスト装置を
示す模式図、第2図は上記装置におけるテスト回路を示
すブロック図、第3図は第2図に示すテスト回路の動作
を説明するための信号波形図、第4図は本発明の変形例
を説明するための模式図である。 10……LSI回路(被テスト回路)、 20……テスト回路、30……外部テスター、 40……テストライン、50……テストベッド。FIG. 1 is a schematic diagram showing an LSI test device according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a block diagram showing a test circuit in the above device, and FIG. 3 explains the operation of the test circuit shown in FIG. FIG. 4 is a schematic diagram for explaining a modified example of the present invention. 10 LSI circuit (tested circuit), 20 test circuit, 30 external tester, 40 test line, 50 test bed.
Claims (2)
の動作状態をテストするLSIのテスト装置において、 前記LSI回路と外部テスターとの間に、該LSI回路と同一
の設計ルールで該LSI回路とは別チップに形成されたテ
スト回路を挿入してなり、該テスト回路は、前記外部テ
スターから低速で入力したテストデータ生成指令を元に
前記LSI回路の動作テストのためのテストデータを生成
し、このテストデータを前記LSI回路に高速で供給する
と共に、前記LSI回路の出力データを高速で入力して期
待値と比較し、その比較結果を前記外部テスターに低速
で供給するものであることを特徴とするLSIのテスト装
置。1. An LSI test apparatus for driving an LSI circuit by using an external tester and testing its operation state, wherein the LSI circuit is provided between the LSI circuit and the external tester according to the same design rule as that of the LSI circuit. A test circuit formed on a separate chip is inserted, and the test circuit generates test data for an operation test of the LSI circuit based on a test data generation command input at a low speed from the external tester. Supplying the test data to the LSI circuit at a high speed, inputting the output data of the LSI circuit at a high speed, comparing the input data with an expected value, and supplying the comparison result to the external tester at a low speed. Characteristic LSI test equipment.
入力したテストデータ生成指令を元に大量のテストデー
タを高速に生成するデータ生成部、前記LSI回路の動作
クロックに同期したクロックを発生する高速タイミング
発生部、前記LSI回路の出力を予め設定された期待値と
比較する比較部とを備えたものであることを特徴とする
請求項1記載のLSIのテスト装置。2. A data generator for generating a large amount of test data at high speed based on a test data generation command input from the external tester, and a high-speed generator for generating a clock synchronized with an operation clock of the LSI circuit. 2. The LSI test apparatus according to claim 1, further comprising a timing generator, and a comparator for comparing the output of the LSI circuit with a preset expected value.
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1988
- 1988-12-13 JP JP63314296A patent/JP2660028B2/en not_active Expired - Lifetime
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