JP2655521B2 - メカニカルプライマリ真空ポンプ - Google Patents
メカニカルプライマリ真空ポンプInfo
- Publication number
- JP2655521B2 JP2655521B2 JP32807488A JP32807488A JP2655521B2 JP 2655521 B2 JP2655521 B2 JP 2655521B2 JP 32807488 A JP32807488 A JP 32807488A JP 32807488 A JP32807488 A JP 32807488A JP 2655521 B2 JP2655521 B2 JP 2655521B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pump
- check valve
- outlet channel
- mechanical
- vacuum pump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
- F04C29/12—Arrangements for admission or discharge of the working fluid, e.g. constructional features of the inlet or outlet
- F04C29/124—Arrangements for admission or discharge of the working fluid, e.g. constructional features of the inlet or outlet with inlet and outlet valves specially adapted for rotary or oscillating piston pumps
- F04C29/126—Arrangements for admission or discharge of the working fluid, e.g. constructional features of the inlet or outlet with inlet and outlet valves specially adapted for rotary or oscillating piston pumps of the non-return type
- F04C29/128—Arrangements for admission or discharge of the working fluid, e.g. constructional features of the inlet or outlet with inlet and outlet valves specially adapted for rotary or oscillating piston pumps of the non-return type of the elastic type, e.g. reed valves
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はメカニカルプライマリ真空ポンプに関する。
この真空ポンプは、吸入側の入口チャンネル、放出側の
出口チャンネル、ケーシング内で回転する移動部材およ
び前記出口チャンネルに関連するばね負荷の逆止め弁を
包含するケーシングを有するものである。
この真空ポンプは、吸入側の入口チャンネル、放出側の
出口チャンネル、ケーシング内で回転する移動部材およ
び前記出口チャンネルに関連するばね負荷の逆止め弁を
包含するケーシングを有するものである。
発明の背景 メカニカルプライマリ真空ポンプは、たとえば往復動
ピストン、ひとつまたはそれ以上の数の回転ピストン、
回転フラップまたは滑動フラップのようなモータ駆動の
移動部材を包含する。このようなポンプには屡々、ばね
負荷逆止め弁が少なくとも出口チャンネルに設けられて
いて、排気したタンク内の、このポンプを遮断した後の
真空圧を維持するようにしてある。メカニカルプライマ
リポンプは屡々、たとえば拡散ポンプや分子ポンプのよ
うな他の型式のポンプと組み合わされ、より高い真空が
得られるようにしてあり、この場合このメカニカルポン
プはプライマリポンプとして働き、外囲圧力に対して作
動する。場合によっては、たとえばウォータリングポン
プのようなジェットポンプをメカニカル真空ポンプの出
口チャンネルに挿置していた。これは、このメカニカル
真空ポンプがも早外囲圧力に対して働くものでなく、可
成り低い圧力に対して働くもので、このメカニカルポン
プで達成される最終の真空の品質を高めることを許容す
るものである。
ピストン、ひとつまたはそれ以上の数の回転ピストン、
回転フラップまたは滑動フラップのようなモータ駆動の
移動部材を包含する。このようなポンプには屡々、ばね
負荷逆止め弁が少なくとも出口チャンネルに設けられて
いて、排気したタンク内の、このポンプを遮断した後の
真空圧を維持するようにしてある。メカニカルプライマ
リポンプは屡々、たとえば拡散ポンプや分子ポンプのよ
うな他の型式のポンプと組み合わされ、より高い真空が
得られるようにしてあり、この場合このメカニカルポン
プはプライマリポンプとして働き、外囲圧力に対して作
動する。場合によっては、たとえばウォータリングポン
プのようなジェットポンプをメカニカル真空ポンプの出
口チャンネルに挿置していた。これは、このメカニカル
真空ポンプがも早外囲圧力に対して働くものでなく、可
成り低い圧力に対して働くもので、このメカニカルポン
プで達成される最終の真空の品質を高めることを許容す
るものである。
フランス国特許出願第24 26 171号には、ジェットポ
ンプと組み合わせたメカニカル真空ポンプが記載されて
いる。しかしこのジェットポンプは、メカニカル真空ポ
ンプが作動していない時のみに作動している。ドイツ国
特許DE−12 70 215Bおよび同国特許DE−16 78 604Aに
は、メカニカルプライマリポンプとジェットポンプとを
直列に接続し、ジェットポンプが排気しようとするタン
クとメカニカルプライマリポンプの間に位置してセカン
ダリポンプとして作用するようにした真空ポンプ装置が
記載されている。
ンプと組み合わせたメカニカル真空ポンプが記載されて
いる。しかしこのジェットポンプは、メカニカル真空ポ
ンプが作動していない時のみに作動している。ドイツ国
特許DE−12 70 215Bおよび同国特許DE−16 78 604Aに
は、メカニカルプライマリポンプとジェットポンプとを
直列に接続し、ジェットポンプが排気しようとするタン
クとメカニカルプライマリポンプの間に位置してセカン
ダリポンプとして作用するようにした真空ポンプ装置が
記載されている。
発明の概要 本発明の目的は、より高い真空が得られるようにメカ
ニカル真空ポンプを改良することにある。
ニカル真空ポンプを改良することにある。
本発明の他の目的は、所定動力の入力に対してポンプ
の冷却程度を改善することにある。これは、非潤滑の回
転フラップポンプに本発明を適用することを可能にす
る。すなわちこのような場合にはポンプのケーシングの
温度上昇が重大な問題となるからである。
の冷却程度を改善することにある。これは、非潤滑の回
転フラップポンプに本発明を適用することを可能にす
る。すなわちこのような場合にはポンプのケーシングの
温度上昇が重大な問題となるからである。
本発明によれば、上述の目的は、吸入側の入口チャン
ネルおよび放出側の出口チャンネルを有するケーシング
と、このケーシング内で回転する移動部材と、前記出口
チャンネルに関連せしめたばね負荷逆止め弁と、このば
ね負荷逆止め弁の上流側で前記出口チャンネルに合体せ
しめたガスジェットポンプとを包含するメカニカルプラ
イマリ真空ポンプによって達成される。
ネルおよび放出側の出口チャンネルを有するケーシング
と、このケーシング内で回転する移動部材と、前記出口
チャンネルに関連せしめたばね負荷逆止め弁と、このば
ね負荷逆止め弁の上流側で前記出口チャンネルに合体せ
しめたガスジェットポンプとを包含するメカニカルプラ
イマリ真空ポンプによって達成される。
好適には上記ガスジェットポンプのジェットの方向は
逆止め弁のシール面に平行とする。
逆止め弁のシール面に平行とする。
この逆止め弁がポンプ作用の第１の期間中反復して開
閉している限り、ガスジェットポンプは実際上、出口チ
ャンネルが属するポンプの放出スペースのための冷却手
段として作用する。質量流れが減少すると、この逆止め
弁は出口チャンネルを閉じ、残留している分子はガスジ
ェットポンプのジェットにより運ばれ放出される。
閉している限り、ガスジェットポンプは実際上、出口チ
ャンネルが属するポンプの放出スペースのための冷却手
段として作用する。質量流れが減少すると、この逆止め
弁は出口チャンネルを閉じ、残留している分子はガスジ
ェットポンプのジェットにより運ばれ放出される。
実施例 以下本発明を図示の非限定的な実施例について詳述す
る。
る。
この実施例は回転ベーンポンプであって、ケーシング
１と回転移動部材２とを包含している。ケーシング１は
油タンク（図示しない）中にあり、排気しようとするタ
ンクに接続した入口チャンネル３と、フラップによる逆
止め弁５を介して外囲環境に接続した出口チャンネル４
とをそなえている。逆止め弁５は、出口チャンネル４内
の圧力が大気圧およびばね６の負荷によって生ずる逆圧
をこえない限り、ばね６によって密封位置に押し付けら
れている。
１と回転移動部材２とを包含している。ケーシング１は
油タンク（図示しない）中にあり、排気しようとするタ
ンクに接続した入口チャンネル３と、フラップによる逆
止め弁５を介して外囲環境に接続した出口チャンネル４
とをそなえている。逆止め弁５は、出口チャンネル４内
の圧力が大気圧およびばね６の負荷によって生ずる逆圧
をこえない限り、ばね６によって密封位置に押し付けら
れている。
逆止め弁５の上流には、ガスジェットポンプが出口チ
ャンネル４内に配設してある。このガスジェットポンプ
のジェットの方向は逆止め弁５のシール面に平行であ
る。ガスジェットポンプは注入ノズル７とこれと整合す
る受け入れ管８とから成る。注入ノズル７はケーシング
１の壁に穿孔したダクト９を介して加圧空気源（図示し
ない）に接続しておき、他方、受け入れ管８は外囲環境
に開放せしめるか、または、一般にこのようであるが、
有害ガスの場合のように、排気しようとするタンクから
引き出したガスを空気とは遮断して再処理する容器に接
続する。もちろん、空気の代りにたとえば不活性ガスの
ような他の駆動流体を用いることができる。
ャンネル４内に配設してある。このガスジェットポンプ
のジェットの方向は逆止め弁５のシール面に平行であ
る。ガスジェットポンプは注入ノズル７とこれと整合す
る受け入れ管８とから成る。注入ノズル７はケーシング
１の壁に穿孔したダクト９を介して加圧空気源（図示し
ない）に接続しておき、他方、受け入れ管８は外囲環境
に開放せしめるか、または、一般にこのようであるが、
有害ガスの場合のように、排気しようとするタンクから
引き出したガスを空気とは遮断して再処理する容器に接
続する。もちろん、空気の代りにたとえば不活性ガスの
ような他の駆動流体を用いることができる。
本発明によるポンプは、前述の従来公知のメカニカル
プライマリポンプとガスジェットポンプとを直列したも
のとは比較するようなものではなく、ジェットポンプは
逆止め弁５の下流側に配置し、メカニカルポンプで運ば
れる分子のすべてはガスジェットポンプで運ばれるもの
である。ガスジェットポンプを逆止め弁の上流側におい
てメカニカルプライマリポンプに合体することにより、
このメカニカルプライマリポンプの吸入効率は入口チャ
ンネルと出口チャンネルとの間で低圧差で一杯に発揮さ
れ、他方、逆止め弁５の上流側の出口チャンネル４内の
真空は、ベーンポンプの吸入側の真空が高くなる時大気
圧より著しく低くなる。これは入口チャンネル３におけ
る最終的な真空の程度を少なくとも係数10をかけるだけ
高めることを可能とする。
プライマリポンプとガスジェットポンプとを直列したも
のとは比較するようなものではなく、ジェットポンプは
逆止め弁５の下流側に配置し、メカニカルポンプで運ば
れる分子のすべてはガスジェットポンプで運ばれるもの
である。ガスジェットポンプを逆止め弁の上流側におい
てメカニカルプライマリポンプに合体することにより、
このメカニカルプライマリポンプの吸入効率は入口チャ
ンネルと出口チャンネルとの間で低圧差で一杯に発揮さ
れ、他方、逆止め弁５の上流側の出口チャンネル４内の
真空は、ベーンポンプの吸入側の真空が高くなる時大気
圧より著しく低くなる。これは入口チャンネル３におけ
る最終的な真空の程度を少なくとも係数10をかけるだけ
高めることを可能とする。
以上本発明を図示の好適な実施例について詳述した
が、本発明はこの特定の実施例に限定されるものではな
い。たとえばガスジェットポンプはルーツポンプ、スラ
イディングベーンポンプのような他の形式のメカニカル
真空ポンプにも等しく組み合わせることができる。また
本発明は非潤滑型メカニカル真空ポンプばかりでなく、
潤滑型メカニカル真空ポンプにも適用できる。この場合
にもガスジェットポンプはより高い最終真空を確保せし
め、かつ温度上昇を減じせしめる。
が、本発明はこの特定の実施例に限定されるものではな
い。たとえばガスジェットポンプはルーツポンプ、スラ
イディングベーンポンプのような他の形式のメカニカル
真空ポンプにも等しく組み合わせることができる。また
本発明は非潤滑型メカニカル真空ポンプばかりでなく、
潤滑型メカニカル真空ポンプにも適用できる。この場合
にもガスジェットポンプはより高い最終真空を確保せし
め、かつ温度上昇を減じせしめる。
図面は本発明の好適な１実施例の断面図である。 １……ケーシング、２……移動部材、３……入口チャン
ネル、４……出口チャンネル、５……逆止め弁、６……
ばね、７……注入ノズル、８……受け入れ管、９……ダ
クト。
ネル、４……出口チャンネル、５……逆止め弁、６……
ばね、７……注入ノズル、８……受け入れ管、９……ダ
クト。
Claims (2)
- 【請求項１】吸入側の入口チャンネルおよび放出側の出
口チャンネルを有するケーシングと、このケーシング内
で回転する移動部材と、前記出口チャンネルに関連せし
めたばね負荷逆止め弁と、このばね負荷逆止め弁の上流
側で前記出口チャンネルに合体せしめたガスジェットポ
ンプとを包含するメカニカルプライマリ真空ポンプ。 - 【請求項２】請求項１記載のメカニカルプライマリ真空
ポンプにおいて、前記ガスジェットポンプのジェットの
方向を前記逆止め弁のシール面と平行にしたことを特徴
とするメカニカルプライマリ真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32807488A JP2655521B2 (ja) | 1988-12-27 | 1988-12-27 | メカニカルプライマリ真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32807488A JP2655521B2 (ja) | 1988-12-27 | 1988-12-27 | メカニカルプライマリ真空ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02196186A JPH02196186A (ja) | 1990-08-02 |
| JP2655521B2 true JP2655521B2 (ja) | 1997-09-24 |
Family
ID=18206220
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32807488A Expired - Lifetime JP2655521B2 (ja) | 1988-12-27 | 1988-12-27 | メカニカルプライマリ真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2655521B2 (ja) |
-
1988
- 1988-12-27 JP JP32807488A patent/JP2655521B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02196186A (ja) | 1990-08-02 |
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