JPH02196186A - メカニカルプライマリ真空ポンプ - Google Patents
メカニカルプライマリ真空ポンプInfo
- Publication number
- JPH02196186A JPH02196186A JP32807488A JP32807488A JPH02196186A JP H02196186 A JPH02196186 A JP H02196186A JP 32807488 A JP32807488 A JP 32807488A JP 32807488 A JP32807488 A JP 32807488A JP H02196186 A JPH02196186 A JP H02196186A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- outlet channel
- butterfly valve
- pump
- gas jet
- mechanical
- Prior art date
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- Granted
Links
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims abstract description 6
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 4
- 238000002347 injection Methods 0.000 abstract description 4
- 239000007924 injection Substances 0.000 abstract description 4
- 238000001816 cooling Methods 0.000 abstract description 3
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 13
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 231100001261 hazardous Toxicity 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 238000012958 reprocessing Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
- F04C29/12—Arrangements for admission or discharge of the working fluid, e.g. constructional features of the inlet or outlet
- F04C29/124—Arrangements for admission or discharge of the working fluid, e.g. constructional features of the inlet or outlet with inlet and outlet valves specially adapted for rotary or oscillating piston pumps
- F04C29/126—Arrangements for admission or discharge of the working fluid, e.g. constructional features of the inlet or outlet with inlet and outlet valves specially adapted for rotary or oscillating piston pumps of the non-return type
- F04C29/128—Arrangements for admission or discharge of the working fluid, e.g. constructional features of the inlet or outlet with inlet and outlet valves specially adapted for rotary or oscillating piston pumps of the non-return type of the elastic type, e.g. reed valves
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はメカニカルプライマリ真空ポンプに関する。こ
の真空ポンプは、吸入側の入口チャンネル、放出側の出
口チャンネル、ケーシング内で回転する移動部材および
前記出口チャンネルに関連するばね負荷の逆止め弁を包
含するケーシングを有するしのである。
の真空ポンプは、吸入側の入口チャンネル、放出側の出
口チャンネル、ケーシング内で回転する移動部材および
前記出口チャンネルに関連するばね負荷の逆止め弁を包
含するケーシングを有するしのである。
発明の背景
メカニカルプライマリ真空ポンプは、たとえば往復動ピ
ストン、ひとつまたはそれ以上の数の回転ピストン、回
転フラップまたは滑動フラップのようなモータ駆動の移
動部材を包含する。このようなポンプには屡々、ばね負
荷逆止めちょう形弁が少なくとも出口チャンネルに設け
られていて、排気したタンク内の、このポンプを遮断し
た後の真空圧を維持するようにしである。メカニカルプ
ライマリポンプは屡々、たとえば拡散ポンプや分子ポン
プのような他の型式のポンプと組み合わされ、より高い
真空が得られるようにしてあり、この場合このメカニカ
ルポンプはプライマリポンプとして働き、外囲圧力に対
して作動する。場合によっては、たとえばウォータリン
グポンプのようなジェットポンプをメカニカル真空ポン
プの出口チャンネルに挿置していた。これは、このメカ
ニカル真空ポンプかも早外囲圧力に対して働くものでな
く、可成り低い圧力に対して働くもので、このメカニカ
ルポンプで達成される最終の真空の品質を高めることを
許容するものである。
ストン、ひとつまたはそれ以上の数の回転ピストン、回
転フラップまたは滑動フラップのようなモータ駆動の移
動部材を包含する。このようなポンプには屡々、ばね負
荷逆止めちょう形弁が少なくとも出口チャンネルに設け
られていて、排気したタンク内の、このポンプを遮断し
た後の真空圧を維持するようにしである。メカニカルプ
ライマリポンプは屡々、たとえば拡散ポンプや分子ポン
プのような他の型式のポンプと組み合わされ、より高い
真空が得られるようにしてあり、この場合このメカニカ
ルポンプはプライマリポンプとして働き、外囲圧力に対
して作動する。場合によっては、たとえばウォータリン
グポンプのようなジェットポンプをメカニカル真空ポン
プの出口チャンネルに挿置していた。これは、このメカ
ニカル真空ポンプかも早外囲圧力に対して働くものでな
く、可成り低い圧力に対して働くもので、このメカニカ
ルポンプで達成される最終の真空の品質を高めることを
許容するものである。
フランス国特許出願第２４２６１７１号には、ジェット
ポンプと組み合わせたメカニカル真空ポンプが記載され
ている。しかしこのジェットポンプは、メカニカル真空
ポンプが作動していない時のみに作動している。ドイツ
国特許ＤＥ−１２Ｔｏ ２１５ Ｂおよび同国特許第Ｄ
Ｅ−１６Ｔｉ１ｌ ６０４ Ａには、メカニカルプライ
マリポンプとジェットポンプとを直列に接続し、ジェッ
トポンプが排気しようとするタンクとメカニカルプライ
マリポンプの間に位置してセカンダリポンプとして作用
するようにした真空ポンプ装置が記載されている。
ポンプと組み合わせたメカニカル真空ポンプが記載され
ている。しかしこのジェットポンプは、メカニカル真空
ポンプが作動していない時のみに作動している。ドイツ
国特許ＤＥ−１２Ｔｏ ２１５ Ｂおよび同国特許第Ｄ
Ｅ−１６Ｔｉ１ｌ ６０４ Ａには、メカニカルプライ
マリポンプとジェットポンプとを直列に接続し、ジェッ
トポンプが排気しようとするタンクとメカニカルプライ
マリポンプの間に位置してセカンダリポンプとして作用
するようにした真空ポンプ装置が記載されている。
発明の概要
本発明の目的は、より高い真空が得られるようにメカニ
カル真空ポンプを改良することにある。
カル真空ポンプを改良することにある。
本発明の他の目的は、所定動力の入力に対してポンプの
冷却程度を改善することにある。これは、非潤滑の回転
フラップポンプに本発明を適用することを可能にする。
冷却程度を改善することにある。これは、非潤滑の回転
フラップポンプに本発明を適用することを可能にする。
すなわちこのような場合にはポンプのケーシングの温度
上昇が重大な問題となるからである。
上昇が重大な問題となるからである。
本発明によれば、上述の目的は、吸入側の入口チャンネ
ルおよび放出側の出口チャンネルを有するケーシングと
、このケーシング内で回転する移動部材と、前記出口チ
ャンネルに関連せしめたばね負荷逆止めちょう形弁と、
このばね負荷逆止めちょう形弁の上流側で前記出口チャ
ンネルに合体好適には上記ガスジェットポンプのジェッ
トの方向は逆止めちょう形弁のシール面に平行とする。
ルおよび放出側の出口チャンネルを有するケーシングと
、このケーシング内で回転する移動部材と、前記出口チ
ャンネルに関連せしめたばね負荷逆止めちょう形弁と、
このばね負荷逆止めちょう形弁の上流側で前記出口チャ
ンネルに合体好適には上記ガスジェットポンプのジェッ
トの方向は逆止めちょう形弁のシール面に平行とする。
この逆止めちょう形弁がポンプ作用の第１の期間中反復
して開閉している限り、ガスジェットポンプは実際上、
出口チャンネルが属するポンプの放出スペースのための
冷却手段として作用する。
して開閉している限り、ガスジェットポンプは実際上、
出口チャンネルが属するポンプの放出スペースのための
冷却手段として作用する。
質量流れが減少すると、この逆止めちょう形弁は出口チ
ャンネルを閉じ、残留している分子はガスジェットポン
プのジェットにより運ばれ放出される。
ャンネルを閉じ、残留している分子はガスジェットポン
プのジェットにより運ばれ放出される。
実施例
以下本発明を図示の非限定的な実施例について詳述する
。
。
この実施例は回転ベーンポンプであって、ケーシングｌ
と回転移動部材２とを包含している。ケーシングｌは油
タンク（図示しない）中にあり、排気しようとするタン
クに接続した入口チャンネル３と、逆止めちょう形弁５
を介して外囲環境に接続した出口チャンネル４とをそな
えている。逆止めちょう形弁５は、出口チャンネル４内
の圧力が大気圧およびばね６の負荷によって生ずる逆圧
をこえない限り、ばね６によって密封位置に押し付けら
れている。
と回転移動部材２とを包含している。ケーシングｌは油
タンク（図示しない）中にあり、排気しようとするタン
クに接続した入口チャンネル３と、逆止めちょう形弁５
を介して外囲環境に接続した出口チャンネル４とをそな
えている。逆止めちょう形弁５は、出口チャンネル４内
の圧力が大気圧およびばね６の負荷によって生ずる逆圧
をこえない限り、ばね６によって密封位置に押し付けら
れている。
逆止めちょう形弁５の上流には、ガスジェットポンプが
出口チャンネル４内に配設しである。このガスジェット
ポンプのジェットの方向は逆止めちょう形弁５のシール
面に平行である。ガスジェットポンプは注入ノズル７と
これと整合する受は入れ管８とから成る。注入ノズル７
はケーシング１の壁に穿孔したダクト９を介して加圧空
気源（図示しない）に接続しておき、他方、受は入れ管
８は外囲環境に開放せしめるか、または、一般にこのよ
うであるが、有害ガスの場合のように、排気しようとす
るタンクから引き出したガスを空気とは遮断して再処理
する容器に接続する。もちろん、空気の代りにたとえば
不活性ガスのような他の駆動流体を用いることができる
。
出口チャンネル４内に配設しである。このガスジェット
ポンプのジェットの方向は逆止めちょう形弁５のシール
面に平行である。ガスジェットポンプは注入ノズル７と
これと整合する受は入れ管８とから成る。注入ノズル７
はケーシング１の壁に穿孔したダクト９を介して加圧空
気源（図示しない）に接続しておき、他方、受は入れ管
８は外囲環境に開放せしめるか、または、一般にこのよ
うであるが、有害ガスの場合のように、排気しようとす
るタンクから引き出したガスを空気とは遮断して再処理
する容器に接続する。もちろん、空気の代りにたとえば
不活性ガスのような他の駆動流体を用いることができる
。
本発明によるポンプは、前述の従来公知のメカニカルプ
ライマリポンプとガスジェットポンプとを直列したもの
とは比較するようなものではなく、ジェットポンプは逆
止めちょう形弁５の下流側に配置し、メカニカルポンプ
で運ばれる分子のすべてはガスジェットポンプで運ばれ
るものである。
ライマリポンプとガスジェットポンプとを直列したもの
とは比較するようなものではなく、ジェットポンプは逆
止めちょう形弁５の下流側に配置し、メカニカルポンプ
で運ばれる分子のすべてはガスジェットポンプで運ばれ
るものである。
ガスジェットポンプをちょう形弁の上流側においてメカ
ニカルプライマリポンプに合体することにより、このメ
カニカルプライマリポンプの吸入効率は入口チャンネル
と出口チャンネルとの間で低圧差で一杯に発揮され、他
方、逆止めちょう］ｆ５弁５の上流側の出口チャンネル
４内の真空は、ベーンポンプの吸入側の真空が高くなる
時大気圧より著しく低くなる。これは入口チャンネル３
における最終的な真空の程度を少なくとも係数１０をか
ｌ」るだけ高めることを可能とする。
ニカルプライマリポンプに合体することにより、このメ
カニカルプライマリポンプの吸入効率は入口チャンネル
と出口チャンネルとの間で低圧差で一杯に発揮され、他
方、逆止めちょう］ｆ５弁５の上流側の出口チャンネル
４内の真空は、ベーンポンプの吸入側の真空が高くなる
時大気圧より著しく低くなる。これは入口チャンネル３
における最終的な真空の程度を少なくとも係数１０をか
ｌ」るだけ高めることを可能とする。
以上本発明を図示の好適な実施例について詳述したが、
本発明はこの特定の実施例に限定されるものではない。
本発明はこの特定の実施例に限定されるものではない。
たとえばガスジェットポンプはルーツポンプ、スライデ
ィングベーンポンプのような他の杉式のメカニカル真空
ポンプにも等しく組み合わせることができる。また本発
明は非潤滑型メカニカル真空ポンプばかりでなく、潤滑
型メカニカル真空ポンプにも適用できる。この場合にも
ガスジェットポンプはより高い最終真空を確保せしめ、
かつ温度上昇を減じせしめる。
ィングベーンポンプのような他の杉式のメカニカル真空
ポンプにも等しく組み合わせることができる。また本発
明は非潤滑型メカニカル真空ポンプばかりでなく、潤滑
型メカニカル真空ポンプにも適用できる。この場合にも
ガスジェットポンプはより高い最終真空を確保せしめ、
かつ温度上昇を減じせしめる。
図面は本発明の好適な１実施例の断面図である。
１・・ケーシング、２・・移動部材、３・・入口チャン
ネル、４ 止めちょう形弁、 ・出口チャンネル、５・ ・逆 ・ばね、 ７・・注入ノズル、 （ほか１名）
ネル、４ 止めちょう形弁、 ・出口チャンネル、５・ ・逆 ・ばね、 ７・・注入ノズル、 （ほか１名）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 吸入側の入口チャンネルおよび放出側の出口チャン
ネルを有するケーシングと、このケーシング内で回転す
る移動部材と、前記出口チャンネルに関連せしめたばね
負荷逆止めちょう形弁と、このばね負荷逆止めちょう形
弁の上流側で前記出口チャンネルに合体せしめたガスジ
ェットポンプとを包含するメカニカルプライマリ真空ポ
ンプ。 ２ 請求項１記載のメカニカルプライマリ真空ポンプに
おいて、前記ガスジェットポンプのジェットの方向を前
記逆止めちよう形弁のシール面と平行にしたことを特徴
とするメカニカルプライマリ真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32807488A JP2655521B2 (ja) | 1988-12-27 | 1988-12-27 | メカニカルプライマリ真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32807488A JP2655521B2 (ja) | 1988-12-27 | 1988-12-27 | メカニカルプライマリ真空ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02196186A true JPH02196186A (ja) | 1990-08-02 |
| JP2655521B2 JP2655521B2 (ja) | 1997-09-24 |
Family
ID=18206220
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32807488A Expired - Lifetime JP2655521B2 (ja) | 1988-12-27 | 1988-12-27 | メカニカルプライマリ真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2655521B2 (ja) |
-
1988
- 1988-12-27 JP JP32807488A patent/JP2655521B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2655521B2 (ja) | 1997-09-24 |
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