JP2650507B2 - Optical information recording medium - Google Patents
Optical information recording mediumInfo
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- JP2650507B2 JP2650507B2 JP3097031A JP9703191A JP2650507B2 JP 2650507 B2 JP2650507 B2 JP 2650507B2 JP 3097031 A JP3097031 A JP 3097031A JP 9703191 A JP9703191 A JP 9703191A JP 2650507 B2 JP2650507 B2 JP 2650507B2
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Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は光学的情報記録用媒体に
係り、特に従来の再生専用のディスク、所謂コンパクト
・ディスク(CD)専用ドライブにより直接再生(Dire
ct read after write:DRAW)が可能であって、しかも光
記録が可能な新規な光学的情報記録用媒体に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical information recording medium, and in particular, to a direct reproduction (Dire) using a conventional read-only disk, so-called compact disk (CD) drive.
The present invention relates to a novel optical information recording medium capable of performing ct read after write (DRAW) and optical recording.
【0002】[0002]
【従来の技術】光ディスクには再生専用型と光記録可能
型とがある。再生専用型はビデオディスク、オーディオ
ディスク、更には大容量コンピュータ用ディスクメモリ
ーとして、既に広くその専用ドライブが普及している。
これらのうちで、音楽等のオーディオ再生用として、コ
ンパクトディスク(CD)が広く実用化されている。2. Description of the Related Art Optical discs include a read-only type and an optical recordable type. The read-only type is already widely used as a video disk, an audio disk, and a disk drive for a large-capacity computer.
Among them, compact discs (CDs) are widely used for audio reproduction of music and the like.
【0003】コンパクトディスク(CD)は、CDフォ
ーマット化されたEFM(Eight toFourteen Modulatio
n)信号の孔(ピット)をプラスチックからなる基板に
転写し、その上にアルミニウム等の金属からなる反射膜
及び保護膜を設けて実用に供されている。CDからの情
報の読み取りは、半導体レーザービームを光ディスクに
照射することにより行なわれ、ピットの有無による反射
率の変化によってCDフォーマット信号等が読み取られ
る。この際、従来のCDは70%以上の高い反射率と6
0%以上の変調度を有するのが特徴であるが、このよう
な再生専用CDでは、情報の記録・編集等ができないと
いう欠点を有しているため、光記録可能なCDの開発が
望まれていた。A compact disk (CD) is a CD-formatted EFM (Eight to Fourteen Modulatio).
n) Signal holes (pits) are transferred to a substrate made of plastic, and a reflective film and a protective film made of a metal such as aluminum are provided thereon for practical use. Reading of information from a CD is performed by irradiating a semiconductor laser beam to an optical disk, and a CD format signal or the like is read by a change in reflectance depending on the presence or absence of pits. At this time, the conventional CD has a high reflectivity of 70% or more and 6
It is characterized by having a modulation degree of 0% or more. However, such a read-only CD has a drawback that information cannot be recorded / edited, and therefore development of an optically recordable CD is desired. I was
【0004】また、ソフトウェア、データファイル、静
止画像等のファイルにおいてもCD・ROM(read onl
y memory)またはCD−I(interactive)用の光記録可
能な光ディスクが望まれていた。[0004] Software, data files, still images, and other files are also stored in CD-ROMs (read-only).
Optically recordable optical disks for y memory) or CD-I (interactive) have been desired.
【0005】一方、光記録可能型の代表的なものには、
孔あけ型、光磁気型と相変化型がある。孔あけ型として
は、例えばTeSeF合金(特開昭63−18218
8)又は染料等の記録層が用いられ、レーザー光照射に
より局所的に加熱され、孔もしくは凹部が形成される
が、実際上、このような孔あけ型には、記録層上に空隙
が存在しなければならない。このため、2枚のディスク
の記録層を互いに向かい合わせて、スペーサを用いて貼
合わせ、記録層間に空気間隙を形成している。従って、
当然のことながら、このような貼合わせ構成のディスク
では、現在普及しているCD用ドライブには装着不可能
である。[0005] On the other hand, typical optical recording types include:
There are drilling type, magneto-optical type and phase change type. Examples of the perforated type include a TeSeF alloy (JP-A-63-18218).
8) Alternatively, a recording layer such as a dye is used, and is locally heated by laser light irradiation to form holes or recesses. In practice, however, such a punch type has a void on the recording layer. Must. For this reason, the recording layers of the two disks face each other and are bonded using a spacer to form an air gap between the recording layers. Therefore,
As a matter of course, a disk having such a laminated structure cannot be mounted on a CD drive that is currently widely used.
【0006】また、光磁気型は記録層の磁化の向きによ
り記録や消去を行ない、また、磁気光学効果によって再
生を行なうため、反射率の差を利用する従来型のCD用
ドライブでは、再生不可能である。In the magneto-optical type, recording and erasing are performed according to the direction of magnetization of the recording layer, and reproduction is performed by using a magneto-optical effect. It is possible.
【0007】これに対し、相変化型は、相変化前後の反
射率の差により記録や消去を行なうという点でCDと共
通している。この相変化型は、一度記録すると情報が半
永久的に保存される追記型と、記録した情報の消去も可
能な書換型とに分類されるが、媒体の構成には共通点が
多い。該相変化型記録層では、Te−Ge−Sb(特開
昭63−225934)、Te−Ge−Bi(特開昭6
3−225935)、In−Sb−Te(特開平1−1
00748)などが知られているが、これらの記録層薄
膜の吸収係数(複素屈折率の虚数部)は概ね1.0以上
と大きいため、反射率も高々60%しかとれない。従っ
て、CDとの完全な互換性はない。[0007] On the other hand, the phase change type is common to the CD in that recording and erasing are performed by a difference in reflectance before and after the phase change. The phase change type is classified into a write-once type, in which information is stored semi-permanently once recorded, and a rewritable type, in which the recorded information can be erased. In the phase change type recording layer, Te-Ge-Sb (Japanese Patent Application Laid-Open No. 63-225934) and Te-Ge-Bi (Japanese Patent Application Laid-Open No.
3-225935), In-Sb-Te (Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 1-1)
However, since the absorption coefficient (imaginary part of the complex refractive index) of these recording layer thin films is as large as about 1.0 or more, the reflectance is only 60% at most. Therefore, there is no complete compatibility with CDs.
【0008】ところで、CDフォーマット信号の記録を
行なう光ディスクとしては、基板上に色素又は色素を含
むポリマー等からなる記録層を有する光ディスク、及
び、該光ディスクを用いる光情報記録方法が提案されて
いる(特開昭61−237239、61−23944
3)が、これらの光ディスクも反射率、再生信号の変調
度、耐再生光強度という点から実用上十分な性能を有す
るとはいえない。As an optical disk for recording a CD format signal, an optical disk having a recording layer made of a dye or a polymer containing a dye on a substrate and an optical information recording method using the optical disk have been proposed ( JP-A-61-237239 and 61-23944
3) However, these optical discs cannot be said to have practically sufficient performance in terms of reflectance, modulation degree of a reproduction signal, and reproduction light intensity.
【0009】[0009]
【発明が解決しようとする課題】上述の如く、従来にお
いて、光記録が可能で、かつ、現在最も普及している再
生専用型のCD、CD−ROM等と互換性を備え、CD
専用ドライブで直接再生可能な光学的情報記録用媒体は
提供されていない。As described above, conventionally, optical recording is possible, and it is compatible with the most widely used read-only type CDs and CD-ROMs at present.
No optical information recording medium that can be directly reproduced by a dedicated drive is provided.
【0010】本発明は上記従来の実情に鑑み、光記録が
可能であると共に、再生専用型のCD、CD−ROM等
の光ディスクと互換性のある光学的情報記録用媒体を提
供することを目的とする。The present invention has been made in view of the above circumstances, and has as its object to provide an optical information recording medium capable of optical recording and compatible with an optical disk such as a read-only type CD or CD-ROM. And
【0011】[0011]
【課題を解決するための手段】請求項1の光学的情報記
録用媒体は、基板上に記録層、誘電体層及び金属反射層
を順次積層してなり、レーザー光の照射によって該記録
層に誘起される非晶質状態と結晶状態との間の相変化に
より情報の記録を行ない、該相変化に伴なう反射率の低
下によって、情報を読み出す光学的情報記録用媒体であ
って、該記録層の膜厚が200〜1000Åであり、上
記記録による相変化を起こす前の状態において、基板を
介してレーザー光によって読み出した反射率が70%以
上であり、かつ、該記録層の複素屈折率n*=n−ik
が上記記録による相変化を起こす前の状態においてk=
0.1〜1.0の値をとり、相変化の後の状態において
k>0.5であると共に該相変化前より大きな値に変化
し、かつ、nが上記相変化の前後で同一の値とならない
ことを特徴とする。According to a first aspect of the present invention, there is provided an optical information recording medium comprising a recording layer, a dielectric layer, and a metal reflection layer sequentially laminated on a substrate. the amorphous state induced performs a phase change by the recording of information between the crystalline state, by lowering the change of reflectivity associated with a phase change, an optical information recording medium for reading information, the The recording layer has a thickness of 200 to 1000 °, has a reflectance of 70% or more read by a laser beam through a substrate in a state before the above-described phase change due to recording, and has a complex refraction of the recording layer. Rate n * = n-ik
Before the phase change caused by the above-mentioned recording, k =
It takes a value of 0.1 to 1.0, and in the state after the phase change, k> 0.5 and changes to a larger value than before the phase change, and n is the same before and after the phase change. It is characterized by not being a value.
【0012】請求項2の光学的情報記録用媒体は、請求
項1において、該記録層がSb1-xSex (x=0.5
5〜0.65)よりなることを特徴とする。According to a second aspect of the present invention, in the optical information recording medium according to the first aspect, the recording layer is formed of Sb 1 -x Se x (x = 0.5
5 to 0.65).
【0013】請求項3の光学的情報記録用媒体は、請求
項1において、該記録層がGe1-yTey (y=0.4
5〜0.55)よりなることを特徴とする。According to a third aspect of the present invention, in the optical information recording medium according to the first aspect, the recording layer is made of Ge 1 -y Te y (y = 0.4
5 to 0.55).
【0014】請求項4の光学的情報記録用媒体は、請求
項1〜3において、上記相変化前に基板を介して読みだ
した反射率が70%以上80%未満であり、相変化後の
該反射率が50%未満であることを特徴とする。According to a fourth aspect of the present invention, in the optical information recording medium according to the first to third aspects, the reflectance read through the substrate before the phase change is 70% or more and less than 80%, and the reflectance after the phase change is changed. The reflectance is less than 50%.
【0015】即ち、本発明者らは、孔あき・ふくれ等の
物理的変形によらず、記録層の局所的相変化による光記
録が可能で、かつ、70%以上の反射率と十分なコント
ラストを有する記録層材料及び層構成について鋭意研究
を行なった結果、基板とその上に設けた記録層、誘電体
層及び金属反射層からなる光学的情報記録用媒体におい
て、該記録層の複素屈折率n*=n−ikのうち吸収係
数k及びnを特定することにより、上記の目的を達成し
得ることを見出し、本発明を完成させた。That is, the present inventors have made it possible to perform optical recording by a local phase change of a recording layer without physical deformation such as perforation and swelling, and to obtain a reflectance of 70% or more and a sufficient contrast. As a result of diligent research on the recording layer material and the layer configuration having the above, the complex refractive index of the recording layer in an optical information recording medium comprising a substrate and a recording layer, a dielectric layer and a metal reflective layer provided thereon The present inventors have found that the above object can be achieved by specifying the absorption coefficients k and n among n * = n−ik, and completed the present invention.
【0016】[0016]
【作用】以下に本発明を詳細に説明する。The present invention will be described below in detail.
【0017】第1図は、本発明の光学的情報記録用媒体
の一実施例を示す模式的な断面図である。第1図におい
て、1は基板、2は記録層、3は誘電体層、4は金属反
射層である。なお、本発明においては、この記録媒体の
上に、記録層の熱変形防止、機械的強度向上のために、
更に熱硬化性又は光硬化性樹脂によるハードコート層を
設けても良い。FIG. 1 is a schematic sectional view showing an embodiment of the optical information recording medium of the present invention. In FIG. 1, 1 is a substrate, 2 is a recording layer, 3 is a dielectric layer, and 4 is a metal reflection layer. In the present invention, on this recording medium, to prevent thermal deformation of the recording layer, to improve the mechanical strength,
Further, a hard coat layer made of a thermosetting or photocurable resin may be provided.
【0018】基板1の構成材料としては、例えば、ガラ
ス、アクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂など、半導体
レーザーの波長に対して透明な材料であれば、従来基板
材料として慣用されているもののなかから任意のものを
用いることができるが、CDとの互換性という面では、
ポリカーボネート樹脂が望ましい。As a constituent material of the substrate 1, any material that is transparent to the wavelength of a semiconductor laser, such as glass, acrylic resin, or polycarbonate resin, may be selected from those conventionally used as substrate materials. Can be used, but in terms of compatibility with CDs,
Polycarbonate resins are preferred.
【0019】記録層2としては、通常、蒸着或いはスパ
ッタ法によって成膜できる無機薄膜で、成膜直後では非
晶質状態であり、記録によって反射率の低い結晶化ビッ
トが形成されるものを適用する。記録層の相変化前の非
晶質状態での複素屈折率をna *=na −ika 、相変
化後の結晶状態での複素屈折率をnc *=nc −ikc
とすると、na 、nc は一般的に、通常の金属又は半導
体の無機薄膜では3.0〜6.0の範囲にある。ka =
0.1〜1.0であることは、記録層膜厚が200〜1
000Åで反射率70%を得るために必要である。ka
>1.0であれば、記録層膜厚を200Åより薄くする
必要があり、経時安定性及び十分なコントラストが得難
いという不具合がある。また、ka <0.1では記録感
度が著しく悪くなり、通常の半導体レーザーでは記録で
きない。一方、相変化後にkc >0.5でなければ、反
射率の低下が不十分でコントラストが得難い。また、k
a<kc でなければ、やはり反射率の低下によるコント
ラストがとれない。As the recording layer 2, an inorganic thin film which can be generally formed by vapor deposition or sputtering, which is in an amorphous state immediately after film formation, and in which a crystallization bit having a low reflectance is formed by recording is applied. I do. The complex refractive index of the amorphous state before the phase change of the recording layer n a * = n a -ik a , the complex refractive index of the crystal state after the phase change n c * = n c -ik c
Then, n a and n c are generally in the range of 3.0 to 6.0 for a usual inorganic thin film of a metal or semiconductor. k a =
0.1 to 1.0 means that the recording layer thickness is 200 to 1
It is necessary to obtain a reflectance of 70% at 000 °. k a
If> 1.0, it is necessary to make the thickness of the recording layer thinner than 200 °, and it is difficult to obtain stability over time and sufficient contrast. When k a <0.1, the recording sensitivity becomes extremely poor, and recording cannot be performed with a normal semiconductor laser. On the other hand, unless k c > 0.5 after the phase change, the decrease in reflectance is insufficient and it is difficult to obtain contrast. Also, k
Unless a <k c , no contrast can be obtained due to a decrease in reflectance.
【0020】ここで、第2図及び第3図を参照して、反
射率の記録層膜厚依存性に注目し、初期反射率が70%
以上でコントラストが大きくとれる膜厚を選ぶ場合を考
える。第2図に示すna =nc の場合には、単に吸収率
の増大に伴う反射率の低下のみが生じているため、ka
とkc の差が大きくないとコントラストがとり難い。と
ころが、第3図に示すようなnc >na の例では、反射
率極小点が相変化の前後でずれるため、容易に大きなコ
ントラストを得ることができる。nc <na の場合も同
様である。このため、本発明においては、na ≠nc と
する。なお、上記の光学物性に関する条件は、必ずしも
完全な非晶質状態或いは結晶状態において満たされるべ
きものではなく、非晶質状態と結晶状態が混合されたよ
うな状態やいわゆる微結晶状態において満たされていて
も良い。Here, with reference to FIGS. 2 and 3, attention is paid to the dependency of the reflectance on the thickness of the recording layer, and the initial reflectance is 70%.
Consider a case where a film thickness that provides a large contrast is selected as described above. In the case of n a = n c shown in FIG. 2, since only the decrease in the reflectance with the increase in the absorptance occurs, k a
If the difference between k and c is not large, it is difficult to obtain contrast. However, in the example of n c> n a as shown in FIG. 3, the reflectance minimum point is shifted before and after the phase change, it can be obtained easily large contrast. For n c <n a is the same. Therefore, in the present invention, and n a ≠ n c. It should be noted that the above conditions regarding the optical properties are not necessarily satisfied in a completely amorphous state or a crystalline state, but are satisfied in a state where the amorphous state and the crystalline state are mixed or in a so-called microcrystalline state. May be.
【0021】以上のような光学物性を満たす記録層材料
は、例えばGa、Al、Ge、Si、Se、Te、B
i、Sb等の元素からなる合金の組成を最適化すること
により得られる。該合金の結晶化温度は、経時安定性と
いう観点から100℃以上が望ましく、また記録感度と
いう点から300℃未満であることが望ましい。なかで
も、 Sb1-x Sex (x=0.55〜0.65) 又はGe1-y Tey (y=0.45〜0.55) は上記光学物性を満たし得るのみならず、真空蒸着法、
スパッタ法のいずれによっても安定な非晶質状態を形成
する一方、レーザー光照射時に数百nsec以下のパル
スで十分に結晶化でき、光記録に適している。The recording layer materials satisfying the above optical properties include, for example, Ga, Al, Ge, Si, Se, Te, B
It can be obtained by optimizing the composition of an alloy composed of elements such as i and Sb. The crystallization temperature of the alloy is preferably 100 ° C. or higher from the viewpoint of stability over time, and is preferably lower than 300 ° C. from the viewpoint of recording sensitivity. Above all, Sb 1-x Se x (x = 0.55 to 0.65) or Ge 1-y T y (y = 0.45 to 0.55) not only can satisfy the above-mentioned optical properties but also has a vacuum. Evaporation method,
While a stable amorphous state is formed by any of the sputtering methods, it can be sufficiently crystallized with a pulse of several hundred nsec or less during laser light irradiation, and is suitable for optical recording.
【0022】このような組成の合金薄膜の成膜にあたっ
ては、予め組成が調整された合金を用いても、多元蒸着
又はスパッタ法を用いても良い。このようにして形成さ
れる記録層の膜厚は、200〜1000Åとする。即
ち、記録層の膜厚が200Å未満では、記録前後の反射
率の変化即ちコントラストがとり難く、1000Åを超
えると、記録層の熱容量が大きく記録感度が低下する。
特に、記録層膜厚は、Sb1-x Sex (x=0.55〜
0.65)では、600〜700Å、Ge1-y Tey
(y=0.45〜0.55)では400〜470Åであ
ることが好ましい。Sb1-x Sex (x=0.55〜
0.65)又はGex Te1-x (x=0.45〜0.5
5)は、結晶化温度が約200℃で室温では極めて安定
な非晶質状態をとり、かつレーザー光照射時に高速結晶
化が可能である。In forming the alloy thin film having such a composition, an alloy whose composition is adjusted in advance may be used, or a multi-source evaporation or sputtering method may be used. Formed in this way
The thickness of the recording layer to be formed is 200 to 1000 °. That is, if the thickness of the recording layer is less than 200 °, it is difficult to obtain a change in reflectance before and after recording, that is, contrast, and if it exceeds 1000 °, the heat capacity of the recording layer is large and the recording sensitivity decreases.
In particular, the recording layer thickness, Sb 1-x Se x ( x = 0.55~
0.65), 600-700 °, Ge 1-y Te y
At (y = 0.45 to 0.55), the angle is preferably 400 to 470 °. Sb 1-x Se x (x = 0.55 to
0.65) or Ge x Te 1-x (x = 0.45 to 0.5
5) has an extremely stable amorphous state at room temperature with a crystallization temperature of about 200 ° C., and enables high-speed crystallization during laser beam irradiation.
【0023】なお、記録層のSb−Se又はGe−Te
合金薄膜には、必要に応じて第3の元素を添加して、経
時安定性、記録感度、光学物性等を改善することも可能
である。この場合、第3の元素としては、Ge(Sb−
Seの場合)、Te(Sb−Seの場合)、Sb(Ge
−Teの場合)、Se(Ge−Teの場合)、Au、A
g、Cu、Pt、Pd、Co、Ni、Ti等の1種又は
2種以上が挙げられるが、これらの元素に限定されるも
のではない。これらの第3の元素の添加量は主成分であ
るSb−Se又はGe−Teの合計量に対して5原子%
以下(第3の元素が2種以上ある場合には合計で5原子
%以下)とするのが好ましい。これらの第3の元素の具
体的な作用としては、例えば、Au、Ag、Pe、P
d、Co等は結晶化速度を高め、記録時間を短縮する。
また、Bi、Se、Ge、Sb等は非晶質状態の安定化
に作用する。The recording layer Sb-Se or Ge-Te
A third element can be added to the alloy thin film as needed to improve the stability over time, recording sensitivity, optical properties, and the like. In this case, Ge (Sb-
Se), Te (Sb-Se), Sb (Ge
-For Te), Se (for Ge-Te), Au, A
One or more of g, Cu, Pt, Pd, Co, Ni, Ti and the like can be mentioned, but it is not limited to these elements. The amount of addition of these third elements is 5 atomic% with respect to the total amount of Sb-Se or Ge-Te as the main component.
It is preferable that the content be less than or equal to 5 atomic% when there are two or more third elements. Specific actions of these third elements include, for example, Au, Ag, Pe, P
d, Co, etc. increase the crystallization speed and shorten the recording time.
Bi, Se, Ge, Sb, and the like act on stabilization of the amorphous state.
【0024】誘電体層3は、まず干渉効果により、反射
率及びコントラストを制御することを目的に形成され
る。また、誘電体層3の存在により、許容される記録層
膜厚の範囲が広がるといった効果も奏される。そして、
記録層2と反射層4との間に設けた誘電体層3は、記録
層2から反射層4へ熱が逃げるのを防ぎ、記録感度を改
善する効果がある。また、保護層として記録層2の変形
や酸化劣化を防ぐ効果もある。本発明で用いる誘電体層
3の屈折率や膜厚は種々の組み合わせが可能であり、そ
の材質も屈折率、熱伝導率、化学的安定性、機械的強度
に留意して適宜決定される。一般的には、透明性が高く
高融点である、Mg、Ca、Sr、Y、La、Ce、H
o、Er、Yb、Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、
Zn、Al、Si、Ge、Pbなどの酸化物、硫化物、
窒化物やCa、Mg、Liなどのフッ化物を用いること
ができる。これらの酸化物、硫化物、窒化物、フッ化物
は必ずしも化学量論的組成をとる必要はなく、屈折率等
の制御のために組成を制御したり、混合して用いること
も有効である。The dielectric layer 3 is formed first for the purpose of controlling the reflectance and the contrast by the interference effect. In addition, the presence of the dielectric layer 3 also has the effect of widening the allowable range of the recording layer thickness. And
The dielectric layer 3 provided between the recording layer 2 and the reflection layer 4 has an effect of preventing heat from escaping from the recording layer 2 to the reflection layer 4 and improving recording sensitivity. Further, it has an effect of preventing deformation and oxidative deterioration of the recording layer 2 as a protective layer. Various combinations of the refractive index and the film thickness of the dielectric layer 3 used in the present invention are possible, and the material is appropriately determined in consideration of the refractive index, the thermal conductivity, the chemical stability, and the mechanical strength. Generally, Mg, Ca, Sr, Y, La, Ce, H, which are highly transparent and have a high melting point.
o, Er, Yb, Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta,
Oxides such as Zn, Al, Si, Ge and Pb, sulfides,
A nitride or a fluoride such as Ca, Mg, and Li can be used. These oxides, sulfides, nitrides, and fluorides do not always need to have a stoichiometric composition, and it is also effective to control the composition for controlling the refractive index and the like, or to use a mixture.
【0025】本発明においては、誘電体層3の屈折率は
2〜3であることが好ましく、その材質としては特に酸
化タンタル、窒化シリコンが好ましい。また、誘電体層
3の膜厚は100〜5000Å、特に1000〜130
0Åの範囲であることが好ましい。膜厚が100Åより
薄いとビーム照射による記録層2の変形を防止し得ず、
また、5000Åより厚いとクラックが生じ易い。In the present invention, the dielectric layer 3 preferably has a refractive index of 2 to 3, and the material is preferably tantalum oxide or silicon nitride. The thickness of the dielectric layer 3 is 100 to 5000 °, particularly 1000 to 130 °.
It is preferably in the range of 0 °. If the thickness is less than 100 °, deformation of the recording layer 2 due to beam irradiation cannot be prevented,
If the thickness is more than 5000 °, cracks are likely to occur.
【0026】反射層4は反射率のコントラストを大きく
すると共に、記録層2が吸収した熱エネルギーの拡散を
促進する作用を奏するものである。反射層4の構成材料
としては、Au、Ag、Cu、Al又はこれらの金属を
主成分とする合金、特にAuが好ましく、その膜厚は1
00〜5000Å、好ましくは300〜5000Åの範
囲であることが好ましい。膜厚が100Åより薄いと反
射率が低すぎ、5000Åを超えると成膜時間、コスト
の点で不利である。The reflection layer 4 functions to increase the contrast of the reflectance and to promote the diffusion of the thermal energy absorbed by the recording layer 2. As a constituent material of the reflective layer 4, Au, Ag, Cu, Al or an alloy mainly composed of these metals, particularly Au, is preferable.
It is preferably in the range of 00-5000 °, preferably 300-5000 °. If the film thickness is less than 100 °, the reflectance is too low, and if it exceeds 5000 °, the film formation time and cost are disadvantageous.
【0027】本発明の光学的情報記録用媒体における層
構成の設計について述べると、基本的には、第1図に示
した層構成において干渉効果に留意しつつ決定するが、
この際、相変化前の反射率はCD互換性であるために7
0%以上必要である。しかしながら、相変化前の反射率
が80%を超えると記録層に吸収される光エネルギーが
少なくなり、記録感度が極めて悪くなるので80%未満
であることが望ましい。一方、相変化後の反射率は十分
なコントラストを得るために、50%未満であることが
望ましい。従って、第1図に示すような層構成におい
て、基板を介してレーザー光で読み出した非晶質状態で
の反射率が70%以上、好ましくは70%以上80%未
満であり、結晶状態での反射率が50%未満となるよう
に各層の膜厚及び屈折率を選定する。The design of the layer configuration of the optical information recording medium of the present invention will be described. Basically, the layer configuration shown in FIG. 1 is determined while paying attention to the interference effect.
At this time, the reflectance before the phase change is 7 due to CD compatibility.
0% or more is required. However, if the reflectance before the phase change exceeds 80%, the light energy absorbed by the recording layer decreases, and the recording sensitivity becomes extremely poor. Therefore, it is desirable that the reflectance is less than 80%. On the other hand, the reflectance after the phase change is preferably less than 50% in order to obtain a sufficient contrast. Accordingly, in the layer structure as shown in FIG. 1, the reflectance in the amorphous state read out by the laser beam through the substrate is 70% or more, preferably 70% or more and less than 80%, and the reflectance in the crystalline state The thickness and refractive index of each layer are selected so that the reflectance is less than 50%.
【0028】[0028]
【実施例】以下に実験例、実施例及び比較例を挙げて本
発明をより具体的に説明するが、本発明はその要旨を超
えない限り、以下の実施例により限定されるものではな
い。EXAMPLES The present invention will be described more specifically with reference to Experimental Examples, Examples and Comparative Examples, but the present invention is not limited to the following Examples unless it exceeds the gist.
【0029】実験例1 層構成設計の具体例として、Sb40Se60記録層を、誘
電体層には酸化タンタルを、反射層にはAuを用いるこ
ととし、これらの材料の複素屈折率を表1に示すような
波長780nmにおける実測値又は文献値を用いて計算
した。Experimental Example 1 As a specific example of the layer structure design, an Sb 40 Se 60 recording layer, a dielectric layer made of tantalum oxide, and a reflective layer made of Au were used to express the complex refractive indexes of these materials. The calculation was performed using the actual measurement value or the literature value at a wavelength of 780 nm as shown in FIG.
【0030】[0030]
【表1】 [Table 1]
【0031】第4図〜第8図は1000Å以下の種々の
記録層膜厚に対して、上部誘電体層膜厚を変化させた時
の、結晶化前後の反射率を示す。ただし、反射率は基板
を介して光を入射した場合の値である。各図中、⇔で示
された範囲の誘電体層膜厚において、請求項4の要件が
満たされる。図示の如く、記録層膜厚800Å以上で
は、非晶質時の反射率70%以上が確保できない。一
方、記録層膜厚を500Å以下とすると極めて狭い領域
でしか、請求項4の要件が満たされず、かつ該領域での
反射率の膜厚依存性が急峻で製造上好ましくない。記録
層膜厚600〜700Åにおいてのみ、比較的広い誘電
体膜厚において請求項4の要件が満たされる。なお、こ
こで述べた結果は、屈折率が2.1程度である誘電体全
般に成り立つものである。具体的には、ZnS、Si3
N4 等があげられる。また、ここで用いた光学定数に若
干の変動があっても、同様の結果が成り立つ。FIGS. 4 to 8 show the reflectivity before and after crystallization when the thickness of the upper dielectric layer is changed for various recording layer thicknesses of 1000 ° or less. However, the reflectance is a value when light enters through the substrate. In each of the figures, the requirement of claim 4 is satisfied in the range of the thickness of the dielectric layer indicated by the triangle. As shown in the figure, when the recording layer thickness is 800 ° or more, a reflectance of 70% or more in the amorphous state cannot be secured. On the other hand, if the thickness of the recording layer is set to 500 ° or less, the requirement of claim 4 is satisfied only in an extremely narrow region, and the film thickness dependence of the reflectance in this region is steep, which is not preferable in manufacturing. Only when the recording layer thickness is 600 to 700 °, the requirement of claim 4 is satisfied at a relatively wide dielectric film thickness. Note that the results described here are valid for all dielectrics having a refractive index of about 2.1. Specifically, ZnS, Si 3
N 4 and the like. Further, even if the optical constants used here slightly change, the same result is obtained.
【0032】実験例2 Ge50Te50記録層について、実験例1と同様にして評
価を行なった。なお、各材料の複素屈折率は表2に示す
ような波長780nmにおける実測値を用いて計算を行
なった。Experimental Example 2 The Ge 50 Te 50 recording layer was evaluated in the same manner as in Experimental Example 1. Note that the complex refractive index of each material was calculated using an actual measurement value at a wavelength of 780 nm as shown in Table 2.
【0033】[0033]
【表2】 [Table 2]
【0034】第9図〜第13図に、種々の記録層膜厚に
おける、結晶化前後での反射率の誘電体膜厚依存性を示
す。請求項4の要件を満たすように、横軸の酸化タンタ
ル層の膜厚を調節して反射率の制御を行なったが、記録
層膜厚が400Å未満及び470Åを超える範囲では上
記の条件を満たすことはできない。記録層膜厚400〜
470Åにおいてのみ、上記反射率に関する条件を満た
すことがわかる。この時、酸化タンタル層の膜厚は10
00〜1300Åでなければならない。なお、ここで得
られた結果は屈折率2.1程度のすべての誘電体におい
て成立する。具体的にはZnS、Si3 N4 等が挙げら
れる。FIGS. 9 to 13 show the dependence of the reflectance before and after crystallization on the dielectric film thickness for various recording layer thicknesses. The reflectivity was controlled by adjusting the thickness of the tantalum oxide layer on the horizontal axis so as to satisfy the requirement of claim 4, but the above conditions were satisfied when the thickness of the recording layer was less than 400 ° and more than 470 °. It is not possible. Recording layer thickness 400 ~
Only at 470 °, it can be seen that the condition regarding the reflectance is satisfied. At this time, the thickness of the tantalum oxide layer is 10
It must be between 00 and 1300 °. Note that the results obtained here hold for all dielectrics having a refractive index of about 2.1. Specific examples include ZnS and Si 3 N 4 .
【0035】実施例1及び比較例1 ガラス基板及びポリカーボネート樹脂基板上に、それぞ
れ、Sb45Se55なる非晶質膜をスパッタ法により70
0Åの厚さに形成し、引き続きTaをArと酸素の混合
ガス雰囲気中で反応性スパッタし、厚さ1800Åの酸
化タンタル膜を形成した。最後にやはりスパッタ法によ
りAuを2000Å厚さに成膜し、第1図に示す層構成
の記録媒体を作成した。Example 1 and Comparative Example 1 An amorphous film of Sb 45 Se 55 was formed on a glass substrate and a polycarbonate resin substrate by sputtering, respectively.
Then, Ta was reactively sputtered in a mixed gas atmosphere of Ar and oxygen to form a tantalum oxide film having a thickness of 1800 °. Finally, a film of Au was formed to a thickness of 2,000 mm by the sputtering method to prepare a recording medium having a layer structure shown in FIG.
【0036】また、比較例1として酸化タンタル層を形
成しないこと以外は同様にして記録媒体を作製した。た
だし、記録前の反射率を70%以上とするため、記録層
膜厚を200Å又は1000Åとした。なお、この場合
記録層の変形を防止するため、ハードコート層が不可欠
となる。Also, as Comparative Example 1, a recording medium was produced in the same manner except that no tantalum oxide layer was formed. However, in order to make the reflectance before recording 70% or more, the recording layer thickness was set to 200 ° or 1000 °. In this case, a hard coat layer is indispensable to prevent deformation of the recording layer.
【0037】ガラス基板を用いた試料を昇温し、反射率
が急減した温度をもって結晶化温度の評価を行なったと
ころ、実施例1、比較例1ともに約220℃であった。
表3に結晶化前後での反射率を示す。実施例1、比較例
1ともに結晶化前の反射率70%以上80%未満、結晶
化後の反射率50%未満が得られた。The temperature of the sample using the glass substrate was raised, and the crystallization temperature was evaluated at the temperature at which the reflectance sharply decreased. As a result, the temperature was about 220 ° C. in both Example 1 and Comparative Example 1.
Table 3 shows the reflectance before and after crystallization. In both Example 1 and Comparative Example 1, the reflectance before crystallization was 70% or more and less than 80%, and the reflectance after crystallization was less than 50%.
【0038】なお、記録層の結晶化前の複素屈折率は、
3.8−0.25iであり、結晶化後の屈折率は4.7
−0.8iであった。ただし、以上の測定はすべて波長
780nmの半導体レーザーを用いて行なった。The complex refractive index of the recording layer before crystallization is as follows:
3.8-0.25i, and the refractive index after crystallization is 4.7.
-0.8i. However, all of the above measurements were performed using a semiconductor laser having a wavelength of 780 nm.
【0039】[0039]
【表3】 [Table 3]
【0040】次に、ポリカーボネート樹脂基板を用いた
試料を線速1.4m/sで回転させ、波長780nmの
半導体レーザー光を照射し、周波数200kHzで種々
のデューティーのパルス波形により記録を行なった。記
録前の再生信号レベルをRa、記録後の再生信号の波形
で最も反射率が低下した部分の信号レベルをRcとし、
コントラストを以下の式で定義した。Next, the sample using the polycarbonate resin substrate was rotated at a linear velocity of 1.4 m / s, irradiated with a semiconductor laser beam having a wavelength of 780 nm, and recorded at a frequency of 200 kHz with various duty pulse waveforms. Ra represents a reproduction signal level before recording, and Rc represents a signal level of a portion of the waveform of the reproduction signal after recording where the reflectance is most reduced.
Contrast was defined by the following equation.
【0041】[0041]
【数1】 (Equation 1)
【0042】レーザーの最大出力15mwで記録を行な
ったところ、実施例1では最大60%のコントラストが
得られた。一方、比較例1では15mwで最大10〜2
0%のコントラストしか得られなかった。これは記録層
から反射層への熱の逃げが大きく、十分な結晶化ができ
なかったためと考えられる。なお、実施例1において
は、C/N比50dBが得られた。When recording was performed with a maximum laser output of 15 mw, a maximum contrast of 60% was obtained in Example 1. On the other hand, in Comparative Example 1, the maximum was 10 to 2 at 15 mw.
Only 0% contrast was obtained. This is presumably because heat escaped from the recording layer to the reflective layer so much that sufficient crystallization could not be achieved. In Example 1, a C / N ratio of 50 dB was obtained.
【0043】実施例2 ガラス基板及びポリカーボネート樹脂基板上に、Sb45
Se55なる非晶質膜をスパッタ法により650Åの厚さ
に形成し、引き続きTaをArと酸素の混合ガス雰囲気
中で反応性スパッタし、厚さ1000Åの酸化タンタル
膜を形成した。最後にやはりスパッタ法によりAuを2
000Å厚さに成膜し、第1図に示す層構成の記録媒体
を作成した。Example 2 On a glass substrate and a polycarbonate resin substrate, Sb 45
An amorphous film of Se 55 was formed to a thickness of 650 ° by a sputtering method, and then Ta was reactively sputtered in a mixed gas atmosphere of Ar and oxygen to form a tantalum oxide film having a thickness of 1000 °. Finally, Au was also added by sputtering method.
A recording medium having a layer structure shown in FIG.
【0044】ガラス基板を用いた試料を昇温し、反射率
が急減した温度をもって結晶化温度の評価を行なったと
ころ、約220℃であった。結晶化前の反射率72%、
結晶化後の反射率45%が得られた。なお、記録層の結
晶化前の複素屈折率は、3.8−0.25iであり、結
晶化後の屈折率は4.7−0.8iであった。ただし、
以上の測定はすべて波長780nmの半導体レーザーを
用いて行なった。The temperature of the sample using the glass substrate was raised, and the crystallization temperature was evaluated at a temperature at which the reflectance sharply decreased. 72% reflectance before crystallization,
A reflectance of 45% after crystallization was obtained. The complex refractive index of the recording layer before crystallization was 3.8-0.25i, and the refractive index after crystallization was 4.7-0.8i. However,
All of the above measurements were performed using a semiconductor laser having a wavelength of 780 nm.
【0045】次に、ポリカーボネート樹脂基板を用いた
試料を線速1.4m/sで回転させ、波長780nmの
反動体レーザー光を照射し、周波数500kHzで種々
のデューティーのパルス波形により記録を行なった。記
録前の再生信号レベルをRa、記録後の再生信号の波形
で最も反射率が低下した部分の信号レベルをRcとし、
実施例1に示す式で定義し、レーザーのパワー15mw
で記録を行なったところ、最大50%のコントラストが
得られた。またC/N比50dBが得られた。Next, the sample using the polycarbonate resin substrate was rotated at a linear velocity of 1.4 m / s, irradiated with a reaction body laser beam having a wavelength of 780 nm, and recording was performed with a pulse waveform of 500 kHz and various duties. . Ra represents a reproduction signal level before recording, and Rc represents a signal level of a portion of the waveform of the reproduction signal after recording where the reflectance is most reduced.
Defined by the formula shown in Example 1, the laser power 15 mw
As a result, a maximum contrast of 50% was obtained. A C / N ratio of 50 dB was obtained.
【0046】比較例2 実施例1において記録層膜厚を100〜1500Åまで
ほぼ100Å刻みで成膜し、酸化タンタル層を介さず直
接Au層を2000Å厚さに成膜した。このうち記録層
膜厚200Å及び1000Å付近で非晶質状態の反射率
70〜80%、結晶化後の反射率50%未満の媒体を得
た。これらに対し、線速1.4m/sで回転させながら
記録を試みたが、最大15mwの記録パワーをもってし
てもコントラスト10〜20%しか得られなかった。こ
れは、記録層から反射層への熱の逃げが大きく、十分な
結晶化ができなかったためと考えられる。また、酸化タ
ンタルを用いない層構成では、記録層膜厚の変動に対し
て反射率変動が大きく、均一な反射率を得ることが困難
であった。COMPARATIVE EXAMPLE 2 In Example 1, the recording layer was formed in a thickness of 100 to 1500.degree. In steps of almost 100.degree., And an Au layer was directly formed to a thickness of 2000.degree. Without a tantalum oxide layer. Among these, a medium having a reflectance of 70 to 80% in an amorphous state and a reflectance of less than 50% after crystallization was obtained at a recording layer thickness of around 200 ° and 1000 °. On the other hand, recording was attempted while rotating at a linear velocity of 1.4 m / s, but a contrast of only 10 to 20% was obtained even with a maximum recording power of 15 mw. This is presumably because heat escaped from the recording layer to the reflective layer so much that sufficient crystallization could not be achieved. Further, in a layer configuration not using tantalum oxide, the variation in the reflectance is large with respect to the variation in the thickness of the recording layer, and it is difficult to obtain a uniform reflectance.
【0047】実施例3 ガラス基板及びポリカーボネート樹脂基板上に、それぞ
れGe45Te55なる非晶質膜をスパッタ法により450
Åの厚さに形成し、引き続きTaをArと酸素の混合ガ
ス雰囲気中で反応性スパッタし、厚さ1300Åの酸化
タンタル膜を形成した。最後にやはりスパッタ法により
Auを2000Å厚さに成膜し、第1図に示す層構成の
記録媒体を作成した。Example 3 An amorphous film of Ge 45 Te 55 was respectively formed on a glass substrate and a polycarbonate resin substrate by a sputtering method.
Then, Ta was reactively sputtered in a mixed gas atmosphere of Ar and oxygen to form a 1300-mm-thick tantalum oxide film. Finally, a film of Au was formed to a thickness of 2,000 mm by the sputtering method to prepare a recording medium having a layer structure shown in FIG.
【0048】ガラス基板を用いた試料を昇温し、反射率
が急減した温度をもって結晶化温度の評価を行なったと
ころ、約200℃であった。波長780nmにおいて、
結晶化前の反射率75%、結晶化後の反射率47%が得
られた。又、結晶化前の複素屈折率は、波長780nm
において4.0−0.9i、結晶化後は5.4〜3.6
iであった。The temperature of the sample using the glass substrate was raised, and the crystallization temperature was evaluated at a temperature at which the reflectance sharply decreased. At a wavelength of 780 nm,
A reflectance of 75% before crystallization and a reflectance of 47% after crystallization were obtained. The complex refractive index before crystallization has a wavelength of 780 nm.
4.0-0.9i, and 5.4-3.6 after crystallization.
i.
【0049】次に、ポリカーボネート樹脂基板を用いた
試料を線速1.4m/sで回転させ、波長780nmの
半導体レーザー光を照射し、周波数200kHzで種々
のデューテイーのパルス波形により記録を行なった。記
録前の再生信号レベルをRa、記録後の再生信号の波形
で最も反射率が低下した部分の信号レベルをRcとし、
コントラスト実施例1に示す式で定義し、レーザーのパ
ワー12mwで記録を行なったところ、最大40%のコ
ントラストが得られた。またC/N比45dBが得られ
た。Next, the sample using the polycarbonate resin substrate was rotated at a linear velocity of 1.4 m / s, irradiated with a semiconductor laser beam having a wavelength of 780 nm, and recorded at a frequency of 200 kHz with various duty pulse waveforms. Ra represents a reproduction signal level before recording, and Rc represents a signal level of a portion of the waveform of the reproduction signal after recording where the reflectance is most reduced.
Contrast Defined by the formula shown in Example 1, when recording was performed with a laser power of 12 mw, a maximum contrast of 40% was obtained. A C / N ratio of 45 dB was obtained.
【0050】実施例4 ガラス基板上にSb40Se60なる組成の薄膜を600Å
又は700Åの厚みに真空蒸着し、この上に表4に示す
種々の厚みの酸化タンタル膜を反応性スパッタリング法
により形成し、更にこの上に金を2000Åの厚みに真
空蒸着した。なお、記録層の組成は、蛍光X線法によっ
て決定したが、±3%程度のばらつきが存在した。Example 4 A thin film having a composition of Sb 40 Se 60 was formed on a glass substrate at 600 ° C.
Alternatively, vacuum evaporation was performed to a thickness of 700 °, and tantalum oxide films having various thicknesses shown in Table 4 were formed thereon by a reactive sputtering method, and gold was further vacuum-deposited thereon to a thickness of 2000 °. Note that the composition of the recording layer was determined by the X-ray fluorescence method, and there was a variation of about ± 3%.
【0051】上記層各種構成における結晶化前後の基板
側から読み出した反射率及びコントラストを表4に示
す。Table 4 shows the reflectance and contrast read from the substrate side before and after crystallization in the above various layer constitutions.
【0052】[0052]
【表4】 [Table 4]
【0053】表4のNo. 1〜5のものは、すべて本発明
要件を満たし、かつ、第6図、第7図の計算値と実験誤
差(±5%)の範囲内でほぼ一致する。また、コントラ
ストとして最大71%が得られた。なお、記録層の結晶
化前の複素屈折率は3.8−0.25iであり、結晶化
後は4.7−0.8iであった。Nos. 1 to 5 in Table 4 all satisfy the requirements of the present invention, and substantially agree with the calculated values in FIGS. 6 and 7 within the range of an experimental error (± 5%). In addition, a maximum of 71% was obtained as the contrast. The complex refractive index of the recording layer before crystallization was 3.8-0.25i, and after the crystallization was 4.7-0.8i.
【0054】比較例3 記録層としてGe12Sb40Te48膜を用いたところ10
0Å以上の膜厚では、反射層構造をもってしても非晶質
状態の反射率70%以上を得ることはできなかった。こ
れは、この記録層の複素屈折率が、結晶化前で3.8−
2.0i、結晶化後で5.5〜3.8iで、非晶質状態
における吸収係数が大きすぎるためであり、この複素屈
折率においては、記録層膜厚を100Å以下という非実
用的な値としない限り、反射率70%以上が得られない
ことは、干渉効果を考慮した計算結果からも結論でき
た。また、このような膜厚では結晶化後の反射率を50
%未満とすることは困難であることも簡単な計算から結
論できる。Comparative Example 3 A Ge 12 Sb 40 Te 48 film was used as the recording layer.
With a film thickness of 0 ° or more, it was not possible to obtain a reflectance of 70% or more in an amorphous state even with a reflective layer structure. This is because the complex refractive index of the recording layer is 3.8- before crystallization.
2.0i, and 5.5-3.8i after crystallization, because the absorption coefficient in the amorphous state is too large. It can be concluded from the calculation result in consideration of the interference effect that a reflectance of 70% or more cannot be obtained unless the value is set to a value. At such a film thickness, the reflectance after crystallization is 50
It can also be concluded from a simple calculation that it is difficult to make it less than%.
【0055】なお、本発明者らの検討結果によれば、特
開昭62−209742、63−225934等で公開
されているような組成のGe−Sb−Te合金膜記録層
では非晶質状態の吸収係数が1.0以下となる記録層は
得られなかった。According to the results of the study by the present inventors, the Ge—Sb—Te alloy film recording layer having the composition disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 62-209742 and 63-225934 has an amorphous state. No recording layer having an absorption coefficient of 1.0 or less was obtained.
【0056】[0056]
【発明の効果】以上詳述した通り、本発明の光学的情報
記録用媒体によれば、光記録が可能でしかもCD専用ド
ライブにより直接再生可能な高特性光学的情報記録用媒
体が提供される。As described in detail above, according to the optical information recording medium of the present invention, a high-performance optical information recording medium capable of optical recording and directly reproducible by a CD-only drive is provided. .
【図1】第1図は本発明の光学的情報記録用媒体の一実
施例を示す模式的な断面図である。FIG. 1 is a schematic sectional view showing one embodiment of an optical information recording medium of the present invention.
【図2】第2図は反射率の記録層膜厚依存性を示すグラ
フである。FIG. 2 is a graph showing the dependency of the reflectance on the thickness of a recording layer.
【図3】第3図は反射率の記録層膜厚依存性を示すグラ
フである。FIG. 3 is a graph showing the dependency of the reflectance on the thickness of a recording layer.
【図4】第4図は実験例1の結果(記録層膜厚400Å
の場合)を示すグラフである。FIG. 4 shows the results of Experimental Example 1 (recording layer thickness 400 °).
FIG.
【図5】第5図は実験例1の結果(記録層膜厚500Å
の場合)を示すグラフである。FIG. 5 shows the results of Experimental Example 1 (recording layer thickness 500 °).
FIG.
【図6】第6図は実験例1の結果(記録層膜厚600Å
の場合)を示すグラフである。FIG. 6 shows the results of Experimental Example 1 (recording layer thickness: 600 °).
FIG.
【図7】第7図は実験例1の結果(記録層膜厚700Å
の場合)を示すグラフである。FIG. 7 shows the results of Experimental Example 1 (recording layer thickness 700 °).
FIG.
【図8】第8図は実験例1の結果(記録層膜厚800,
900Åの場合)を示すグラフである。FIG. 8 shows the results of Experimental Example 1 (recording layer thickness 800,
FIG.
【図9】第9図は実験例2の結果(記録層膜厚400Å
の場合)を示すグラフである。FIG. 9 shows the results of Experimental Example 2 (recording layer thickness 400 °).
FIG.
【図10】第10図は実験例2の結果(記録層膜厚43
0Åの場合)を示すグラフである。FIG. 10 shows the results of Experimental Example 2 (recording layer thickness 43).
(Case of 0 °).
【図11】第11図は実験例2の結果(記録層膜厚45
0Åの場合)を示すグラフである。FIG. 11 shows the results of Experimental Example 2 (recording layer thickness 45).
(Case of 0 °).
【図12】第12図は実験例2の結果(記録層膜厚47
0Åの場合)を示すグラフである。FIG. 12 shows the results of Experimental Example 2 (recording layer thickness 47).
(Case of 0 °).
【図13】第13図は実験例2の結果(記録層膜厚50
0Åの場合)を示すグラフである。FIG. 13 shows the results of Experimental Example 2 (recording layer thickness 50).
(Case of 0 °).
1 基板 2 記録層 3 誘電体層 4 反射層 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Substrate 2 Recording layer 3 Dielectric layer 4 Reflection layer
Claims (4)
層を順次積層してなり、レーザー光の照射によって該記
録層に誘起される非晶質状態と結晶状態との間の相変化
により情報の記録を行ない、該相変化に伴なう反射率の
低下によって、情報を読み出す光学的情報記録用媒体で
あって、該記録層の膜厚が200〜1000Åであり、 上記記録
による相変化を起こす前の状態において、基板を介して
レーザー光によって読み出した反射率が70%以上であ
り、かつ、該記録層の複素屈折率n*=n−ikが上記
記録による相変化を起こす前の状態においてk=0.1
〜1.0の値をとり、相変化の後の状態においてk>
0.5であると共に該相変化前より大きな値に変化し、
かつ、nが上記相変化の前後で同一の値とならないこと
を特徴とする光学的情報記録用媒体。1. A phase change between an amorphous state and a crystalline state induced in a recording layer by laminating a recording layer, a dielectric layer, and a metal reflection layer in this order on a substrate. An optical information recording medium from which information is read out by reading the information due to a decrease in the reflectance accompanying the phase change, wherein the thickness of the recording layer is 200 to 1000 ° In a state before the change occurs, the reflectance read by the laser beam through the substrate is 70% or more, and the complex refractive index n * = n-ik of the recording layer is changed before the phase change due to the recording. K = 0.1 in the state of
~ 1.0, and in the state after the phase change, k>
0.5 and a value larger than before the phase change,
An optical information recording medium wherein n does not become the same before and after the phase change.
〜0.65)よりなることを特徴とする請求項1に記載
の光学的情報記録用媒体。2. The recording layer according to claim 1, wherein said recording layer is Sb 1-x Se x (x = 0.55).
The optical information recording medium according to claim 1, wherein the optical information recording medium comprises: -0.65).
〜0.55)よりなることを特徴とする請求項1に記載
の光学的情報記録用媒体。3. The recording layer according to claim 1, wherein Ge 1-y Te y (y = 0.45)
2. The optical information recording medium according to claim 1, wherein the optical information recording medium comprises:
反射率が70%以上80%未満であり、相変化後の該反
射率が50%未満であることを特徴とする請求項1〜3
のいずれか1項に記載の光学的情報記録用媒体。4. The reflectance read out through the substrate before the phase change is 70% or more and less than 80%, and the reflectance after the phase change is less than 50%. 3
The optical information recording medium according to any one of the above items.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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