JPH04228126A - Optical information recording medium - Google Patents

Optical information recording medium

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JPH04228126A
JPH04228126A JP3097031A JP9703191A JPH04228126A JP H04228126 A JPH04228126 A JP H04228126A JP 3097031 A JP3097031 A JP 3097031A JP 9703191 A JP9703191 A JP 9703191A JP H04228126 A JPH04228126 A JP H04228126A
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reflectance
recording layer
recording
layer
phase change
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Yoshimitsu Kobayashi
喜光 小林
Michikazu Horie
通和 堀江
Hidemi Yoshida
秀実 吉田
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Mitsubishi Kasei Corp
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Mitsubishi Kasei Corp
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Abstract

PURPOSE:To provide an optical information recording medium capable of optically recording and interchangeable with a reproduction-only CD, a CD-ROM, etc. CONSTITUTION:A recording layer 2, a dielectric layer 3 and a metallic reflecting layer 4 are successively laminated on a substrate 1 to constitute the optical information recording medium. Information is recorded by the phase transition between the amorphous and crystalline states induced in the recording layer by the irradiation with a laser beam, and the information is read by a decrease in reflectivity resulting from the phase transition. Before the phase transition is caused by the recording, the reflectivity read by the laser beam through the substrate is >=70%. The complex index of refraction n*=n-ik is k=0.1-1.0 before the phase transition by the record and k>0.5 after the phase transition which is larger than before the phase transition, and n is not the same value before and after the phase transition. In formation is recorded by the phase transition between amorphous and crystalline states induced in the recording layer by the irradiation with a laser beam, and the information is read by a decrease in reflectivity resulting from the phase transition.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【0001】0001

【産業上の利用分野】本発明は光学的情報記録用媒体に
係り、特に従来の再生専用のディスク、所謂コンパクト
・ディスク(CD)専用ドライブにより直接再生(Di
rect read after write:DRA
W)が可能であって、しかも光記録が可能な新規な光学
的情報記録用媒体に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to optical information recording media, and in particular to direct playback (Di
rect read after write:DRA
The present invention relates to a novel optical information recording medium which is capable of W) and which is also capable of optical recording.

【0002】0002

【従来の技術】光ディスクには再生専用型と光記録可能
型とがある。再生専用型はビデオディスク、オーディオ
ディスク、更には大容量コンピュータ用ディスクメモリ
ーとして、既に広くその専用ドライブが普及している。 これらのうちで、音楽等のオーディオ再生用として、コ
ンパクトディスク(CD)が広く実用化されている。
2. Description of the Related Art Optical discs include read-only types and optically recordable types. Playback-only drives are already widely used for video discs, audio discs, and even large-capacity computer disc memories. Among these, compact discs (CDs) are widely put into practical use for audio playback such as music.

【0003】コンパクトディスク(CD)は、CDフォ
ーマット化されたEFM(Eight toFourt
een Modulation)信号の孔(ピット)を
プラスチックからなる基板に転写し、その上にアルミニ
ウム等の金属からなる反射膜及び保護膜を設けて実用に
供されている。CDからの情報の読み取りは、半導体レ
ーザービームを光ディスクに照射することにより行なわ
れ、ピットの有無による反射率の変化によってCDフォ
ーマット信号等が読み取られる。この際、従来のCDは
70%以上の高い反射率と60%以上の変調度を有する
のが特徴であるが、このような再生専用CDでは、情報
の記録・編集等ができないという欠点を有しているため
、光記録可能なCDの開発が望まれていた。
[0003] Compact discs (CDs) are CD-formatted EFM (Eight to Four) discs.
It is put into practical use by transferring the holes (pits) of the een Modulation signal onto a substrate made of plastic, and then providing a reflective film and a protective film made of metal such as aluminum thereon. Information from a CD is read by irradiating the optical disc with a semiconductor laser beam, and CD format signals and the like are read based on changes in reflectance depending on the presence or absence of pits. In this case, conventional CDs are characterized by having a high reflectance of 70% or more and a modulation degree of 60% or more, but such read-only CDs have the disadvantage that information cannot be recorded or edited. Therefore, it has been desired to develop an optically recordable CD.

【0004】また、ソフトウェア、データファイル、静
止画像等のファイルにおいてもCD・ROM(read
 only memory)またはCD−I(inte
ractive)用の光記録可能な光ディスクが望まれ
ていた。
[0004] Files such as software, data files, and still images are also stored on CD/ROM (read
only memory) or CD-I (inte
There has been a desire for an optically recordable optical disc for use in the Ractive.

【0005】一方、光記録可能型の代表的なものには、
孔あけ型、光磁気型と相変化型がある。孔あけ型として
は、例えばTeSeF合金(特開昭63−182188
)又は染料等の記録層が用いられ、レーザー光照射によ
り局所的に加熱され、孔もしくは凹部が形成されるが、
実際上、このような孔あけ型には、記録層上に空隙が存
在しなければならない。このため、2枚のディスクの記
録層を互いに向かい合わせて、スペーサを用いて貼合わ
せ、記録層間に空気間隙を形成している。従って、当然
のことながら、このような貼合わせ構成のディスクでは
、現在普及しているCD用ドライブには装着不可能であ
る。
On the other hand, typical optical recordable types include:
There are drilling types, magneto-optical types and phase change types. For example, TeSeF alloy (Japanese Patent Laid-Open No. 63-182188
) or dye is used, and is locally heated by laser beam irradiation to form holes or recesses.
In practice, such a punching die requires the presence of voids on the recording layer. For this reason, the recording layers of two disks are faced to each other and bonded together using a spacer to form an air gap between the recording layers. Therefore, as a matter of course, a disc with such a laminated structure cannot be installed in the currently popular CD drive.

【0006】また、光磁気型は記録層の磁化の向きによ
り記録や消去を行ない、また、磁気光学効果によって再
生を行なうため、反射率の差を利用する従来型のCD用
ドライブでは、再生不可能である。
Furthermore, since the magneto-optical type performs recording and erasing depending on the direction of magnetization of the recording layer, and also performs reproduction using the magneto-optic effect, conventional CD drives that utilize the difference in reflectance may not be able to reproduce the data. It is possible.

【0007】これに対し、相変化型は、相変化前後の反
射率の差により記録や消去を行なうという点でCDと共
通している。この相変化型は、一度記録すると情報が半
永久的に保存される追記型と、記録した情報の消去も可
能な書換型とに分類されるが、媒体の構成には共通点が
多い。該相変化型記録層では、Te−Ge−Sb(特開
昭63−225934)、Te−Ge−Bi(特開昭6
3−225935)、In−Sb−Te(特開平1−1
00748)などが知られているが、これらの記録層薄
膜の吸収係数(複素屈折率の虚数部)は概ね1.0以上
と大きいため、反射率も高々60%しかとれない。従っ
て、CDとの完全な互換性はない。
On the other hand, the phase change type is similar to the CD in that recording and erasing are performed based on the difference in reflectance before and after the phase change. The phase change type is classified into a write-once type in which information is stored semi-permanently once it is recorded, and a rewritable type in which the recorded information can also be erased, but the configurations of the media have many things in common. In the phase change type recording layer, Te-Ge-Sb (JP-A-63-225934) and Te-Ge-Bi (JP-A-63-225934) are used.
3-225935), In-Sb-Te (JP-A-1-1
00748), etc., but since the absorption coefficient (imaginary part of the complex refractive index) of these recording layer thin films is large, approximately 1.0 or more, the reflectance can only be 60% at most. Therefore, it is not completely compatible with CD.

【0008】ところで、CDフォーマット信号の記録を
行なう光ディスクとしては、基板上に色素又は色素を含
むポリマー等からなる記録層を有する光ディスク、及び
、該光ディスクを用いる光情報記録方法が提案されてい
る(特開昭61−237239、61−239443)
が、これらの光ディスクも反射率、再生信号の変調度、
耐再生光強度という点から実用上十分な性能を有すると
はいえない。
By the way, as an optical disk for recording CD format signals, an optical disk having a recording layer made of a dye or a polymer containing a dye on a substrate, and an optical information recording method using the optical disk have been proposed ( JP 61-237239, 61-239443)
However, these optical discs also have different reflectance, modulation degree of playback signal,
It cannot be said that it has practically sufficient performance in terms of resistance to reproduction light intensity.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】上述の如く、従来にお
いて、光記録が可能で、かつ、現在最も普及している再
生専用型のCD、CD−ROM等と互換性を備え、CD
専用ドライブで直接再生可能な光学的情報記録用媒体は
提供されていない。
[Problems to be Solved by the Invention] As mentioned above, in the past, optical recording is possible, and the CD is compatible with the currently most popular read-only type CD, CD-ROM, etc.
Optical information recording media that can be directly played back with a dedicated drive are not available.

【0010】本発明は上記従来の実情に鑑み、光記録が
可能であると共に、再生専用型のCD、CD−ROM等
の光ディスクと互換性のある光学的情報記録用媒体を提
供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above-mentioned conventional circumstances, an object of the present invention is to provide an optical information recording medium that is capable of optical recording and is compatible with read-only optical discs such as CDs and CD-ROMs. shall be.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】請求項1の光学的情報記
録用媒体は、基板上に記録層、誘電体層及び金属反射層
を順次積層してなり、レーザー光の照射によって該記録
層に誘起される非晶質状態と結晶状態との間の相変化に
より情報の記録を行ない、該相変化に伴なう反射率の低
下によって、情報を読み出す光学的情報記録用媒体であ
って、上記記録による相変化を起こす前の状態において
、基板を介してレーザー光によって読み出した反射率が
70%以上であり、かつ、該記録層の複素屈折率n*=
n−ikが上記記録による相変化を起こす前の状態にお
いてk=0.1〜1.0の値をとり、相変化の後の状態
においてk>0.5であると共に該相変化前より大きな
値に変化し、かつ、nが上記相変化の前後で同一の値と
ならないことを特徴とする。
[Means for Solving the Problems] The optical information recording medium according to claim 1 comprises a recording layer, a dielectric layer and a metal reflective layer sequentially laminated on a substrate, and the recording layer is irradiated with a laser beam. An optical information recording medium in which information is recorded by an induced phase change between an amorphous state and a crystalline state, and information is read out by a decrease in reflectance accompanying the phase change, the medium comprising: In a state before a phase change occurs due to recording, the reflectance read out by a laser beam through the substrate is 70% or more, and the complex refractive index n*=
n-ik takes a value of k = 0.1 to 1.0 in the state before the phase change as recorded above, and k > 0.5 in the state after the phase change and is larger than before the phase change. The phase change is characterized in that n does not have the same value before and after the phase change.

【0012】請求項2の光学的情報記録用媒体は、請求
項1において、該記録層がSb1−xSex (x=0
.55〜0.65)よりなることを特徴とする。
[0012] The optical information recording medium according to claim 2 is the optical information recording medium according to claim 1, wherein the recording layer is Sb1-xSex (x=0
.. 55 to 0.65).

【0013】請求項3の光学的情報記録用媒体は、請求
項1において、該記録層がGe1−yTey (y=0
.45〜0.55)よりなることを特徴とする。
[0013] The optical information recording medium according to claim 3 is the optical information recording medium according to claim 1, wherein the recording layer has Ge1-yTey (y=0
.. 45 to 0.55).

【0014】請求項4の光学的情報記録用媒体は、請求
項1〜3において、上記相変化前に基板を介して読みだ
した反射率が70%以上80%未満であり、相変化後の
該反射率が50%未満であることを特徴とする。
[0014] In the optical information recording medium according to claim 4, according to any one of claims 1 to 3, the reflectance read out through the substrate before the phase change is 70% or more and less than 80%, and the reflectance after the phase change is It is characterized in that the reflectance is less than 50%.

【0015】即ち、本発明者らは、孔あき・ふくれ等の
物理的変形によらず、記録層の局所的相変化による光記
録が可能で、かつ、70%以上の反射率と十分なコント
ラストを有する記録層材料及び層構成について鋭意研究
を行なった結果、基板とその上に設けた記録層、誘電体
層及び金属反射層からなる光学的情報記録用媒体におい
て、該記録層の複素屈折率n*=n−ikのうち吸収係
数k及びnを特定することにより、上記の目的を達成し
得ることを見出し、本発明を完成させた。
That is, the present inventors have discovered that optical recording is possible by local phase change of the recording layer without physical deformation such as holes or blistering, and that the recording layer has a reflectance of 70% or more and sufficient contrast. As a result of intensive research on recording layer materials and layer configurations that have a The present invention has been completed by discovering that the above object can be achieved by specifying the absorption coefficients k and n out of n*=n-ik.

【0016】[0016]

【作用】以下に本発明を詳細に説明する。[Operation] The present invention will be explained in detail below.

【0017】第1図は、本発明の光学的情報記録用媒体
の一実施例を示す模式的な断面図である。第1図におい
て、1は基板、2は記録層、3は誘電体層、4は金属反
射層である。なお、本発明においては、この記録媒体の
上に、記録層の熱変形防止、機械的強度向上のために、
更に熱硬化性又は光硬化性樹脂によるハードコート層を
設けても良い。
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an embodiment of the optical information recording medium of the present invention. In FIG. 1, 1 is a substrate, 2 is a recording layer, 3 is a dielectric layer, and 4 is a metal reflective layer. In addition, in the present invention, on this recording medium, in order to prevent thermal deformation of the recording layer and improve mechanical strength,
Furthermore, a hard coat layer made of thermosetting or photosetting resin may be provided.

【0018】基板1の構成材料としては、例えば、ガラ
ス、アクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂など、半導体
レーザーの波長に対して透明な材料であれば、従来基板
材料として慣用されているもののなかから任意のものを
用いることができるが、CDとの互換性という面では、
ポリカーボネート樹脂が望ましい。
The constituent material of the substrate 1 may be any material that is transparent to the wavelength of the semiconductor laser, such as glass, acrylic resin, polycarbonate resin, etc., from among those conventionally used as substrate materials. However, in terms of compatibility with CD,
Polycarbonate resin is preferred.

【0019】記録層2としては、通常、蒸着或いはスパ
ッタ法によって成膜できる無機薄膜で、成膜直後では非
晶質状態であり、記録によって反射率の低い結晶化ビッ
トが形成されるものを適用する。記録層の相変化前の非
晶質状態での複素屈折率をna *=na −ika 
、相変化後の結晶状態での複素屈折率をnc *=nc
 −ikc とすると、na 、nc は一般的に、通
常の金属又は半導体の無機薄膜では3.0〜6.0の範
囲にある。ka =0.1〜1.0であることは、記録
層膜厚が200〜1000Åで反射率70%を得るため
に必要である。ka >1.0であれば、記録層膜厚を
200Åより薄くする必要があり、経時安定性及び十分
なコントラストが得難いという不具合がある。また、k
a <0.1では記録感度が著しく悪くなり、通常の半
導体レーザーでは記録できない。一方、相変化後にkc
 >0.5でなければ、反射率の低下が不十分でコント
ラストが得難い。また、ka<kc でなければ、やは
り反射率の低下によるコントラストがとれない。
The recording layer 2 is usually an inorganic thin film that can be formed by vapor deposition or sputtering, and is in an amorphous state immediately after the film is formed, and crystallized bits with low reflectance are formed by recording. do. The complex refractive index in the amorphous state before the phase change of the recording layer is na *= na −ika
, the complex refractive index in the crystalline state after phase change is nc *=nc
-ikc, na and nc are generally in the range of 3.0 to 6.0 for ordinary metal or semiconductor inorganic thin films. It is necessary that ka = 0.1 to 1.0 in order to obtain a reflectance of 70% when the thickness of the recording layer is 200 to 1000 Å. If ka > 1.0, it is necessary to make the recording layer thinner than 200 Å, which causes problems in that it is difficult to obtain stability over time and sufficient contrast. Also, k
When a<0.1, the recording sensitivity becomes extremely poor and recording cannot be performed using a normal semiconductor laser. On the other hand, after phase change kc
If it is not >0.5, the decrease in reflectance is insufficient and it is difficult to obtain contrast. Furthermore, if ka<kc, contrast cannot be achieved due to the decrease in reflectance.

【0020】ここで、第2図及び第3図を参照して、反
射率の記録層膜厚依存性に注目し、初期反射率が70%
以上でコントラストが大きくとれる膜厚を選ぶ場合を考
える。第2図に示すna =nc の場合には、単に吸
収率の増大に伴う反射率の低下のみが生じているため、
ka とkc の差が大きくないとコントラストがとり
難い。ところが、第3図に示すようなnc >na の
例では、反射率極小点が相変化の前後でずれるため、容
易に大きなコントラストを得ることができる。nc <
na の場合も同様である。このため、本発明において
は、na ≠nc とする。なお、上記の光学物性に関
する条件は、必ずしも完全な非晶質状態或いは結晶状態
において満たされるべきものではなく、非晶質状態と結
晶状態が混合されたような状態やいわゆる微結晶状態に
おいて満たされていても良い。
Here, with reference to FIGS. 2 and 3, we focused on the dependence of the reflectance on the recording layer thickness, and found that the initial reflectance was 70%.
Let us now consider the case where a film thickness that provides a large contrast is selected. In the case of na = nc shown in Fig. 2, there is only a decrease in reflectance due to an increase in absorption; therefore,
It is difficult to obtain contrast unless the difference between ka and kc is large. However, in the example of nc>na as shown in FIG. 3, the reflectance minimum point is shifted before and after the phase change, so that a large contrast can be easily obtained. nc<
The same applies to na. Therefore, in the present invention, na≠nc. Note that the above conditions regarding optical properties are not necessarily satisfied in a completely amorphous or crystalline state, but must be satisfied in a mixed state of an amorphous and crystalline state or a so-called microcrystalline state. You can leave it there.

【0021】以上のような光学物性を満たす記録層材料
は、例えばGa、Al、Ge、Si、Se、Te、Bi
、Sb等の元素からなる合金の組成を最適化することに
より得られる。該合金の結晶化温度は、経時安定性とい
う観点から100℃以上が望ましく、また記録感度とい
う点から300℃未満であることが望ましい。なかでも
、 Sb1−x Sex (x=0.55〜0.65)又は
Ge1−y Tey (y=0.45〜0.55)は上
記光学物性を満たし得るのみならず、真空蒸着法、スパ
ッタ法のいずれによっても安定な非晶質状態を形成する
一方、レーザー光照射時に数百nsec以下のパルスで
十分に結晶化でき、光記録に適している。
Recording layer materials satisfying the above-mentioned optical properties include, for example, Ga, Al, Ge, Si, Se, Te, and Bi.
, Sb, and other elements by optimizing the composition of the alloy. The crystallization temperature of the alloy is desirably 100° C. or higher from the viewpoint of stability over time, and desirably less than 300° C. from the viewpoint of recording sensitivity. Among them, Sb1-x Sex (x = 0.55 to 0.65) or Ge1-y Tey (y = 0.45 to 0.55) not only can satisfy the above optical properties, but also can be used by vacuum evaporation method and sputtering method. While a stable amorphous state is formed by either method, it can be sufficiently crystallized with a pulse of several hundred nanoseconds or less during laser beam irradiation, making it suitable for optical recording.

【0022】このような組成の合金薄膜の成膜にあたっ
ては、予め組成が調整された合金を用いても、多元蒸着
又はスパッタ法を用いても良い。その膜厚は、200〜
1000Åであることが望ましい。即ち、200Å未満
では、記録前後の反射率の変化即ちコントラストがとり
難く、1000Åを超えると、記録層の熱容量が大きく
記録感度が低下する。特に、記録層膜厚は、Sb1−x
 Sex (x=0.55〜0.65)では、600〜
700Å、Ge1−y Tey (y=0.45〜0.
55)では400〜470Åであることが好ましい。S
b1−x Sex (x=0.55〜0.65)又はG
ex Te1−x (x=0.45〜0.55)は、結
晶化温度が約200℃で室温では極めて安定な非晶質状
態をとり、かつレーザー光照射時に高速結晶化が可能で
ある。
[0022] In forming an alloy thin film having such a composition, an alloy whose composition has been adjusted in advance may be used, or a multi-component vapor deposition or sputtering method may be used. The film thickness is 200~
The thickness is preferably 1000 Å. That is, if it is less than 200 Å, it is difficult to change the reflectance before and after recording, that is, the contrast, and if it exceeds 1000 Å, the heat capacity of the recording layer becomes large and the recording sensitivity decreases. In particular, the recording layer thickness is Sb1-x
For Sex (x=0.55~0.65), 600~
700 Å, Ge1-y Tey (y=0.45-0.
55), it is preferably 400 to 470 Å. S
b1-x Sex (x=0.55-0.65) or G
ex Te1-x (x=0.45 to 0.55) has a crystallization temperature of about 200° C. and is in an extremely stable amorphous state at room temperature, and can be crystallized at high speed when irradiated with laser light.

【0023】なお、記録層のSb−Se又はGe−Te
合金薄膜には、必要に応じて第3の元素を添加して、経
時安定性、記録感度、光学物性等を改善することも可能
である。この場合、第3の元素としては、Ge(Sb−
Seの場合)、Te(Sb−Seの場合)、Sb(Ge
−Teの場合)、Se(Ge−Teの場合)、Au、A
g、Cu、Pt、Pd、Co、Ni、Ti等の1種又は
2種以上が挙げられるが、これらの元素に限定されるも
のではない。これらの第3の元素の添加量は主成分であ
るSb−Se又はGe−Teの合計量に対して5原子%
以下(第3の元素が2種以上ある場合には合計で5原子
%以下)とするのが好ましい。これらの第3の元素の具
体的な作用としては、例えば、Au、Ag、Pe、Pd
、Co等は結晶化速度を高め、記録時間を短縮する。 また、Bi、Se、Ge、Sb等は非晶質状態の安定化
に作用する。
[0023] Note that if the recording layer is Sb-Se or Ge-Te,
It is also possible to add a third element to the alloy thin film as needed to improve stability over time, recording sensitivity, optical properties, etc. In this case, the third element is Ge(Sb-
In the case of Se), Te (in the case of Sb-Se), Sb (in the case of Ge
-In the case of Te), Se (in the case of Ge-Te), Au, A
Examples include one or more of g, Cu, Pt, Pd, Co, Ni, Ti, etc., but are not limited to these elements. The amount of these third elements added is 5 at.% based on the total amount of Sb-Se or Ge-Te, which are the main components.
It is preferable that the amount is less than (5 atomic % or less in total when there are two or more kinds of third elements). Specific actions of these third elements include, for example, Au, Ag, Pe, and Pd.
, Co, etc. increase the crystallization rate and shorten the recording time. Further, Bi, Se, Ge, Sb, etc. act to stabilize the amorphous state.

【0024】誘電体層3は、まず干渉効果により、反射
率及びコントラストを制御することを目的に形成される
。また、誘電体層3の存在により、許容される記録層膜
厚の範囲が広がるといった効果も奏される。そして、記
録層2と反射層4との間に設けた誘電体層3は、記録層
2から反射層4へ熱が逃げるのを防ぎ、記録感度を改善
する効果がある。また、保護層として記録層2の変形や
酸化劣化を防ぐ効果もある。本発明で用いる誘電体層3
の屈折率や膜厚は種々の組み合わせが可能であり、その
材質も屈折率、熱伝導率、化学的安定性、機械的強度に
留意して適宜決定される。一般的には、透明性が高く高
融点である、Mg、Ca、Sr、Y、La、Ce、Ho
、Er、Yb、Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Z
n、Al、Si、Ge、Pbなどの酸化物、硫化物、窒
化物やCa、Mg、Liなどのフッ化物を用いることが
できる。これらの酸化物、硫化物、窒化物、フッ化物は
必ずしも化学量論的組成をとる必要はなく、屈折率等の
制御のために組成を制御したり、混合して用いることも
有効である。
The dielectric layer 3 is first formed for the purpose of controlling reflectance and contrast by interference effects. Furthermore, the presence of the dielectric layer 3 has the effect of widening the range of allowable recording layer thickness. The dielectric layer 3 provided between the recording layer 2 and the reflective layer 4 has the effect of preventing heat from escaping from the recording layer 2 to the reflective layer 4 and improving recording sensitivity. Further, as a protective layer, it has the effect of preventing deformation and oxidative deterioration of the recording layer 2. Dielectric layer 3 used in the present invention
Various combinations are possible for the refractive index and film thickness of the material, and the material thereof is appropriately determined with consideration to the refractive index, thermal conductivity, chemical stability, and mechanical strength. Generally, Mg, Ca, Sr, Y, La, Ce, Ho, which are highly transparent and have a high melting point.
, Er, Yb, Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Z
Oxides, sulfides, and nitrides such as n, Al, Si, Ge, and Pb, and fluorides such as Ca, Mg, and Li can be used. These oxides, sulfides, nitrides, and fluorides do not necessarily have to have a stoichiometric composition, and it is also effective to control the composition or to use a mixture in order to control the refractive index and the like.

【0025】本発明においては、誘電体層3の屈折率は
2〜3であることが好ましく、その材質としては特に酸
化タンタル、窒化シリコンが好ましい。また、誘電体層
3の膜厚は100〜5000Å、特に1000〜130
0Åの範囲であることが好ましい。膜厚が100Åより
薄いとビーム照射による記録層2の変形を防止し得ず、
また、5000Åより厚いとクラックが生じ易い。
In the present invention, the dielectric layer 3 preferably has a refractive index of 2 to 3, and its material is particularly preferably tantalum oxide or silicon nitride. Further, the film thickness of the dielectric layer 3 is 100 to 5000 Å, particularly 1000 to 130 Å.
Preferably, it is in the range of 0 Å. If the film thickness is less than 100 Å, deformation of the recording layer 2 due to beam irradiation cannot be prevented;
Moreover, if the thickness is more than 5000 Å, cracks are likely to occur.

【0026】反射層4は反射率のコントラストを大きく
すると共に、記録層2が吸収した熱エネルギーの拡散を
促進する作用を奏するものである。反射層4の構成材料
としては、Au、Ag、Cu、Al又はこれらの金属を
主成分とする合金、特にAuが好ましく、その膜厚は1
00〜5000Å、好ましくは300〜5000Åの範
囲であることが好ましい。膜厚が100Åより薄いと反
射率が低すぎ、5000Åを超えると成膜時間、コスト
の点で不利である。
The reflective layer 4 has the function of increasing the contrast in reflectance and promoting the diffusion of thermal energy absorbed by the recording layer 2. The material for forming the reflective layer 4 is preferably Au, Ag, Cu, Al, or an alloy containing these metals as a main component, particularly Au, and the film thickness is 1.
It is preferably in the range of 00 to 5000 Å, preferably 300 to 5000 Å. If the film thickness is less than 100 Å, the reflectance will be too low, and if it exceeds 5000 Å, it will be disadvantageous in terms of film formation time and cost.

【0027】本発明の光学的情報記録用媒体における層
構成の設計について述べると、基本的には、第1図に示
した層構成において干渉効果に留意しつつ決定するが、
この際、相変化前の反射率はCD互換性であるために7
0%以上必要である。しかしながら、相変化前の反射率
が80%を超えると記録層に吸収される光エネルギーが
少なくなり、記録感度が極めて悪くなるので80%未満
であることが望ましい。一方、相変化後の反射率は十分
なコントラストを得るために、50%未満であることが
望ましい。従って、第1図に示すような層構成において
、基板を介してレーザー光で読み出した非晶質状態での
反射率が70%以上、好ましくは70%以上80%未満
であり、結晶状態での反射率が50%未満となるように
各層の膜厚及び屈折率を選定する。
Regarding the design of the layer structure in the optical information recording medium of the present invention, basically, the layer structure shown in FIG. 1 is determined while paying attention to the interference effect.
At this time, the reflectance before phase change is 7 due to CD compatibility.
0% or more is required. However, if the reflectance before phase change exceeds 80%, less light energy will be absorbed by the recording layer, resulting in extremely poor recording sensitivity, so it is preferably less than 80%. On the other hand, the reflectance after phase change is desirably less than 50% in order to obtain sufficient contrast. Therefore, in the layer configuration shown in Fig. 1, the reflectance in the amorphous state read out with a laser beam through the substrate is 70% or more, preferably 70% or more and less than 80%, and the reflectance in the crystalline state is 70% or more, preferably 70% or more and less than 80%. The film thickness and refractive index of each layer are selected so that the reflectance is less than 50%.

【0028】[0028]

【実施例】以下に実験例、実施例及び比較例を挙げて本
発明をより具体的に説明するが、本発明はその要旨を超
えない限り、以下の実施例により限定されるものではな
い。
[Examples] The present invention will be explained in more detail with reference to experimental examples, working examples, and comparative examples, but the present invention is not limited by the following examples unless it exceeds the gist thereof.

【0029】実験例1 層構成設計の具体例として、Sb40Se60記録層を
、誘電体層には酸化タンタルを、反射層にはAuを用い
ることとし、これらの材料の複素屈折率を表1に示すよ
うな波長780nmにおける実測値又は文献値を用いて
計算した。
Experimental Example 1 As a specific example of layer structure design, we used an Sb40Se60 recording layer, tantalum oxide for the dielectric layer, and Au for the reflective layer, and the complex refractive index of these materials is shown in Table 1. It was calculated using actual measurements or literature values at a wavelength of 780 nm.

【0030】[0030]

【表1】[Table 1]

【0031】第4図〜第8図は1000Å以下の種々の
記録層膜厚に対して、上部誘電体層膜厚を変化させた時
の、結晶化前後の反射率を示す。ただし、反射率は基板
を介して光を入射した場合の値である。各図中、⇔で示
された範囲の誘電体層膜厚において、請求項4の要件が
満たされる。図示の如く、記録層膜厚800Å以上では
、非晶質時の反射率70%以上が確保できない。一方、
記録層膜厚を500Å以下とすると極めて狭い領域でし
か、請求項4の要件が満たされず、かつ該領域での反射
率の膜厚依存性が急峻で製造上好ましくない。記録層膜
厚600〜700Åにおいてのみ、比較的広い誘電体膜
厚において請求項4の要件が満たされる。なお、ここで
述べた結果は、屈折率が2.1程度である誘電体全般に
成り立つものである。具体的には、ZnS、Si3 N
4 等があげられる。また、ここで用いた光学定数に若
干の変動があっても、同様の結果が成り立つ。
FIGS. 4 to 8 show the reflectance before and after crystallization when the thickness of the upper dielectric layer is changed for various recording layer thicknesses of 1000 Å or less. However, the reflectance is a value when light is incident through the substrate. In each figure, the requirements of claim 4 are satisfied within the range of dielectric layer thickness indicated by ⇔. As shown in the figure, if the thickness of the recording layer is 800 Å or more, a reflectance of 70% or more in an amorphous state cannot be ensured. on the other hand,
If the thickness of the recording layer is 500 Å or less, the requirements of claim 4 are satisfied only in a very narrow region, and the dependence of the reflectance on the film thickness in this region is steep, which is unfavorable in terms of manufacturing. The requirements of claim 4 are satisfied only when the recording layer thickness is 600 to 700 Å and when the dielectric film thickness is relatively wide. Note that the results described here hold true for all dielectric materials having a refractive index of about 2.1. Specifically, ZnS, Si3N
4 etc. can be mentioned. Further, even if there is a slight variation in the optical constants used here, similar results hold.

【0032】実験例2 Ge50Te50記録層について、実験例1と同様にし
て評価を行なった。なお、各材料の複素屈折率は表2に
示すような波長780nmにおける実測値を用いて計算
を行なった。
Experimental Example 2 The Ge50Te50 recording layer was evaluated in the same manner as in Experimental Example 1. The complex refractive index of each material was calculated using actual measured values at a wavelength of 780 nm as shown in Table 2.

【0033】[0033]

【表2】[Table 2]

【0034】第9図〜第13図に、種々の記録層膜厚に
おける、結晶化前後での反射率の誘電体膜厚依存性を示
す。請求項4の要件を満たすように、横軸の酸化タンタ
ル層の膜厚を調節して反射率の制御を行なったが、記録
層膜厚が400Å未満及び470Åを超える範囲では上
記の条件を満たすことはできない。記録層膜厚400〜
470Åにおいてのみ、上記反射率に関する条件を満た
すことがわかる。この時、酸化タンタル層の膜厚は10
00〜1300Åでなければならない。なお、ここで得
られた結果は屈折率2.1程度のすべての誘電体におい
て成立する。具体的にはZnS、Si3 N4 等が挙
げられる。
FIGS. 9 to 13 show the dependence of the reflectance on the dielectric film thickness before and after crystallization at various recording layer thicknesses. In order to satisfy the requirements of claim 4, the reflectance was controlled by adjusting the film thickness of the tantalum oxide layer on the horizontal axis, but the above conditions are satisfied in the range where the recording layer film thickness is less than 400 Å and more than 470 Å. It is not possible. Recording layer thickness 400~
It can be seen that only at 470 Å, the above condition regarding reflectance is satisfied. At this time, the thickness of the tantalum oxide layer is 10
It must be between 00 and 1300 Å. Note that the results obtained here hold true for all dielectric materials with a refractive index of about 2.1. Specifically, ZnS, Si3 N4, etc. can be mentioned.

【0035】実施例1及び比較例1 ガラス基板及びポリカーボネート樹脂基板上に、それぞ
れ、Sb45Se55なる非晶質膜をスパッタ法により
700Åの厚さに形成し、引き続きTaをArと酸素の
混合ガス雰囲気中で反応性スパッタし、厚さ1800Å
の酸化タンタル膜を形成した。最後にやはりスパッタ法
によりAuを2000Å厚さに成膜し、第1図に示す層
構成の記録媒体を作成した。
Example 1 and Comparative Example 1 An amorphous film of Sb45Se55 was formed to a thickness of 700 Å on a glass substrate and a polycarbonate resin substrate, respectively, by sputtering, and then Ta was deposited in a mixed gas atmosphere of Ar and oxygen. reactively sputtered to a thickness of 1800 Å.
A tantalum oxide film was formed. Finally, an Au film was formed to a thickness of 2000 Å by sputtering to produce a recording medium having the layer structure shown in FIG.

【0036】また、比較例1として酸化タンタル層を形
成しないこと以外は同様にして記録媒体を作製した。た
だし、記録前の反射率を70%以上とするため、記録層
膜厚を200Å又は1000Åとした。なお、この場合
記録層の変形を防止するため、ハードコート層が不可欠
となる。
Further, as Comparative Example 1, a recording medium was produced in the same manner except that no tantalum oxide layer was formed. However, in order to make the reflectance before recording 70% or more, the thickness of the recording layer was set to 200 Å or 1000 Å. In this case, a hard coat layer is essential to prevent deformation of the recording layer.

【0037】ガラス基板を用いた試料を昇温し、反射率
が急減した温度をもって結晶化温度の評価を行なったと
ころ、実施例1、比較例1ともに約220℃であった。 表3に結晶化前後での反射率を示す。実施例1、比較例
1ともに結晶化前の反射率70%以上80%未満、結晶
化後の反射率50%未満が得られた。
When the temperature of a sample using a glass substrate was raised and the crystallization temperature was evaluated at the temperature at which the reflectance suddenly decreased, it was approximately 220° C. in both Example 1 and Comparative Example 1. Table 3 shows the reflectance before and after crystallization. In both Example 1 and Comparative Example 1, the reflectance before crystallization was 70% or more and less than 80%, and the reflectance after crystallization was less than 50%.

【0038】なお、記録層の結晶化前の複素屈折率は、
3.8−0.25iであり、結晶化後の屈折率は4.7
−0.8iであった。ただし、以上の測定はすべて波長
780nmの半導体レーザーを用いて行なった。
Note that the complex refractive index of the recording layer before crystallization is:
3.8-0.25i, and the refractive index after crystallization is 4.7
-0.8i. However, all of the above measurements were performed using a semiconductor laser with a wavelength of 780 nm.

【0039】[0039]

【表3】[Table 3]

【0040】次に、ポリカーボネート樹脂基板を用いた
試料を線速1.4m/sで回転させ、波長780nmの
半導体レーザー光を照射し、周波数200kHzで種々
のデューティーのパルス波形により記録を行なった。記
録前の再生信号レベルをRa、記録後の再生信号の波形
で最も反射率が低下した部分の信号レベルをRcとし、
コントラストを以下の式で定義した。
Next, a sample using a polycarbonate resin substrate was rotated at a linear velocity of 1.4 m/s, irradiated with semiconductor laser light with a wavelength of 780 nm, and recorded using pulse waveforms of various duties at a frequency of 200 kHz. Let Ra be the playback signal level before recording, Rc be the signal level of the part where the reflectance has decreased the most in the waveform of the playback signal after recording,
Contrast was defined using the following formula.

【0041】[0041]

【数1】[Math 1]

【0042】レーザーの最大出力15mwで記録を行な
ったところ、実施例1では最大60%のコントラストが
得られた。一方、比較例1では15mwで最大10〜2
0%のコントラストしか得られなかった。これは記録層
から反射層への熱の逃げが大きく、十分な結晶化ができ
なかったためと考えられる。なお、実施例1においては
、C/N比50dBが得られた。
When recording was carried out at a maximum laser output of 15 mw, a maximum contrast of 60% was obtained in Example 1. On the other hand, in Comparative Example 1, the maximum power was 10 to 2 at 15 mW.
Only 0% contrast was obtained. This is thought to be because heat escape from the recording layer to the reflective layer was large and sufficient crystallization was not possible. Note that in Example 1, a C/N ratio of 50 dB was obtained.

【0043】実施例2 ガラス基板及びポリカーボネート樹脂基板上に、Sb4
5Se55なる非晶質膜をスパッタ法により650Åの
厚さに形成し、引き続きTaをArと酸素の混合ガス雰
囲気中で反応性スパッタし、厚さ1000Åの酸化タン
タル膜を形成した。最後にやはりスパッタ法によりAu
を2000Å厚さに成膜し、第1図に示す層構成の記録
媒体を作成した。
Example 2 Sb4 was deposited on a glass substrate and a polycarbonate resin substrate.
An amorphous film of 5Se55 was formed to a thickness of 650 Å by sputtering, and then Ta was reactively sputtered in a mixed gas atmosphere of Ar and oxygen to form a tantalum oxide film of 1000 Å thick. Finally, Au was formed by sputtering.
A film was formed to a thickness of 2000 Å to produce a recording medium having the layer structure shown in FIG.

【0044】ガラス基板を用いた試料を昇温し、反射率
が急減した温度をもって結晶化温度の評価を行なったと
ころ、約220℃であった。結晶化前の反射率72%、
結晶化後の反射率45%が得られた。なお、記録層の結
晶化前の複素屈折率は、3.8−0.25iであり、結
晶化後の屈折率は4.7−0.8iであった。ただし、
以上の測定はすべて波長780nmの半導体レーザーを
用いて行なった。
When a sample using a glass substrate was heated and the crystallization temperature was evaluated at the temperature at which the reflectance suddenly decreased, it was approximately 220°C. Reflectance before crystallization 72%,
A reflectance of 45% after crystallization was obtained. The complex refractive index of the recording layer before crystallization was 3.8-0.25i, and the refractive index after crystallization was 4.7-0.8i. however,
All of the above measurements were performed using a semiconductor laser with a wavelength of 780 nm.

【0045】次に、ポリカーボネート樹脂基板を用いた
試料を線速1.4m/sで回転させ、波長780nmの
反動体レーザー光を照射し、周波数500kHzで種々
のデューティーのパルス波形により記録を行なった。記
録前の再生信号レベルをRa、記録後の再生信号の波形
で最も反射率が低下した部分の信号レベルをRcとし、
実施例1に示す式で定義し、レーザーのパワー15mw
で記録を行なったところ、最大50%のコントラストが
得られた。またC/N比50dBが得られた。
Next, a sample using a polycarbonate resin substrate was rotated at a linear velocity of 1.4 m/s, irradiated with a reactionary laser beam with a wavelength of 780 nm, and recorded using pulse waveforms of various duties at a frequency of 500 kHz. . Let Ra be the playback signal level before recording, Rc be the signal level of the part where the reflectance has decreased the most in the waveform of the playback signal after recording,
Defined by the formula shown in Example 1, laser power 15 mw
When recording was carried out, a maximum contrast of 50% was obtained. Further, a C/N ratio of 50 dB was obtained.

【0046】比較例2 実施例1において記録層膜厚を100〜1500Åまで
ほぼ100Å刻みで成膜し、酸化タンタル層を介さず直
接Au層を2000Å厚さに成膜した。このうち記録層
膜厚200Å及び1000Å付近で非晶質状態の反射率
70〜80%、結晶化後の反射率50%未満の媒体を得
た。これらに対し、線速1.4m/sで回転させながら
記録を試みたが、最大15mwの記録パワーをもってし
てもコントラスト10〜20%しか得られなかった。こ
れは、記録層から反射層への熱の逃げが大きく、十分な
結晶化ができなかったためと考えられる。また、酸化タ
ンタルを用いない層構成では、記録層膜厚の変動に対し
て反射率変動が大きく、均一な反射率を得ることが困難
であった。
Comparative Example 2 In Example 1, the recording layer was formed to a thickness of 100 to 1500 Å in approximately 100 Å increments, and an Au layer was directly formed to a thickness of 2000 Å without using a tantalum oxide layer. Among these, a medium with a reflectance of 70 to 80% in an amorphous state and a reflectance of less than 50% after crystallization was obtained when the recording layer thickness was around 200 Å and 1000 Å. An attempt was made to record these while rotating at a linear velocity of 1.4 m/s, but even with a maximum recording power of 15 mw, a contrast of only 10 to 20% could be obtained. This is thought to be due to the large amount of heat escaping from the recording layer to the reflective layer, making it impossible to achieve sufficient crystallization. Furthermore, in a layer configuration that does not use tantalum oxide, the reflectance varies greatly with respect to variations in the recording layer thickness, making it difficult to obtain a uniform reflectance.

【0047】実施例3 ガラス基板及びポリカーボネート樹脂基板上に、それぞ
れGe45Te55なる非晶質膜をスパッタ法により4
50Åの厚さに形成し、引き続きTaをArと酸素の混
合ガス雰囲気中で反応性スパッタし、厚さ1300Åの
酸化タンタル膜を形成した。最後にやはりスパッタ法に
よりAuを2000Å厚さに成膜し、第1図に示す層構
成の記録媒体を作成した。
Example 3 An amorphous film of Ge45Te55 was formed on a glass substrate and a polycarbonate resin substrate by sputtering.
A tantalum oxide film with a thickness of 1300 Å was formed by reactive sputtering of Ta in a mixed gas atmosphere of Ar and oxygen. Finally, an Au film was formed to a thickness of 2000 Å by sputtering to produce a recording medium having the layer structure shown in FIG.

【0048】ガラス基板を用いた試料を昇温し、反射率
が急減した温度をもって結晶化温度の評価を行なったと
ころ、約200℃であった。波長780nmにおいて、
結晶化前の反射率75%、結晶化後の反射率47%が得
られた。又、結晶化前の複素屈折率は、波長780nm
において4.0−0.9i、結晶化後は5.4〜3.6
iであった。
[0048] A sample using a glass substrate was heated and the crystallization temperature was evaluated at the temperature at which the reflectance suddenly decreased, and it was found to be about 200°C. At a wavelength of 780 nm,
A reflectance of 75% before crystallization and a reflectance of 47% after crystallization were obtained. In addition, the complex refractive index before crystallization is at a wavelength of 780 nm.
4.0-0.9i, 5.4-3.6 after crystallization
It was i.

【0049】次に、ポリカーボネート樹脂基板を用いた
試料を線速1.4m/sで回転させ、波長780nmの
半導体レーザー光を照射し、周波数200kHzで種々
のデューテイーのパルス波形により記録を行なった。記
録前の再生信号レベルをRa、記録後の再生信号の波形
で最も反射率が低下した部分の信号レベルをRcとし、
コントラスト実施例1に示す式で定義し、レーザーのパ
ワー12mwで記録を行なったところ、最大40%のコ
ントラストが得られた。またC/N比45dBが得られ
た。
Next, a sample using a polycarbonate resin substrate was rotated at a linear velocity of 1.4 m/s, irradiated with semiconductor laser light with a wavelength of 780 nm, and recorded using pulse waveforms of various duties at a frequency of 200 kHz. Let Ra be the playback signal level before recording, Rc be the signal level of the part where the reflectance has decreased the most in the waveform of the playback signal after recording,
Contrast Defined by the formula shown in Example 1 and recorded with a laser power of 12 mw, a maximum contrast of 40% was obtained. Further, a C/N ratio of 45 dB was obtained.

【0050】実施例4 ガラス基板上にSb40Se60なる組成の薄膜を60
0Å又は700Åの厚みに真空蒸着し、この上に表4に
示す種々の厚みの酸化タンタル膜を反応性スパッタリン
グ法により形成し、更にこの上に金を2000Åの厚み
に真空蒸着した。なお、記録層の組成は、蛍光X線法に
よって決定したが、±3%程度のばらつきが存在した。
Example 4 A thin film having a composition of Sb40Se60 was deposited on a glass substrate.
The tantalum oxide film was vacuum-deposited to a thickness of 0 Å or 700 Å, and tantalum oxide films of various thicknesses shown in Table 4 were formed thereon by reactive sputtering, and gold was further vacuum-deposited to a thickness of 2000 Å. Note that although the composition of the recording layer was determined by fluorescent X-ray method, there was a variation of about ±3%.

【0051】上記層各種構成における結晶化前後の基板
側から読み出した反射率及びコントラストを表4に示す
Table 4 shows the reflectance and contrast read from the substrate side before and after crystallization for the various layer configurations described above.

【0052】[0052]

【表4】[Table 4]

【0053】表4のNo. 1〜5のものは、すべて本
発明要件を満たし、かつ、第6図、第7図の計算値と実
験誤差(±5%)の範囲内でほぼ一致する。また、コン
トラストとして最大71%が得られた。なお、記録層の
結晶化前の複素屈折率は3.8−0.25iであり、結
晶化後は4.7−0.8iであった。
[0053] No. of Table 4. All of Nos. 1 to 5 satisfy the requirements of the present invention, and almost match the calculated values in FIGS. 6 and 7 within the range of experimental error (±5%). Further, a maximum contrast of 71% was obtained. The complex refractive index of the recording layer before crystallization was 3.8-0.25i, and after crystallization was 4.7-0.8i.

【0054】比較例3 記録層としてGe12Sb40Te48膜を用いたとこ
ろ100Å以上の膜厚では、反射層構造をもってしても
非晶質状態の反射率70%以上を得ることはできなかっ
た。これは、この記録層の複素屈折率が、結晶化前で3
.8−2.0i、結晶化後で5.5〜3.8iで、非晶
質状態における吸収係数が大きすぎるためであり、この
複素屈折率においては、記録層膜厚を100Å以下とい
う非実用的な値としない限り、反射率70%以上が得ら
れないことは、干渉効果を考慮した計算結果からも結論
できた。また、このような膜厚では結晶化後の反射率を
50%未満とすることは困難であることも簡単な計算か
ら結論できる。
Comparative Example 3 When a Ge12Sb40Te48 film was used as the recording layer, at a film thickness of 100 Å or more, it was not possible to obtain a reflectance of 70% or more in an amorphous state even with a reflective layer structure. This means that the complex refractive index of this recording layer is 3 before crystallization.
.. This is because the absorption coefficient in the amorphous state is too large at 8-2.0i and 5.5 to 3.8i after crystallization, and at this complex refractive index, it is impractical to set the recording layer thickness to 100 Å or less. It was also concluded from the calculation results taking into account the interference effect that a reflectance of 70% or more cannot be obtained unless the reflectance is set to a specific value. Furthermore, it can be concluded from simple calculations that with such a film thickness, it is difficult to reduce the reflectance after crystallization to less than 50%.

【0055】なお、本発明者らの検討結果によれば、特
開昭62−209742、63−225934等で公開
されているような組成のGe−Sb−Te合金膜記録層
では非晶質状態の吸収係数が1.0以下となる記録層は
得られなかった。
According to the study results of the present inventors, a Ge-Sb-Te alloy film recording layer having a composition as disclosed in JP-A-62-209742, JP-A-63-225934, etc. is in an amorphous state. A recording layer with an absorption coefficient of 1.0 or less was not obtained.

【0056】[0056]

【発明の効果】以上詳述した通り、本発明の光学的情報
記録用媒体によれば、光記録が可能でしかもCD専用ド
ライブにより直接再生可能な高特性光学的情報記録用媒
体が提供される。
[Effects of the Invention] As described in detail above, the optical information recording medium of the present invention provides a high-performance optical information recording medium that is capable of optical recording and can be directly reproduced by a CD-only drive. .

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

【図1】第1図は本発明の光学的情報記録用媒体の一実
施例を示す模式的な断面図である。
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an embodiment of the optical information recording medium of the present invention.

【図2】第2図は反射率の記録層膜厚依存性を示すグラ
フである。
FIG. 2 is a graph showing the dependence of reflectance on recording layer thickness.

【図3】第3図は反射率の記録層膜厚依存性を示すグラ
フである。
FIG. 3 is a graph showing the dependence of reflectance on recording layer thickness.

【図4】第4図は実験例1の結果(記録層膜厚400Å
の場合)を示すグラフである。
[Figure 4] Figure 4 shows the results of Experimental Example 1 (recording layer thickness 400 Å).
This is a graph showing the case of

【図5】第5図は実験例1の結果(記録層膜厚500Å
の場合)を示すグラフである。
[Fig. 5] Fig. 5 shows the results of Experimental Example 1 (recording layer thickness 500 Å).
This is a graph showing the case of

【図6】第6図は実験例1の結果(記録層膜厚600Å
の場合)を示すグラフである。
[Fig. 6] Fig. 6 shows the results of Experimental Example 1 (recording layer thickness 600 Å).
This is a graph showing the case of

【図7】第7図は実験例1の結果(記録層膜厚700Å
の場合)を示すグラフである。
[Figure 7] Figure 7 shows the results of Experimental Example 1 (recording layer thickness 700 Å).
This is a graph showing the case of

【図8】第8図は実験例1の結果(記録層膜厚800,
900Åの場合)を示すグラフである。
FIG. 8 shows the results of Experimental Example 1 (recording layer thickness 800,
900 Å).

【図9】第9図は実験例2の結果(記録層膜厚400Å
の場合)を示すグラフである。
[Fig. 9] Fig. 9 shows the results of Experimental Example 2 (recording layer thickness 400 Å).
This is a graph showing the case of

【図10】第10図は実験例2の結果(記録層膜厚43
0Åの場合)を示すグラフである。
FIG. 10 shows the results of Experimental Example 2 (recording layer thickness: 43
0 Å case).

【図11】第11図は実験例2の結果(記録層膜厚45
0Åの場合)を示すグラフである。
[Fig. 11] Fig. 11 shows the results of Experimental Example 2 (recording layer thickness 45
0 Å case).

【図12】第12図は実験例2の結果(記録層膜厚47
0Åの場合)を示すグラフである。
[Fig. 12] Fig. 12 shows the results of Experimental Example 2 (recording layer thickness 47
0 Å case).

【図13】第13図は実験例2の結果(記録層膜厚50
0Åの場合)を示すグラフである。
[Fig. 13] Fig. 13 shows the results of Experimental Example 2 (recording layer thickness 50
0 Å case).

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1  基板 2  記録層 3  誘電体層 4  反射層 1 Board 2 Recording layer 3 Dielectric layer 4 Reflection layer

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】  基板上に記録層、誘電体層及び金属反
射層を順次積層してなり、レーザー光の照射によって該
記録層に誘起される非晶質状態と結晶状態との間の相変
化により情報の記録を行ない、該相変化に伴なう反射率
の低下によって、情報を読み出す光学的情報記録用媒体
であって、上記記録による相変化を起こす前の状態にお
いて、基板を介してレーザー光によって読み出した反射
率が70%以上であり、かつ、該記録層の複素屈折率n
*=n−ikが上記記録による相変化を起こす前の状態
においてk=0.1〜1.0の値をとり、相変化の後の
状態においてk>0.5であると共に該相変化前より大
きな値に変化し、かつ、nが上記相変化の前後で同一の
値とならないことを特徴とする光学的情報記録用媒体。
1. A recording layer, a dielectric layer, and a metal reflective layer are sequentially laminated on a substrate, and a phase change between an amorphous state and a crystalline state is induced in the recording layer by laser beam irradiation. This is an optical information recording medium in which information is recorded by a laser beam through a substrate and information is read out by a decrease in reflectance caused by the phase change. The reflectance read by light is 70% or more, and the complex refractive index n of the recording layer is
*=n-ik takes a value of k=0.1 to 1.0 in the state before the phase change as recorded above, and k>0.5 in the state after the phase change and before the phase change. An optical information recording medium characterized in that n changes to a larger value and does not have the same value before and after the phase change.
【請求項2】  該記録層がSb1−x Sex(x=
0.55〜0.65)よりなることを特徴とする請求項
1に記載の光学的情報記録用媒体。
2. The recording layer has Sb1-x Sex (x=
0.55 to 0.65). The optical information recording medium according to claim 1.
【請求項3】  該記録層がGe1−y Tey(y=
0.45〜0.55)よりなることを特徴とする請求項
1に記載の光学的情報記録用媒体。
3. The recording layer is Ge1-y Tey (y=
0.45 to 0.55). The optical information recording medium according to claim 1.
【請求項4】  上記相変化前に基板を介して読み出し
た反射率が70%以上80%未満であり、相変化後の該
反射率が50%未満であることを特徴とする請求項1〜
3のいずれか1項に記載の光学的情報記録用媒体。
4. The reflectance read through the substrate before the phase change is 70% or more and less than 80%, and the reflectance after the phase change is less than 50%.
3. The optical information recording medium according to any one of 3.
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