JP2643905B2 - ベータバリウムボレイト結晶の育成方法ならびに波長変換素子の加工方法 - Google Patents

ベータバリウムボレイト結晶の育成方法ならびに波長変換素子の加工方法

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JP2643905B2 JP7101980A JP10198095A JP2643905B2 JP 2643905 B2 JP2643905 B2 JP 2643905B2 JP 7101980 A JP7101980 A JP 7101980A JP 10198095 A JP10198095 A JP 10198095A JP 2643905 B2 JP2643905 B2 JP 2643905B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、屈折率の均質性に優
れたベータバリウムボレイト結晶(β−BaB2 4
以後BBOと略す)の育成方法ならびに波長変換素子を
加工する方法に関する。
【0002】
【従来の技術】BBO単結晶は低温相の結晶であるがB
aB2 4 組成融液から直接引上げ法で育成される方法
が研究され、種結晶を用いて位相整合方向に引上げ育成
する技術が開発されている。
【0003】例えばNd:YAGレーザの発振する1.
064μm の光のSHG(第2高調波発生)素子の位相
整合方位はθ=23°なので、引上方向がこの位相整合
方位になるように種結晶を作成して引上育成を行ない、
図2のように育成された結晶から素子を切り出して加工
していた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】このBBO単結晶は波
長変換素子に応用される結晶であり、最近のレーザの出
力増大や波長変換方法の高度化に伴い、より高品質な結
晶育成、特に結晶中の屈折率の均質性の良い素子が望ま
れている。しかし従来の位相整合方位で引上育成した結
晶から素子を加工する方法では素子の屈折率の揺らぎΔ
nが大きくなる場合が多いという問題があった。
【0005】本発明の目的は、屈折率の均質性の良いB
BO波長変換素子が得られるようなBBO結晶の育成方
法、ならびに加工方法を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、使用するレー
ザに対応する位相整合角度θ°に対して(90−θ)°
の方位で引上育成を行うことを特徴とするベータバリウ
ムボレイト結晶の育成方法であり、また使用するレーザ
に対応する位相整合角度θに対して(90−θ)°の方
位で引上育成されたベータバリウムボレイト結晶を、レ
ーザ光が引上方向に対して垂直な方向に通過する素子と
なるように加工することを特徴とする波長変換素子の加
工方法である。
【0007】すなわち、結晶を位相整合方位に直接引上
げるのでは無く、引上げ方向に垂直な方向が位相整合方
位となるように結晶を引上げ育成して素子を加工するこ
とにより、結晶中の屈折率の均質性を向上させることが
できる。
【0008】
【作用】BaB2 4 組成融液から準安定相であるβ相
の引上育成をする場合、育成界面は大きな過冷却状態に
なっている。そのため育成界面での結晶固化状態を均一
に保つのは非常に難しく、わずかな温度変動でも屈折率
の揺らぎが生じてしまう。育成した結晶を評価した結
果、引上げ方向に平行な面内の屈折率の揺らぎのほうが
垂直方向の揺らぎよりも大きくなる場合が多いことがわ
かった。従って素子を引上方向に平行な方向に加工した
場合屈折率の均質性が悪くなる可能性が大きいが、引上
方向に垂直な方向に加工した素子はこの屈折率の揺らぎ
の影響を受けにくく、屈折率の均質性が非常に良いもの
が得られる。すなわち、引上方向に垂直な方位が位相整
合方位になるように引上育成を行って素子を加工すれば
屈折率の均質性に優れた高品質な素子を得ることができ
る。
【0009】なお、BBOやYAGレーザ以外にもいろ
いろなレーザの波長変換素子に応用されるため、位相整
合角度はだいたいθ=20〜47°の間で変化する。従
って、使用するレーザの位相整合角度に適宜あわせて結
晶成長を行えば、どのレーザにでも使用が可能となる。
【0010】
【実施例】Nd:YAGレーザの発振する1.064μ
m の発振光の第2高調波を得るBBO素子の位相整合方
位はc軸から約23°傾いた方位である。そこで図1の
ように引上げ方位をθ=90−23=67°よりc軸か
ら67°で行い、育成された結晶から引上げ方向に垂直
に素子を加工して脈理装置で屈折率の均質性を検査した
ところ、屈折率の揺らぎΔnが±10-6以内であること
がわかった。また同レーザの第3高調波、第4高調波を
得る位相整合方位は31.1°、47.6°であり、そ
れぞれθ=90−31.1=58.9°、θ=90−4
7.6=42.4°の方位の種結晶で引上げ育成された
結晶から加工した素子の屈折率の揺らぎΔnも同じく±
10-6以内であることがわかった。
【0011】(比較例)図2のように従来どおり位相整
合方位23°で引き上げた結晶から加工した素子のΔn
は±10-5程度であった。また31.1°、47.6°
で引き上げた結晶から加工した素子のΔnも±10-5
度であり、実施例1よりも一桁屈折率の揺らぎが大きい
ことがわかった。
【0012】以上より、本発明により作成された素子は
従来の加工方法と比較して約一桁屈折率の均質性が良
く、高度化された装置にも搭載可能であることがわかっ
た。
【0013】
【発明の効果】本発明によれば屈折率の均質性に優れた
BBO波長変換素子を作成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による方位で引上げられたBBO単結晶
からNd:YAGレーザの発振する1.064μm の光
のSHG(第2高調波)を得られる方位に加工する方法
を示す図である。
【図2】従来のSHG方位に直接引上げ育成した結晶か
ら素子を加工する方法を示した図である。
【符号の説明】
1 BBO育成結晶 2 切り出されたBBO素子

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】ベータバリウムボレイトを育成する際に、
    使用するレーザに対応する位相整合角度θ°に対して
    (90−θ)°の方位で引上育成を行うことを特徴とす
    るベータバリウムボレイト結晶の育成方法。
  2. 【請求項2】使用するレーザに対応する位相整合角度θ
    に対して(90−θ)°の方位で引上育成されたベータ
    バリウムボレイト結晶を、レーザ光が引上方向に対して
    垂直な方向に通過する素子となるように加工することを
    特徴とする波長変換素子の加工方法。
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