JP2638542B2 - Optical semiconductor module - Google Patents

Optical semiconductor module

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JP2638542B2
JP2638542B2 JP1659095A JP1659095A JP2638542B2 JP 2638542 B2 JP2638542 B2 JP 2638542B2 JP 1659095 A JP1659095 A JP 1659095A JP 1659095 A JP1659095 A JP 1659095A JP 2638542 B2 JP2638542 B2 JP 2638542B2
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carrier
light
light receiving
optical semiconductor
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明生 後藤
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Nippon Electric Co Ltd
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は出力光を受光するための
受光素子を収容した光半導体モジュールに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical semiconductor module containing a light receiving element for receiving output light.

【0002】[0002]

【従来の技術】図7は従来用いられた光半導体モジュー
ルの内部を表わしたものである。光半導体モジュールの
パッケージ11内には、光ファイバ12の一端が配置さ
れている。パッケージ11の底部に配置されたキャリア
14の側部には受光素子15が固定されている。受光素
子15は、光ファイバ12の前記した一端と対向配置さ
れており、光ビームの受光を行うようになっている。パ
ッケージ11における光ファイバ12の配置された側と
反対の端部には、図示しないピンとそれぞれ接続された
2つの電極パッド16が配置されている。キャリア14
と受光素子15はボンディングワイヤ17でボンディン
グされ、キャリア14と2つの電極パッド16が更に別
のボンディングワイヤ18でボンディングされている。
2. Description of the Related Art FIG. 7 shows the inside of a conventional optical semiconductor module. One end of an optical fiber 12 is arranged in the package 11 of the optical semiconductor module. A light receiving element 15 is fixed to a side portion of the carrier 14 arranged at the bottom of the package 11. The light receiving element 15 is arranged to face the one end of the optical fiber 12, and receives a light beam. At an end of the package 11 opposite to the side where the optical fiber 12 is arranged, two electrode pads 16 respectively connected to pins (not shown) are arranged. Carrier 14
The light receiving element 15 and the carrier 14 are bonded by a bonding wire 17, and the carrier 14 and the two electrode pads 16 are further bonded by another bonding wire 18.

【0003】図8は、図7に示した光半導体モジュール
を光ファイバの位置でこの中心軸に沿ってパッケージの
底面に垂直に切断した状態を示したものである。また、
図9はキャリアを拡大して示したものである。キャリア
14は、セラミック等の材料で構成され直方体をしてお
り、その上面と1つの側面に跨がるように2本のボンデ
ィングパッド21が配置されている。
FIG. 8 shows a state in which the optical semiconductor module shown in FIG. 7 is cut perpendicularly to the bottom surface of the package along the central axis at the position of the optical fiber. Also,
FIG. 9 is an enlarged view of the carrier. The carrier 14 is made of a material such as ceramic and has a rectangular parallelepiped shape, and two bonding pads 21 are arranged so as to straddle the upper surface and one side surface.

【0004】このような構成の光半導体モジュールの実
装方法を説明する。まず、キャリア14の予め決められ
た位置に半田23を用いて受光素子15を固着する。次
に受光素子15をボンディングパッド21を介してキャ
リア14とボンディングする。そして、この受光素子1
5が取り付けられたキャリア14をパッケージ11に実
装する。この後、パッケージ11の電極パッド16とキ
ャリア14をボンディングする。これにより、受光素子
15とパッケージ11の電気的な配線が終了する。
A method of mounting the optical semiconductor module having such a configuration will be described. First, the light receiving element 15 is fixed to the carrier 14 at a predetermined position using the solder 23. Next, the light receiving element 15 is bonded to the carrier 14 via the bonding pad 21. And this light receiving element 1
The carrier 14 to which 5 is attached is mounted on the package 11. Thereafter, the electrode pads 16 of the package 11 and the carrier 14 are bonded. Thus, the electrical wiring between the light receiving element 15 and the package 11 is completed.

【0005】このような従来の光半導体モジュールで
は、受光素子15の実装工程でワイヤボンディングをこ
の受光素子の両極ともに行う必要があった。したがっ
て、キャリア14上のボンディングパッド21は形状が
制限される上に複雑な配置となった。また、このキャリ
ア14をパッケージ11に実装する工程では、電極パッ
ド16上にボンディングパッド21から再度ボンディン
グを行う必要があった。このため、生産工程が複雑化し
て、製品の歩留りが低下し、組立コストの増加を招いて
いた。
In such a conventional optical semiconductor module, it is necessary to perform wire bonding on both poles of the light receiving element 15 in the mounting process of the light receiving element 15. Therefore, the shape of the bonding pads 21 on the carrier 14 is restricted and complicated. In the step of mounting the carrier 14 on the package 11, it was necessary to perform bonding again from the bonding pad 21 on the electrode pad 16. This complicates the production process, lowers product yield, and increases assembly costs.

【0006】更に従来のこのような光半導体モジュール
では、パッケージ11内にボンディングパッド21や受
光素子15を固着するキャリア14とパッケージ11内
のボンディングパッド21とのボンディングスペースが
必要であった。このため、キャリア14の実装スペース
が大きくなってパッケージ11のサイズを小型化するこ
とが困難であった。また、従来のこのような光半導体モ
ジュールでは、組み立て時のワイヤボンディングの本数
が増えるため、構造が複雑になり、生産性の向上を図る
事が困難であった。さらにキャリア14に側面メタライ
ズとパターニングが必要であり価格が高価になった。こ
れらにより、光半導体モジュール自体の低価格化が困難
であった。
Further, in such a conventional optical semiconductor module, a bonding space between the bonding pad 21 in the package 11 and the carrier 14 for fixing the bonding pad 21 and the light receiving element 15 in the package 11 is required. For this reason, the mounting space of the carrier 14 becomes large, and it has been difficult to reduce the size of the package 11. Further, in such a conventional optical semiconductor module, the number of wire bonding at the time of assembling is increased, so that the structure becomes complicated and it is difficult to improve the productivity. Further, side metallization and patterning of the carrier 14 are required, so that the cost is increased. For these reasons, it has been difficult to reduce the price of the optical semiconductor module itself.

【0007】そこで特開昭62−124780号公報で
は、絶縁性基板としてのキャリアの一方の面に光半導体
素子を固着し、電気信号を取り出すための電極リードを
他方の面に設けることにしている。これらはビアホール
を介して電気的に接続されている。この光半導体モジュ
ールでは、電極リードはモジュールを構成するパッケー
ジの底面から直接外部に出ているので、これを基板上に
半田付けするだけで固定が可能になる。
Therefore, in Japanese Patent Application Laid-Open No. 62-124780, an optical semiconductor element is fixed to one surface of a carrier as an insulating substrate, and an electrode lead for extracting an electric signal is provided on the other surface. . These are electrically connected via via holes. In this optical semiconductor module, since the electrode leads are directly exposed to the outside from the bottom surface of the package constituting the module, it can be fixed only by soldering it on the substrate.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】この特開昭62−12
4780号公報に記載された提案では、電極リードはモ
ジュールを構成するパッケージの底面から直接外部に出
ている。したがって、信号の取り出し位置が制限されて
しまい、通常のピン配置をとることが困難である。また
パッケージの内部が外部に露出するので、製品の信頼性
に欠けるという問題があった。
SUMMARY OF THE INVENTION Japanese Patent Application Laid-Open No. 62-12 / 1987
In the proposal described in Japanese Patent No. 4780, the electrode leads are directly exposed to the outside from the bottom surface of the package constituting the module. Therefore, the signal extraction position is limited, and it is difficult to take a normal pin arrangement. Further, since the inside of the package is exposed to the outside, there is a problem that the reliability of the product is lacking.

【0009】そこで本発明の目的は、パッケージからキ
ャリアが露出せず、しかもモジュールの実装構造の簡易
化によってその小型化と低価格化を図ることのできる光
半導体モジュールを提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an optical semiconductor module in which a carrier is not exposed from a package, and which can be reduced in size and cost by simplifying the module mounting structure.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明で
は、(イ)光ファイバから送られてくる光ビームを受光
する受光素子と、(ロ)この受光素子を光ビームの受光
される側の面に配置すると共に、この反対側の面に配線
用電極パッドを配置し、これらの間をビアホールによっ
て電気的に接続したキャリアと、(ハ)受光素子および
キャリアを内部の予め定めた所定位置に配置しこの配置
状態でキャリアの配線用電極パッドが接触する位置に外
部接続用の電極を配置したパッケージとを光半導体モジ
ュールに具備させる。
According to the first aspect of the present invention, there are provided (a) a light receiving element for receiving a light beam sent from an optical fiber, and (b) a light receiving element for receiving the light beam. And a carrier in which wiring electrode pads are disposed on the opposite surface, and a carrier electrically connected between the electrode pads by a via hole, and (c) a light receiving element and the carrier are disposed at predetermined positions inside. And a package in which an electrode for external connection is arranged at a position where the wiring electrode pad of the carrier contacts in this arrangement state.

【0011】すなわち請求項1記載の発明では、キャリ
アの一方の面に受光素子を配置し他方の面に配線用電極
パッドを配置し、これらの間をビアホールによって電気
的に接続すると共に、パッケージの所定の内面に外部接
続用の電極を配置しておいて、キャリアをパッケージに
実装したとき配線用電極パッドと外部接続用の電極が接
触によって電気的に接続することで、受光素子と外部接
続用の電極との電気的な接続を行うようにしている。本
発明では、キャリアを外部回路と直接接続する構成では
ないので、パッケージからキャリアを露出させる必要が
ない。
That is, according to the first aspect of the present invention, the light receiving element is arranged on one surface of the carrier, and the wiring electrode pads are arranged on the other surface. An electrode for external connection is arranged on a predetermined inner surface, and when the carrier is mounted on the package, the electrode pad for wiring and the electrode for external connection are electrically connected by contact, so that the light receiving element and the external connection are connected. Electrical connection with the electrodes. In the present invention, since the carrier is not directly connected to the external circuit, it is not necessary to expose the carrier from the package.

【0012】請求項2記載の発明では、請求項1記載の
発明におけるビアホールは受光素子の2つの出力端子に
対応させて2つ配置されており、パッケージの内面にこ
れらのビアホールに対応させて2つの配線用電極パッド
がパターニングされていることを特徴としている。
According to a second aspect of the present invention, two via holes according to the first aspect of the present invention are arranged so as to correspond to the two output terminals of the light receiving element. It is characterized in that one wiring electrode pad is patterned.

【0013】また請求項3記載の発明では、請求項2記
載の発明におけるキャリアの受光素子の固着される側の
面には、2つのビアホールの一方に素子固着用パッドが
配置されており、受光素子の出力端子の1つはこの素子
固着用パッドに半田付けされ、他方の出力端子は他方の
ビアホールとボンディングワイヤによってワイヤボンデ
ィングされていることを特徴としている。
According to the third aspect of the present invention, the element fixing pad is disposed in one of the two via holes on the surface of the carrier according to the second aspect on which the light receiving element is fixed. One of the output terminals of the element is soldered to the pad for fixing the element, and the other output terminal is wire-bonded to the other via hole with a bonding wire.

【0014】もちろん、受光素子の構成によっては2つ
の出力端子をそれぞれのビアホールに素子固着用パッド
等を介してボンディングワイヤを使用することなく、接
続するようにしてもよい。
Of course, depending on the configuration of the light receiving element, the two output terminals may be connected to the respective via holes via element fixing pads or the like without using a bonding wire.

【0015】請求項4記載の発明では、(イ)発光素子
と、(ロ)この発光素子から出力される光線を受光する
モニタ用の受光素子と、(ハ)この受光素子を光線の受
光される側の面に配置すると共に、この反対側の面に配
線用電極パッドを配置し、これらの間をビアホールによ
って電気的に接続したキャリアと、(ニ)発光素子、受
光素子およびキャリアを内部の予め定めた所定位置に配
置しこの配置状態でキャリアの配線用電極パッドが圧接
する位置に外部接続用の電極を配置したパッケージとを
光半導体モジュールに具備させる。
According to the fourth aspect of the present invention, (a) a light emitting element, (b) a monitoring light receiving element for receiving a light beam output from the light emitting element, and (c) a light receiving element for receiving the light beam A wiring electrode pad is disposed on the opposite surface, and a carrier electrically connected by a via hole between the wiring electrode pad and the carrier, and (d) a light emitting element, a light receiving element, and a carrier are internally disposed. The optical semiconductor module is provided with a package which is arranged at a predetermined position and an electrode for external connection is arranged at a position where the wiring electrode pad of the carrier presses in this arrangement state.

【0016】すなわち請求項4記載の発明では、発光素
子を収容した光半導体モジュールを扱っている。そし
て、発光素子の発光強度をモニタする発光監視モニタ用
の受光素子と外部接続用の電極について、請求項1記載
の発明と同様の技術思想を適用することにしている。
That is, the invention according to claim 4 deals with an optical semiconductor module containing a light emitting element. The same technical idea as the first aspect of the present invention is applied to a light-receiving element for monitoring light emission for monitoring the light-emitting intensity of the light-emitting element and an electrode for external connection.

【0017】請求項5記載の発明では、請求項1または
請求項4に記載の発明におけるキャリアは1枚のセラミ
ック基板の片面に受光素子搭載用パターンをこれらのキ
ャリアに個々に対応する所定単位領域ごとにパターニン
グし、これらそれぞれの単位領域ごとに受光素子を搭載
し、ボンディングワイヤで受光素子とそれぞれの単位領
域ごとの受光素子搭載用パターンをボンディングした後
に単位領域ごとに切断して形成したものであることを特
徴としている。これにより、キャリアを既存の設備を用
いて量産することができる。もちろん、このような手法
以外でキャリアを製造することができることは当然であ
る。
According to a fifth aspect of the present invention, the carrier according to the first or the fourth aspect of the present invention has a pattern in which a light receiving element mounting pattern is formed on one surface of one ceramic substrate and corresponds to each of these carriers. The light receiving element is mounted in each of these unit areas, and the light receiving element and the light receiving element mounting pattern in each of the unit areas are bonded with a bonding wire, and then the light receiving elements are cut and formed in each unit area. It is characterized by having. As a result, carriers can be mass-produced using existing equipment. Of course, it is natural that the carrier can be manufactured by a method other than such a method.

【0018】[0018]

【実施例】以下実施例につき本発明を詳細に説明する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described in detail below with reference to embodiments.

【0019】図1は本発明の一実施例における光半導体
モジュールの内部を表わしたものである。本実施例の光
半導体モジュールのパッケージ31内には、光ファイバ
32の一端が光ファイバ固定用ブロック33によって固
定されている。光ファイバ32のこの一端と対向する位
置には、受光素子34を固着したキャリア35が配置さ
れている。キャリア35の受光素子34を配置したと反
対側の面とパッケージ31の側面との間には、電極パッ
ド36がパターニングされている。
FIG. 1 shows the inside of an optical semiconductor module according to an embodiment of the present invention. In the package 31 of the optical semiconductor module of this embodiment, one end of an optical fiber 32 is fixed by an optical fiber fixing block 33. At a position facing the one end of the optical fiber 32, a carrier 35 to which the light receiving element 34 is fixed is arranged. An electrode pad 36 is patterned between the surface of the carrier 35 opposite to the side on which the light receiving element 34 is arranged and the side surface of the package 31.

【0020】図2は、図1に示した光半導体モジュール
を光ファイバの位置でこの中心軸に沿ってパッケージの
底面に垂直に切断した状態を示したものである。電極パ
ッド36は上下に2つ配置されており、これらがそれぞ
れ図示しないピンと接続されている。キャリア35には
2つのビアホール37、38が開けられている。受光素
子34と下側のビアホール37の間には、1本のボンデ
ィングワイヤ39が接続されている。
FIG. 2 shows a state in which the optical semiconductor module shown in FIG. 1 is cut at the position of the optical fiber along the central axis and perpendicular to the bottom surface of the package. Two electrode pads 36 are arranged above and below, and these are respectively connected to pins (not shown). The carrier 35 has two via holes 37 and 38. One bonding wire 39 is connected between the light receiving element 34 and the lower via hole 37.

【0021】図3は、本実施例のキャリアを拡大して示
したものである。キャリア35はセラミック等の材料で
構成され直方体をしており、図1に示した光ファイバ3
2の端部と対向する前面側の中央やや上寄りには受光素
子34を固着するための素子固着用パッド41が配置さ
れており、また前面中央やや下寄りにはワイヤボンディ
ング用パッド42が配置されている。
FIG. 3 is an enlarged view of the carrier of the present embodiment. The carrier 35 is made of a material such as ceramic and has a rectangular parallelepiped shape.
An element fixing pad 41 for fixing the light receiving element 34 is arranged at a position slightly above the center of the front side opposite to the end of the device 2, and a wire bonding pad 42 is disposed at a position slightly below the front center. Have been.

【0022】このキャリア35の裏面側には図1に示し
た電極パッド36と電気的な接続を行うために、素子固
着用パッド41およびワイヤボンディング用パッド42
とそれぞれ対向する位置に配線用電極パッド43、44
が配置されている。これら素子固着用パッド41と一方
の配線用電極パッド43ならびにワイヤボンディング用
パッド42と他方の配線用電極パッド43とは、内部が
メタライズされたビアホール37、38によって電気的
に接続されている。
On the back side of the carrier 35, in order to make electrical connection with the electrode pad 36 shown in FIG.
And wiring electrode pads 43 and 44 at positions facing each other.
Is arranged. The element fixing pad 41 and one wiring electrode pad 43, and the wire bonding pad 42 and the other wiring electrode pad 43 are electrically connected to each other by via holes 37 and 38 whose insides are metallized.

【0023】図4は、このキャリアを前面から見たもの
であり、図5はこれを側面から見たものである。
FIG. 4 is a front view of the carrier, and FIG. 5 is a side view of the carrier.

【0024】このような構成の光半導体モジュールの実
装方法を説明する。まず、受光素子34をキャリア35
の素子固着用パッド41に半田を用いて固着する。これ
により、受光素子34の裏面に配置されている電極がビ
アホール37を介して配線用電極パッド43と電気的に
接続される。更に受光素子34のもう一方の電極を、ボ
ンディングワイヤ39を用いてワイヤボンディング用パ
ッド42にワイヤボンディングを行うと、ビアホール3
8を介して配線用電極パッド44と電気的に接続され
る。これにより、受光素子34と配線用電極パッド4
3、44との配線が完了する。
A method of mounting the optical semiconductor module having such a configuration will be described. First, the light receiving element 34 is connected to the carrier 35.
Is fixed to the element fixing pad 41 using solder. Thus, the electrode disposed on the back surface of the light receiving element 34 is electrically connected to the wiring electrode pad 43 via the via hole 37. Further, when the other electrode of the light receiving element 34 is wire-bonded to the wire bonding pad 42 using the bonding wire 39, the via hole 3
8 and is electrically connected to the wiring electrode pad 44. Thereby, the light receiving element 34 and the wiring electrode pad 4
Wiring with 3, 44 is completed.

【0025】光半導体モジュールのパッケージ31に
は、予め図1および図2に示したように電極パッド36
がパターニングされている。そこで、事前に受光素子3
4を固着して配線が終了したキャリア35をパッケージ
31の電極パッド36に押圧させた状態で実装するだけ
で、パッケージ31と受光素子34の間の電気的配線が
完了する。このように光半導体モジュールの受光素子3
4実装工程の簡略化が実現される。
The package 31 of the optical semiconductor module has electrode pads 36 as shown in FIGS.
Are patterned. Therefore, in advance, the light receiving element 3
The electrical wiring between the package 31 and the light receiving element 34 is completed only by mounting the carrier 35 with the wiring fixed and the carrier 35 pressed against the electrode pads 36 of the package 31. Thus, the light receiving element 3 of the optical semiconductor module
4 Simplification of the mounting process is realized.

【0026】図6は、本実施例の光半導体モジュールの
キャリアの製造工程の要部を示したものである。セラミ
ック基板51には、図で破線52で縦横に区切られたそ
れぞれの領域に予め素子固着用パッド41とワイヤボン
ディング用パッド42からなる受光素子搭載用パターン
が印刷されている。それぞれの領域に受光素子34が搭
載され、図2に示したボンディングワイヤ39でボンデ
ィングが行われる。この後、破線52で示した箇所でセ
ラミック基板51が切断され、それぞれのキャリア35
が生産される。
FIG. 6 shows a main part of the manufacturing process of the carrier of the optical semiconductor module of the present embodiment. On the ceramic substrate 51, a light receiving element mounting pattern composed of an element fixing pad 41 and a wire bonding pad 42 is printed in advance in each area divided vertically and horizontally by broken lines 52 in the figure. The light receiving elements 34 are mounted on the respective areas, and bonding is performed by the bonding wires 39 shown in FIG. Thereafter, the ceramic substrate 51 is cut at the location indicated by the broken line 52, and each carrier 35 is cut.
Is produced.

【0027】このように本実施例の光半導体モジュール
で用いられるキャリア35は量産性を向上させることが
できる。しかもこの構造のキャリア35の製造は、IC
等の製造で使用されるチップマウンタやワイヤボンディ
ング装置をそのまま利用することができる。
As described above, the carrier 35 used in the optical semiconductor module of the present embodiment can improve mass productivity. Moreover, the manufacture of the carrier 35 having this structure is performed by using an IC.
The chip mounter and the wire bonding apparatus used in the production of the above-mentioned devices can be used as they are.

【0028】以上説明した実施例では光ビームを受光す
る受光用光半導体モジュールについて説明したが、本発
明は発光モジュールの発光監視モニタ用の受光部分に同
様に適用することができる。これにより、この部分の小
型化ならびに低価格化が可能になる。
In the embodiment described above, the light receiving optical semiconductor module for receiving a light beam has been described. However, the present invention can be similarly applied to a light receiving portion for monitoring light emission monitoring of a light emitting module. As a result, the size and cost of this part can be reduced.

【0029】[0029]

【発明の効果】以上説明したように請求項1〜請求項4
記載の発明によれば、キャリアの一方の面に受光素子を
配置し他方の面に配線用電極パッドを配置し、これらの
間をビアホールによって電気的に接続すると共に、パッ
ケージの所定の内面に外部接続用の電極を配置しておい
て、キャリアをパッケージに実装したとき配線用電極パ
ッドと外部接続用の電極が接触によって電気的に接続す
ることで、受光素子と外部接続用の電極との電気的な接
続を行うようにしている。したがって、パッケージから
キャリアを露出させる必要がなく、モジュールの信頼性
を高めることができる。また、パッケージからキャリア
を露出させる場合と比べて外部のピンとの接続が容易と
なる。
As described above, claims 1 to 4 are described.
According to the invention described above, the light receiving element is arranged on one surface of the carrier, the wiring electrode pads are arranged on the other surface, the vias are electrically connected between them, and the outside is provided on the predetermined inner surface of the package. The connection electrode is arranged, and when the carrier is mounted on the package, the wiring electrode pad and the external connection electrode are electrically connected by contact, so that the electrical connection between the light receiving element and the external connection electrode is made. Connection is made. Therefore, it is not necessary to expose the carrier from the package, and the reliability of the module can be improved. Further, connection with external pins is easier than in the case where the carrier is exposed from the package.

【0030】また請求項5記載の発明によれば、キャリ
アは1枚のセラミック基板に所定の加工を行うことで多
数製造することができるので、量産に適し、しかもIC
等の製造で使用されるチップマウンタやワイヤボンディ
ング装置をそのまま利用することができるという利点が
ある。
According to the fifth aspect of the present invention, a large number of carriers can be manufactured by performing a predetermined processing on one ceramic substrate, so that the carrier is suitable for mass production, and furthermore, is suitable for ICs.
There is an advantage that a chip mounter or a wire bonding apparatus used in the manufacture of the above-described apparatus can be used as it is.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施例における光半導体モジュール
の内部を表わした平面図である。
FIG. 1 is a plan view showing the inside of an optical semiconductor module according to an embodiment of the present invention.

【図2】図1に示した光半導体モジュールを光ファイバ
の位置でこの中心軸に沿ってパッケージの底面に垂直に
切断した断面図である。
FIG. 2 is a cross-sectional view of the optical semiconductor module shown in FIG. 1 cut along a central axis of the optical semiconductor module perpendicular to a bottom surface of a package at an optical fiber.

【図3】本実施例で使用するキャリアの斜視図である。FIG. 3 is a perspective view of a carrier used in the present embodiment.

【図4】図3で示したキャリアの正面図である。FIG. 4 is a front view of the carrier shown in FIG. 3;

【図5】図3で示したキャリアの側面図である。FIG. 5 is a side view of the carrier shown in FIG.

【図6】本実施例の光半導体モジュールのキャリアを形
成する工程でのセラミック基板の斜視図である。
FIG. 6 is a perspective view of the ceramic substrate in a step of forming a carrier of the optical semiconductor module of the present embodiment.

【図7】従来用いられた光半導体モジュールの内部を表
わした平面図である。
FIG. 7 is a plan view showing the inside of a conventionally used optical semiconductor module.

【図8】図7に示した光半導体モジュールを光ファイバ
の位置でこの中心軸に沿ってパッケージの底面に垂直に
切断した断面図である。
8 is a cross-sectional view of the optical semiconductor module shown in FIG. 7 cut along a central axis of the optical semiconductor module perpendicular to the bottom surface of the package at the position of the optical fiber.

【図9】図7に示したキャリアの斜視図である。FIG. 9 is a perspective view of the carrier shown in FIG. 7;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

31 (光半導体モジュールの)パッケージ 32 光ファイバ 33 光ファイバ固定用ブロック 34 受光素子 36 電極パッド 37、38 ビアホール 39 ボンディングワイヤ 41 素子固着用パッド 42 ワイヤボンディング用パッド 43、44 配線用電極パッド 31 package (of an optical semiconductor module) 32 optical fiber 33 optical fiber fixing block 34 light receiving element 36 electrode pad 37, 38 via hole 39 bonding wire 41 element fixing pad 42 wire bonding pad 43, 44 wiring electrode pad

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 光ファイバから送られてくる光ビームを
受光する受光素子と、 この受光素子を光ビームの受光される側の面に配置する
と共に、この反対側の面に配線用電極パッドを配置し、
これらの間をビアホールによって電気的に接続したキャ
リアと、 前記受光素子およびキャリアを内部の予め定めた所定位
置に配置しこの配置状態でキャリアの前記配線用電極パ
ッドが接触する位置に外部接続用の電極を配置したパッ
ケージとを具備することを特徴とする光半導体モジュー
ル。
1. A light-receiving element for receiving a light beam sent from an optical fiber, and the light-receiving element is arranged on a surface on the side receiving the light beam, and a wiring electrode pad is formed on the opposite surface. Place,
A carrier electrically connected between them by a via hole, and the light receiving element and the carrier are arranged at a predetermined predetermined position inside, and in this arrangement state, a position for the external connection is set at a position where the wiring electrode pad of the carrier contacts. An optical semiconductor module, comprising: a package on which electrodes are arranged.
【請求項2】 前記ビアホールは受光素子の2つの出力
端子に対応させて2つ配置されており、前記パッケージ
の内面にこれらのビアホールに対応させて2つの配線用
電極パッドがパターニングされていることを特徴とする
請求項1記載の光半導体モジュール。
2. The semiconductor device according to claim 2, wherein two via holes are arranged corresponding to two output terminals of the light receiving element, and two wiring electrode pads are patterned on the inner surface of the package corresponding to the via holes. The optical semiconductor module according to claim 1, wherein:
【請求項3】 前記キャリアの前記受光素子の固着され
る側の面には、2つのビアホールの一方に素子固着用パ
ッドが配置されており、受光素子の出力端子の1つはこ
の素子固着用パッドに半田付けされ、他方の出力端子は
他方のビアホールとボンディングワイヤによってワイヤ
ボンディングされていることを特徴とする請求項2記載
の光半導体モジュール。
3. An element fixing pad is arranged in one of two via holes on a surface of the carrier to which the light receiving element is fixed, and one of output terminals of the light receiving element is used for fixing the element. 3. The optical semiconductor module according to claim 2, wherein the other output terminal is soldered to the pad and the other output terminal is wire-bonded to the other via hole by a bonding wire.
【請求項4】 発光素子と、 この発光素子から出力される光線を受光するモニタ用の
受光素子と、 この受光素子を光線の受光される側の面に配置すると共
に、この反対側の面に配線用電極パッドを配置し、これ
らの間をビアホールによって電気的に接続したキャリア
と、 前記発光素子、受光素子およびキャリアを内部の予め定
めた所定位置に配置しこの配置状態でキャリアの前記配
線用電極パッドが接触する位置に外部接続用の電極を配
置したパッケージとを具備することを特徴とする光半導
体モジュール。
4. A light-emitting element, a monitor light-receiving element for receiving a light beam output from the light-emitting element, and a light-receiving element disposed on a surface on which light is received, and A wiring electrode pad is disposed, a carrier electrically connected between the wiring electrode pads by a via hole, and the light emitting element, the light receiving element, and the carrier are disposed at a predetermined predetermined position inside, and in this arrangement state, the carrier for the wiring is formed. A package in which an electrode for external connection is arranged at a position where the electrode pad contacts.
【請求項5】 前記キャリアは1枚のセラミック基板の
片面に受光素子搭載用パターンをこれらのキャリアに個
々に対応する所定単位領域ごとにパターニングし、これ
らそれぞれの単位領域ごとに受光素子を搭載し、ボンデ
ィングワイヤで受光素子とそれぞれの単位領域ごとの受
光素子搭載用パターンをボンディングした後に単位領域
ごとに切断して形成したものであることを特徴とする請
求項1または請求項4記載の光半導体モジュール。
5. The carrier is formed by patterning a light receiving element mounting pattern on one surface of a single ceramic substrate for each predetermined unit area corresponding to each of the carriers, and mounting a light receiving element on each of these unit areas. 5. The optical semiconductor according to claim 1, wherein the light receiving element is formed by bonding a light receiving element and a light receiving element mounting pattern for each unit area with a bonding wire and then cutting the light receiving element for each unit area. module.
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