JP2637239B2 - 全有機炭素の測定方法 - Google Patents

全有機炭素の測定方法

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Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、産業排水、湖沼水、海水、河川水等の全有
機炭素を、全有機炭素計を用いて測定する際の測定方法
に関する。
[従来技術] 全有機炭素計は、主に水中の全有機炭素(Totalorgan
ic carbon、以下TOCという)を定量測定する測定器であ
る。この基本原理は、試料を酸化触媒中で完全燃焼させ
二酸化炭素として全炭素濃度(Ct)を求め、別にIC反応
部で試料中の無機炭素濃度(Ci)を求め、前記CtとCiを
別々に非分散型赤外分析計で定量測定して、下記の式を
用いてTOCの定量値を求めるものである。
TOC=Ct−Ci ……式[I] TOCは従来、上下水道や地下水、河川等の水質管理に
必須の測定手段として用いられていたが、近年それに加
えて半導体やICチップの洗浄用超純水等の電子・精密工
業等の水質管理に非常に重要な測定手段となっている。
これらの工業用純水は、ppb(ppbはppmの1/1000)のオ
ーダーのTOCの水質管理が要求される。
ところでTOC計の測定は、予めTOC濃度の分かっている
標準サンプルを用いて検量線を作成しておき、測定試料
のピーク高さあるいは面積を前記した検量線と比較して
定量値を求める方法が採られている。
そして、検量線を使用して試料測定を行なう時、試料
の測定値が検量線の濃度より大きくなったり、また極端
に小さくなった場合、測定不可であったり、あるいは、
求めた試料濃度が不正確となる。このためこの測定結果
をもとに適切な濃度の検量線を選択し再び測定すること
が必要である。
[発明が解決しようとする課題] 上記従来技術の検量線の選択判断は、測定者自身がい
わゆるカンで行なっていたので、信頼度の高い測定結果
を得るのに時間がかかっていた。そのうえ最終検量線を
得るために、何回か改めて検量線を作り直す必要があ
り、この作業に時間がかかっていた。
本発明は前記した従来技術の課題を解決するため、試
料測定においてあらかじめ濃度の違った複数の検量線を
設定しておき、最初の検量線条件で濃度測定を行ない、
この求めた濃度と共に設定された検量線の濃度を、自動
的に比較判断し、最初に使用した検量線の濃度より、適
切な検量線が設定されている場合は、その検量線で再び
測定を行なうようにして、測定者の手間を省き、迅速に
測定ができるようにするとともに、検量線の選択を自動
的に行ない、濃度の判断基準を一定にして正確なTOC濃
度を求めることができる測定手段を提供する。
[課題を解決するための手段] 前記目的を達成するため、本発明は下記の構成からな
る。
すなわち本発明は、試料の注入量ごとにそれぞれの検
量線を作成しておき、その中の1つの注入量で行った試
料の濃度測定の結果と、前記それぞれの検量線における
可測最大濃度とを適宜比較することにより最適な検量線
を自動選択し、自動選択された検量線が前記測定に使用
した検量線であればその測定濃度を全有機炭素濃度と
し、そうでなければその選択された最適検量線に対応す
る注入量で試料の全有機炭素の再測定を行うことを特徴
とする全有機炭素の測定方法である。
なお、TOCを測定するために、TC(全炭素)とIC(無
機炭素)を、それぞれの検量線を使用して定量し、TCと
ICの差からTOCを求めることができるが、その場合のTC
及びICの測定にも本発明方法は適用できる。
[作用] 本発明は、複数の検量線が設定されていて、最初にあ
る検量線で試料を測定し、測定値と他検量線濃度の関係
より、最初に使用した検量線よりも最適な検量線がある
場合は、自動的にその検量線を用いて試料再測定を行な
う。
[実施例] 以下、実施例に基づいて本考案を説明する。なお本発
明は下記の実施例に限定されることはない。
本実施例では、それぞれ試料の注入量毎に最大3本の
検量線が設定可能であり、第一検量線濃度をSTD♯1、
他の検量線が1本なら、その濃度をSTD other、2本な
らSTD others(分けて考える時は、STD other−1、STD
other−2)、試料の測定値をSAMPとする。
最初に第一検量線を用いて試料測定を行なう。そして
測定値SAMPが検量線の濃度と比べて、次のどの場合にあ
てはまるかを判断し、最適検量線を決定する。
全体のフローチャートを第1図に示す。第1図のフロ
ーチャートのAの部分では次の操作を行なう。
STD♯1>SAMP>STD others→STD♯1が最適検量線 STD♯1>STD other>SAMP→STD otherが最適検量線 他の検量線として2本ある場合は STD♯1>STD other−1>SAMP>STD other−2>→S
TD other−1が最適 STD♯1>STD other−1>STD others−2>SAMP>→
STD others−2が最適 STD other>SAMP>STD♯1で測定値SAMPのピーク高さ
が第一検量線におけるレンジのフルスケールをオーバー
しているならSTD otherを最適とし、オーバーしていな
いなら、第一検量線の濃度と測定値の比、及び他の検量
線の濃度と測定値の比を比較処理判断し、いずれの検量
線を使うかを定める。
SAMP>STD other>STD♯1→STD other STD other−1>SAMP>STD others−2>STD ♯1の場合、STD other−1とSTD others−2とで、
と同様の比較判断処理をし決定する。
SAMP>STD other−1>STD others−2>STD♯1→ST
D other−1 次に、で行なう比較判断処理については、第2図
においてSTD♯1をオーバーする領域の誤差をSTD♯1に
おいて、と考え、そこからこの検量線を中心とし、上
下に斜線部だけの誤差があると考えられる。
この誤差の広がりをSTD♯1、SAMPの関数でf(SAM
P、STD♯1)と表わす。
第3図についても同様に考えf(SAMP、STD other)
と表しこの両者を比較して、小さい方を適当な検量線と
する。
次に最適検量線の自動選択のより詳細な実施例につい
て説明する。
第4図の表示部14の画面で試料測定条件を設定すると
き、最大3本の検量線を指定できる。
2ないし3本の検量線を指定した場合には、最適検量
線の自動選択機能が動作する。その機能は次の通りであ
る。
(1) 最初に第1検量線(1st CAL CURVE)で測定す
る。
(2) 試料の測定値(SAMP)が第1検量線の(STD♯
1)の最大濃度(以下濃度という。)以内で、他の検量
線の濃度(STD others)より大きい場合は第1検量線を
使用する。
STD♯1>SAMP>STD others→STD♯1を使用。
(3) 試料の測定が、第1検量線より濃度の小さい他
の1本の検量線の濃度以内のときは、その検量線を使用
する。
STD♯1>STD other>SAMP→STD otherを使用 他の検量線として2本ある場合、次のように処理す
る。
STD♯1>STD other−1>SAMP>STD other−2→STD
other−1を使用。
STD♯1>STD other−1>STD other−2>SAMP→STD
other−2を使用。
(4) 試料の測定が、第1検量線の濃度より大きく、
他の1本の検量線の濃度が第1検量線の濃度より大きい
場合は、次のように処理する。
試料の測定値がHマーク付(ピーク高さが、第1検
量線におけるレンジのフルスケールをオーバー)の場合
は、他の検量線を使用する。
試料の測定値がHマーク付でない場合には、第1検
量線の濃度と測定値の比、及び他の検量線と測定値の比
を比較判断処理し、いずれの検量線を使うかを定める。
STD other>SAMP>STD♯1→比較判断処理に基き、使
用検量線が決まる。
試料の測定値が他の検量線(STD other)の濃度よ
り大きい場合は、その検量線を使用する。
SAMP>STD other>STD♯1→STD otherを使用。
(5) 試料の測定が、第1検量線の濃度より大きく、
他の2本の検量線が第1検量線の濃度より大きい場合
は、先ず他の2本の検量線のうちの濃度の小さいほうで
測定し、以下、上記(4)項の処理をする。
STD other−1>SAMP>STD other−2>STD♯1→比
較判断処理に基づき、使用検量線が決まる。
SAMP>STD other−1>STD other−2>STD♯1→STD
other−1を使用。
この機能を使用する場合、各検量線曲の濃度比が、5
〜10倍になるように設定すると、この機能を有効に活用
して広い範囲の測定ができる。
また、常に1st検量線(STD♯1)から測定を始めるの
で、これに最も良く使う検量線を当てるのが妥当であ
る。
2ndと3rdの検量線の優先度は、設定する検量線の濃度
と試料の濃度により決まる。
次に前記した本発明の測定方法が使用されるTOC計の
一例を下記に説明する。
第4図は、TOC計の一例である。
キャリヤーガス流量制御部1から供給されたキャリヤ
ーガスは、TC試料注入口2、TC燃焼管5内のTC酸化触媒
4、接続拝観6、IC反応器8、除湿部11、及び炭酸ガス
検出部12の順に流される。TC燃焼部は、TC炉3内にTC燃
焼管5が配置され、TC燃焼管5内にTC酸化触媒4が充填
されている。IC反応部は、IC試料注入口7とIC反応器
8、ICドレインバルブ10から構成され、IC反応器8内に
IC反応剤9が充填されている。
測定試料19は、マルチポートバルブ17(一例として4
ポートバルブを示す)から試料注入器(シリンジポン
プ)16により自動的に注入され、TC試料注入口2、TC燃
焼管5内のTC酸化触媒4、接続配管6、IC反応器8、除
湿部11、及び炭酸ガス検出部12を通過して、試料中の全
炭素量(Ct)が定量測定される。
別に測定試料19は、マルチポートバルブ17から試料注
入器(シリンジポンプ)16により自動的に注入され、IC
試料注入口7、IC反応器8内のIC反応剤9、11除湿部、
及び炭酸ガス検出部12を通過して、試料中の無機炭素量
(Ci)が定量測定される。
そしてデータ処理部13で、前記した式[I]に基いて
TOCを算出し、表示部14で表示する。
動作制御部15は、データ処理部13のデータを読んで、
マルチポートバルブ17から試料注入器(シリンジポン
プ)16により自動的に試料を注入すること、TC試料注入
口2またはIC試料注入口7へ試料注入を切り替えるこ
と、ICドレインバルブ10を開いて、オーバーフローして
くるIC余剰液をドレインとして抜く制御などを行なう。
また、無機酸水溶液18を配置し、手動、または動作制御
部15の指示により自動的に、マルチポートバルブ17から
試料注入器(シリンジポンプ)16により、無機酸水溶液
をTC試料注入口、及び/またはIC試料注入口7へ注入
し、TC酸化触媒4及び/またはIC反応剤9を再生処理す
るようにしてもよい。
[発明の効果] (1) 最適検量線の選択をコンピュータを使用したソ
フトウェアで実現することにより、措定者の手間がはぶ
け、測定時間の短縮につながる。
(2) また検量線濃度と測定値を含んだ関数を比較す
ることにより判断基準が一律になる。したがって正確な
測定ができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の測定方法のフローチャートの一実施態
様を示す。第2図及び第3図は本発明の最適検量線を得
る方法を示す。第4図は本発明が使用されるTOC計の一
例である。 1:キャリヤーガス流量制御部 2:TC試料注入口、3:TC炉 4:TC酸化触媒、5:TC燃焼管 7:IC試料注入口、8:IC反応器 9:IC反応剤、10:ドレインバルブ 11:除湿部、12:炭酸ガス検出部 13:データ処理部、14:表示部 15:動作制御部、16:試料注入器 17:マルチポートバルブ 18:無機酸、19:測定試料
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 森田 洋造 京都府京都市中京区西ノ京桑原町1番地 株式会社島津製作所三条工場内 (72)発明者 角 心吾 京都府京都市中京区西ノ京桑原町1番地 株式会社島津製作所三条工場内 (72)発明者 三木 英之 京都府京都市中京区西ノ京桑原町1番地 株式会社島津製作所三条工場内 (56)参考文献 特開 昭61−151445(JP,A) 特開 昭56−147042(JP,A) 特開 昭54−99664(JP,A)

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】全有機炭素の測定方法において、試料の注
    入量ごとにそれぞれの検量線を作成しておき、その中の
    1つの注入量で行った試料の濃度測定の結果と、前記そ
    れぞれの検量線における可測最大濃度とを適宜比較する
    ことにより最適な検量線を自動選択し、自動選択された
    検量線が前記測定に使用した検量線であればその測定濃
    度を全有機炭素濃度とし、そうでなければその選択され
    た最適検量線に対応する注入量で試料の全有機炭素の再
    測定を行うことを特徴とする全有機炭素の測定方法。
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