JP2631441B2 - Method for producing polyimide film / metal foil composite film - Google Patents

Method for producing polyimide film / metal foil composite film

Info

Publication number
JP2631441B2
JP2631441B2 JP12463693A JP12463693A JP2631441B2 JP 2631441 B2 JP2631441 B2 JP 2631441B2 JP 12463693 A JP12463693 A JP 12463693A JP 12463693 A JP12463693 A JP 12463693A JP 2631441 B2 JP2631441 B2 JP 2631441B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
polyimide film
film
plasma
metal foil
polyimide
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP12463693A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH06316759A (en
Inventor
訓宏 稲垣
孝典 鈴木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tomoegawa Co Ltd
Original Assignee
Tomoegawa Paper Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tomoegawa Paper Co Ltd filed Critical Tomoegawa Paper Co Ltd
Priority to JP12463693A priority Critical patent/JP2631441B2/en
Publication of JPH06316759A publication Critical patent/JPH06316759A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP2631441B2 publication Critical patent/JP2631441B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/38Improvement of the adhesion between the insulating substrate and the metal
    • H05K3/381Improvement of the adhesion between the insulating substrate and the metal by special treatment of the substrate

Landscapes

  • Laminated Bodies (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、ポリイミドフィルム・
金属箔複合フィルムの製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention
The present invention relates to a method for producing a metal foil composite film.

【0002】[0002]

【従来の技術】耐熱性高分子の中で、ポリイミドに代表
される芳香族ポリマーは、スーパーエンジニアリングプ
ラスチックとして、最良のものとされている。芳香族ポ
リマーは、耐熱性、難燃性、機械的強度、寸法安定性、
耐薬品性、電気特性等の熱的、物理的、化学的、電気的
特性に優れ、さらに信頼性が高いという特徴を有してお
り、そのため、宇宙・航空機、自動車、エレクトロニク
ス、ガス分離膜等、種々の先端産業において需要が多
い。しかしながら、芳香族ポリマーは、結晶性が高く、
そのため表面が不活性であるという性質を有しており、
したがって、他の素材との複合化の際に接着力が弱く、
芳香族ポリマーとしての前記した長所を必ずしも活かし
た複合材料にはなっていない。さらにまた、耐熱性に関
しても、耐熱温度範囲が狭められているのが現状であ
る。例えば、ポリイミドフィルムをベースとしたフレキ
シブルプリント配線基板(FPC)についてみると、現
在使用されているFPCは、ポリイミドフィルム表面の
密着力の弱さを接着剤を用いることによりカバーするた
めに、その殆どのものがポリイミドフィルム/接着剤/
銅箔の3層構造になっている。この3層FPCには、接
着性、耐熱性、コンタミネーション、信頼性の点で、例
えば次のような問題がある。1)用いている接着剤の耐
熱性がポリイミドフィルムに比べて低いため、生産能率
が向上しない。すなわち、生産能率を上げるために製造
ラインをスピードアップする場合、半田付け工程の設定
温度を高くすればよいが、接着剤の耐熱温度が低いの
で、半田付け工程温度を低めにしか設定できず、そのた
めに、生産能率が向上しない。2)電子機器の高密度
化、高速化、軽薄短小化が進められていることに伴い、
FPCなどを用いた実装技術も高密度実装化へと進んで
いる。その結果、従来では起こり得なかった接着剤中へ
の銅箔のマイグレーションの問題が生じる。3)さらに
FPCの多層化を図る場合に、接着剤を用いると、工程
を複雑化するだけでなく、各層間の電気的接合が生じる
スルーホールメッキの信頼性の問題が起こる。
2. Description of the Related Art Among heat-resistant polymers, aromatic polymers represented by polyimide are considered to be the best as super engineering plastics. Aromatic polymer has heat resistance, flame retardancy, mechanical strength, dimensional stability,
It has excellent thermal, physical, chemical, and electrical properties such as chemical resistance and electrical properties, and is also highly reliable. Therefore, it is used for space and aircraft, automobiles, electronics, gas separation membranes, etc. Demand is high in various advanced industries. However, aromatic polymers are highly crystalline and
Therefore, it has the property that the surface is inert,
Therefore, when compounding with other materials, the adhesive strength is weak,
The composite material does not necessarily utilize the above advantages of the aromatic polymer. Furthermore, as for the heat resistance, the heat resistance temperature range is currently narrowed. For example, regarding a flexible printed wiring board (FPC) based on a polyimide film, most of currently used FPCs are used to cover the weak adhesive force on the surface of the polyimide film by using an adhesive. Is polyimide film / adhesive /
It has a three-layer structure of copper foil. The three-layer FPC has, for example, the following problems in terms of adhesion, heat resistance, contamination, and reliability. 1) Since the heat resistance of the adhesive used is lower than that of the polyimide film, the production efficiency is not improved. In other words, when speeding up the production line to increase production efficiency, the set temperature of the soldering process may be increased, but since the heat resistance temperature of the adhesive is low, the soldering process temperature can only be set lower, Therefore, the production efficiency does not improve. 2) With the progress of higher density, higher speed, lighter, thinner and smaller electronic devices,
Packaging technology using FPC and the like is also progressing to high-density packaging. As a result, there arises a problem of migration of the copper foil into the adhesive, which could not occur conventionally. 3) If an FPC is used to further increase the number of layers, the use of an adhesive not only complicates the process but also causes a problem of reliability of through-hole plating in which electrical bonding between the layers occurs.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】今後、電子機器をより
小さく、より薄くして、コンパクト化するためには、F
PCについては、導体の幅を狭くし、厚さを薄くする必
要がある。ところで、銅にも電気抵抗があり、それに電
流を流すことによって当然熱が発生する。この発生熱量
は、放熱と発熱がうまくバランスして或る一定温度にな
る。例えば、銅箔35μm、幅0.15mmに400m
Aの電流を通すと、温度は約75℃上昇する。電子機器
においては、銅は細密な回路として存在するから、かな
り高温まで温度が上がると予想され、FPCの耐熱特性
が優れていることが益々要求されるようになっている。
本発明は、従来の技術における上記のような実情に鑑
みてなされたものであって、その目的は、ポリイミドフ
ィルムと金属箔の接着力を改善して、接着剤を使用しな
いで2層構造のポリイミド・金属箔複合フィルムを製造
することを可能にする方法を提供することにある。本発
明の他の目的は、FPCだけでなくTAB(テープ オ
ートメイテッド ボンディング)、さらには導電性複合
フィルム、発熱体用フィルムなど、種々の産業分野への
応用に供することが可能なポリイミドフィルム・金属箔
複合フィルムの製造方法を提供することにある。
In the future, in order to make electronic equipment smaller, thinner and more compact, F
As for PC, it is necessary to reduce the width and thickness of the conductor. By the way, copper also has an electric resistance, and heat is naturally generated by flowing a current through it. The amount of generated heat reaches a certain temperature when heat radiation and heat generation are well balanced. For example, copper foil 35 μm, width 0.15 mm, 400 m
When the current of A is passed, the temperature rises by about 75 ° C. In electronic equipment, since copper exists as a fine circuit, the temperature is expected to rise to a considerably high temperature, and it is increasingly required that the heat resistance of the FPC be excellent.
The present invention has been made in view of the above-described circumstances in the related art, and has as its object to improve the adhesive strength between a polyimide film and a metal foil, and to form a two-layer structure without using an adhesive. It is an object of the present invention to provide a method capable of producing a polyimide / metal foil composite film. Another object of the present invention is to provide not only FPC but also TAB (Tape Automated Bonding), a conductive composite film, a film for a heating element, and a polyimide film / metal that can be applied to various industrial fields. An object of the present invention is to provide a method for producing a foil composite film.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】本発明は、ポリイミドフ
ィルムと金属箔の接着力を改善し、かつ、ポリイミドフ
ィルムと金属箔との間の接着剤層を省くことを目的とし
てなされたものである。本発明者等は、検討の結果、金
属箔膜を形成する前にポリイミドフィルム表面上にプラ
ズマ処理によってラジカルを発生させ、次に金属箔との
接着力が強いイミダゾール環を持つモノマーをグラフト
重合させて、ポリイミドフィルムと金属箔との界面に金
属錯体を形成させることにより、上記の目的が達成され
ることを見出だし、本発明を完成するに至った。すなわ
ち、本発明のポリイミドフィルム・金属箔複合フィルム
の製造方法は、ポリイミドフィルムの表面をプラズマ処
理してラジカルを発生させる工程、プラズマ処理された
ポリイミドフィルム表面に生じたラジカル種にビニルイ
ミダゾールをグラフト重合させるグラフト重合処理工
程、および上記グラフト重合処理されたポリイミドフィ
ルム表面にスパッタリングまたは蒸着によって金属箔膜
を固定する工程よりなることを特徴とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to improve the adhesive strength between a polyimide film and a metal foil and to omit an adhesive layer between the polyimide film and the metal foil. . As a result of the study, the present inventors have generated radicals by plasma treatment on the polyimide film surface before forming the metal foil film, and then graft-polymerized a monomer having an imidazole ring having a strong adhesive force with the metal foil. Then, it was found that the above object was achieved by forming a metal complex at the interface between the polyimide film and the metal foil, and the present invention was completed. That is, in the method for producing a polyimide film / metal foil composite film of the present invention, a step of plasma-treating the surface of the polyimide film to generate radicals, and graft-polymerizing vinylimidazole to radical species generated on the surface of the plasma-treated polyimide film And a step of fixing a metal foil film to the surface of the polyimide film subjected to the graft polymerization by sputtering or vapor deposition.

【0005】以下、本発明について詳記する。本発明の
第1の工程であるポリイミドフィルムの表面改質のため
のプラズマ処理は、例えば、図1に示す、バッチ式の平
行平板電極型プラズマ装置を用いて行うことができる。
すなわち、図1の平行平板電極型プラズマ装置におい
て、ベルジャー1内には、互いに平行に配置された二つ
の電極板2、2が配設され、その下部電極上に上述のポ
リイミドフィルム3が置かれる。ベルジャー1内は、密
閉された空間になっており、プラズマ処理時に減圧され
て一定圧力に保たれる。二つの電極間に、高周波電源4
によって電圧を印加し、プラズマ雰囲気を作りだし、こ
のプラズマ雰囲気下にガス供給路5よりプラズマ処理ガ
スを供給して、ポリイミドフィルムの表面をプラズマ処
理する。なお、6は、上部電極板を支えるための電極支
柱であり、7はベルジャー内のガスを廃棄するための排
気口である。
Hereinafter, the present invention will be described in detail. The plasma treatment for the surface modification of the polyimide film, which is the first step of the present invention, can be performed using, for example, a batch-type parallel plate electrode type plasma apparatus shown in FIG.
That is, in the parallel plate electrode type plasma apparatus shown in FIG. 1, two electrode plates 2, 2 arranged in parallel with each other are provided in a bell jar 1, and the above-mentioned polyimide film 3 is placed on its lower electrode. . The inside of the bell jar 1 is a closed space, and is decompressed and maintained at a constant pressure during plasma processing. High frequency power supply 4 between two electrodes
To generate a plasma atmosphere, and a plasma processing gas is supplied from the gas supply path 5 under the plasma atmosphere to plasma-treat the surface of the polyimide film. Reference numeral 6 denotes an electrode support for supporting the upper electrode plate, and reference numeral 7 denotes an exhaust port for discarding gas in the bell jar.

【0006】本発明において使用できるプラズマ処理ガ
スは、酸素ガス、窒素ガス、水素ガス、乾燥空気、アル
ゴンガス、ヘリウムガス、アンモニアガス、一酸化窒素
ガス、二酸化窒素ガス、一酸化炭素ガス、二酸化炭素ガ
スの中から選ばれる少なくとも一種である。
[0006] The plasma processing gas that can be used in the present invention includes oxygen gas, nitrogen gas, hydrogen gas, dry air, argon gas, helium gas, ammonia gas, nitrogen monoxide gas, nitrogen dioxide gas, carbon monoxide gas, and carbon dioxide. It is at least one selected from gas.

【0007】本発明において、高周波(13.56MH
z)電源の出力は、3W〜200Wの範囲内、好ましく
は5〜50Wの範囲内で設定される。出力が200Wよ
り大きくなると、プラズマ処理によってポリイミドフィ
ルムが劣化し、一方3W未満であると、プラズマが発生
しない。また、プラズマ処理圧力は、1.33Pa〜1
330Paの範囲内、好ましくは6.7Pa〜266P
aの範囲に設定される。圧力が、1.33Pa未満の場
合には、プラズマ処理効果が小さく、一方、1330P
aより高い場合にはプラズマが発生しない。また、プラ
ズマ処理時間は、0.2秒〜120秒の範囲内、好まし
くは2秒〜60秒の範囲内に設定される。処理時間が
0.2秒未満である場合には処理効果が小さく、一方、
120秒よりも長い場合にはポリイミドフィルムが劣化
する。
In the present invention, high frequency (13.56 MH)
z) The output of the power supply is set in the range of 3W to 200W, preferably in the range of 5 to 50W. When the output is more than 200 W, the polyimide film is deteriorated by the plasma treatment, while when the output is less than 3 W, no plasma is generated. The plasma processing pressure is 1.33 Pa to 1
Within the range of 330 Pa, preferably 6.7 Pa to 266 P
It is set in the range of a. When the pressure is less than 1.33 Pa, the effect of the plasma treatment is small.
If it is higher than a, no plasma is generated. The plasma processing time is set in the range of 0.2 seconds to 120 seconds, preferably in the range of 2 seconds to 60 seconds. If the processing time is less than 0.2 seconds, the processing effect is small, while
If it is longer than 120 seconds, the polyimide film deteriorates.

【0008】本発明では、前記バッチ式の平行平板電極
型プラズマ装置に限らず、フィルムの巻出し、巻取りが
真空槽内部に設置してあるプラズマ連続処理装置、或い
はフィルムの巻出し、巻取り機構が真空槽外部にあるエ
アー・トゥー・エアー方式等のプラズマ処理装置を適用
して行うことも可能であり、プラズマ装置の種類は特に
限定されるものではない。上記プラズマ処理により、ポ
リイミドフィルム表面に炭素ラジカル或いは酸素ラジカ
ルが発生し、次の工程におけるビニルイミダゾールのグ
ラフト重合処理に際してのグラフト率を高めることがで
きる。
In the present invention, not only the batch type parallel plate electrode type plasma apparatus, but also a plasma continuous processing apparatus in which film unwinding and winding is installed inside a vacuum chamber, or film unwinding and winding up It is also possible to apply a plasma processing apparatus such as an air-to-air system having a mechanism outside the vacuum chamber, and the type of the plasma apparatus is not particularly limited. By the above plasma treatment, carbon radicals or oxygen radicals are generated on the surface of the polyimide film, and the graft ratio in the subsequent step of graft polymerization of vinylimidazole can be increased.

【0009】次に、グラフト重合処理工程について説明
する。グラフト重合処理は、プラズマ処理したポリイミ
ドフィルムを、ビニルイミダゾールを有機溶媒中に溶解
して得られた溶液の中に浸漬し、適当な温度に加熱して
行えばよい。有機溶媒としては、ベンゼン、トルエン、
キシレン等が使用できる。ビニルイミダゾールの濃度
は、10〜30容積%の範囲が好適である。また、処理
温度は、有機溶媒の沸点以下の温度の範囲が好ましい。
グラフト重合処理したポリイミドフィルムは、その中に
含まれるホモポリマーを抽出によって除去するのが望ま
しい。抽出は、例えば、ソックスレー抽出器を用い、ホ
モポリマーを溶解する適当な溶剤、例えば、メタノー
ル、エタノール等を用いて行えばよい。
Next, the graft polymerization step will be described. The graft polymerization treatment may be performed by immersing the plasma-treated polyimide film in a solution obtained by dissolving vinylimidazole in an organic solvent, and heating the film to an appropriate temperature. Organic solvents include benzene, toluene,
Xylene or the like can be used. The concentration of vinylimidazole is preferably in the range of 10 to 30% by volume. Further, the treatment temperature is preferably in the range of a temperature equal to or lower than the boiling point of the organic solvent.
It is desirable that the homopolymer contained in the polyimide film subjected to the graft polymerization treatment is removed by extraction. The extraction may be performed, for example, using a Soxhlet extractor and using a suitable solvent that dissolves the homopolymer, for example, methanol, ethanol, or the like.

【0010】上記のようにプラズマ処理、グラフト重合
処理したポリイミドフィルムは、次いで、金属のスパッ
タリングまたは蒸着によってその表面に金属箔膜を固定
する。スパッタリングまたは蒸着は、公知のスパッタリ
ング装置または蒸着装置を用い、公知の方法で行うこと
ができる。金属箔膜を形成するための金属としては、
銅、クロム、ニッケル、パラジウムなどがあげられる。
上記のようにして金属箔膜を形成することによって、ポ
リイミド表面にポリビニルイミダゾールの金属錯体が形
成され、ポリイミドフィルムと金属箔との密着性が優れ
たものになる。また、同時に耐熱性、耐湿性の向上が促
進される。その後、金属箔の厚みをさらに必要とする場
合には、無電解メッキ或いは電解メッキを行い、所望の
ポリイミド・金属箔複合フィルムとする。
[0010] Next, a metal foil film is fixed on the surface of the polyimide film subjected to the plasma treatment and the graft polymerization treatment as described above by sputtering or vapor deposition of a metal. Sputtering or vapor deposition can be performed by a known method using a known sputtering device or vapor deposition device. As a metal for forming a metal foil film,
Examples include copper, chromium, nickel, and palladium.
By forming the metal foil film as described above, a metal complex of polyvinylimidazole is formed on the polyimide surface, and the adhesion between the polyimide film and the metal foil becomes excellent. At the same time, improvement in heat resistance and moisture resistance is promoted. Thereafter, when the thickness of the metal foil is further required, electroless plating or electrolytic plating is performed to obtain a desired polyimide / metal foil composite film.

【0011】[0011]

【実施例】以下、実施例によって本発明を説明する。 実施例1 図1の平行平板電極型プラズマ装置を用いて、ポリイミ
ドフィルム(カプトン200H、米国デュポン社製、厚
さ50μm)をアルゴンガスプラズマ処理した。プラズ
マ処理条件は、13.56MHzの高周波出力25W、
圧力13.3Pa、照射時間20秒で行った。プラズマ
処理したフィルムを一度空気中に出した後、プラズマ処
理したポリイミドフィルムを、脱気済みのビニルイミダ
ゾール/ベンゼン溶液中に浸し、70℃でグラフト重合
を行った。その後、ソックスレー抽出器により、メタノ
ールを抽出液として用いてビニルイミダゾールがグラフ
ト重合したポリイミドフィルムを処理し、ホモポリマー
を抽出除去した。その後、得られたポリイミドフィルム
を乾燥した。次いで、上記のように処理されたポリイミ
ドフィルム表面に蒸着によって膜厚2000オングスト
ロームの銅箔層を形成した。蒸着は、蒸着装置(真空理
工製、VPC−250FA型)を用いて行った。
The present invention will be described below by way of examples. Example 1 Using a parallel plate electrode type plasma apparatus shown in FIG. 1, a polyimide film (Kapton 200H, manufactured by DuPont, USA, thickness: 50 μm) was subjected to argon gas plasma treatment. The plasma processing conditions were 13.56 MHz high frequency output 25 W,
The test was performed at a pressure of 13.3 Pa and an irradiation time of 20 seconds. After the plasma-treated film was once put into the air, the plasma-treated polyimide film was immersed in a degassed vinylimidazole / benzene solution, and graft polymerization was performed at 70 ° C. Then, the polyimide film on which vinylimidazole was graft-polymerized was treated with methanol as an extract using a Soxhlet extractor to extract and remove the homopolymer. Thereafter, the obtained polyimide film was dried. Next, a 2000 Å thick copper foil layer was formed on the surface of the polyimide film treated as described above by vapor deposition. The vapor deposition was performed using a vapor deposition device (VPC-250FA, manufactured by Vacuum Riko).

【0012】実施例2 実施例1と同様の装置を用い、また同じポリイミドフィ
ルムを用いてプラズマ処理を行った。プラズマ処理は、
13.56MHzの高周波を用い、出力10W、圧力1
3.3Pa、照射時間10秒の条件下で行った。その
後、実施例1と同様にしてビニルイミダゾールのグラフ
ト重合処理を行い、同様にして銅箔層を形成した。
Example 2 A plasma treatment was performed using the same apparatus as in Example 1 and using the same polyimide film. Plasma processing is
Using a high frequency of 13.56 MHz, output 10 W, pressure 1
The test was performed under the conditions of 3.3 Pa and an irradiation time of 10 seconds. Thereafter, a graft polymerization treatment of vinylimidazole was performed in the same manner as in Example 1, and a copper foil layer was formed in the same manner.

【0013】比較例1 実施例1と同様の装置を用い、また同じポリイミドフィ
ルムを用いてプラズマ処理による表面改質を行った。プ
ラズマ処理は、13.56MHzの高周波を用い、出力
25W、圧力13.3Pa、照射時間20秒の条件下で
行った。なお、グラフト重合処理を行なわない以外は、
実施例1と同様にして、比較用サンプルを得た。 比較例2 プラズマ処理およびグラフト重合処理を行なわないで、
実施例1のポリイミドフィルムをそのまま使用し、その
上に実施例1と同様にして銅箔膜を形成し、比較用サン
プルを得た。
Comparative Example 1 The same apparatus as in Example 1 was used, and the same polyimide film was used for surface modification by plasma treatment. The plasma treatment was performed using a high frequency of 13.56 MHz, under the conditions of an output of 25 W, a pressure of 13.3 Pa, and an irradiation time of 20 seconds. In addition, except not performing the graft polymerization treatment,
A comparative sample was obtained in the same manner as in Example 1. Comparative Example 2 Without performing the plasma treatment and the graft polymerization treatment,
The polyimide film of Example 1 was used as it was, and a copper foil film was formed thereon in the same manner as in Example 1 to obtain a comparative sample.

【0014】上記実施例および比較例のサンプルについ
て、図2に示すように接着剤を介して銅蒸着面にアルミ
ニウム板を貼り、サンプル150mm×10mmにおけ
るポリイミドフィルムの180℃剥離強度を測定して、
実施例1、2および比較例1、2を比較した。ここで用
いた接着剤は、エポキシ接着剤(エイブルボンド868
−7UNF、日本エイブルスティック社製)であり、こ
れを圧力1kg/cm2 、25℃の温度条件で24時間
で硬化させた。剥離試験の結果を表1に示す。なお、図
2中、11はポリイミドフィルムであり、その表面改質
部12の上に蒸着銅箔13が形成されている。なお、1
4は、アルミニウム板15を接着するための接着剤であ
る。
As shown in FIG. 2, an aluminum plate was adhered to the copper-deposited surface of the samples of the above Examples and Comparative Examples via an adhesive, and the 180 ° C. peel strength of the polyimide film of the sample 150 mm × 10 mm was measured.
Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 and 2 were compared. The adhesive used here was an epoxy adhesive (Ablebond 868).
-7UNF, manufactured by Nippon Able Stick Co., Ltd.), which was cured for 24 hours at a pressure of 1 kg / cm 2 and a temperature of 25 ° C. Table 1 shows the results of the peeling test. In FIG. 2, reference numeral 11 denotes a polyimide film, and a vapor-deposited copper foil 13 is formed on the surface-modified portion 12. In addition, 1
Reference numeral 4 denotes an adhesive for bonding the aluminum plate 15.

【0015】[0015]

【表1】 表1から明らかなように、グラフト処理した実施例1お
よび2の場合は、比較例1および2の場合よりも剥離強
度が大きく、したがって接着力がより優れていることが
分かる。なお、ポリイミドフィルム側とアルミニウム板
側のそれぞれの剥離面を電子顕微鏡写真により観察した
ところ、比較例2の場合はポリイミドフィルム側には銅
箔は残らず、全てアルミニウム板側に移行していた。ま
た他のサンプルにおいては、ポリイミドフィルム側およ
びアルミニウム側の両面に銅箔が残っており、銅箔の層
間剥離の残痕の大きさが、比較例1、実施例2、実施例
1の順に小さく、均一に生じていることが分かった。こ
の結果は、本発明が優れた効果を奏することを示してい
る。
[Table 1] As is clear from Table 1, in the case of Examples 1 and 2 which were subjected to the grafting treatment, the peel strength was higher than in the cases of Comparative Examples 1 and 2, and therefore, the adhesive strength was more excellent. In addition, when the peeled surfaces of the polyimide film side and the aluminum plate side were observed by an electron micrograph, in the case of Comparative Example 2, no copper foil remained on the polyimide film side, and all of them were transferred to the aluminum plate side. In other samples, the copper foil remains on both sides of the polyimide film side and the aluminum side, and the size of the trace of delamination of the copper foil decreases in the order of Comparative Example 1, Example 2, and Example 1. It turned out that it occurred uniformly. This result indicates that the present invention has an excellent effect.

【0016】[0016]

【発明の効果】本発明においては、耐熱性高分子材料で
あるポリイミドフィルムをプラズマグラフト技術によっ
てあらかじめ表面改質し、その上に金属箔を形成するこ
とから、金属箔、特に銅箔を用いているプリント基板の
場合は、1)さらに高温での使用が可能、2)ショート
トラブルが少ない、3)スルーホール形成が容易にな
る、4)回路が小型化できる、等の利点がある。また、
本発明によれば、回路小型化に伴った製品のコストダウ
ン、接着剤を使用しないことによる材料費の節約、溶剤
を用いないために環境汚染防止装置が不要になるなどの
経済的効果は極めて大きい。本発明の複合フィルムは、
宇宙・航空機産業のみならず、民生用機器の分野にも広
く適用でき、そして、導電性複合フィルムとして、特に
透明電極フィルム、発熱体フィルム等のエレクトロニク
ス・情報産業分野、熱線遮断フィルム、断熱フィルム等
の建設産業分野においても使用することができる。
According to the present invention, since a polyimide film, which is a heat-resistant polymer material, is surface-modified in advance by a plasma graft technique and a metal foil is formed thereon, a metal foil, particularly a copper foil, is used. In the case of a printed circuit board, there are advantages such as 1) use at a higher temperature, 2) less short-circuit trouble, 3) easy formation of through holes, and 4) downsizing of a circuit. Also,
According to the present invention, economical effects such as cost reduction of products due to miniaturization of circuits, saving of material costs by not using adhesives, and eliminating the need for an environmental pollution prevention device because no solvents are used are extremely significant. large. The composite film of the present invention,
It can be widely applied not only in the space and aircraft industries but also in the field of consumer equipment. As conductive composite films, especially in the fields of electronics and information industries such as transparent electrode films and heating element films, heat ray shielding films, heat insulation films, etc. Can also be used in the construction industry.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 平行平板型プラズマ装置の一例の概略構成図
である。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of an example of a parallel plate type plasma apparatus.

【図2】 剥離試験時のサンプルの貼り合わせの状態を
説明する図である。
FIG. 2 is a diagram illustrating a state of bonding samples at the time of a peel test.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…ベルジャー 2…電極板 3…ポリイミドフィルム 4…高周波電源 5…ガス供給路 6…電極支柱 7…排気口 11…ポリイミドフィルム 12…表面改質部 13…蒸着銅箔 14…接着剤 15…アルミニウム板 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Bell jar 2 ... Electrode plate 3 ... Polyimide film 4 ... High frequency power supply 5 ... Gas supply path 6 ... Electrode support 7 ... Exhaust port 11 ... Polyimide film 12 ... Surface modification part 13 ... Evaporated copper foil 14 ... Adhesive 15 ... Aluminum Board

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 ポリイミドフィルムの表面をプラズマ処
理してラジカルを発生させる工程、プラズマ処理された
ポリイミドフィルム表面に生じたラジカル種にビニルイ
ミダゾールをグラフト重合させるグラフト重合処理工
程、および上記グラフト重合処理されたポリイミドフィ
ルム表面にスパッタリングまたは蒸着によって金属箔膜
を固定する工程よりなることを特徴とするポリイミドフ
ィルム・金属箔複合フィルムの製造方法。
A step of generating radicals by plasma-treating the surface of the polyimide film; a step of graft-polymerizing vinylimidazole to radical species generated on the surface of the polyimide-treated plasma film; Fixing the metal foil film to the surface of the polyimide film by sputtering or vapor deposition.
【請求項2】 プラズマ処理を、周波数13.56MH
zの高周波を用い、出力5W〜50W、圧力6.7Pa
〜266Pa、照射時間2秒〜60秒の条件下で行うこ
とを特徴とする請求項1記載のポリイミドフィルム・金
属箔複合フィルムの製造方法。
2. The plasma processing is performed at a frequency of 13.56 MH.
Using high frequency of z, output 5W-50W, pressure 6.7Pa
The method for producing a polyimide film / metal foil composite film according to claim 1, wherein the method is performed under the conditions of -266 Pa and irradiation time of 2 seconds-60 seconds.
【請求項3】 プラズマ処理したポリイミドフィルム
を、ビニルイミダゾールを有機溶媒中に溶解して得た溶
液に浸して、ビニルイミダゾールをポリイミドにグラフ
ト重合させることを特徴とする請求項1記載のポリイミ
ドフィルム・金属箔複合フィルムの製造方法。
3. The polyimide film according to claim 1, wherein the plasma-treated polyimide film is immersed in a solution obtained by dissolving vinyl imidazole in an organic solvent to graft-polymerize vinyl imidazole to the polyimide. A method for producing a metal foil composite film.
JP12463693A 1993-04-30 1993-04-30 Method for producing polyimide film / metal foil composite film Expired - Fee Related JP2631441B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP12463693A JP2631441B2 (en) 1993-04-30 1993-04-30 Method for producing polyimide film / metal foil composite film

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP12463693A JP2631441B2 (en) 1993-04-30 1993-04-30 Method for producing polyimide film / metal foil composite film

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH06316759A JPH06316759A (en) 1994-11-15
JP2631441B2 true JP2631441B2 (en) 1997-07-16

Family

ID=14890320

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP12463693A Expired - Fee Related JP2631441B2 (en) 1993-04-30 1993-04-30 Method for producing polyimide film / metal foil composite film

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2631441B2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101842447B1 (en) * 2017-04-06 2018-05-14 주식회사 피엔에스테크놀로지 Low-temperature curable polyimide precursor composition

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SG87814A1 (en) * 1999-06-29 2002-04-16 Univ Singapore Method for low temperature lamination of metals to polyimides
JP4532713B2 (en) * 2000-10-11 2010-08-25 東洋鋼鈑株式会社 Multilayer metal laminated film and method for producing the same
JP4544913B2 (en) * 2004-03-24 2010-09-15 富士フイルム株式会社 Surface graft formation method, conductive film formation method, metal pattern formation method, multilayer wiring board formation method, surface graft material, and conductive material
JP2007134396A (en) * 2005-11-08 2007-05-31 Fujifilm Corp Laminate for printed wiring board, patterning method of multilayer metal wiring employing it, and metal thin film
US20080286585A1 (en) * 2005-11-22 2008-11-20 Hon Pong Lem Method to Produce Adhesiveless Metallized Polyimide Film
CN102290128A (en) * 2011-05-25 2011-12-21 扬州英利新材料有限公司 Transparent conductive oxide film and production method thereof

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101842447B1 (en) * 2017-04-06 2018-05-14 주식회사 피엔에스테크놀로지 Low-temperature curable polyimide precursor composition

Also Published As

Publication number Publication date
JPH06316759A (en) 1994-11-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0679706B1 (en) Metallized polyimide film containing a hydrocarbyl tin compound
TWI378746B (en)
JP5219806B2 (en) Method for surface modification of polyimide film using ethyleneimine coupling agent, method for producing copper foil laminated film using the same, and copper foil laminated film having a two-layer structure produced by the method
US20080286585A1 (en) Method to Produce Adhesiveless Metallized Polyimide Film
JP2631441B2 (en) Method for producing polyimide film / metal foil composite film
JP3331153B2 (en) Method for producing composite film of polyimide film and metal thin film
JP2008162245A (en) Plating-method two-layer copper polyimide laminated film, and method for manufacturing the same
JP2007120777A (en) Drying storage method of resin film for two-layer flexible substrate, and heating dryer
JP2004327931A (en) Metal coated polyimide substrate and its manufacturing method
JP2003071937A (en) Laminated body, method for manufacturing it, and multi- layer circuit board
JP3286467B2 (en) Method for producing composite film of polyimide film and metal thin film
JP2003218516A (en) Manufacturing method for wiring board
JP2000151047A (en) Double-sided flexible wiring board and manufacture thereof
JP2708598B2 (en) Method for manufacturing flexible printed wiring board
JPH01170091A (en) Flexible substrate for printed wiring
JPS61182942A (en) Substrate for heat-resistant flexible printed wiring and manufacture thereof
JP4086803B2 (en) Method for manufacturing flexible printed circuit board
JPH11314310A (en) Production of fluororesin/thin metal membrane composite sheet
JPH01321687A (en) Flexible printed wiring board
JP2015076610A (en) Surface-treated copper foil and copper-clad laminate plate including the same, printed circuit board using the same, and method for manufacturing the same
JPH05259635A (en) Circuit board
JPH07221444A (en) Manufacture of insulation substrate with metallic thin layer
JP2002273824A (en) Copper foil laminate with adhesive and its manufacturing method
JP7519691B2 (en) Flexible PCB
JPH05183267A (en) Manufacture of dielectric sheet for circuit board

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 19970212

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees