JP2629965B2 - 形状測定装置 - Google Patents
形状測定装置Info
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Description
【発明の詳細な説明】 ＜産業上の利用分野＞ 本発明は、物体表面の形状等を測定するための形状測
定装置における分解能の改善に関するものである。
定装置における分解能の改善に関するものである。
＜従来の技術＞ 第８図はフィゾー干渉計を用いた従来の形状測定装置
を示す構成原理図である。レーザ光源等からの平行光が
ハーフミラー１を透過して参照面を構成するガラス板２
に入射すると、一部の光が反射し他の光が透過する。ガ
ラス板２を透過した光は対象物体に照射されてその反射
光が再びガラス板２に戻りガラス板２からの前記反射光
と干渉する。干渉光はハーフミラー１で反射され、CCD
カメラ４に入射してその干渉パターンが測定される。第
９図は対象物体の表面の凹凸に対応してガラス板２の左
側で干渉縞が発生する様子を示す図である。参照面２に
おける反射光と物体からの反射光の位相差ψが０のとき
の縞は明となり、ψがλ/8（λは光の波長）のときの稿
は中間の明るさ、ψがλ/4のときの縞は暗、ψがλ/2の
ときの縞は再び明となり、物体の表面の凹凸がλ/2変化
するごとに明暗の縞が現れる。
を示す構成原理図である。レーザ光源等からの平行光が
ハーフミラー１を透過して参照面を構成するガラス板２
に入射すると、一部の光が反射し他の光が透過する。ガ
ラス板２を透過した光は対象物体に照射されてその反射
光が再びガラス板２に戻りガラス板２からの前記反射光
と干渉する。干渉光はハーフミラー１で反射され、CCD
カメラ４に入射してその干渉パターンが測定される。第
９図は対象物体の表面の凹凸に対応してガラス板２の左
側で干渉縞が発生する様子を示す図である。参照面２に
おける反射光と物体からの反射光の位相差ψが０のとき
の縞は明となり、ψがλ/8（λは光の波長）のときの稿
は中間の明るさ、ψがλ/4のときの縞は暗、ψがλ/2の
ときの縞は再び明となり、物体の表面の凹凸がλ/2変化
するごとに明暗の縞が現れる。
＜発明が解決しようとする課題＞ しかしながら上記のような構成の形状測定装置の場
合、CCDの画素の大きさ（通常１辺の長さ10〜20μｍ程
度）で分解能が制限を受けるという問題がある。第10図
に示すように、横方向すなわち光軸と直交方向のxy面の
分割能は画素のｘ方向の長さlxおよびｙ方向の長さlyで
決まり、それ以上高い分解能を得ることはできない。ま
た縦方向すなわち光軸方向のｚ軸に関しては、第11図が
示すように、隣り合う画素間の光の位置差ψつまり物体
形状の段差がλ/2のとき段差がないときと同じ明るさと
なり、区別がつかないので、この段差はλ/2以下（フィ
ゾー型の場合）でなければならない。したがって隣り合
う画素間でそれ以上の段差がある場合は誤った結果が出
てしまう。
合、CCDの画素の大きさ（通常１辺の長さ10〜20μｍ程
度）で分解能が制限を受けるという問題がある。第10図
に示すように、横方向すなわち光軸と直交方向のxy面の
分割能は画素のｘ方向の長さlxおよびｙ方向の長さlyで
決まり、それ以上高い分解能を得ることはできない。ま
た縦方向すなわち光軸方向のｚ軸に関しては、第11図が
示すように、隣り合う画素間の光の位置差ψつまり物体
形状の段差がλ/2のとき段差がないときと同じ明るさと
なり、区別がつかないので、この段差はλ/2以下（フィ
ゾー型の場合）でなければならない。したがって隣り合
う画素間でそれ以上の段差がある場合は誤った結果が出
てしまう。
本発明は上記の問題を解決するためになされたもの
で、物体形状の横方向の分解能が向上し、縦方向のスパ
ンが拡大する形状測定装置を実現することを目的とす
る。
で、物体形状の横方向の分解能が向上し、縦方向のスパ
ンが拡大する形状測定装置を実現することを目的とす
る。
＜課題を解決するための手段＞ 本発明は光源からの光を分離手段で２つに分離してそ
の一方の分離光を対象物体に照射し、対象物体からの反
射光と前記分離手段の他方の分離光とが干渉して生じる
干渉パターンを画像センサで検出する形状測定装置に係
るもので、その特徴とするところは干渉パターンと画像
センサの相対位置を前記画像センサへの入射光軸と交差
する方向に変位させる変位手段と、前記画像センサが２
箇所以上の前記各相対位置で測定したデータに加重平均
演算を行う演算手段とを備え、演算手段の出力から画素
寸法よりも細かい分解能の干渉パターンを得るように構
成した点にある。
の一方の分離光を対象物体に照射し、対象物体からの反
射光と前記分離手段の他方の分離光とが干渉して生じる
干渉パターンを画像センサで検出する形状測定装置に係
るもので、その特徴とするところは干渉パターンと画像
センサの相対位置を前記画像センサへの入射光軸と交差
する方向に変位させる変位手段と、前記画像センサが２
箇所以上の前記各相対位置で測定したデータに加重平均
演算を行う演算手段とを備え、演算手段の出力から画素
寸法よりも細かい分解能の干渉パターンを得るように構
成した点にある。
＜作用＞ 変位手段により干渉パターンと画像センサの相対位置
が前記画像センサへの入射光軸と交差する方向に変位さ
れ、２箇所以上の位置で測定したデータに演算手段が加
重平均演算を行うことにより、変位量に対応した分解能
の向上を図ることができる。
が前記画像センサへの入射光軸と交差する方向に変位さ
れ、２箇所以上の位置で測定したデータに演算手段が加
重平均演算を行うことにより、変位量に対応した分解能
の向上を図ることができる。
＜実施例＞ 以下、図面を用いて本発明を詳しく説明する。
第１図は本発明に係る形状測定装置の一実施例でフィ
ゾー干渉計を用いたものを示す構成ブロック図である。
１はレーザ光源等からの平行光が透過するハーフミラ
ー、２はハーフミラー１を透過した光が入射する参照面
を構成するガラス板、３はガラス板２を透過した光が照
射される対象物体、４は対象物体３の反射光とガラス板
２の反射光とが干渉した干渉光がハーフミラー１で反射
した後入射する２次元の画像センサを構成するCCDカメ
ラ、５はCCDカメラ４をその入射光軸と直角方向（横方
向）に変位させる変位手段を構成するPZT等の圧電素子
である。６はCCDカメラ４の出力をディジタル信号に変
換するA/D変換器、７はA/D変換器６の出力を入力するCP
U、８はCPU7を介してデータを格納するメモリである。
7,8はCCDカメラ４の出力に基づく画像データに加重平均
演算を行う演算手段を構成する。ガラス板２は光源から
の光を２つに分離してその一方の分離光を対象物体に照
射する分離手段を構成する。
ゾー干渉計を用いたものを示す構成ブロック図である。
１はレーザ光源等からの平行光が透過するハーフミラ
ー、２はハーフミラー１を透過した光が入射する参照面
を構成するガラス板、３はガラス板２を透過した光が照
射される対象物体、４は対象物体３の反射光とガラス板
２の反射光とが干渉した干渉光がハーフミラー１で反射
した後入射する２次元の画像センサを構成するCCDカメ
ラ、５はCCDカメラ４をその入射光軸と直角方向（横方
向）に変位させる変位手段を構成するPZT等の圧電素子
である。６はCCDカメラ４の出力をディジタル信号に変
換するA/D変換器、７はA/D変換器６の出力を入力するCP
U、８はCPU7を介してデータを格納するメモリである。
7,8はCCDカメラ４の出力に基づく画像データに加重平均
演算を行う演算手段を構成する。ガラス板２は光源から
の光を２つに分離してその一方の分離光を対象物体に照
射する分離手段を構成する。
上記のような構成の装置の動作を以下に説明する。フ
ィゾー干渉計の動作は第８図の場合と同様であるので説
明を省略する。CCDカメラ４は圧電素子５により入射光
軸と直角な２次元平面内でCCDカメラ４の１画素以内で
変位され、複数の位置で干渉パターンを測定する。CCD
カメラ４から出力されるデータはA/D変換器６でディジ
タル信号に変換され、CPU7を介してメモリ８に格納され
る。CPU7はメモリ８に格納されたデータに加重平均演算
を行った後再びメモリ８にその演算データを格納する。
ィゾー干渉計の動作は第８図の場合と同様であるので説
明を省略する。CCDカメラ４は圧電素子５により入射光
軸と直角な２次元平面内でCCDカメラ４の１画素以内で
変位され、複数の位置で干渉パターンを測定する。CCD
カメラ４から出力されるデータはA/D変換器６でディジ
タル信号に変換され、CPU7を介してメモリ８に格納され
る。CPU7はメモリ８に格納されたデータに加重平均演算
を行った後再びメモリ８にその演算データを格納する。
以下にCPU7およびメモリ８からなる演算手段において
CCDカメラ４の画素寸法よりも細かい分解能の干渉パタ
ーンを得る演算手段について説明する。初めにCCDカメ
ラ４のある位置ｕで干渉縞を測定し、CCDカメラ上の画
素i,j（ｘ軸方向でｉ番目、ｙ軸方向でｊ番目にある画
素）による光強度のデータをdijで表す。ここで第２図
に示すように、画素ｉ（すなわち画素i,j）の対象物体
上における中心座標をxiとする。CCDカメラ４から出力
されるdijのマトリックス・データはメモリ８に格納さ
れる。次に第２図に示すように、圧電素子５によりCCD
カメラ４をｕ（第２図の点線の位置）からu-（第２図の
実線の位置）にΔｕだけｘ方向へ変位する。ここで Δｕ＜lx …（１） である。この状態で前記同様に干渉縞を測定した画素
i-,jの光強度データをｄｉ′ｊとすると、そのマトリッ
クス・データもメモリ８に格納される。第２図に示すよ
うに、このときの画素i-（すなわち画素i-,j）の対象物
体上での中心座標ｘｉ′は ｘｉ′＝xi＋Δｕ …（２） で表される。CCDカメラ４の移動量が画素の大きさの半
分である場合、すなわち、 Δｕ＝lx/2 …（３） の場合には、変位によりｘ方向分解能はlx/2となり、変
位を行なわない場合のｘ方向分解能lxと比べて改善され
る。同様にｙ方向にも変位させれば、ｙ方向分解能も改
善できる。
CCDカメラ４の画素寸法よりも細かい分解能の干渉パタ
ーンを得る演算手段について説明する。初めにCCDカメ
ラ４のある位置ｕで干渉縞を測定し、CCDカメラ上の画
素i,j（ｘ軸方向でｉ番目、ｙ軸方向でｊ番目にある画
素）による光強度のデータをdijで表す。ここで第２図
に示すように、画素ｉ（すなわち画素i,j）の対象物体
上における中心座標をxiとする。CCDカメラ４から出力
されるdijのマトリックス・データはメモリ８に格納さ
れる。次に第２図に示すように、圧電素子５によりCCD
カメラ４をｕ（第２図の点線の位置）からu-（第２図の
実線の位置）にΔｕだけｘ方向へ変位する。ここで Δｕ＜lx …（１） である。この状態で前記同様に干渉縞を測定した画素
i-,jの光強度データをｄｉ′ｊとすると、そのマトリッ
クス・データもメモリ８に格納される。第２図に示すよ
うに、このときの画素i-（すなわち画素i-,j）の対象物
体上での中心座標ｘｉ′は ｘｉ′＝xi＋Δｕ …（２） で表される。CCDカメラ４の移動量が画素の大きさの半
分である場合、すなわち、 Δｕ＝lx/2 …（３） の場合には、変位によりｘ方向分解能はlx/2となり、変
位を行なわない場合のｘ方向分解能lxと比べて改善され
る。同様にｙ方向にも変位させれば、ｙ方向分解能も改
善できる。
第３図に示すように、CCD位置ｕにおいてｘ軸方向の
画素長lxによるデータdi（＝dij）を画素長lx/2による
データdkとdk+1とに分けて考えると、光量について di＝dk＋ｄｋ＋１′ di+1＝dk+2＋ｄｋ＋３′ … …（４） の関係が成立つ。CCD位置u-への変位後は光量の関係は ｄｉ′＝dk+1＋ｄｋ＋２′ ｄｉ＋１′＝dk+3＋ｄｋ＋４′ … …（５） となる。したがって例えばｄｉ′のデータにはdiとdi+1
のデータが半分づつ混合することになる。このように両
端を隣のデータと共有しているため、画素の大きさがlx
/2であるCCDカメラで測定した場合と比較すると、解像
力が低下する。この分解能を向上するため、以下に示す
ようなフィルタリング処理（加重平均演算）を行う。例
えばｋ＋１の位置のデータを次式 で演算すれば、両隣からの寄与が半減するので、ｋ＋１
の位置の分解能を高めることができる。ここで はdiと同等の大きさと考えているので、対応する面積は
dk+1の２倍である。また両隣からの影響を更に減らして
分解能をより高めるには、例えば３個のデータを用いて
次の演算を行えばよい（ここではｋ＋２の位置で考え
る。） 一般にデジタルフィルタでは入力をX,出力をY,伝達関
数をＨとすれば、 Ｙ＝Ｈ・Ｘ …（８） あるいは、 Ｈ＝Y/X …（９） の関係があるが、これはX,Yを多項式とし、データ系列
をｚ（ｚ変換のｚ）で表せば Ｈ（ｚ）＝（a0＋a1z-1＋…aMz-M）／ （１＋b1z-1＋b2z-1…bNz-N） …（10） となり、前述の（６）（７）式を一般化すると、このよ
うなディジタル・フィルタの式で表すことができる。以
上はｘ方向についての説明であるが、同様にｙ方向も含
めて２次元のディジタル・フィルタ処理を行うことがで
きる。
画素長lxによるデータdi（＝dij）を画素長lx/2による
データdkとdk+1とに分けて考えると、光量について di＝dk＋ｄｋ＋１′ di+1＝dk+2＋ｄｋ＋３′ … …（４） の関係が成立つ。CCD位置u-への変位後は光量の関係は ｄｉ′＝dk+1＋ｄｋ＋２′ ｄｉ＋１′＝dk+3＋ｄｋ＋４′ … …（５） となる。したがって例えばｄｉ′のデータにはdiとdi+1
のデータが半分づつ混合することになる。このように両
端を隣のデータと共有しているため、画素の大きさがlx
/2であるCCDカメラで測定した場合と比較すると、解像
力が低下する。この分解能を向上するため、以下に示す
ようなフィルタリング処理（加重平均演算）を行う。例
えばｋ＋１の位置のデータを次式 で演算すれば、両隣からの寄与が半減するので、ｋ＋１
の位置の分解能を高めることができる。ここで はdiと同等の大きさと考えているので、対応する面積は
dk+1の２倍である。また両隣からの影響を更に減らして
分解能をより高めるには、例えば３個のデータを用いて
次の演算を行えばよい（ここではｋ＋２の位置で考え
る。） 一般にデジタルフィルタでは入力をX,出力をY,伝達関
数をＨとすれば、 Ｙ＝Ｈ・Ｘ …（８） あるいは、 Ｈ＝Y/X …（９） の関係があるが、これはX,Yを多項式とし、データ系列
をｚ（ｚ変換のｚ）で表せば Ｈ（ｚ）＝（a0＋a1z-1＋…aMz-M）／ （１＋b1z-1＋b2z-1…bNz-N） …（10） となり、前述の（６）（７）式を一般化すると、このよ
うなディジタル・フィルタの式で表すことができる。以
上はｘ方向についての説明であるが、同様にｙ方向も含
めて２次元のディジタル・フィルタ処理を行うことがで
きる。
次に上記のようにCCDカメラを移動することにより、
縦方向すなわちｚ軸方向のスパンが拡大することを示
す。前記同様にCCDを Δｕ＝lx/2 …（３） 移動させると、第２図に示すように、第11図の画素ｉと
画素ｉ＋１の中間となる位置に新たに画素i-のデータが
得られる。もし対象物体３の形状がこの間で連続である
とすれば、画素i-の明るさは画素ｉや画素ｉ＋１のそれ
とは異なり、画素ｉと画素i-の間の位相差はλ/2よりも
小さい。すなわち画素ｉと画素i-間で段差Δｚがλ/2迄
測定可能となる。これは画素i-と画素ｉ＋１との間でも
同様である。したがって、画素ｉと画素ｉ＋１の間の段
差Δｚの制限はCCDカメラ固定の場合のλ/2からλに拡
大され、縦方向のスパンが２倍に広げられたことにな
る。
縦方向すなわちｚ軸方向のスパンが拡大することを示
す。前記同様にCCDを Δｕ＝lx/2 …（３） 移動させると、第２図に示すように、第11図の画素ｉと
画素ｉ＋１の中間となる位置に新たに画素i-のデータが
得られる。もし対象物体３の形状がこの間で連続である
とすれば、画素i-の明るさは画素ｉや画素ｉ＋１のそれ
とは異なり、画素ｉと画素i-の間の位相差はλ/2よりも
小さい。すなわち画素ｉと画素i-間で段差Δｚがλ/2迄
測定可能となる。これは画素i-と画素ｉ＋１との間でも
同様である。したがって、画素ｉと画素ｉ＋１の間の段
差Δｚの制限はCCDカメラ固定の場合のλ/2からλに拡
大され、縦方向のスパンが２倍に広げられたことにな
る。
このような構成の形状測定装置によれば、光軸と直角
方向（横方向）の分解能が向上する。
方向（横方向）の分解能が向上する。
また対象物体が画素長程度で単調に変化している場合
には、隣り合う画素間の段差がλ/2以上であっても横ス
キャン（変位）によりその中間の高さを測定できるた
め、光軸方向のスパンが拡大する。
には、隣り合う画素間の段差がλ/2以上であっても横ス
キャン（変位）によりその中間の高さを測定できるた
め、光軸方向のスパンが拡大する。
またxy面（横方向）における分解能が向上するので、
これと対応するｚ軸方向（光軸方向）の値もより正確な
値になる。
これと対応するｚ軸方向（光軸方向）の値もより正確な
値になる。
なお上記の実施例はCCDカメラ４の移動量Δｕをlx/2
とした場合を示したが、移動量Δｕをより小さくすれ
ば、より分解能を向上し、縦方向のスパンを拡大でき
る。通常、移動量を Δｕ＝lx/e …（11） とすれば、ｅ回の移動により、スパンはｅλ/2となる。
第４図（Ａ）はｅ＝４とした場合の画素の移動の様子を
示し、lx/4の移動を３回行ってｘ軸方向の４つの位置で
測定している。第４図（Ｂ）はこの場合の加重平均（フ
ィルタ）演算における各データの重み付けを第４図
（Ａ）に対応させて示している。
とした場合を示したが、移動量Δｕをより小さくすれ
ば、より分解能を向上し、縦方向のスパンを拡大でき
る。通常、移動量を Δｕ＝lx/e …（11） とすれば、ｅ回の移動により、スパンはｅλ/2となる。
第４図（Ａ）はｅ＝４とした場合の画素の移動の様子を
示し、lx/4の移動を３回行ってｘ軸方向の４つの位置で
測定している。第４図（Ｂ）はこの場合の加重平均（フ
ィルタ）演算における各データの重み付けを第４図
（Ａ）に対応させて示している。
また上記の実施例は１画素以内の移動で実現できる
が、CCDの画素のばらつきを考えると、１画素以上の移
動も有用である。すなわち、画素の大きさや感度にばら
つきがあると、特に画素と画素のつなぎが連続しにくく
なる可能性がある。このような場合には、例えば２画素
動かし、重複した部分も平均化処理に用いることでつな
がりをより滑らかにすることができる。
が、CCDの画素のばらつきを考えると、１画素以上の移
動も有用である。すなわち、画素の大きさや感度にばら
つきがあると、特に画素と画素のつなぎが連続しにくく
なる可能性がある。このような場合には、例えば２画素
動かし、重複した部分も平均化処理に用いることでつな
がりをより滑らかにすることができる。
また上記の実施例ではCCDカメラ４を移動している
が、第５図に示すようにハーフミラー１を移動させても
よい。図において51,52はハーフミラー１をCCDカメラ４
の入射光と直角な方向に変位させる圧電素子である。ま
た第６図に示すようにハーフミラー１の回転によっても
横方向のスキャンが可能である。図で53はハーフミラー
１を固定点Ｃのまわりに僅かに回転させる圧電素子であ
る。また第７図に示すようにCCDカメラ４の手前に凸レ
ンズ９を置いて光軸方向に移動することにより横方向の
スキャンを実現できる。この場合に凸レンズの代りに凹
レンズを用いることもできる。要するに干渉計からの干
渉パターンとCCDカメラの相対位置をCCDカメラへの入射
光軸と直角方向に変位させる任意の変位手段を用いるこ
とができる。
が、第５図に示すようにハーフミラー１を移動させても
よい。図において51,52はハーフミラー１をCCDカメラ４
の入射光と直角な方向に変位させる圧電素子である。ま
た第６図に示すようにハーフミラー１の回転によっても
横方向のスキャンが可能である。図で53はハーフミラー
１を固定点Ｃのまわりに僅かに回転させる圧電素子であ
る。また第７図に示すようにCCDカメラ４の手前に凸レ
ンズ９を置いて光軸方向に移動することにより横方向の
スキャンを実現できる。この場合に凸レンズの代りに凹
レンズを用いることもできる。要するに干渉計からの干
渉パターンとCCDカメラの相対位置をCCDカメラへの入射
光軸と直角方向に変位させる任意の変位手段を用いるこ
とができる。
また画像センサはCCDカメラに限らずMOSカメラ，撮像
管あるいはフォトダイオードアレイ等任意の１次元また
は２次元の画像センサを用いることができる。
管あるいはフォトダイオードアレイ等任意の１次元また
は２次元の画像センサを用いることができる。
またカメラの感度、あるいはA/D変換のビット数で決
まる画像センサ側の空間周波数限界まで、デジタル空間
フィルタの周波数（分解能）を上げることが可能であ
る。
まる画像センサ側の空間周波数限界まで、デジタル空間
フィルタの周波数（分解能）を上げることが可能であ
る。
またフィゾー干渉計の代りにトワイマングリーン干渉
計やシュアリング干渉計等を用いることもできる。
計やシュアリング干渉計等を用いることもできる。
また変位手段は圧電素子に限らず、コイルアクチュエ
ータ等を用いることもできる。
ータ等を用いることもできる。
またx,y方向だけでなく、光軸に対して斜めの横方向
移動や回転による横方向移動を用いてもよい。
移動や回転による横方向移動を用いてもよい。
＜発明の効果＞ 以上の説明から明らかなように、本願発明によれば、
物体形状の横方向の分解能が向上し、縦方向のスパンが
拡大する形状測定装置を簡単な構成で実現することがで
きる。
物体形状の横方向の分解能が向上し、縦方向のスパンが
拡大する形状測定装置を簡単な構成で実現することがで
きる。
第１図は本発明に係る形状測定装置の一実施例を示す構
成ブロック図、第２図，第３図および第４図は第１図装
置の動作を示す説明図、第５図，第６図および第７図は
第１図装置の変形例を示す部分構成図、第８図は従来の
形状測定装置の一例を示す構成図、第９図，第10図およ
び第11図は第８図装置の動作を説明する説明図である。 ２……分離手段、３……対象物体、４……画像センサ、
５……変位手段、７……CPU、８……メモリ。
成ブロック図、第２図，第３図および第４図は第１図装
置の動作を示す説明図、第５図，第６図および第７図は
第１図装置の変形例を示す部分構成図、第８図は従来の
形状測定装置の一例を示す構成図、第９図，第10図およ
び第11図は第８図装置の動作を説明する説明図である。 ２……分離手段、３……対象物体、４……画像センサ、
５……変位手段、７……CPU、８……メモリ。
Claims (1)
- 【請求項１】光源からの光を分離手段で２つに分離して
その一方の分離光を対象物体に照射し、対象物体からの
反射光と前記分離手段の他方の分離光とが干渉して生じ
る干渉パターンを画像センサで検出する形状測定装置に
おいて、干渉パターンと画像センサの相対位置を前記画
像センサへの入射光軸と交差する方向に変位させる変位
手段と、前記画像センサが２箇所以上の前記各相対位置
で測定したデータに加重平均演算を行う演算手段とを備
え、演算手段の出力から画素寸法よりも細かい分解能の
干渉パターンを得るように構成したことを特徴とする形
状測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17382689A JP2629965B2 (ja) | 1989-07-05 | 1989-07-05 | 形状測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17382689A JP2629965B2 (ja) | 1989-07-05 | 1989-07-05 | 形状測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0339606A JPH0339606A (ja) | 1991-02-20 |
| JP2629965B2 true JP2629965B2 (ja) | 1997-07-16 |
Family
ID=15967874
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17382689A Expired - Lifetime JP2629965B2 (ja) | 1989-07-05 | 1989-07-05 | 形状測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2629965B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0769753A1 (en) * | 1995-10-20 | 1997-04-23 | Opticon Sensors Europe B.V. | Optical scanner with array of photosensors parallel to optical axis |
| US7006107B2 (en) | 2003-05-16 | 2006-02-28 | Adobe Systems Incorporated | Anisotropic anti-aliasing |
-
1989
- 1989-07-05 JP JP17382689A patent/JP2629965B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0339606A (ja) | 1991-02-20 |
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