JP2623576B2 - Optical disk inspection method - Google Patents
Optical disk inspection methodInfo
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は光ディスクの変調度，反射率等の検査に使用
して好適な光ディスクの検査方法に関する。Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical disk inspection method suitable for use in inspection of the degree of modulation, reflectivity, etc. of an optical disk.
本発明は光ディスクの変調度，反射率等の検査に使用
して好適な光ディスクの検査方法であって、記録信号の
周波数の２倍以上の周波数のパルス的なレーザ光を光デ
ィスクの反射面に照射すると共にディテクタからの前記
レーザ光の照射されないときの基準レベルと、前記レー
ザ光の照射されたときの再生光量に応じた信号レベルと
を同時にオシロスコープによって観察する様にすること
により光ディスクの変調度を直接測定ができる様にする
と共に反射率の絶対測定ができる様にしたものである。The present invention relates to an optical disk inspection method suitable for use in inspection of the degree of modulation, reflectivity, and the like of an optical disk. By simultaneously observing a reference level when the laser light is not irradiated from the detector and a signal level corresponding to the reproduction light amount when the laser light is irradiated by an oscilloscope, the modulation degree of the optical disc is adjusted. The direct measurement and the absolute measurement of the reflectance can be performed.
一般に光ディスクの良，不良を検査するのに光が全く
戻らない状態と、光ディスクのピットのないところに光
を集光して反射されて戻ってくる状態の光量の差をI0と
し、アドレス部のピットのない部分とピットの底部との
反射光量の差をIptとしたときのIpt/Io即ち変調度（こ
れはピットによりどのくらいの光が回折されるかの指標
となる。），光ディスクの反射面よりの光の反射率等の
測定が行なわれていた。In general optical disc good, and when no return light at all to inspect defects, the difference between the amount of state returning after being reflected by condensing light to the absence of pits of an optical disk and I 0, the address portion Where Ipt is the difference in the amount of reflected light between the pit-free portion and the bottom of the pit, that is, the degree of modulation (this is an index of how much light is diffracted by the pit), and the reflection of the optical disk. Measurements such as the reflectance of light from the surface have been performed.
従来この変調度Ipt/Io,反射率等を測定するのに一般
の光ディスクプレーヤと同様の構成の光ディスクプレー
ヤが使用され、一定の光を光ディスクに照射することに
より行なっているので、この再生信号をオシロスコープ
等で観測したときには相対レベルしか観測されず、基準
レベルが観測されない不都合があった。Conventionally, an optical disk player having the same configuration as a general optical disk player has been used to measure the modulation degree Ipt / Io, the reflectance, etc., and irradiates a constant light onto the optical disk. When observed with an oscilloscope or the like, only the relative level is observed, and the reference level is not observed.
本発明は斯る点に鑑み光ディスクの変調度を直接測定
ができる様にすると共に反射率の絶対測定ができる様に
することを目的とする。In view of the above, an object of the present invention is to enable direct measurement of the degree of modulation of an optical disc and absolute measurement of reflectance.
本発明光ディスクの検査方法は例えば第１図に示す如
く記録信号の周波数の２倍以上の周波数のパルス的なレ
ーザ光（7a）を光ディスク（３）の反射面（3a）に照射
すると共にディテクタ（1a）（1b）からのこのレーザ光
（7a）の照射されないときの基準レベルと、このレーザ
光（7a）の照射されたときの再生光量に応じた信号レベ
ルとを同時にオシロスコープ（２）によって観察する様
にしたものである。In the inspection method of the optical disk according to the present invention, as shown in FIG. 1, for example, a pulsed laser beam (7a) having a frequency of twice or more the frequency of the recording signal is applied to the reflection surface (3a) of the optical disk (3) and the detector ( 1a) Observe the reference level when the laser beam (7a) is not irradiated from (1b) and the signal level corresponding to the reproduction light amount when the laser beam (7a) is irradiated by the oscilloscope (2) at the same time. It is made to do.
斯る本発明に依れば光ディスク（３）に照射するレー
ザ光をパルス的にしているのでこの照射するレーザ光を
例えば10mWと大きくしても光ディスク（３）に悪影響を
与えることがなく、良好な検査ができ、またこのパルス
の周波数を記録信号の周波数の２倍以上即ち再生空間周
波数の２倍以上としているので最小ピットでも良好な測
定ができる再生信号が得られ、且つこのパルス的なレー
ザ光の照射されない零レベル即ち基準レベルとレーザ光
の照射されたときの再生光量に応じた信号レベルとを同
時にオシロスコープ（２）で観察できるので、光ディス
ク（３）のピット又はグルーブの変調度を直接測定がで
きると共に反射率の絶対測定ができる。According to the present invention, since the laser light irradiated to the optical disk (3) is pulsed, even if the irradiated laser light is increased to, for example, 10 mW, it does not adversely affect the optical disk (3). In addition, since the frequency of this pulse is twice or more the frequency of the recording signal, that is, twice or more the reproduction spatial frequency, a reproduction signal that can be measured well even with the smallest pit can be obtained. Since the oscilloscope (2) can simultaneously observe the zero level, ie, the reference level, which is not irradiated with light, and the signal level corresponding to the reproduced light amount when the laser light is irradiated, the modulation degree of the pits or grooves of the optical disk (3) can be directly determined. Measurement can be performed, and absolute measurement of reflectance can be performed.
以下図面を参照しながら本発明光ディスクの検査方法
の一実施例につき説明しよう。An embodiment of the optical disk inspection method according to the present invention will be described below with reference to the drawings.
第１図は本例に使用される光ディスクの検査装置の構
成を示し、この第１図に於いて、（４）は記録信号周波
数の２倍以上即ち再生空間周波数の２倍以上例えば20MH
zの周波数信号を発振する発振回路を示し、この発振回
路（４）の20MHzの周波数信号をパルス信号に波形整形
するパルス発生回路（５）に供給する。このパルス発生
回路（５）は第２図Ａに示す如くこの20MHzの周波数信
号をパルス幅が5nsecの20MHzのパルス信号（5a）に波形
整形する如くする。このパルス発生回路（５）の出力側
に得られるパルス信号（5a）をレーザダイオード駆動回
路（６）を介してレーザダイオード（７）に供給しこの
レーザダイオード（７）をパルス駆動し、このレーザダ
イオード（７）より20MHzのパルス信号（5a）に同期し
た第２図Ｂに示す如きパルス的レーザ光（7a）を得る如
くする。この場合このレーザダイオード（７）より光デ
ィスク（３）の面に10mW程度のレーザ光が照射される如
くする。このときこのレーザ光が10mW程度でもこのレー
ザ光はパルス駆動なので、この光ディスク（３）に何等
悪影響を及ぼすことがない。またこの場合このレーザダ
イオード（７）よりのレーザ光（7a）の波長λは例えば
780nmである。このレーザダイオード（７）よりのレー
ザ光（7a）をこのレーザ光を平行光にするレンズ
（８）、このレーザ光（7a）を断面円形とする整形用を
兼ねた対物レンズ（11）のサーボ信号を得るためのビー
ムスプリッタ（９）、再生光を得るためのビームスプリ
ッタ（10）及び対物レンズ（11）を介して光ディスク
（３）の反射面（3a）に照射する如くする。また光ディ
スク（３）よりの反射光をビームスプリッタ（10）に供
給する。この偏光ビームスプリッタ（10）を介して、差
動光学系を構成する1/2波長板（12）及び偏光ビームス
プリッタ（13）に供給する。この偏光ビームスプリッタ
（13）により反射された光をレンズを介してPINダイオ
ードより構成された一方のフォトディテクタ（1a）に供
給し、この反射光量を電気信号として検出する。またこ
の偏光ビームスプリッタ（13）を通過した光をミラー
（14）及びレンズを介してPINダイオードより構成され
た他方のフォトディテクタ（1b）に供給し、この光を電
気信号として検出する。このフォトディテクタ（1a）及
び（1b）に得られる検出信号を夫々75Ωの同軸ケーブル
（15a）及び（15b）を介して周知のオシロスコープ
（２）の第１及び第２チャンネル端子（2a）及び（2b）
に夫々供給し、75Ωでターミネーションするする如くす
る。この場合変調度，反射率をこのオシロスコープ
（２）の画面（2c）で観測するときには一方及び他方の
フォトディテクタ（1a）及び（1b）の夫々の出力信号PD
1及びPD2の和の信号（PD1＋PD2）の無偏光光学系の反射
光量変化を観測する様にすると共に光ディスク（３）の
複屈折を検査するときにはこの差の信号（PD1−PD2）を
観測する様にする。FIG. 1 shows the configuration of an optical disk inspection apparatus used in the present embodiment. In FIG. 1, (4) is at least twice the recording signal frequency, that is, at least twice the reproduction spatial frequency, for example, 20 MHz.
An oscillation circuit for oscillating a frequency signal of z is supplied to a pulse generation circuit (5) for shaping a 20 MHz frequency signal of the oscillation circuit (4) into a pulse signal. The pulse generation circuit (5) shapes the 20 MHz frequency signal into a 20 MHz pulse signal (5a) having a pulse width of 5 nsec as shown in FIG. 2A. A pulse signal (5a) obtained at the output side of the pulse generation circuit (5) is supplied to a laser diode (7) via a laser diode drive circuit (6), and the laser diode (7) is pulse-driven to produce a laser. A pulse laser light (7a) as shown in FIG. 2B synchronized with a pulse signal (5a) of 20 MHz is obtained from the diode (7). In this case, the surface of the optical disk (3) is irradiated with a laser beam of about 10 mW from the laser diode (7). At this time, even if the laser light is about 10 mW, since the laser light is pulse-driven, there is no adverse effect on the optical disc (3). In this case, the wavelength λ of the laser beam (7a) from the laser diode (7) is, for example,
780 nm. The servo of the lens (8) for converting the laser light (7a) from the laser diode (7) into parallel light and the objective lens (11) for shaping the laser light (7a) into a circular cross section. Irradiation is performed on the reflection surface (3a) of the optical disk (3) via a beam splitter (9) for obtaining a signal, a beam splitter (10) for obtaining a reproduction light, and an objective lens (11). Further, the reflected light from the optical disk (3) is supplied to the beam splitter (10). The light is supplied to the half-wave plate (12) and the polarizing beam splitter (13) constituting the differential optical system via the polarizing beam splitter (10). The light reflected by the polarizing beam splitter (13) is supplied to one photodetector (1a) composed of a PIN diode via a lens, and the amount of reflected light is detected as an electric signal. The light passing through the polarizing beam splitter (13) is supplied to the other photodetector (1b) composed of a PIN diode via a mirror (14) and a lens, and the light is detected as an electric signal. The detection signals obtained by the photodetectors (1a) and (1b) are respectively applied to the first and second channel terminals (2a) and (2b) of a well-known oscilloscope (2) via coaxial cables (15a) and (15b) of 75Ω. )
, Respectively, so as to terminate at 75Ω. In this case, when observing the degree of modulation and the reflectance on the screen (2c) of the oscilloscope (2), the output signals PD of the photodetectors (1a) and (1b) of one and the other, respectively.
A change in the amount of reflected light of the unpolarized optical system of the sum signal (PD 1 + PD 2 ) of PD 1 and PD 2 is observed, and a signal of this difference (PD 1 -PD) is used when inspecting the birefringence of the optical disc (3). Observe 2 ).
また第１図に於いてはビームスプリッタ（９）により
反射された光ディスク（３）の反射面（3a）よりの反射
光をサーボ信号を得るディテクタ（16）に供給する。こ
のディテクタ（16）は光量の低周波成分を検出する様に
なされたもので、このディテクタ（16）の出力信号によ
り対物レンズ（11）に周知の如くサーボを掛ける様にす
る。第１図に於いて（17）は光ディスク（３）を回転す
るスピンドルモータである。In FIG. 1, the reflected light from the reflecting surface (3a) of the optical disk (3) reflected by the beam splitter (9) is supplied to a detector (16) for obtaining a servo signal. The detector (16) detects a low-frequency component of the light quantity, and servos the objective lens (11) in a well-known manner based on an output signal of the detector (16). In FIG. 1, (17) is a spindle motor for rotating the optical disk (3).
本例に依る光ディスクの検査装置は上述の如く構成さ
れており、変調度の測定及び反射率測定を行うときには
レーザダイオード（７）が第２図Ａに示す如きパルス幅
5ns,20MHzのパルス信号（5a）によりパルス駆動され、
このレーザダイオード（７）により第２図Ｂに示す如き
パルス的レーザ光（7a）が発せられ、このパルス的レー
ザ光（7a）が検査しようとする光ディスク（３）に照射
される。従って光ディスク（３）と照射されるパルス的
レーザ光（7a）との関係が第３図Ａ及びＢに示す如き関
係にあったときはフォトディテクタ（1a）及び（1b）の
加算出力信号（PD1＋PD2）はビット（3P）からの反射光
はこのピット（3P）によって回折された分の光量が減少
することになるため、第３図Ｃに示す如くパルス信号の
ピーク値が下がったような形で示される。従ってこのオ
シロスコープ（２）の画面（2c）には第４図に示す如く
反射光量が零（レーザ光（7a）の輝度が零）のレベルの
基準レベルとピット（3P）がある部分とピット（3P）の
ない部分に対応したレベルのパルス波形とが表示され
る。この為第４図に示す如く光が全く戻らない反射光量
が零の基準レベルと光ディスクのピットのないところの
ミラー部からの反射光の光量の差Ioと、アドレス部のピ
ットのない部分とピット（3P）部との反射光量の差Ipt
との関係を直接観察することができ、この光ディスク
（３）のビット（3P）又はグループの変調度を直接観察
することができると共にこの基準レベルに対し反射光の
レベルIgr,Ioがわかるので反射率の絶対測定ができる。The optical disk inspection apparatus according to this embodiment is configured as described above. When the modulation degree and the reflectivity are measured, the laser diode (7) uses the pulse width as shown in FIG.
Pulsed by 5ns, 20MHz pulse signal (5a),
The laser diode (7) emits a pulsed laser beam (7a) as shown in FIG. 2B, and the pulsed laser beam (7a) is applied to the optical disk (3) to be inspected. Therefore, when the relationship between the optical disk (3) and the pulsed laser beam (7a) to be irradiated is as shown in FIGS. 3A and 3B, the added output signal (PD 1 ) of the photodetectors (1a) and (1b) is obtained. + PD 2 ) means that the amount of light reflected by the bit (3P) is reduced by the amount of light diffracted by the pit (3P), so that the peak value of the pulse signal decreases as shown in FIG. 3C. Indicated by shape. Therefore, as shown in FIG. 4, the screen (2c) of the oscilloscope (2) has the reference level of the reflected light amount of zero (the luminance of the laser beam (7a) is zero), the portion having the pit (3P), and the pit (3P). The pulse waveform of the level corresponding to the part without 3P) is displayed. Therefore, as shown in FIG. 4, the difference Io between the reference level where the amount of reflected light from which no light returns at all is zero and the amount of reflected light from the mirror portion where there are no pits on the optical disk, the pitless portion of the address portion and the pit portion Difference in reflected light amount from the (3P) section Ipt
And the degree of modulation of the bit (3P) or group of the optical disc (3) can be directly observed, and the levels Igr and Io of the reflected light can be known with respect to this reference level. Absolute rate measurement.
また本例に於いては光ディスク（３）に照射するレー
ザ光をパルス駆動としているので、この照射するレーザ
光を例えば10mWと大きくし、良好な検査ができるように
しても、光ディスク（３）に悪影響を与えることがない
と共にこのパルスの周波数を記録信号の周波数の２倍以
上即ち再生空間周波数の２倍以上としているので最小ピ
ットでも良好な測定ができる再生信号が得られる。Also, in this example, the laser light applied to the optical disc (3) is pulse-driven, so that the applied laser light is increased to, for example, 10 mW so that good inspection can be performed. Since there is no adverse effect and the frequency of this pulse is at least twice the frequency of the recording signal, that is, at least twice the reproduction spatial frequency, a reproduction signal that can be measured well even with the smallest pits can be obtained.
またグループの１周分の反射率を観察するときはオシ
ロスコープ（２）の画面（2c）に第５図に示す如き波形
が得られ、設定値Ｓに対し、±どの程度のむらがあるか
を知ることができる。In addition, when observing the reflectance for one round of the group, a waveform as shown in FIG. 5 is obtained on the screen (2c) of the oscilloscope (2), and it is possible to know ± the degree of unevenness with respect to the set value S. be able to.
また本例に於いてはフォトディテクタ（1a）及び（1
b）は差動検出系を構成しているので、光ディスク
（３）の基板例えばポリカーボネート基板に見られる複
屈折（偏光性）のノイズ（ホワイトスポットと呼ばれて
いる）の検出も可能である。この場合フォトディテクタ
（1a）及び（1b）の夫々の出力信号PD1及びPD2の差の信
号（PD1−PD2）を観察することにより、この複屈折成分
を観測することができる。In this example, the photo detectors (1a) and (1
Since b) constitutes a differential detection system, it is possible to detect birefringence (polarization) noise (called a white spot) found on the substrate of the optical disc (3), for example, a polycarbonate substrate. By this observation the photodetector (1a) and the difference between the respective output signal PD 1 and PD 2 of (1b) of the signal (PD 1 -PD 2), it is possible to observe the birefringence component.
本例に依れば同様にして、その他の特性を観察するこ
とができる。According to this example, other characteristics can be similarly observed.
尚本発明は上述実施例に限ることなく本発明の要旨を
逸脱することなくその他種々の構成が取り得ることは勿
論である。It should be noted that the present invention is not limited to the above-described embodiment, but can adopt various other configurations without departing from the gist of the present invention.
本発明に依ればパルス的なレーザ光の照射されない零
レベルすなわち基準レベルとレーザ光の照射されたとき
の再生光量に応じた信号レベルとを同時にオシロスコー
プ（２）で観察できるので、光ディスク（３）のピット
又はグループの変調度を直接観測できると共に反射率の
絶対測定ができる。According to the present invention, the oscilloscope (2) can simultaneously observe the zero level not irradiated with the pulsed laser light, that is, the reference level, and the signal level corresponding to the reproduction light amount when the laser light is irradiated, so that the optical disk (3) can be observed. ) The modulation degree of the pit or group can be directly observed and the absolute reflectance can be measured.
また本発明に於いては光ディスク（３）に照射するレ
ーザ光をパルス的にしているので、この照射するレーザ
光を例えば10mWと大きくし、良好な検査ができるように
しても、光ディスク（３）に悪影響を与えることがない
と共にこのパルス的なレーザー光の周波数を記録信号の
周波数の２倍以上即ち再生空間周波数の２倍以上として
いるので最小ピットでも良好な測定ができる再生信号が
得られる利益がある。Further, in the present invention, since the laser light to be applied to the optical disk (3) is pulsed, the laser light to be applied is increased to, for example, 10 mW so that a good inspection can be performed. Is not adversely affected, and the frequency of the pulsed laser beam is at least twice the frequency of the recording signal, that is, at least twice the reproduction spatial frequency. There is.
第１図は本発明光ディスクの検査方法の一例を使用した
光ディスクの検査装置を示す構成図、第２図，第３図，
第４図及び第５図は夫々本発明の説明に供する線図であ
る。 （1a）（1b）はフォトディテクタ、（２）はオシロスコ
ープ、（３）は光ディスク、（５）はパルス発生回路、
（７）はレーザダイオード、（11）は対物レンズであ
る。FIG. 1 is a block diagram showing an optical disk inspection apparatus using an example of the optical disk inspection method of the present invention, and FIGS.
4 and 5 are diagrams for explaining the present invention, respectively. (1a) and (1b) are photodetectors, (2) is an oscilloscope, (3) is an optical disk, (5) is a pulse generation circuit,
(7) is a laser diode, and (11) is an objective lens.
Claims (1)
ルス的なレーザ光を光ディスクの反射面に照射すると共
にディテクタからの前記レーザ光の照射されないときの
基準レベルと、前記レーザ光の照射されたときの再生光
量に応じた信号レベルとを同時にオシロスコープによっ
て観察する様にしたことを特徴とする光ディスクの検査
方法。1. A pulse-like laser beam having a frequency of twice or more the frequency of a recording signal is radiated to a reflection surface of an optical disk, a reference level when the laser beam is not radiated from a detector, and the laser beam radiation. An inspection method for an optical disc, characterized in that a signal level corresponding to the amount of reproduced light at the time of the reproduction is simultaneously observed by an oscilloscope.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16823987A JP2623576B2 (en) | 1987-07-06 | 1987-07-06 | Optical disk inspection method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16823987A JP2623576B2 (en) | 1987-07-06 | 1987-07-06 | Optical disk inspection method |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6412242A JPS6412242A (en) | 1989-01-17 |
| JP2623576B2 true JP2623576B2 (en) | 1997-06-25 |
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ID=15864345
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| JP16823987A Expired - Fee Related JP2623576B2 (en) | 1987-07-06 | 1987-07-06 | Optical disk inspection method |
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|---|---|
| JP (1) | JP2623576B2 (en) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6132222A (en) * | 1984-07-23 | 1986-02-14 | Hitachi Ltd | Flaw detecting device for disk |
-
1987
- 1987-07-06 JP JP16823987A patent/JP2623576B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6132222A (en) * | 1984-07-23 | 1986-02-14 | Hitachi Ltd | Flaw detecting device for disk |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6412242A (en) | 1989-01-17 |
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| Date | Code | Title | Description |
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