JP2614418B2 - アライメントマーク - Google Patents
アライメントマークInfo
- Publication number
- JP2614418B2 JP2614418B2 JP21085494A JP21085494A JP2614418B2 JP 2614418 B2 JP2614418 B2 JP 2614418B2 JP 21085494 A JP21085494 A JP 21085494A JP 21085494 A JP21085494 A JP 21085494A JP 2614418 B2 JP2614418 B2 JP 2614418B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- alignment mark
- alignment
- different
- signal output
- marks
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、縮小露光材で使用す
るアライメントマークとその周辺に存在する他のパター
ンとの識別を行って正しいアライメントマークに対して
アライメントできるようにしたアライメントマークに関
する。
るアライメントマークとその周辺に存在する他のパター
ンとの識別を行って正しいアライメントマークに対して
アライメントできるようにしたアライメントマークに関
する。
【０００２】
【従来の技術】図３は縮小露光材で使用される従来のア
ライメントマークの一例を示す平面図である。この図３
において、一つのアライメントマーク１は３本のアライ
メントマーク１ａ〜１ｃを平行に配列して構成されてい
る。
ライメントマークの一例を示す平面図である。この図３
において、一つのアライメントマーク１は３本のアライ
メントマーク１ａ〜１ｃを平行に配列して構成されてい
る。
【０００３】これらの３本のアライメントマーク１ａ〜
１ｃの部分において、アライメントマーク１ａと１ｂ間
の間隔はａ、アライメントマーク１ｂと１ｃ間の間隔は
ｂとなるように、特定の間隔ａ，ｂでアライメントマー
ク１ａ〜１ｃを設置している。
１ｃの部分において、アライメントマーク１ａと１ｂ間
の間隔はａ、アライメントマーク１ｂと１ｃ間の間隔は
ｂとなるように、特定の間隔ａ，ｂでアライメントマー
ク１ａ〜１ｃを設置している。
【０００４】これにより、他のパターン２とアライメン
トマーク１ａ〜１ｃとの識別機能を持たせるようにして
いる。
トマーク１ａ〜１ｃとの識別機能を持たせるようにして
いる。
【０００５】また、図４は従来のアライメントマークの
別の例を示す平面図である。この図４の場合はアライメ
ントマーク３の形状を図３の場合とは異ならせ、４５度
傾斜させた方向にアライメントマーク３ａ〜３ｃを平行
状に配列し、４５度方向にアライメントマーク３ａ〜３
ｃの信号４ａ〜４ｃの方向性をもたせるようにしてい
る。
別の例を示す平面図である。この図４の場合はアライメ
ントマーク３の形状を図３の場合とは異ならせ、４５度
傾斜させた方向にアライメントマーク３ａ〜３ｃを平行
状に配列し、４５度方向にアライメントマーク３ａ〜３
ｃの信号４ａ〜４ｃの方向性をもたせるようにしてい
る。
【０００６】これにより、他のパターン（図４では図示
せず）とアライメントマーク３ａ〜３ｃとの識別性を向
上させるようにしている。
せず）とアライメントマーク３ａ〜３ｃとの識別性を向
上させるようにしている。
【０００７】
【発明が解決しようとする問題点】しかしながら、図３
の場合には、アライメントマーク１ａ〜１ｃの周辺部に
他のパターン２が存在し、かつそれらの間隔がアライメ
ントマーク１ａと１ｂの間隔ａ、アライメントマーク１
ｂと１ｃの間隔ｂと近似している場合、他のパターン２
をアライメントしてしまう場合がある。
の場合には、アライメントマーク１ａ〜１ｃの周辺部に
他のパターン２が存在し、かつそれらの間隔がアライメ
ントマーク１ａと１ｂの間隔ａ、アライメントマーク１
ｂと１ｃの間隔ｂと近似している場合、他のパターン２
をアライメントしてしまう場合がある。
【０００８】また、図４の例でも、図３の場合と同様
に、他のパターンとの識別が完全なものとは云えないも
のである。
に、他のパターンとの識別が完全なものとは云えないも
のである。
【０００９】この発明は、前記従来技術がもっている問
題点のうち、アライメントマークと他のパターンとの識
別性が不確実な点について解決したアライメントマーク
を提供するものである。
題点のうち、アライメントマークと他のパターンとの識
別性が不確実な点について解決したアライメントマーク
を提供するものである。
【００１０】
【問題点を解決するための手段】この発明では第１の方
向に延在する第１ないし第３のアライメントマークを設
け、第１のアライメントマークはその信号出力が第１の
方向とは異なる第２の方向を有し、第２のアライメント
マークはその信号出力が第１の方向および第２の方向と
は異なる第３の方向を有し、第３のアライメントマーク
はその信号出力が第１の方向および第３の方向とは異な
る第４の方向を有するよう構成した。
向に延在する第１ないし第３のアライメントマークを設
け、第１のアライメントマークはその信号出力が第１の
方向とは異なる第２の方向を有し、第２のアライメント
マークはその信号出力が第１の方向および第２の方向と
は異なる第３の方向を有し、第３のアライメントマーク
はその信号出力が第１の方向および第３の方向とは異な
る第４の方向を有するよう構成した。
【００１１】
【作用】第１のアライメントマークと第２のアライメン
トマークとの間ではその信号出力がその延在方向とは異
なり、かつそれぞれの信号出力方向が異なるため、他の
パターンとの識別が容易になるよう作用する。また、第
２のアライメントマークと第３のアライメントマークと
の間でもその信号出力がその延在方向とは異なり、かつ
それぞれの信号出力方向が異なるため、やはり他のパタ
ーンとの識別が容易になるよう作用する。
トマークとの間ではその信号出力がその延在方向とは異
なり、かつそれぞれの信号出力方向が異なるため、他の
パターンとの識別が容易になるよう作用する。また、第
２のアライメントマークと第３のアライメントマークと
の間でもその信号出力がその延在方向とは異なり、かつ
それぞれの信号出力方向が異なるため、やはり他のパタ
ーンとの識別が容易になるよう作用する。
【００１２】さらに、第１のアライメントマークと第２
のアライメントマークとの間の距離と、第２のアライメ
ントマークと第３のアライメントマークとの間の距離と
を異ならせることにより他のパターンとの識別が容易に
なるよう作用する。
のアライメントマークとの間の距離と、第２のアライメ
ントマークと第３のアライメントマークとの間の距離と
を異ならせることにより他のパターンとの識別が容易に
なるよう作用する。
【００１３】
【実施例】以下、この発明のアライメントマークの実施
例について図面に基づき説明する。図１はその一実施例
のアライメントマークの平面図である。
例について図面に基づき説明する。図１はその一実施例
のアライメントマークの平面図である。
【００１４】この図１において、一つのアライメントマ
ークは３列のアライメントマーク１１〜１３で構成され
ている。アライメントマーク１１と１２及び１２と１３
間の間隔はそれぞれエルとなっている。
ークは３列のアライメントマーク１１〜１３で構成され
ている。アライメントマーク１１と１２及び１２と１３
間の間隔はそれぞれエルとなっている。
【００１５】これらのアライメントマーク１１〜１３の
うち、アライメントマーク１１と１３の信号の方向性は
同一となっており、アライメントマーク１２の信号の方
向性は他のアライメントマーク１１と１３とは異なって
いる。
うち、アライメントマーク１１と１３の信号の方向性は
同一となっており、アライメントマーク１２の信号の方
向性は他のアライメントマーク１１と１３とは異なって
いる。
【００１６】したがって、他のマークとアライメントマ
ーク１１〜１３との識別が確実に行うことができるもの
である。
ーク１１〜１３との識別が確実に行うことができるもの
である。
【００１７】図２はこの発明の他の実施例のアライメン
トマークの平面図である。この図２の場合は、アライメ
ントマーク１１Ａと１３Ａの信号の方向性は同じで、ア
ライメントマーク１２Ａの信号の方向性はアライメント
マーク１１Ａ，１３Ａとは異なるのは、図１の場合と同
様である。
トマークの平面図である。この図２の場合は、アライメ
ントマーク１１Ａと１３Ａの信号の方向性は同じで、ア
ライメントマーク１２Ａの信号の方向性はアライメント
マーク１１Ａ，１３Ａとは異なるのは、図１の場合と同
様である。
【００１８】しかし、この図２では、アライメントマー
ク１１Ａと１２Ａ間の間隔ｃがアライメントマーク１２
Ａと１３Ａとの間隔ｄとは異なるようにしている。
ク１１Ａと１２Ａ間の間隔ｃがアライメントマーク１２
Ａと１３Ａとの間隔ｄとは異なるようにしている。
【００１９】このように、アライメントマーク間の間隔
を異ならせることにより、他のパターンとアライメント
マーク１１Ａ〜１３Ａとの識別性をさらに向上させるこ
とができる。
を異ならせることにより、他のパターンとアライメント
マーク１１Ａ〜１３Ａとの識別性をさらに向上させるこ
とができる。
【００２０】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、第１のアラ
イメントマークと第２のアライメントマークとの間では
その信号出力がその延在方向とは異なり、かつそれぞれ
の信号出力方向が異なるため、その延在方向と信号出力
の方向が所定の関係にある他のパターンとの識別が容易
になる。また、第２のアライメントマークと第３のアラ
イメントマークとの間でもその信号出力がその延在方向
とは異なり、かつそれぞれの信号出力方向が異なるた
め、やはり他のパターンとの識別が容易になる。
イメントマークと第２のアライメントマークとの間では
その信号出力がその延在方向とは異なり、かつそれぞれ
の信号出力方向が異なるため、その延在方向と信号出力
の方向が所定の関係にある他のパターンとの識別が容易
になる。また、第２のアライメントマークと第３のアラ
イメントマークとの間でもその信号出力がその延在方向
とは異なり、かつそれぞれの信号出力方向が異なるた
め、やはり他のパターンとの識別が容易になる。
【００２１】さらに、第１のアライメントマークと第２
のアライメントマークとの間の距離と、第２のアライメ
ントマークと第３のアライメントマークとの間の距離と
を異ならせることにより前述の効果に加えて、距離が一
定にならない他のパターンとの識別が容易になる。
のアライメントマークとの間の距離と、第２のアライメ
ントマークと第３のアライメントマークとの間の距離と
を異ならせることにより前述の効果に加えて、距離が一
定にならない他のパターンとの識別が容易になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の発明のアライメントマークの実施例の平
面図。
面図。
【図２】第２の発明のアライメントマークの実施例の平
面図。
面図。
【図３】従来のアライメントマークの例を示す平面図。
【図４】従来のアライメントマークの例を示す平面図。
１１〜１３，１１Ａ〜１３Ａ アライメントマーク
Claims (2)
- 【請求項１】 第１の方向に延在し、 その信号出力が
前記第１の方向とは異なる第２の方向を有する第１のア
ライメントマークと、 この第１のアライメントマークに隣接し、前記第1の方
向に延在し、 かつその信号出力が前記第１の方向およ
び前記第２の方向とは異なる第３の方向を有する第２の
アライメントマークと、 この第２のアライメントマークに隣接し、 前記第１の
方向に延在し、かつその信号出力が前記第２の方向を有
する第３のアライメントマークとを有することを特徴と
するアライメントマーク。 - 【請求項２】 前記第１のアライメントマークと前記第
２のアライメントマークとの間の距離と、前記第２のア
ライメントマークと前記第３のアライメントマークとの
間の距離とは異なっていることを特徴とする特許請求の
範囲第１項記載のアライメントマーク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21085494A JP2614418B2 (ja) | 1994-09-05 | 1994-09-05 | アライメントマーク |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21085494A JP2614418B2 (ja) | 1994-09-05 | 1994-09-05 | アライメントマーク |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61308704A Division JPS63164316A (ja) | 1986-12-26 | 1986-12-26 | アライメントマ−クの形成方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07169681A JPH07169681A (ja) | 1995-07-04 |
| JP2614418B2 true JP2614418B2 (ja) | 1997-05-28 |
Family
ID=16596208
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21085494A Expired - Lifetime JP2614418B2 (ja) | 1994-09-05 | 1994-09-05 | アライメントマーク |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2614418B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5006889B2 (ja) | 2008-02-21 | 2012-08-22 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ． | 粗ウェーハ位置合わせ用マーク構造及びこのようなマーク構造の製造方法 |
-
1994
- 1994-09-05 JP JP21085494A patent/JP2614418B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07169681A (ja) | 1995-07-04 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19970114 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |