JP2613245B2 - 真空ポンプ - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、特に堆積しやすい物質を含む気体を排気す
るのに適した乾式真空ポンプに関する。

〔従来の技術〕

ターボ真空ポンプのような乾式真空ポンプは、吸込口
から流入した腐食性ガスや反応生成物が通過するポンプ
機構部に油が存在しないため、油の劣化がなく、保守が
容易であるという優れた特徴を持っている。しかし、回
転体を支える軸受には、潤滑油を供給しているため、潤
滑油またはその蒸気がポンプ機構部に入ったり、ポンプ
機構部を通過する気体が軸受部に流入したりしないよう
に、軸封部に特別の配慮をする必要がある。

この種の軸封部については、特開昭61−247893号に記
載されている。上記公知技術では、第２図に示すよう
に、ポンプ機構部６と軸受７との間に位置する軸封部９
に、ポンプ外部からシールガスを供給するためのシール
ガス供給口10を設けている。軸封部９に供給されたシー
ルガスはポンプ機構部６と軸受７の両方へ分かれて流れ
るため、ポンプ機構部６を通過する気体と軸受潤滑油と
が接することはない。ポンプ機構部６に流入したシール
ガスは、ポンプの吸込口１から流入した気体と混じり合
った吐出口２から排気される。一方、軸受７側へ流入し
たシールガスは、ケーシング３に設けられたシールガス
排気口11から排気されるようになっている。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記公知技術に係るシールガス式の軸封機構は、清浄
な気体を扱う場合には充分に機能を発揮する。しかし、
吸込気体中に、付着堆積しやすい物質が含まれている場
合は、気体吐出流路の途中に異物が堆積して気体の流通
を妨げるようになる。

このようにして気体吐出流路が詰まると、吸込気体が
ポンプ機構部を腐食したり、軸受潤滑油を劣化させるな
どの問題を生じる。

本発明の目的は、温度が低下すると固体化する物質が
ポンプの吸込気体中に含まれているときに、この物質が
吐出口や吐出配管に堆積し、流路を詰まらせるに至った
場合、外部に警報を発したり、ポンプを非常停止させた
りして、ポンプの軸受部に腐食性気体などが流入するこ
とを未然に防止する保護装置を備えた乾式ターボ真空ポ
ンプを提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的を達成するため本発明は、吸込口と吐出口を
有するケーシング内にステータおよびロータを収納し、
前記吸込口から吸込まれた温度が低下すると固化する物
質を含む気体が前記吐出口から排気される乾式ターボ真
空ポンプにおいて、前記吐出口圧力が設定値まで上昇す
ると電気的信号出力を発生する圧力検知手段をこの吐出
口に設け、この圧力検知手段が発生した信号出力により
前記真空ポンプの有する警報装置および非常停止装置の
少なくとも一方を作動させる保護手段を設け、前記圧力
検知手段の取付部に窒素ガスパージ口を設け、このパー
ジ口より窒素ガスをパージするものである。

〔作用〕

温度が低下すると固体化する物質を含む気体を真空ポ
ンプで排気する場合、真空ポンプの吐出口を通過した気
体は急に温度が低下して吐出流路に異物の堆積という現
象を生じる。異物が堆積すると、吸込口から吸込まれた
気体の流れが妨げられるため、吐出口の圧力が上昇す
る。その圧力がある設定値に達すると、吐出口に設けら
れて圧力検知手段が電気的信号出力を発するようになっ
ているので、この信号出力によって警報装置を作動させ
たり、真空ポンプを非常停止させたりすることができ
る。

また、圧力検知手段の取付口付近に設けた窒素ガス注
入口から、少量の窒素ガスを流し込んでおくことによ
り、圧力検知手段の取付口に異物が堆積して、圧力検知
手段が正常に働かなくなるのを防ぐことができる。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。

第１図において、吸込口１と吐出口２を有するケーシ
ング３内には、油潤滑される軸受７により支承されてモ
ータ８によって直結駆動されるロータ４と、ロータ４を
囲むようにして設けられたステータ５とから成るポンプ
機構部６がある。吸込口１から流入した気体は、ポンプ
機構部６を通って吐出口２から大気へ排気される。ポン
プ機構部６と軸受７との間には軸封部９があり、この軸
封部９には外部からシールガス供給口10を通ってシール
ガスが供給される。シールガスとしては、吸込口１から
流入する気体と反応することのないように、乾燥窒素な
どを用いる。シールガス供給口10から流入したシールガ
スは２方向に分かれ、一部はポンプ機構部６へ流入し
て、吸込口１から流入した気体と一緒に吐出口２から排
気され、残りは軸受７を通ってモータ室12に入り、シー
ルガス排気口11から排気される。この２方向に分かれて
流れるシールガスにより、潤滑油が軸受７からポンプ機
構部６へ流入するのを防ぐとともに、吸込口１から流入
した気体が軸受７を通ってモータ室12へ流入するのを防
止している。

前記吐出口２には、圧力検知手段として、例えば設定
値まで圧力が上昇すると接点が作動して外部に電気的信
号出力を発する圧力スイッチ13が取付けられている。こ
の圧力スイッチ13からの信号出力は、警報装置17および
非常停止装置18（いずれか一方のみでもよい）を作動さ
せる入力となる。また上記圧力スイッチ13の取付口14付
近には、窒素ガス注入口15が設けられている。

いま、吸入口１から流入する気体中に固形物や、固体
化して付着堆積しやすい物質が含まれている場合、吐出
口２の付近に異物が付着堆積して吐出口２を詰まらせて
しまうことがある。特に、温度が低下すると固体化する
ような物質の場合は、吐出口２を通過した後、急に温度
が低下するため、吐出配管16に付着堆積することが多
い。吐出口２から吐出配管16にかけての内部の気体の圧
力は、通常ほぼ大気圧であるが、吐出配管16が詰まって
くると、この圧力が上昇する。圧力スイッチ13は、あら
かじめ設定した値まで吐出口２の圧力が上昇すると、電
気的信号出力を発し、この信号出力によって警報を発し
たり、真空ポンプを非常停止させたりすることができ
る。

このような保護装置を設ける場合、圧力スイッチ13の
取付口14に異物が堆積すると、圧力スイッチ13が正常に
作動しなくなる恐れがある。そこで、取付口14の付近に
設けた窒素ガス注入口15から常時少量の窒素ガスを流し
込み、取付口14への異物の堆積を防止する。これによっ
て保護装置の信頼性が向上する。

また、圧力検知手段として、圧力スイッチ13の代わり
に接点付圧力計を用いることも可能であり、この場合
は、吐出配管16内の異物堆積の進行程度を圧力計の指示
によって推定できるから便利である。

〔発明の効果〕

本発明によれば、乾式真空ポンプを気体吐出流路に異
物が付着堆積し、吐出口の圧力が上昇した場合、これの
早期に検知して、警報や非常停止により、ポンプの軸受
部に有害な気体が流入するのを未然に防止することがで
きる。また、圧力検知手段の取付口付近に窒素ガス注入
口を設けることにより、圧力検知手段の取付口に異物が
付着堆積して圧力検知手段が正常に作動しなくなること
も防止できるので、吸込気体中に付着堆積しやすい物質
を含む乾式真空ポンプの信頼性，耐久性の向上に貢献す
るところ大である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す断面図、第２図は従来
技術による乾式真空ポンプの断面図である。 １……吸込口、２……吐出口、３……ケーシング、４…
…ロータ、５……ステータ、６……ポンプ機構部、７…
…軸受、９……軸封部、10……シールガス供給口、11…
…シールガス排気口、12……モータ室、13……圧力検知
手段である圧力スイッチ、14……取付口、15……窒素ガ
ス注入口、16……吐出配管、17……警報装置、18……非
常停止装置。

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】吸込口と吐出口を有するケーシング内にス
   テータおよびロータを収納し、前記吸込口から吸込まれ
   た温度が低下すると固化する物質を含む気体が前記吐出
   口から排気される乾式ターボ真空ポンプにおいて、 前記吐出口圧力が設定値まで上昇すると電気的信号出力
   を発生する圧力検知手段をこの吐出口に設け、この圧力
   検知手段が発生した信号出力により前記真空ポンプの有
   する警報装置および非常停止装置の少なくとも一方を作
   動させる保護手段を設け、前記圧力検知手段の取付部に
   窒素ガスパージ口を設け、このパージ口から圧力検知手
   段へ窒素ガスを導入することを特徴とする乾式ターボ真
   空ポンプ。