JP2602924B2 - 振動波モータ - Google Patents
振動波モータInfo
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/14—Drive circuits; Control arrangements or methods
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P3/00—Measuring linear or angular speed; Measuring differences of linear or angular speeds
- G01P3/36—Devices characterised by the use of optical means, e.g. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01P3/366—Devices characterised by the use of optical means, e.g. using infrared, visible, or ultraviolet light by using diffraction of light
-
- H—ELECTRICITY
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- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/16—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
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- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、振動体に生成した進行性振動波により、該
振動体に加圧接触する回転部材を回転させる振動波モー
タに係り、特に該回転部材の回転を検出する手段を備え
た振動波モータに関する。
振動体に加圧接触する回転部材を回転させる振動波モー
タに係り、特に該回転部材の回転を検出する手段を備え
た振動波モータに関する。
［従来の技術］ 進行性振動波によって駆動する振動波回転型モータの
従来例の概略図を第３図（ａ），（ｂ）に示す。同図で
１は振動体を示し、真ちゅうなどの弾性体にて構成され
ている。２は圧電又は電歪素子｛例えばPZT（チタン酸
ジルコン鉛）｝で振動体１と接合されている。この電歪
素子は例えば第３図（ｃ）に示すように分極処理がなさ
れ円環あるいは円環状に配列した個々の圧電又は電歪素
子である。圧電又は電歪素子は２群に分かれており、一
群２−ａの素子に対しもう一群の素子２−ｂは与えるべ
き振動波の波長λの1/4だけずれたピッチで配置され
る。又各群内での素子は波長λの1/2のピッチで相隣り
合うものの極性が逆になるように配置されている。図中
の＋，−の符合は分極処理の符合で＋とあるものは電極
側が−的、弾性体側が＋的になっていて、−とあるもの
はこれらの逆になる。３及び４は各群に対応した電極膜
であり圧電又は電歪素子２に電圧が印加できるようにな
っている。５は共振状態を検知する電極である。６は１
〜５の固定子（ステータ）に加圧接触している回転子
（ロータ）である。
従来例の概略図を第３図（ａ），（ｂ）に示す。同図で
１は振動体を示し、真ちゅうなどの弾性体にて構成され
ている。２は圧電又は電歪素子｛例えばPZT（チタン酸
ジルコン鉛）｝で振動体１と接合されている。この電歪
素子は例えば第３図（ｃ）に示すように分極処理がなさ
れ円環あるいは円環状に配列した個々の圧電又は電歪素
子である。圧電又は電歪素子は２群に分かれており、一
群２−ａの素子に対しもう一群の素子２−ｂは与えるべ
き振動波の波長λの1/4だけずれたピッチで配置され
る。又各群内での素子は波長λの1/2のピッチで相隣り
合うものの極性が逆になるように配置されている。図中
の＋，−の符合は分極処理の符合で＋とあるものは電極
側が−的、弾性体側が＋的になっていて、−とあるもの
はこれらの逆になる。３及び４は各群に対応した電極膜
であり圧電又は電歪素子２に電圧が印加できるようにな
っている。５は共振状態を検知する電極である。６は１
〜５の固定子（ステータ）に加圧接触している回転子
（ロータ）である。
このような構成の振動波回転型モータで一群の素子の
電極３にV0sinωｔの交流電圧を印加し、もう一方の群
の素子の電極４にV0cosωｔの交流電圧を印加すると、
各群内の素子は相隣り合うものどうし90゜位相がずれて
伸縮運動をする。なおこれらの素子は弾性体１に接合さ
れており各素子の伸縮はスタータ全体の曲げ振動に変換
され、円環の表面に屈曲波が生ずることになる。その結
果、ステータに接触しているロータ６が回転運動を起す
ことになる。
電極３にV0sinωｔの交流電圧を印加し、もう一方の群
の素子の電極４にV0cosωｔの交流電圧を印加すると、
各群内の素子は相隣り合うものどうし90゜位相がずれて
伸縮運動をする。なおこれらの素子は弾性体１に接合さ
れており各素子の伸縮はスタータ全体の曲げ振動に変換
され、円環の表面に屈曲波が生ずることになる。その結
果、ステータに接触しているロータ６が回転運動を起す
ことになる。
また、従来の振動波モーターにおいて、ロータ６の回
転速度あるいは回転角度を制御する手段としては、ロー
ターに歯車を設け、その歯車に、ロータリーエンコーダ
が連結された他の歯車をかみ合わせて、ロータリエンコ
ーダの出力を利用する方式がとられている。
転速度あるいは回転角度を制御する手段としては、ロー
ターに歯車を設け、その歯車に、ロータリーエンコーダ
が連結された他の歯車をかみ合わせて、ロータリエンコ
ーダの出力を利用する方式がとられている。
［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、このような回転検出器は、歯車を介し
て回転を検出する方式であることから、歯車の歯の加工
誤差や、複数の歯車のかみ合わせ誤差及び、バックラッ
シュなどによって、高精度な回転速度制御、角度制御が
できないという欠点がある。
て回転を検出する方式であることから、歯車の歯の加工
誤差や、複数の歯車のかみ合わせ誤差及び、バックラッ
シュなどによって、高精度な回転速度制御、角度制御が
できないという欠点がある。
本発明の目的は、振動波モータの回転を高精度に検出
できる回転検出器を提供するものである。
できる回転検出器を提供するものである。
［課題を解決するための手段］ 本発明の目的を達成するための要旨とするところは、
進行性振動波が進行性振動波が生成される振動体に回転
部材を加圧接触させて、該進行性振動波により該回転部
材を回転駆動する振動波モータにおいて、前記回転部材
の前記振動体との接触面と逆の面に、該回転部材の回転
方向に沿って設けた回折格子と、該回転部材の該振動体
との接触面と逆の面側から、可干渉性光源からの２光束
を同じ入射角度で互いに異なる方向から該回折格子に照
射し、該回折格子に対し垂直に出射するそれぞれの光束
の反射回折光を干渉させて該回折格子の回転に応じて強
度が変化する干渉光を受光手段に受光させる光学系と、
を有することを特徴とする振動波モータにある。
進行性振動波が進行性振動波が生成される振動体に回転
部材を加圧接触させて、該進行性振動波により該回転部
材を回転駆動する振動波モータにおいて、前記回転部材
の前記振動体との接触面と逆の面に、該回転部材の回転
方向に沿って設けた回折格子と、該回転部材の該振動体
との接触面と逆の面側から、可干渉性光源からの２光束
を同じ入射角度で互いに異なる方向から該回折格子に照
射し、該回折格子に対し垂直に出射するそれぞれの光束
の反射回折光を干渉させて該回折格子の回転に応じて強
度が変化する干渉光を受光手段に受光させる光学系と、
を有することを特徴とする振動波モータにある。
［作用］ 上記の如く構成した振動波モータは、回転部材が回転
運動とともに振動体との接触面に垂直な方向に振動して
も、回転量に応じて変化する干渉光信号には影響を与え
ず、回転情報の測定に誤差を生じさせないので、例えば
この回転情報に基づいて高精度な回転速度制御あるいは
回転角度制御を可能にした振動波モータを提供できる。
運動とともに振動体との接触面に垂直な方向に振動して
も、回転量に応じて変化する干渉光信号には影響を与え
ず、回転情報の測定に誤差を生じさせないので、例えば
この回転情報に基づいて高精度な回転速度制御あるいは
回転角度制御を可能にした振動波モータを提供できる。
［実 施 例］ 第１図は本発明の実施例である。
第１図（ａ），（ｂ）において、７は、ロータ６の上
面に配設された回折格子、８は、レーザなどの可干渉性
光源、９はコリメータレンズ、10はビームスプリッタ、
111,112は反射鏡、12は受光素子である。可干渉性光源
８を出射した光束はコリメータレンズ９によってほぼ平
行な光束となってビームスプリッタ10に入る。ビームス
プリッタ10で分割された反射光と透過光は反射鏡111,11
2を介して、回折格子７を２光束で照射する。このと
き、第１図（ｂ）に示す如く、２光束入射面は、回折格
子７の配列方向に平行な面内とし、入射各θｍは、 θｍ＝sin-1（ｍλ/p） で表わされる。ここで、ｍは整数、λは、可干渉性光源
８の波長、ｐは、回折格子７の格子ピッチである。回折
格子７からは、±ｍ次の反射回折光がほぼ垂直に出射
し、干渉光となって受光素子12に入射する。±ｍ次の回
折光は、回折格子７が、１格子ピッチｐだけ変位する
と、位相が2mπだけ変化するので、受光素子12に入射す
る±ｍ次の回折光の干渉光は、回折格子７の１格子ピッ
チｐの変位に伴って、2m回の明暗変化を受ける。いま、
回折格子７の格子総本数を21600本、直径を50mmとする
と、１格子ピッチｐは、π×50/21600＝7.3m、１角度ピ
ッチ4pは、360×60/21600＝１分、また、回折光として
±１次回折光を選択すると、ロータ６の回転角度30秒毎
に、受光素子12から１周期の正弦波が得られる。さら
に、ロータ６が１回転すると受光素子12からは格子総本
数の２倍の43200個の正弦波が得られる。そして、受光
素子12の出力信号を振動波モータの駆動回路にフィード
バックして、高精度な速度制御あるいは角度制御を可能
にしている。
面に配設された回折格子、８は、レーザなどの可干渉性
光源、９はコリメータレンズ、10はビームスプリッタ、
111,112は反射鏡、12は受光素子である。可干渉性光源
８を出射した光束はコリメータレンズ９によってほぼ平
行な光束となってビームスプリッタ10に入る。ビームス
プリッタ10で分割された反射光と透過光は反射鏡111,11
2を介して、回折格子７を２光束で照射する。このと
き、第１図（ｂ）に示す如く、２光束入射面は、回折格
子７の配列方向に平行な面内とし、入射各θｍは、 θｍ＝sin-1（ｍλ/p） で表わされる。ここで、ｍは整数、λは、可干渉性光源
８の波長、ｐは、回折格子７の格子ピッチである。回折
格子７からは、±ｍ次の反射回折光がほぼ垂直に出射
し、干渉光となって受光素子12に入射する。±ｍ次の回
折光は、回折格子７が、１格子ピッチｐだけ変位する
と、位相が2mπだけ変化するので、受光素子12に入射す
る±ｍ次の回折光の干渉光は、回折格子７の１格子ピッ
チｐの変位に伴って、2m回の明暗変化を受ける。いま、
回折格子７の格子総本数を21600本、直径を50mmとする
と、１格子ピッチｐは、π×50/21600＝7.3m、１角度ピ
ッチ4pは、360×60/21600＝１分、また、回折光として
±１次回折光を選択すると、ロータ６の回転角度30秒毎
に、受光素子12から１周期の正弦波が得られる。さら
に、ロータ６が１回転すると受光素子12からは格子総本
数の２倍の43200個の正弦波が得られる。そして、受光
素子12の出力信号を振動波モータの駆動回路にフィード
バックして、高精度な速度制御あるいは角度制御を可能
にしている。
第２図は本発明の実施例２の光学系を示す。第２図に
おいて、13は偏光ビームスプリッタ、14は1/4波長板、1
5はビームスプリッタ、161,162は偏光板で、偏光方位が
互いに45゜傾いている。同図において、回折格子７で反
射回折した±ｍ次回折光は、干渉光となって、1/4波長
板14を透過し、直線偏光となり、ビームスプリッタ15で
透過光束と反射光束に２分割され、偏光板161,162を介
して受光素子121,122に入射する。偏光板161,162は互い
に偏光方位が45゜ずれているので、回折格子７の変位に
伴って、受光素子121,122からは、位相が90゜ずれた正
弦波信号が出力され、ロータ６の回転方向の判別も可能
としたものである。
おいて、13は偏光ビームスプリッタ、14は1/4波長板、1
5はビームスプリッタ、161,162は偏光板で、偏光方位が
互いに45゜傾いている。同図において、回折格子７で反
射回折した±ｍ次回折光は、干渉光となって、1/4波長
板14を透過し、直線偏光となり、ビームスプリッタ15で
透過光束と反射光束に２分割され、偏光板161,162を介
して受光素子121,122に入射する。偏光板161,162は互い
に偏光方位が45゜ずれているので、回折格子７の変位に
伴って、受光素子121,122からは、位相が90゜ずれた正
弦波信号が出力され、ロータ６の回転方向の判別も可能
としたものである。
なお、以上の実施例は振動体を固定し、移動体が進行
性振動波に応じて移動する例であったが、例えば平板状
の支持部材（不図示）上に振動体（不図示）を加圧接触
し、振動体上に発生した進行性振動波によって振動させ
るように構成してもよい。
性振動波に応じて移動する例であったが、例えば平板状
の支持部材（不図示）上に振動体（不図示）を加圧接触
し、振動体上に発生した進行性振動波によって振動させ
るように構成してもよい。
［発明の効果］ 以上説明したように、本発明の振動波モータは、その
回転検出を光の干渉を利用した非接触形式とし、その検
出光学系を適切に配置することによって、振動波モータ
の回転情報を高精度に検出でき、例えばこの回転情報に
基づいて高精度な回転速度制御あるいは回転角度制御を
可能にした振動波モータを提供できる。
回転検出を光の干渉を利用した非接触形式とし、その検
出光学系を適切に配置することによって、振動波モータ
の回転情報を高精度に検出でき、例えばこの回転情報に
基づいて高精度な回転速度制御あるいは回転角度制御を
可能にした振動波モータを提供できる。
第１図は本発明による振動波モータの回転検出器の実施
例１を示し、同図（ａ）は斜視図、同図（ｂ）は検出原
理を説明するための断面図である。第２図は実施例２を
示す断面図、第３図は振動波モータを示し、同図（ａ）
は斜視図、同図（ｂ）は分解斜視図、同図（ｃ）は分極
状態を示す平面図である。 １……ステータ、２……圧電素子 ３、４、５……電極、６……ロータ ７……回折格子 ８……可干渉性光源 ９……コリメータレンズ 10、15……ビームスリップ 11……反射鏡、12……受光素子 13……変更ビームスプリッタ 14……1/4波長板 16……偏向板
例１を示し、同図（ａ）は斜視図、同図（ｂ）は検出原
理を説明するための断面図である。第２図は実施例２を
示す断面図、第３図は振動波モータを示し、同図（ａ）
は斜視図、同図（ｂ）は分解斜視図、同図（ｃ）は分極
状態を示す平面図である。 １……ステータ、２……圧電素子 ３、４、５……電極、６……ロータ ７……回折格子 ８……可干渉性光源 ９……コリメータレンズ 10、15……ビームスリップ 11……反射鏡、12……受光素子 13……変更ビームスプリッタ 14……1/4波長板 16……偏向板
フロントページの続き (72)発明者 山田 康博 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キ ヤノン株式会社内 (72)発明者 岸野 斉 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キ ヤノン株式会社内 (56)参考文献 特開 昭62−254668（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−200224（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】進行性振動波が生成される振動体に回転部
材を加圧接触させて、該進行性振動波により該回転部材
を回転駆動する振動波モータにおいて、 前記回転部材の前記振動体との接触面と逆の面に、該回
転部材の回転方向に沿って設けた回折格子と、 該回転部材の該振動体との接触面と逆の面側から、可干
渉性光源からの２光束を同じ入射角度で互いに異なる方
向から該回折格子に照射し、該回折格子に対し垂直に出
射するそれぞれの光束の反射回折光を干渉させて該回折
格子の回転に応じて強度が変化する干渉光を受光手段に
受光させる光学系と、を有することを特徴とする振動波
モータ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63284197A JP2602924B2 (ja) | 1988-11-10 | 1988-11-10 | 振動波モータ |
| EP89120821A EP0369331A3 (en) | 1988-11-10 | 1989-11-09 | Speed detector for a vibration wave driven motor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63284197A JP2602924B2 (ja) | 1988-11-10 | 1988-11-10 | 振動波モータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02133078A JPH02133078A (ja) | 1990-05-22 |
| JP2602924B2 true JP2602924B2 (ja) | 1997-04-23 |
Family
ID=17675424
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63284197A Expired - Lifetime JP2602924B2 (ja) | 1988-11-10 | 1988-11-10 | 振動波モータ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0369331A3 (ja) |
| JP (1) | JP2602924B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5118932A (en) * | 1990-11-13 | 1992-06-02 | Hughes Aircraft Company | Shaft rotation rate sensor with a diffraction grating producing a velocity-related beat frequency |
| JP3162486B2 (ja) * | 1992-06-25 | 2001-04-25 | キヤノン株式会社 | プリンタ装置 |
| JPH11187688A (ja) * | 1997-12-22 | 1999-07-09 | Canon Inc | モータ制御方法、モータ制御装置および画像形成装置 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3419330A (en) * | 1965-04-06 | 1968-12-31 | Sperry Rand Corp | Diffraction grating angular rate sensor |
| US4525068A (en) * | 1982-09-17 | 1985-06-25 | General Electric Company | Torque measurement method and apparatus |
| JPS59204477A (ja) * | 1983-05-04 | 1984-11-19 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 超音波モーターの駆動制御回路 |
| JPS6177764A (ja) * | 1984-09-25 | 1986-04-21 | Canon Inc | 回転情報検出計 |
| JPS62200224A (ja) * | 1986-02-27 | 1987-09-03 | Canon Inc | 変位測定装置 |
| JPS62254668A (ja) * | 1986-04-28 | 1987-11-06 | Olympus Optical Co Ltd | 超音波モ−タ |
-
1988
- 1988-11-10 JP JP63284197A patent/JP2602924B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1989
- 1989-11-09 EP EP89120821A patent/EP0369331A3/en not_active Ceased
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0369331A2 (en) | 1990-05-23 |
| EP0369331A3 (en) | 1990-07-18 |
| JPH02133078A (ja) | 1990-05-22 |
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