JP2600720B2 - 極低温冷凍機 - Google Patents
極低温冷凍機Info
- Publication number
- JP2600720B2 JP2600720B2 JP62273871A JP27387187A JP2600720B2 JP 2600720 B2 JP2600720 B2 JP 2600720B2 JP 62273871 A JP62273871 A JP 62273871A JP 27387187 A JP27387187 A JP 27387187A JP 2600720 B2 JP2600720 B2 JP 2600720B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- pulse tube
- temperature end
- chamber
- tube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
- F25B9/00—Compression machines, plants or systems, in which the refrigerant is air or other gas of low boiling point
- F25B9/14—Compression machines, plants or systems, in which the refrigerant is air or other gas of low boiling point characterised by the cycle used, e.g. Stirling cycle
- F25B9/145—Compression machines, plants or systems, in which the refrigerant is air or other gas of low boiling point characterised by the cycle used, e.g. Stirling cycle pulse-tube cycle
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
- F25B2309/00—Gas cycle refrigeration machines
- F25B2309/14—Compression machines, plants or systems characterised by the cycle used
- F25B2309/1408—Pulse-tube cycles with pulse tube having U-turn or L-turn type geometrical arrangements
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
- F25B2309/00—Gas cycle refrigeration machines
- F25B2309/14—Compression machines, plants or systems characterised by the cycle used
- F25B2309/1417—Pulse-tube cycles without any valves in gas supply and return lines
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
- F25B2309/00—Gas cycle refrigeration machines
- F25B2309/14—Compression machines, plants or systems characterised by the cycle used
- F25B2309/1419—Pulse-tube cycles with pulse tube having a basic pulse tube refrigerator [PTR], i.e. comprising a tube with basic schematic
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
- F25B2309/00—Gas cycle refrigeration machines
- F25B2309/14—Compression machines, plants or systems characterised by the cycle used
- F25B2309/1426—Pulse tubes with basic schematic including at the pulse tube warm end a so called warm end expander
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Separation By Low-Temperature Treatments (AREA)
- Compressor (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はパルスチューブを利用して100゜K以下の極低
温を実現するパルスチューブ型の極低温冷凍機に関す
る。
温を実現するパルスチューブ型の極低温冷凍機に関す
る。
［従来の技術］ 近年、極低温下で可動部を要しない小型極低温冷凍機
として、パルスチューブ（Pulse tube）を利用したパル
スチューブ冷凍機が提案されている。この冷凍機は、そ
の内部にガスを導入して往復動させると、温度勾配を形
成してガス導入側に低温端を反対側に高温端をつくり出
すパルスチューブの熱交換機能を利用したもので、可動
部の存在に起因した振動や摩耗等による性能低下を蒙ら
ないのが大きな特徴である。
として、パルスチューブ（Pulse tube）を利用したパル
スチューブ冷凍機が提案されている。この冷凍機は、そ
の内部にガスを導入して往復動させると、温度勾配を形
成してガス導入側に低温端を反対側に高温端をつくり出
すパルスチューブの熱交換機能を利用したもので、可動
部の存在に起因した振動や摩耗等による性能低下を蒙ら
ないのが大きな特徴である。
既提案に係るパルスチューブ冷凍機は、パルスチュー
ブとリジェネレータを組合わせたもので、その具体的構
成が第２図に示される。すなわち、パルスチューブ１の
低温端1aとリジェネレータ２の低温端2aとを吸熱部（熱
交換器）３を介して連通し、圧縮機４からアフタークー
ラ７を介してリジェネレータ２の高温端2b側に供給され
るガスを、該リジェネレータ２及び吸熱部３を介しパル
スチューブ１の低温端1aから高温端1b側に向けて導入す
るようにしている。
ブとリジェネレータを組合わせたもので、その具体的構
成が第２図に示される。すなわち、パルスチューブ１の
低温端1aとリジェネレータ２の低温端2aとを吸熱部（熱
交換器）３を介して連通し、圧縮機４からアフタークー
ラ７を介してリジェネレータ２の高温端2b側に供給され
るガスを、該リジェネレータ２及び吸熱部３を介しパル
スチューブ１の低温端1aから高温端1b側に向けて導入す
るようにしている。
しかして、このパルスチューブ冷凍機では、圧縮機４
のピストン動力で圧縮されたガスは、リジェネレータ２
の内部を通り予冷されながら吸熱部３及びパルスチュー
ブ低温端1aに入り、更にパルスチューブ１の低温端1aに
導入された高圧ガスは、その中の残留ガスを高温端1bに
向けて圧縮する。このときパルスチューブ１内のガス
は、断熱圧縮を受けて温度上昇しながら温度勾配のある
同チューブ１内を移動する。そして、圧縮ガスはパルス
チューブ高温端1bの放熱部（熱交換器）８に入り、ここ
で放熱して冷却される。次いで、ピストン５を引き上げ
ると、放熱部８で熱を放出したガスはパルスチューブ１
内で断熱膨張し降温してから、吸熱部３及びリジェネレ
ータ２を冷やし込みながら戻され、このサイクルを繰り
返すことで、被冷却物を冷却する吸熱部３に100゜K以下
の極低温を実現することができる。
のピストン動力で圧縮されたガスは、リジェネレータ２
の内部を通り予冷されながら吸熱部３及びパルスチュー
ブ低温端1aに入り、更にパルスチューブ１の低温端1aに
導入された高圧ガスは、その中の残留ガスを高温端1bに
向けて圧縮する。このときパルスチューブ１内のガス
は、断熱圧縮を受けて温度上昇しながら温度勾配のある
同チューブ１内を移動する。そして、圧縮ガスはパルス
チューブ高温端1bの放熱部（熱交換器）８に入り、ここ
で放熱して冷却される。次いで、ピストン５を引き上げ
ると、放熱部８で熱を放出したガスはパルスチューブ１
内で断熱膨張し降温してから、吸熱部３及びリジェネレ
ータ２を冷やし込みながら戻され、このサイクルを繰り
返すことで、被冷却物を冷却する吸熱部３に100゜K以下
の極低温を実現することができる。
［発明が解決しようとする問題点］ パルスチューブ冷凍機は、以上のように、パルスチュ
ーブ内のガスピストンの働きにより、断熱圧縮、膨張作
用を繰返し寒冷を発生するものであるが、冷凍効率を高
める上では、チューブ内における高温端側への断熱圧縮
行程でガスの保有エネルギを出来るだけ効率よく放出さ
せてから、断熱膨張行程に移行させるのが肝要となる。
ーブ内のガスピストンの働きにより、断熱圧縮、膨張作
用を繰返し寒冷を発生するものであるが、冷凍効率を高
める上では、チューブ内における高温端側への断熱圧縮
行程でガスの保有エネルギを出来るだけ効率よく放出さ
せてから、断熱膨張行程に移行させるのが肝要となる。
しかるに、上述したパルスチューブ冷凍機の場合は、
チューブ高温端側に配した放熱部（水冷熱交換機）８に
より、チューブ内の圧縮ガスから熱エネルギを放出させ
るだけのものであるため、断熱膨張でガスが自冷して得
られる寒冷に一定の限界がある。
チューブ高温端側に配した放熱部（水冷熱交換機）８に
より、チューブ内の圧縮ガスから熱エネルギを放出させ
るだけのものであるため、断熱膨張でガスが自冷して得
られる寒冷に一定の限界がある。
本発明は、このような問題点に着目し、低温可動部を
排除できるパルスチューブ型の小型極低温冷凍機の冷凍
能力を改善することに主眼を置く。
排除できるパルスチューブ型の小型極低温冷凍機の冷凍
能力を改善することに主眼を置く。
［問題点を解決するための手段］ 本発明は、このような目的を達成するために、パルス
チューブの高温端に弾性体で形成いた拡縮自在のガス室
を設けるとともに、このガス室のまわりに、外部の液溜
めとオリフィスを介し連通され、更に好ましくは作動流
体として冷却液を充満するようにして、動力吸収室を設
けたことを特徴としている。
チューブの高温端に弾性体で形成いた拡縮自在のガス室
を設けるとともに、このガス室のまわりに、外部の液溜
めとオリフィスを介し連通され、更に好ましくは作動流
体として冷却液を充満するようにして、動力吸収室を設
けたことを特徴としている。
［作用］ パルスチューブの高温端にかかる動力吸収機構を付加
したものであれば、チューブ内の低温端側に導入された
高圧ガスがチューブ内のガスを高温端側に断熱圧縮して
行くとき、高温端のガス室が膨張し、これに伴う容積変
化で動力吸収室内の冷却液がオリフィスを通して外部の
液溜めに強制的に放出される。このとき、ガス室と連通
される液溜めはダンパ機能を営んで、圧縮ガスのエネル
ギをガス室から膨張仕事として取り出し、オリフィスで
熱エネルギとして消費する。そして、液溜めに充満され
る作動流体を冷却液に兼用すれば、ガス室の圧縮ガスを
冷却する作用が同時に発現されて、一層エネルギ吸収度
が高まる。従って、パルスチューブ内の圧縮ガスには、
冷凍能力の増大に直結する効率的なエネルギ吸収が実現
される。
したものであれば、チューブ内の低温端側に導入された
高圧ガスがチューブ内のガスを高温端側に断熱圧縮して
行くとき、高温端のガス室が膨張し、これに伴う容積変
化で動力吸収室内の冷却液がオリフィスを通して外部の
液溜めに強制的に放出される。このとき、ガス室と連通
される液溜めはダンパ機能を営んで、圧縮ガスのエネル
ギをガス室から膨張仕事として取り出し、オリフィスで
熱エネルギとして消費する。そして、液溜めに充満され
る作動流体を冷却液に兼用すれば、ガス室の圧縮ガスを
冷却する作用が同時に発現されて、一層エネルギ吸収度
が高まる。従って、パルスチューブ内の圧縮ガスには、
冷凍能力の増大に直結する効率的なエネルギ吸収が実現
される。
［実施例］ 以下、本発明の一実施例を第１図に図示して説明す
る。但し、この実施例は第２図の従来例と同じくスター
リングサイクルの場合のシステム構成を示す。
る。但し、この実施例は第２図の従来例と同じくスター
リングサイクルの場合のシステム構成を示す。
本発明に係る極低温冷凍機の基本構成は、既述したパ
ルスチューブ冷凍機と共通しており、図において、１は
薄肉のステンレスパイプ等からなる中空のパルスチュー
ブ、２は内部に蓄熱要素を装着したリジュネレータで、
両者の低温端1a、2aを連通させ、その間に被冷却物を冷
却する吸熱部３を設けている。そして、リジェネレータ
２の高温端2bには、ピストン５を嵌装した圧縮機４の圧
縮室との間でガスを導出入させるガス通路６が連通さ
れ、該通路６の途中にはアフタークーラ７が設けられ
る。
ルスチューブ冷凍機と共通しており、図において、１は
薄肉のステンレスパイプ等からなる中空のパルスチュー
ブ、２は内部に蓄熱要素を装着したリジュネレータで、
両者の低温端1a、2aを連通させ、その間に被冷却物を冷
却する吸熱部３を設けている。そして、リジェネレータ
２の高温端2bには、ピストン５を嵌装した圧縮機４の圧
縮室との間でガスを導出入させるガス通路６が連通さ
れ、該通路６の途中にはアフタークーラ７が設けられ
る。
一方、パルスチューブ１の高温端（常温端）1bには、
従前の水冷熱交換器８に代えて、本発明に係る動力吸収
機構が設けられる。この機構は次のように構成される。
まず、パルスチューブ１の高温端1bを小径に絞り、この
上に同チューブ１内を上昇するガスが勢いよくその内部
に導入されるガス室10を連設している。このガス室10は
薄膜状の適宜弾性体をもってバルーン状に形成されてお
り、下方一箇所にある開口縁をチューブ高温端1bと気密
に結合し、その内部に導入される圧縮ガスのガス圧で図
示矢印のように拡縮自在となる。
従前の水冷熱交換器８に代えて、本発明に係る動力吸収
機構が設けられる。この機構は次のように構成される。
まず、パルスチューブ１の高温端1bを小径に絞り、この
上に同チューブ１内を上昇するガスが勢いよくその内部
に導入されるガス室10を連設している。このガス室10は
薄膜状の適宜弾性体をもってバルーン状に形成されてお
り、下方一箇所にある開口縁をチューブ高温端1bと気密
に結合し、その内部に導入される圧縮ガスのガス圧で図
示矢印のように拡縮自在となる。
また、ガス室10のまわりには、同ガス室10を液密に包
囲する剛体容器製の動力吸収室11が冠設される。そし
て、動力吸収室11の内部には作動流体として、ガス室10
の外面と接する冷却液12が充満される。冷却液12は、ガ
ス室10の冷却と同時に、本発明の第１義的な狙いである
ガス膨張仕事を取り出す役目を担うもので、非圧縮性の
液体（例えば水など）が用いられる。
囲する剛体容器製の動力吸収室11が冠設される。そし
て、動力吸収室11の内部には作動流体として、ガス室10
の外面と接する冷却液12が充満される。冷却液12は、ガ
ス室10の冷却と同時に、本発明の第１義的な狙いである
ガス膨張仕事を取り出す役目を担うもので、非圧縮性の
液体（例えば水など）が用いられる。
更に又、この動力吸収室11の外部には冷却液（作動流
体）12を貯溜する液溜め13が装備され、動力吸収室11の
一側と液溜め13の底部とがオリフィス15を介挿した連絡
流路14で連通されている。この場合、液溜め13は嵌合ピ
ストン13aの背面にオフセットスプリング13bを介装し
て、その内部に貯溜される冷却液12の液圧を略一定に保
つ液圧シリンダからなっている。
体）12を貯溜する液溜め13が装備され、動力吸収室11の
一側と液溜め13の底部とがオリフィス15を介挿した連絡
流路14で連通されている。この場合、液溜め13は嵌合ピ
ストン13aの背面にオフセットスプリング13bを介装し
て、その内部に貯溜される冷却液12の液圧を略一定に保
つ液圧シリンダからなっている。
上記の構成を具備した極低温冷凍機であると、既に説
明した従前のパルスチューブ冷凍機と同様の冷凍サイク
ルを営み、その際パルスチューブ１の高温端1bに付加し
た動力吸収機構が有効に作動する。圧縮機４のピストン
５を押し下げると、パルスチューブ１の内圧は一瞬にし
て上昇し、その後リジェネレータ２を通して低温端1aか
らチューブ１内に高圧ガスが緩やかに導入される。この
とき、チューブ１内のガスは断熱圧縮されて昇温すると
ともに、ガス圧で高温端1bのガス室10の容積を拡大す
る。すると、ガス室10のまわりの動力吸収室11に充満さ
れた冷却液12はガス室10内の圧縮ガスを冷却するととも
に、液圧が相対的に上昇して、連絡流路14からオリフィ
ス15を介して外部の液溜め13に流出する。この結果、動
力吸収室11内の冷却液12はチューブ１内の圧縮ガスがも
つエネルギを膨張仕事として取り出し、これをオリフィ
ス15で熱エネルギに変換して消散する。
明した従前のパルスチューブ冷凍機と同様の冷凍サイク
ルを営み、その際パルスチューブ１の高温端1bに付加し
た動力吸収機構が有効に作動する。圧縮機４のピストン
５を押し下げると、パルスチューブ１の内圧は一瞬にし
て上昇し、その後リジェネレータ２を通して低温端1aか
らチューブ１内に高圧ガスが緩やかに導入される。この
とき、チューブ１内のガスは断熱圧縮されて昇温すると
ともに、ガス圧で高温端1bのガス室10の容積を拡大す
る。すると、ガス室10のまわりの動力吸収室11に充満さ
れた冷却液12はガス室10内の圧縮ガスを冷却するととも
に、液圧が相対的に上昇して、連絡流路14からオリフィ
ス15を介して外部の液溜め13に流出する。この結果、動
力吸収室11内の冷却液12はチューブ１内の圧縮ガスがも
つエネルギを膨張仕事として取り出し、これをオリフィ
ス15で熱エネルギに変換して消散する。
このように動力吸収機構により、パルスチューブ１の
断熱圧縮行程で圧縮ガスを冷却すると同時に、その保有
エネルギを膨張仕事として取り出すようにしているの
で、圧縮機４のピストン５を引き上げてチューブ１内の
ガスを急激に膨張させる断熱膨張行程に移行すると、自
冷してチューブ１の低温端1aから押し出される膨張ガス
に極低温を実現することができ、リターンガスで冷却さ
れる吸熱部３により大きな冷凍能力を発現することが可
能となる。なお、パルスチューブ１の膨張行程では、ガ
ス室10の縮小に伴って動力吸収室11内の液圧が相対的に
低下し、液溜め13のピストン作用で内部に冷却液12が自
動的に補給されることになる。
断熱圧縮行程で圧縮ガスを冷却すると同時に、その保有
エネルギを膨張仕事として取り出すようにしているの
で、圧縮機４のピストン５を引き上げてチューブ１内の
ガスを急激に膨張させる断熱膨張行程に移行すると、自
冷してチューブ１の低温端1aから押し出される膨張ガス
に極低温を実現することができ、リターンガスで冷却さ
れる吸熱部３により大きな冷凍能力を発現することが可
能となる。なお、パルスチューブ１の膨張行程では、ガ
ス室10の縮小に伴って動力吸収室11内の液圧が相対的に
低下し、液溜め13のピストン作用で内部に冷却液12が自
動的に補給されることになる。
本発明の実施例は、以上のような構成、作用効果を有
するものであるが、パルスチューブ１の高温端1bに形成
するガス室10の形態は、勿論例示のものに限らず、その
他例えばベローやダイヤフラムを用いたものであっても
よい。
するものであるが、パルスチューブ１の高温端1bに形成
するガス室10の形態は、勿論例示のものに限らず、その
他例えばベローやダイヤフラムを用いたものであっても
よい。
また冷凍サイクルは、タイミングバルブの追加等を条
件に、Ｇ−Ｍサイクルによる運転も実施可能である。
件に、Ｇ−Ｍサイクルによる運転も実施可能である。
［発明の効果］ 以上の通り、本発明の極低温冷凍機では、パルスチュ
ーブの高温端に所定の動力吸収機構を設置したことによ
り、低温可動部を排除できるというパルスチューブ冷凍
機の特徴を活かしながら、その冷凍能力の不足を補うこ
とができる。
ーブの高温端に所定の動力吸収機構を設置したことによ
り、低温可動部を排除できるというパルスチューブ冷凍
機の特徴を活かしながら、その冷凍能力の不足を補うこ
とができる。
第１図は本発明の一実施例を示す極低温冷凍機のシステ
ム図である。第２図は従来のパルスチューブ冷凍機の構
成を示すシステム図である。 １……パルスチューブ、２……リジェネレータ 1a、2a……低温端、1b、2b……高温端 ３……吸熱部 ４……圧縮機、５……ピストン ６……ガス通路、７……アフタークーラ 10……ガス室、11……動力吸収室 12……冷却液、13……液溜め（シリンダ） 14……連絡流路、15……オリフィス
ム図である。第２図は従来のパルスチューブ冷凍機の構
成を示すシステム図である。 １……パルスチューブ、２……リジェネレータ 1a、2a……低温端、1b、2b……高温端 ３……吸熱部 ４……圧縮機、５……ピストン ６……ガス通路、７……アフタークーラ 10……ガス室、11……動力吸収室 12……冷却液、13……液溜め（シリンダ） 14……連絡流路、15……オリフィス
Claims (2)
- 【請求項１】パルスチューブの高温端に弾性体で形成し
た拡縮自在のガス室を設けるとともに、このガス室のま
わりに、外部の液溜めとオリフィスを介し連通させた動
力吸収室を設けたことを特徴とする極低温冷凍機。 - 【請求項２】動力吸収室の液溜めには冷却液が充満され
ていることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の極
低温冷凍機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62273871A JP2600720B2 (ja) | 1987-10-29 | 1987-10-29 | 極低温冷凍機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62273871A JP2600720B2 (ja) | 1987-10-29 | 1987-10-29 | 極低温冷凍機 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01114670A JPH01114670A (ja) | 1989-05-08 |
| JP2600720B2 true JP2600720B2 (ja) | 1997-04-16 |
Family
ID=17533725
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62273871A Expired - Lifetime JP2600720B2 (ja) | 1987-10-29 | 1987-10-29 | 極低温冷凍機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2600720B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103175328B (zh) * | 2011-12-23 | 2015-11-04 | 中国科学院理化技术研究所 | 高频脉冲管制冷机 |
| CN117107225B (zh) * | 2023-08-08 | 2024-03-08 | 上海顺心谷半导体科技有限公司 | 一种基于mpcvd法的金刚石膜生产设备 |
-
1987
- 1987-10-29 JP JP62273871A patent/JP2600720B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01114670A (ja) | 1989-05-08 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4824256B2 (ja) | ２段階低温冷却装置における温度安定性を得るための装置および方法 | |
| US5181383A (en) | Refrigerator | |
| CN114151989B (zh) | 一种超导磁体 | |
| US4409799A (en) | Heat pump device | |
| US5157938A (en) | Three-stage sorption type cryogenic refrigeration systems and methods employing heat regeneration | |
| US6205791B1 (en) | High efficiency modular cryocooler with floating piston expander | |
| JP3602823B2 (ja) | 脈動管冷凍機 | |
| JP2600720B2 (ja) | 極低温冷凍機 | |
| JPS629827B2 (ja) | ||
| JP2836175B2 (ja) | 冷凍機 | |
| US4281517A (en) | Single stage twin piston cryogenic refrigerator | |
| JP3618886B2 (ja) | パルスチューブ冷凍機 | |
| US4877434A (en) | Cryogenic refrigerator | |
| JPH05306846A (ja) | スタ−リング冷凍装置 | |
| JP2600714B2 (ja) | 二重管冷凍機 | |
| JP2525269B2 (ja) | 冷凍システム | |
| JP2941108B2 (ja) | パルス管式冷凍機 | |
| JP2944329B2 (ja) | パルスチューブ冷凍機 | |
| JP3741300B2 (ja) | パルス管冷凍機 | |
| JP2719433B2 (ja) | 極低温冷凍装置 | |
| JPH0660769B2 (ja) | 低温で効率良く熱エネルギーを吸収する方法 | |
| CN101614453B (zh) | 热管式绝热放气制冷机 | |
| JP3363697B2 (ja) | 冷凍装置 | |
| JP3635904B2 (ja) | ガスサイクル機関冷凍機 | |
| JPS6256420B2 (ja) |