JP2596308B2 - Image display device having field emission cathode and method of manufacturing the same - Google Patents
Image display device having field emission cathode and method of manufacturing the sameInfo
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Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は電界放出形陰極を電子源
とする画像表示装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an image display apparatus using a field emission cathode as an electron source.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、電界放出形陰極を電子源とした画
像表示装置(以下FEDという)では、表示部の形成さ
れる陽極基板と、陰極の形成される陰極基板との間隔を
一定に保持するため、以下の(1)〜(2)に例示する
ような種々の方法で両基板間に支柱が設けられている。2. Description of the Related Art Conventionally, in an image display device (hereinafter referred to as FED) using a field emission cathode as an electron source, a distance between an anode substrate on which a display portion is formed and a cathode substrate on which a cathode is formed is kept constant. In order to do so, columns are provided between the substrates by various methods as exemplified in the following (1) and (2).
【0003】(1)フリットガラスを積層する方法 この方法は、フリットガラスを含むペーストのスクリー
ン印刷と焼成を繰り返しながら、積層したフリットガラ
スから成る支柱を形成していく方法である。または、複
数層のペーストを印刷しておいて、まとめて焼成しても
よい。または感光性ガラスペーストを印刷し、フォトリ
ソ法で所定形状にし、最後に焼成して形成する方法もあ
る。(1) A method of laminating frit glass This method is a method of forming pillars made of laminated frit glass while repeating screen printing and baking of a paste containing frit glass. Alternatively, a paste of a plurality of layers may be printed and fired collectively. Alternatively, there is a method in which a photosensitive glass paste is printed, formed into a predetermined shape by a photolithography method, and finally baked.
【0004】(2)感光性樹脂を使用する方法 ポリイミド等の耐熱性の感光性樹脂を基板にスプレー等
で被着し、マスク露光した後現像処理して、所望の形状
の支柱を得る。(2) Method of Using Photosensitive Resin A heat-resistant photosensitive resin such as polyimide is applied to a substrate by spraying or the like, exposed to a mask, and then developed to obtain a pillar having a desired shape.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながらこれらの
方法には、CRT並の解像度のグラフィック表示をFE
Dで得ようとした場合、いくつかの問題点がある。まず
問題点を指摘する前に、支柱に要求される一般的な条件
としては次のa〜cがあげられる。 a.排気効率をなるべく低下させない。 b.残留ガスが少ない。 c.FEDの表示部に配設されるRGBの蛍光体層のピ
ッチを例えば0.36mmに設定する場合には、蛍光体
層の幅を各々100μmとすると、支柱ができる限り表
示の妨げにならないようにするため、支柱が基板に接触
する面は幅が50μm以下であることが要求される。し
かしながら、陰極と陽極の間の耐電圧性能や陰極の電子
の広がり条件等を考えると、支柱の高さは0.1mmか
ら0.3mm程度は必要である。また配設位置は画素間
に限られる。However, in these methods, a graphic display having a resolution similar to that of a CRT is used for the FE.
There are some problems when trying to obtain with D. Before pointing out the problem, the following general conditions required for the support are a to c. a. Exhaust efficiency is not reduced as much as possible. b. Low residual gas. c. When the pitch of the RGB phosphor layers provided on the display unit of the FED is set to, for example, 0.36 mm, the width of the phosphor layers is set to 100 μm so that the columns do not obstruct the display as much as possible. Therefore, the width of the surface where the support contacts the substrate is required to be 50 μm or less. However, in consideration of the withstand voltage performance between the cathode and the anode, the condition for spreading the electrons of the cathode, and the like, the height of the column needs to be about 0.1 mm to 0.3 mm. The arrangement position is limited between pixels.
【0006】前述した方法(1)の問題点は、ガラスフ
リットをスクリーン印刷しても一度に数十μmの高さし
か得られない点にある。即ち支柱に必要な高さを得るに
は何回も積層しなければならない。また幅に対して高さ
の大きい形状は、フリットの積層によって形成するのが
困難である。またフリットを積層する方法では所望の形
状が得にくく、位置精度も不十分である。The problem of the above-mentioned method (1) is that only a height of several tens of μm can be obtained at a time even if glass frit is screen-printed. That is, it must be laminated many times to obtain the required height for the column. Further, it is difficult to form a shape having a height larger than the width by laminating the frit. In addition, the method of laminating the frit makes it difficult to obtain a desired shape and the position accuracy is insufficient.
【0007】さらに、焼成する必要があるため、支柱の
上面にだれが生じ、高さを均一にすることが困難であっ
た。そのために、支柱のなかには支持体としての役目を
しないものが生じ、耐圧が低下するという問題があっ
た。Furthermore, since it is necessary to perform firing, the upper surface of the support pillar is drooped, and it is difficult to make the height uniform. For this reason, some pillars do not serve as a support, and there is a problem that the withstand pressure is reduced.
【0008】また焼成の際にガラスフリット中のビーク
ルがガスとなって放出されるので、支柱の表面に凹凸が
残る。この凹凸に残留ガスが付着しやすい。[0008] Further, since the vehicle in the glass frit is released as gas during firing, irregularities remain on the surface of the column. Residual gas tends to adhere to these irregularities.
【0009】また前述した方法(2)では、光源のよい
ものを使用したとしても、膜厚が1回100μm程度で
あるから、必要な支柱の高さがそれ以上であると積層し
なければ支柱の高さを得ることができない。また有機材
料を使用しているのでガス放出の問題が有る。このほ
か、(1)、(2)において、感光性ガラスペースト、
感光性樹脂を支柱材料にする場合は、基板上に支柱を形
成した後に蛍光体層を形成しなければならず、蛍光体層
の塗り分け、形成作業が困難であった。In the above-mentioned method (2), even if a light source having a good light source is used, since the film thickness is about 100 μm at a time, if the required height of the support is not more than that, the support must be stacked. Can not get the height of In addition, since an organic material is used, there is a problem of gas emission. In addition, in (1) and (2), photosensitive glass paste,
When the photosensitive resin is used as the pillar material, the phosphor layer must be formed after the pillar is formed on the substrate, and it is difficult to separately apply and form the phosphor layers.
【0010】本発明は、前述した従来例の問題点に鑑み
てなされたものであり、FEDの画素間の領域に高さが
均一で残留ガスの少ない支柱を配設することを目的とし
ている。The present invention has been made in view of the above-described problems of the conventional example, and has as its object to provide a column having a uniform height and a small amount of residual gas in a region between pixels of an FED.
【0011】[0011]
【課題を解決するための手段】請求項1に記載された画
像表示装置は、蛍光体層を有する表示部を備えた陽極基
板と、陽極基板の表示部と対面する内面側に電界放出形
陰極を備えた陰極基板とが、所定間隔をおいて外周部で
シール材によって封止されて成る画像表示装置におい
て、前記表示部が設けられていない前記陽極基板の内面
と前記陰極基板との間に、ファイバ材からなる支柱部材
を固着したことを特徴としている。According to a first aspect of the present invention, there is provided an image display apparatus comprising: an anode substrate having a display portion having a phosphor layer; and a field emission cathode on an inner surface of the anode substrate facing the display portion. And a cathode substrate having an outer peripheral portion sealed at predetermined intervals by a sealing material, wherein the display portion is not provided between the inner surface of the anode substrate and the cathode substrate. A strut member made of fiber material is fixed.
【0012】請求項2に記載された画像表示装置の製造
方法は、ファイバ材から所定長さの支柱部材を形成する
工程と、前記支柱部材の一端に磁性体を設ける工程と、
所定位置に磁石が設けられた保持基板に前記支柱部材を
保持させる工程と、表示部が形成された陽極基板または
電界放出形陰極が形成された陰極基板の一方に、前記支
柱部材の他端を位置決めして固定する工程と、前記陽極
基板または前記陰極基板の他方に前記支柱部材の一端を
位置決めして固定する工程と、前記陽極基板と前記陰極
基板をシール材で封止して内部を排気する工程とを有し
ている。According to a second aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing an image display device, comprising: forming a column member having a predetermined length from a fiber material; and providing a magnetic body at one end of the column member.
Holding the support member on a holding substrate provided with a magnet at a predetermined position, and connecting the other end of the support member to one of an anode substrate on which a display unit is formed or a cathode substrate on which a field emission cathode is formed. Positioning and fixing; positioning and fixing one end of the support member to the other of the anode substrate or the cathode substrate; and sealing the anode substrate and the cathode substrate with a sealing material and exhausting the inside. And a step of performing
【0013】請求項3に記載された画像表示装置の製造
方法は、開口部と該開口部に連通する吸引手段を備えた
位置決め手段によって支柱部材を吸引し、支柱部材の一
端を吸引力で前記開口部に位置決め保持させる工程と、
表示部が形成された陽極基板または電界放出形陰極が形
成された陰極基板の一方に、前記位置決め手段で保持さ
れた前記支柱部材の他端を位置決めして固定する工程
と、前記陽極基板または前記陰極基板の他方に、前記位
置決め手段による保持が解除された前記支柱部材の一端
を位置決めして固定する工程と、前記陽極基板と前記陰
極基板をシール材で封止して内部を排気する工程とを有
している。According to a third aspect of the present invention, in the method of manufacturing an image display device, the support member is suctioned by the positioning means having the opening and the suction means communicating with the opening, and one end of the support member is sucked by the suction force. A step of positioning and holding the opening;
Positioning and fixing the other end of the support member held by the positioning means to one of an anode substrate on which a display unit is formed or a cathode substrate on which a field emission cathode is formed; and A step of positioning and fixing one end of the support member released from holding by the positioning means on the other side of the cathode substrate, and a step of sealing the anode substrate and the cathode substrate with a sealing material and exhausting the inside; have.
【0014】[0014]
【作用】支柱部材はファイバ材から成るので切断等の手
法により均一な高さでかつ幅に対し高さの大きな支柱を
得ることができ、表示の妨げになることなく陽極基板と
陰極基板の間隔を一定に保持できる。また、その表面は
比較的平滑なので製造工程中にガスが付着することは少
ない。Since the support member is made of fiber material, a support having a uniform height and a large height relative to the width can be obtained by a method such as cutting, and the distance between the anode substrate and the cathode substrate can be obtained without obstructing the display. Can be kept constant. In addition, since the surface is relatively smooth, gas adheres little during the manufacturing process.
【0015】[0015]
【実施例】図1は本発明の一実施例である画像表示装置
の断面図である。透光性と絶縁性を有する陽極基板10
0の内面には、透光性の陽極導体101が所定のパター
ンで配設されている。この陽極導体101には蛍光体層
102が被着されており、表示部103としての陽極が
構成されている。FIG. 1 is a sectional view of an image display apparatus according to an embodiment of the present invention. Anode substrate 10 having translucency and insulation
A light-transmitting anode conductor 101 is provided in a predetermined pattern on the inner surface of the “0”. The phosphor layer 102 is adhered to the anode conductor 101, and constitutes an anode as the display unit 103.
【0016】陽極基板100と対面する絶縁性の陰極基
板104の内面には、電子源としての電界放出形陰極1
05が設けられている。電界放出形陰極105は、陰極
基板104上に設けられた陰極導体106と、該陰極導
体106上に絶縁層107を介して設けられたゲート電
極108と、該ゲート電極108と絶縁層107に形成
されたホール109内で前記陰極導体106上に設けら
れたコーン形状のエミッタ110とを有している。A field emission type cathode 1 as an electron source is provided on an inner surface of an insulating cathode substrate 104 facing the anode substrate 100.
05 is provided. A field emission cathode 105 is formed on a cathode conductor 106 provided on a cathode substrate 104, a gate electrode 108 provided on the cathode conductor 106 via an insulating layer 107, and formed on the gate electrode 108 and the insulating layer 107. And a cone-shaped emitter 110 provided on the cathode conductor 106 in the hole 109 formed.
【0017】前記陽極基板100と前記陰極基板104
の間には略円柱形の支柱部材111が設けられている。
この支柱部材111はファイバ材の一例であるガラスフ
ァイバを所定の長さに切り揃えた部材であり、表示部1
03及び電界放出形陰極105の存在しない領域を選ん
で設けられている。支柱部材111の両端は低軟化点ガ
ラス112によって両基板100,104に固着されて
いる。また、図1中に図示されている支柱部材111は
1個だけであるが、両基板100,104間を多数の箇
所で支えている。そして、陽極基板100と陰極基板1
04の外周部は、図示しないシール材によって封止され
ている。The anode substrate 100 and the cathode substrate 104
A substantially columnar column member 111 is provided between them.
The support member 111 is a member obtained by cutting a glass fiber, which is an example of a fiber material, to a predetermined length.
03 and a region where the field emission cathode 105 does not exist. Both ends of the support member 111 are fixed to the substrates 100 and 104 by low softening point glass 112. Although only one support member 111 is shown in FIG. 1, the support between the substrates 100 and 104 is supported at many places. Then, the anode substrate 100 and the cathode substrate 1
The outer peripheral portion of 04 is sealed with a sealing material (not shown).
【0018】本実施例のように、ガラスファイバをFE
Dの支柱部材に用いれば次のような効果が得られる。所
定幅(径)のガラスファイバを用意すれば、その高さは
カットする長さで決まるので、支柱部材を決められた高
さにするのが容易である。したがって、幅に対して高さ
の大きい支柱部材を容易に得ることができる。このよう
な支柱部材を使用すれば、FEDにおいて陽極基板と陰
極基板の間隔を一定に保持することができ、輝度のばら
つきもなく、耐圧性能に優れたFEDを得ることができ
る。As in this embodiment, the glass fiber is FE
The following effects can be obtained by using the support member D. If a glass fiber having a predetermined width (diameter) is prepared, its height is determined by the length to be cut, so that it is easy to make the support member have a predetermined height. Therefore, it is possible to easily obtain a column member having a height higher than the width. By using such a support member, the distance between the anode substrate and the cathode substrate in the FED can be kept constant, and an FED with no variation in luminance and excellent withstand voltage performance can be obtained.
【0019】また、必要な支柱部材の高さを得ながら支
柱部材の幅を圧力に耐えられるだけの最小の寸法にする
ことができるので、十分な表示エリアを確保することが
できるとともに、FEDの製造時に内部を排気する際の
排気効率が高くなる。さらに、支柱側面が平滑なので、
支柱そのものに対して製造工程中にガスが付着すること
が少ない。Further, since the width of the support member can be reduced to the minimum size that can withstand the pressure while obtaining the required height of the support member, a sufficient display area can be ensured and the FED of the FED can be secured. Exhaust efficiency when exhausting the inside during manufacturing is increased. In addition, since the support side is smooth,
Gas is less likely to adhere to the support itself during the manufacturing process.
【0020】次に、支柱部材としてのガラスファイバを
揃えてFEDに組み込む方法について説明する。 1.磁気吸着力を利用する方法(図2参照。なお分図番
号と以下の説明は対応している。) 1)あらかじめ陽極基板2上に、透明導電膜等からなる
陽極導体1と、低軟化点ガラスパターン3、R,G,B
3色の蛍光体層4を所定ピッチ(例えば360μmピッ
チ)で形成する。さらに周辺枠部にシールガラスペース
ト5を被着形成する。Next, a description will be given of a method of aligning glass fibers as pillar members and incorporating the same into the FED. 1. Method using magnetic attraction force (see FIG. 2; note that the following numbers correspond to the drawing numbers) 1) An anode conductor 1 made of a transparent conductive film or the like and a low softening point Glass pattern 3, R, G, B
The phosphor layers 4 of three colors are formed at a predetermined pitch (for example, 360 μm pitch). Further, a sealing glass paste 5 is applied to the peripheral frame portion.
【0021】2)φ50μmのガラスファイバを数千本
の束に束ねて樹脂で固めたものを、長さ200μmにス
ライスする。 3)スライスしたガラスファイバ6の一端に磁性体であ
るNi13を真空蒸着する。2) A glass fiber having a diameter of 50 μm is bundled into bundles of several thousands and hardened with resin, and sliced into a length of 200 μm. 3) Ni13 as a magnetic material is vacuum-deposited on one end of the sliced glass fiber 6.
【0022】4)有機溶剤中で樹脂を溶かしてNi付の
ガラスファイバ6を取り出す。 5)ガラス基板7に支柱配設ピッチ(例えば360μm
ピッチ)で磁性体14を組み込んだ治具を用意し、磁性
体14が下になるようにしてガラス基板7を上記ガラス
ファイバ6の上に置き、上記ガラスファイバ6を磁性体
14の位置に保持する。4) The resin is dissolved in an organic solvent to take out the glass fiber 6 with Ni. 5) Pole arrangement pitch (for example, 360 μm
A jig incorporating the magnetic material 14 is prepared at (pitch), the glass substrate 7 is placed on the glass fiber 6 with the magnetic material 14 facing down, and the glass fiber 6 is held at the position of the magnetic material 14. I do.
【0023】6)このままの状態で、あらかじめ無機物
を含む紫外線硬化型接着剤11を数μm厚にコーティン
グしたガラス基板12に、ガラスファイバ6の他端を触
れさせて該接着剤11を付ける。 7)陽極基板2に対して位置合わせし、ガラスファイバ
6を低軟化点ガラスパターン3の上に重ねた状態で紫外
線を照射して接着剤を硬化させ、ガラス基板7を取り除
く。6) In this state, the other end of the glass fiber 6 is applied to the glass substrate 12 previously coated with an ultraviolet curable adhesive 11 containing an inorganic substance to a thickness of several μm, and the adhesive 11 is applied. 7) The glass substrate 7 is removed by aligning with the anode substrate 2 and irradiating ultraviolet rays with the glass fiber 6 superimposed on the low softening point glass pattern 3 to cure the adhesive.
【0024】8)その後、400〜500℃で焼成する
ことにより、つい立てとしてのガラスファイバ6は、接
着剤の分解後、接着剤に含まれていた無機物またはその
酸化物によって、低軟化点ガラスパターン3上に固着さ
れた状態で、低軟化点ガラス3が軟化し、その後冷却さ
れて低軟化点ガラス3が硬化することにより固定され
る。こうして、φ50μm、高さ200μmのつい立て
が360μmピッチで形成された蛍光体パターンニング
基板が得られる。8) Thereafter, by firing at 400 to 500 ° C., the glass fiber 6 as a screen is made to have a low softening point glass due to an inorganic substance or its oxide contained in the adhesive after the adhesive is decomposed. In the state of being fixed on the pattern 3, the low softening point glass 3 is softened, then cooled and hardened to be fixed. In this way, a phosphor patterning substrate in which screens of φ50 μm and height of 200 μm are formed at a pitch of 360 μm is obtained.
【0025】その後、ガラスファイバ6のNi被着端部
に低軟化点ガラスを被着しておいて、図1に示すように
電界放出形陰極105の形成された陰極基板104を取
り付けて気密に封止することにより画像表示装置を得
る。本製造方法によれば、径に対して高さの大きいファ
イバ材でも、陽極基板または陰極基板に対しファイバ材
を正確な位置に取り付けることができる。また本製造方
法では、ファイバ材としては、断面形状が角形のものに
も適用することができる。Thereafter, a glass having a low softening point is adhered to the end of the glass fiber 6 to which Ni is adhered, and a cathode substrate 104 on which a field emission type cathode 105 is formed as shown in FIG. An image display device is obtained by sealing. According to the present manufacturing method, even if the fiber material has a large height relative to the diameter, the fiber material can be attached to the anode substrate or the cathode substrate at an accurate position. Further, in the present manufacturing method, a fiber material having a square cross section can also be applied.
【0026】2.排気の吸引力を利用する方法(図3参
照。なお、分図番号〜と以下の説明の項番号〜
は対応している。) φ50μmのガラスファイバを数千本の束20に束
ねて樹脂で固めたものを、長さ200μmにスライスす
る。その後有機溶剤中にスライスしたガラスファイバ束
21を浸し、樹脂を溶融させてガラスファイバ22を得
る。2. Method using the suction force of the exhaust gas (see FIG. 3; note that the figure numbers and the section numbers in the following description)
Is compatible. ) A glass fiber having a diameter of 50 µm is bundled into a bundle of several thousands 20 and hardened with resin, and sliced into a length of 200 µm. Thereafter, the sliced glass fiber bundle 21 is immersed in an organic solvent, and the resin is melted to obtain a glass fiber 22.
【0027】 本工程で用いるガラスファイバ22の
位置決め手段23は、箱形の基体24を有している。基
体24の内部は、図示しない吸引手段であるポンプに接
続されている。また、基体24の上面には、支柱部材に
なるガラスファイバ22の配設ピッチと等しいピッチで
開口部25が形成され、基体24内部に連通している。
また開口部25の開口径は、前記ガラスファイバ22の
径よりわずかに大きい。そして、前記ポンプで基体27
内を吸引しながら、ガラスファイバ22を基体上面に適
当量散布し、吸引力でガラスファイバ22を開口部25
に充填・保持する。The positioning means 23 of the glass fiber 22 used in this step has a box-shaped base 24. The inside of the base 24 is connected to a pump, which is a suction unit (not shown). In addition, openings 25 are formed on the upper surface of the base 24 at a pitch equal to the arrangement pitch of the glass fibers 22 serving as support members, and communicate with the inside of the base 24.
The diameter of the opening 25 is slightly larger than the diameter of the glass fiber 22. Then, the substrate 27 is
While sucking the inside, an appropriate amount of the glass fiber 22 is sprayed on the upper surface of the substrate, and the glass fiber 22 is sucked into the opening 25.
Fill and hold.
【0028】 ガラス板26に転写スペース27を均
一に塗布する。これを位置決め手段23に保持された状
態のガラスファイバ22の先端に面転写する。前記転写
ペースト27は、低軟化点ガラスを主成分とし、必要に
応じてこれに樹脂等を混入し、粘着性を有するペースト
状としたものである。 先端に転写ペーストの付いたガラスファイバ22を
転写ペースト27の粘着力であらかじめ陽極導体、蛍光
体層等の形成された陽極基板28に転写する。The transfer space 27 is uniformly applied to the glass plate 26. This is surface-transferred to the tip of the glass fiber 22 held by the positioning means 23. The transfer paste 27 has a low softening point glass as a main component, and is mixed with a resin or the like as needed to form an adhesive paste. The glass fiber 22 having a transfer paste at its tip is transferred to an anode substrate 28 on which an anode conductor, a phosphor layer and the like are formed in advance by the adhesive force of the transfer paste 27.
【0029】 あらかじめ板ガラス29に固着用ペー
スト30を均一な厚さで塗布しておく。そして、ガラス
ファイバ22を上にした陽極基板28に、固着ペースト
30を下にして接近させ、前記ガラスファイバ22の一
端に固着ペースト30を接触させて付着させる。The fixing paste 30 is applied to the plate glass 29 in advance with a uniform thickness. Then, the fixing paste 30 is made to approach the anode substrate 28 with the glass fiber 22 facing upward, and the fixing paste 30 is brought into contact with one end of the glass fiber 22 to be adhered.
【0030】 陽極基板28の周辺に封着用シールペ
ースト31を塗布し、所定温度で焼成することにより陽
極基板28にガラスファイバ22を固着させる。その
後、図示しないが電界放出形陰極の形成された陰極基板
を取り付けて、気密に封止することにより画像表示装置
を得る。The glass fiber 22 is fixed to the anode substrate 28 by applying a sealing paste 31 for sealing around the anode substrate 28 and baking it at a predetermined temperature. Thereafter, although not shown, a cathode substrate on which a field emission cathode is formed is attached and hermetically sealed to obtain an image display device.
【0031】なお前記開口部25は、外部に対して拡径
とし、底部の開口径がガラスファイバ22の断面形状と
等しいかわずかに大きい形状としてもよい。そうするこ
とにより、ガラスファイバ22の吸着が容易になる。ま
た前記製造工程の説明では、陽極基板28とガラファイ
バ22の固着と、陰極基板の取り付けを別工程で行う例
を示したが、あらかじめ陽極基板28上のガラスファイ
バ22に陰極基板を組み合わせ、三者を一括焼成しても
よい。The diameter of the opening 25 may be increased with respect to the outside, and the diameter of the opening at the bottom may be equal to or slightly larger than the cross-sectional shape of the glass fiber 22. By doing so, the suction of the glass fiber 22 becomes easy. In the above description of the manufacturing process, an example in which the attachment of the anode substrate 28 to the glass fiber 22 and the attachment of the cathode substrate are performed in separate steps has been described. May be fired at once.
【0032】以上のように、ファイバ材からなる支柱部
材は、幅が数十μmと微小で、かつ幅に対し高さを大き
く取る場合、垂直に形成することが困難であるが、本製
造方法を用いれば容易に形成できる。As described above, the strut member made of the fiber material has a very small width of several tens of μm, and it is difficult to form the pillar member vertically when the height is large with respect to the width. Can be easily formed.
【0033】また本製造方法では支柱部材が円柱形状の
ものでなくても、例えばガラスビーズの様な球形のもの
でも位置決め手段23によって容易に位置決めすること
ができる。さらに本製造方法は、支柱部材となるガラス
ファイバ22の断面が円形の場合を示したが、断面が角
形で、角柱状の支柱部材にも適用できる。Further, in the present manufacturing method, even if the support member is not of a cylindrical shape, for example, a spherical shape such as glass beads can be easily positioned by the positioning means 23. Further, the present manufacturing method has been described in the case where the cross section of the glass fiber 22 serving as the support member is circular.
【0034】[0034]
【発明の効果】本発明に係る画像表示装置によれば、フ
ァイバ材を切断する長さを揃えることによって多数の支
柱部材の寸法をほぼ同一に設定することができる。この
ため、FEDにおいて陽極基板と陰極基板の間隔を一定
に保持することができるので、輝度が均一で耐圧性能の
高い優れたFEDを得ることができる。また、本発明に
係る画像表示装置の製造方法によれば、ファイバ材を一
定の長さに切り揃え、さらに切断した1本1本のファイ
バ材を確実に保持して基板に位置決めできる。このた
め、前述したような本発明の優れたFEDを効率的に製
造することができる。According to the image display device of the present invention, the dimensions of the plurality of support members can be set to be substantially the same by making the lengths at which the fiber material is cut uniform. For this reason, since the distance between the anode substrate and the cathode substrate can be kept constant in the FED, an excellent FED with uniform luminance and high withstand voltage performance can be obtained. Further, according to the method of manufacturing an image display device according to the present invention, the fiber material can be trimmed to a fixed length, and the cut fiber material can be reliably held and positioned on the substrate. For this reason, the excellent FED of the present invention as described above can be efficiently manufactured.
【図1】本発明の一実施例である画像表示装置の断面図
である。FIG. 1 is a cross-sectional view of an image display device according to an embodiment of the present invention.
【図2】本発明の一実施例を示す製造工程図である。FIG. 2 is a manufacturing process diagram showing one embodiment of the present invention.
【図3】本発明の他の実施例を示す製造工程図である。FIG. 3 is a manufacturing process diagram showing another embodiment of the present invention.
2,32,100 陽極基板 4,102 蛍光体層 6,25 ファイバ材としてのガラスファイバ 7 保持基板としてのガラス基板 13 磁性体としてのNi 14 磁石としてのペースト 26 位置決め手段 28 開口部 103 表示部 104 陰極基板 105 電界放出形陰極 2, 32, 100 Anode substrate 4, 102 Phosphor layer 6, 25 Glass fiber as fiber material 7 Glass substrate as holding substrate 13 Ni as magnetic material 14 Paste as magnet 26 Positioning means 28 Opening 103 Display 103 Cathode substrate 105 Field emission cathode
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 蒔田 吉生 千葉県茂原市大芝629 双葉電子工業株 式会社内 (72)発明者 吉村 智志 千葉県茂原市大芝629 双葉電子工業株 式会社内 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Yoshio Makita 629 Oshiba, Mobara-shi, Chiba Futaba Electronics Co., Ltd. (72) Inventor Satoshi Yoshimura 629 Oshiba, Mobara-shi, Chiba Futaba Electronics Co., Ltd.
Claims (3)
板と、陽極基板の表示部と対面する内面側に電界放出形
陰極を備えた陰極基板とが、所定間隔をおいて外周部で
シール材によって封止されて成る画像表示装置におい
て、 前記表示部が設けられていない前記陽極基板の内面と前
記陰極基板との間に、ファイバ材からなる支柱部材を固
着したことを特徴とする電界放出形陰極を有する画像表
示装置。1. An anode substrate provided with a display section having a phosphor layer, and a cathode substrate provided with a field emission cathode on an inner surface facing the display section of the anode substrate, are spaced apart from each other by a predetermined distance at an outer peripheral portion. An image display device sealed with a sealing material, wherein a support member made of a fiber material is fixed between an inner surface of the anode substrate on which the display unit is not provided and the cathode substrate. An image display device having an emission cathode.
成する工程と、前記支柱部材の一端に磁性体を設ける工
程と、所定位置に磁石が設けられた保持基板に前記支柱
部材を保持させる工程と、表示部が形成された陽極基板
または電界放出形陰極が形成された陰極基板の一方に、
前記支柱部材の他端を位置決めして固定する工程と、前
記陽極基板または前記陰極基板の他方に前記支柱部材の
一端を位置決めして固定する工程と、前記陽極基板と前
記陰極基板をシール材で封止して内部を排気する工程と
を有する画像表示装置の製造方法。2. A step of forming a column member having a predetermined length from a fiber material, a step of providing a magnetic body at one end of the column member, and holding the column member on a holding substrate provided with a magnet at a predetermined position. Process, one of the anode substrate on which the display unit is formed or the cathode substrate on which the field emission cathode is formed,
A step of positioning and fixing the other end of the support member, a step of positioning and fixing one end of the support member to the other of the anode substrate or the cathode substrate, and sealing the anode substrate and the cathode substrate with a sealing material. A method of manufacturing an image display device, comprising the steps of: sealing and exhausting the inside.
備えた位置決め手段によって支柱部材を吸引し、支柱部
材の一端を吸引力で前記開口部に位置決め保持させる工
程と、表示部が形成された陽極基板または電界放出形陰
極が形成された陰極基板の一方に、前記位置決め手段で
保持された前記支柱部材の他端を位置決めして固定する
工程と、前記陽極基板または前記陰極基板の他方に、前
記位置決め手段による保持が解除された前記支柱部材の
一端を位置決めして固定する工程と、前記陽極基板と前
記陰極基板をシール材で封止して内部を排気する工程と
を有する画像表示装置の製造方法。3. A step of sucking the support member by a positioning means having an opening and a suction means communicating with the opening, and positioning and holding one end of the support member in the opening by a suction force, and forming a display portion. Positioning and fixing the other end of the support member held by the positioning means to one of the formed anode substrate or the cathode substrate on which the field emission cathode is formed; and the other of the anode substrate or the cathode substrate An image display comprising: a step of positioning and fixing one end of the support member released from being held by the positioning means; and a step of sealing the anode substrate and the cathode substrate with a sealing material and exhausting the inside. Device manufacturing method.
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