JP2595153B2

JP2595153B2 - 電気粘性流体

Info

Publication number: JP2595153B2
Application number: JP27384991A
Authority: JP
Inventors: 佳延浅子; 哲小野; 一寿伊藤; ▲英▼司上松
Original assignee: CKD Corp; Nippon Shokubai Co Ltd
Current assignee: CKD Corp; Nippon Shokubai Co Ltd
Priority date: 1991-10-22
Filing date: 1991-10-22
Publication date: 1997-03-26
Anticipated expiration: 2012-03-26
Also published as: JPH05112793A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、電気粘性流体に関する
ものであり、更に詳しくは、クラッチ、ブレーキ、エン
ジンマウント、ダンパ、バルブ、ショックアブソーバ、
アクチュエータ等の各種デバイス、中でも密閉型デバイ
スへ有効に利用できる電気粘性流体に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】電気粘性流体とは、例えば絶縁性分散媒
中に分散相粒子を分散・懸濁して得られる流体であっ
て、そのレオロジー的或いは流れ性質が電場変化を加え
ることにより粘塑性型の性質に変わる流体であり、一般
に外部電場を印加した際に粘度が著しく上昇し、大きい
せん断応力を誘起する、いわゆるウィンズロー効果を示
す流体として知られている。このウィンズロー効果は応
答性が速いという特徴を有することから、ウィンズロー
効果を有する電気粘性流体はクラッチ、ブレーキ、エン
ジンマウント、ダンパ、バルブ、ショックアブソーバ、
アクチュエータ等の各種デバイスや電気粘性流体インク
ジェット等への応用が試みられている。

【０００３】電気粘性流体は、シリコーンオイル、塩化
ジフェニル、トランス油等の絶縁油にセルロース、デン
プン、シリカゲル、イオン交換樹脂等を分散させたもの
が知られている。また、近年では、ポリ（アセン−キノ
ン）等の有機半導体粒子を分散相として用いる流体（特
開昭６１−２１６２０２号公報）、有機固体粒子を中心
としてその表面に導電性薄膜層及び電気絶縁性薄膜層が
形成された３層構造からなる誘電体粒子を分散相粒子と
して用いる流体（特開昭６３−９７６９４号公報）、樹
脂中にカーボンブラック等の導電体粒子が分散されてな
る導電性組成物の粉末を分散相粒子として用いる流体
（特開平１−２３６２９１号公報）等が提案されてい
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところが、本願発明者
らが、これらの電気粘性流体で作動するデバイスの実用
化にあたって検討を行ったところ、従来の電気粘性流体
においては、密閉型デバイス内に封入された電気粘性流
体に溶存気体や気泡が存在するため、デバイスの作動中
に部分放電が発生し電気粘性流体の劣化が生じたり、密
閉型デバイスに電場変化を与えても電気粘性流体が有効
に作動せず、デバイスの円滑な作動が妨げられるという
問題点が認められた。また、デバイスの作動を繰り返し
た際に、再現性よく作動しないことが有り、デバイスの
繰り返し使用特性の低下が認められるという問題点も有
している。

【０００５】従って、本発明の目的は、上記従来の問題
点を克服し、電気粘性流体をデバイス内に封入してなる
密閉型デバイスの作動を円滑にする電気粘性流体を提供
することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本願発明者らは、密閉型
デバイス内に封入された電気粘性流体を脱気された電気
粘性流体とすることにより、上記目的が達成できること
を見いだし、本発明に到達した。

【０００７】本発明は、分散相粒子と絶縁性分散媒とか
らなり、脱気されていることを特徴とする電気粘性流体
に関するものである。

【０００８】本発明でいう脱気とは、電気粘性流体中に
溶存気体や気泡等が実質上存在しないように処理するこ
とであり、例えば減圧下に電気粘性流体を放置したり、
撹拌または振動を加えたりして溶存気体や気泡を除去す
ること等を挙げることができる。

【０００９】脱気の具体的な方法としては、分散相粒子
と絶縁性分散媒とを混合して電気粘性流体を調整する時
及び／又は調整後の電気粘性流体に撹拌、又は振動を加
えながら減圧下に脱気する方法、電気粘性流体をデバイ
ス内に封入し減圧下脱気した後封ずる方法、デバイス内
のデバイス封入部分を減圧しておいてから電気粘性流体
を注入した後封ずる方法、電気粘性流体にデバイスを浸
漬した後デバイスを取り出して封ずる方法等が挙げられ
る。これらの脱気方法を併用することにより、より効果
的に電気粘性流体の脱気を行うことができるので好まし
い。脱気条件としては、電気粘性流体に振動又は撹拌を
加えながら６００ｔｏｒｒ以下の減圧下で行うことが好
ましく、特に１００ｔｏｒｒ以下の減圧下で行うことが
好ましい。また、より効果的に脱気を行うために加熱下
に脱気することもできる。

【００１０】本発明で使用することのできる電気粘性流
体を構成する分散相粒子とは、電気粘性効果の発現に直
接関与する誘電体粒子のことである。このような誘電体
粒子としては、例えばデンプン、セルロース、イオン交
換樹脂などの親水性基を有する有機物粒子；シリカ、ア
ルミナ等の親水性無機物粒子；有機固体粒子を中心とし
てその表面に導電性薄膜層を形成し、更に電気絶縁性薄
膜層の形成された３層構造からなる粒子、アルミニウム
などの導電体粒子の表面に薄膜絶縁膜を形成した粒子な
どの複合誘電体粒子；樹脂中にカーボンブラック等の導
電体粒子が分散されてなる導電性組成物；ポリ（アセン
−キノン）等の有機半導体粒子；チタン酸バリウム、酒
石酸リチウム等の強誘電体粒子等が挙げられる。

【００１１】本発明で使用することのできる電気粘性流
体を構成する絶縁性分散媒としては、上記分散相粒子を
溶解しない絶縁性液体であれば特に制限はなく、例えば
ポリジメチルシロキサン、ポリフェニルメチルシロキサ
ン等のシリコーンオイル；流動パラフィン、デカン、ド
デカン、メチルナフタレン、ジメチルナフタレン、エチ
ルナフタレン、ビフェニル、デカリン、部分水添された
トリフェニル等の炭化水素；ジフェニルエーテル等のエ
ーテル化合物；クロロベンゼン、ジクロロベンゼン、ト
リクロロベンゼン、ブロモベンゼン、ジブロモベンゼ
ン、クロロナフタレン、ジクロロナフタレン、ブロモナ
フタレン、クロロビフェニル、ジクロロビフェニル、ト
リクロロビフェニル、ブロモビフェニル、クロロジフェ
ニルメタン、ジクロロジフェニルメタン、トリクロロジ
フェニルメタン、ブロモジフェニルメタン、クロロデカ
ン、ジクロロデカン、トリクロロデカン、ブロモデカ
ン、クロロドデカン、ジクロロドデカン、ブロモドデカ
ン等のハロゲン化炭化水素；クロロジフェニルエーテ
ル、ジクロロジフェニルエーテル、トリクロロジフェニ
ルエーテル、ブロモジフェニルエーテル等のハロゲン化
ジフェニルエーテル化合物；ダイフロイル（ダイキン工
業株式会社製）、デムナム（ダイキン工業株式会社製）
等のフッ化物；フタル酸ジオクチル、トリメリット酸ト
リオクチル、セバシン酸ジブチル等のエステル化合物等
を挙げることができ、これらの中から一種または二種以
上用いることができる。

【００１２】本発明で用いる電気粘性流体は、上記分散
相粒子と絶縁性分散媒とを混合し、絶縁性分散媒中に分
散相粒子を分散・懸濁することによって容易に得られ
る。

【００１３】本発明では、分散相粒子の分散媒中への分
散性向上や電気粘性流体の粘度調整或いはせん断応力向
上のために、例えば界面活性剤、高分子分散剤、高分子
増粘剤等の各種添加剤を流体中に添加することができ
る。

【００１４】本発明の電気粘性流体により好適に作動さ
れる密閉型デバイスとしては、デバイス内に封入された
電気粘性流体が外気と接触しない構造を有し電気粘性流
体により電気的入力を力学的出力に変換できる装置であ
れば特に制限はない。このような密閉型デバイスとし
て、例えばアクチュエータ（特開昭４８−５８２９５号
公報）、クラッチ（特開昭５３−８４６６号公報）、ト
ルクトランスミッション（ＥＰ１７８０７８Ａ１）等が
提案されている。

【００１５】以下に、実施例によりさらに詳細に説明す
るが、本発明はこれらに限定されるものではない。

【００１６】

【実施例】

〔実施例１〕撹拌機、還流冷却機及び温度計を備えた５
リットルの四つ口セパラブルフラスコに水2.４リットル
を仕込み、クラレポバールＰＶＡ−２０５（ポリビニー
ルアルコール；クラレ株式会社製）３2.０ｇを添加・溶
解させた後、更にスチレン５００ｇ、工業用ジビニルベ
ンゼン（ジビニルベンゼン５５重量％、エチルスチレン
３５重量％等の混合物；和光純薬工業株式会社製）１０
０ｇ及びアゾビスイソブチロニトリル８ｇからなる混合
物を加えた。その後、６００ｒｐｍの撹拌速度でフラス
コ内の内容物を分散させ、８０℃で８時間重合した。得
られた固形物を濾別し、十分に水洗いした後、熱風乾燥
機を用いて８０℃で１２時間乾燥し、球状の重合架僑体
５７３ｇを得た。

【００１７】撹拌機、温度計及び滴下ロートを備えた２
０リットルの四つ口セパラブルフラスコに上記した重合
反応で得られた重合架僑体５００ｇを仕込み、次いで、
９８重量％濃硫酸５ｋｇを加え、均一な分散液とした。
反応混合物の温度を８０℃に上げた後、同温度で２４時
間加熱・撹拌し、スルホン化反応を行った。その後、反
応混合物を０℃の水中に注ぎ、濾別した後、水・アセト
ンで洗浄した。得られた固形物を１０重量％水酸化ナト
リウム水溶液２リットルで中和した後、水で十分に洗浄
した。次いで、真空乾燥機を用いて、８０℃で１０時間
乾燥し、９００ｇの球状のスルホン化重合体からなる分
散相粒子を得た後、これを含水率２重量％に調湿した。

【００１８】上記分散相粒子８０ｇを、信越シリコーン
オイルＫＦ９６−２０ＣＳ（ジメチルシリコーンオイ
ル；信越化学工業株式会社製）２００ｇに、５０ｔｏｒ
ｒの減圧下に保ちながら３０分間撹拌して分散し、電気
粘性流体２８Ａを調整した。

【００１９】調整した電気粘性流体２８Ａを流体封入部
を６００ｔｏｒｒの減圧下に保ちながら図７に示す密閉
型デバイス６０に注入した。注入後、電気粘性流体２８
Ａを２０ｔｏｒｒの減圧下で３時間脱気して、デバイス
内への電気粘性流体２８Ａの封入を行った。

【００２０】以下に、上記密閉型デバイス６０について
説明する。

【００２１】密閉型デバイス６０は、空気圧シリンダで
動くテーブルの速度を電気粘性流体を用いることで電気
的に制御する装置であり、駆動シリンダ１と制御シリン
ダ２を有している。これらの駆動シリンダ１及び制御シ
リンダ２はそれぞれロッドレスシリンダより構成され、
一対のエンドブロック３・４間に平行に配設されてい
る。駆動シリンダ１はシリンダチューブ５と、そのシリ
ンダチューブ５内に移動可能に設けられた一対のピスト
ン６と、両ピストン６を連結するピストンロッド７とを
備え、ピストン６によってシリンダチューブ５内に一対
の流体室８・９が区画される。各ピストン６の外周には
滑動リング１０及びパッキン１１が嵌着され、ピストン
ロッド７の両端にはクッション体１２が取り付けられて
いる。

【００２２】上記制御シリンダ２は、シリンダチューブ
１３と、そのシリンダチューブ１３内に移動可能に設け
られた一対のピストン１４と、両ピストン１４を連結す
るピストンロッド１５とを備え、ピストン１４によって
シリンダチューブ１３内に一対の流体室１６・１７が区
画される。各ピストン１４の外周には滑動リング１８及
びパッキン１９が嵌着され、ピストンロッド１５の両端
にはクッション体２０が取り付けられている。

【００２３】一対の入力ポート２１・２２は上記エンド
ブロック３に設けられ、一方の入力ポート２１が駆動シ
リンダ１の一方の流体室８に連通されている。連通パイ
プ２３は両エンドブロック３・４間に架設され、この連
通パイプ２３を介して他方の入力ポート２２が他方の流
体室９に連通されている。そして、切り換えバルブ（図
示せず）の切り換えにより、コンプレッサ（図示せず）
から一方の入力ポート２１を介して一方の流体室８に圧
縮性流体が供給されたときには、駆動シリンダ１のピス
トン６が左方に移動される。又、上記切り換えバルブの
切り換えにより、上記コンプレッサから他方の入力ポー
ト２２を介して他方の流体室９に圧縮性流体が供給され
たときには、ピストン６が右方に移動される。

【００２４】連通パイプ２６は上記両エンドブロック３
・４間に架設され、この連通パイプ２６を含めて制御シ
リンダ２の両流体室１６・１７を連通するための閉回路
をなす連通路２７が形成されている。非圧縮性流体２８
は制御シリンダ２の両流体室１６・１７及び連通路２７
に充填され、この非圧縮性流体２８は電場の大きさに比
例して粘性が変化する性質を有している。

【００２５】連結手段を構成する連結装置２９は上記駆
動シリンダ１と制御シリンダ２との間に設けられ、駆動
シリンダ１のピストン６と制御シリンダ２のピストン１
４とを連動可能に連結している。この連結装置２９は、
駆動シリンダ１のシリンダチューブ５に移動可能に嵌挿
されたスライダ３０と、制御シリンダ２のシリンダチュ
ーブ１３に移動可能に嵌挿されたスライダ３１と、両ス
ライダ３０・３１を連結するために駆動シリンダ１と制
御シリンダ２との間に跨がって配設された連結体として
の移動部材３２とから構成されている。各一対の筒状体
３３・３４は両スライダ３０・３１内に嵌着され、その
内周面には滑動シリンダ３５・３６及びスクレーバ３７
・３８がそれぞれ設けられている。

【００２６】複数のピストン側マグネット３９は上記駆
動シリンダ１のピストン６間に複数のヨーク４０を介し
て配設され、このピストン側マグネット３９と対向する
ようにスライダ３０の内面には複数のスライダ側マグネ
ット４１が複数のヨーク４２を介して配設されている。
複数のピストン側マグネット４３は上記制御シリンダ２
のピストン１４間に複数のヨーク４４を介して配設さ
れ、このピストン側マグネット４３と対向するように、
スライダ３１の内面には複数のスライダ側マグネット４
５が複数のヨーク４６を介して配設されている。そし
て、ピストン側マグネット３９・４３とスライダ側マグ
ネット４１・４５との吸着により、両シリンダ１・２の
ピストン６・１４がスライダ３０・３１及び移動部材３
２を介して連動可能に連結されている。

【００２７】上記一方のエンドブロック３には、流量を
調整するための流量調節装置４７が設けられており、連
通路２７から制御シリンダ２の流体室１６・１７内へ流
入出する非圧縮性流体２８の流量を調節する。そして、
本実施例においては、この流量調節装置４７として、非
圧縮性流体２８に電場を調整して付与する電場調整付与
装置４７Ａが設けられている。この電場調整付与装置４
７Ａは絶縁体４８を介して連通路２７内に配設された円
筒状電極４９と、その円筒状電極４９内に所定の間隙５
０をおいて位置するように、絶縁体５１を介して連通路
２７内に配設された棒状電極５２とから構成されてい
る。そしてリード線５３を介し両電極４９・５２に印加
される電圧が増減されることによって、電場の大きさが
変更され、両電極４９・５２間の間隙５０を通る非圧縮
性流体２８の粘性が、電場の大きさに比例して増減され
る。

【００２８】次に、上記のように構成された駆動シリン
ダ１の速度制御装置について動作を説明する。

【００２９】上記切り換えバルブの切り換えにより、上
記コンプレッサからいずれか一方の入力ポート２１・２
２を介して駆動シリンダ１の流体室８又は流体室９に圧
縮性流体が供給されると、駆動シリンダ１のピストン６
が左方又は右方に移動される。この駆動シリンダ１とピ
ストン６の移動に伴い、連動装置２９のスライダ３０・
３１及び移動部材３２を介して制御シリンダ２のピスト
ン１４が同方向へ一体的に移動され、このピストン１４
の移動に伴って、制御シリンダ２の両流体室１６・１７
間に非圧縮性流体２８の流れが生じる。

【００３０】このとき、電場調整付与装置４７Ａの両電
極４９・５２に印加される電圧が増減されると電場の大
きさが変更されて、両電極４９・５２の間隙５０を流れ
る非圧縮性流体２８の粘性が、電場の大きさに比例して
増減され、制御シリンダ２の制動力が増減される。すな
わち、両電極４９・５２の印加電圧が上がると、非圧縮
性流体２８の粘性が大きくなって、間隙５０を通る非圧
縮性流体２８の流量が減少し、制御シリンダ２の制動力
が大きくなって駆動シリンダ１の速度が遅くなる。これ
とは逆に、印加電圧が下がると、非圧縮性流体２８の粘
性が小さくなって間隙５０を通る流量が増大し、制御シ
リンダ２の制動力が小さくなって駆動シリンダ１の速度
が速くなる。従って、圧縮性流体によって作動される駆
動シリンダ１に制御速度を、電気信号により連続して正
確に行うことができる。上記間隙５０を小さくすること
により非圧縮性流体２８の流量を殆ど無くしてロック状
態に近い状態にすることもできる。尚、実施例１では、
上記非圧縮性流体２８として、上記電気粘性流体２８Ａ
が使用されている。

【００３１】上記非圧縮性流体２８として電気粘性流体
２８Ａが用いられ、この電気粘性流体２８Ａを、上述し
たように、流体封入部を６００ｔｏｒｒの減圧下に保ち
ながら注入し、注入後、電気粘性流体２８Ａが２０ｔｏ
ｒｒの減圧下で３時間脱気した後封入した密閉型デバイ
ス６０ａを用いて、印加電圧に対するテーブルの移動速
度特性及びその繰り返し動作後の特性について試験を行
った。

【００３２】測定結果は、図１に示すように印加電圧０
〜５ｋＶの変化に対してテーブル移動速度が６００ｍｍ
／ｓｅｃ前後からほぼ停止状態まで広い範囲にわたって
制御できた。また、繰り返し試験において5000回及び10
000 回まで特性が劣化することなく制御できた。

【００３３】また、上記密閉型デバイス６０ａを用いて
移動速度特性の再現性について試験を行った。

【００３４】測定結果は、図５に示すように速度制御範
囲が広いうえに印加電圧に対するテーブル移動速度の測
定値のバラツキが小さく、再現性良く制御できた。

【００３５】〔実施例２〕実施例１と同様の製造方法で
得た分散相粒子８０ｇを、信越シリコーンオイルＫＦ９
６−２０ＣＳ（ジメチルシリコーンオイル；信越化学工
業株式会社製）２００ｇに１００ｔｏｒｒの減圧下に保
ちながら５０℃に加熱して３０分間撹拌して分散し、電
気粘性流体２８Ｂを調整した。

【００３６】実施例１と同様の密閉型デバイス６０に、
非圧縮性流体２８として上記電気粘性流体２８Ｂを、流
体封入部を６００ｔｏｒｒの減圧下に保ちながら注入し
た。

【００３７】注入後、電気粘性流体２８Ｂを２０ｔｏｒ
ｒの減圧下で３時間脱気して、デバイス内への電気粘性
流体２８Ｂの封入を行った。

【００３８】上記電気粘性流体２８Ｂが封入された密閉
型デバイス６０ｂを用いて、実施例１と同様に、印加電
圧に対するテーブルの移動速度特性及びその繰り返し動
作後の特性について試験を行った。

【００３９】測定結果は、図２に示すように、実施例１
の測定結果と同様に印加電圧に対して広い範囲にわたっ
てテーブル移動速度が制御できた。また、繰り返し試験
において5000回及び10000 回まで特性が劣化することな
く制御できた。

【００４０】〔実施例３〕実施例１と同様の製造方法で
得た分散相粒子８０ｇを、信越シリコーンオイルＫＦ９
６−２０ＣＳ（ジメチルシリコーンオイル；信越化学工
業株式会社製）２００ｇに３０分間撹拌して分散し、電
気粘性流体２８Ｃを調整した。

【００４１】実施例１と同様の密閉型デバイス６０に、
非圧縮性流体２８として上記電気粘性流体２８Ｃを流体
封入部を常圧に保ちながら流し込んだ。その後、電気粘
性流体２８Ｃを２０ｔｏｒｒの減圧下で３時間脱気し
て、デバイス内への電気粘性流体２８Ｃの封入を行っ
た。

【００４２】上記電気粘性流体２８Ｃが封入された密閉
型デバイス６０ｃを用いて、実施例１と同様に、印加電
圧に対するテーブルの移動速度特性及びその繰り返し動
作後の特性について試験を行った。

【００４３】測定結果は、図３に示すように、初期及び
5000回までは、実施例１の測定結果と同様に印加電圧に
対して広い範囲にわたってテーブル移動速度が制御でき
たが、10000 回後では高印加電圧域においてテーブル移
動速度を十分低く制御することができないという特性の
劣化が認められた。

【００４４】〔実施例４〕非圧縮性流体２８として実施例３で調整した電気粘性流
体２８Ｃを、実施例１と同様の密閉型デバイス６０に、
流体封入部を常圧に保ちながら流し込んだ。その後、電
気粘性流体２８Ｃを５００ｔｏｒｒの減圧下で３時間脱
気して、デバイス内への電気粘性流体２８Ｃの封入を行
った。

【００４５】上記電気粘性流体２８Ｃが封入された密閉
型デバイス６０ｄを用いて、実施例１と同様に、印加電
圧に対するテーブルの移動速度特性及びその繰り返し動
作後の特性について試験を行った。

【００４６】測定結果は、図４に示すように、初期的に
は良い制御特性を示したが、1000回、5000回と回を追う
ごとに特性の劣化が認められた。

【００４７】〔比較例１〕非圧縮性流体２８として実施
例３で調整した電気粘性流体２８Ｃを、実施例１と同様
の密閉型デバイス６０に、流体封入部を常圧に保ちなが
ら流し込んで、デバイス内への電気粘性流体２８Ｃの封
入を行った。

【００４８】上記電気粘性流体２８Ｃが封入された密閉
型デバイス６０ｅを用いて、実施例１と同様に、印加電
圧に対するテーブルの移動速度特性及びその繰り返し動
作後の特性、さらに、移動速度特性の再現性について試
験を行った。

【００４９】印加電圧に対するテーブルの移動速度特性
及びその繰り返し動作後の特性についての測定結果は、
初期段階から悪い制御特性を示し、回を追うごとに特性
の劣化が起こり、１００回程度で高印加電圧域において
絶縁破壊を生じ使用不可能となった。

【００５０】また、移動速度特性の再現性についての測
定結果は、図６に示すように、速度制御範囲が低速域で
不足しているうえ高印加電圧域において測定値のバラツ
キが大きく、再現性に乏しかった。

【００５１】

【発明の効果】本発明の電気粘性流体を密閉型デバイス
内に封入して用いることにより、デバイスの作動を電気
的入力で確実に制御でき、且つデバイスの作動を繰り返
しても作動状況が乱れることがない。これにより、作動
が円滑で再現性の良い密閉型デバイスを得ることが可能
になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の密閉型デバイスの印加電圧に対するテ
ーブルの移動速度を示すグラフである。

【図２】本発明の密閉型デバイスの印加電圧に対するテ
ーブルの移動速度を示すグラフである。

【図３】本発明の密閉型デバイスの印加電圧に対するテ
ーブルの移動速度を示すグラフである。

【図４】本発明の密閉型デバイスの印加電圧に対するテ
ーブルの移動速度を示すグラフである。

【図５】本発明の密閉型デバイスの印加電圧に対するテ
ーブルの移動速度を示すグラフである。

【図６】比較例の密閉型デバイスの印加電圧に対するテ
ーブルの移動速度を示すグラフである。

【図７】本発明の実施例に用いられる密閉型デバイスの
断面図である。

【符号の説明】

２８Ａ電気粘性流体２８Ｂ電気粘性流体２８Ｃ電気粘性流体

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｃ１０Ｍ 151:02）Ｃ１０Ｎ 20:00 20:06 40:08 40:14 70:00 (72)発明者伊藤一寿愛知県小牧市大字北外山字早崎3005番地シーケーディ株式会社内 (72)発明者上松 ▲英▼司愛知県小牧市大字北外山字早崎3005番地シーケーディ株式会社内

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】分散相粒子と絶縁性分散媒とからなり、脱
気されていることを特徴とする電気粘性流体。
【請求項２】脱気が、減圧下に行われることを特徴とす
る請求項１記載の電気粘性流体。
【請求項３】脱気が、振動または撹拌を加えながら６０
０ｔｏｒｒ以下の減圧下に行われることを特徴とする請
求項１記載の電気粘性流体。
【請求項４】脱気が、加熱下に行われることを特徴とす
る請求項３記載の電気粘性流体。
【請求項５】脱気が、分散相粒子と絶縁性分散媒とを混
合して電気粘性流体を調整するとき及び／又は調整後に
行われる請求項１、２、又は請求項３記載の電気粘性流
体。
【請求項６】脱気が、電気粘性流体により作動するデバ
イス内に電気粘性流体を封入するときに行われる請求項
１、２、又は請求項３記載の電気粘性流体。
【請求項７】脱気が、分散相粒子と絶縁性分散媒とを混
合して電気粘性流体を調整するとき及び／又は調整後、
且つ電気粘性流体により作動するデバイス内に電気粘性
流体を封入するときに行われる請求項１、２、又は請求
項３記載の電気粘性流体。