JP2589139Y2 - ペレットエッチング装置 - Google Patents
ペレットエッチング装置Info
- Publication number
- JP2589139Y2 JP2589139Y2 JP1992052840U JP5284092U JP2589139Y2 JP 2589139 Y2 JP2589139 Y2 JP 2589139Y2 JP 1992052840 U JP1992052840 U JP 1992052840U JP 5284092 U JP5284092 U JP 5284092U JP 2589139 Y2 JP2589139 Y2 JP 2589139Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- etching
- pellet
- rotating
- etching tank
- tank
- Prior art date
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】本考案は、ペレットエッチング装
置に関するものである。
置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来のペレットエッチング装置は図5に
示され、エッチング槽5にはエッチング液2が入れられ
ている。そして、このエッチング液2にペレットがエッ
チング可能なようにセットされている。かような装置で
エッチングを行う場合は、エッチング槽5を傾斜させ、
回転させることによってペレット1表面のエッチング液
を常に対流させている。このことは、ペレット1表面は
常に均一化されたエッチングが行われることにある。
示され、エッチング槽5にはエッチング液2が入れられ
ている。そして、このエッチング液2にペレットがエッ
チング可能なようにセットされている。かような装置で
エッチングを行う場合は、エッチング槽5を傾斜させ、
回転させることによってペレット1表面のエッチング液
を常に対流させている。このことは、ペレット1表面は
常に均一化されたエッチングが行われることにある。
【0003】
【考案が解決しようとする課題】しかし、かような構造
におけるエッチング装置では、エッチング液を均一に攪
拌することがむずかしく、どうしてもペレット表面にエ
ッチングむらが生じ、これがために、完成されたサイリ
スタなどの漏れ電流が増して耐圧を低下させる結果とな
っている。本考案は、上述した点に鑑みて創案されたも
ので、その目的とするところは、ペレット表面にエッチ
ングむらが出来ないペレットエッチング装置を提供する
ものである。
におけるエッチング装置では、エッチング液を均一に攪
拌することがむずかしく、どうしてもペレット表面にエ
ッチングむらが生じ、これがために、完成されたサイリ
スタなどの漏れ電流が増して耐圧を低下させる結果とな
っている。本考案は、上述した点に鑑みて創案されたも
ので、その目的とするところは、ペレット表面にエッチ
ングむらが出来ないペレットエッチング装置を提供する
ものである。
【0004】
【課題を解決するための手段】つまり、その目的を達成
するための手段は、モータによりエッチング槽を回動す
ると共に複数の固定羽根を備えたエッチング槽と、この
エッチング槽に挿入するステーに取着する試料台と、こ
の試料台の下部に回転羽根を設け、上部には回転子とペ
レットをセットする回転台を設け、これらを連結する軸
は前記試料台を貫通して回転出来るように構成されたこ
とを特徴とするペレットエッチング装置である。
するための手段は、モータによりエッチング槽を回動す
ると共に複数の固定羽根を備えたエッチング槽と、この
エッチング槽に挿入するステーに取着する試料台と、こ
の試料台の下部に回転羽根を設け、上部には回転子とペ
レットをセットする回転台を設け、これらを連結する軸
は前記試料台を貫通して回転出来るように構成されたこ
とを特徴とするペレットエッチング装置である。
【作用】その作用は、次に述べる実施例と併せて説明す
る。以下、本考案の一実施例を図面に基づいて詳述す
る。
る。以下、本考案の一実施例を図面に基づいて詳述す
る。
【0005】
【実施例】図1は本考案の一実施例を示す説明図、図2
はペレットの説明図、図3は測定部分を示す説明図、図
4は従来と本考案とのエッチングむら比較図である。図
1において、モータ(図示せず)により回動すると共に
エッチング槽内部の複数箇所に固定羽根4を備えたエッ
チング槽5と、このエッチング槽5に挿入するステー6
に取着する試料台7と、この試料台7の下部に設けた回
転羽根8を有し、上部にはペレット1をセットする台1
0および回転子9を有し、これらを連結する軸は前記試
料台7を貫通して回転出来るように構成したものであ
る。回転子9の軸芯は、エッチング槽5の軸芯より若干
ずらして偏心させている。また、回転羽根8の形状はエ
ッチング槽5の深さに対して対流効果を上げるように外
周部が上向きにつき上がった形状に形成されている。さ
らに回転子9が試料台7上で回転可能なように、すべり
ボール11が試料台上に設けられている。図2におい
て、12は例えばSi板、14はエッチングマスク、1
3はエッチング量、15はエッチング面を示す。
はペレットの説明図、図3は測定部分を示す説明図、図
4は従来と本考案とのエッチングむら比較図である。図
1において、モータ(図示せず)により回動すると共に
エッチング槽内部の複数箇所に固定羽根4を備えたエッ
チング槽5と、このエッチング槽5に挿入するステー6
に取着する試料台7と、この試料台7の下部に設けた回
転羽根8を有し、上部にはペレット1をセットする台1
0および回転子9を有し、これらを連結する軸は前記試
料台7を貫通して回転出来るように構成したものであ
る。回転子9の軸芯は、エッチング槽5の軸芯より若干
ずらして偏心させている。また、回転羽根8の形状はエ
ッチング槽5の深さに対して対流効果を上げるように外
周部が上向きにつき上がった形状に形成されている。さ
らに回転子9が試料台7上で回転可能なように、すべり
ボール11が試料台上に設けられている。図2におい
て、12は例えばSi板、14はエッチングマスク、1
3はエッチング量、15はエッチング面を示す。
【0006】次にその作用について説明する。ペレット
1のエッチングを行う場合は、ペレット1を回転子9の
上に設けられたペレットセット台10にセットし、エッ
チング液2を満たしたエッチング槽5を回転させる。こ
の回転によってエッチング槽5内のエッチング液2と複
数の固定羽根4との間でエッチング液の撹袢対流作用が
生じる。その対流に伴って回転子9の回転羽根8は回転
し、ペレットはエッチング槽5の軸芯より偏心して回転
する。このようにエッチング液の対流・撹袢およびペレ
ットの偏心回転によってエッチング槽5内ではエッチン
グ液2の対流が起こる。このことによって、ペレット1
表面では常に新しいエッチング液2が均等に循環され、
ペレット1表面は均一なエッチング仕上がりとなる。図
4は、図3に示すペレット1の外周端部4箇所でのエッ
チング量を、試料10個を用いて計測したものである。
図4に示されるように、従来のペレットでは、最大40
ミクロンのエッチングむらが見られるが、本考案によっ
ては、数ミクロンのエッチングむらに抑えることが可能
となった。また、このことによって、実験では漏れ電流
も少なくなった。
1のエッチングを行う場合は、ペレット1を回転子9の
上に設けられたペレットセット台10にセットし、エッ
チング液2を満たしたエッチング槽5を回転させる。こ
の回転によってエッチング槽5内のエッチング液2と複
数の固定羽根4との間でエッチング液の撹袢対流作用が
生じる。その対流に伴って回転子9の回転羽根8は回転
し、ペレットはエッチング槽5の軸芯より偏心して回転
する。このようにエッチング液の対流・撹袢およびペレ
ットの偏心回転によってエッチング槽5内ではエッチン
グ液2の対流が起こる。このことによって、ペレット1
表面では常に新しいエッチング液2が均等に循環され、
ペレット1表面は均一なエッチング仕上がりとなる。図
4は、図3に示すペレット1の外周端部4箇所でのエッ
チング量を、試料10個を用いて計測したものである。
図4に示されるように、従来のペレットでは、最大40
ミクロンのエッチングむらが見られるが、本考案によっ
ては、数ミクロンのエッチングむらに抑えることが可能
となった。また、このことによって、実験では漏れ電流
も少なくなった。
【0007】
【考案の効果】以上説明した如く本考案によれば、モー
タによりエッチング槽を回動すると共にエッチング槽内
部に複数の固定羽根を設けたエッチング槽と、このエッ
チング槽に挿入するステーに取着する試料台と、この試
料台の下部に羽根を設け、上部には回転子とペレットを
セットする回転台を設け、これらを連結する軸は前記試
料台を貫通して回転出来るように構成したことによっ
て、エッチングむらが従来のものより極めて少なくなっ
た。
タによりエッチング槽を回動すると共にエッチング槽内
部に複数の固定羽根を設けたエッチング槽と、このエッ
チング槽に挿入するステーに取着する試料台と、この試
料台の下部に羽根を設け、上部には回転子とペレットを
セットする回転台を設け、これらを連結する軸は前記試
料台を貫通して回転出来るように構成したことによっ
て、エッチングむらが従来のものより極めて少なくなっ
た。
【0008】
【図1】図1は本考案の一実施例を示す説明図である。
【図2】図2は図1の主要部説明図である。
【図3】図3は図4の計測部分を示す説明図である。
【図4】図4はエッチングむら比較図である。
【図5】図5は従来の一例を示す説明図である。
【0009】
1 ペレット 2 エッチング液 4 固定羽根 5 エッチング槽 6 ステー 7 試料台 8 回転羽根 9 回転子 10 ペレットセット台 11 ボール 13 エッチング量 14 エッチングマスク 15 エッチング面
Claims (1)
- 【請求項1】 モータによりエッチング槽を回動すると
共に複数の固定羽根を備えたエッチング槽と、このエッ
チング槽に挿入するステーに取着する試料台と、この試
料台の下部に回転羽根を設け、上部には回転子とペレッ
トをセットする回転台を設け、これらを連結する軸は前
記試料台を貫通して回転出来るように構成されたことを
特徴とするペレットエッチング装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1992052840U JP2589139Y2 (ja) | 1992-07-03 | 1992-07-03 | ペレットエッチング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1992052840U JP2589139Y2 (ja) | 1992-07-03 | 1992-07-03 | ペレットエッチング装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH069131U JPH069131U (ja) | 1994-02-04 |
JP2589139Y2 true JP2589139Y2 (ja) | 1999-01-20 |
Family
ID=12926050
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1992052840U Expired - Fee Related JP2589139Y2 (ja) | 1992-07-03 | 1992-07-03 | ペレットエッチング装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2589139Y2 (ja) |
-
1992
- 1992-07-03 JP JP1992052840U patent/JP2589139Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH069131U (ja) | 1994-02-04 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |