JP2589139Y2 - ペレットエッチング装置 - Google Patents
ペレットエッチング装置Info
- Publication number
- JP2589139Y2 JP2589139Y2 JP1992052840U JP5284092U JP2589139Y2 JP 2589139 Y2 JP2589139 Y2 JP 2589139Y2 JP 1992052840 U JP1992052840 U JP 1992052840U JP 5284092 U JP5284092 U JP 5284092U JP 2589139 Y2 JP2589139 Y2 JP 2589139Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- etching
- pellet
- rotating
- etching tank
- tank
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Weting (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、ペレットエッチング装
置に関するものである。
置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のペレットエッチング装置は図５に
示され、エッチング槽５にはエッチング液２が入れられ
ている。そして、このエッチング液２にペレットがエッ
チング可能なようにセットされている。かような装置で
エッチングを行う場合は、エッチング槽５を傾斜させ、
回転させることによってペレット１表面のエッチング液
を常に対流させている。このことは、ペレット１表面は
常に均一化されたエッチングが行われることにある。
示され、エッチング槽５にはエッチング液２が入れられ
ている。そして、このエッチング液２にペレットがエッ
チング可能なようにセットされている。かような装置で
エッチングを行う場合は、エッチング槽５を傾斜させ、
回転させることによってペレット１表面のエッチング液
を常に対流させている。このことは、ペレット１表面は
常に均一化されたエッチングが行われることにある。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】しかし、かような構造
におけるエッチング装置では、エッチング液を均一に攪
拌することがむずかしく、どうしてもペレット表面にエ
ッチングむらが生じ、これがために、完成されたサイリ
スタなどの漏れ電流が増して耐圧を低下させる結果とな
っている。本考案は、上述した点に鑑みて創案されたも
ので、その目的とするところは、ペレット表面にエッチ
ングむらが出来ないペレットエッチング装置を提供する
ものである。
におけるエッチング装置では、エッチング液を均一に攪
拌することがむずかしく、どうしてもペレット表面にエ
ッチングむらが生じ、これがために、完成されたサイリ
スタなどの漏れ電流が増して耐圧を低下させる結果とな
っている。本考案は、上述した点に鑑みて創案されたも
ので、その目的とするところは、ペレット表面にエッチ
ングむらが出来ないペレットエッチング装置を提供する
ものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】つまり、その目的を達成
するための手段は、モータによりエッチング槽を回動す
ると共に複数の固定羽根を備えたエッチング槽と、この
エッチング槽に挿入するステーに取着する試料台と、こ
の試料台の下部に回転羽根を設け、上部には回転子とペ
レットをセットする回転台を設け、これらを連結する軸
は前記試料台を貫通して回転出来るように構成されたこ
とを特徴とするペレットエッチング装置である。
するための手段は、モータによりエッチング槽を回動す
ると共に複数の固定羽根を備えたエッチング槽と、この
エッチング槽に挿入するステーに取着する試料台と、こ
の試料台の下部に回転羽根を設け、上部には回転子とペ
レットをセットする回転台を設け、これらを連結する軸
は前記試料台を貫通して回転出来るように構成されたこ
とを特徴とするペレットエッチング装置である。
【作用】その作用は、次に述べる実施例と併せて説明す
る。以下、本考案の一実施例を図面に基づいて詳述す
る。
る。以下、本考案の一実施例を図面に基づいて詳述す
る。
【０００５】
【実施例】図１は本考案の一実施例を示す説明図、図２
はペレットの説明図、図３は測定部分を示す説明図、図
４は従来と本考案とのエッチングむら比較図である。図
１において、モータ（図示せず）により回動すると共に
エッチング槽内部の複数箇所に固定羽根４を備えたエッ
チング槽５と、このエッチング槽５に挿入するステー６
に取着する試料台７と、この試料台７の下部に設けた回
転羽根８を有し、上部にはペレット１をセットする台１
０および回転子９を有し、これらを連結する軸は前記試
料台７を貫通して回転出来るように構成したものであ
る。回転子９の軸芯は、エッチング槽５の軸芯より若干
ずらして偏心させている。また、回転羽根８の形状はエ
ッチング槽５の深さに対して対流効果を上げるように外
周部が上向きにつき上がった形状に形成されている。さ
らに回転子９が試料台７上で回転可能なように、すべり
ボール１１が試料台上に設けられている。図２におい
て、１２は例えばＳｉ板、１４はエッチングマスク、１
３はエッチング量、１５はエッチング面を示す。
はペレットの説明図、図３は測定部分を示す説明図、図
４は従来と本考案とのエッチングむら比較図である。図
１において、モータ（図示せず）により回動すると共に
エッチング槽内部の複数箇所に固定羽根４を備えたエッ
チング槽５と、このエッチング槽５に挿入するステー６
に取着する試料台７と、この試料台７の下部に設けた回
転羽根８を有し、上部にはペレット１をセットする台１
０および回転子９を有し、これらを連結する軸は前記試
料台７を貫通して回転出来るように構成したものであ
る。回転子９の軸芯は、エッチング槽５の軸芯より若干
ずらして偏心させている。また、回転羽根８の形状はエ
ッチング槽５の深さに対して対流効果を上げるように外
周部が上向きにつき上がった形状に形成されている。さ
らに回転子９が試料台７上で回転可能なように、すべり
ボール１１が試料台上に設けられている。図２におい
て、１２は例えばＳｉ板、１４はエッチングマスク、１
３はエッチング量、１５はエッチング面を示す。
【０００６】次にその作用について説明する。ペレット
１のエッチングを行う場合は、ペレット１を回転子９の
上に設けられたペレットセット台１０にセットし、エッ
チング液２を満たしたエッチング槽５を回転させる。こ
の回転によってエッチング槽５内のエッチング液２と複
数の固定羽根４との間でエッチング液の撹袢対流作用が
生じる。その対流に伴って回転子９の回転羽根８は回転
し、ペレットはエッチング槽５の軸芯より偏心して回転
する。このようにエッチング液の対流・撹袢およびペレ
ットの偏心回転によってエッチング槽５内ではエッチン
グ液２の対流が起こる。このことによって、ペレット１
表面では常に新しいエッチング液２が均等に循環され、
ペレット１表面は均一なエッチング仕上がりとなる。図
４は、図３に示すペレット１の外周端部４箇所でのエッ
チング量を、試料１０個を用いて計測したものである。
図４に示されるように、従来のペレットでは、最大４０
ミクロンのエッチングむらが見られるが、本考案によっ
ては、数ミクロンのエッチングむらに抑えることが可能
となった。また、このことによって、実験では漏れ電流
も少なくなった。
１のエッチングを行う場合は、ペレット１を回転子９の
上に設けられたペレットセット台１０にセットし、エッ
チング液２を満たしたエッチング槽５を回転させる。こ
の回転によってエッチング槽５内のエッチング液２と複
数の固定羽根４との間でエッチング液の撹袢対流作用が
生じる。その対流に伴って回転子９の回転羽根８は回転
し、ペレットはエッチング槽５の軸芯より偏心して回転
する。このようにエッチング液の対流・撹袢およびペレ
ットの偏心回転によってエッチング槽５内ではエッチン
グ液２の対流が起こる。このことによって、ペレット１
表面では常に新しいエッチング液２が均等に循環され、
ペレット１表面は均一なエッチング仕上がりとなる。図
４は、図３に示すペレット１の外周端部４箇所でのエッ
チング量を、試料１０個を用いて計測したものである。
図４に示されるように、従来のペレットでは、最大４０
ミクロンのエッチングむらが見られるが、本考案によっ
ては、数ミクロンのエッチングむらに抑えることが可能
となった。また、このことによって、実験では漏れ電流
も少なくなった。
【０００７】
【考案の効果】以上説明した如く本考案によれば、モー
タによりエッチング槽を回動すると共にエッチング槽内
部に複数の固定羽根を設けたエッチング槽と、このエッ
チング槽に挿入するステーに取着する試料台と、この試
料台の下部に羽根を設け、上部には回転子とペレットを
セットする回転台を設け、これらを連結する軸は前記試
料台を貫通して回転出来るように構成したことによっ
て、エッチングむらが従来のものより極めて少なくなっ
た。
タによりエッチング槽を回動すると共にエッチング槽内
部に複数の固定羽根を設けたエッチング槽と、このエッ
チング槽に挿入するステーに取着する試料台と、この試
料台の下部に羽根を設け、上部には回転子とペレットを
セットする回転台を設け、これらを連結する軸は前記試
料台を貫通して回転出来るように構成したことによっ
て、エッチングむらが従来のものより極めて少なくなっ
た。
【０００８】
【図１】図１は本考案の一実施例を示す説明図である。
【図２】図２は図１の主要部説明図である。
【図３】図３は図４の計測部分を示す説明図である。
【図４】図４はエッチングむら比較図である。
【図５】図５は従来の一例を示す説明図である。
【０００９】
１ ペレット ２ エッチング液 ４ 固定羽根 ５ エッチング槽 ６ ステー ７ 試料台 ８ 回転羽根 ９ 回転子 １０ ペレットセット台 １１ ボール １３ エッチング量 １４ エッチングマスク １５ エッチング面
Claims (1)
- 【請求項１】 モータによりエッチング槽を回動すると
共に複数の固定羽根を備えたエッチング槽と、このエッ
チング槽に挿入するステーに取着する試料台と、この試
料台の下部に回転羽根を設け、上部には回転子とペレッ
トをセットする回転台を設け、これらを連結する軸は前
記試料台を貫通して回転出来るように構成されたことを
特徴とするペレットエッチング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1992052840U JP2589139Y2 (ja) | 1992-07-03 | 1992-07-03 | ペレットエッチング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1992052840U JP2589139Y2 (ja) | 1992-07-03 | 1992-07-03 | ペレットエッチング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH069131U JPH069131U (ja) | 1994-02-04 |
| JP2589139Y2 true JP2589139Y2 (ja) | 1999-01-20 |
Family
ID=12926050
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1992052840U Expired - Fee Related JP2589139Y2 (ja) | 1992-07-03 | 1992-07-03 | ペレットエッチング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2589139Y2 (ja) |
-
1992
- 1992-07-03 JP JP1992052840U patent/JP2589139Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH069131U (ja) | 1994-02-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0763601B2 (ja) | 粘性物質の撹拌反応装置 | |
| JP2589139Y2 (ja) | ペレットエッチング装置 | |
| JP3680288B2 (ja) | 脱泡、混合機 | |
| JP2602766B2 (ja) | ウェハーエッジの加工方法とその装置 | |
| JPH049376B2 (ja) | ||
| JPH01164425A (ja) | ホモミキサー | |
| JPS60119728A (ja) | エッチング液撹拌装置 | |
| JP2000015075A (ja) | 撹拌翼及びその撹拌装置 | |
| JP2868470B2 (ja) | パドル回転式めっき方法およびめっき装置 | |
| KR910007501B1 (ko) | 전자총 전극 내부 연마 방법 | |
| CN110565150A (zh) | 屏蔽环、屏蔽装置、电镀设备及电镀方法 | |
| JPH02278824A (ja) | ウェットエッチング装置 | |
| CN216458395U (zh) | 一种加工涂料用的混合搅拌设备 | |
| JPS6327600Y2 (ja) | ||
| CN217593867U (zh) | 一种旋转蒸发仪加装防固体暴沸冲料装置 | |
| JP3182821B2 (ja) | メッキ処理方法 | |
| CN211913576U (zh) | 一种新型节能搅拌装置 | |
| JP3402181B2 (ja) | 枚葉式表面加工装置 | |
| JPH10328544A (ja) | 同芯二軸タ−ボミキサ− | |
| JPS5835660Y2 (ja) | 球体内面電解研摩装置 | |
| TWI237290B (en) | Spin processor and method for treating the planar work pieces | |
| JP2000315675A (ja) | ウエハ処理装置 | |
| JPH05249694A (ja) | 液浸処理装置 | |
| JPH01232722A (ja) | 半導体素子製造装置 | |
| JP3066269U (ja) | 円錐穴付きスクリュ― |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |