JP2587593B2 - Printed wiring board and manufacturing method thereof - Google Patents

Printed wiring board and manufacturing method thereof

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JP2587593B2
JP2587593B2 JP6194004A JP19400494A JP2587593B2 JP 2587593 B2 JP2587593 B2 JP 2587593B2 JP 6194004 A JP6194004 A JP 6194004A JP 19400494 A JP19400494 A JP 19400494A JP 2587593 B2 JP2587593 B2 JP 2587593B2
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wiring board
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resin composition
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寛 十河
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、電子機器に用いるプリ
ント配線板およびプリント配線板の製造方法に関するも
のである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a printed wiring board used for electronic equipment and a method for manufacturing the printed wiring board.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、電子機器の小型化、高密度化に伴
い、産業用に留まらず民生用の分野においても多層プリ
ント配線板が強く要望されるようになってきた。このよ
うな多層プリント配線板では、複数層の配線パターンの
間をインナヴァイアホール接続する方法および信頼度の
高い構造が必要である。
2. Description of the Related Art In recent years, with the miniaturization and high-density of electronic devices, multilayer printed wiring boards have been strongly demanded not only for industrial use but also for consumer use. In such a multilayer printed wiring board, a method of connecting inner via holes between a plurality of wiring patterns and a highly reliable structure are required.

【0003】以下従来の両面プリント配線板の製造方法
について説明する。図8(a)〜(e)は従来の両面プ
リント配線板の製造方法を示す工程断面図である。まず
図8(a)に示すように、ガラスエポキシ基板などの絶
縁基板801を用意する。次に図8(b)に示すよう
に、絶縁基板801の両面に銅箔802を重ね合わせ
る。次に、加熱加圧して絶縁基板801と銅箔802と
を張り合わせる。次に図8(c)に示すように、銅箔8
02にエッチング等の既存の技術により第1の配線パタ
ーン805および第2の配線パターン806を形成す
る。次に図8(d)に示すように、第1の配線パターン
805と第2の配線パターン806の電気的に接続を行
う箇所に貫通孔803をドリル穴加工により形成する。
次に図8(e)に示すように、貫通孔803に導電性ペ
ースト804を印刷して充填し、導電性ペーストを硬化
させる。
Hereinafter, a conventional method for manufacturing a double-sided printed wiring board will be described. 8 (a) to 8 (e) are process sectional views showing a conventional method for manufacturing a double-sided printed wiring board. First, as shown in FIG. 8A, an insulating substrate 801 such as a glass epoxy substrate is prepared. Next, as shown in FIG. 8B, a copper foil 802 is overlaid on both surfaces of the insulating substrate 801. Next, the insulating substrate 801 and the copper foil 802 are bonded by heating and pressing. Next, as shown in FIG.
02, a first wiring pattern 805 and a second wiring pattern 806 are formed by an existing technique such as etching. Next, as shown in FIG. 8D, through holes 803 are formed by drilling at locations where the first wiring pattern 805 and the second wiring pattern 806 are to be electrically connected.
Next, as shown in FIG. 8E, a conductive paste 804 is printed and filled in the through holes 803, and the conductive paste is cured.

【0004】このようにして、第1の配線パターン80
5と第2の配線パターン806とは貫通孔803に充填
された導電性ペースト804によって接続され、両面プ
リント配線板807が得られる。
In this manner, the first wiring pattern 80
5 and the second wiring pattern 806 are connected by the conductive paste 804 filled in the through holes 803, and a double-sided printed wiring board 807 is obtained.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記の従
来の構成では、導電性ペーストと貫通孔の壁面との密着
性が悪く、しかも導電性ペーストと絶縁基板との熱膨張
係数に差があるため、半田リフロー時などの熱衝撃によ
り導電性ペーストと貫通孔との界面において破壊が起こ
り導通不良の原因となるという問題があった。
However, in the above-described conventional structure, the adhesion between the conductive paste and the wall surface of the through hole is poor, and there is a difference in the thermal expansion coefficient between the conductive paste and the insulating substrate. There has been a problem that destruction occurs at the interface between the conductive paste and the through-hole due to thermal shock at the time of solder reflow or the like, causing conduction failure.

【0006】本発明は、前記従来の課題を解決するた
め、導電性樹脂組成物と基板の貫通孔の壁面との密着性
を向上し、信頼性の高いプリント配線板及びその製造方
法を提供することを目的とする。
In order to solve the above-mentioned conventional problems, the present invention improves the adhesion between the conductive resin composition and the wall surface of the through hole of the substrate, and provides a highly reliable printed wiring board and a method of manufacturing the same. The purpose is to:

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
本発明の第1番目のプリント配線板は、樹脂含浸繊維シ
ート基板の厚さ方向に、貫通孔が形成され、前記貫通孔
には基板の厚さ方向に電気的接続をするための導電性樹
脂組成物が充填されているプリント配線板であって、
記樹脂含浸繊維シート基板材料は内部に密閉構造の空孔
を有し、前記基板と導電性樹脂組成物とは、導電性樹脂
組成物が基板中の密閉構造の空孔から形成された複数の
凹部に充填された状態で基板の内部へ突出した構造によ
一体化されていることを特徴とする。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a printed wiring board having a through hole formed in a thickness direction of a resin-impregnated fiber sheet substrate. a printed wiring board conductive resin composition for the electrical connection in the thickness direction of the is filled, before
The resin impregnated fiber sheet substrate material has pores with a closed structure inside.
Wherein the substrate and the conductive resin composition are a conductive resin
The composition is formed from a plurality of pores of a closed structure in a substrate.
With a structure that protrudes into the substrate with the recess filled
Characterized in that it is integrated Ri.

【0008】次に本発明の第2番目のプリント配線板
は、樹脂含浸繊維シート基板の厚さ方向に、貫通孔が形
成され、前記貫通孔には基板の厚さ方向に電気的接続を
するための導電性樹脂組成物が充填されているプリント
配線板であって、前記導電性樹 脂組成物が、金属微粒子
と樹脂との組成物であり、かつ前記金属微粒子の大きさ
が、平均粒子直径0.2〜20μmの範囲であるととも
に、前記導電性樹脂組成物の一成分である樹脂が基板中
に浸透した構造により基板と導電性樹脂組成物とは一体
化されていることを特徴とする。
Next, a second printed wiring board of the present invention
Has a through hole in the thickness direction of the resin-impregnated fiber sheet substrate.
The through hole has an electrical connection in the thickness direction of the substrate.
Printed with conductive resin composition for printing
A wiring board, the conductive resins composition, metal particles
And a resin, and the size of the metal fine particles
Has an average particle diameter in the range of 0.2 to 20 μm.
The resin which is one component of the conductive resin composition is contained in the substrate.
The substrate and the conductive resin composition are integrated by the structure penetrating into
It is characterized by having been made.

【0009】次に本発明の第3番目のプリント配線板
は、樹脂含浸繊維シート基板の厚さ方向に、貫通孔が形
成され、前記貫通孔には基板の厚さ方向に電気的接続を
するための導電性樹脂組成物が充填されているプリント
配線板であって、前記導電性樹脂組成物が、金属微粒子
と樹脂との組成物であり、かつ前記金属微粒子の大きさ
が、平均粒子直径0.2〜20μmの範囲であるととも
に、前記導電性樹脂組成物の一成分である樹脂と、基板
の含浸樹脂とが共有結合して自己接着していることによ
り、基板と導電性樹脂組成物とは一体化されていること
を特徴とする。
Next, a third printed wiring board of the present invention
Has a through hole in the thickness direction of the resin-impregnated fiber sheet substrate.
The through hole has an electrical connection in the thickness direction of the substrate.
Printed with conductive resin composition for printing
A wiring board, wherein the conductive resin composition contains metal fine particles.
And a resin, and the size of the metal fine particles
Has an average particle diameter in the range of 0.2 to 20 μm.
A resin as one component of the conductive resin composition, and a substrate
Is self-adhesive due to covalent bonding with
The substrate and the conductive resin composition are integrated
It is characterized by.

【0010】次に本発明の第4番目のプリント配線板
は、樹脂含浸繊維シート基板の厚さ方向に、貫通孔が形
成され、前記貫通孔には基板の厚さ方向に電気的接続を
するための導電性樹脂組成物が充填されているプリント
配線板であって、前記導電性樹脂組成物内に前記基板を
構成する耐熱性合成繊維が突出した構造により基板と導
電性樹脂組成物とは一体化されていることを特徴とす
る。また前記構成においては、基板の含浸樹脂と導電性
樹脂組成物の一成分である樹脂とがともに熱硬化性樹脂
であることが好ましい。
Next, the fourth printed wiring board of the present invention
Has a through hole in the thickness direction of the resin-impregnated fiber sheet substrate.
The through hole has an electrical connection in the thickness direction of the substrate.
Printed with conductive resin composition for printing
A wiring board, wherein the substrate is placed in the conductive resin composition.
The structure of the heat-resistant synthetic fiber that makes up
Characterized in that it is integrated with the conductive resin composition.
You. Further, in the above configuration, it is preferable that both the impregnated resin of the substrate and the resin that is one component of the conductive resin composition are thermosetting resins.

【0011】また前記構成においては、熱硬化性樹脂が
エポキシ樹脂,熱硬化性ポリブタジエン樹脂,フェノー
ル樹脂及びポリイミド樹脂から選ばれる少なくとも一つ
であることが好ましい。
In the above structure, the thermosetting resin is preferably at least one selected from an epoxy resin, a thermosetting polybutadiene resin, a phenol resin and a polyimide resin.

【0012】また前記構成においては、基板の樹脂含浸
繊維シートが、耐熱性合成繊維及びガラス繊維から選ば
れる少なくとも一つを用いたものであることが好まし
い。また前記構成においては、耐熱性合成繊維が、芳香
族ポリアミド繊維及びポリイミド繊維から選ばれる少な
くとも一つを用いたものであることが好ましい。
In the above structure, it is preferable that the resin-impregnated fiber sheet of the substrate uses at least one selected from heat-resistant synthetic fibers and glass fibers. Further, in the above configuration, it is preferable that the heat-resistant synthetic fiber uses at least one selected from an aromatic polyamide fiber and a polyimide fiber.

【0013】また前記構成においては、基板の樹脂含浸
繊維シートが、不織布であることが好ましい。また前記
構成においては、導電性樹脂組成物中の金属微粒子が、
金、銀、銅、パラジウム、ニッケル及びこれらの合金か
ら選ばれる少なくとも一つであることが好ましい。
In the above structure, the resin-impregnated fiber sheet of the substrate is preferably a nonwoven fabric. Further, in the above configuration, the metal fine particles in the conductive resin composition,
It is preferably at least one selected from gold, silver, copper, palladium, nickel and alloys thereof.

【0014】また前記構成においては、導電性樹脂組成
物中の金属微粒子の存在量が80〜92.5重量%の範
囲であることが好ましい。また前記構成においては、導
電性樹脂組成物中の金属微粒子の大きさが、平均粒子直
径0.2〜20μmの範囲であることが好ましい。
In the above structure, it is preferable that the amount of the fine metal particles in the conductive resin composition is in the range of 80 to 92.5% by weight. Further, in the above configuration, the size of the metal fine particles in the conductive resin composition is preferably in the range of an average particle diameter of 0.2 to 20 μm.

【0015】また前記構成においては、導電性樹脂組成
物を充填させた貫通孔の大きさが、平均直径50〜30
0μmの範囲であることが好ましい。また前記構成にお
いては、基板の表面であって、かつ導電性樹脂組成物の
末端部に回路が形成されていることが好ましい。
In the above structure, the size of the through-hole filled with the conductive resin composition has an average diameter of 50 to 30.
It is preferably in the range of 0 μm. In the above configuration, it is preferable that a circuit is formed on the surface of the substrate and at the end of the conductive resin composition.

【0016】また前記構成においては、基板が1枚また
は複数枚であることが好ましい。
In the above structure, it is preferable that the number of substrates is one or more.

【0017】次に本発明のプリント配線板の第1番目の
製造方法は、両面をがカバーフィルムで覆、かつ内部
に空孔を有する未硬化樹脂含浸繊維シート基板材料の厚
さ方向に、レーザー光照射により貫通孔を形成し、前記
貫通孔に導電性ペーストを充填し、次に前記カバーフィ
ルムを除去して前記基板材料の少なくとも片面に金属箔
を貼り合わせ、次に前記基板材料を加熱加圧して圧縮硬
化させることにより前記基板材料と導電性ペーストを一
体化し、しかる後、前記金属箔を所定の形状にパターニ
ングすることを特徴とする。前記において、基板材料の
樹脂の「未硬化」とは、半硬化樹脂も含むものである。
前記構成においては基板材料の両面に金属箔を貼り合わ
せることが好ましい。
[0017] The first method for manufacturing a printed wiring board of the present invention then, both surfaces are not covered with a cover film, and the thickness direction of the uncured resin-impregnated fiber sheet substrate material having an internal voids, Forming a through hole by laser light irradiation, filling the through hole with a conductive paste, then removing the cover film, bonding a metal foil to at least one side of the substrate material, and then heating the substrate material The method is characterized in that the substrate material and the conductive paste are integrated by pressing and compression-hardening, and thereafter, the metal foil is patterned into a predetermined shape. In the above description, the term “uncured” of the resin of the substrate material includes a semi-cured resin.
In the above configuration, it is preferable to bond metal foil to both surfaces of the substrate material.

【0018】次に本発明のプリント配線板の第2番目の
製造方法は、両面をカバーフィルムで覆、かつ内部に
空孔を有する未硬化樹脂含浸繊維シート基板材料の厚さ
方向に、レーザー光照射により貫通孔を形成し、前記貫
通孔に導電性ペーストを充填し、次に前記カバーフィル
ムを除去して前記基板材料の片面に金属箔を貼り合わせ
た中間体を2枚用意し、前記中間体の金属箔の面が外側
になるように配置し、中央部に少なくとも2層以上の配
線パターンを有する回路基板を挟持し、全体を加熱加圧
して圧縮硬化させることにより前記基板材料と導電性ペ
ーストを一体化し、しかる後、前記表面の金属箔を所定
の形状にパターニングする多層プリント配線板の製造方
法である。
[0018] Next the method of the printed wiring board the second manufacturing the present invention, not covered on both sides with a cover film, and the thickness direction of the uncured resin-impregnated fiber sheet substrate material having an internal voids, laser Forming a through hole by light irradiation, filling the through hole with a conductive paste, then removing the cover film and preparing two intermediate bodies in which a metal foil is bonded to one surface of the substrate material, The intermediate metal foil is placed so that the surface of the metal foil is on the outside, a circuit board having at least two layers of wiring patterns in the center is sandwiched, and the whole is heated and pressurized to be compressed and hardened, so that the substrate material and the conductive material are electrically conductive. A method of manufacturing a multilayer printed wiring board, wherein a conductive paste is integrated, and thereafter, the metal foil on the surface is patterned into a predetermined shape.

【0019】次に本発明のプリント配線板の第3番目の
製造方法は、両面をカバーフィルムで覆、かつ内部に
空孔を有する未硬化樹脂含浸繊維シート基板材料の厚さ
方向に、レーザー光照射により貫通孔を形成し、前記貫
通孔に導電性ペーストを充填し、次に前記カバーフィル
ムを除去して中間接続体を作成し、複数の両面プリント
配線板の間に、それぞれ前記中間接続体を挟持し、全体
を加熱加圧して圧縮硬化させることにより前記基板材料
と導電性ペーストを一体化する多層プリント配線板の製
造方法である。
The third method of manufacturing the printed wiring board of the present invention then have covered on both sides with a cover film, and the thickness direction of the uncured resin-impregnated fiber sheet substrate material having an internal voids, laser Forming a through-hole by light irradiation, filling the through-hole with a conductive paste, then removing the cover film to create an intermediate connector, between the plurality of double-sided printed wiring boards, respectively, the intermediate connector This is a method for manufacturing a multilayer printed wiring board in which the substrate material and the conductive paste are integrated by holding, compressing and hardening the whole by heating and pressing.

【0020】また前記構成においては、未硬化樹脂含浸
繊維シート基板材料内部の空孔が、密閉構造の空孔であ
ることが好ましい。また前記構成においては、密閉構造
の空孔を有する未硬化の基板材料の空孔径が5〜20μ
mであることが好ましい。
In the above structure, it is preferable that the holes inside the uncured resin impregnated fiber sheet substrate material are holes having a closed structure. Further, in the above configuration, the pore diameter of the uncured substrate material having the pores of the closed structure is 5 to 20 μm.
m is preferable.

【0021】また前記構成においては、空孔を有する未
硬化の基板材料の空孔率が2〜35%であることが好ま
しい。また前記構成においては、基板材料の加熱温度が
170〜260℃の範囲であることが好ましい。
In the above structure, it is preferable that the porosity of the uncured substrate material having pores is 2 to 35%. Further, in the above configuration, the heating temperature of the substrate material is preferably in a range of 170 to 260 ° C.

【0022】また前記構成においては、基板材料の加圧
力が20〜80kg/cm2 の範囲であることが好まし
い。また前記構成においては、レーザー光の照射によ
り、貫通孔に基板材料中の繊維の一部を残存させること
が好ましい。
In the above structure, the pressure applied to the substrate material is preferably in the range of 20 to 80 kg / cm 2 . Further, in the above configuration, it is preferable that a part of the fiber in the substrate material is left in the through hole by irradiating the laser beam.

【0023】また前記構成においては、導電性樹脂組成
物として金属微粒子と樹脂との組成物を用い、かつ貫通
孔に導電性樹脂組成物を充填する際に、導電性樹脂組成
物の一成分である樹脂を基板中に浸透させて一体化させ
ることが好ましい。
Further, in the above-described structure, a composition of fine metal particles and a resin is used as the conductive resin composition, and when the conductive resin composition is filled in the through-hole, one component of the conductive resin composition is used. It is preferable that a certain resin is permeated into the substrate to be integrated.

【0024】また前記構成においては、導電性樹脂組成
物の一成分である樹脂と、基板の含浸樹脂とを実質的に
同一系の樹脂を用い、共有結合によって自己接着させて
一体化させることが好ましい。
In the above structure, the resin, which is a component of the conductive resin composition, and the impregnated resin of the substrate are made of substantially the same resin, and are integrated by self-adhesion through covalent bonding. preferable.

【0025】また前記構成においては、基板の含浸樹脂
と導電性樹脂組成物の一成分である樹脂とがともに熱硬
化性樹脂であり、エポキシ樹脂,熱硬化性ポリブタジエ
ン樹脂,フェノール樹脂及びポリイミド樹脂から選ばれ
る少なくとも一つであることが好ましい。
In the above construction, both the impregnated resin of the substrate and the resin which is a component of the conductive resin composition are thermosetting resins, and are made of epoxy resin, thermosetting polybutadiene resin, phenol resin and polyimide resin. It is preferable that at least one is selected.

【0026】また前記構成においては、貫通孔に導電性
樹脂組成物を充填する方法が、ロールコーティング法で
あることが好ましい。また前記構成においては、基板の
樹脂含浸繊維シートが、耐熱性合成繊維及びガラス繊維
から選ばれる少なくとも一つを用いたものであることが
好ましい。
In the above structure, the method of filling the conductive resin composition into the through holes is preferably a roll coating method. In the above configuration, it is preferable that the resin-impregnated fiber sheet of the substrate uses at least one selected from heat-resistant synthetic fibers and glass fibers.

【0027】また前記構成においては、耐熱性合成繊維
が、芳香族ポリアミド繊維及びポリイミド繊維から選ば
れる少なくとも一つを用いたものであることが好まし
い。また前記構成においては、基板の樹脂含浸繊維シー
トが、不織布であることが好ましい。
In the above structure, it is preferable that the heat-resistant synthetic fiber uses at least one selected from an aromatic polyamide fiber and a polyimide fiber. Further, in the above configuration, it is preferable that the resin-impregnated fiber sheet of the substrate is a nonwoven fabric.

【0028】また前記構成においては、導電性樹脂組成
物中の金属微粒子が、金、銀、銅、パラジウム、ニッケ
ル及びこれらの合金から選ばれる少なくとも一つである
ことが好ましい。
In the above structure, the metal fine particles in the conductive resin composition are preferably at least one selected from gold, silver, copper, palladium, nickel and alloys thereof.

【0029】また前記構成においては、導電性樹脂組成
物中の金属微粒子の存在量が80〜92.5重量%の範
囲であることが好ましい。また前記構成においては、導
電性樹脂組成物中の金属微粒子の大きさが、平均粒子直
径0.2〜20μmの範囲であることが好ましい。
In the above structure, it is preferable that the amount of the fine metal particles in the conductive resin composition is in the range of 80 to 92.5% by weight. Further, in the above configuration, the size of the metal fine particles in the conductive resin composition is preferably in the range of an average particle diameter of 0.2 to 20 μm.

【0030】また前記構成においては、導電性樹脂組成
物を充填させた貫通孔の大きさが、平均直径50〜30
0μmの範囲であることが好ましい。また前記構成にお
いては、レーザー光が、炭酸ガスレーザー,YAGレー
ザー及びエキシマレーザーから選ばれる少なくとも一つ
であることが好ましい。
In the above structure, the size of the through-hole filled with the conductive resin composition has an average diameter of 50 to 30.
It is preferably in the range of 0 μm. In the above configuration, it is preferable that the laser beam is at least one selected from a carbon dioxide laser, a YAG laser, and an excimer laser.

【0031】[0031]

【作用】前記した本発明の第1番目のプリント配線板の
構成によれば、樹脂含浸繊維シート基板材料は内部に密
閉構造の空孔を有し、前記基板と導電性樹脂組成物と
は、導電性樹脂組成物が基板中の密閉構造の空孔から形
成された複数の凹部に充填された状態で基板の内部へ突
出した構造により一体化されていることにより、導電性
樹脂組成物と基板の貫通孔の壁面との密着性を向上し、
信頼性の高いプリント配線板を実現できる。また、導電
性樹脂組成物が基板中に突出した構造により、アンカー
効果が増大し、導電性ペーストと貫通孔の壁面との密着
性が向上する。
According to the configuration of the first printed wiring board of the present invention described above, the resin-impregnated fiber sheet substrate material has a dense inside.
Having a closed structure pores, the substrate and the conductive resin composition
Indicates that the conductive resin composition is formed from pores with a closed structure in the substrate.
Projecting into the substrate with the plurality of recesses
By being integrated by the structure that came out , the adhesion between the conductive resin composition and the wall surface of the through hole of the substrate is improved,
A highly reliable printed wiring board can be realized. Further, by the structure where the conductive resin composition protrudes into the substrate, the anchor effect increases, adhesion of the conductive paste and the wall surface of the through-hole is improved.

【0032】次に本発明の第2番目のプリント配線板の
構成によれば、前記導電性樹脂組成物が、金属微粒子と
樹脂との組成物であり、かつ前記金属微粒子の大きさ
が、平均粒子直径0.2〜20μmの範囲であるととも
に、前記導電性樹脂組成物の一成分である樹脂が基板中
に浸透した構造により基板と導電性樹脂組成物とは一体
化されているので、基板と導電性樹脂組成物とは強力な
一体化ができるうえ、導電性樹脂組成物の導電性成分
の濃度が高くなるので、導通信頼性の高いプリント配線
板を実現できる。
Next, the second printed wiring board of the present invention
According to the configuration, the conductive resin composition comprises metal fine particles.
A composition with a resin, and the size of the metal fine particles
Has an average particle diameter in the range of 0.2 to 20 μm.
The resin which is one component of the conductive resin composition is contained in the substrate.
The substrate and the conductive resin composition are integrated by the structure penetrating into
Because it is of, after which it is strong integration of the substrate and the conductive resin composition, the concentration of the conductive component of the conductive resin composition is increased, realizing high conduction reliability printed wiring board it can.

【0033】次に本発明の第3番目のプリント配線板の
構成によれば、樹脂含浸繊維シート基板の厚さ方向に、
貫通孔が形成され、前記貫通孔には基板の厚さ方向に電
気的接続をするための導電性樹脂組成物が充填されてい
るプリント配線板であって、前記導電性樹脂組成物が、
金属微粒子と樹脂との組成物であり、かつ前記金属微粒
子の大きさが、平均粒子直径0.2〜20μmの範囲で
あるとともに、前記導電性樹脂組成物の一成分である樹
脂と、基板の含浸樹脂とが共有結合して自己接着してい
ることにより、基板と導電性樹脂組成物とは一体化され
ていることにより、さらに強力な一体化ができる
Next, the third printed wiring board of the present invention
According to the configuration, in the thickness direction of the resin-impregnated fiber sheet substrate,
A through-hole is formed, and the through-hole has an electric current in the thickness direction of the substrate.
Filled with a conductive resin composition for pneumatic connection
Printed wiring board, wherein the conductive resin composition,
A composition of metal fine particles and a resin, and wherein the metal fine particles
In the range of the average particle diameter of 0.2 to 20 μm,
And a tree which is a component of the conductive resin composition.
Resin and the impregnating resin of the substrate are covalently bonded and self-adhered.
By doing so, the substrate and the conductive resin composition are integrated
By doing so , stronger integration can be achieved .

【0034】次に本発明の第4番目のプリント配線板の
構成によれば、樹脂含浸繊維シート基板の厚さ方向に、
貫通孔が形成され、前記貫通孔には基板の厚さ方向に電
気的接続をするための導電性樹脂組成物が充填されてい
るプリント配線板であって、前記導電性樹脂組成物内に
前記基板を構成する耐熱性合成繊維が突出した構造によ
り基板と導電性樹脂組成物とは一体化されていることに
より、繊維周囲の接着面積が向上して、さらに基板と導
電性樹脂組成物とは強力な一体化ができる。
Next, the fourth printed wiring board of the present invention will be described.
According to the configuration, in the thickness direction of the resin-impregnated fiber sheet substrate,
A through-hole is formed, and the through-hole has an electric current in the thickness direction of the substrate.
Filled with a conductive resin composition for pneumatic connection
Printed wiring board, wherein the conductive resin composition contains
The structure in which the heat-resistant synthetic fibers constituting the substrate protrude
Substrate and the conductive resin composition are integrated
Thus, the bonding area around the fiber is improved, and the substrate and the conductive resin composition can be strongly integrated.

【0035】また前記構成の好ましい例として、基板の
含浸樹脂と導電性樹脂組成物の一成分である樹脂とがと
もに熱硬化性樹脂であると、耐熱性に優れたものとな
る。
As a preferred example of the above configuration, when both the impregnated resin of the substrate and the resin which is one component of the conductive resin composition are thermosetting resins, the heat resistance is excellent.

【0036】また前記構成の好ましい例として、熱硬化
性樹脂がエポキシ樹脂,熱硬化性ポリブタジエン樹脂,
フェノール樹脂及びポリイミド樹脂から選ばれる少なく
とも一つであると、耐熱面から実用性に優れたものとな
る。
Further, as a preferable example of the above configuration, the thermosetting resin is an epoxy resin, a thermosetting polybutadiene resin,
If it is at least one selected from a phenolic resin and a polyimide resin, it will be excellent in practicality from the viewpoint of heat resistance.

【0037】また前記構成の好ましい例として、基板の
樹脂含浸繊維シートが、耐熱性合成繊維及びガラス繊維
から選ばれる少なくとも一つを用いたものであると、耐
熱性に優れたものとなる。
Further, as a preferable example of the above configuration, when the resin-impregnated fiber sheet of the substrate is made of at least one selected from heat-resistant synthetic fibers and glass fibers, the heat resistance is excellent.

【0038】また前記構成の好ましい例として、耐熱性
合成繊維が、芳香族ポリアミド繊維及びポリイミド繊維
から選ばれる少なくとも一つを用いたものであると、耐
熱性が優れる上、レーザー光を用いて貫通孔をあけやす
い。
As a preferable example of the above-mentioned structure, when the heat-resistant synthetic fiber is made of at least one selected from an aromatic polyamide fiber and a polyimide fiber, the heat resistance is excellent and the heat-resistant synthetic fiber is penetrated by using a laser beam. Easy to drill holes.

【0039】また前記構成の好ましい例として、基板の
樹脂含浸繊維シートが、不織布であると、基板の厚み制
御が容易であり、かつコストを安価にすることができ
る。なお、基板の厚さは用途によって様々なものを採用
できるが、好適には30〜500μm程度の範囲であ
る。
Further, as a preferred example of the above configuration, when the resin-impregnated fiber sheet of the substrate is a non-woven fabric, the thickness of the substrate can be easily controlled and the cost can be reduced. The thickness of the substrate may vary depending on the application, but is preferably in the range of about 30 to 500 μm.

【0040】また前記構成の好ましい例として、導電性
樹脂組成物中の金属微粒子が、金、銀、銅、パラジウ
ム、ニッケル及びこれらの合金から選ばれる少なくとも
一つであると、電気伝導性を高く保持できる。
Further, as a preferred example of the above structure, when the metal fine particles in the conductive resin composition are at least one selected from gold, silver, copper, palladium, nickel and alloys thereof, the electric conductivity is improved. Can hold.

【0041】また前記構成の好ましい例として、導電性
樹脂組成物中の金属微粒子の存在量が80〜92.5重
量%の範囲であると、実用的である。また前記構成の好
ましい例として、導電性樹脂組成物中の金属微粒子の大
きさが、平均粒子直径0.2〜20μmの範囲である
と、ペースト(塗料)として安定なものとなる。
Further, as a preferable example of the above configuration, it is practical if the amount of the metal fine particles in the conductive resin composition is in the range of 80 to 92.5% by weight. Further, as a preferable example of the configuration, when the size of the metal fine particles in the conductive resin composition is in the range of an average particle diameter of 0.2 to 20 μm, the paste (paint) becomes stable.

【0042】また前記構成の好ましい例として、導電性
樹脂組成物を充填させた貫通孔の大きさが平均直径50
〜300μmの範囲であると、電気伝導性を高く保持で
きる。また前記構成の好ましい例として、基板の表面で
あって、かつ導電性樹脂組成物の末端部に回路が形成さ
れていると、単相または多層基板を用いた回路基板を容
易に実現できる。また、多層基板の場合は、適宜目的に
合わせて基板を組み合わせることができる。
As a preferred example of the above configuration, the size of the through-hole filled with the conductive resin composition has an average diameter of 50%.
When it is in the range of ~ 300 µm, high electrical conductivity can be maintained. Further, as a preferable example of the above configuration, when a circuit is formed on the surface of the substrate and at the end of the conductive resin composition, a circuit substrate using a single-phase or multilayer substrate can be easily realized. In the case of a multilayer substrate, the substrates can be appropriately combined according to the purpose.

【0043】次に本発明のプリント配線板の第1番目の
製造方法の構成によれば、両面をカバーフィルムで覆わ
れ、かつ内部に空孔を有する未硬化樹脂含浸繊維シート
基板材料の厚さ方向に、レーザー光照射により貫通孔を
形成し、前記貫通孔に導電性ペーストを充填し、次に前
記カバーフィルムを除去して前記基板材料の少なくとも
片面に金属箔を貼り合わせ、次に前記基板材料を加熱加
圧して圧縮硬化させて前記基板材料と導電性ペーストを
一体化し、しかる後、前記金属箔を所定の形状にパター
ニングすることにより、効率良く、かつ合理的に回路基
板を製造できる。とくに、レーザー光の照射により貫通
孔を形成するので、精密微細加工が可能である上、従来
のドリル穴開け加工と異なり、切削屑の発生もなく、ク
リーンな製造環境を維持できる。
Next, according to the structure of the first method for manufacturing a printed wiring board of the present invention, an uncured resin impregnated fiber sheet substrate having both sides covered with a cover film and having pores therein. In the thickness direction of the material, a through hole is formed by irradiating a laser beam, filling the through hole with a conductive paste, then removing the cover film and attaching a metal foil to at least one surface of the substrate material, Next, the substrate material is heated and pressurized and compression-cured to integrate the substrate material and the conductive paste, and then, by patterning the metal foil into a predetermined shape, efficiently and reasonably. Can be manufactured. In particular, since the through-hole is formed by irradiating a laser beam, precision fine processing is possible, and unlike the conventional drilling, no cutting chips are generated and a clean manufacturing environment can be maintained.

【0044】次に本発明のプリント配線板の第2番目の
製造方法によれば、両面をカバーフィルムで覆、かつ
内部に空孔を有する未硬化樹脂含浸繊維シート基板材料
の厚さ方向に、レーザー光照射により貫通孔を形成し、
前記貫通孔に導電性ペーストを充填し、次に前記カバー
フィルムを除去して前記基板材料の片面に金属箔を貼り
合わせた中間体を2枚用意し、前記中間体の金属箔の面
が外側になるように配置し、中央部に少なくとも2層以
上の配線パターンを有する回路基板を挟持し、全体を加
熱加圧して圧縮硬化させることにより前記基板材料と導
電性ペーストを一体化し、しかる後、前記表面の金属箔
を所定の形状にパターニングすることにより、多層プリ
ント配線板を効率良く合理的に製造できる。前記構成の
好ましい例として、基板材料の両面に金属箔を貼り合わ
せると、単層基板として、または多層基板の一構成成分
として有効に使用できる。
Next, the second embodiment of the printed wiring board of the present invention will be described.
According to the manufacturing method, not covered on both sides with a cover film, and the thickness direction of the uncured resin-impregnated fiber sheet substrate material having an internal pore, a through hole is formed by laser beam irradiation,
The through-hole is filled with a conductive paste, and then the cover film is removed to prepare two intermediate bodies each having a metal foil attached to one surface of the substrate material. And a circuit board having a wiring pattern of at least two layers in the center is sandwiched, and the substrate material and the conductive paste are integrated by heating and pressurizing and compressing and curing the whole, and thereafter, By patterning the metal foil on the surface into a predetermined shape,
Printed wiring boards can be efficiently and rationally manufactured. As a preferable example of the above configuration, when metal foils are attached to both surfaces of the substrate material, it can be effectively used as a single-layer substrate or as a component of a multilayer substrate.

【0045】次に本発明のプリント配線板の第3番目の
製造方法によれば、両面をカバーフィルムで覆、かつ
内部に空孔を有する未硬化樹脂含浸繊維シート基板材料
の厚さ方向に、レーザー光照射により貫通孔を形成し、
前記貫通孔に導電性ペーストを充填し、次に前記カバー
フィルムを除去して中間接続体を作成し、複数の両面プ
リント配線板の間に、それぞれ前記中間接続体を挟持
し、全体を加熱加圧して圧縮硬化させることにより前記
基板材料と導電性ペーストを一体化することにより、多
層プリント配線板を効率良く合理的に製造できる。
Next, the third printed circuit board of the present invention
According to the manufacturing method, not covered on both sides with a cover film, and the thickness direction of the uncured resin-impregnated fiber sheet substrate material having an internal pore, a through hole is formed by laser beam irradiation,
Filling the through-holes with conductive paste, then removing the cover film to create an intermediate connector, sandwiching the intermediate connector between a plurality of double-sided printed wiring boards, respectively, and heating and pressing the whole. By integrating the substrate material and the conductive paste by compression curing ,
A layer printed wiring board can be efficiently and rationally manufactured.

【0046】また前記構成の好ましい例として、未硬化
樹脂含浸繊維シート基板材料内部の空孔が、密閉構造の
空孔であると、貫通孔の密度が高い場合であっても隣の
貫通孔の導電性ペーストと混合することがなく、短絡を
有効に防止できる。また前記構成において、好ましい例
として、密閉構造の空孔を有する未硬化の基板材料の空
孔径が5〜20μmであると、導電性樹脂組成物が基板
中に突出した構造になり、導電性ペーストのアンカー効
果が発揮できて実用的である。
Further, as a preferred example of the above structure, if the pores inside the uncured resin impregnated fiber sheet substrate material are pores having a closed structure, even if the density of the through holes is high, the pores of the adjacent through holes may be high. Short circuits can be effectively prevented without mixing with the conductive paste. Further, in the above configuration, as a preferred example, when the pore diameter of the uncured substrate material having the pores of the closed structure is 5 to 20 μm, the conductive resin composition has a structure protruding into the substrate, and the conductive paste It is practical because the anchor effect can be exhibited.

【0047】また前記構成の好ましい例として、空孔を
有する未硬化の基板材料の空孔率が2〜35%である
と、導電性ペーストのアンカー効果がさらに発揮できて
実用的である。
Further, as a preferable example of the above-mentioned structure, when the porosity of the uncured substrate material having pores is 2 to 35%, the anchor effect of the conductive paste can be further exhibited, and it is practical.

【0048】また前記構成の好ましい例として、基板材
料の加熱温度が170〜260℃の範囲であると、熱硬
化性樹脂を用いた場合に硬化反応を有効に完結できる。
また前記構成の好ましい例として基板材料の加圧力が2
0〜80kg/cm2の範囲であると、基板中の空気孔
を実質的になくすことができ、基板としての特性を有効
に発揮できる。
Further, as a preferable example of the above configuration, when the heating temperature of the substrate material is in the range of 170 to 260 ° C., the curing reaction can be effectively completed when a thermosetting resin is used.
Further, as a preferable example of the above configuration, the pressing force of the substrate material is 2
When it is in the range of 0 to 80 kg / cm 2 , air holes in the substrate can be substantially eliminated, and the characteristics of the substrate can be effectively exhibited.

【0049】また前記構成の好ましい例として、レーザ
ー光の照射により、貫通孔に基板材料中の繊維の一部を
残存させると、導電性ペーストと基板材料との強力な接
着をはかれる。
Further, as a preferred example of the above-described structure, when a part of the fibers in the substrate material is left in the through-hole by irradiating a laser beam, strong adhesion between the conductive paste and the substrate material can be achieved.

【0050】また前記構成の好ましい例として、導電性
樹脂組成物として金属微粒子と樹脂との組成物を用い、
かつ貫通孔に導電性樹脂組成物を充填する際に、導電性
樹脂組成物の一成分である樹脂を基板中に浸透させて一
体化させると、導電性ペーストと基板材料との強力な一
体化がはかれる。
Further, as a preferable example of the above configuration, a composition of fine metal particles and a resin is used as the conductive resin composition,
Also, when filling the through-hole with the conductive resin composition, the resin, which is a component of the conductive resin composition, is allowed to penetrate into the substrate and be integrated, resulting in strong integration between the conductive paste and the substrate material. Is peeled off.

【0051】また前記構成の好ましい例として、導電性
樹脂組成物の一成分である樹脂と、基板の含浸樹脂とを
実質的に同一系の樹脂を用い、共有結合によって自己接
着させて一体化させると、基板と導電性ペーストとの強
力な接着ができる。 また前記構成において、好ましい
例として、基板の含浸樹脂と導電性樹脂組成物の一成分
である樹脂とがともに熱硬化性樹脂であり、エポキシ樹
脂,熱硬化性ポリブタジエン樹脂,フェノール樹脂及び
ポリイミド樹脂から選ばれる少なくとも一つであると、
基板と導電性ペーストとの強力な接着ができるうえ、耐
熱性にも優れる。
As a preferred example of the above structure, a resin which is one component of the conductive resin composition and the impregnated resin of the substrate are made of substantially the same resin and are integrated by self-adhesion by covalent bond. Thus, strong adhesion between the substrate and the conductive paste can be achieved. Further, in the above-described configuration, as a preferred example, both the impregnated resin for the substrate and the resin that is a component of the conductive resin composition are thermosetting resins, and the epoxy resin, the thermosetting polybutadiene resin, the phenol resin, and the polyimide resin are used. If at least one is chosen,
Strong adhesion between the substrate and the conductive paste can be achieved, and heat resistance is excellent.

【0052】また前記構成の好ましい例として、貫通孔
に導電性樹脂組成物を充填する方法が、ロールコーティ
ング法であると、カバーフィルム(剥離フィルム)の上
から導電性ペーストを塗布するだけで簡単に充填でき
る。
Further, as a preferred example of the above structure, when the method of filling the conductive resin composition into the through-holes is a roll coating method, it can be simply applied by applying a conductive paste on a cover film (release film). Can be filled.

【0053】また前記構成のレーザー光が、炭酸ガスレ
ーザー,YAGレーザー及びエキシマレーザーから選ば
れる少なくとも一つであるという好ましい構成によれ
ば、穿孔を効率良く行うことができる。
Further, according to a preferred configuration in which the laser light having the above-mentioned configuration is at least one selected from a carbon dioxide laser, a YAG laser and an excimer laser, the perforation can be efficiently performed.

【0054】このように密閉構造の空孔を有する未硬化
の基板材料に設けられた貫通孔と貫通孔の内壁から基板
材料内部に存在する空孔が前記貫通孔形成時に開孔した
凹部に導電性ペーストが充填されることにより、アンカ
ー効果が増大し、導電性ペーストと貫通孔の壁面との密
着性が向上する。また、導電性ペーストの充填された貫
通孔の上に配線パターンが配置されているため、導電性
ペーストと金属箔との接触面積が大きくなっている。こ
の結果耐熱衝撃特性の優れたプリント配線板が実現でき
る。
As described above, the through holes provided in the uncured substrate material having the holes having the closed structure and the holes existing in the substrate material from the inner walls of the through holes are electrically connected to the concave portions opened when the through holes are formed. By filling the conductive paste, the anchor effect is increased, and the adhesion between the conductive paste and the wall surface of the through hole is improved. Further, since the wiring pattern is arranged on the through hole filled with the conductive paste, the contact area between the conductive paste and the metal foil is increased. As a result, a printed wiring board having excellent thermal shock resistance can be realized.

【0055】[0055]

【実施例】以下本発明の一実施例におけるプリント配線
板の製造方法について、図面を参照しながら説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A method for manufacturing a printed wiring board according to an embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0056】(実施例1) 図1は本発明の一実施例における回路基板の断面図であ
る。また図2(a)〜(e)は回路基板の製造工程を示す工程
断面図である。まず図1に示すように、本実施例の回路
基板は、熱硬化性樹脂を含浸させた多孔質基材を加熱加
圧して圧縮し、硬化させた絶縁基板101と、加熱加圧
により多孔質基材上に接着された金属箔をエッチングに
よりパターン形成した回路パターン102と、多孔質基
材に施された貫通孔に充填された導電性ペースト103
と、多孔質基材中に浸透した導電性ペースト103中の
バインダ樹脂の一部103aから構成される。
Embodiment 1 FIG. 1 is a sectional view of a circuit board according to an embodiment of the present invention. 2 (a) to 2 (e) are process cross-sectional views showing a process for manufacturing a circuit board. First, as shown in FIG. 1, the circuit board according to the present embodiment is obtained by compressing a porous base material impregnated with a thermosetting resin by heating and pressing, and curing the insulating substrate 101 by heating and pressing. A circuit pattern 102 formed by patterning a metal foil adhered on a base material by etching, and a conductive paste 103 filled in a through hole provided in a porous base material.
And a portion 103a of the binder resin in the conductive paste 103 that has penetrated into the porous base material.

【0057】前記の回路基板の製造方法は、図2(a) に
示すように、両面にポリエチレンテレフタレートなどの
厚み12μmの保護フィルム201を備えた、厚さ180 μ
mの多孔質基材202を準備した。この多孔質基材20
2としては内部に空孔202aを有する基材、例えば芳
香族ポリアミド(アラミド)繊維(たとえば、デュポン
社製“ケブラー”、繊度:1.5デニール、長さ:7m
m、目付:70g/m2 )の不織布に、熱硬化性エポキ
シ樹脂(たとえば、Shell社製“EPON1151B60”)を含浸
させた複合材からなる基材(以下アラミド−エポキシシ
ートと称する)を用いた。ここで、空孔202aのアラ
ミド−エポキシシート202に対する体積の比率は40%
である。
As shown in FIG. 2 (a), the method for manufacturing a circuit board described above comprises a protective film 201 such as polyethylene terephthalate having a thickness of 12 μm on both sides, and a thickness of 180 μm.
m porous substrate 202 was prepared. This porous substrate 20
Reference numeral 2 denotes a substrate having pores 202a therein, for example, an aromatic polyamide (aramid) fiber (for example, “Kevlar” manufactured by DuPont, fineness: 1.5 denier, length: 7 m)
m, a basis weight: 70 g / m 2 ), and a base material (hereinafter referred to as an aramid-epoxy sheet) made of a composite material impregnated with a thermosetting epoxy resin (for example, “EPON1151B60” manufactured by Shell) into a nonwoven fabric. . Here, the volume ratio of the holes 202a to the aramid-epoxy sheet 202 is 40%.
It is.

【0058】次に図2(b) に示すように、アラミド−エ
ポキシシート202の所定の箇所に、たとえば炭酸ガス
レーザーなどを用いたレーザ加工法で孔径200 μmの貫
通孔203を形成した。
Next, as shown in FIG. 2B, a through hole 203 having a diameter of 200 μm was formed in a predetermined portion of the aramid-epoxy sheet 202 by, for example, a laser processing method using a carbon dioxide gas laser or the like.

【0059】次に図2(c) に示すように、貫通孔203
に導電性ペースト204を充填した。ここで導電性ペー
スト204は、導電物質として平均粒子直径2μmの銅
パウダー、バインダ樹脂としては無溶剤型のエポキシ樹
脂からなり、銅パウダーの含有量は85wt%であり、銅パ
ウダーとバインダ樹脂を三本ロールにて混練して作製し
たものである。導電性ペースト204を充填する方法と
しては、貫通孔203を有するアラミド−エポキシシー
ト22を印刷機(図示せず)のテーブル上に設置し、直
接導電性ペースト204を保護フィルム201の上から
印刷した。印刷法としては、たとえばロール転写印刷を
用いることができる。このとき、上面の保護フィルム2
01は印刷マスクの役割と、アラミド−エポキシシート
202の表面の汚染防止の役割を果たしている。この段
階ですでに導電性ペースト204のバインダ樹脂の一部
204aはアラミド−エポキシシート202側へ浸透
し、導電性ペースト204の内部ではバインダ樹脂に対
する導電物質の構成比が漸次増大して行く(図2(d)
)。次にアラミド−エポキシシート202の両面から
保護フィルム201を剥離した。
Next, as shown in FIG.
Was filled with a conductive paste 204. Here, the conductive paste 204 is made of a copper powder having an average particle diameter of 2 μm as a conductive substance, and a non-solvent type epoxy resin as a binder resin. The copper powder content is 85% by weight, and the copper powder and the binder resin are mixed. It was produced by kneading with this roll. As a method of filling the conductive paste 204, the aramid-epoxy sheet 22 having the through holes 203 was placed on a table of a printing machine (not shown), and the conductive paste 204 was printed directly on the protective film 201. . As a printing method, for example, roll transfer printing can be used. At this time, the upper protective film 2
Reference numeral 01 plays a role of a print mask and a role of preventing contamination of the surface of the aramid-epoxy sheet 202. At this stage, a portion 204a of the binder resin of the conductive paste 204 has already penetrated into the aramid-epoxy sheet 202 side, and inside the conductive paste 204, the composition ratio of the conductive material to the binder resin gradually increases (FIG. 2 (d)
). Next, the protective film 201 was peeled off from both surfaces of the aramid-epoxy sheet 202.

【0060】次に図2(e) に示すように、アラミド−エ
ポキシシート202の両面に金属箔205として厚み35
μmの銅箔を貼り付けた。この状態で加熱加圧すること
により、図2(f) に示すように、アラミド−エポキシシ
ート202が圧縮されるとともにアラミド−エポキシシ
ート202と金属箔205とが接着された。ここで、加
熱加圧の条件は、真空中で60kgf/cm2 の圧力を加えなが
ら室温から30分で200℃まで昇温し、200 ℃で60分保
ち、その後30分で室温まで降温した。この工程におい
て、導電性ペーストも圧縮されるが、そのときに導電物
質間からバインダ成分が押し出され、導電物質同士およ
び導電物質と金属箔間の結合が強固になり、導電性ペー
スト24中の導電物質が緻密化されるとともに、アラミ
ド−エポキシシート22の一構成成分であるエポキシ樹
脂、導電性ペースト204およびアラミド−エポキシシ
ート2中に浸透した導電性ペースト204のバインダ成
分204aが硬化した。このとき導電性ペースト204
中の導電物質の含有量は92.5wt%にまで上昇した。ま
た、加熱加圧することで多孔質基材202中の空孔20
2aは0〜1vol.%になり、空孔202aの形状も小さ
くなった。
Next, as shown in FIG. 2E, a metal foil 205 is formed on both sides of the aramid-epoxy sheet 202 to a thickness of 35 mm.
A μm copper foil was attached. By heating and pressing in this state, the aramid-epoxy sheet 202 was compressed and the aramid-epoxy sheet 202 and the metal foil 205 were bonded as shown in FIG. 2 (f). The heating and pressurizing conditions were as follows: the temperature was raised from room temperature to 200 ° C. in 30 minutes while applying a pressure of 60 kgf / cm 2 in vacuum, kept at 200 ° C. for 60 minutes, and then lowered to room temperature in 30 minutes. In this step, the conductive paste is also compressed, but at that time, the binder component is extruded from between the conductive materials, and the bonding between the conductive materials and between the conductive material and the metal foil is strengthened. The substance was densified, and at the same time, the epoxy resin as one component of the aramid-epoxy sheet 22, the conductive paste 204, and the binder component 204 a of the conductive paste 204 permeated into the aramid-epoxy sheet 2 were cured. At this time, the conductive paste 204
The content of the conductive material therein rose to 92.5 wt%. Further, by applying heat and pressure, the pores 20 in the porous base material 202 are formed.
2a was 0 to 1 vol.%, And the shape of the hole 202a was also reduced.

【0061】最後に図2(g) に示すように、金属箔20
5を常法のエッチングにより回路パターン205aを形
成した。以上の方法により回路基板206を製造するこ
とができた。
Finally, as shown in FIG.
5 was formed into a circuit pattern 205a by ordinary etching. The circuit board 206 was able to be manufactured by the above method.

【0062】導電性ペースト204中のバインダ成分が
多孔質基材202中に浸透する現象は、導電性ペースト
204中のバインダを一部染料に置換して多孔質基材2
02の貫通孔203に充填することにより確認できた。
多孔質基材202中に浸透した導電性ペースト204中
のバインダ成分204aが硬化することで、導電性ペー
スト204と多孔質基材202との界面が強固に結合し
た。さらに、導電性ペースト204中のバインダ成分を
多孔質基材202中の熱硬化樹脂と同じ成分のもの、ま
たは多孔質基材202中の熱硬化樹脂と反応して硬化す
る性質を有するものを選択すると、バインダ樹脂の突起
と多孔質基材中の熱硬化性樹脂との間に化学的な結合が
生じ、バインダ樹脂の突起のアンカー効果はより大きく
なった。
The phenomenon that the binder component in the conductive paste 204 penetrates into the porous substrate 202 is caused by partially replacing the binder in the conductive paste 204 with a dye.
02 was confirmed by filling the through-hole 203.
As the binder component 204a in the conductive paste 204 that has penetrated into the porous base material 202 is cured, the interface between the conductive paste 204 and the porous base material 202 is firmly bonded. Further, the binder component in the conductive paste 204 is selected from those having the same component as the thermosetting resin in the porous substrate 202 or those having a property of reacting with the thermosetting resin in the porous substrate 202 and curing. Then, a chemical bond was generated between the protrusion of the binder resin and the thermosetting resin in the porous substrate, and the anchor effect of the protrusion of the binder resin was further increased.

【0063】(実施例2) 次に本発明の一実施例における多層回路基板の製造方法
について、図面を参照しながら説明する。
Embodiment 2 Next, a method of manufacturing a multilayer circuit board according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

【0064】図3は(a) 〜(h) は本発明の一実施例にお
ける多層回路基板の製造工程を示す工程断面図であり、
(a) 、(e) は第1および第2の金属箔、(b) 、(d) は第
1および第2の中間接続体、(c) は回路基板、(f) 〜
(h) は回路基板の上下に第1の中間接続体と第2の中間
接続体を配し、さらにその上下に第1の金属箔と第2の
金属箔を配して積層し、第1および第2の金属箔に回路
形成を施して多層回路基板を形成する工程をそれぞれ示
している。
FIGS. 3A to 3H are sectional views showing the steps of manufacturing a multilayer circuit board according to one embodiment of the present invention.
(a) and (e) are first and second metal foils, (b) and (d) are first and second intermediate connectors, (c) is a circuit board, and (f) to
(h), a first intermediate connector and a second intermediate connector are arranged above and below a circuit board, and a first metal foil and a second metal foil are arranged above and below the circuit board and laminated. And a step of forming a circuit on the second metal foil to form a multilayer circuit board.

【0065】まず前記実施例1で説明した図2(a) 〜
(g) によって製造した回路基板303(回路基板206
と実質的に同一)を準備し(図3(c) )、次に回路基板
303とは別に図2(a) 〜(d) に示す工程で製造し、さ
らに保護フィルムを剥離した第1の中間接続体301
(図3(b) )、および第2の中間接続体302(図3
(d))をそれぞれ準備した。また図3(a) の304と図
3(e) の305は、それぞれ金属箔(銅箔)である。
First, FIG. 2A to FIG.
(g) The circuit board 303 (circuit board 206
(Substantially the same as FIG. 3 (c)), and then manufactured separately from the circuit board 303 in the steps shown in FIGS. 2 (a) to 2 (d), and further the first protective film is peeled off. Intermediate connector 301
(FIG. 3B) and a second intermediate connector 302 (FIG.
(d)) were prepared respectively. Further, 304 in FIG. 3A and 305 in FIG. 3E are metal foils (copper foils).

【0066】図3(f) に示すように、回路基板303の
上下に第1の中間接続体301および第2の中間接続体
302を位置合わせして配し、さらにその上下に第1の
金属箔304および第2の金属箔305を重ね合わせ
た。次に図3(g) に示すように、加熱加圧して回路基板
303と金属箔304および305を、中間接続体30
1および302を介して接着した。金属箔304および
305をそれぞれ通常のパターン形成方法によりエッチ
ングして回路パターンを形成した。これにより4層の多
層回路基板306を得ることができた。さらに高多層に
するには図3(c)の回路基板303を多層回路基板30
6に置き換えて図3(a) 〜(h) の工程を繰り返して積層
することによって得られる。
As shown in FIG. 3 (f), a first intermediate connector 301 and a second intermediate connector 302 are aligned above and below a circuit board 303, and a first metal is arranged above and below it. The foil 304 and the second metal foil 305 were overlaid. Next, as shown in FIG. 3 (g), the circuit board 303 and the metal foils 304 and 305 are heated and pressed to remove
Adhered through Nos. 1 and 302. The metal foils 304 and 305 were each etched by an ordinary pattern forming method to form a circuit pattern. Thus, a four-layered multilayer circuit board 306 was obtained. To further increase the number of layers, the circuit board 303 shown in FIG.
6 by repeating the steps shown in FIGS. 3 (a) to 3 (h).

【0067】また、他の多層化の方法として、2枚以上
の回路基板の間にそれぞれ中間接続体を挟持して加熱加
圧して多層回路基板を製造することも出来る。
As another multi-layering method, a multi-layer circuit board can be manufactured by sandwiching an intermediate connector between two or more circuit boards and applying heat and pressure.

【0068】(実施例3) 図4(a)〜(f)は本発明の他の実施例におけるプリ
ント配線板の製造方法の工程断面図を示す。図4におい
て401は多孔質基材、402は離型フィルム、403
は密閉構造の空孔を有する未硬化の基板材料、404は
空孔、405は貫通孔、406は凹部、407は導電性
ペースト、408は金属箔、409は絶縁層、410は
配線パターンである。本実施例では、多孔質基材401
の圧縮性を利用して基板内の空孔径および空孔率を制御
するため、図4(a)に示す多孔質基材401として
は、加熱加圧されて圧縮する性質を備えたシート状積層
材が好ましく、不織布に熱硬化性樹脂を含浸した芳香族
ポリアミドとエポキシ樹脂の複合材を用いた。図4
(b)は図4(a)に示す多孔質基材401を、予備加
熱加圧して厚み方向に一定の割合で圧縮し、空孔径およ
び空孔率の制御された密閉構造の空孔を有する未硬化の
基板材料103を形成した状態を示している。図4
(c)は図4(b)の密閉構造の空孔を有する未硬化の
基板材料403と離型フィルム402に貫通孔405を
設けた状態を示している。貫通孔405の形成時に密閉
構造の空孔を有する未硬化の基板材料403内の空孔4
04が開孔し、貫通孔405の内壁に複数の凹部406
が形成されている。貫通孔405および凹部406の形
成はドリルや各種レーザー加工により可能であるが、本
実施例では、炭酸ガスレーザーによる加工が最適であっ
た。
(Embodiment 3) FIGS. 4A to 4F are sectional views showing the steps of a method for manufacturing a printed wiring board according to another embodiment of the present invention. 4, reference numeral 401 denotes a porous substrate, 402 denotes a release film, and 403 denotes a release film.
Is an uncured substrate material having pores of a closed structure, 404 is a pore, 405 is a through hole, 406 is a recess, 407 is a conductive paste, 408 is a metal foil, 408 is an insulating layer, and 410 is a wiring pattern. . In this embodiment, the porous substrate 401
In order to control the pore diameter and the porosity in the substrate by utilizing the compressibility of the substrate, the porous substrate 401 shown in FIG. Preferably, a composite material of an aromatic polyamide and an epoxy resin in which a non-woven fabric is impregnated with a thermosetting resin is used. FIG.
4B shows that the porous base material 401 shown in FIG. 4A is preheated and pressed to compress the porous base material 401 at a constant rate in the thickness direction, and has pores of a closed structure with a controlled pore diameter and porosity. The state where the uncured substrate material 103 is formed is shown. FIG.
FIG. 4C shows a state in which a through-hole 405 is provided in the uncured substrate material 403 having pores of the closed structure and the release film 402 of FIG. The holes 4 in the uncured substrate material 403 having the holes of the closed structure when the through holes 405 are formed.
04 is opened, and a plurality of recesses 406 are formed in the inner wall of the through hole 405.
Are formed. The formation of the through hole 405 and the concave portion 406 can be performed by a drill or various laser processings, but in this embodiment, processing by a carbon dioxide laser was optimal.

【0069】図4(d)は密閉構造の空孔を有する未硬
化の基板材料403に設けた貫通孔405と貫通孔内壁
の複数の凹部406に離型フィルム402を介して導電
性ペースト407を充填した後、離型フィルム402を
剥離した状態を示している。図4(e)は図4(d)の
上下に金属箔408を張り合わせて最終的な加熱加圧を
施し、熱硬化性樹脂を硬化すると共に、導電性ペースト
407により金属箔間を電気的接続した状態を示してい
る。密閉構造の空孔を有する未硬化の基板材料403
は、さらに圧縮され、基板内の空孔404が消失し、最
終的な絶縁層409となる。しかしながら、貫通孔内壁
の複数の凹部406は、すでに導電性ペースト407が
充填されているため消失しない。この結果、導電性ペー
スト407と貫通孔405の壁面との密着性がアンカー
効果の増大により向上し、耐熱衝撃特性の優れたプリン
ト配線板が実現できる。図4(f)は表面の金属箔40
8をエッチングして両面プリント配線板を作製した状態
を示している。
FIG. 4D shows that the conductive paste 407 is applied through the release film 402 to the through-hole 405 provided in the uncured substrate material 403 having a closed-hole and a plurality of recesses 406 on the inner wall of the through-hole. The figure shows a state where the release film 402 is peeled off after filling. FIG. 4E shows a state in which a metal foil 408 is attached to the upper and lower portions of FIG. 4D and a final heating and pressurizing is performed to cure the thermosetting resin and electrically connect the metal foils with the conductive paste 407. FIG. Uncured substrate material 403 having pores of a closed structure
Is further compressed, the holes 404 in the substrate disappear, and the final insulating layer 409 is formed. However, the plurality of recesses 406 on the inner wall of the through hole do not disappear because the conductive paste 407 has already been filled. As a result, the adhesion between the conductive paste 407 and the wall surface of the through hole 405 is improved due to an increase in the anchor effect, and a printed wiring board having excellent thermal shock resistance can be realized. FIG. 4F shows a metal foil 40 on the surface.
8 shows a state in which a double-sided printed wiring board is manufactured by etching.

【0070】(実施例4) 次に本発明の他の実施例における多層プリント配線板の
製造方法について、図面を参照しながら説明する。
Embodiment 4 Next, a method of manufacturing a multilayer printed wiring board according to another embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

【0071】図5(a)〜(h)に本発明の一実施例に
おける多層プリント配線板の製造方法の工程断面図を示
す。図5において501は第1金属箔、502は第2の
金属箔、503は密閉構造の空孔を有する未硬化の基板
材料、504は空孔、505は導電性ペースト、506
は第2の配線パターン、507は第3の配線パターン、
508は絶縁層、509および510は金属箔と両面プ
リント配線板とを積層し相互接続するために用いる第1
および第2の中間接続体、511は両面プリント配線
板、512は第1の配線パターン、513は第4の配線
パターン、514は4層の多層プリント配線板である。
FIGS. 5A to 5H are sectional views showing the steps of a method for manufacturing a multilayer printed wiring board according to an embodiment of the present invention. In FIG. 5, reference numeral 501 denotes a first metal foil, 502 denotes a second metal foil, 503 denotes an uncured substrate material having holes having a closed structure, 504 denotes holes, 505 denotes a conductive paste, and 506 denotes a conductive paste.
Is a second wiring pattern, 507 is a third wiring pattern,
508 is an insulating layer, and 509 and 510 are first layers used for laminating and interconnecting a metal foil and a double-sided printed wiring board.
And a second intermediate connector, 511 is a double-sided printed wiring board, 512 is a first wiring pattern, 513 is a fourth wiring pattern, and 514 is a multilayer printed wiring board having four layers.

【0072】また、図5(f)〜(h)は両面プリント
配線板511の上下に第1の中間接続体509と第2の
中間接続体510を配し、さらにその上下に第1の金属
箔501と第2の金属箔502を配して積層し、第1金
属箔501および第2の金属箔502に回路形成を施し
て多層プリント配線板を形成する工程をそれぞれ示して
いる。509および510の中間接続体には図4(a)
〜(d)に示す工程で製造した、貫通孔と貫通孔内壁の
複数の凹部に導電性ペーストを充填した密閉構造の空孔
を有する未硬化の基板材料を用いた。図5(f)に示す
ように、両面プリント配線板511の上下に第1の中間
接続体509および第2の中間接続体510を位置合わ
せして配し、さらにその上下に第1の金属箔501およ
び第2の金属箔502を重ね合わせた。次に図5(g)
に示すように、加熱加圧して両面プリント配線板511
と第1の金属箔501および第2の金属箔502を第1
の中間接続体509および第2の中間接続体510を介
して接着するとともに、第1の金属箔501と第2の配
線パターン506および第2の金属箔502と第3の配
線パターン507を電気的に接続した。またこのとき、
第2の配線パターン506が第1の中間接続体509
に、第3の配線パターン507が第2の中間接続体51
0に食い込み、図5(g)に示したような内層構造とな
った。次に、第1の金属箔501および第2の金属箔5
02をエッチングして第1の配線パターン512および
第4の配線パターン513を形成し、図5(h)の4層
の多層プリント配線板514を得ることができた。さら
に、図5(a)〜(h)の工程における図5(c)の両
面プリント配線板511を多層プリント配線板に置き換
えることによって高多層化が容易に実現できた。
FIGS. 5F to 5H show a case where a first intermediate connector 509 and a second intermediate connector 510 are arranged above and below a double-sided printed wiring board 511, and a first metal is arranged above and below it. The steps of arranging and laminating a foil 501 and a second metal foil 502 and forming a circuit on the first metal foil 501 and the second metal foil 502 to form a multilayer printed wiring board are shown. FIG. 4 (a) shows the intermediate connectors 509 and 510.
Uncured substrate material having pores of a closed structure in which a conductive paste was filled in a through hole and a plurality of recesses in the inner wall of the through hole, manufactured in the steps shown in (d) to (d), was used. As shown in FIG. 5 (f), a first intermediate connector 509 and a second intermediate connector 510 are aligned above and below a double-sided printed wiring board 511, and a first metal foil is arranged above and below it. 501 and the second metal foil 502 were overlapped. Next, FIG.
As shown in FIG.
And the first metal foil 501 and the second metal foil 502
Of the first metal foil 501 and the second wiring pattern 506, and the second metal foil 502 and the third wiring pattern 507 are electrically connected to each other via the intermediate connector 509 and the second intermediate connector 510. Connected to. At this time,
The second wiring pattern 506 is the first intermediate connector 509
In addition, the third wiring pattern 507 is
0, resulting in an inner layer structure as shown in FIG. Next, the first metal foil 501 and the second metal foil 5
02 was etched to form a first wiring pattern 512 and a fourth wiring pattern 513, and a four-layer multilayer printed wiring board 514 shown in FIG. 5H was obtained. Further, by replacing the double-sided printed wiring board 511 of FIG. 5 (c) in the steps of FIGS. 5 (a) to 5 (h) with a multilayer printed wiring board, a high multilayer structure can be easily realized.

【0073】(実施例5) 次に本発明の他の実施例における多層プリント配線板の
製造方法について、図面を参照しながら説明する。
Embodiment 5 Next, a method for manufacturing a multilayer printed wiring board according to another embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

【0074】図6(a)〜(e)に本発明の一実施例に
おける多層プリント配線板の製造方法の工程断面図を示
す。図6において601は第1の配線パターン、602
は第2の配線パターン、603は導電性ペースト、60
4は絶縁層、605は第3の配線パターン、606は第
4の配線パターン、607は空孔、608は密閉構造の
空孔を有する未硬化の基板材料、609および610は
第1および第2の両面プリント配線板、611は第1の
両面プリント配線板609と第2の両面プリント配線板
610とを積層し相互接続するために用いる中間接続
体、612は4層の多層プリント配線板である。図6
(d)および(e)は第1の両面プリント配線板609
と第2の両面プリント配線板610との間に、中間接続
体611を介在させて積層し、多層プリント配線板を形
成する工程を示している。中間接続体611には図4
(a)〜(d)に示す工程で製造した、貫通孔と貫通孔
内壁の複数の凹部に導電性ペーストを充填した密閉構造
の空孔を有する未硬化の基板材料を用いた。図6(d)
に示すように、第2の両面プリント配線板610の上に
中間接続体611を重ね、その上に第1の両面プリント
配線板611を重ねた。次に図6(e)に示すように、
加熱加圧して第1の両面プリント配線板609と第2の
両面プリント配線板610を接着するとともに、第2の
配線パターン602と第3の配線パターン605は導電
性ペースト603により電気的に接続された。またこの
とき、第1の配線パターン601と第4の配線パターン
606が絶縁層604に、第2の配線パターン602と
第3の配線パターン605が中間接続体608に食い込
んで、最外層が平滑化された4層の多層プリント配線板
612が得られた。
FIGS. 6A to 6E are sectional views showing the steps of a method for manufacturing a multilayer printed wiring board according to one embodiment of the present invention. 6, reference numeral 601 denotes a first wiring pattern;
Is a second wiring pattern, 603 is a conductive paste, 60
4 is an insulating layer, 605 is a third wiring pattern, 606 is a fourth wiring pattern, 607 is a hole, 608 is an uncured substrate material having a closed structure hole, and 609 and 610 are the first and second materials. 611 is an intermediate connector used for laminating and interconnecting the first double-sided printed wiring board 609 and the second double-sided printed wiring board 610, and 612 is a four-layer multilayer printed wiring board. . FIG.
(D) and (e) show the first double-sided printed wiring board 609
A step of forming a multilayer printed wiring board by laminating an intermediate connector 611 between the first printed wiring board and the second double-sided printed wiring board 610 is shown. FIG. 4 shows the intermediate connector 611.
An uncured substrate material having pores of a closed structure in which a conductive paste was filled in a through-hole and a plurality of recesses in the inner wall of the through-hole, manufactured in the steps shown in (a) to (d), was used. FIG. 6 (d)
As shown in the figure, the intermediate connector 611 was overlaid on the second double-sided printed wiring board 610, and the first double-sided printed wiring board 611 was overlaid thereon. Next, as shown in FIG.
The first double-sided printed wiring board 609 and the second double-sided printed wiring board 610 are bonded by applying heat and pressure, and the second wiring pattern 602 and the third wiring pattern 605 are electrically connected by the conductive paste 603. Was. At this time, the first wiring pattern 601 and the fourth wiring pattern 606 penetrate the insulating layer 604, and the second wiring pattern 602 and the third wiring pattern 605 bite into the intermediate connector 608, so that the outermost layer is smoothed. The obtained four-layered multilayer printed wiring board 612 was obtained.

【0075】またさらに積層数の多い多層プリント配線
板を製造するには、必要な枚数の両面プリント配線板と
それらの間を相互接続する中間接続体を準備し、それぞ
れの両面プリント配線板の間に中間接続体を挿入した
後、加熱加圧して一度に積層するか、または図6(a)
または(b)の両面プリント配線板を多層プリント配線
板に置き換えることにより可能である。
Further, in order to manufacture a multilayer printed wiring board having a larger number of laminations, a required number of double-sided printed wiring boards and intermediate connectors for interconnecting them are prepared. After inserting the connecting body, heat and press to laminate at once, or FIG. 6 (a)
Alternatively, it is possible by replacing the double-sided printed wiring board of (b) with a multilayer printed wiring board.

【0076】(実施例6) 本実施例は、基板材料と導電性樹脂組成物との一体化構
造を図面を用いて説明する。図7(a)は、銅箔702
をシート701の両面に配置して圧縮加工する前の概略
断面図である。多孔質基材として、200μmの厚みの
アラミドーエポキシシート701を使用し、その両面に
備える離型フィルムとしては厚さ12μmのポリエチレ
ンテレフタレートフィルムを用いた。これを熱プレスを
用いてプレス温度100℃、圧力30kg/cm2 で2
分間予備加熱加圧して密閉構造の空孔701aを有する
未硬化の基板材料を形成した。これに炭酸ガスレーザー
を用い、直径0.2mmの貫通孔703を形成するとと
もに、密閉構造の空孔701aの一部(貫通孔の内壁)
に複数の凹部703aを形成した。この貫通孔703と
貫通孔内壁の複数の凹部703aに、金属粒子としての
銀パウダーを無溶剤のエポキシ樹脂に分散させた導電性
ペーストを充填した。このようにすると、凹部703a
に導電性ペーストが充填されることにより、アンカー効
果が増大し、導電性ペーストと貫通孔の壁面との密着性
が向上する。
Example 6 In this example, an integrated structure of a substrate material and a conductive resin composition will be described with reference to the drawings. FIG. 7A shows a copper foil 702.
FIG. 7 is a schematic cross-sectional view before a sheet is placed on both sides of a sheet and subjected to compression processing. An aramid-epoxy sheet 701 having a thickness of 200 μm was used as a porous base material, and a polyethylene terephthalate film having a thickness of 12 μm was used as a release film provided on both sides thereof. This was heated at a press temperature of 100 ° C. and a pressure of 30 kg / cm 2 using a hot press.
The substrate was preheated and pressurized for one minute to form an uncured substrate material having a hole 701a having a closed structure. Using a carbon dioxide gas laser, a through hole 703 having a diameter of 0.2 mm is formed, and a part of an air hole 701a having a closed structure (the inner wall of the through hole).
A plurality of recesses 703a were formed in the substrate. The through-hole 703 and the plurality of recesses 703a on the inner wall of the through-hole were filled with a conductive paste in which silver powder as metal particles was dispersed in a solvent-free epoxy resin. By doing so, the concave portion 703a
By filling the conductive paste with the conductive paste, the anchor effect is increased, and the adhesion between the conductive paste and the wall surface of the through hole is improved.

【0077】図7(b)は、銅箔702をシート701
の両面に配置して圧縮加工する前のほかの例の概略断面
図である。多孔質基材は前記と同一のものを用いた。炭
酸ガスレーザーの照射エネルギーが低いと、貫通孔70
3にシートの構成繊維701bが一部残り突出する。こ
の状態の貫通孔703に導電性ペーストを充填すると、
構成繊維701bの周囲の部分703bに導電性ペース
トが充填されることにより、アンカー効果が増大し、導
電性ペーストと貫通孔の壁面との密着性が向上する。
FIG. 7B shows that the copper foil 702 is
FIG. 10 is a schematic cross-sectional view of another example before being arranged on both surfaces of the sheet and subjected to compression processing. The same porous substrate as described above was used. If the irradiation energy of the carbon dioxide laser is low, the penetration hole 70
Part 3 of the fiber 701b of the sheet remains and protrudes. When the conductive paste is filled in the through holes 703 in this state,
By filling the portion 703b around the constituent fiber 701b with the conductive paste, the anchor effect is increased, and the adhesion between the conductive paste and the wall surface of the through hole is improved.

【0078】図7(c)は、銅箔702をシート701
の両面に配置して圧縮加工する前のほかの例の概略断面
図である。多孔質基材は前記と同一のものを用いた。導
電性ペーストの樹脂成分と基材シートの樹脂成分との相
溶性が良いと、貫通孔703に導電性ペーストを充填し
たとき、導電性ペーストの樹脂成分が基材側に含浸し混
在層703cが形成される。この混在層703cによ
り、導電性ペーストと貫通孔の壁面との密着性が向上す
るうえ、導電性ペーストの導電性成分(たとえば金属微
粒子)の濃度が高くなり、導電性が向上する。
FIG. 7C shows that the copper foil 702 is
FIG. 10 is a schematic cross-sectional view of another example before being arranged on both surfaces of the sheet and subjected to compression processing. The same porous substrate as described above was used. If the compatibility between the resin component of the conductive paste and the resin component of the base material sheet is good, when the conductive paste is filled into the through holes 703, the resin component of the conductive paste impregnates the base material side and the mixed layer 703c is formed. It is formed. The mixed layer 703c improves the adhesion between the conductive paste and the wall surface of the through-hole, increases the concentration of the conductive component (for example, metal fine particles) of the conductive paste, and improves the conductivity.

【0079】(実施例7) 本実施例では多孔質基材として、200μmの厚みのア
ラミドーエポキシシートを使用し、その両面に備える離
型フィルムとしては厚さ4〜50μmのポリエチレンテ
レフタレートフィルムを用いた。これを熱プレスを用い
てプレス温度100℃、圧力5〜50kg/cm2 で2
分間予備加熱加圧して密閉構造の空孔を有する未硬化の
基板材料を形成した。これに炭酸ガスレーザーを用い、
直径0.2mmの貫通孔を形成するとともに、密閉構造
の空孔を有する未硬化の基板材料内の空孔を開孔し、貫
通孔の内壁に複数の凹部を形成した。この貫通孔と貫通
孔内壁の複数の凹部に、金属粒子としての銀パウダーを
無溶剤のエポキシ樹脂に分散させた導電性ペーストを充
填した後、離型フィルムを剥離し、両面に厚さ35μm
銅箔を張り合わせ、これを熱プレスを用いてプレス温度
170℃、圧力30kg/cm2 で1時間加熱加圧して
両面銅張り板を形成した。以上のような方法を用いて形
成した銅箔層を公知のエッチング技術を用いて配線パタ
ーンを形成し、両面プリント配線板を製造した。
Example 7 In this example, an aramid-epoxy sheet having a thickness of 200 μm was used as a porous base material, and a polyethylene terephthalate film having a thickness of 4 to 50 μm was used as a release film provided on both sides thereof. Was. This was heated at a press temperature of 100 ° C. and a pressure of 5 to 50 kg / cm 2 using a hot press.
The substrate was preheated and pressurized for minutes to form an uncured substrate material having pores of a closed structure. Using a carbon dioxide laser for this,
A through hole having a diameter of 0.2 mm was formed, and a hole in an uncured substrate material having a closed structure was opened, and a plurality of recesses were formed in the inner wall of the through hole. After filling a conductive paste in which silver powder as metal particles is dispersed in a solvent-free epoxy resin into the plurality of recesses of the through hole and the inner wall of the through hole, the release film is peeled off, and the thickness of both surfaces is reduced to 35 μm.
The copper foil was laminated and heated and pressed at 170 ° C. for 1 hour at a pressure of 30 kg / cm 2 using a hot press to form a double-sided copper-clad board. A wiring pattern was formed on the copper foil layer formed by the above-described method using a known etching technique, and a double-sided printed wiring board was manufactured.

【0080】図9に本実施例の製造方法で得られたプリ
ント配線板の半田リフロー試験の結果を示した。図9縦
軸に、半田リフロー前後でのビア500穴当たりの接続
抵抗変化量を、横軸に半田リフロー回数を示した。なお
比較のため従来のプリント配線板についての試験結果も
併記した。半田リフロー回数の増大にともない、従来の
プリント配線板では接続抵抗値が著しく増大するのに対
して、本実施例のプリント配線板では接続抵抗値の変化
がほとんど認められなかった。
FIG. 9 shows the results of a solder reflow test on a printed wiring board obtained by the manufacturing method of this embodiment. The vertical axis in FIG. 9 shows the amount of change in connection resistance per 500 holes before and after solder reflow, and the horizontal axis shows the number of times of solder reflow. For comparison, test results for a conventional printed wiring board are also shown. With the increase in the number of times of solder reflow, the connection resistance value of the conventional printed wiring board was significantly increased, whereas the connection resistance value of the printed wiring board of this embodiment was hardly changed.

【0081】図10に本実施例の多孔質基板を加熱加圧
して密閉構造の空孔を有する未硬化の基板材料を形成し
たときの、プレス圧力と密閉構造の空孔を有する未硬化
の基板材料の平均空孔径および空孔率の関係を示した。
プレス圧力の増大に伴い、平均空孔径および空孔率の減
少がみられた。
FIG. 10 shows the press pressure and the uncured substrate having the pores of the closed structure when the porous substrate of this embodiment is heated and pressurized to form the uncured substrate material having the pores of the closed structure. The relationship between the average pore diameter and the porosity of the material was shown.
As the pressing pressure increased, the average pore diameter and the porosity decreased.

【0082】図11に密閉構造の空孔を有する未硬化の
基板材料の平均空孔径とプリント配線板の半田リフロー
による接続抵抗変化量の関係を示した。図11縦軸に、
半田リフロー前後でのビア500穴当たりの接続抵抗変
化量を、横軸に平均空孔径を示した。平均空孔径が5〜
20μmの範囲で高い信頼性が得られた。
FIG. 11 shows the relationship between the average pore diameter of an uncured substrate material having pores of a closed structure and the amount of change in connection resistance due to solder reflow of a printed wiring board. On the vertical axis in FIG.
The amount of change in connection resistance per 500 holes of the via before and after the solder reflow is shown, and the average hole diameter is shown on the horizontal axis. The average pore size is 5
High reliability was obtained in the range of 20 μm.

【0083】図12に密閉構造の空孔を有する未硬化の
基板材料の空孔率とプリント配線板の半田リフローによ
る接続抵抗変化量の関係を示した。図12縦軸に、半田
リフロー前後でのビア500穴当たりの接続抵抗変化量
を、横軸に空孔率を示した。空孔率が2〜35%の範囲
で高い信頼性が得られた。
FIG. 12 shows the relationship between the porosity of the uncured substrate material having pores of a closed structure and the amount of change in connection resistance due to solder reflow of the printed wiring board. The vertical axis in FIG. 12 shows the change in connection resistance per 500 holes before and after solder reflow, and the horizontal axis shows the porosity. High reliability was obtained when the porosity was in the range of 2 to 35%.

【0084】なお、本実施例における導電性ペースト中
の導電物質として、銀以外に金、銅、パラジウム、ニッ
ケルおよびこれらの合金の内の一種以上からなる金属粒
子を用いた場合にも高い接続信頼性が得られた。
Note that, even when metal particles made of one or more of gold, copper, palladium, nickel and their alloys are used as the conductive material in the conductive paste in this embodiment in addition to silver, high connection reliability can be obtained. Sex was obtained.

【0085】(実施例8) 本実施例では、金属箔としては、厚さ35μm銅箔、両
面プリント配線板としては実施例1で製造したプリント
配線板、中間接続体としては、0.2mmの貫通孔と貫
通孔内壁の凹部に、実施例1記載の導電性ペーストを充
填したアラミドエポキシシートを用いた。両面プリント
配線板の上下に中間接続体を配し、さらにその上下に銅
箔を配して、これを熱プレスを用いて、プレス温度17
0℃、圧力30kg/cm2 で1時間加熱加圧して積層
した。次に、銅箔層を公知の技術でエッチングしてパタ
ーン形成し、4層プリント配線板を製造した。
Example 8 In this example, a 35 μm thick copper foil was used as the metal foil, the printed wiring board manufactured in Example 1 was used as the double-sided printed wiring board, and a 0.2 mm thick copper foil was used as the intermediate connector. An aramid epoxy sheet was used in which the conductive paste described in Example 1 was filled in the through holes and the recesses in the inner walls of the through holes. An intermediate connector is arranged above and below the double-sided printed wiring board, and copper foil is arranged above and below the double-sided printed circuit board.
Lamination was performed by heating and pressing at 0 ° C. and a pressure of 30 kg / cm 2 for 1 hour. Next, the copper foil layer was etched by a known technique to form a pattern, and a four-layer printed wiring board was manufactured.

【0086】図13に本実施例の製造方法で得られた多
層プリント配線板の半田リフロー試験の結果を示した。
図13縦軸に、半田リフロー前後でのビア500穴当た
りの接続抵抗変化量を、横軸に半田リフロー回数を示し
た。本実施例で得られた多層プリント配線板では、半田
リフローによる接続抵抗値の変化はほとんど認められな
かった。
FIG. 13 shows the results of a solder reflow test of the multilayer printed wiring board obtained by the manufacturing method of this embodiment.
The vertical axis of FIG. 13 shows the amount of change in connection resistance per 500 holes before and after solder reflow, and the horizontal axis shows the number of times of solder reflow. In the multilayer printed wiring board obtained in this example, almost no change in the connection resistance value due to solder reflow was observed.

【0087】(実施例9) 本実施例では、両面プリント配線板としては実施例1で
製造したプリント配線板、中間接続体としては0.2m
mの貫通孔と貫通孔内壁の凹部に、実施例1記載の導電
性ペーストを充填したアラミドエポキシシートを用い
た。中間接続体の上下に両面プリント配線板を配し、熱
プレスを用いて、プレス温度170℃、圧力30kg/
cm2 で1時間加熱加圧して積層して4層プリント配線
板を製造した。
Example 9 In this example, the double-sided printed wiring board was the printed wiring board manufactured in Example 1, and the intermediate connector was 0.2 m.
An aramid epoxy sheet was used in which the conductive paste described in Example 1 was filled in the through holes of m and the recesses on the inner walls of the through holes. A double-sided printed wiring board is arranged above and below the intermediate connector, and using a hot press, the press temperature is 170 ° C. and the pressure is 30 kg /.
The laminate was heated and pressed at 1 cm 2 for 1 hour to produce a 4-layer printed wiring board.

【0088】図14に本実施例の製造方法で得られた多
層プリント配線板の半田リフロー試験の結果を示した。
図14縦軸に、半田リフロー前後でのビア500穴当た
りの接続抵抗変化量を、横軸に半田リフロー回数を示し
た。本実施例で得られた多層プリント配線板では、半田
リフローによる接続抵抗値の変化はほとんど認められな
かった。
FIG. 14 shows the results of a solder reflow test of the multilayer printed wiring board obtained by the manufacturing method of this embodiment.
The vertical axis in FIG. 14 shows the amount of change in connection resistance per 500 holes before and after solder reflow, and the horizontal axis shows the number of times of solder reflow. In the multilayer printed wiring board obtained in this example, almost no change in the connection resistance value due to solder reflow was observed.

【0089】なお、前記実施例1〜9における両面プリ
ント配線板としては、実施例1で製造したプリント配線
板以外にガラス繊維とエポキシ樹脂との複合材またはガ
ラス繊維とポリイミド樹脂との複合材またはガラス繊維
と熱硬化性ポリブタジエン樹脂(BT樹脂)との複合材
からなるプリント配線板を用いることも可能である。ま
た、導電性ペースト中の導電物質として、銀以外に金、
銅、パラジウム、ニッケルおよびこれらの合金の内の一
種以上からなる金属粒子を用いた場合でも同様の結果が
得られた。
The double-sided printed wiring board in Examples 1 to 9 is not limited to the printed wiring board manufactured in Example 1, but may be a composite material of glass fiber and epoxy resin or a composite material of glass fiber and polyimide resin. It is also possible to use a printed wiring board made of a composite material of glass fiber and thermosetting polybutadiene resin (BT resin). In addition, as a conductive material in the conductive paste, other than silver, gold,
Similar results were obtained when metal particles composed of one or more of copper, palladium, nickel and their alloys were used.

【0090】(実施例10) アラミド織布とそれぞれ熱硬化性かつ未硬化のフェノー
ル樹脂、エポキシ樹脂、BTレジン、ポリイミドによる
各コンポジットおよびアラミド不織布とそれぞれ熱硬化
性かつ未硬化のフェノール樹脂、エポキシ樹脂、BTレ
ジン、ポリイミドによる各コンポジットの計8種類の単
層基板に炭酸ガスレーザーでビア穴明け加工した。8種
類の単層基板における、レーザー加工条件とそのときの
穴径、穴内構造について表1に示す。
Example 10 Aramid woven fabric, thermosetting and uncured phenolic resin, epoxy resin, BT resin, polyimide composite and aramid nonwoven fabric, and thermosetting and uncured phenolic resin, epoxy resin, respectively Via holes were formed by carbon dioxide laser on a total of eight types of single-layer substrates made of BT resin, BT resin and polyimide. Table 1 shows the laser processing conditions, the hole diameters at that time, and the structures in the holes for the eight types of single-layer substrates.

【0091】[0091]

【表1】 [Table 1]

【0092】基板の剥離フィルムの上に導電性ペースト
をのせ、スクリーン印刷機を用いてウレタンゴムスキー
ジによるスキージングで均一厚さに塗布した。穴加工を
施した各基板の下には50μm厚の中質紙を介して吸引
器具を配置し、減圧することにより導電性ペーストを埋
め込み、充填ビアホールとした。単層基板は全て120
〜140μmの厚みのものを用いた。なお導電性ペース
トについては、平均粒径3ミクロンの銅粉85重量%、
液状エポキシ樹脂12重量%、硬化剤及び促進剤合わせ
て2重量%を混練したものを用いた。エポキシ樹脂、硬
化剤、促進剤はペースト使用粘度に合わせて市販のもの
から選択できる。埋め込みを行った総ビア穴数に対して
スキージング後ステージ上で中質紙から剥離した際に穴
抜けしたビア数を、各単層基板材料で比較した。結果を
前記表1に示す。この結果から、炭酸ガスレーザーで穴
明けを行った本発明によるビア構造を持つものは、ペー
スト埋め込みにおけるペースト保持特性に優れることが
わかる。
The conductive paste was placed on the release film of the substrate, and applied to a uniform thickness by squeezing with a urethane rubber squeegee using a screen printer. A suction device was placed under each hole-processed substrate through a 50 μm-thick medium paper, and the pressure was reduced to fill a conductive paste to form a filled via hole. All single layer substrates are 120
One having a thickness of about 140 μm was used. For the conductive paste, 85% by weight of copper powder having an average particle size of 3 microns,
A mixture obtained by kneading 12% by weight of a liquid epoxy resin and 2% by weight in total of a curing agent and an accelerator was used. The epoxy resin, curing agent, and accelerator can be selected from commercially available ones according to the paste use viscosity. With respect to the total number of embedded via holes, the number of via holes that were pierced when peeled from the medium paper on the stage after squeezing was compared for each single-layer substrate material. The results are shown in Table 1 above. From this result, it can be seen that the one having the via structure according to the present invention in which the hole was formed by the carbon dioxide gas laser was excellent in the paste holding property in the paste embedding.

【0093】この単層基板の両面に銅箔を張り合わせて
180℃、1時間、50 kg/cm2 の条件で真空熱圧着し
た後、銅箔をパターニングして配線を形成し両面板構成
とした。更にこの両面板の両側に上記の充填ビア単層基
板を、両外側を銅箔で挟んで上記と同様の条件で真空熱
圧着し、銅箔をパターニングして回路形成して4層構成
としたものについて、−55℃、125℃各30分保持
500サイクルの熱衝撃試験を実施し、回路中の銅箔に
挟まれた3000ビアを選んで試験の前後で抵抗値が2
倍以上になったものについて不良としてカウントした。
結果を前記表1に示す。この結果から、本発明のビア構
造を有する基板は、耐熱衝撃特性に優れることがわか
る。
A copper foil was adhered to both surfaces of the single-layer substrate and subjected to vacuum thermocompression bonding at 180 ° C. for 1 hour under a condition of 50 kg / cm 2 , and thereafter, the copper foil was patterned to form a wiring to form a double-sided board. . Further, on both sides of this double-sided board, the above-mentioned filled via single-layer board was sandwiched between copper foils on both sides by vacuum thermocompression bonding under the same conditions as above, and the copper foil was patterned to form a circuit to form a four-layer structure. The circuit was subjected to a thermal shock test at -55 ° C. and 125 ° C. for 30 minutes each for 500 cycles, and 3000 vias sandwiched between copper foils in the circuit were selected to have a resistance value of 2 before and after the test.
Those that were more than doubled were counted as defective.
The results are shown in Table 1 above. From these results, it is understood that the substrate having the via structure of the present invention has excellent thermal shock resistance.

【0094】(実施例11) アラミド織布とそれぞれ熱硬化性かつ未硬化のフェノー
ル樹脂、エポキシ樹脂、BTレジン、ポリイミドによる
各コンポジットおよびアラミド不織布とそれぞれ熱硬化
性かつ未硬化のフェノール樹脂、エポキシ樹脂、BTレ
ジン、ポリイミドによる各コンポジットの計8種類の単
層基板にYAGレーザーでビア穴明け加工した。レーザ
ー加工条件とそのときの穴径、穴内構造について表2に
示す。
Example 11 Aramid woven fabric and thermosetting and uncured phenolic resin, epoxy resin, BT resin, polyimide composite and aramid nonwoven fabric and thermosetting and uncured phenolic resin and epoxy resin, respectively , BT resin, and polyimide, a total of eight types of single-layer substrates were subjected to via hole drilling with a YAG laser. Table 2 shows the laser processing conditions, the hole diameter at that time, and the structure in the hole.

【0095】[0095]

【表2】 [Table 2]

【0096】基板の剥離フィルムの上に導電性ペースト
をのせ、スクリーン印刷機を用いてウレタンゴムスキー
ジによるスキージングで均一厚さに塗布した。穴加工を
施した各基板の下には50μm厚の中質紙を介して吸引
器具を配置し、減圧することにより導電性ペーストを埋
め込み、充填ビアホールとした。単層基板は全て120
〜140μmの厚みのものを用いた。なお導電性ペース
トについては、平均粒径4ミクロンの銀粉87重量%、
液状エポキシ樹脂10重量%、硬化剤及び促進剤合わせ
て3重量%を混練したものを用いた。エポキシ樹脂、硬
化剤、促進剤は実施例1と同様ペースト使用粘度に合わ
せて市販のものから選択できる。埋め込みを行った総ビ
ア穴数に対してスキージング後ステージ上で中質紙から
剥離した際に穴抜けしたビア数を、各単層基板材料で比
較した。結果を前記表2に示す。この結果から、YAG
レーザーで穴明けを行った本発明によるビア構造を持つ
ものは、ペースト埋め込みにおけるペースト保持特性に
優れることがわかる。
A conductive paste was placed on the release film of the substrate, and applied to a uniform thickness by squeezing with a urethane rubber squeegee using a screen printer. A suction device was placed under each hole-processed substrate through a 50 μm-thick medium paper, and the pressure was reduced to fill a conductive paste to form a filled via hole. All single layer substrates are 120
One having a thickness of about 140 μm was used. As for the conductive paste, 87% by weight of silver powder having an average particle size of 4 microns,
A mixture obtained by kneading 10% by weight of a liquid epoxy resin and 3% by weight in total of a curing agent and an accelerator was used. The epoxy resin, the curing agent, and the accelerator can be selected from commercially available products according to the paste use viscosity as in Example 1. With respect to the total number of embedded via holes, the number of via holes that were pierced when peeled from the medium paper on the stage after squeezing was compared for each single-layer substrate material. The results are shown in Table 2 above. From this result, YAG
It can be seen that the laser-drilled via structure according to the present invention has excellent paste retention characteristics during paste embedding.

【0097】この単層基板の両面に銅箔を張り合わせて
180℃、1時間、50 kg/cm2 の条件で真空熱圧着し
た後、銅箔をパターニングして配線を形成し両面板構成
とした。更にこの両面板の両側に上記の充填ビア単層基
板を、両外側を銅箔で挟んで上記と同様の条件で真空熱
圧着し、銅箔をパターニングして回路形成して4層構成
としたものについて、−55℃、125℃各30分保持
500サイクルの熱衝撃試験を実施し、回路中から銅箔
に挟まれた3000ビアを選んで試験の前後で抵抗値が
2倍以上になったものについて不良としてカウントし
た。結果を前記表2に示す。この結果から、本発明のビ
ア構造を有する基板は、耐熱衝撃特性に優れることがわ
かる。
A copper foil was bonded to both surfaces of the single-layer substrate, and was subjected to vacuum thermocompression bonding at 180 ° C. for 1 hour at 50 kg / cm 2 , and then the copper foil was patterned to form wiring to form a double-sided board structure. . Further, on both sides of this double-sided board, the above-mentioned filled via single-layer board was sandwiched between copper foils on both sides by vacuum thermocompression bonding under the same conditions as above, and the copper foil was patterned to form a circuit to form a four-layer structure. For those, a thermal shock test of 500 cycles of holding at −55 ° C. and 125 ° C. for 30 minutes each was performed, and 3000 vias sandwiched between copper foils were selected from the circuit, and the resistance value was more than doubled before and after the test. Those were counted as bad. The results are shown in Table 2 above. From these results, it is understood that the substrate having the via structure of the present invention has excellent thermal shock resistance.

【0098】(実施例12) ガラス織布とそれぞれ熱硬化性かつ未硬化のフェノール
樹脂、エポキシ樹脂、BTレジン、ポリイミドによる各
コンポジットおよびアラミド不織布とそれぞれ熱硬化性
かつ未硬化のフェノール樹脂、エポキシ樹脂、BTレジ
ン、ポリイミドによる各コンポジットの計8種類の単層
基板にエキシマレーザーでビア穴明け加工した。8種類
の単層基板における、レーザー加工条件とそのときの穴
径、穴内構造について表3に示す。
(Example 12) Glass woven fabric, thermosetting and uncured phenolic resin, epoxy resin, BT resin, polyimide composite and aramid nonwoven fabric, and thermosetting and uncured phenolic resin, epoxy resin, respectively , BT resin, and polyimide were subjected to via drilling on a total of eight types of single-layer substrates using an excimer laser. Table 3 shows the laser processing conditions, the hole diameters at that time, and the structures in the holes for the eight types of single-layer substrates.

【0099】[0099]

【表3】 [Table 3]

【0100】基板の剥離フィルムの上に導電性ペースト
をのせ、スクリーン印刷機を用いてウレタンゴムスキー
ジによるスキージングで均一厚さに塗布した。穴加工を
施した各基板の下には50μm厚の中質紙を介して吸引
器具を配置し、減圧することにより導電性ペーストを埋
め込み、充填ビアホールとした。単層基板は全て120
〜140μmの厚みのものを用いた。なお導電性ペース
トについては、実施例1と同じものを用いた。埋め込み
を行った総ビア穴数に対してスキージング後ステージ上
で中質紙から剥離した際に穴抜けしたビア数を、各単層
基板材料で比較した。結果を前記表3に示す。この結果
から、エキシマレーザーで穴明けを行った本発明による
ビア構造を持つものは、ペースト埋め込みにおけるペー
スト保持特性に優れることかわかる。
A conductive paste was placed on the release film of the substrate, and applied to a uniform thickness by squeezing with a urethane rubber squeegee using a screen printer. A suction device was placed under each hole-processed substrate through a 50 μm-thick medium paper, and the pressure was reduced to fill a conductive paste to form a filled via hole. All single layer substrates are 120
One having a thickness of about 140 μm was used. Note that the same conductive paste as in Example 1 was used. With respect to the total number of embedded via holes, the number of via holes that were pierced when peeled from the medium paper on the stage after squeezing was compared for each single-layer substrate material. The results are shown in Table 3 above. From these results, it can be seen that the one having the via structure according to the present invention in which the excimer laser is used for drilling is excellent in the paste holding property in the paste embedding.

【0101】この単層基板の両面に銅箔を張り合わせて
180℃、1時間、50 kg/cm2 の条件で真空熱圧着し
た後、銅箔をパターニングして配線を形成し両面板構成
とした。更にこの両面板の両側に上記の充填ビア単層基
板を、両外側を銅箔で挟んで上記と同様の条件で真空熱
圧着し、銅箔をパターニングして回路形成して4層構成
としたものについて、−55℃、125℃各30分保持
500サイクルの熱衝撃試験を実施し、回路中から銅箔
に挟まれた3000ビアを選んで試験の前後で抵抗値が
2倍以上になったものについて不良としてカウントし
た。結果を前記表3に示す。この結果から、本発明のビ
ア構造を有する基板は、耐熱衝撃特性に優れることがわ
かる。
A copper foil was adhered to both surfaces of this single-layer substrate and subjected to vacuum thermocompression bonding at 180 ° C. for 1 hour at 50 kg / cm 2 , and then the copper foil was patterned to form wiring to form a double-sided board structure. . Further, on both sides of this double-sided board, the above-mentioned filled via single-layer board was sandwiched between copper foils on both sides by vacuum thermocompression bonding under the same conditions as above, and the copper foil was patterned to form a circuit to form a four-layer structure. For those, a thermal shock test of 500 cycles of holding at −55 ° C. and 125 ° C. for 30 minutes each was performed, and 3000 vias sandwiched between copper foils were selected from the circuit, and the resistance value was more than doubled before and after the test. Those were counted as bad. The results are shown in Table 3 above. From these results, it is understood that the substrate having the via structure of the present invention has excellent thermal shock resistance.

【0102】以上のように本発明のプリント配線板は、
密閉構造の空孔を有する未硬化の基板材料に設けられた
貫通孔と貫通孔の内壁から基板材料内部に存在する空孔
が前記貫通孔形成時に開孔した凹部に導電性ペーストが
充填されることにより、アンカー効果が増大し、導電性
ペーストと貫通孔の壁面との密着性が向上する。この結
果耐熱衝撃特性の優れたプリント配線板が実現できる。
As described above, the printed wiring board of the present invention
Through holes provided in an uncured substrate material having holes of a closed structure and holes present inside the substrate material from the inner walls of the through holes are filled with a conductive paste in the recesses opened when the through holes are formed. Thereby, the anchor effect is increased, and the adhesion between the conductive paste and the wall surface of the through hole is improved. As a result, a printed wiring board having excellent thermal shock resistance can be realized.

【0103】[0103]

【発明の効果】以上説明した通り、本発明によれば、樹
脂含浸繊維シート基板の厚さ方向に、貫通孔が形成さ
れ、前記貫通孔には基板の厚さ方向に電気的接続をする
ための導電性樹脂組成物が充填されているプリント配線
板であって、前記基板と導電性樹脂組成物とは一体化さ
れていることにより、導電性樹脂組成物と基板の貫通孔
の壁面との密着性を向上し、信頼性の高いプリント配線
板を実現できる。
As described above, according to the present invention, a through-hole is formed in the thickness direction of the resin-impregnated fiber sheet substrate, and the through-hole is provided for electrical connection in the thickness direction of the substrate. A printed wiring board filled with the conductive resin composition of the above, wherein the substrate and the conductive resin composition are integrated, so that the conductive resin composition and the wall surface of the through hole of the substrate The adhesion is improved, and a highly reliable printed wiring board can be realized.

【0104】次に本発明のプリント配線板の製造方法の
構成によれば、両面をカバーフィルムで覆われ、かつ内
部に空孔を有する未硬化樹脂含浸繊維シート基板材料の
厚さ方向に、レーザー光照射により貫通孔を形成し、前
記貫通孔に導電性ペーストを充填し、次に前記カバーフ
ィルムを除去して前記基板材料の少なくとも片面に金属
箔を貼り合わせ、次に前記基板材料を加熱加圧して圧縮
硬化させて前記基板材料と導電性ペーストを一体化し、
しかる後、前記金属箔を所定の形状にパターニングする
ことにより、効率良く、かつ合理的に回路基板を製造で
きる。とくに、レーザー光の照射により貫通孔を形成す
るので、精密微細加工が可能である上、従来のドリル穴
開け加工と異なり、切削屑の発生もなく、クリーンな製
造環境を維持できる。
Next, according to the structure of the method for manufacturing a printed wiring board of the present invention, the laser beam is applied in the thickness direction of the uncured resin impregnated fiber sheet substrate material, both surfaces of which are covered with a cover film and have pores therein. A through hole is formed by light irradiation, the through hole is filled with a conductive paste, the cover film is removed, a metal foil is attached to at least one side of the substrate material, and then the substrate material is heated. Press and compress and harden to integrate the substrate material and conductive paste,
Thereafter, by patterning the metal foil into a predetermined shape, a circuit board can be efficiently and rationally manufactured. In particular, since the through-hole is formed by irradiating a laser beam, precision fine processing is possible, and unlike the conventional drilling, no cutting chips are generated and a clean manufacturing environment can be maintained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施例1の回路基板の断面図FIG. 1 is a sectional view of a circuit board according to a first embodiment of the present invention.

【図2】(a)〜(g)は本発明の実施例1の回路基板
の製造方法を示す工程断面図
FIGS. 2A to 2G are process cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a circuit board according to Embodiment 1 of the present invention.

【図3】本発明の(a)〜(h)は実施例2における多
層回路基板の工程断面図
3 (a) to 3 (h) are cross-sectional views illustrating steps of a multilayer circuit board according to Embodiment 2. FIG.

【図4】(a)〜(f)は本発明の実施例3のプリント
配線板の製造方法の工程断面図
FIGS. 4A to 4F are process cross-sectional views of a method for manufacturing a printed wiring board according to a third embodiment of the present invention.

【図5】(a)〜(h)は本発明の実施例4におけるプ
リント配線板の製造方法を示す工程断面図
FIGS. 5A to 5H are process cross-sectional views illustrating a method for manufacturing a printed wiring board in Embodiment 4 of the present invention.

【図6】(a)〜(e)は本発明の実施例5におけるプ
リント配線板の製造方法を示す工程断面図
FIGS. 6A to 6E are process cross-sectional views illustrating a method for manufacturing a printed wiring board in Embodiment 5 of the present invention.

【図7】(a)〜(c)は本発明の実施例6の基板材料
と導電性樹脂組成物との一体化構造の概略断面図
FIGS. 7A to 7C are schematic cross-sectional views of an integrated structure of a substrate material and a conductive resin composition according to Example 6 of the present invention.

【図8】(a)〜(e)は従来の両面プリント配線板の
製造方法を示す工程断面図
8 (a) to 8 (e) are process cross-sectional views illustrating a conventional method for manufacturing a double-sided printed wiring board.

【図9】本発明の実施例7におけるプリント配線板のリ
フロー試験結果を示す図
FIG. 9 is a diagram showing a reflow test result of a printed wiring board in Example 7 of the present invention.

【図10】本発明の実施例7における多孔質基材を圧縮
するプレス圧力と密閉構造の空孔を有する未硬化の基板
材料の平均空孔径および空孔率の関係を示す図
FIG. 10 is a diagram showing the relationship between the pressing pressure for compressing a porous substrate and the average pore diameter and porosity of an uncured substrate material having pores of a closed structure in Example 7 of the present invention.

【図11】本発明の実施例7における密閉構造の空孔を
有する未硬化の基板材料の平均空孔径とプリント配線板
の半田リフローによる抵抗変化量の関係を示す図
FIG. 11 is a diagram showing the relationship between the average pore diameter of an uncured substrate material having pores having a closed structure and the amount of change in resistance due to solder reflow of a printed wiring board in Example 7 of the present invention.

【図12】本発明の実施例7における密閉構造の空孔を
有する未硬化の基板材料の空孔率とプリント配線板の半
田リフローによる抵抗変化量の関係を示す図
FIG. 12 is a diagram showing the relationship between the porosity of an uncured substrate material having pores of a closed structure and the amount of resistance change due to solder reflow of a printed wiring board in Example 7 of the present invention.

【図13】本発明の実施例8における多層プリント配線
板の半田リフロー試験の結果を示す図
FIG. 13 is a view showing a result of a solder reflow test of a multilayer printed wiring board in Example 8 of the present invention.

【図14】本発明の実施例9における多層プリント配線
板の半田リフロー試験の結果を示す図
FIG. 14 is a diagram showing a result of a solder reflow test of a multilayer printed wiring board in Example 9 of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

101 絶縁基板 102 金属箔(回路パターン) 103 導電性ペースト 103a バインダ樹脂の一部 201,402 保護フィルム 202,401,503 多孔質基材 202a,404,504 空孔 203,405 貫通孔 204,407,505 導電性ペースト 204a,407a 導電性ペーストの一部の樹脂 205,304,305,408,501,502 銅
箔 205a,409 回路パターン 206,303,511 回路基板 301,302,509,510 中間接続体 306,514 多層回路基板 406 貫通孔の凹部
Reference Signs List 101 Insulating substrate 102 Metal foil (circuit pattern) 103 Conductive paste 103a Part of binder resin 201,402 Protective film 202,401,503 Porous base material 202a, 404,504 Hole 203,405 Through hole 204,407, 505 Conductive paste 204a, 407a Partial resin of conductive paste 205, 304, 305, 408, 501, 502 Copper foil 205a, 409 Circuit pattern 206, 303, 511 Circuit board 301, 302, 509, 510 Intermediate connector 306, 514 Multilayer circuit board 406 Recess of through hole

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 川北 晃司 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (72)発明者 十河 寛 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (72)発明者 中谷 誠一 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (56)参考文献 特開 平3−145796(JP,A) 特開 平1−228197(JP,A) 特開 平3−75557(JP,A) 特開 平4−154187(JP,A) 特開 昭62−283695(JP,A) 特開 昭54−38562(JP,A) 特開 昭59−175191(JP,A) 特開 昭63−265488(JP,A) 特開 平6−268345(JP,A) ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (72) Inventor Koji Kawakita 1006 Kazuma Kadoma, Osaka Prefecture Inside Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. In-company (72) Inventor Seiichi Nakatani 1006 Kadoma, Kadoma, Osaka Pref. Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. (56) References JP-A-3-145796 (JP, A) JP-A 1-228197 (JP, A JP-A-3-75557 (JP, A) JP-A-4-154187 (JP, A) JP-A-62-283695 (JP, A) JP-A-54-38562 (JP, A) JP-A-59-1983 175191 (JP, A) JP-A-63-265488 (JP, A) JP-A-6-268345 (JP, A)

Claims (36)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 樹脂含浸繊維シート基板の厚さ方向に、
貫通孔が形成され、前記貫通孔には基板の厚さ方向に電
気的接続をするための導電性樹脂組成物が充填されてい
るプリント配線板であって、前記樹脂含浸繊維シート基
板材料は内部に密閉構造の空孔を有し、前記基板と前記
導電性樹脂組成物とは、前記導電性樹脂組成物が前記基
板中の密閉構造の空孔から形成された複数の凹部に充填
された状態で前記基板の内部へ突出した構造により一体
化されていることを特徴とするプリント配線板。
1. A resin-impregnated fiber sheet substrate in a thickness direction,
A printed wiring board, wherein a through hole is formed, and the through hole is filled with a conductive resin composition for making electrical connection in a thickness direction of the substrate, wherein the resin impregnated fiber sheet base is provided.
The plate material has an air hole of a closed structure inside, and the substrate and the
The conductive resin composition means that the conductive resin composition is
Fills multiple recesses formed from hermetically sealed holes in the plate
A printed wiring board, wherein the printed wiring board is integrated by a structure protruding into the substrate in a state where the printed circuit board is formed.
【請求項2】 樹脂含浸繊維シート基板の厚さ方向に、
貫通孔が形成され、前記貫通孔には基板の厚さ方向に電
気的接続をするための導電性樹脂組成物が充填されてい
るプリント配線板であって、前記導電性樹脂組成物が、
金属微粒子と樹脂との組成物であり、かつ前記金属微粒
子の大きさが、平均粒子直径0.2〜20μmの範囲で
あるとともに、前記導電性樹脂組成物の一成分である樹
脂が前記基板中に浸透した構造により前記基板と前記導
電性樹脂組成物とは一体化されていることを特徴とする
プリント配線板。
2. A resin-impregnated fiber sheet substrate in the thickness direction,
A through-hole is formed, and the through-hole has an electric current in the thickness direction of the substrate.
Filled with a conductive resin composition for pneumatic connection
Printed wiring board, wherein the conductive resin composition,
A composition of metal fine particles and a resin, and wherein the metal fine particles
In the range of the average particle diameter of 0.2 to 20 μm,
Together with the and I Ri said substrate infiltrated structure resin in said substrate is a component of the conductive resin composition guide is
Characterized by being integrated with the conductive resin composition
Printed wiring board.
【請求項3】 樹脂含浸繊維シート基板の厚さ方向に、
貫通孔が形成され、前記貫通孔には基板の厚さ方向に電
気的接続をするための導電性樹脂組成物が充填されてい
るプリント配線板であって、前記導電性樹脂組成物が、
金属微粒子と樹脂との組成物であり、かつ前記金属微粒
子の大きさが、平均粒子直径0.2〜20μmの範囲で
あるとともに、前記導電性樹脂組成物の一成分である樹
脂と、前記基板の含浸樹脂とが共有結合して自己接着し
ていることにより、前記基板と前記導電性樹脂組成物と
は一体化されていることを特徴とするプリント配線板。
3. The resin impregnated fiber sheet substrate in the thickness direction,
A through-hole is formed, and the through-hole has an electric current in the thickness direction of the substrate.
Filled with a conductive resin composition for pneumatic connection
Printed wiring board, wherein the conductive resin composition,
A composition of metal fine particles and a resin, and wherein the metal fine particles
In the range of the average particle diameter of 0.2 to 20 μm,
With some, and the resin which is one component of the conductive resin composition by the impregnation resin of the substrate is self-adhesive covalently bonded, to the substrate and the conductive resin composition
Is a printed wiring board characterized by being integrated.
【請求項4】 樹脂含浸繊維シート基板の厚さ方向に、
貫通孔が形成され、前記貫通孔には基板の厚さ方向に電
気的接続をするための導電性樹脂組成物が充填されてい
るプリント配線板であって、前記導電性樹脂組成物内に
前記基板を構成する耐熱性合成繊維が突出した構造によ
り前記基板と前記導電性樹脂組成物とは一体化されてい
ることを特徴とするプリント配線板。
4. The resin impregnated fiber sheet substrate in the thickness direction,
A through-hole is formed, and the through-hole has an electric current in the thickness direction of the substrate.
Filled with a conductive resin composition for pneumatic connection
Printed wiring board, wherein the heat-resistant synthetic fiber constituting the substrate protrudes into the conductive resin composition.
The substrate and the conductive resin composition are integrated.
A printed wiring board, characterized in that:
【請求項5】 基板の含浸樹脂と導電性樹脂組成物の一
成分である樹脂とがともに熱硬化性樹脂である請求項1
〜4のいずれかに記載のプリント配線板。
5. The thermosetting resin according to claim 1, wherein the resin impregnated on the substrate and the resin which is a component of the conductive resin composition are both thermosetting resins.
A printed wiring board according to any one of claims 1 to 4 .
【請求項6】 熱硬化性樹脂がエポキシ樹脂,熱硬化性
ポリブタジエン樹脂,フェノール樹脂及びポリイミド樹
脂から選ばれる少なくとも一つである請求項に記載の
プリント配線板。
6. The printed wiring board according to claim 5 , wherein the thermosetting resin is at least one selected from an epoxy resin, a thermosetting polybutadiene resin, a phenol resin, and a polyimide resin.
【請求項7】 基板の樹脂含浸繊維シートが、耐熱性合
成繊維及びガラス繊維から選ばれる少なくとも一つを用
いたものである請求項1〜6のいずれかに記載のプリン
ト配線板。
Resin-impregnated fiber sheet 7. substrate, heat-resistant synthetic fibers and printed wiring board according to any one of claims 1 to 6 is obtained using at least one selected from glass fibers.
【請求項8】 耐熱性合成繊維が、芳香族ポリアミド繊
維及びポリイミド繊維から選ばれる少なくとも一つを用
いたものである請求項に記載のプリント配線板。
8. The printed wiring board according to claim 7 , wherein the heat-resistant synthetic fiber uses at least one selected from an aromatic polyamide fiber and a polyimide fiber.
【請求項9】 基板の樹脂含浸繊維シートが、不織布で
ある請求項1〜8のいずれかに記載のプリント配線板。
9. The printed wiring board according to claim 1, wherein the resin-impregnated fiber sheet of the substrate is a nonwoven fabric.
【請求項10】 導電性樹脂組成物中の金属微粒子が、
金、銀、銅、パラジウム、ニッケル及びこれらの合金か
ら選ばれる少なくとも一つである請求項1〜9のいずれ
に記載のプリント配線板。
10. The fine metal particles in the conductive resin composition,
10. The method according to claim 1, which is at least one selected from gold, silver, copper, palladium, nickel and alloys thereof.
Printed wiring board according to either.
【請求項11】 導電性樹脂組成物中の金属微粒子の存
在量が80〜92.5重量%の範囲である請求項1〜1
0のいずれかに記載のプリント配線板。
11. The method of claim abundance of metal particles of the conductive resin composition is in the range of 80 to 92.5 wt% 1-1
0. The printed wiring board according to any one of 0 .
【請求項12】 導電性樹脂組成物中の金属微粒子の大
きさが、平均粒子直径0.2〜20μmの範囲である請
求項1,4,5のいずれかに記載のプリント配線板。
12. The size of the fine metal particles of the conductive resin composition is in the range of average particle diameter 0.2~20μm printed wiring board according to any one of claims 1,4,5.
【請求項13】 導電性樹脂組成物を充填させた貫通孔
の大きさが、平均直径50〜300μmの範囲である請
求項1〜12のいずれかに記載のプリント配線板。
13. The conductive resin composition size of the through hole is filled with the printed wiring board according to any one of claims 1 to 12 in the range of average diameter 50 to 300 [mu] m.
【請求項14】 基板の表面であって、かつ導電性樹脂
組成物の末端部に回路パターンが形成されている請求項
〜13のいずれかに記載のプリント配線板。
14. A surface of the substrate, and a printed wiring board according to any one of claims 1 to 13 in which the circuit pattern to the distal end of the conductive resin composition is formed.
【請求項15】 両面をカバーフィルムで覆、かつ内
部に空孔を有する未硬化樹脂含浸繊維シート基板材料の
厚さ方向に、レーザー光照射により貫通孔を形成し、前
記貫通孔に導電性ペーストを充填し、次に前記カバーフ
ィルムを除去して前記基板材料の少なくとも片面に金属
箔を貼り合わせ、次に前記基板材料を加熱加圧して圧縮
硬化させることにより前記基板材料と導電性ペーストを
一体化し、しかる後、前記金属箔を所定の形状にパター
ニングすることを特徴とするプリント配線板の製造方
法。
15. We covered on both sides with a cover film, and the thickness direction of the uncured resin-impregnated fiber sheet substrate material having an internal pore, a through hole is formed by laser beam irradiation, conductive in the through-hole The paste is filled, then the cover film is removed, a metal foil is attached to at least one side of the substrate material, and then the substrate material and the conductive paste are heated and pressurized to be cured by compression. A method for manufacturing a printed wiring board, comprising: integrating and then patterning the metal foil into a predetermined shape.
【請求項16】 基板材料の両面に金属箔を貼り合わせ
る請求項1に記載のプリント配線板の製造方法。
16. A method of manufacturing a printed wiring board according to claim 1 5 of bonding a metal foil on both sides of the substrate material.
【請求項17】 両面をカバーフィルムで覆、かつ内
部に空孔を有する未硬化樹脂含浸繊維シート基板材料の
厚さ方向に、レーザー光照射により貫通孔を形成し、前
記貫通孔に導電性ペーストを充填し、次に前記カバーフ
ィルムを除去して前記基板材料の片面に金属箔を貼り合
わせた中間体を2枚用意し、前記中間体の金属箔の面が
外側になるように配置し、中央部に少なくとも2層以上
の配線パターンを有する回路基板を挟持し、全体を加熱
加圧して圧縮硬化させることにより前記基板材料と導電
性ペーストを一体化し、しかる後、前記表面の金属箔を
所定の形状にパターニングする多層プリント配線板の製
造方法。
17. We covered on both sides with a cover film, and the thickness direction of the uncured resin-impregnated fiber sheet substrate material having an internal pore, a through hole is formed by laser beam irradiation, conductive in the through-hole Filling with paste, then removing the cover film and preparing two intermediates in which a metal foil is attached to one surface of the substrate material, and arranged so that the metal foil surface of the intermediate is outside A circuit board having at least two or more wiring patterns in the center is sandwiched, and the board material and the conductive paste are integrated by heating and pressurizing and compressing and hardening the entire board. A method of manufacturing a multilayer printed wiring board for patterning into a predetermined shape.
【請求項18】 両面をカバーフィルムで覆、かつ内
部に空孔を有する未硬化樹脂含浸繊維シート基板材料の
厚さ方向に、レーザー光照射により貫通孔を形成し、前
記貫通孔に導電性ペーストを充填し、次に前記カバーフ
ィルムを除去して中間接続体を作成し、複数の両面プリ
ント配線板の間に、それぞれ前記中間接続体を挟持し、
全体を加熱加圧して圧縮硬化させることにより前記基板
材料と導電性ペーストを一体化する多層プリント配線板
の製造方法。
18. We covered on both sides with a cover film, and the thickness direction of the uncured resin-impregnated fiber sheet substrate material having an internal pore, a through hole is formed by laser beam irradiation, conductive in the through-hole Filling with paste, then removing the cover film to create an intermediate connector, sandwiching the intermediate connector between a plurality of double-sided printed wiring boards,
A method of manufacturing a multilayer printed wiring board in which the substrate material and the conductive paste are integrated by heating and pressurizing the whole to compress and harden.
【請求項19】 未硬化樹脂含浸繊維シート基板材料内
部の空孔が、密閉構造の空孔である請求項15,17又
は18に記載のプリント配線板の製造方法。
19. uncured resin impregnated fiber sheet substrate material inside the pores, claim 15 and 17 also is a vacancy closed structure
19. The method for manufacturing a printed wiring board according to item 18 .
【請求項20】 密閉構造の空孔を有する未硬化の基板
材料の空孔径が5〜20μmである請求項15,17又
は18に記載のプリント配線板の製造方法。
20. pore diameter of the substrate material of the uncured having pores of the sealed structure is 5~20μm claim 15, 17 also
19. The method for manufacturing a printed wiring board according to item 18 .
【請求項21】 空孔を有する未硬化の基板材料の空孔
率が2〜35%である請求項15,17又は18に記載
のプリント配線板の製造方法。
21. The method for producing a printed wiring board according to claim 15 , wherein the porosity of the uncured substrate material having pores is 2 to 35%.
【請求項22】 基板材料の加熱温度が170〜260
℃の範囲である請求項15,17又は18に記載のプリ
ント配線板の製造方法。
22. The heating temperature of the substrate material is from 170 to 260.
The method for producing a printed wiring board according to claim 15, 17 or 18 , wherein the temperature is in the range of ° C.
【請求項23】 基板材料の加圧力が20〜80kg/
cm2 の範囲である請求項15,17又は18に記載の
プリント配線板の製造方法。
23. The pressing force of the substrate material is 20 to 80 kg /
19. The method for manufacturing a printed wiring board according to claim 15, 17 or 18 , wherein the range is cm 2 .
【請求項24】 レーザー光の照射により、貫通孔に基
板材料中の繊維の一部を残存させる請求項15,17又
は18に記載のプリント配線板の製造方法。
24. The method according to claim 15, wherein a part of the fiber in the substrate material is left in the through hole by irradiating the laser beam.
19. The method for manufacturing a printed wiring board according to item 18 .
【請求項25】 導電性樹脂組成物として金属微粒子と
樹脂との組成物を用い、かつ貫通孔に導電性樹脂組成物
を充填する際に、導電性樹脂組成物の一成分である樹脂
を基板中に浸透させて一体化させる請求項15,17又
は18に記載のプリント配線板の製造方法。
25. Use of a composition of fine metal particles and a resin as the conductive resin composition, and when filling the through-hole with the conductive resin composition, a resin which is one component of the conductive resin composition is coated on the substrate. 18. The method according to claim 15, 17 or 17,
19. The method for manufacturing a printed wiring board according to item 18 .
【請求項26】 導電性樹脂組成物の一成分である樹脂
と、基板の含浸樹脂とを実質的に同一系の樹脂を用い、
共有結合によって自己接着させて一体化させる請求項
5,17又は18に記載のプリント配線板の製造方法。
26. A resin, which is a component of the conductive resin composition, and a resin of substantially the same system as the impregnating resin for the substrate,
Claim be integrated by self-adhesive by a covalent bond 1
19. The method for producing a printed wiring board according to 5, 17 , or 18 .
【請求項27】 基板の含浸樹脂と導電性樹脂組成物の
一成分である樹脂とがともに熱硬化性樹脂であり、エポ
キシ樹脂,熱硬化性ポリブタジエン樹脂,フェノール樹
脂及びポリイミド樹脂から選ばれる少なくとも一つであ
る請求項15,17又は18に記載のプリント配線板の
製造方法。
27. Both the impregnated resin of the substrate and the resin which is one component of the conductive resin composition are thermosetting resins, and at least one selected from epoxy resin, thermosetting polybutadiene resin, phenol resin and polyimide resin. The method for producing a printed wiring board according to claim 15, 17 or 18 .
【請求項28】 貫通孔に導電性樹脂組成物を充填する
方法が、ロールコーティング法である請求項15,17
又は18に記載のプリント配線板の製造方法。
28. The method according to claim 15 , wherein the method of filling the through hole with the conductive resin composition is a roll coating method.
Or the method for manufacturing a printed wiring board according to 18 .
【請求項29】 基板の樹脂含浸繊維シートが、耐熱性
合成繊維及びガラス繊維から選ばれる少なくとも一つを
用いたものである請求項15,17又は18に記載のプ
リント配線板の製造方法。
29. The method for manufacturing a printed wiring board according to claim 15 , wherein the resin-impregnated fiber sheet of the substrate uses at least one selected from heat-resistant synthetic fibers and glass fibers.
【請求項30】 耐熱性合成繊維が、芳香族ポリアミド
繊維及びポリイミド繊維から選ばれる少なくとも一つを
用いたものである請求項29に記載のプリント配線板の
製造方法。
30. The method for manufacturing a printed wiring board according to claim 29 , wherein the heat-resistant synthetic fiber uses at least one selected from an aromatic polyamide fiber and a polyimide fiber.
【請求項31】 基板の樹脂含浸繊維シートが、不織布
である請求項15,17又は18に記載のプリント配線
板の製造方法。
31. The method for manufacturing a printed wiring board according to claim 15 , wherein the resin-impregnated fiber sheet of the substrate is a nonwoven fabric.
【請求項32】 導電性樹脂組成物中の金属微粒子が、
金、銀、銅、パラジウム、ニッケル及びこれらの合金か
ら選ばれる少なくとも一つである請求項25に記載のプ
リント配線板の製造方法。
32. The fine metal particles in the conductive resin composition,
The method for manufacturing a printed wiring board according to claim 25 , wherein the method is at least one selected from gold, silver, copper, palladium, nickel, and an alloy thereof.
【請求項33】 導電性樹脂組成物中の金属微粒子の存
在量が80〜92.5重量%の範囲である請求項25
記載のプリント配線板の製造方法。
33. The method for producing a printed wiring board according to claim 25 , wherein the amount of the metal fine particles in the conductive resin composition is in the range of 80 to 92.5% by weight.
【請求項34】 導電性樹脂組成物中の金属微粒子の大
きさが、平均粒子直径0.2〜20μmの範囲である請
求項25に記載のプリント配線板の製造方法。
34. The method for producing a printed wiring board according to claim 25 , wherein the size of the metal fine particles in the conductive resin composition is in the range of 0.2 to 20 μm in average particle diameter.
【請求項35】 導電性樹脂組成物を充填させた貫通孔
の大きさが、平均直径50〜300μmの範囲である請
求項15,17又は18に記載のプリント配線板の製造
方法。
35. The method for producing a printed wiring board according to claim 15 , wherein the size of the through hole filled with the conductive resin composition is in the range of 50 to 300 μm in average diameter.
【請求項36】 レーザー光が、炭酸ガスレーザー,Y
AGレーザー及びエキシマレーザーから選ばれる少なく
とも一つである請求項15,17又は18に記載のプリ
ント配線板の製造方法。
36. The laser beam is a carbon dioxide gas laser, Y
The method for manufacturing a printed wiring board according to claim 15, 17 or 18 , which is at least one selected from an AG laser and an excimer laser.
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