JP2583595B2 - 駆動装置付きボールスプライン軸受 - Google Patents

駆動装置付きボールスプライン軸受

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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、産業用ロボットの腕などに用いられるボー
ルスプライン軸受に関するもので、特に軸受の中に駆動
装置を形成した駆動装置付きボールスプライン軸受に関
するものである。
〔従来の技術〕
従来の駆動装置付きボールスプライン軸受は、例えば
特開昭60−165057号に示されているようにボールスプラ
イン軸受のボールスプライン軸にボールねじ用の溝を形
成し、更に、ボールねじの外筒と駆動装置（モータ）を
一体化させてボールスプライン軸を移動させるものであ
った。
この構成の欠点は直径方向の大きさを押えるために、
ボールねじと駆動装置を長手方向に並べて取付けること
になり、長手方向寸法が長くなってしまうという問題が
あった。また、当然ながら、部品の点数が多くなり、管
理工数や組立て工数が増加し、コストアップとなり、直
動精度も低下するという問題があった。
〔発明が解決しようとする課題〕
本発明は、ボールスプライン軸の軸方向に、等間隔で
ボールスプライン溝より浅い円周溝を形成し、これをス
テップ溝にするリニアステップモータ（駆動装置）を形
成した駆動装置付きボールスプライン軸受を提供するこ
とにより、従来のものに比べて小形で安価に製作でき、
しかも高い直動精度が得られるようにしようとするもの
である。
〔課題を解決するための手段〕
本発明の駆動装置付きボールスプライン軸受は、上記
課題を解決するための手段として下記の構成を備えてい
る。
（１）軸方向のスプライン溝と円周方向の等間隔のステ
ップ溝とを形成したボールスプライン軸と、該ボールス
プライン軸とボールを介して嵌合し前記スプライン溝に
係合するボール軌道溝とこれに連結された無限循環路と
を有する外筒と、該外筒を回転自在に支持し一部に該外
筒を駆動回転するモータとその動力伝達機構を有する軸
受箱と、該軸受箱内で前記外筒の長手方向近傍に設けら
れ前記ステップ溝との組合せによって前記ボールスプラ
イン軸を進退させるリニアステップモータとを設けたこ
と。
（２）前記ボールスプライン軸における円周方向のステ
ップ溝が軸方向のスプライン溝よりも浅く形成されてい
ること。
（３）前記外筒において内周付近の軌道溝幅をボール径
よりも小さく形成して軌道溝からのボールの脱落を防止
したこと。
（４）前記リニアステップモータは軸方向に略Ｈ字状断
面を有する扇形片で各片にコイルを巻着したものをリン
グ状に組立てたコア２個とその中間にある円筒状の永久
磁石とからなること。
〔作 用〕
本発明によると、ボールスプライン軸は軸受箱におけ
るモータと伝達機構により外筒が駆動回転せられる際に
軌道溝、ボール、さらにスプライン溝を介して回転する
ことができる。またボールスプライン軸はリニアステッ
プモータがリニアパルスモータ動作原理によって、例え
ば２相励磁の場合、励磁コイルの電流方向を異なるモー
ド１、２、３、４と切換通電して、各モード毎に1/4ピ
ッチずつ移動し、４モードで１周期を完了するようにし
て、このモードの繰返しによりボールスプライン軸の直
線移動ができる。
〔実 施 例〕
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第１図は本発明の第１の実施例を示す一部切断正面図
である。この例はボール条列が２列のボールスプライン
軸受を使用しているが、これが３条列以上になっても問
題はない。図中、ボールスプライン軸１には、軸方向に
２条列のボール用のスプライン溝1aが形成されると共
に、多数の円周溝が軸方向に等間隔に形成されて、ステ
ップ溝1bとなっている。このスプライン溝1aに対応した
内周面にボールの軌道溝が形成されると共に、この軌道
軸を含めた無限循環路が形成されている外筒２は、該軌
道溝内の多数のボールを介してスプライン軸１と嵌合し
ている。
外筒２の外周面には一対の玉軸受３とその間にタイミ
ングプーリ４が固着され、更に玉軸受３は軸受箱５に嵌
合されて、外筒２が軸受箱５に対して回転自在となって
いる。外筒２のタイミングプーリ４と軸受箱５の外周面
に固着されたステッピングモータ６のタイミングプーリ
6aとはタイミングベルト７によって連結され、ステッピ
ングモータ６の駆動によって、外筒２が回転し、外筒２
の回転によってボールスプライン軸１が回転する。
軸受箱５内において外筒２の長手方向近傍には、コイ
ル8a、永久磁石8b、コア8cで構成されたリニアステップ
モータ８が取付けられており、ボールスプライン軸１に
形成されたステップ溝1bとの組合せによってボールスプ
ライン軸１を前進、後退するための駆動装置となってい
る。
第２図は第１図のリニアステップモータ８部分の拡大
図である。コア8cは軸方向断面が略Ｈ字状に形成されて
おり、中央の凹溝部分には、コイル8aが多数回巻付けら
れている。コイル8aに流れる電流の方向を変化させてコ
ア8c端面にできる磁極を変化させ、この実施例では４個
のモード変化により一つのステップ溝1bを移動する。
第３図はボールスプライン軸１の横断面図である。ボ
ールスプライン軸１には第１の実施例の場合、ボール用
の２条列に軌道溝が形成されており、スプライン溝1aよ
りも浅いステップ溝1bが形成されている。
第４図はコア8cの形状を示した斜視図で、コイルを巻
付ける前の状態を示す。軸方向断面は略Ｈ字状に形成さ
れており、軸方向の中央部分はコイルを巻き付けるため
の凹溝が周面に形成されている。半径方向の形状は扇状
となっている。
第５図は第４図に示すコア8cを円周方向に複数個組立
てて、リング状としたものを示す斜視図で、この形状に
してから軸受箱に嵌合する。（当然コイルは巻かれてい
る。） リニアステップモータＢの精度を左右する大きな一つ
の要因は、軸に形成するステップの外周面と、多数のコ
アで形成したリング内周面とのクリアランス（間隙）が
挙げられ、特に各種の形状が含まれている。
第６図、第７図は第１実施例に使用されたボールスプ
ライン軸１の斜視図である。外筒２にはボール用の軌道
溝と、それに連結された無限循環路（方向転換路とリタ
ーン路）が形成されている。外筒２の軌道溝内のボール
９は、外筒２の内周付近の軌道溝幅がボール径よりも小
さく形成されているため、軌道溝から脱落しない。外筒
２の軸方向両端には外側板10と内側板11の２枚で一組の
側板が取付けられ、これらには方向転換路が形成されて
いる。更に一組の側板の外側にはシールが取付けられて
潤滑材の漏洩防止や異物の混入防止を行っている。
第８図、第９図は内側板11と外側板10を示す図であ
る。内側板11は主として方向転換路の内側の壁面が形成
され、外側板10を方向転換路の外側の壁面が形成されて
いるので、２枚を重ね合わせるとボール９が通過する方
向転換路が形成される。
本発明は、リニアステップモータ８が付いたボールス
プライン軸受に関するものであって、外筒２の外周面に
取付けられた玉軸受３やタイミングプーリ４、更にはプ
ーリ４に連結されたタイミングベルト７及びステッピン
グモータ６などの構成については、ロボットの腕を想定
した一つの例を示したに過ぎない。第１図の構成につい
ては各種の技術が実施可能であり、これらの構成に本発
明は制限されるものではない。
〔発明の効果〕
（１）ボールスプライン軸受の外筒を回転自在に取付け
ることにより、一軸にて直線運動と回転トルクを伝達す
ることができる。
（２）直線運動用の駆動装置にボールねじを使用しない
ため、バックラッシュやロストモーションのない高い直
動精度と、高速なダイレクト駆動が可能である。
（３）小形化が可能で、しかも安価に製作することがで
きる。
（４）リニアステッピングモータとボールスプライン軸
受を同軸上に形成するため、ステップ溝とコアとのすき
まが均一となり、モータの精度が向上する。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明実施例の１例を示す一部切断正面図、第
２図は第１図の一部拡大図、第３図は第２図の要部横断
面図、第４、５、６図は要部の斜視図、第７図は要部の
拡大図、第８、９（ａ）、（ｂ）図は要部の斜視図およ
び説明図である。 図中の符号はそれぞれ下記部材を示す。 1:ボールスプライン軸 2:外筒 3:玉軸受 4:タイミングプーリ 5:軸受箱 6:ステッピングモータ 7:タイミングベルト 8:リニアステップモータ 9:ボール 10:外側板 11:内側板

Claims (4)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】軸方向のスプライン溝と円周方向の等間隔
    のステップ溝とを形成したボールスプライン軸と、該ボ
    ールスプライン軸とボールを介して嵌合し前記スプライ
    ン溝に係合するボール軌道溝とこれに連結された無限循
    環路とを有する外筒と、該外筒を回転自在に支持し一部
    に該外筒を駆動回転するモータとその動力伝達機構を有
    する軸受箱と、該軸受箱内で前記外筒の長手方向近傍に
    設けられ前記ステップ溝との組合せによって前記ボール
    スプライン軸を進退させるリニアステップモータとを設
    けたことを特徴とする駆動装置付きボールスプライン軸
    受。
  2. 【請求項２】前記ボールスプライン軸における円周方向
    のステップ溝が軸方向のスプライン溝よりも浅く形成さ
    れていることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載
    の駆動装置付きボールスプライン軸受。
  3. 【請求項３】前記外筒において内周付近の軌道溝幅をボ
    ール径よりも小さく形成して軌道溝からのボールの脱落
    を防止したことを特徴とする特許請求の範囲第１項に記
    載の駆動装置付きボールスプライン軸受。
  4. 【請求項４】前記リニアステップモータは軸方向に略Ｈ
    字状断面を有する扇形片で各片にコイルを巻着したもの
    をリング状に組立てたコア２個とその中間にある円筒状
    の永久磁石とからなることを特徴とする特許請求の範囲
    第１項に記載の駆動装置付きボールスプライン軸受。
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Families Citing this family (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5315189A (en) * 1991-09-25 1994-05-24 Systems, Machines, Automation Corporation Actuator with translational and rotational control
US5446323A (en) * 1991-09-25 1995-08-29 Systems, Machines, Automation Components Corporation Actuator with translational and rotational control
US5252939A (en) * 1992-09-25 1993-10-12 Parker Hannifin Corporation Low friction solenoid actuator and valve
US5744884A (en) * 1995-10-17 1998-04-28 Applied Precision, Inc. Liner motion micropositioning apparatus and method
EP0875982A1 (de) * 1997-04-29 1998-11-04 Sulzer Electronics AG Elektromagnetischer Linearantrieb
US7016261B2 (en) * 2002-12-09 2006-03-21 Baker Hughes, Incorporated Deep penetrating focused array
DE10324601A1 (de) * 2003-05-30 2004-12-16 Siemens Ag Antriebsvorrichtung für Linear- und Rotationsbewegung
DE102005005905A1 (de) * 2005-02-09 2006-08-17 Siemens Ag Werkzeugkopf zum Bewegen eines Werkzeugs mit mehreren beweglichen Achsen
JP4799959B2 (ja) * 2005-07-30 2011-10-26 Ｔｈｋ株式会社 リニアモータシリンダ装置
JP4799958B2 (ja) * 2005-07-30 2011-10-26 Ｔｈｋ株式会社 リニアモータシリンダ装置
WO2007015424A1 (ja) * 2005-07-30 2007-02-08 Thk Co., Ltd. リニアモータシリンダ装置
JP5268309B2 (ja) * 2006-12-26 2013-08-21 Ｔｈｋ株式会社 ロッドリニアアクチュエータ
JP5208432B2 (ja) * 2007-02-06 2013-06-12 クロノファング株式会社 リニアモータ
DE102007021322A1 (de) * 2007-05-07 2008-11-13 Siemens Ag Linearantriebsmodul für einen Dreh-Linear-Antrieb
US9748823B2 (en) 2012-06-25 2017-08-29 Systems Machine Automation Components Corporation Linear actuator with moving central coil and permanent side magnets
US9731418B2 (en) 2008-01-25 2017-08-15 Systems Machine Automation Components Corporation Methods and apparatus for closed loop force control in a linear actuator
US9381649B2 (en) 2012-06-25 2016-07-05 Systems Machine Automation Components Corporation Robotic finger
US20100133924A1 (en) * 2008-11-21 2010-06-03 Neff Edward August Compact linear actuator and method of making same
GB0804220D0 (en) * 2008-03-06 2008-04-16 Itw Ltd Bi-axial electromagnetic actuator
US9780634B2 (en) 2010-09-23 2017-10-03 Systems Machine Automation Components Corporation Low cost multi-coil linear actuator configured to accommodate a variable number of coils
US10807248B2 (en) 2014-01-31 2020-10-20 Systems, Machines, Automation Components Corporation Direct drive brushless motor for robotic finger
US9871435B2 (en) 2014-01-31 2018-01-16 Systems, Machines, Automation Components Corporation Direct drive motor for robotic finger
US10429211B2 (en) 2015-07-10 2019-10-01 Systems, Machines, Automation Components Corporation Apparatus and methods for linear actuator with piston assembly having an integrated controller and encoder
US10215802B2 (en) 2015-09-24 2019-02-26 Systems, Machines, Automation Components Corporation Magnetically-latched actuator
US10675723B1 (en) 2016-04-08 2020-06-09 Systems, Machines, Automation Components Corporation Methods and apparatus for inserting a threaded fastener using a linear rotary actuator
US10865085B1 (en) 2016-04-08 2020-12-15 Systems, Machines, Automation Components Corporation Methods and apparatus for applying a threaded cap using a linear rotary actuator
KR102256777B1 (ko) 2016-12-07 2021-05-27 엠티에스 시스템즈 코포레이숀 전동 액츄에이터
US10205355B2 (en) 2017-01-03 2019-02-12 Systems, Machines, Automation Components Corporation High-torque, low-current brushless motor

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS51125814A (en) * 1975-04-24 1976-11-02 Citizen Watch Co Ltd Printer-driving composite pulse motor
US4346728A (en) * 1980-07-28 1982-08-31 Anchor/Darling Industries, Inc. Automated dual mode valve actuator
GB2114703B (en) * 1981-12-04 1985-09-04 Hiroshi Teramachi Ball screw and nut mechanism and two-speed feed arrangement incorporating same
JPS62165057A (ja) * 1986-01-13 1987-07-21 Nippon Seiko Kk ボ−ルねじ装置
DE8614673U1 (ja) * 1986-05-30 1987-10-15 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart, De
JPS63686U (ja) * 1986-06-20 1988-01-06
DE3866468D1 (de) * 1987-02-26 1992-01-09 Rottermann Ag Waelzkoerper-laengslager an relativ zueinander laengsverschiebbaren traegern.

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Publication number Publication date
JPH02176217A (ja) 1990-07-09
US5051635A (en) 1991-09-24

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