JP2582242B2 - 所定配向の基質を包含する繊維及びその製造方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （発明の分野） 本発明は、材料をポリッシング即ち研磨或いは光沢仕
上する（以下単に磨くという）為の、特に半導体ウエハ
を磨く為に使用する基質として非常に有益な工業製品に
関する。更に詳しくは本発明は、多孔質エラストマを含
浸させて成る繊維質フエルト片或いはシートにして、フ
エルトを形成している繊維の大部分が製品の磨き面、支
承面、その他の如き作用面として使用される表面に対し
て主に横断方向に配向され、それによつて、作用面に隣
接する繊維端部の大部分と、好ましくは繊維の長手方向
軸とが作用面に対して約45°及び約135°の間の角度を
為すフエルトより成る微孔質（Poromeric）材料に関す
る。本発明はそうした新規な製品の製造方法にもまた関
する。

（従来技術の説明） 本発明の製品を使用し得る磨き及びその他の作業の為
に用いられる従来の基質としては、ウレタンの如き微孔
質（Microporous）エラストマを含浸させた、ポリエス
テル繊維の様な繊維から作製された不織フエルト片、或
いは不織フエルトのウエブが挙げられる。従来製品の典
型例はCORFAM（E.I du Pont de Nemours社の商標）及び
SUBA IV（Rodel,Inc社の商標）微孔質材料である。

従来製品に於て、含浸フエルトの繊維は無秩序に配向
されてはいるが、全体的にはフエルトウエブの主表面に
対して平行であるものが大多数である。従来の微孔質材
料の製造に使用されたフエルトウエブは、ウエブに於て
繊維の三次元的な無秩序配向を実現しようとする努力の
下に、挿込み（ニードリング）を含む周知の技法によつ
て製造された。而しながら、実際上はそうした三次元的
無秩序配向は実現されることはめつたになく、殆どの製
品はウエブの主表面の平面に全体的に平行に整列してし
まう。

従来の微孔質磨き用パツドでは、パツドを一体に保持
し且つ軟質エラストマ系成分を支持する繊維は磨き作用
には殆ど役立たず、逆に使用済みの磨き用スラリ、磨き
作用等に於て除去された製品の細い粒子等を補促するこ
とによつて磨き作用を妨害及び阻止しがちである。繊維
は、パツド表面に於ては、有効な磨き成分である、微孔
質エラストマの大部分を工作物から遮断する。繊維の側
面部は効果的な磨き作用を果さない。

従来の磨き用パツドは、パツド表面の繊維が、磨くべ
き製品の表面に実際上引掻き傷を残す恐れのある異物を
捕促した時、しばしばパツドの厚さの10％以下が使用さ
れた時点に於て、交換されねばならない。磨き用に使用
される微孔質エラストマの表面は一種の「ポンプ作用」
を持つ。微孔質パツドの表面における或いはその近くの
細孔にその周回からかかる通過する工作物の圧力が細孔
を圧縮し、使用済の磨き用スラリ及び不純物がパツドの
回転に伴つて吐き出される。次いで細孔は拡開しそして
新しい磨き用スラリが充満される。しかし、従来のパツ
ドの細孔は、目詰りしやすく、そうなるとパツドを硬化
しそして密集した或いは弱体になつた水平状繊維の束に
よつて非柔軟領域が発現する。そうなると、パツドの柔
軟性は低減され、ポンプ作用が抑制される。

本発明は特に磨き用基質として使用される場合に於
て、従来の微孔質材料に係る欠点を解消し、そして従来
の微孔質材料を上回る有意義な改良を果すものである。

明細書中、例えば「繊維端部が作用面に隣接している
場所に於て」における「隣接」とは、繊維端部が作用面
或いはその僅かに上方か或いは下方にある事を意味す
る。

同じく、「主に横断方向に」とは所定の表面に対し約
45°から約135°の角度を為す事を意味する。

そして「作用面」とは、磨き用表面、負荷支承表面そ
の他の如く、工作物に接触する表面として作用する本発
明製品の表面を意味する。

（発明の概要） 本発明はその一つの局面に於て、微孔質エラストマを
含浸させた繊維のフエルトシートにして、作用面と、作
用面に接続する側面と、側面対に接続する支持表面とを
有し、作用面に隣接する繊維端部の大部分が作用面に対
して約45°から135°の間の角度を為すよう大部分の繊
維が作用表面に対して主に横断方向に配向されるフエル
トシートによつて特徴付けられる微孔質製品に関する。

本発明は、別の局面に於て、以下に述べる段階即ち大
部分の繊維が所定の配向を為す様配列された繊維から成
るフエルトシートを形成し、フエルトシートに微孔質エ
ラストマを含浸させる段階、エラストマを含浸させたフ
エルトシートを巻回する事によつて予備成形物を作製す
る段階、そして予備成形物を繊維の大部分が切断面即ち
作用面を形成する切断面に対して主に横断方向に配向す
る様にして切断する段階によつて特徴付けられる製品の
製造方法に関している。

本発明はまた別の局面に於て、微孔質製品及びその製
造方法に関し、そこでは支持ウエブ中の大部分の繊維
は、剪断パイル織カーペツト製造に使用される如き従来
のカーペツト製造技法或いは植毛として知られる様な技
法によつて、ウエブの作用面に対して主に横断方向に配
向され、次いで微孔質エラストマが含浸されそして硬化
せしめられる。

本発明の微孔質材料における、主に横断方向に配列さ
れ強化用繊維の、作用面に隣接し、またそこから僅かに
伸延する、端部は、磨きに悪影響を与える傾向を持つだ
けの単なる強化用構造体では無く、有効な磨き成分とな
る。繊維は全体として、使用済のスラリ粒子或いは他の
不純物を捕えない。更に、その様な繊維の端部、即ち先
端は均一に磨耗し且つ繊維状のフエルトに於て目詰りし
ない。と言うのはそれらは小さく、使用時にパツドから
容易に除去されるからである。その結果、エラストマの
新しい磨き用表面が実質上連続的に露呈する。

一群の或いは一続きのパツドを、それらの作用面が実
質上同一平面となる様にして結合する事によつてラミネ
ート（成層）製品を形成した場合は、接着剤層も又大部
分の繊維と同様、作用面に対して主に横断方向に且つ好
ましくは実質上作用面に対して直角を為す。こうして、
好ましくはフエルト層に含浸させる為に用いたと同一の
エラストマから成る接着剤も又、有益な磨き用機能を果
し、そして磨かれるべき表面を払拭する。

本発明の微孔質製品は、それ自体を磨きパツドとして
使用する為にも或いは半導体ウエハ、シリコンウエハ、
クリスタル、ガラス、セラミツク、高分子プラスチツク
材料、金属、石その他の表面の為の所望の表面仕上げを
提供するべく、磨き用スラリが使用される磨き作業での
ウエブとして使用する為にも非常に良く適している。本
発明は多くの別の分野使用されうる。それには例えば支
承体或いは支承表面、シール及びガスケツト、革砥ぎデ
イスク、バフ車、絞り機、スクラバー、ブレーキ及び掴
みパツド、印刷ローラ及び印刷ローラカバー、ヒツキイ
ピツカー（hickey pickers）、インパクトカーテン（im
pact curtains）、履き物及び他の衣類、特に防水性、
通気性品目が含まれる。従つて、本発明は磨き用途の使
用を開示するものであるが、これは例示上の目的の為だ
けのものであつて、そうした用途に限定されるものでは
無い。

（好ましい実施例の説明） 図面を参照して詳しく説明する。同じ数字は同じ要素
を表わす。第１図、２図、６図及び７図には、本発明に
従つて製造された製品10が示される。第１図には、接着
剤52によつて側方に位置する同様の製品10′及び10″に
接合された製品10が例示される。

第１図、２図及び７図に示される様な製品10は作業表
面12を有している。製品10′及び10″は夫々作業表面1
2′及び12″を有している（第１図参照）。

微孔質製品10は、２つの主要成分、即ち、繊維質フエ
ルトウエブ或いはマツト14（第３図、４図及び５図に最
も良く示される）にして、フエニルトを構成する繊維の
大部分が以下に述べる様にして特定の方向に配向された
マツト14と、フエルト或いはマツト14に含浸させる多孔
質エラストマ32とを有する。繊維の大部分は、作業表面
12を形成することになる方向に対して主に横断方向に配
向される。

第２図は製品10の一部分だけの拡大図であつて、多孔
質エラストマ32を含浸させた繊維の全般的な配向を示し
ている。全体を16で示される大部分の繊維は作用面12に
対して主に横断方向に配向され、作用面に隣接する繊維
の端部18、従つて一般には繊維の長手方向軸は、作用面
に対して約45°（斜向された繊維17によつて代表され
る）から約135°（斜向された繊維19によつて代表され
る）の間の角度を為す。好ましくは、製品が磨き用パツ
ド或いは基質として使用される場合は、繊維は実質上作
用面12に対して直角を為す。無秩序に配向された全体的
に作用面に平行な繊維22及び反対方向に斜向された繊維
24と26とは、製品10を作るのに使用する含浸させたウエ
ブにおけるウエブを一体に保持する為に必要な他の繊維
の配向を代表している。研磨粒子を繊維内に組入れるこ
とが出来る。

以下に例示する実施例に於てはポリエステル繊維が使
用されるが、本発明の多孔質材料の為の不織のウエブを
作成する為に種々の型式の天然及び合成繊維を使用し得
る。

エラストマの調製、繊維の類型、或いはウエブにエラ
ストマを含浸させることに関してではなく、本発明の特
徴は、本発明に基く製品の製造の為の含浸させたフエル
トウエブにおける、繊維の特定の配向に在る。

第５図及び第６図は、前述で説明した如く整列した繊
維を有するフエルトウエブ14であつて適切なエラストマ
を含浸させた後のフエルトウエブ14を例示する。その
後、第５図及び７図に最も良く示される様に、含浸され
たウエブは複数のストリツプ27を形成するべく横断方向
に切断される。次に、ストリツプはウエブにおける切口
28（第５図参照）を形成する為の直線に沿つてウエブか
ら切取られる。切取られたストリツプ27の末端30（第７
図参照）は、フエルトウエブの切口28と合致する。かく
して、含浸させたフエルトウエブを横断方向に切断し、
そしてそれを横断方向の切口が作用面12を形成する様に
配向する事によつて本発明の微孔質製品10の一つの基本
的実施例が形成される。作用面が表面31として一般的に
代表される従来製品とは異り、本発明の表面31は作用面
では無く側面を表す。

本発明に従う基本的製品10は、含浸させたフエルトウ
エブの単一片の厚さに相当する幅（第７図に於てＷで示
す）を有し得るが、複数の製品10をラミネートして各製
品の作用面が実質上同一延長表面を為す様にすることが
好ましい。こうした構成は第１図に最も良く例示され、
そこではラミネートされた製品50は作用面に隣接しまた
そこから僅かに伸延する端部54を有する接着剤53によつ
て夫々の側縁31、31′及び31″に沿つて互いに重畳され
た製品10、10′及び10″で構成されている。端部54は、
繊維16の端部18が為すと同様の有効な磨き機能を果す。

接着剤52はフエルトに含浸する多孔質エラストマ32と
なじむ即ち適合性のよいエラストマ系接着剤でなければ
ならない。本発明に従う、代表的なラミネート製品50を
製作する為に、基本製品10の幾つかが互いにラミネート
され、次いでラミネートされた製品が、作用面12が磨き
表面、支持表面その他として使用される限りに於て所望
の形状に裁断、即ち加工される。

第８図は本発明のラミネート製品50で形成して成る磨
き用デイスクの幾つかの具体例の正面図である。第８図
ＡからＦまでの各々に於て、数字10はストリツプとして
形成された本発明の製品を示し、一方数字52は、製品10
のストリツプを互いに接着する為の接着剤を示す。

こうした構成の任意の組合わせ或いは任意の、即ち他
の構成のラミネート製品を、大部分の繊維が製品10のそ
してラミネート製品50の作用面に対して、主に横断方向
に配向される限りに於て作用し得る事が明らかである。
製品10或いはラミネート製品50の作用面は、効率的なス
ラリ流れ及びスラリ分布を容易とする様型押し、溝付
け、分割化、エンボス加工、穿孔、削り取り、分離その
他の方式で処理されうる。

以下に述べるものは本発明を具体的に例示するもので
ある。但し、本発明を限定するものではない。

（例１） 長さ約3.8cmの1.5デニール繊維を９部、そして同じ長
さの2.25デニール繊維を１部の割合で組合わせる事によ
つて、ポリエチレンテレフタレート製のフエルトシート
が製造された。繊維はローラーガード機に於て開繊され
そして混合された。混合された繊維は、従来的な方法に
於てカード処理（くしけずり処理）されそして交差重ね
されて繊維があらく絡みあつた層状のウエブとされた。
ウエブは刺込み機（ニードルパンチング機）に給送さ
れ、そこで先ず片側が、そして次に反対側が刺込み密度
が約320パンチ／cm²になる迄各々の側が８回、合計16
回、刺込み機を通して刺縫いされた。

ウレタンエラストマ系含浸用溶液が以下の如く調製さ
れた。73.5部の1000分子量のポリテトラメチレンエーテ
ルグリコールが、それと6.4部のトリレン−2,4−ジイソ
シアネートと混合しそして90℃で３時間加熱する事によ
つて二重重合された。生成した二量体がその6.4部と18.
4部のメチレンビス（４−フエニルイソシアネート）と
を混合しそして80℃で１時間加熱することによつてキヤ
ツプされた。キヤツプされた二量体、つまりイソシアネ
ート末端基を持つ初基重合体が、20％溶液を形成するべ
く十分な量のN,N−ジメチルホルムアミド（今後DMFと称
する）に溶解された。これとは別に、ヒドラジン水和物
の20％溶液が同じ溶剤を使用して調製された。２つの溶
液が、20％のエラストマ溶液を形成するべく一緒に混合
された。溶液はDMFでもつてウレタン含有量が約9.0％と
なる様希釈された。ポリ塩化ビニル（PVC）が9.0％溶液
を作るに十分な量のDMFに溶解された。85％のポリウレ
タン溶液及び15％のポリ塩化ビニル溶液から成るエラス
トマブレンド溶液が作成された。

ウエブが上記エラストマの9.0％ブレンド溶液に23.8
℃で浸漬され、それによつて実質的に溶液を含浸させ
た。エラストマは、含浸させたウエブを23.8℃の水中で
浸漬し、エラストマがウエブ全体に渡つて凝固される迄
そのままウエブを保持する事によつて、ウエブの密な繊
維構造体全域に渡つて一様に凝固された。含浸させたウ
エブは、次に実質上溶媒が無くなる迄水洗され、そして
後乾燥された。乾燥された微孔質ウエブは肉厚が約0.5c
mであつた。

カード処理及び交差重ねによつて、繊維の主たる配向
はウエブの加工方向に対して横断方向とされた。次にウ
エブは加工方向に沿つて幅およそ2.54cmのストリツプに
裁断され、従つて主たる繊維配向はストリツプの切口に
対して主に横断方向となり、これが作用面を形成した。

含浸させたウエブのストリツプを互いに接着する為の
接着剤が、接着剤溶液の濃度が約25％に増大される事を
除き、ウレタンエラストマを調製したと同じ材料及び方
法を使用して調製された。接着剤のほぼ0.025cmの塗膜
がストリツプの主表面上に塗布された。接着剤で被覆さ
れたストリツプは、次いで直径約56cmに達する迄渦巻状
に巻回された。渦巻体は十分に締付けて巻かれたので、
ストリツプの隣接する表面が互いに完全に押圧されそし
て小量の接着剤が界面から圧搾された。

接着剤が硬化する間、渦巻体は任意の適切な手段、例
えばガラス繊維強化接着テープの周囲巻帯或いはスチー
ル製バンドストラツプによつて然るべく保持されうる。

次に、渦巻体は良好に通気された炉に於て120℃で６
時間加熱（ベーキング）することによつて硬化された。

硬化した後、渦巻体は加圧巻帯を取外す前に冷却され
そして24時間熟成された。

渦巻体を肉厚0.25cmの薄肉シートに薄切りする事によ
つて、磨き用パツドが渦巻体から調製された。パツドは
第８図Ｃに例示される外観を有する。

薄切りされたパツドはストラスバーグ6CA研磨機に装
着され、シリコンウエハの予備磨きに使用された。パツ
ドは従来の標準対照パツドよりも20％から60％迅速に材
料を除去しうる事が分つた。ウエハの表面特性及び平坦
度は優秀であつた。

（例２） 含浸させたフエルトウエブは例１と同じ様式に於て調
製され、そして同様に幅2.54cmのストリツプに裁断され
た。

ストリツプは長さ1mに切断された。次いで各切断物の
主表面は例１と同じ方法によつて接着剤で被覆された。
次に、およそ200の被覆済ストリツプは枠組プレス機に
面同志向い合わせに載置され、そして各々のストリツプ
の表面が隣のストリツプの表面と完全に且つ密着状態と
するに十分な圧力がかけられた。集合体全体は次に熱風
炉に110℃で６時間置かれた。冷却した後、ラミネート
（成層）製品がプレス機から取出される。

第８図のＡ或いはＢに概略示される外観を有するパツ
ドが、ラミネート製品から薄切りされそして例１と同じ
方法で研磨機に装着された。性能において、このパツド
は例１のパツドよりも幾分優れていることが判明した。
例１及び例２のパツドは成層の仕方を除いて同一である
から、上記改善は磨くべきウエハに対する接着剤ライン
の配向に基くものと思われる。

例１のパツドに於て、層同志間の接着剤ラインは実質
上円周状である。パツドは研磨機においてウエハ上で回
転するにつれ、接着剤ラインは運動方向から数度以内に
於てウエハで移動する。他方、例２の接着剤ラインは真
直ぐで且つパツドの一つの弦に関して平行である。磨か
れた、即ちラツプ仕上げされた例２のパツド下の工作物
は、従つて、接着剤のラインとあらゆる角度で交差す
る。この効果は本発明の繊維パツドの性能を一層高める
ものと思われる。

（例３） この例では垂直に配向された繊維の単一ウエブから単
一のパツドが作製された。

主に横断方向の繊維が水平な作用面に対して垂直に配
向されているウエブを調製する為に剪断パイル織カーペ
ツトの製造に使用されると同様のカーペツト製造技術
が、使用された。

この例の為に、239.2g/m²のポリエステル短繊維を11
4.3gの軽量のポリエステルスクリムの片面に刺込むこと
（ニードルパンチング）によつて、繊維が垂直に配向さ
れた強化シートが作製された。使用された繊維は、3.8c
m長の2.2デニールけん縮ステープルであつた。刺込みに
よつて、フエルト繊維の主たる配向が垂直方向の絡み合
つたフエルトがスクリムの片面に創出された。繊維基質
の全肉厚は0.178cmであつた。

DMFに16重量％のエステン5707（ポリウレタンに対す
るビー・エフ・グツドリツチ社の商標）を溶解させるこ
とによつて多孔質結合剤溶液が調製された。前述の例と
同様、ウエブ繊維は結合剤溶液が含浸され、水中で凝固
され、洗浄されそして乾燥された。

この時点での材料の肉厚は約0.165cmであつた。材料
は次に凝固中に形成された0.025cm厚の「スキン」を除
去する為に頂面がバフがけされた。製造品は磨き用パツ
ドに裁断され、そして裏側（繊維状）が接着剤442（ミ
ネソタマイニング社の商標）の如き両面粘着テープを使
用して磨き機プラテンに被着された。

この例のパツドの除去割合は例２のそれと幾分下回つ
たが、それでも従来の対照パツドをはるかに上回つた。
しかしながら、例３のパツドは製造が比較的簡単且つ安
価であり、従つて経済上の実用性がある。

（発明の効果） 本発明によれば、 材料をポリッシングするための作用面に隣接する繊維
の端部が有効な磨き用構成部品を構成し、繊維が全体と
して使用済みの磨き用スラリ粒子或は他の不純物を捕捉
しない、従って繊維先端が均一に摩耗し且つ繊維状のフ
ェルトに於て目詰まりを生じず、その結果、エラストマ
の新しい磨き用表面が実質上連続的に露呈されてなる、
材料をポリッシングするための作用面を有してなるポリ
ッシング用微孔質製品とその製造方法並びに前記ポリッ
シング用微孔質製品のラミメート製品が提供される。

以上実施例に基き説明したが本発明の内で多くの変更
を為し得る事を銘記されたい。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明に従う重畳された製品の、中央部、端
部及び底部を破除した拡大部分断面図。 第２図は、第１図の一部分を更に拡大した部分断面図。 第３図は、本発明の為の基質の作製に使用される、巻い
たフエルトウエブの正面図。 第４図は、第３図に例示される巻いたフエルトウエブの
平面図。 第５図は、多孔質エラストマを含浸させた後における、
第３図及び４図のフエルトウエブの一部分の拡大平面図
であり、含浸させたフエルトウエブのフエルト繊維の方
向及び裁断を例示している。 第６図は、第５図を線６−６で切断した、含浸させたウ
エブの横断面図。 第７図は、第５図のウエブから裁断された一つのストリ
ツプの斜視図。 第８図ＡからＦは、本発明に従う重畳された製品を使用
する、磨き用パツドに賦形されたデイスクの種々の具体
例の平面図、である。 図中、主な部分の名称は以下の通りである。 12:作用面 14:フエルトウエブ 27:ストリツプ 28:切口 31,31′,31″：側縁 32:多孔質エラストマ 52:重畳された製品

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭49−9795（ＪＰ，Ａ) 特開 昭52−149692（ＪＰ，Ａ)

Claims (13)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】微孔質エラストマを含浸させた繊維より成
   るフェルトシートを含み、材料をポリッシングするため
   の作用面を有してなるポリッシング用微孔質製品であっ
   て、大部分の繊維が作用面に対し主に横断方向に配向さ
   れ、繊維は全体として使用済のスラリ粒子或いは他の不
   純物を捕らえにくいようにすると共に繊維端部を有効な
   磨き成分として機能せしめ、繊維端部をほぼ均一に摩耗
   せしめ繊維状のフェルトが目詰まりしにくいようにして
   微孔質エラストマの新しい磨き用表面が実質上連続的に
   露呈するようにしたポリッシング用微孔質製品。
2. 【請求項２】繊維は作用面に対して実質上交差している
   特許請求の範囲第１項記載のポリッシング用微孔質製
   品。
3. 【請求項３】エラストマはポリウレタンからなり、繊維
   はポリエステルから成る特許請求の範囲第２項記載のポ
   リッシング用微孔質製品。
4. 【請求項４】エラストマはポリウレタンからなり、繊維
   はポリエステルから成る特許請求の範囲第１項記載のポ
   リッシング用微孔質製品。
5. 【請求項５】作用面に対し主に横断方向に配向された繊
   維が製品の肉厚全体に渡り実質的に一様に分布してなる
   特許請求の範囲第１項乃至第４項のいずれかに記載のポ
   リッシング用微孔質製品。
6. 【請求項６】繊維中に研磨粒子を組み込んでなる特許請
   求の範囲第１項乃至第５項のいずれかに記載のポリッシ
   ング用微孔質製品。
7. 【請求項７】微孔質エラストマを含浸させた繊維より成
   るフェルトシートを含み、材料をポリッシングするため
   の作用面を有し、大部分の繊維が作用面に対し主に横断
   方向に配向され、繊維は全体として使用済のスラリ粒子
   或いは他の不純物を捕らえにくいようにすると共に繊維
   端部を有効な磨き成分として機能せしめ、繊維端部をほ
   ぼ均一に摩耗せしめ繊維状のフェルトが目詰まりしにく
   いようにして微孔質エラストマの新しい磨き用表面が実
   質上連続的に露呈するようにした複数のポリッシング用
   微孔質製品を互いに接着し且つ配向してなるラミネート
   製品であって、隣り合うラミネート製品の作用面が実質
   的に同一表面であるラミネート製品。
8. 【請求項８】エラストマはポリウレタンから成り、繊維
   はポリエステルからなる特許請求の範囲第７項記載のラ
   ミネート製品。
9. 【請求項９】ポリッシング用微孔質製品のポリウレタン
   となじむエラストマ系接着剤によりポリッシング用微孔
   質製品を互いに結合してなる特許請求の範囲第８項記載
   のラミネート製品。
10. 【請求項１０】ポリッシング用微孔質製品のポリウレタ
    ンと同一のポリウレタンによりポリッシング用微孔質製
    品を互いに結合してなる特許請求の範囲第８項記載のラ
    ミネート製品。
11. 【請求項１１】材料をポリッシングするための繊維製品
    を製造するための方法であって、予備成形物を形成して
    いる繊維の大部分を予備成形物の作用面に対し主に横断
    方向に配向すること、予備成形物に微孔質エラストマを
    含浸させること、エラストマを硬化せしめ、繊維は全体
    として使用済のスラリ粒子或いは他の不純物を捕らえに
    くいようにすると共に繊維端部を有効な磨き成分として
    機能せしめ、繊維端部をほぼ均一に摩耗せしめ繊維状の
    フェルトが目詰まりしにくいようにして微孔質エラスト
    マの新しい磨き用表面が実質上連続的に露呈するように
    することとから構成される材料をポリッシングするため
    の繊維製品を製造するための方法。
12. 【請求項１２】材料をポリッシングするための繊維製品
    の製造方法であって、大部分の繊維が所定の配向を提供
    するよう配列されてなる繊維製のフェルトシートを形成
    し、該フェルトシートに微孔繊維製のフェルトシートを
    形成し、該フェルトシートに微孔質エラストマを含浸さ
    せ、該微孔質エラストマを含浸させたフェルトシートを
    硬化させることにより予備成形物を作製すること、作製
    した予備成形物を、大部分の繊維が切断面に対し主に横
    断方向に配向されるように切断して作用面を形成し、所
    定の配向を提供するよう配列されてなる繊維の、作用面
    に隣接する端部の大部分が作用面に関し45°と135°と
    の間の角度を為さしめ、繊維は全体として使用済のスラ
    リ粒子或いは他の不純物を捕らえにくいようにすると共
    に繊維端部を有効な磨き成分として機能せしめ、繊維端
    部をほぼ均一に摩耗せしめ繊維状のフェルトが目詰まり
    しにくいようにして微孔質エラストマの新しい磨き用表
    面が実質上連続的に露呈するようにすることとを包含し
    てなる材料をポリッシングするための繊維製品の製造方
    法。
13. 【請求項１３】切断した複数の繊維製品を、隣り合う繊
    維製品の作用面が実質的に同一表面であるようにして互
    いに結合することによりラミネートされた繊維製品を形
    成することを含んでなる特許請求の範囲第12項記載の材
    料をポリッシングするための繊維製品の製造方法。