JP2580718B2 - バーニシング装置 - Google Patents
バーニシング装置Info
- Publication number
- JP2580718B2 JP2580718B2 JP14300488A JP14300488A JP2580718B2 JP 2580718 B2 JP2580718 B2 JP 2580718B2 JP 14300488 A JP14300488 A JP 14300488A JP 14300488 A JP14300488 A JP 14300488A JP 2580718 B2 JP2580718 B2 JP 2580718B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- burnishing
- medium
- magnetic
- head
- magnetic head
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B39/00—Burnishing machines or devices, i.e. requiring pressure members for compacting the surface zone; Accessories therefor
- B24B39/06—Burnishing machines or devices, i.e. requiring pressure members for compacting the surface zone; Accessories therefor designed for working plane surfaces
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は情報を磁気的に書き込みおよび読み出しを行
う磁気記録装置に関し、該記録装置に用いる磁気記録媒
体上に存在する突起を除去する装置。
う磁気記録装置に関し、該記録装置に用いる磁気記録媒
体上に存在する突起を除去する装置。
（従来の技術） 従来より、磁気ヘッドを通して磁気記録媒体（以下媒
体と称する）に情報を磁気的に書き込みおよび読み出し
を行う磁気記録装置には磁気テープ、磁気カード、フレ
キシルブルディスク、ハードディスクなどが実用化され
ているが、いづれも記録密度を高くするためには媒体と
磁気ヘッドの間隔を出来るだけ小さくすることが必要で
あり、現時点ではハードディスク装置において0.2ミク
ロンが最小である。
体と称する）に情報を磁気的に書き込みおよび読み出し
を行う磁気記録装置には磁気テープ、磁気カード、フレ
キシルブルディスク、ハードディスクなどが実用化され
ているが、いづれも記録密度を高くするためには媒体と
磁気ヘッドの間隔を出来るだけ小さくすることが必要で
あり、現時点ではハードディスク装置において0.2ミク
ロンが最小である。
（発明が解決しようとする問題点） 磁気ヘッドと媒体の間隔を小さくするため磁気テー
プ、磁気カード、フレキシブルディスクでは磁気ヘッド
と媒体を接触摺動させている。一方ハードディスクにお
いては、磁気ヘッドは空気の動圧力により磁気ヘッドに
取り付けられた押し圧バネに逆らい媒体上に非接触で浮
上するが、突起の高さ以下には磁気ヘッドと媒体の間隔
を小さくできない。あるいは媒体上の突起と磁気ヘッド
が接触摩耗（ヘッドクラッシュ）したり、磁気ヘッドの
浮上安定性が失われて出力変動やエラーの発生の原因と
なる。従来、第２図のように磁気ヘッド13を用いて媒体
上の突起15を除去すること（バーニシング）が行われて
きたが、磁気ヘッドがジンバルバネ14を介して支持され
て動きの自由度があることあるいは回転する磁気ディス
ク上を追従するため、十分な突起除去効果が得られない
うえに時には磁気ヘッドにより突起以外の清浄な媒体表
面に傷をつけることがみられた。
プ、磁気カード、フレキシブルディスクでは磁気ヘッド
と媒体を接触摺動させている。一方ハードディスクにお
いては、磁気ヘッドは空気の動圧力により磁気ヘッドに
取り付けられた押し圧バネに逆らい媒体上に非接触で浮
上するが、突起の高さ以下には磁気ヘッドと媒体の間隔
を小さくできない。あるいは媒体上の突起と磁気ヘッド
が接触摩耗（ヘッドクラッシュ）したり、磁気ヘッドの
浮上安定性が失われて出力変動やエラーの発生の原因と
なる。従来、第２図のように磁気ヘッド13を用いて媒体
上の突起15を除去すること（バーニシング）が行われて
きたが、磁気ヘッドがジンバルバネ14を介して支持され
て動きの自由度があることあるいは回転する磁気ディス
ク上を追従するため、十分な突起除去効果が得られない
うえに時には磁気ヘッドにより突起以外の清浄な媒体表
面に傷をつけることがみられた。
（問題点を解決するための手段） 本発明のバーニシング装置では媒体上の突起を効果的
に除去するため、媒体と除去屑の排出装置をつけたバー
ニシングヘッド間の距離を変位センサーにより測定しつ
つ、該距離を一定に保つように該磁気ヘッドに取り付け
たアクチュエータを駆動させて非接触あるいは極めて軽
荷重で媒体とヘッドの間隔を微小に保つことにより媒体
上の突起を除去することを特徴とする。
に除去するため、媒体と除去屑の排出装置をつけたバー
ニシングヘッド間の距離を変位センサーにより測定しつ
つ、該距離を一定に保つように該磁気ヘッドに取り付け
たアクチュエータを駆動させて非接触あるいは極めて軽
荷重で媒体とヘッドの間隔を微小に保つことにより媒体
上の突起を除去することを特徴とする。
（実施例） 次に図面を参照して本発明を詳細に説明する。第１図
は本発明の磁気記録装置の一実施例を示す図である。下
地体２と磁性媒体３からなる磁気記録体とバーニシング
ヘッド４の間隔は、光反射強度型変位計６から出た光が
光ファイバー５を通って媒体表面で反射した時の戻り光
の強度変化により測定される。バーニシングヘッド４は
変位変動信号に基づきサーボ回路７とアンプ９により駆
動される圧電アクチュエータ８により一定の間隔で媒体
表面に追従する。ここで突起15があるとバーニシングヘ
ッドは突起に追従できず突起とバーニシングヘッドが衝
突し突起が取り除かれる。トリ除かれた突起の層は吸引
管16から排出され、バーニシングヘッドと媒体３の間に
屑が入り込み媒体に傷が付くことを防ぐ。光反射強度型
変位計６は磁性媒体３または下地体２に金属を用いた
時、40Å程度の精度が得られる。ここでは磁性媒体３に
コバルト・ニッケル合金をスパッタリング法によりアル
ミ合金盤上のニッケル・燐からなる下地体３の上に被覆
してバーニシング装置を作製した。本発明のバーニシン
グヘッドは第１図のようなスクイズ角のある形の他に先
端が曲面状になった形でもよい。また吸引管16は２本以
上であってもよい。
は本発明の磁気記録装置の一実施例を示す図である。下
地体２と磁性媒体３からなる磁気記録体とバーニシング
ヘッド４の間隔は、光反射強度型変位計６から出た光が
光ファイバー５を通って媒体表面で反射した時の戻り光
の強度変化により測定される。バーニシングヘッド４は
変位変動信号に基づきサーボ回路７とアンプ９により駆
動される圧電アクチュエータ８により一定の間隔で媒体
表面に追従する。ここで突起15があるとバーニシングヘ
ッドは突起に追従できず突起とバーニシングヘッドが衝
突し突起が取り除かれる。トリ除かれた突起の層は吸引
管16から排出され、バーニシングヘッドと媒体３の間に
屑が入り込み媒体に傷が付くことを防ぐ。光反射強度型
変位計６は磁性媒体３または下地体２に金属を用いた
時、40Å程度の精度が得られる。ここでは磁性媒体３に
コバルト・ニッケル合金をスパッタリング法によりアル
ミ合金盤上のニッケル・燐からなる下地体３の上に被覆
してバーニシング装置を作製した。本発明のバーニシン
グヘッドは第１図のようなスクイズ角のある形の他に先
端が曲面状になった形でもよい。また吸引管16は２本以
上であってもよい。
また本発明に用いられる変位センサーには光干渉型、
静電容量型、または渦電流型変位計またはレーザードッ
プラー振動系、レーザードップラー流速計などを用いる
ことができ、またアクチュエータに電歪アクチュエー
タ、磁歪アクチュエータまたは水晶振動子のいずれかを
用いることができる。バーニシングヘッドは硬い材料が
望ましく、ガラス、水晶、ダイアモンド、アルミナ、金
属炭化物が用いられる。
静電容量型、または渦電流型変位計またはレーザードッ
プラー振動系、レーザードップラー流速計などを用いる
ことができ、またアクチュエータに電歪アクチュエー
タ、磁歪アクチュエータまたは水晶振動子のいずれかを
用いることができる。バーニシングヘッドは硬い材料が
望ましく、ガラス、水晶、ダイアモンド、アルミナ、金
属炭化物が用いられる。
また比較として第２図に示すようなジンバルバネを用
いた磁気ヘッドを用いるバーニシング装置を用意した。
いた磁気ヘッドを用いるバーニシング装置を用意した。
本発明のバーニシング装置とジンバルバネ支持磁気ヘ
ッドを用いたバーニシング装置を用いて磁気ディスクの
突起除去（バーニシング）を行ったところ、ジンバルバ
ネ支持磁気ヘッドを用いたバーニシングでは0.1ミクロ
ンの浮上量で突起数120個の内、約半数の70個が残存し
たが本発明のバーニシングでは0.1ミクロンのバーニシ
ングヘッドと磁気ディスク表面の間隔において突起数14
0個のうち全数が除去された。ジンバルバネ支持磁気ヘ
ッドを用いたバーニシングでは磁気ディスク上に数十本
の引掻傷が生じたが、本発明のバーニシングでは傷は皆
無であった。なおバーニシングにおける突起の検出は磁
気ヘッドまたはバーニシングヘッドに取り付けたAEセン
サー（突起の衝撃により生じる振動を圧電素子により検
知するセンサー）により行った。
ッドを用いたバーニシング装置を用いて磁気ディスクの
突起除去（バーニシング）を行ったところ、ジンバルバ
ネ支持磁気ヘッドを用いたバーニシングでは0.1ミクロ
ンの浮上量で突起数120個の内、約半数の70個が残存し
たが本発明のバーニシングでは0.1ミクロンのバーニシ
ングヘッドと磁気ディスク表面の間隔において突起数14
0個のうち全数が除去された。ジンバルバネ支持磁気ヘ
ッドを用いたバーニシングでは磁気ディスク上に数十本
の引掻傷が生じたが、本発明のバーニシングでは傷は皆
無であった。なおバーニシングにおける突起の検出は磁
気ヘッドまたはバーニシングヘッドに取り付けたAEセン
サー（突起の衝撃により生じる振動を圧電素子により検
知するセンサー）により行った。
（発明の効果） 以上のように、本発明によれば磁性媒体上の突起を媒
体表面に傷を付けることなく除去することができる。
体表面に傷を付けることなく除去することができる。
第１図は本発明のバーニシング装置の一実施例を示す
図、第２図はジンバルバネ支持磁気ヘッドを用いたバー
ニシング装置の概略を示す図である。 図に於て、２……下地体、３……磁性媒体、４……バー
ニシングヘッド、５……光ファイバ、６……光反射強度
型変位計、７……サーボアンプ、８……圧電アクチュエ
ータ、９……アンプ、11……下地体、12……磁性媒体、
13……磁気ヘッド、14……ジンバルバネ、15……突起、
16……吸引管である。
図、第２図はジンバルバネ支持磁気ヘッドを用いたバー
ニシング装置の概略を示す図である。 図に於て、２……下地体、３……磁性媒体、４……バー
ニシングヘッド、５……光ファイバ、６……光反射強度
型変位計、７……サーボアンプ、８……圧電アクチュエ
ータ、９……アンプ、11……下地体、12……磁性媒体、
13……磁気ヘッド、14……ジンバルバネ、15……突起、
16……吸引管である。
Claims (1)
- 【請求項１】除去屑の排出装置を付けたバーニシングヘ
ッドと、磁気記録媒体と該バーニシングヘッド間の距離
を測定する変位センサーと、該距離を一定に保つための
バーニシングヘッドに取り付けたアクチュエータとを備
えたことを特徴とするバーニシング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14300488A JP2580718B2 (ja) | 1988-06-09 | 1988-06-09 | バーニシング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14300488A JP2580718B2 (ja) | 1988-06-09 | 1988-06-09 | バーニシング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01310862A JPH01310862A (ja) | 1989-12-14 |
| JP2580718B2 true JP2580718B2 (ja) | 1997-02-12 |
Family
ID=15328714
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14300488A Expired - Lifetime JP2580718B2 (ja) | 1988-06-09 | 1988-06-09 | バーニシング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2580718B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2606395B2 (ja) * | 1990-02-05 | 1997-04-30 | 富士電機株式会社 | 磁気ディスクの表面突起除去方法 |
-
1988
- 1988-06-09 JP JP14300488A patent/JP2580718B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01310862A (ja) | 1989-12-14 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 11 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071121 |
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| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
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