JPH01310860A - バーニシング装置 - Google Patents
バーニシング装置Info
- Publication number
- JPH01310860A JPH01310860A JP14300288A JP14300288A JPH01310860A JP H01310860 A JPH01310860 A JP H01310860A JP 14300288 A JP14300288 A JP 14300288A JP 14300288 A JP14300288 A JP 14300288A JP H01310860 A JPH01310860 A JP H01310860A
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- Japan
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- medium
- head
- magnetic
- burnishing
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- Pending
Links
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B39/00—Burnishing machines or devices, i.e. requiring pressure members for compacting the surface zone; Accessories therefor
- B24B39/06—Burnishing machines or devices, i.e. requiring pressure members for compacting the surface zone; Accessories therefor designed for working plane surfaces
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は情報を磁気的に書き込みおよび読み出しを行う
磁気記録装置に関し、該記録装置に用いる磁気記録媒体
上に存在する突起を除去する装置および除去方法に関す
る。
磁気記録装置に関し、該記録装置に用いる磁気記録媒体
上に存在する突起を除去する装置および除去方法に関す
る。
（従来の技術）
従来より、磁気ヘットを通して磁気記録媒体（以下媒体
と称する）に情報を磁気的に書き込みおよび読み出しを
行う磁気記録装置には磁気テープ、磁気カード、フレキ
シブルディスク、ハードディスクなとか実用化されてい
るか、いづれも記録密度を高くするためには媒体と磁気
ヘッドの間隔を出来るたけ小さくすることが必要であり
、現時点てはハードディスク装置において０．２ミクロ
ンが最小である。
と称する）に情報を磁気的に書き込みおよび読み出しを
行う磁気記録装置には磁気テープ、磁気カード、フレキ
シブルディスク、ハードディスクなとか実用化されてい
るか、いづれも記録密度を高くするためには媒体と磁気
ヘッドの間隔を出来るたけ小さくすることが必要であり
、現時点てはハードディスク装置において０．２ミクロ
ンが最小である。
（発明が解決しようとする問題点）
磁気ヘッドと媒体の間隔を小さくするため磁気テープ、
磁気カード、フレキノプルディスクでは磁気ヘッドと媒
体を接触摺動させている。一方ハードディスクにおいて
は、磁気ヘッドは空気の動圧力により磁気ヘッドに取り
付けられた押し圧バネに逆らい媒体上に非接触で浮上す
るが、突起の高さ以下には磁気ヘッドと媒体の間隔を小
さくできない。あるいは媒体上の突起と磁気ヘッドが接
触摩耗（ベツドクラッシュ）したり、磁気ヘッドの浮上
安定性が失われて出力変動やエラーの発生の原因となる
。従来、第２図のように磁気ヘッド１３を用いて磁性媒
体３上の突起を除去すること（バーニシング）が行われ
てきたか、磁気ヘッドかシンバルバネ１４を介して支持
されて動きの自由度があることあるいは回転する磁気デ
ィスク」二を追従するため、十分な突起除去効果か得ら
れないうえに時には磁気へノとにより突起１５以外のＦ
ｆｎな媒体表面に傷をつけることかみられた。
磁気カード、フレキノプルディスクでは磁気ヘッドと媒
体を接触摺動させている。一方ハードディスクにおいて
は、磁気ヘッドは空気の動圧力により磁気ヘッドに取り
付けられた押し圧バネに逆らい媒体上に非接触で浮上す
るが、突起の高さ以下には磁気ヘッドと媒体の間隔を小
さくできない。あるいは媒体上の突起と磁気ヘッドが接
触摩耗（ベツドクラッシュ）したり、磁気ヘッドの浮上
安定性が失われて出力変動やエラーの発生の原因となる
。従来、第２図のように磁気ヘッド１３を用いて磁性媒
体３上の突起を除去すること（バーニシング）が行われ
てきたか、磁気ヘッドかシンバルバネ１４を介して支持
されて動きの自由度があることあるいは回転する磁気デ
ィスク」二を追従するため、十分な突起除去効果か得ら
れないうえに時には磁気へノとにより突起１５以外のＦ
ｆｎな媒体表面に傷をつけることかみられた。
（問題点を解決するための手段）
本発明のバーニシング装置では媒体上の突起を効果的に
除去するため、媒体とスクイズ角を持つハーニンングヘ
ノド間の距離を変位センサーにより測定しつつ、該距離
を一定に保つように該磁気へ、ドに取り付けたアクチュ
エータを駆動させて非接触あるいは極めて軽荷重で媒体
とヘッドの間隔を微小に保ことにより媒体上の突起を除
去することを特徴とする。
除去するため、媒体とスクイズ角を持つハーニンングヘ
ノド間の距離を変位センサーにより測定しつつ、該距離
を一定に保つように該磁気へ、ドに取り付けたアクチュ
エータを駆動させて非接触あるいは極めて軽荷重で媒体
とヘッドの間隔を微小に保ことにより媒体上の突起を除
去することを特徴とする。
（実施例）
次に図面を参照して本発明の詳細な説明する。
第１図は本発明の磁気記録装置の一実施例を示す図であ
る。下地体２と磁性媒体３からなる磁気記録体と磁気ヘ
ッド４の間隔は、光反射強度型変位計６から出た光か光
ファイバー５を通って媒体表面で反射した時の戻り光の
強度変化により測定される。スクイズ角を持つバーニシ
ングヘッドは変位変動信号に基つきサーボ回路７とアン
プ９により駆動される圧電アクチュエータ８により一定
の間隔て媒体表面に追従する。ここで突起１５かあると
バー二７ングヘノドは突起に追従できず突起とバーニシ
ングヘッドか衝突し突起か取り除かれる。光反射強度型
変位計６は磁性媒体３または下地体２に金属を用いた時
、４０人程度の精度か得られる。ここては磁性媒体３に
コバルト・ニッケル合金をスパッタリング法によりアル
ミ合金盤上のニッケル・燐からなる下地体３の上に被覆
してノ＼−ニンング装置を作製した。
る。下地体２と磁性媒体３からなる磁気記録体と磁気ヘ
ッド４の間隔は、光反射強度型変位計６から出た光か光
ファイバー５を通って媒体表面で反射した時の戻り光の
強度変化により測定される。スクイズ角を持つバーニシ
ングヘッドは変位変動信号に基つきサーボ回路７とアン
プ９により駆動される圧電アクチュエータ８により一定
の間隔て媒体表面に追従する。ここで突起１５かあると
バー二７ングヘノドは突起に追従できず突起とバーニシ
ングヘッドか衝突し突起か取り除かれる。光反射強度型
変位計６は磁性媒体３または下地体２に金属を用いた時
、４０人程度の精度か得られる。ここては磁性媒体３に
コバルト・ニッケル合金をスパッタリング法によりアル
ミ合金盤上のニッケル・燐からなる下地体３の上に被覆
してノ＼−ニンング装置を作製した。
また本発明に用いられる変位センサーには光干渉型、静
電容量型、または渦電流型変位計またはレーサードツプ
ラー振動計、レーサードツプラー流東計なとを用いるこ
とかでき、またアクチュエータに電歪アクチュエータ、
磁歪アクチュエータまたは水晶振動子のいずれかを用い
ることかできる。バーニシングヘッドは硬い材料か望ま
しく、カラス、水晶、ダイアモンド、アルミナ、金属炭
化物等が用いられる。またスクイズ角は９０度以下てを
れば好ましい効果が得られるか、スクイズ角が小さすぎ
るとヘッドの加工が難しくなる。また比較として第２図
に示すようなンンハルバネ１４を用いた磁気ヘッドを用
いるバーニシング装置と、先端が球状のバーニシングへ
ノドを用意した。
電容量型、または渦電流型変位計またはレーサードツプ
ラー振動計、レーサードツプラー流東計なとを用いるこ
とかでき、またアクチュエータに電歪アクチュエータ、
磁歪アクチュエータまたは水晶振動子のいずれかを用い
ることかできる。バーニシングヘッドは硬い材料か望ま
しく、カラス、水晶、ダイアモンド、アルミナ、金属炭
化物等が用いられる。またスクイズ角は９０度以下てを
れば好ましい効果が得られるか、スクイズ角が小さすぎ
るとヘッドの加工が難しくなる。また比較として第２図
に示すようなンンハルバネ１４を用いた磁気ヘッドを用
いるバーニシング装置と、先端が球状のバーニシングへ
ノドを用意した。
本発明のバーニシング装置とシンバルバネ支持磁気ヘッ
ドを用いたバーニシング装置を用いて磁気ディスクの突
起除去（バーニシング）を行ったところ、シンバルバネ
支持磁気ヘッドを用いたバーニシングでは０．１ミクロ
ンの浮上里で突起数１２０個の内、約半数の７０個が残
存したが本発明のスクイズ角ををするヘッドを用いたバ
ーニシングては０．１ ミクロンのバーニシングヘッ
ドと磁気ディスク表面の間隔において突起数１４０個の
うち全数が除去された。また球面を有するバーニシング
ヘッドを用いたバーニシングては１００個の突起の内５
個が残存した。またジンバルバネ支持−５＝ 磁気ヘッドを用いたバーニシングては磁気ディスク上に
引掻傷が生じたか、本発明のスクイズ角をイイするバー
ニンングヘノドバ一二ソングでは傷は皆無であったが球
面のバーニシングヘッドてはノ＼−ニ／ング層を巻き込
んで数本の引掻傷が媒体」二にみられた。なおバーニシ
ングにおける突起の検出は磁気ヘッドまたはバー二７ン
グヘノドに取り付けたＡＥセンサー（突起の衝撃により
生じる振動を圧電素子により検知するセンサー）により
行った。
ドを用いたバーニシング装置を用いて磁気ディスクの突
起除去（バーニシング）を行ったところ、シンバルバネ
支持磁気ヘッドを用いたバーニシングでは０．１ミクロ
ンの浮上里で突起数１２０個の内、約半数の７０個が残
存したが本発明のスクイズ角ををするヘッドを用いたバ
ーニシングては０．１ ミクロンのバーニシングヘッ
ドと磁気ディスク表面の間隔において突起数１４０個の
うち全数が除去された。また球面を有するバーニシング
ヘッドを用いたバーニシングては１００個の突起の内５
個が残存した。またジンバルバネ支持−５＝ 磁気ヘッドを用いたバーニシングては磁気ディスク上に
引掻傷が生じたか、本発明のスクイズ角をイイするバー
ニンングヘノドバ一二ソングでは傷は皆無であったが球
面のバーニシングヘッドてはノ＼−ニ／ング層を巻き込
んで数本の引掻傷が媒体」二にみられた。なおバーニシ
ングにおける突起の検出は磁気ヘッドまたはバー二７ン
グヘノドに取り付けたＡＥセンサー（突起の衝撃により
生じる振動を圧電素子により検知するセンサー）により
行った。
（発明の効果）
以上述へたとおり、本発明によれば磁性媒体」二の突起
を媒体表面に傷を生しることなく除去できる。
を媒体表面に傷を生しることなく除去できる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明のスクイズ角を仔するバーニシングへ、
ドを用いたバーニシング装置の一実施例を示す図、第２
図はジンバルハネ支持磁気ヘッドを用いたバーニシング
装置の概略を示す図である。 ６一 図に於て、２．下地体、３．磁性媒体、４．スクイズ角
を有するバーニシングヘッド、５．光ファイバ、６．光
反射強度型変位計、７．サーボアンプ、８．圧電アクチ
ュエータ、９．アンプ、１１、下地体、１２．磁性媒体
、１３．磁気ヘッド、１４．／ンバルバネ、１５．突起
。
ドを用いたバーニシング装置の一実施例を示す図、第２
図はジンバルハネ支持磁気ヘッドを用いたバーニシング
装置の概略を示す図である。 ６一 図に於て、２．下地体、３．磁性媒体、４．スクイズ角
を有するバーニシングヘッド、５．光ファイバ、６．光
反射強度型変位計、７．サーボアンプ、８．圧電アクチ
ュエータ、９．アンプ、１１、下地体、１２．磁性媒体
、１３．磁気ヘッド、１４．／ンバルバネ、１５．突起
。
Claims (1)
- スクイズ角を持つバーニシングヘッドと、磁気記録媒体
と該バーニシングヘッド間の距離を測定する変位センサ
ーと、該距離を一定に保つためのバーニシングヘッドに
取り付けたアクチュエータとを備えたことを特徴とする
バーニシング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14300288A JPH01310860A (ja) | 1988-06-09 | 1988-06-09 | バーニシング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14300288A JPH01310860A (ja) | 1988-06-09 | 1988-06-09 | バーニシング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01310860A true JPH01310860A (ja) | 1989-12-14 |
Family
ID=15328664
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14300288A Pending JPH01310860A (ja) | 1988-06-09 | 1988-06-09 | バーニシング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01310860A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7153192B1 (en) | 2005-10-18 | 2006-12-26 | Hitachi Global Storage Netherlands B.V. | Method for selectively sensing and removing asperities from hard disk drive media utilizing active thermally controlled flying heights |
| US7153193B1 (en) | 2005-10-18 | 2006-12-26 | Hitachi Global Storage Netherlands B.V. | System and apparatus for selectively sensing and removing asperities from hard disk drive media utilizing active thermally controlled flying heights |
| US7278902B1 (en) | 2006-03-14 | 2007-10-09 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands, B.V. | Enabling location specific burnishing of a disk |
-
1988
- 1988-06-09 JP JP14300288A patent/JPH01310860A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7153192B1 (en) | 2005-10-18 | 2006-12-26 | Hitachi Global Storage Netherlands B.V. | Method for selectively sensing and removing asperities from hard disk drive media utilizing active thermally controlled flying heights |
| US7153193B1 (en) | 2005-10-18 | 2006-12-26 | Hitachi Global Storage Netherlands B.V. | System and apparatus for selectively sensing and removing asperities from hard disk drive media utilizing active thermally controlled flying heights |
| US7278902B1 (en) | 2006-03-14 | 2007-10-09 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands, B.V. | Enabling location specific burnishing of a disk |
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