JP2578378B2 - Manufacturing method of optical disk substrate - Google Patents
Manufacturing method of optical disk substrateInfo
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Description
【発明の詳細な説明】 〔概要〕 この発明は、例えば、コンピュータシステムの外部記
憶装置として利用される光ディスクの製造工程における
光ディスク基板の製造方法に関するもので、 紫外線硬化樹脂の拡散を制御してディスク基板とスタ
ンパーとの対向間隙に紫外線硬化樹脂を均一に拡散さ
せ、内外周のバリ発生を防止することのできる光ディス
ク基板の製造方法を提供することを目的とし、 トラッキング用の案内溝を形成するための凸部を形成
したスタンパーの上に滴下塗布させた紫外線硬化樹脂の
上にディスク基板を載置いて、このディスク基板とスタ
ンパーとの対向間隙に紫外線硬化樹脂を拡散させ、その
後、拡散した紫外線硬化樹脂に紫外線を当てて硬化さ
せ、紫外線硬化樹脂が付着されたディスク基板を、スタ
ンパーから剥離して光ディスク基板を製造する製造方法
において、ディスク基板の自重に対し、上向きに付勢す
る手段による上昇圧力を用いて、前記ディスク基板の自
重によりスタンパー側に降下する降下圧力を制御する手
段を有し、前記ディスク基板が滴下塗布した紫外線硬化
樹脂の頂点に接触した後、前記降下圧力と上昇圧力とが
均衡する所定間隙までディスク基板を降下制御するステ
ップと、前記均衡する所定間隙から更に紫外線硬化樹脂
の界面張力を用いて、紫外線硬化樹脂を均一に拡散させ
るステップとを有することを特徴とするものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Overview] The present invention relates to a method for manufacturing an optical disk substrate in a manufacturing process of an optical disk used as, for example, an external storage device of a computer system. An object of the present invention is to provide a method of manufacturing an optical disk substrate capable of uniformly diffusing an ultraviolet curable resin in a gap between the substrate and the stamper and preventing burrs on the inner and outer peripheries, and forming a guide groove for tracking. The disk substrate is placed on the UV-curable resin that has been applied dropwise onto the stamper with the convex portions formed thereon, and the UV-curable resin is diffused into the opposing gap between the disk substrate and the stamper. UV light is applied to the resin to cure it, and the disk substrate with the UV-cured resin is peeled off from the stamper A manufacturing method for manufacturing an optical disk substrate by using a rising pressure by means of urging the disk substrate upward with respect to the weight of the disk substrate. And controlling the lowering of the disk substrate to a predetermined gap where the lowering pressure and the rising pressure are balanced after the disk substrate comes into contact with the apex of the ultraviolet-cured resin dropped and applied. Using the interfacial tension of the resin to uniformly diffuse the ultraviolet curable resin.
この発明は、例えばコンピュータシステムの外部記憶
装置として利用される光ディスクの製造工程における光
ディスク基板の製造方法に関するものである。The present invention relates to a method of manufacturing an optical disk substrate in a manufacturing process of an optical disk used as, for example, an external storage device of a computer system.
第６図は従来の光磁気ディスク基板の製造方法を示す
もので、先ず、工程（１）に示すように、スタンパーＡ
の上（案内溝のある原盤）に紫外線硬化樹脂Ｂをリング
状に滴下塗布する。FIG. 6 shows a conventional method of manufacturing a magneto-optical disk substrate. First, as shown in step (1), a stamper A
UV curable resin B is applied drop-wise in a ring shape on the above (master with guide grooves).
次に工程（２）に示すように、このスタンパーＡの上
の紫外線硬化樹脂Ｂの上にガラス製のディスク基板（ガ
ラス基板）Ｃを乗せる。このディスク基板Ｃを乗せるこ
とにより、ディスク基板Ｃの自重を利用して、このスタ
ンパーＡのほぼ全面にこの紫外線硬化樹脂Ｂが押し拡げ
られる。なお、紫外線硬化樹脂Ｂは、ディスク基板Ｃの
自重による降下圧力による拡散だけでなく、スタンパー
Ａとディスク基板Ｃの対向間隙に生じる紫外線硬化樹脂
Ｂの界面張力（または、毛細管現象）によって、ディス
ク基板Ｃの外周部方向および内周部方向へ拡散する。Next, as shown in step (2), a glass disk substrate (glass substrate) C is placed on the ultraviolet-curing resin B on the stamper A. By mounting the disk substrate C, the ultraviolet curable resin B is spread over almost the entire surface of the stamper A using the own weight of the disk substrate C. The ultraviolet curable resin B is not only diffused by the drop pressure due to its own weight of the disk substrate C, but also interfacial tension (or capillary phenomenon) of the ultraviolet curable resin B generated in the opposing gap between the stamper A and the disk substrate C. C diffuses in the outer peripheral direction and the inner peripheral direction.
次に工程（３）に示すように、水銀ランプにより紫外
線Ｄを照射してこの紫外線硬化樹脂Ｂを硬化させる。Next, as shown in step (3), the ultraviolet curable resin B is cured by irradiating ultraviolet rays D with a mercury lamp.
最後に工程（４）に示すように、ディスク基板Ｃをス
タンパーＡから剥離して、ディスク基板Ｃの表面にトラ
ッキング用の案内溝Ｅが転写された紫外線硬化樹脂Ｂを
有する光磁気ディスク基板Ｆが製造される。Finally, as shown in step (4), the disk substrate C is peeled off from the stamper A, and the magneto-optical disk substrate F having the ultraviolet curable resin B with the guide groove E for tracking transferred to the surface of the disk substrate C is obtained. Manufactured.
ところが、第７図に示すように、ディスク基板Ｃ自体
が反っていたり、スタンパーＡの平面度が変動している
と、紫外線硬化樹脂Ｂがディスク基板Ｃの外周および内
周からはみ出し（第８図参照）、硬化後、バリＢ′を生
じたり、均一に紫外線硬化樹脂Ｂが拡散せずに、トラッ
キング用の案内溝Ｅが形成されないという不具合が生じ
た。However, as shown in FIG. 7, when the disk substrate C warps or the flatness of the stamper A fluctuates, the ultraviolet curable resin B protrudes from the outer and inner circumferences of the disk substrate C (FIG. 8). However, after curing, burrs B 'were generated, and the ultraviolet-curable resin B was not uniformly diffused, so that the guide groove E for tracking was not formed.
また、かかる内外周に発生したバリは次工程において
破壊されて剥落し、ディスク基板表面に付着してしま
い、この付着によって成膜プロセスでの膜欠陥およびデ
ィスク基板の貼り合わせプロセスでの加速度不良等の不
具合をも生じせしめ、悪影響を及ぼすといった問題もあ
った。In addition, the burrs generated on the inner and outer circumferences are broken and peeled off in the next step, and adhere to the disk substrate surface. This adhesion causes film defects in the film forming process and acceleration defects in the disk substrate bonding process. However, there is also a problem that such a problem is caused, which has an adverse effect.
この発明は、このような課題に鑑みて創案したもので
あり、ディスク基板の降下圧力を制御することにより、
紫外線硬化樹脂の拡散を制御してディスク基板とスタン
パーとの対向間隙に紫外線硬化樹脂を均一に拡散させ、
内外周のバリの発生を防止することのできる光ディスク
基板の製造方法を提供することを目的とするものであ
る。The present invention has been made in view of such a problem, and by controlling a drop pressure of a disk substrate,
By controlling the diffusion of the UV curable resin, the UV curable resin is diffused uniformly in the gap between the disk substrate and the stamper,
It is an object of the present invention to provide a method of manufacturing an optical disk substrate that can prevent burrs on the inner and outer circumferences.
この発明は、前記のような課題を解決するため、第１
図の（Ａ）および（Ｂ）の原理説明図に示すように、ト
ラッキング用の案内溝を形成するための凸部を形成した
スタンパー１の上に滴下塗布させた紫外線硬化樹脂４の
上にガラス製のディスク基板２を載置して、このディス
ク基板２とスタンパー１との対向間隙に紫外線硬化樹脂
４を拡散させ、その後、拡散した紫外線硬化樹脂４に紫
外線を当てて硬化させ、紫外線硬化樹脂４が付着された
ディスク基板２を、スタンパー１から剥離して光ディス
ク基板を製造する製造方法において、 ディスク基板２の自重に対し、上向きに付勢する手段
による上昇圧力Ｓを用いて、ディスク基板２の自重によ
りスタンパー１側に降下する降下圧力Ｗを制御する手段
5,6,7を有し、滴下塗布した紫外線硬化樹脂４の頂点に
ディスク基板２が接触した後、前記降下圧力Ｗと前記上
昇圧力Ｓとが均衡する所定間隙L2までディスク基板２を
降下制御するステップ（第１図（Ａ）参照）と、前記均
衡する所定間隙L2から更に紫外線硬化樹脂４の界面張力
を用いて、紫外線硬化樹脂４を均一に拡散させるステッ
プ（第１図（Ｂ）参照）とを有するようにしたことを特
徴とする光ディスク基板の製造方法としたものである。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a
As shown in the principle explanatory diagrams of (A) and (B) of the drawing, the glass is placed on the ultraviolet curable resin 4 which is dropped and applied on the stamper 1 on which the convex portion for forming the guide groove for tracking is formed. Is placed on the disk substrate 2, and the ultraviolet curable resin 4 is diffused in the gap between the disk substrate 2 and the stamper 1. Then, the diffused ultraviolet curable resin 4 is cured by applying ultraviolet rays. In a manufacturing method for manufacturing an optical disk substrate by peeling the disk substrate 2 to which the disk substrate 4 has been attached from the stamper 1, the disk substrate 2 is lifted against the own weight of the disk substrate 2 by using a rising pressure S by means of urging the disk substrate 2 upward. For controlling the drop pressure W dropping to the side of the stamper 1 due to its own weight
A 5, 6, 7, after the disc substrate 2 to the vertex of the ultraviolet curing resin 4 was added dropwise applied in contact, drop the disc substrate 2 to a predetermined clearance L 2 in which the said lowering pressure W and the upward pressure S is balanced control steps (FIG. 1 (a) refer) and, using the surface tension of a predetermined gap L 2 from further ultraviolet curing resin 4 to the balance, the step of uniformly diffusing the ultraviolet curable resin 4 (FIG. 1 (B ))).
この発明によれば、ディスク基板２の自重により降下
圧力Ｗが制御できるから、塗布量や塗布位置を適切にし
て紫外線硬化樹脂４を滴下さえすれば、ディスク基板２
の反りやスタンパー１の平面度に影響されずに、このデ
ィスク基板２とスタンパー１との対向間隙に紫外線硬化
樹脂４を均一に拡散させることができ、紫外線硬化樹脂
４のはみ出しによるバリ発生を防止することが可能とな
る。According to the present invention, the drop pressure W can be controlled by the weight of the disk substrate 2.
The UV curable resin 4 can be uniformly diffused into the gap between the disk substrate 2 and the stamper 1 without being affected by the warpage of the stamper 1 or the flatness of the stamper 1, thereby preventing burrs due to the protrusion of the UV curable resin 4. It is possible to do.
以下、図面に基づきこの発明の光ディスク基板の製造
方法の一実施例として光磁気ディスク基板の製造方法に
ついて説明する。Hereinafter, a method for manufacturing a magneto-optical disk substrate will be described as an embodiment of the method for manufacturing an optical disk substrate of the present invention with reference to the drawings.
先ず、この発明の構成を第１図（Ａ）および（Ｂ）を
用いて説明する。First, the configuration of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 (A) and 1 (B).
１はトラッキング用の案内溝を有するスタンパー、２
はガラス製のディスク基板（ガラス基板）であり、この
ディスク基板２はスタンパー１と対向して配設されてい
る。1 is a stamper having a guide groove for tracking, 2
Is a glass disk substrate (glass substrate), and the disk substrate 2 is disposed to face the stamper 1.
３はスタンパー１を保持するスタンパーベース、４は
紫外線硬化樹脂である。Reference numeral 3 denotes a stamper base for holding the stamper 1, and reference numeral 4 denotes an ultraviolet curable resin.
5,6,7はディスク基板２の降下圧力制御手段であり、
具体的には軸受５と、この軸受５に対向して配置された
ディスク基板受６と、このディスク基板受６に保持され
たディスク基板２を上向きに付勢する手段（例えば、バ
ネ）７とにより構成される。5, 6 and 7 are means for controlling the downward pressure of the disk substrate 2,
Specifically, the bearing 5, a disk substrate receiver 6 arranged opposite to the bearing 5, and means (for example, a spring) 7 for urging the disk substrate 2 held by the disk substrate receiver 6 upward. It consists of.
なお、初期段階において、間隙L1の位置にてディスク
基板２が紫外線硬化樹脂４に接触した後、ディスク基板
２の自重（または、降下圧力Ｗ）によりスタンパー１上
の所定間隙L2（例えば0.1mm程度）の位置まで降下する
間は、ゆっくりと降下させる（すなわち、降下圧力Ｗ＞
上昇圧力Ｓ、第１図（Ａ）参照）。また、所定間隙L2の
位置において、ディスク基板２の自重が全くかからない
荷重無しの状態（すなわち、降下圧力Ｗ＝上昇圧力Ｓ、
第１図（Ｂ）参照）になるようにバネ７の付勢力（上昇
圧力）Ｓを設定する。Incidentally, in the initial stage, after the disk substrate 2 at a position of the gap L 1 is in contact with the ultraviolet curable resin 4, the own weight of the disc substrate 2 (or, drop pressure W) by a predetermined gap on the stamper 1 L 2 (for example 0.1 (down to about mm).
Rising pressure S, see FIG. 1 (A)). Further, at the position of a predetermined gap L 2, the state without load own weight of the disc substrate 2 is not applied at all (i.e., lowering the pressure W = pressures S,
The urging force (rising pressure) S of the spring 7 is set so as to be as shown in FIG. 1 (B).
かかる構成において、所定間隙L2の位置においては、
ディスク基板２の自重が全くかからない荷重無しの状態
になるから、紫外線硬化樹脂４の拡散は紫外線硬化樹脂
４の界面張力のみによりディスク基板２の端面まで拡散
する。In such a configuration, at a position of a predetermined gap L 2 is
Since there is no load where the self-weight of the disk substrate 2 is not applied at all, the ultraviolet curable resin 4 diffuses to the end surface of the disk substrate 2 only by the interfacial tension of the ultraviolet curable resin 4.
なお、この時の紫外線硬化樹脂の拡がり方は、紫外線
硬化樹脂の塗布量および塗布位置を制御してやることに
より均一に拡げられることはいうまでもない。It is needless to say that the spread of the ultraviolet curable resin at this time can be uniformly spread by controlling the application amount and the application position of the ultraviolet curable resin.
第２図乃至第５図はこの発明の光ディスク基板の製造
方法の説明図である。以下、この第２図乃至第５図に基
づきこの発明の光ディスク基板の製造方法の作用を詳細
に説明する。2 to 5 are explanatory diagrams of the method for manufacturing an optical disk substrate according to the present invention. The operation of the optical disk substrate manufacturing method according to the present invention will be described in detail below with reference to FIGS.
先ず、スタンパー１の上に紫外線硬化樹脂４をリング
状に滴下塗布し、この紫外線硬化樹脂４の上のディスク
基板受６にディスク基板２を載置する（初期段階、第２
図参照）。First, a UV curable resin 4 is applied in a ring shape onto the stamper 1 and the disk substrate 2 is placed on the disk substrate receiver 6 on the UV curable resin 4 (initial stage, second stage).
See figure).
このとき、バネ７の付勢力は降下圧力Ｗ＞上昇圧力Ｓ
であり、バネ７の機能は紫外線硬化樹脂４にディスク基
板２が接触しない距離（例えば、その距離Ｌは5mm程
度）に保持する。At this time, the urging force of the spring 7 is: descending pressure W> rising pressure S
The function of the spring 7 is to keep the distance at which the disk substrate 2 does not contact the ultraviolet-curable resin 4 (for example, the distance L is about 5 mm).
次に、ディスク基板２が紫外線硬化樹脂４に接触して
からスタンパー１上の対向間隙Ｌ＝0.1mmの所まで降下
するように、バネ７により保持する（紫外線硬化樹脂の
拡がり開始段階、第３図参照）。Next, the disk substrate 2 is held by the spring 7 so that the disk substrate 2 comes into contact with the ultraviolet curable resin 4 and then descends to a position where the opposing gap L = 0.1 mm on the stamper 1 (the step of starting the spread of the ultraviolet curable resin, the third step). See figure).
このとき、降下圧力Ｗはバネ７の上昇圧力Ｓと同等に
なるように制御される。すなわち、ディスク基板２の自
重が全くかからない荷重無しの状態で保持される。At this time, the descending pressure W is controlled so as to be equal to the increasing pressure S of the spring 7. In other words, the disk substrate 2 is held in a state where there is no load on which the weight of the disk substrate 2 is not applied.
かかる荷重無しの状態において、紫外線硬化樹脂４は
界面張力のみを利用して、対向間隙Ｌの内外周へとディ
スク基板２の端面まで拡がらせる（紫外線硬化樹脂の拡
がり完了段階、第４図参照）。In a state without such a load, the UV-curable resin 4 is spread to the inner and outer circumferences of the opposed gap L to the end surface of the disk substrate 2 by using only the interfacial tension (the step of completing the spread of the UV-curable resin, see FIG. 4). ).
この時、バネ機能はスタンパー１とディスク基板２と
の対向間隙Ｌを、紫外線硬化樹脂４の拡がりに応じて、
徐々にＬ＝0.1mmからＬ＝0.03mm程度まで変化させる。At this time, the spring function changes the facing gap L between the stamper 1 and the disk substrate 2 according to the spread of the ultraviolet curing resin 4.
Gradually change from L = 0.1 mm to L = 0.03 mm.
対向間隙Ｌ＝0.03mmの状態で、この拡がりを確認を
後、所定の紫外線を照射して硬化させる（紫外線硬化樹
脂の硬化段階、第５図参照）。In a state where the facing gap L is 0.03 mm, the spread is confirmed, and then, predetermined ultraviolet light is applied to cure the resin (ultraviolet curing resin curing step, see FIG. 5).
このディスク基板２スタンパー１との全面均一な対向
間隙に均一に拡散した紫外線硬化樹脂４に、紫外線を当
てて紫外線硬化樹脂４を硬化させた後に、トラッキング
用の案内溝を形成した紫外線硬化樹脂４が付着されたデ
ィスク基板２を、スタンパー１から剥離して光磁気ディ
スク基板を製造するものである。The ultraviolet curable resin 4 uniformly diffused in the uniform gap between the entire surface of the disk substrate 2 and the stamper 1 is irradiated with ultraviolet light to cure the ultraviolet curable resin 4, and then the ultraviolet curable resin 4 having a guide groove for tracking is formed. The disk substrate 2 to which is adhered is peeled from the stamper 1 to manufacture a magneto-optical disk substrate.
すなわち、この光磁気ディスク基板の製造方法におい
て、ディスク基板の降下圧力を制御し、界面張力を利用
することにより、紫外線硬化樹脂の拡がり方を制御する
ことができる。That is, in this method of manufacturing a magneto-optical disk substrate, the spreading pressure of the ultraviolet curable resin can be controlled by controlling the pressure drop of the disk substrate and utilizing the interfacial tension.
また、この時の紫外線硬化樹脂の拡がり方は、紫外線
硬化樹脂の塗布量および塗布位置を制御してやることに
より均一に拡散させることも可能となる。Further, the spread of the ultraviolet curable resin at this time can be evenly diffused by controlling the application amount and the application position of the ultraviolet curable resin.
この発明は、以上説明したように、ディスク基板の自
重に対し、上向きに付勢する手段による上昇圧力を用い
て、前記ディスク基板の自重によりスタンパー側に降下
する降下圧力を制御する手段を有し、ディスク基板が滴
下塗布した紫外線硬化樹脂の頂点に接触した後、前記降
下圧力と上昇圧力とが均衡する対向間隙までディスク基
板を降下制御するステップと、前記均衡する所定間隙か
ら更に紫外線硬化樹脂の界面張力を用いて、紫外線硬化
樹脂を均一に拡散させるステップとを有することを特徴
とする光ディスク基板の製造方法としたので、ディスク
基板の荷重制御が可能となる。The present invention, as described above, has means for controlling the descending pressure of the disc substrate, which is lowered toward the stamper by the own weight of the disc substrate, by using the rising pressure of the means for urging the disc substrate upward. Controlling the lowering of the disk substrate to an opposing gap where the lowering pressure and the rising pressure are balanced after the disk substrate contacts the top of the ultraviolet-cured resin dropped and applied; and And a step of uniformly diffusing the ultraviolet-curable resin using the interfacial tension, whereby the load of the disk substrate can be controlled.
また、荷重制御に加えて、紫外線硬化樹脂の塗布量や
塗布位置を制御してやることにより、このディスク基板
とスタンパーとの全面均一な対向間隙を得られ、紫外線
硬化樹脂を均一に拡散させることが可能となる。そのこ
とにより、紫外線硬化樹脂のはみ出しによるバリ発生を
防止することができる。In addition to controlling the load, by controlling the application amount and application position of the UV curable resin, it is possible to obtain a uniform opposing gap between the disk substrate and the stamper, and to diffuse the UV curable resin uniformly. Becomes As a result, it is possible to prevent the occurrence of burrs due to the protrusion of the ultraviolet curable resin.
また、ディスク基板とスタンパーの対向間隙に、紫外
線硬化樹脂を均一に拡散させることができることによ
り、高品質の光ディスク基板を製造することができる。Further, since the ultraviolet curable resin can be uniformly diffused in the gap between the disk substrate and the stamper, a high quality optical disk substrate can be manufactured.
第１図はこの発明の原理説明図、第２図乃至第５図はこ
の発明の一実施例の説明図であり、第２図は初期段階の
説明図、第３図は紫外線硬化樹脂の拡がり開始段階の説
明図、第４図は紫外線硬化樹脂の拡がり完了段階の説明
図、第５図は紫外線硬化樹脂の硬化段階の説明図、第６
図は従来の光磁気ディスク基板の製造方法を示す図、第
７図および第８図は従来の光磁気ディスク基板の製造方
法の問題点の説明図である。 １……スタンパー ２……ディスク基板 ３……スタンパーベース ４……紫外線硬化樹脂 ５……軸受 ６……ディスク基板受 ７……バネ Ｗ……降下圧力 Ｓ……上昇圧力FIG. 1 is an explanatory view of the principle of the present invention, FIGS. 2 to 5 are explanatory views of an embodiment of the present invention, FIG. 2 is an explanatory view of an initial stage, and FIG. FIG. 4 is an explanatory diagram of a start stage, FIG. 4 is an explanatory diagram of a stage at which spreading of the ultraviolet curable resin is completed, FIG. 5 is an explanatory diagram of a curing stage of the ultraviolet curable resin, FIG.
FIGS. 7A and 7B are views showing a conventional method for manufacturing a magneto-optical disk substrate, and FIGS. 7 and 8 are explanatory views of problems in the conventional method for manufacturing a magneto-optical disk substrate. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Stamper 2 ... Disc board 3 ... Stamper base 4 ... UV curable resin 5 ... Bearing 6 ... Disc board receiver 7 ... Spring W ... Down pressure S ... Up pressure
Claims (1)
凸部を形成したスタンパー（１）の上に滴下塗布させた
紫外線硬化樹脂（４）の上にディスク基板（２）を載置
して、このディスク基板（２）とスタンパー（１）との
対向間隙に前記紫外線硬化樹脂（４）を拡散させ、その
後、拡散した紫外線硬化樹脂（４）に紫外線を当てて硬
化させ、紫外線硬化樹脂（４）が付着されたディスク基
板（２）を、スタンパー（１）から剥離して光ディスク
基板を製造する製造方法において、 ディスク基板（２）の自重に対し、上向きに付勢する手
段による上昇圧力（Ｓ）を用いて、前記ディスク基板
（２）の自重によりスタンパー（１）側に降下する降下
圧力（Ｗ）を制御する手段を有し、 前記ディスク基板（２）が滴下塗布した紫外線硬化樹脂
（４）の頂点に接触した後、前記降下圧力（Ｗ）と上昇
圧力（Ｓ）とが均衡する所定間隙（L2）までディスク基
板（２）を降下制御するステップと、 前記均衡する所定間隙（L2）から更に紫外線硬化樹脂
（４）の界面張力を用いて、紫外線硬化樹脂（４）を均
一に拡散させるステップとを有することを特徴とする光
ディスク基板の製造方法。1. A disk substrate (2) is placed on an ultraviolet curable resin (4) which is applied dropwise onto a stamper (1) having a convex portion for forming a guide groove for tracking. The ultraviolet curable resin (4) is diffused in the gap between the disk substrate (2) and the stamper (1), and thereafter, the diffused ultraviolet curable resin (4) is cured by applying ultraviolet light to the ultraviolet curable resin (4). In a manufacturing method for manufacturing an optical disk substrate by peeling the disk substrate (2) to which the disk substrate (2) has been attached from the stamper (1), a rising pressure by means of urging the disk substrate (2) upward against its own weight ( S), means for controlling a drop pressure (W) dropping toward the stamper (1) due to the weight of the disk substrate (2), and an ultraviolet curable resin ( After contact with the apex of), the drop pressure (W) and upward pressure (S) and steps and is descending control disc substrate (2) to a predetermined gap to balance (L 2), a predetermined gap to the balance (L 2 ) The method of manufacturing an optical disc substrate further comprising the step of: further using the interfacial tension of the ultraviolet-curable resin (4) to uniformly diffuse the ultraviolet-curable resin (4).
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