JP2577238B2 - Pressure-resistant sealing device using magnetic fluid - Google Patents
Pressure-resistant sealing device using magnetic fluidInfo
- Publication number
- JP2577238B2 JP2577238B2 JP63047071A JP4707188A JP2577238B2 JP 2577238 B2 JP2577238 B2 JP 2577238B2 JP 63047071 A JP63047071 A JP 63047071A JP 4707188 A JP4707188 A JP 4707188A JP 2577238 B2 JP2577238 B2 JP 2577238B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- magnetic fluid
- annular
- peripheral surface
- magnetic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Sealing Using Fluids, Sealing Without Contact, And Removal Of Oil (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 この発明は磁性流体を利用した耐圧シール装置に関す
るものである。The present invention relates to a pressure-resistant sealing device using a magnetic fluid.
（従来の技術） 磁性流体は、粒径100Å程度の強磁性体の粒子、例え
ばマグネタイト粒子を表面活性剤を介してベース溶媒に
懸濁させて成る流体である。この強磁性体粒子は、ラン
ダムな熱運動をするベース溶媒内の分子と衝突すること
によって懸濁液中に浮遊すると共に、安定剤の作用によ
り永続的にその凝集が防止され、そのため磁性流体は安
定した均一なコロイド状の液体となっている。この磁性
流体は、公知のように、外部磁場の磁力によって、その
位置をコントロールし得る特性を有している。(Prior Art) A magnetic fluid is a fluid in which ferromagnetic particles having a particle diameter of about 100 °, for example, magnetite particles are suspended in a base solvent via a surfactant. The ferromagnetic particles float in the suspension by colliding with molecules in the base solvent that make random thermal motions, and their aggregation is permanently prevented by the action of the stabilizer. It is a stable and uniform colloidal liquid. As is well known, this magnetic fluid has a characteristic that its position can be controlled by the magnetic force of an external magnetic field.
このような磁性流体を利用した耐圧シール装置として
は、例えば、第２図に示す多段型のシール装置を挙げる
ことができる。同図において、１は環状の永久磁石で、
その厚さ方向に異極が配されている。この永久磁石１の
両側にはそれぞれ、磁性体よりなる第１及び第２環状ポ
ールピース2a、2bが重合わされて、上記の永久磁石１と
環状ポールピース2a、2bとでシール体３を構成してい
る。一方、４は磁性体から成る作動部材としてのシャフ
トであって、その周面には、第１〜第５環状溝５〜９、
及び第６〜第10環状溝10〜14をそれぞれ同一幅、同一ピ
ッチにて形成し、それによってこれらの溝間に第１〜第
４ステージ面15〜18、及び第５〜第８ステージ面19〜22
を形成している。そして上記のシール体３とシャフト４
とは、シャフト４の第１〜第４ステージ面15〜18がシー
ル体３の第１ポールピース2aの内周面と、また第５〜第
８ステージ面19〜22が第２ポールピース2bの内周面とそ
れぞれ相対向するように配置されている。そして第１〜
第４ステージ面15〜18と第１ポールピース2aの内周面と
の間にはそれぞれ第１〜第４磁性流体23〜26が、また第
５〜第８ステージ面19〜22と第２ポールピース2bの内周
面との間にはそれぞれ第５〜第８磁性流体27〜30が介設
され、各磁性流体23〜30をステージ面15〜22とポールピ
ース2a、2bの内周面との間に生ずる磁束にて保持してい
る。As a pressure-resistant sealing device using such a magnetic fluid, for example, a multi-stage sealing device shown in FIG. 2 can be mentioned. In the figure, 1 is an annular permanent magnet,
Different poles are arranged in the thickness direction. First and second annular pole pieces 2a and 2b made of a magnetic material are superposed on both sides of the permanent magnet 1, respectively, to form a seal body 3 with the permanent magnet 1 and the annular pole pieces 2a and 2b. ing. On the other hand, reference numeral 4 denotes a shaft as an operating member made of a magnetic material, and has a first to fifth annular grooves 5 to 9 on its peripheral surface.
And the sixth to tenth annular grooves 10 to 14 are formed with the same width and the same pitch, so that the first to fourth stage surfaces 15 to 18 and the fifth to eighth stage surfaces 19 are formed between these grooves. ~twenty two
Is formed. And the above-mentioned seal body 3 and shaft 4
The first to fourth stage surfaces 15 to 18 of the shaft 4 correspond to the inner peripheral surface of the first pole piece 2a of the seal body 3, and the fifth to eighth stage surfaces 19 to 22 correspond to the second pole piece 2b. They are arranged so as to face the inner peripheral surface. And the first one
First to fourth magnetic fluids 23 to 26 are provided between the fourth stage surfaces 15 to 18 and the inner peripheral surface of the first pole piece 2a, respectively, and fifth to eighth stage surfaces 19 to 22 and the second pole Fifth to eighth magnetic fluids 27 to 30 are interposed between the inner peripheral surface of the piece 2b and the respective magnetic fluids 23 to 30 with the stage surfaces 15 to 22 and the inner peripheral surfaces of the pole pieces 2a and 2b. And is held by the magnetic flux generated between them.
上記磁性流体を利用した耐圧シール装置においては、
例えば、各磁性流体23〜30の耐差圧を0.2kg/cm2とし、
シール体３を挟んだ一方の空間Ａを低圧空間として真空
状態下に、また他方の側の空間Ｂを高圧空間として大気
圧状態下にそれぞれおくと、第２環状溝６内の圧力は0.
2kg/cm2に、第３環状溝７内は0.4kg/cm2に、第４環状溝
８内は0.6kg/cm2に、第５及び第６環状溝９、10内は0.8
kg/cm2に、第７環状溝11内は1.0kg/cm2に、そして第８
〜第９環状溝12〜13は同様に大気圧となり、この結果、
上記両空間Ａ、Ｂの圧力差を保持しながらシールするこ
とになる。すなわち複数の磁性流体23〜30にて各磁性流
体単独での耐差圧を超える圧力を分圧保持するようなさ
れている。In the pressure seal device using the magnetic fluid,
For example, the differential pressure resistance of each of the magnetic fluids 23 to 30 is 0.2 kg / cm 2 ,
When one space A sandwiching the seal body 3 is placed in a vacuum state as a low-pressure space and the space B on the other side is placed in an atmospheric pressure state as a high-pressure space, the pressure in the second annular groove 6 becomes 0.
To 2 kg / cm 2, the third annular groove 7 in 0.4 kg / cm 2, the fourth annular groove 8 to 0.6 kg / cm 2, the fifth and the sixth annular groove 9, 10 0.8
kg / cm 2 , the inside of the seventh annular groove 11 is 1.0 kg / cm 2 , and the eighth
The ninth annular grooves 12 to 13 are also at atmospheric pressure, and as a result,
Sealing is performed while maintaining the pressure difference between the two spaces A and B. That is, the plurality of magnetic fluids 23 to 30 maintain a partial pressure of a pressure exceeding the differential pressure resistance of each magnetic fluid alone.
（発明が解決しようとする問題点） ところで上記構成の磁性流体を利用した耐圧シール装
置においては、シャフト４の回転初期の段階で真空空間
Ａ内の圧力が瞬間的に上昇するバーストという現象を発
生することがある。このバースト現象は、一般に、次の
ような原因で発生するとされている。すなわちシャフト
４を回転させると、ステージ面15〜22とポールピース2
a、2bとの間の距離が、シャフト４の振れ等によって微
小変化を起こし、そのため磁性流体23〜30の耐差圧が変
化するのである。従って真空空間Ａに最も近い第１磁性
流体23の耐差圧が0.2kg/cm2を下回るような状態が生ず
ると、第１環状溝５内の圧力と空間Ａの圧力との差圧
（0.2kg/cm2）力によって気体が第２環状溝６側から空
間Ａ側へと放出され、この放出に伴って空間Ａ内の圧力
が瞬間的に上昇することになるのである。そこでこのよ
うなバースト現象を抑えるため、例えば真空空間Ａ側の
第１ステージ面15と第１ポールピース2aとの間のギャッ
プの磁場強度を向上してシール耐圧を上げるようにした
り、或いは機械的精度を高めてシャフト４の振れを小さ
くする等の種々の方策を採用することが検討されてい
る。しかしながらそれでもなお製品にバースト現象を発
生することがあるのである。(Problems to be Solved by the Invention) By the way, in the pressure-resistant sealing device using the magnetic fluid having the above-described structure, a phenomenon called a burst in which the pressure in the vacuum space A instantaneously increases at the initial stage of the rotation of the shaft 4 occurs. May be. This burst phenomenon is generally considered to occur for the following reasons. That is, when the shaft 4 is rotated, the stage surfaces 15 to 22 and the pole piece 2
The distance between a and 2b undergoes a slight change due to the deflection of the shaft 4 or the like, so that the differential pressure resistance of the magnetic fluids 23 to 30 changes. Therefore, when a state occurs in which the differential pressure resistance of the first magnetic fluid 23 closest to the vacuum space A falls below 0.2 kg / cm 2 , the differential pressure between the pressure in the first annular groove 5 and the pressure in the space A (0.2 kg / cm 2 ), the gas is released from the second annular groove 6 side to the space A side by the force, and the pressure in the space A instantaneously rises with this release. In order to suppress such a burst phenomenon, for example, the magnetic field strength of the gap between the first stage surface 15 on the vacuum space A side and the first pole piece 2a is improved to increase the seal withstand voltage, It has been considered to adopt various measures such as increasing the accuracy and reducing the runout of the shaft 4. However, a burst phenomenon may still occur in the product.
本発明者は、その原因を種々の角度から分析していく
過程で次のような事実を知見した。それは第３図に仮想
線で示すように、第１ポールピース2aの内周面の低圧側
の第１環状縁部35と、シャフト４の第１環状溝５の開口
を定める第２環状縁部36との間に、磁性流体のブリッジ
37が形成されているということである。すなわちこの磁
性流体ブリッジ37の耐差圧は、他の磁性流体23〜30の耐
差圧よりも低く、したがってシャフト４の回転初期のポ
ールピース2a、2bと各ステージ面15〜22との間のギャッ
プの微小な変化によって上記磁性流体ブリッジ37の耐差
圧が低下し、その結果、第１環状溝５内の気体が磁性流
体ブリッジ37を通して放出されることになり、それがバ
ースト発生の原因となる訳である。The present inventors have found the following facts in the process of analyzing the cause from various angles. As shown by phantom lines in FIG. 3, the first annular edge 35 on the low pressure side of the inner peripheral surface of the first pole piece 2a and the second annular edge defining the opening of the first annular groove 5 of the shaft 4 are shown. Bridge between 36 and ferrofluid
37 is formed. That is, the differential pressure resistance of the magnetic fluid bridge 37 is lower than the differential pressure resistance of the other magnetic fluids 23 to 30, and therefore, the gap between the pole pieces 2a and 2b at the initial stage of rotation of the shaft 4 and the respective stage surfaces 15 to 22. Due to a small change in the gap, the differential pressure resistance of the ferrofluid bridge 37 is reduced. As a result, the gas in the first annular groove 5 is released through the ferrofluid bridge 37, which causes a burst. That is.
そこでこのようなブリッジ37が形成される原因を究明
したところ、空間Ａが真空状態にあるときには、第１磁
性流体23が、空間Ａと第２環状溝６との差圧力によっ
て、第４図に示すように空間Ａ側へと偏した状態となる
が、この偏した部分近傍の磁性流体が、第１及び第２環
状縁部35、36間に形成される磁束に吸引されるのであ
る。特に第１及び第２環状縁部35、36間の距離が、各部
材の寸法公差、組立誤差等に起因して短くなっているよ
うな場合（第３図仮想線参照）には、上記磁束が強くな
り、磁性流体23を容易に吸引・移動させ、ブリッジ37を
形成することになるのである。Then, when the cause of the formation of such a bridge 37 was investigated, when the space A was in a vacuum state, the first magnetic fluid 23 caused the differential pressure between the space A and the second annular groove 6 to be as shown in FIG. As shown, the magnetic fluid is deflected toward the space A, but the magnetic fluid near the deflected portion is attracted to the magnetic flux formed between the first and second annular edges 35, 36. In particular, when the distance between the first and second annular edges 35 and 36 is short due to dimensional tolerances of components, assembly errors, and the like (see phantom lines in FIG. 3), the magnetic flux And the magnetic fluid 23 is easily sucked and moved, and the bridge 37 is formed.
この発明は、上記のような新たな知見に基づいてなさ
れたものであって、その目的は、上記したような磁性流
体のブリッジが形成されるのを防止することによって、
バースト現象の発生を抑えることのできる磁性流体を利
用した耐圧シール装置を提供することにある。The present invention has been made based on the above-described new findings, and its object is to prevent the formation of the bridge of the magnetic fluid as described above,
An object of the present invention is to provide a pressure-resistant sealing device using a magnetic fluid capable of suppressing the occurrence of a burst phenomenon.
（問題点を解決するための手段） そこでこの発明の磁性流体を利用した耐圧シール装置
は、磁性体から成る環状のポールピースに環状の磁石体
を設けて構成した環状のシール体と、磁性体から成る軸
状の作動部材とを備え、上記ポールピースの内周面と作
動部材の外周面とが相対向するよう上記作動部材をシー
ル体に貫通させて配置すると共に、上記作動部材の外周
面に複数の環状溝を周設することによってこれらの環状
溝の間にステージ面を形成し、このステージ面と上記ポ
ールピースの内周面との間に磁性流体を介設して、上記
シール体を挟む一方の高圧空間と他方の低圧空間との間
を圧力差を保持しながらシールする磁性流体を利用した
耐圧シール装置であって、上記ポールピースの内周面に
おける低圧空間側の第１環状縁部と、上記作動部材の最
も低圧空間側の環状溝においてその開口を定める両側一
対の環状縁部のうち反ステージ面側の第２環状縁部との
間の距離を、上記第１及び第２環状縁部間に磁性流体の
ブリッジを形成し得ない距離としている。(Means for Solving the Problems) Accordingly, a pressure-resistant seal device using a magnetic fluid according to the present invention includes a ring-shaped seal member formed by providing a ring-shaped magnet body on a ring-shaped pole piece made of a magnetic body; A shaft-shaped operating member comprising: an inner peripheral surface of the pole piece and an outer peripheral surface of the operating member. A stage surface is formed between these annular grooves by providing a plurality of annular grooves on the peripheral surface, and a magnetic fluid is interposed between the stage surface and the inner peripheral surface of the pole piece to form the seal body. A pressure-fluid sealing device using a magnetic fluid for sealing while maintaining a pressure difference between one high-pressure space and the other low-pressure space that sandwiches the first annular space on the inner peripheral surface of the pole piece on the low-pressure space side. Edge and above The distance between the second annular edge on the side opposite to the stage surface of the pair of annular edges defining the opening in the annular groove closest to the low-pressure space of the operating member is set between the first and second annular edges. The distance is such that a bridge of magnetic fluid cannot be formed.
（作用） 上記の結果、作動部材の最も低圧空間側のステージ面
とポールピースの内周面との間近傍の磁性流体が圧力差
等によって低圧空間側へと偏した場合においても、第１
及び第２環状縁部間にその磁性流体によるブリッジが形
成されることはなく、したがって、そのようなブリッジ
に起因して生ずるバースト現象は防止されることにな
る。(Operation) As a result, even when the magnetic fluid near the stage surface of the operating member closest to the low-pressure space and the inner peripheral surface of the pole piece is biased toward the low-pressure space due to a pressure difference or the like, the first operation can be performed.
No bridge is formed between the first and second annular edges by the magnetic fluid, so that a burst phenomenon caused by such a bridge is prevented.
（実施例） 次にこの発明の磁性流体を利用した耐圧シール装置の
具体的な実施例について、図面を参照しつつ詳細に説明
する。なお以下に説明する実施例においては、第２図に
示す多段型の耐圧シール装置として構成したものについ
て説明することとし、したがって同様の部分については
同一の符号を使用すると共に、その説明を省略すること
にする。Example Next, a specific example of a pressure-resistant sealing device using a magnetic fluid according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In the embodiment described below, a multi-stage pressure-resistant sealing device shown in FIG. 2 will be described. Therefore, the same reference numerals will be used for the same parts, and the description thereof will be omitted. I will.
第１図には、その一実施例を示しており、第１環状溝
５の幅を他の環状溝６〜14の幅よりも大きくしたもので
ある。この幅の大きさは、例えば部材の寸法公差等によ
って第１及び第２環状縁部35、36とが最も接近するとき
の両環状縁部35、36間の距離を考慮し（第１図仮想線参
照）、その間に磁性流体のブリッジを形成することのな
いような大きさにする。このブリッジの形成されないよ
うな大きさの幅とは、第１ステージ面15と第１ポールピ
ース2aの内周面との間に介設される第１磁性流体23が圧
力差に起因して偏した状態となったとき（第４図参照）
に、この磁性流体23が上記両環状縁部35、36間に生ずる
磁束によって部分的に吸引・移動することのないような
幅、或いは両環状縁部35、36間に磁性流体を介設して
も、その間に生ずる磁束によってはその磁性流体を保持
し得ないような幅を含む概念である。例えば、ステージ
面15〜22の幅0.25mm、第２〜第10環状溝６〜14の幅0.75
mm、深さ0.5mmの場合には、第１環状溝５は上記と略同
深さで、その幅を上記他の溝幅の1.3〜2.0倍、すなわち
1.0〜1.5mmとするのが好ましい。FIG. 1 shows an embodiment of the present invention, in which the width of the first annular groove 5 is larger than the width of the other annular grooves 6 to 14. The width is determined in consideration of the distance between the first and second annular edges 35 and 36 when the first and second annular edges 35 and 36 are closest to each other due to, for example, dimensional tolerances of the members (see FIG. 1). (See line), so that the magnetic fluid does not form a bridge therebetween. The width of such a size that no bridge is formed means that the first magnetic fluid 23 interposed between the first stage surface 15 and the inner peripheral surface of the first pole piece 2a is deviated due to a pressure difference. (See Fig. 4)
The magnetic fluid 23 has a width such that the magnetic fluid 23 is not partially attracted or moved by the magnetic flux generated between the annular edges 35 and 36, or a magnetic fluid is provided between the annular edges 35 and 36. However, the concept includes a width such that the magnetic fluid cannot be held by the magnetic flux generated therebetween. For example, the width of the stage surfaces 15 to 22 is 0.25 mm, and the width of the second to tenth annular grooves 6 to 14 is 0.75 mm.
mm and a depth of 0.5 mm, the first annular groove 5 has substantially the same depth as above, and its width is 1.3 to 2.0 times the width of the other groove, that is,
It is preferably 1.0 to 1.5 mm.
上記構成の耐圧シール装置においては、空間Ａを真空
状態にした場合においても、両環状縁部35、36間に磁性
流体のブリッジが形成されることがなく、そのためこの
ようなブリッジに起因してシャフト４の回転初期の段階
において生ずるバースト現象を防止することが可能であ
る。また上記実施例においては、第１環状溝５の幅を他
の環状溝６〜14よりも大きくするだけでバースト現象の
発生を抑えることができるので、耐圧シール装置の大型
化を招来することがないし、また加工もきわめて容易で
ある。In the pressure-resistant sealing device having the above-described configuration, even when the space A is in a vacuum state, a bridge of the magnetic fluid is not formed between the two annular edges 35, 36. It is possible to prevent a burst phenomenon that occurs in the initial stage of the rotation of the shaft 4. Further, in the above embodiment, the occurrence of the burst phenomenon can be suppressed only by making the width of the first annular groove 5 larger than that of the other annular grooves 6 to 14, so that the pressure seal device can be increased in size. It is also very easy to process.
以上にこの発明の磁性流体を利用した耐圧シール装置
の具体的な実施例について説明したが、この発明の磁性
流体を利用した耐圧シール装置においては、第１環状溝
５の幅を他の環状溝６〜14の幅と同一にし、その代りに
ポールピース2a、或いはシール体３の厚さを薄くするこ
とによって上記の環状縁部35、36間の距離を磁性流体ブ
リッジの形成されない距離となすようにすること等も可
能である。この場合においても上記実施例と同様の効果
を奏することが可能である。またこの発明の耐圧シール
装置は、上記実施例のような多段型のものに限られるも
のではなく、シール体を挟んだ両空間の差圧が比較的小
さい場合には２つの環状溝によって形成される１つのス
テージ面とシール体（ポールピース）の内周面との間に
磁性流体を介設した構成に適用することも可能である。
さらにシール体として、永久磁石の片側にのみポールピ
ースを重合わせたものを採用することも可能である。ま
た作動部材としてのシャフト３は回転駆動、往復駆動等
の種々の作動をなす構成となすことも可能である。Although the specific embodiment of the pressure-resistant sealing device using the magnetic fluid of the present invention has been described above, in the pressure-resistant sealing device using the magnetic fluid of the present invention, the width of the first annular groove 5 is changed to another annular groove. The width between the annular edges 35 and 36 is made equal to the width of the magnetic fluid bridge by reducing the thickness of the pole piece 2a or the thickness of the seal body 3 instead. Is also possible. In this case, it is also possible to achieve the same effects as in the above embodiment. Further, the pressure-resistant sealing device of the present invention is not limited to the multi-stage type as in the above embodiment, but is formed by two annular grooves when the differential pressure between the two spaces sandwiching the sealing body is relatively small. It is also possible to apply to a configuration in which a magnetic fluid is interposed between one stage surface and the inner peripheral surface of the seal body (pole piece).
Furthermore, it is also possible to employ a seal body in which a pole piece is overlapped only on one side of the permanent magnet. Further, the shaft 3 as an operating member can be configured to perform various operations such as rotational driving and reciprocating driving.
（発明の効果） 以上のように、この発明の磁性流体を利用した耐圧シ
ール装置は上記した構成となされているので、第１及び
第２環状縁部間に磁性流体のブリッジが形成されること
がなく、そのためバースト現象の発生を抑えることが可
能である。(Effect of the Invention) As described above, since the pressure-resistant seal device using the magnetic fluid of the present invention has the above-described configuration, a bridge of the magnetic fluid is formed between the first and second annular edges. Therefore, it is possible to suppress the occurrence of the burst phenomenon.
第１図はこの発明の磁性流体を利用した耐圧シール装置
の一実施例を示す要部断面図、第２図は多段型の磁性流
体を利用した耐圧シール装置の部分断面図、第３図は従
来の磁性流体を利用した耐圧シール装置を示す要部断面
図、第４図は差圧力の作用した際の磁性流体の状態を示
す断面図である。 １……永久磁石（磁石体）、2a、2b……環状ポールピー
ス、３……シール体、４……シャフト（作動部材）、５
〜14……環状溝、15〜22……ステージ面、23〜30……磁
性流体、35……第１環状縁部、36……第２環状縁部、Ａ
……真空空間、Ｂ……大気圧空間。FIG. 1 is a cross-sectional view of an essential part showing an embodiment of a pressure-resistant seal device using a magnetic fluid of the present invention, FIG. 2 is a partial cross-sectional view of a pressure-resistant seal device using a multistage magnetic fluid, and FIG. FIG. 4 is a sectional view of a main part showing a conventional pressure-resistant sealing device using a magnetic fluid, and FIG. 4 is a sectional view showing a state of the magnetic fluid when a differential pressure acts. 1 ... permanent magnet (magnet body), 2a, 2b ... annular pole piece, 3 ... seal body, 4 ... shaft (operating member), 5
~ 14 ... annular groove, 15-22 ... stage surface, 23-30 ... magnetic fluid, 35 ... first annular edge, 36 ... second annular edge, A
… Vacuum space, B… atmospheric pressure space.
Claims (1)
の磁石体を設けて構成した環状のシール体と、磁性体か
ら成る軸状の作動部材とを備え、上記ポールピースの内
周面と作動部材の外周面とが相対向するよう上記作動部
材をシール体に貫通させて配置すると共に、上記作動部
材の外周面に複数の環状溝を周設することによってこれ
らの環状溝の間にステージ面を形成し、このステージ面
と上記ポールピースの内周面との間に磁性流体を介設し
て、上記シール体を挟む一方の高圧空間と他方の低圧空
間との間を圧力差を保持しながらシールする磁性流体を
利用した耐圧シール装置であって、上記ポールピースの
内周面における低圧空間側の第１環状縁部と、上記作動
部材の最も低圧空間側の環状溝においてその開口を定め
る両側一対の環状縁部のうち反ステージ面側の第２環状
縁部との間の距離を、上記第１及び第２環状縁部間に磁
性流体のブリッジを形成し得ない距離としたことを特徴
とする磁性流体を利用した耐圧シール装置。An annular seal member comprising a ring-shaped pole piece made of a magnetic material and a ring-shaped magnet body provided thereon, and a shaft-shaped operating member made of a magnetic material are provided. The operating member is provided so as to penetrate the seal body so that the outer peripheral surface of the operating member is opposed to the outer peripheral surface of the operating member. A magnetic fluid is interposed between the stage surface and the inner peripheral surface of the pole piece to maintain a pressure difference between one high-pressure space and the other low-pressure space that sandwich the seal body. A pressure-resistant sealing device using a magnetic fluid that seals while closing the first annular edge portion on the inner peripheral surface of the pole piece on the low pressure space side and the opening in the annular groove on the lowest pressure space side of the operating member. A pair of rings on both sides to determine A magnetic fluid, wherein a distance between the first annular portion and the second annular edge portion on the side opposite to the stage surface is such that a magnetic fluid bridge cannot be formed between the first and second annular edge portions. Pressure-resistant sealing device using
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63047071A JP2577238B2 (en) | 1988-02-29 | 1988-02-29 | Pressure-resistant sealing device using magnetic fluid |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63047071A JP2577238B2 (en) | 1988-02-29 | 1988-02-29 | Pressure-resistant sealing device using magnetic fluid |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01220777A JPH01220777A (en) | 1989-09-04 |
| JP2577238B2 true JP2577238B2 (en) | 1997-01-29 |
Family
ID=12764933
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63047071A Expired - Fee Related JP2577238B2 (en) | 1988-02-29 | 1988-02-29 | Pressure-resistant sealing device using magnetic fluid |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2577238B2 (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3059381U (en) * | 1998-11-26 | 1999-07-09 | 株式会社フェローテック | Magnetic fluid sealing device |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59226766A (en) * | 1983-06-03 | 1984-12-19 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Magnetic fluid seal apparatus |
| JPS62278377A (en) * | 1986-05-27 | 1987-12-03 | Mitsubishi Electric Corp | Magnetic fluid sealing device |
-
1988
- 1988-02-29 JP JP63047071A patent/JP2577238B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01220777A (en) | 1989-09-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US8378543B2 (en) | Generating electromagnetic forces in large air gaps | |
| US4527805A (en) | High-pressure ferrofluid seal apparatus | |
| WO2007004690A1 (en) | Magnetic fluid sealing device | |
| JPS60245878A (en) | Multistage magnetic fluid sealing device magnetized in radial direction | |
| JP6029241B2 (en) | Magnetic fluid seal device | |
| JP2577238B2 (en) | Pressure-resistant sealing device using magnetic fluid | |
| US4989885A (en) | Magnetic fluid retainer, and shaft sealer employing same | |
| JPH10131966A (en) | Magnetic bearing device | |
| JP2001050400A (en) | Magnetic fluid sealing device | |
| JPS61160672A (en) | Magnetic fluid sealing device and sealing method | |
| US3682518A (en) | Magnetic fluid bearing | |
| JPS60155066A (en) | Seal structure using magnetic fluid | |
| JPH01220776A (en) | Magnetic fluid sealing device | |
| JPS62278377A (en) | Magnetic fluid sealing device | |
| JPH1089490A (en) | Sealing device utilized with magnetic fluid | |
| JPS6311427Y2 (en) | ||
| JP4140309B2 (en) | Sealing device using magnetic fluid | |
| JP4016793B2 (en) | Magnetic fluid seal device | |
| JPH0720453Y2 (en) | Magnetic fluid sealing device | |
| WO2011074549A1 (en) | Rotation device with seal means using magnetic viscous fluid | |
| JPH0721971Y2 (en) | Magnetic fluid sealing device | |
| JPH1137304A (en) | Sealing device utilizing magnetic fluid | |
| JPS63285369A (en) | Sealing device utilizing magnetic fluid | |
| JPH01158271A (en) | Shaft sealing device employing magnetic fluid | |
| JPH01203768A (en) | Sealing device utilizing magnetic fluid |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |