JP2570758B2 - Photosensitive resin composition - Google Patents

Photosensitive resin composition

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JP2570758B2
JP2570758B2 JP62206084A JP20608487A JP2570758B2 JP 2570758 B2 JP2570758 B2 JP 2570758B2 JP 62206084 A JP62206084 A JP 62206084A JP 20608487 A JP20608487 A JP 20608487A JP 2570758 B2 JP2570758 B2 JP 2570758B2
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    • G03F7/028Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with photosensitivity-increasing substances, e.g. photoinitiators
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は感光性樹脂組成物に関し、さらに詳しくは光
感度の増大した新規な感光性樹脂組成物に関する。
Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a photosensitive resin composition, and more particularly to a novel photosensitive resin composition having increased photosensitivity.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

印刷配線板の製造、金属の精密加工等の分野におい
て、エッチング、めっきなどの化学的、電気的手法に用
いられるレジスト材料として、感光性樹脂組成物および
これを用いて得られる感光性樹脂組成物積層体(以下、
感光性フィルムと称する)が広く用いられている。
In the fields of manufacturing printed wiring boards, precision metal processing, etc., a photosensitive resin composition and a photosensitive resin composition obtained using the same as a resist material used for chemical and electrical methods such as etching and plating. Laminate (hereinafter, referred to as
Photosensitive film) is widely used.

印刷配線板の製造方法には、テンティング法とめっき
法がある。これらのうち、めっき法とは、銅張り積層板
に積層、または塗布・乾燥した感光性樹脂組成物に、ネ
ガ型のフォトマスクを用いて、光照射し、末露光部を現
像したのち、銅めっき、ニッケルめっき、金めっき、半
田めっき、スズめっき等の金属めっきを施し、次に硬化
した感光性樹脂組成物を剥離し、銅をエッチィングして
所望の回路を得る方法である。また永久マスクとして使
用する場合はこの後さらに光または熱により硬化させ
る。
Methods for manufacturing a printed wiring board include a tenting method and a plating method. Among these, the plating method means that a photosensitive resin composition laminated or coated and dried on a copper-clad laminate is irradiated with light using a negative-type photomask, and after the exposed portion is developed, This is a method in which metal plating such as plating, nickel plating, gold plating, solder plating, and tin plating is performed, the cured photosensitive resin composition is peeled off, and copper is etched to obtain a desired circuit. When used as a permanent mask, it is further cured by light or heat.

前記感光性樹脂組成物の光感度を増大させることは、
活性光の露光時間を短縮できる点から有益であり、従来
から、鋭意研究が重ねられている。例えば、特開昭47−
4126号には、アクリジン型またはフェナジン型の化合物
を光重合性開始剤として含有した感光性樹脂組成物が開
示されており、中でも光感度の高い化合物として、9−
フェニルアクリジン、9−p−トリルアクリジン、9−
アセチルアミノアクリジン等が挙げられている。しか
し、これらの化合物を含んだ感光性樹脂組成物を使用し
て半田めっきを行うと、エッチング後、半田が溶解し、
線の細る部分が見られ、精密な回路形成ができない問題
がある。
Increasing the photosensitivity of the photosensitive resin composition,
This is advantageous in that the exposure time of the active light can be shortened, and intensive studies have been made in the past. For example, JP-A-47-
No. 4126 discloses a photosensitive resin composition containing an acridine-type or phenazine-type compound as a photopolymerizable initiator, and among the compounds having high photosensitivity, 9-
Phenylacridine, 9-p-tolylacridine, 9-
Acetylaminoacridine and the like are mentioned. However, when solder plating is performed using a photosensitive resin composition containing these compounds, the solder dissolves after etching,
There is a problem that a thin portion of the line is seen and a precise circuit cannot be formed.

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problems to be solved by the invention]

本発明の目的は、前記従来技術の欠点を除去し、エッ
チング後に半田が溶解することなく、光感度の増大した
新規な感光性樹脂組成物を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a novel photosensitive resin composition which eliminates the drawbacks of the above-mentioned prior art and has an increased photosensitivity without dissolving solder after etching.

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving the problem]

本発明は、(a)重量平均分子量が少なくとも320
で、一般式(I) (式中、R1、R2、R3、R4、R5、R6、R7およびR8は互いに
独立に水素、ハロゲン、炭素数1〜8のアルキル基また
はメトキシ基、Xはアクリジル基に共役した置換または
非置換の芳香環を示す)で表されるアクリジル側基を有
する光重合開始剤、 (b)熱可塑性有機高分子化合物および (c)末端エチレン基を少なくとも1個有する光重合性
化合物を含有してなる感光性樹脂組成物に関する。
The present invention relates to (a) a polymer having a weight average molecular weight of at least 320;
And the general formula (I) (Wherein R 1 , R 2 , R 3 , R 4 , R 5 , R 6 , R 7 and R 8 are each independently hydrogen, halogen, an alkyl group or a methoxy group having 1 to 8 carbon atoms, and X is acrylidyl A substituted or unsubstituted aromatic ring conjugated to a group), a photopolymerization initiator having an acrylidyl side group, (b) a thermoplastic organic polymer compound, and (c) a light having at least one terminal ethylene group. The present invention relates to a photosensitive resin composition containing a polymerizable compound.

本発明における光重合開始剤(a)は、重量平均分子
量が320以上で、さらに1分子中に一般式(I)のアク
リジル基に共役した芳香環を有するアクリジル側基を有
する化合物である。これらの化合物のうち得られる感光
性樹脂組成物の感度の点から、特に一般式(II) [式中、Z1はフェニレン基または6員環式複素環芳香族
基、R9は炭素数9〜15の置換もしくは非置換のアルキル
基、アリール基、アルコキシ基、一般式(−O−CO−NH
−R10)、一般式 または一般式(−O−CONH−Y−NHCOO−R12)である。
ただし、R10は炭素数4〜20の置換もしくは非置換のア
ルキル基、炭素数4〜20の置換もしくは非置換の脂環族
基または置換もしくは非置換のアリール基、R11は水素
またはメチル基、Yは置換もしくは非置換のアルキル基
または置換もしくは非置換の脂環族基、R12は置換もし
くは非置換のアルキル基または式 (ここでR13は水素またはメチル基、R14はアクリル基、
メタアクリル基またはアルキル基)を示す。]で表され
る化合物が好ましく、具体的には、p−n−ヘキシル安
息香酸とジフェニルアミンとをポリリン酸存在下に反応
させて得られる化合物、p−2−エチルヘキシル安息香
酸とジフェニルアミンとの反応物等のアルキル鎖が6以
上のフェニルアクリジン誘導体、9−(p−ヒドロキシ
ルフェニル)アクリジンとオクタデシルイソイアナー
ト、ヘキシルジイソシアナートまたは2,4,4−トリメチ
ルヘキシルジイソシアナートとの反応物、9−p−トリ
ルフェニルアクリジンを酸化して得られるp−9−アク
リジル安息香酸とジエチレングリコールモノエチルエー
テルまたはモノアクリルポリエチレングリコールとの反
応物、ヒドロキシル基を有するポリマーまたはオリゴマ
ーにp−9−アクリジル安息香酸を反応させた化合物、
9−(p−ヒドロキシフェニル)アクリジンとジイソシ
アナートとモノアクリルアルキレングリコールとの反応
物などが挙げられる。
The photopolymerization initiator (a) in the present invention is a compound having a weight average molecular weight of 320 or more and further having an acrylidyl side group having an aromatic ring conjugated to the acrylidyl group of the general formula (I) in one molecule. From the viewpoint of the sensitivity of the photosensitive resin composition obtained from these compounds, the compounds represented by the general formula (II) [Wherein, Z 1 is a phenylene group or a 6-membered heterocyclic aromatic group, R 9 is a substituted or unsubstituted alkyl group having 9 to 15 carbon atoms, an aryl group, an alkoxy group, a general formula (—O—CO 2 −NH
−R 10 ), general formula Or the general formula (-O-CONH-Y-NHCOO -R 12).
However, R 10 is a substituted or unsubstituted alkyl group having 4 to 20 carbon atoms, a substituted or unsubstituted alicyclic group or substituted or unsubstituted aryl group having 4 to 20 carbon atoms, and R 11 is a hydrogen or methyl group. , Y is a substituted or unsubstituted alkyl group or a substituted or unsubstituted alicyclic group, R 12 is a substituted or unsubstituted alkyl group or a formula (Where R 13 is hydrogen or a methyl group, R 14 is an acryl group,
(Methacrylic group or alkyl group). And specifically, a compound obtained by reacting pn-hexylbenzoic acid with diphenylamine in the presence of polyphosphoric acid, and a reaction product of p-2-ethylhexylbenzoic acid with diphenylamine A reaction product of 9- (p-hydroxylphenyl) acridine with octadecyl isocyanate, hexyl diisocyanate or 2,4,4-trimethylhexyl diisocyanate; Reaction of p-9-acrylidylbenzoic acid obtained by oxidizing p-tolylphenylacridine with a reaction product of diethylene glycol monoethyl ether or monoacryl polyethylene glycol, or a polymer or oligomer having a hydroxyl group with p-9-acrylidylbenzoic acid Compound,
A reaction product of 9- (p-hydroxyphenyl) acridine, diisocyanate and monoacrylalkylene glycol is exemplified.

これらの化合物の重量平均分子量が320未満である
と、半田溶解、めっき液への溶け込み量の増大などの問
題が発生する。また感光性樹脂組成物の感度および解像
度の点からのアクリジル側基の含有量が光重合開始剤の
重量平均分子量に対して1重量%以上であることが好ま
しい。得られる感光性樹脂組成物の感度の点から光重合
開始剤(a)の使用量は、前記(a)、(b)および
(c)成分100重量部に対して0.5重量部〜70重量部の範
囲が好ましい。より好ましい使用量は、塗布、乾燥した
感光性樹脂組成物の紫外線波長や365nm光の吸光度が0.3
〜3.0となる量である。
When the weight average molecular weight of these compounds is less than 320, problems such as dissolution of solder and an increase in the amount of dissolution in a plating solution occur. In addition, the content of the acrylidyl side group is preferably 1% by weight or more based on the weight average molecular weight of the photopolymerization initiator from the viewpoint of sensitivity and resolution of the photosensitive resin composition. The amount of the photopolymerization initiator (a) used is 0.5 parts by weight to 70 parts by weight based on 100 parts by weight of the components (a), (b) and (c) in view of the sensitivity of the obtained photosensitive resin composition. Is preferable. A more preferred amount is such that the coated and dried photosensitive resin composition has an ultraviolet wavelength or an absorbance of 365 nm light of 0.3.
It is an amount that becomes ~ 3.0.

また、本発明における光重合開始剤は、他の公知の光
重合開始剤を1種または2種以上混合して用いることも
できる。
Further, as the photopolymerization initiator in the invention, one or more other known photopolymerization initiators can be used in combination.

本発明における熱可塑性有機高分子化合物(b)とし
ては、フィルム付与性ポリマーであれば特に制限はない
が、これらを使用して得られる感光性樹脂組成物がそれ
ぞれの現像液に可溶な高分子量体であることが好まし
い。例えば溶剤現像型としては、メタクリル酸の共重合
体で重量平均分子量が2〜40万のビニル共重合体、アル
カリ現像型としては、カルボキシル基含有量が17〜50モ
ル%、重量平均分子量が3〜40万の線状共重合体等が好
ましい。上記ビニル共重合体に用いられるビニル重合性
単量体としては、メタクリル酸メチル、メタクリル酸ブ
チル、メタクリル酸α−エチルヘキシル、メタクリル酸
ラウリル、アクリル酸エチル、アクリル酸メチルスチレ
ン、ビニルトルエン、N−ビニルピロリドン、α−メチ
ルスチレン、α−ヒドロキシエチルメタクリレート、2
−ヒドロキシエチルアクリレート、アクリルアミド、ア
クリロニトリル、ジメチルアミノエチルメタクリレー
ト、ジメチルアミノエチルアクリレートなどが挙げられ
る。カルボキシル基を有する線状共重合体に用いる単量
体としては、アクリル酸、メタアクリル酸、フマル酸、
けい皮酸、イタコン酸、マイレン酸等が挙げられる。
The thermoplastic organic high molecular compound (b) in the present invention is not particularly limited as long as it is a film-providing polymer, but the photosensitive resin composition obtained by using these compounds has a high solubility in each developer. It is preferably a molecular weight. For example, a solvent-developing type is a methacrylic acid copolymer of a vinyl copolymer having a weight average molecular weight of 20,000 to 400,000, and an alkali developing type is a carboxyl group content of 17 to 50 mol% and a weight-average molecular weight of 3 to 3. Preferred are ~ 400,000 linear copolymers and the like. Examples of the vinyl polymerizable monomer used in the vinyl copolymer include methyl methacrylate, butyl methacrylate, α-ethylhexyl methacrylate, lauryl methacrylate, ethyl acrylate, methyl styrene acrylate, vinyl toluene, and N-vinyl. Pyrrolidone, α-methylstyrene, α-hydroxyethyl methacrylate, 2
-Hydroxyethyl acrylate, acrylamide, acrylonitrile, dimethylaminoethyl methacrylate, dimethylaminoethyl acrylate and the like. As monomers used for the linear copolymer having a carboxyl group, acrylic acid, methacrylic acid, fumaric acid,
Cinnamic acid, itaconic acid, maleic acid and the like.

これらの熱可塑性有機高分子化合物(b)の使用量
は、得られる感光性樹脂組成物の柔軟性の点から前記
(a)、(b)および(c)成分100重量部に対して30
〜80重量部の範囲が好ましい。
The amount of the thermoplastic organic polymer compound (b) to be used is 30 parts by weight based on 100 parts by weight of the components (a), (b) and (c) in view of the flexibility of the obtained photosensitive resin composition.
A range of -80 parts by weight is preferred.

本発明における末端エチレン基を少なくとも1個有す
る光重合性化合物(c)としては、末端エチレン性不飽
和基を少なくとも1個有する附加重合性物質であればよ
く、例えばトリメチロールプロパントリアクリレート、
ペンタエリスリトールトリアクリレート、1,6−ヘキサ
ンジオールジアクリレート、2,2−ビス(4−メタクリ
ロキシエトキシフェニル)プロパン、2,2−ビス(4−
アクリロキシエトキシフェニル)プロパン、ジペンタエ
リスリトールペンタアクリレート、トリメチロールプロ
パントリメタクリレート等の多価アルコールのポリアク
リレートまたはポリメタクリレート、トリメチルプロパ
ントリグリシジルエーテルのアクリル酸またはメタクリ
ル酸との付加物、ビスフェノールAエピクロルヒドリン
系のエポキシ樹脂のアクリル酸またはメタクリル酸付加
物等のエポキシアクリレート、無水フタル酸−ネオペン
チルグリコール−アクリル酸の1:1:2(モル比)の縮合
物等の低分子不飽和ポリエステル、トリメチルヘキサメ
チレンジイソシアナート、2価アルコールのアクリル酸
またはメタアクリル酸のモノエステル等を反応させて得
られるウレタンジアクリレート化合物、2,2,2′,2′−
テトラキス(ヒドロキシルメチル)−3,3′−オキシジ
プロパノールと6−ヘキサノリド付加物との縮合物とア
クリル酸とのエステル化合物等が用いられる。
The photopolymerizable compound (c) having at least one terminal ethylene group in the present invention may be any addition polymerizable substance having at least one terminal ethylenically unsaturated group, such as trimethylolpropane triacrylate,
Pentaerythritol triacrylate, 1,6-hexanediol diacrylate, 2,2-bis (4-methacryloxyethoxyphenyl) propane, 2,2-bis (4-
(Acryloxyethoxyphenyl) propane, dipentaerythritol pentaacrylate, polyacrylate or polymethacrylate of trimethylolpropane trimethacrylate, adduct of trimethylpropane triglycidyl ether with acrylic acid or methacrylic acid, bisphenol A epichlorohydrin Epoxy acrylates such as acrylic acid or methacrylic acid adducts of epoxy resins; low molecular unsaturated polyesters such as condensates of phthalic anhydride-neopentyl glycol-acrylic acid in a ratio of 1: 1: 2 (molar ratio); trimethylhexamethylene Urethane diacrylate compounds obtained by reacting diisocyanates, monoesters of acrylic acid or methacrylic acid of dihydric alcohols, 2,2,2 ', 2'-
An ester compound of acrylic acid with a condensate of tetrakis (hydroxylmethyl) -3,3'-oxydipropanol and an adduct of 6-hexanolide is used.

これらの光重合性化合物(c)の使用量は、得られる
感光性樹脂組成物の柔軟性の点から上記(a)、(b)
および(c)成分100重量部に対して、10〜70重量部の
範囲が好ましい。
The amount of the photopolymerizable compound (c) to be used depends on the above (a) and (b) in view of the flexibility of the obtained photosensitive resin composition.
The amount is preferably in the range of 10 to 70 parts by weight based on 100 parts by weight of component (c).

なお、本発明の感光性樹脂組成物には、公知の染料、
可塑剤、連鎖移動剤、顔料、難燃剤、安定剤、密着性付
与剤等を必要に応じて添加することもできる。
Incidentally, the photosensitive resin composition of the present invention, a known dye,
A plasticizer, a chain transfer agent, a pigment, a flame retardant, a stabilizer, an adhesion-imparting agent, and the like can be added as necessary.

本発明における感光性樹脂組成物は、メチルエチルケ
トン、メチルセロソルブ、塩化メチレン等の有機溶剤を
用いて溶液とされ、溶液状態で被処理物上に塗布され、
乾燥されて用いられるか、またはフィルム状支持体上に
塗布されて感光性フィルムとして使用される。該フィル
ム状支持体としては、ポリエチレンテレフタレートフィ
ルム、ポリスチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム
等が用いられる。必要に応じて感光性フィルムの上に、
保護フィルムを積層してもよい。該保護フィルムとして
は、上記のフィルム状支持体として用いられる材料の他
にポリエチレンフィルム、ポリビニルアルコールフィル
ム等が用いられる。
The photosensitive resin composition of the present invention is formed into a solution using an organic solvent such as methyl ethyl ketone, methyl cellosolve, and methylene chloride, and is coated on a processing object in a solution state.
It is used after being dried or coated on a film-like support and used as a photosensitive film. As the film support, a polyethylene terephthalate film, a polystyrene film, a polypropylene film, or the like is used. If necessary, on the photosensitive film,
A protective film may be laminated. As the protective film, a polyethylene film, a polyvinyl alcohol film and the like are used in addition to the above-mentioned materials used as the film-like support.

〔実施例〕〔Example〕

以下、本発明を実施例により説明する。 Hereinafter, the present invention will be described with reference to examples.

実施例1 (光重合開始剤S−Iの合成) ジフェニルアミン273g(1.62モル)、p−n−ヘキシ
ル安息香酸167g(0.81モル)およびポリリン酸1400gを
混合し、窒素ガス気流下220℃で8時間撹拌した。冷却
後、混合物を氷に注ぎ、水8を加えた。水層をとり、
不溶物を濾別した後、50重量%水酸化カリウム水溶液を
加えてPH12とした。生じた油状物をクロロホルム2で
抽出し、十分に水洗後、無水硫酸ナトリウムを用いて乾
燥した。クロロホルムによりカラム分取し、溜出後、生
成物を得た。該生成物の紫外吸収スペクトルには357nm
の吸収極大があり、9−(p−nヘキシルフェニル)ア
クリジン(以下、S−1という)であることが確認され
た。分子量は326であった。
Example 1 (Synthesis of photopolymerization initiator SI) 273 g (1.62 mol) of diphenylamine, 167 g (0.81 mol) of pn-hexylbenzoic acid and 1400 g of polyphosphoric acid were mixed, and the mixture was stirred at 220 ° C. for 8 hours under a nitrogen gas stream. Stirred. After cooling, the mixture was poured onto ice and water 8 was added. Take the water layer,
After filtering off the insoluble matter, a 50% by weight aqueous solution of potassium hydroxide was added to obtain PH12. The resulting oil was extracted with chloroform 2, washed thoroughly with water, and dried using anhydrous sodium sulfate. The column was collected with chloroform, and after distilling, a product was obtained. The product had an ultraviolet absorption spectrum of 357 nm.
Was confirmed to be 9- (pn-hexylphenyl) acridine (hereinafter, referred to as S-1). The molecular weight was 326.

(感光性フィルムの製造) 得られた光重合開始剤S−Iを用いて第1表に示す配
合割合に従って感光性樹脂組成物を作製した。次に感光
性樹脂組成物により第1図に示す塗布装置を用いて、感
光性フィルムを製造した。すなわち、第1図において、
感光性樹脂組成物溶液6は、ポリエチレンテレフタレー
トフィルム繰り出しロール1から引き出された厚さ25μ
mのポリエチレンテレフタレートフィルム上に、ロール
2,3,4によって均一に塗布され、100℃熱風対流式乾燥機
7で3分間乾燥されて溶剤が除去され、厚さ約50μmの
感光層となる。5はナイフである。該感光層を有する感
光性フィルムは、ロール9、10で、ポリエチレンフィル
ム繰り出しロール8から引き出された保護フィルムと貼
り合わされ、感光性フィルム巻き取りロール11に巻き取
られる。
(Production of photosensitive film) A photosensitive resin composition was prepared using the obtained photopolymerization initiator SI in accordance with the compounding ratio shown in Table 1. Next, a photosensitive film was produced from the photosensitive resin composition using the coating apparatus shown in FIG. That is, in FIG.
The photosensitive resin composition solution 6 has a thickness of 25 μm drawn from the polyethylene terephthalate film pay-out roll 1.
m roll on polyethylene terephthalate film
The coating is uniformly applied by 2, 3, and 4, and dried by a hot air convection dryer 7 at 100 ° C. for 3 minutes to remove the solvent, thereby forming a photosensitive layer having a thickness of about 50 μm. 5 is a knife. The photosensitive film having the photosensitive layer is bonded to the protective film drawn out of the polyethylene film pay-out roll 8 by rolls 9 and 10 and wound up by a photosensitive film take-up roll 11.

このようにして得られた感光性フィルムの感光度の測
定およびめっき試験を下記に示す試験方法によって行な
った。結果を第2表に示す。
The measurement of the photosensitivity and the plating test of the thus obtained photosensitive film were performed by the following test methods. The results are shown in Table 2.

<試験方法> 200mm×250mmの銅張積層板上に作製した感光性樹脂フ
ィルムの保護フィルムを剥がし、110℃のホットロール
で加圧しながらラミネートした。得られた基板について
以下の試験を行なった。
<Test Method> The protective film of the photosensitive resin film produced on a copper-clad laminate of 200 mm × 250 mm was peeled off and laminated while pressing with a 110 ° C. hot roll. The following test was performed on the obtained substrate.

(1)感光度の測定 コダック社製21段ステップタブレットを用いて、3KW
高圧水銀灯で20秒間露光し、30℃の1重量%炭酸ナトリ
ウム溶液で75秒間現像し、残存するステップ段数(ST)
を観察した。STの数の大きい程、感光度が高いことを示
す。
(1) Measurement of photosensitivity Using a Kodak 21-step tablet, 3KW
Exposure with a high-pressure mercury lamp for 20 seconds, development with a 1% by weight sodium carbonate solution at 30 ° C for 75 seconds, and the number of remaining steps (ST)
Was observed. The higher the number of STs, the higher the sensitivity.

(2)めっき試験 IPCパターンネガを用いて、ST=8となる露光時間で
露光を行ない、現像し、第3表に示すめっき−エッチン
グ工程を行なった。次に100倍の拡大投影機を用いてエ
ッチング後の表面観察を行ない、半田の溶解を調べた。
(2) Plating test Using an IPC pattern negative, exposure was performed for an exposure time of ST = 8, development was performed, and a plating-etching step shown in Table 3 was performed. Next, the surface after the etching was observed using a 100 × magnification projector, and the dissolution of the solder was examined.

実施例2 (光重合開始剤S−IIの合成) 9−(p−ヒドロキシルフェニル)アクリジン2.7g
(0.01モル)をピリジン200mlに溶解し、イソホロンジ
イソシアナート2g(0.02モル)を添加し、50℃に加温
し、8時間撹拌した。その後、重量平均分子量約400の
モノアクリルポリプロピレングリコール(登録商標ニッ
サンブレンマーPP−1000、日本油脂社製)を6g(0.015
モル)添加し、さらに4時間撹拌した。反応物を2の
n−ヘキサンに投入し、ヘキサン可溶部を取り出し、ヘ
キサンを溜出し、反応物を得た。該生成分の紫外吸収ス
ペクトルには358nmの吸収極大があり、アクリジル側基
を有する目的物(以下、S−IIという)であることが確
認された。重量平均分子量は約1,100(スチレン換算分
子量)であった。また薄層クロマトグラフィーにより9
−(P−ヒドロキシフェニル)アクリジンがないことを
確認した。
Example 2 (Synthesis of photopolymerization initiator S-II) 9- (p-hydroxylphenyl) acridine 2.7 g
(0.01 mol) was dissolved in 200 ml of pyridine, 2 g (0.02 mol) of isophorone diisocyanate was added, and the mixture was heated to 50 ° C. and stirred for 8 hours. Thereafter, 6 g (0.015 g) of monoacryl polypropylene glycol having a weight average molecular weight of about 400 (registered trademark Nissan Blemmer PP-1000, manufactured by NOF CORPORATION)
Mol) and stirred for an additional 4 hours. The reaction product was poured into n-hexane (2), the hexane-soluble portion was taken out, and hexane was distilled off to obtain a reaction product. The ultraviolet absorption spectrum of the produced product had an absorption maximum at 358 nm, and it was confirmed that the product was the target product having an acrylidyl side group (hereinafter, referred to as S-II). The weight average molecular weight was about 1,100 (styrene equivalent molecular weight). 9 by thin layer chromatography
It was confirmed that there was no-(P-hydroxyphenyl) acridine.

(感光性フィルムの製造) 得られた光重合開始剤S−IIを用いて第1表に示す配
合割合に従って感光性樹脂組成物を調整し、実施例1と
同様の方法で感光性フィルムを製造し、実施例1と同様
の方法でその感光度測定およびめっき試験を行なった。
結果を第2表に示す。
(Production of Photosensitive Film) Using the obtained photopolymerization initiator S-II, a photosensitive resin composition was adjusted according to the compounding ratio shown in Table 1, and a photosensitive film was produced in the same manner as in Example 1. The measurement of the photosensitivity and the plating test were performed in the same manner as in Example 1.
The results are shown in Table 2.

比較例1〜3 光重合開始剤として、9−フェニルアクリジン(比較
例1)、9−(p−ヒドロキシルフェニル)アクリジン
(比較例2)、ジエチルアミノベンゾフェノンおよびベ
ンゾフェノン(比較例3)を用いて、それぞれ第1表に
示す配合割合に従って感光性樹脂組成物を調整し、実施
例1と同様の方法で感光性フィルムを製造し、実施例1
と同様の方法でその感光度測定およびめっき試験を行な
った。結果を第2表に示す。
Comparative Examples 1 to 3 9-phenylacridine (Comparative Example 1), 9- (p-hydroxylphenyl) acridine (Comparative Example 2), diethylaminobenzophenone and benzophenone (Comparative Example 3) were used as photopolymerization initiators, respectively. The photosensitive resin composition was adjusted according to the mixing ratio shown in Table 1, and a photosensitive film was produced in the same manner as in Example 1.
The light sensitivity measurement and the plating test were performed in the same manner as described above. The results are shown in Table 2.

第2表の結果から、実施例では光感度が高く、さらに
半田溶解が見られず、実用的であることが示される。
From the results shown in Table 2, it is shown that the examples have high light sensitivity, do not show solder melting, and are practical.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

本発明の感光性樹脂組成物は、光感度が高く、かつエ
ッチング後の半田の溶解がないため、精密な回路形成が
可能である。
Since the photosensitive resin composition of the present invention has high photosensitivity and does not dissolve solder after etching, precise circuit formation is possible.

【図面の簡単な説明】 第1図は感光性樹脂組成物の塗布装置を示す図である。 1……ポリエチレンテレフタレートフィルム繰り出しロ
ール、2、3、4、9、10……ロール、5……ナイフ、
6……感光性樹脂組成物溶液、7……乾燥機、8……ポ
リエチレンフィルム繰り出しロール、11……感光性フィ
ルム巻き取りロール。
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a view showing an apparatus for applying a photosensitive resin composition. 1 ... Polyethylene terephthalate film feeding roll, 2, 3, 4, 9, 10 ... Roll, 5 ... Knife,
6 ... photosensitive resin composition solution, 7 ... dryer, 8 ... polyethylene film pay-out roll, 11 ... photosensitive film take-up roll.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 田中 由美子 茨城県日立市東町4丁目13番1号 日立 化成工業株式会社山崎工場内 (56)参考文献 特開 昭63−256602(JP,A) ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (72) Inventor Yumiko Tanaka 4-13-1, Higashicho, Hitachi City, Ibaraki Prefecture Inside the Hitachi Chemical Co., Ltd. Yamazaki Factory (56) References JP-A-63-256602 (JP, A)

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】(a)重量平均分子量が少なくとも320
で、一般式(I) (式中、R1、R2、R3、R4、R5、R6、R7およびR8は互いに
独立に水素、ハロゲン、炭素数1〜8のアルキル基また
はメトキシ基、Xはアクリジル基に共役した置換または
非置換の芳香環を示す)で表されるアクリジル側基を有
する光重合開始剤、 (b)熱可塑性有機高分子化合物および (c)末端エチレン基を少なくとも1個有する光重合性
化合物を含有してなる感光性樹脂組成物。
(A) a weight average molecular weight of at least 320;
And the general formula (I) (Wherein R 1 , R 2 , R 3 , R 4 , R 5 , R 6 , R 7 and R 8 are each independently hydrogen, halogen, an alkyl group or a methoxy group having 1 to 8 carbon atoms, and X is acrylidyl A substituted or unsubstituted aromatic ring conjugated to a group), a photopolymerization initiator having an acrylidyl side group, (b) a thermoplastic organic polymer compound, and (c) a light having at least one terminal ethylene group. A photosensitive resin composition containing a polymerizable compound.
【請求項2】光重合開始剤が一般式(II) [式中、Z1はフェニレン基または6員環式複素環芳香族
基、R9は炭素数9〜15の置換もしくは非置換のアルキル
基、アリール基、アルコキシ基、一般式(−O−CO−NH
−R10)、一般式 または一般式(−O−CONH−Y−NHCOO−R12)である。
ただし、R10は炭素数4〜20の置換もしくは非置換のア
ルキル基、炭素数4〜20の置換もしくは非置換の脂環族
基または置換もしくは非置換のアリール基、R11は水素
またはメチル基、Yは置換もしくは非置換のアルキル基
または置換もしくは非置換の脂環族基、R12は置換もし
くは非置換のアルキル基または式 (ここでR13は水素またはメチル基、R14はアクリル基、
メタアクリル基またはアルキル基)を示す。]で表され
る特許請求の範囲第1項記載の感光性樹脂組成物。
2. The photopolymerization initiator of the general formula (II) [Wherein, Z 1 is a phenylene group or a 6-membered heterocyclic aromatic group, R 9 is a substituted or unsubstituted alkyl group having 9 to 15 carbon atoms, an aryl group, an alkoxy group, a general formula (—O—CO 2 −NH
−R 10 ), general formula Or the general formula (-O-CONH-Y-NHCOO -R 12).
However, R 10 is a substituted or unsubstituted alkyl group having 4 to 20 carbon atoms, a substituted or unsubstituted alicyclic group or substituted or unsubstituted aryl group having 4 to 20 carbon atoms, and R 11 is a hydrogen or methyl group. , Y is a substituted or unsubstituted alkyl group or a substituted or unsubstituted alicyclic group, R 12 is a substituted or unsubstituted alkyl group or a formula (Where R 13 is hydrogen or a methyl group, R 14 is an acryl group,
(Methacrylic group or alkyl group). The photosensitive resin composition according to claim 1, which is represented by the following formula:
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