JP2562078B2 - Combined flow meter - Google Patents

Combined flow meter

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JP2562078B2 JP2230614A JP23061490A JP2562078B2 JP 2562078 B2 JP2562078 B2 JP 2562078B2 JP 2230614 A JP2230614 A JP 2230614A JP 23061490 A JP23061490 A JP 23061490A JP 2562078 B2 JP2562078 B2 JP 2562078B2
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、低流量域を測定するフローセンサ(マイク
ロフローセンサともいう)と高流量域を測定するのに快
適なカルマン流量計等の流量計を組み合わせた複合型流
量計に関し、特にそのフローセンサの故障診断機能をも
つ複合型流量計に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial application] The present invention relates to a flow sensor (also called a micro flow sensor) for measuring a low flow rate range and a flow rate of a Kalman flow meter or the like that is comfortable for measuring a high flow rate range. More particularly, the present invention relates to a combined flow meter having a failure diagnosis function of its flow sensor.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

従来、複合型流量計としては、例えば低流量域を測定
するフローセンサと、大流量域を測定するカルマン流量
計を設け、これらフローセンサ,流量計からの流量信号
をマイクロコンピュータ(以下マイコンと略す)に入力
して流量を測定するようにしたガスメータがある。
Conventionally, as a composite type flow meter, for example, a flow sensor for measuring a low flow rate range and a Kalman flow meter for measuring a large flow rate range are provided, and a flow rate signal from these flow sensor and flow rate meter is referred to as a microcomputer (hereinafter referred to as a microcomputer). ), There is a gas meter that measures the flow rate.

この場合、フローセンサは、例えばシリコンの基台上
に発熱用ヒータと該ヒータを挟んで両側に独立して配置
された上流及び下流側感温抵抗からなり、発熱ヒータを
オンしたとき、被測定ガスの流れがあると上流側感温抵
抗は冷却されて抵抗値が減少するのに対し、下流側感温
抵抗は加熱されて抵抗値が増加することを利用し、その
差が流量に比例した特性をもっている。
In this case, the flow sensor is composed of, for example, a heater for heat generation on a silicon base and upstream and downstream temperature-sensitive resistors independently arranged on both sides of the heater, and when the heater is turned on, the flow sensor is measured. Utilizing the fact that the upstream temperature-sensitive resistor is cooled and its resistance value decreases when there is a gas flow, whereas the downstream temperature-sensitive resistor is heated and its resistance value increases, and the difference is proportional to the flow rate. It has characteristics.

一方、マイコンは、フローセンサの出力をディジタル
に変換したパルス信号を入力して、フローセンサの発熱
ヒータをオフとしたときのパルス出力P1と該ヒータをオ
ンとしたときのパルス出力P2を読み込み、その差P2−P1
を演算して流量信号として認識するものとなっている。
ここで、前記P1はある出力パルス数の許容範囲をもって
おり、フローセンサの感温抵抗,検出部の固定抵抗及び
差動増幅器のオフセット電圧を考慮してある値(例えば
360パルス)になるように調整されている。
On the other hand, the microcomputer inputs a pulse signal obtained by converting the output of the flow sensor into a digital signal, and outputs a pulse output P 1 when the heating heater of the flow sensor is turned off and a pulse output P 2 when the heater is turned on. read, the difference P 2 -P 1
Is calculated and recognized as a flow rate signal.
Here, the P 1 has a certain allowable range of the number of output pulses, and a certain value (for example, the temperature-sensitive resistance of the flow sensor, the fixed resistance of the detection unit, and the offset voltage of the differential amplifier is considered (for example,
It is adjusted to be 360 pulses).

〔発明が解決しようとする課題〕[Problems to be Solved by the Invention]

しかし、このような従来の複合型流量計では、フロー
センサを構成する感温抵抗,検出部の固定抵抗及び差動
増幅器のオフセット電圧の変化が大きくなると、フロー
センサの発熱ヒータをオフとしたときのパルス出力P1
そのパルス範囲を越える虞があり、正確な流量が得られ
なくなる。また、フローセンサの発熱ヒータ,感温抵抗
はショートモードはないが、オープン状態つまり断線に
なることがあり、それがオープン状態になるとフローセ
ンサの出力信号が不定となり、その本来の機能を果たさ
なくなるという問題があった。
However, in such a conventional combined flowmeter, when the temperature-sensitive resistance that constitutes the flow sensor, the fixed resistance of the detection unit, and the offset voltage of the differential amplifier become large, when the heating heater of the flow sensor is turned off. The pulse output P 1 may exceed the pulse range, and an accurate flow rate cannot be obtained. In addition, the heat generation heater and the temperature-sensitive resistor of the flow sensor do not have a short mode, but they may be open, that is, broken, and when it becomes open, the output signal of the flow sensor becomes undefined and its original function is no longer fulfilled. There was a problem.

本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、そ
の目的は、フローセンサの故障及び故障診断としてその
状態を容易に判別できるようにした複合型流量計を提供
することにある。
The present invention has been made in view of such circumstances, and an object thereof is to provide a composite flowmeter capable of easily determining the state of a flow sensor failure and failure diagnosis.

〔課題を達成するための手段〕[Means for achieving the task]

上記の目的を達成するために、本発明に係る複合型流
量計は、基台上に発熱ヒータと該ヒータの両側に独立し
て配置された上流及び下流側感温抵抗からなり低流量域
を測定するフローセンサと、大流量域を測定する流量計
と、これらフローセンサ、流量計からの流量信号を入力
し、発熱ヒータをオンとしたときの出力信号から発熱ヒ
ータをオフしたときときの出力信号を差し引いた出力値
が流量に比例する演算処理を行なうとともに、前記フロ
ーセンサの故障診断を行なうマイコンとを備えたもので
ある。
In order to achieve the above-mentioned object, a composite flow meter according to the present invention comprises a heating heater on a base and upstream and downstream temperature-sensitive resistors independently arranged on both sides of the heater to provide a low flow rate range. A flow sensor to measure, a flow meter to measure a large flow rate, and flow signals from these flow sensors and flow meters are input, and the output signal when the heating heater is turned on is output from the output signal when the heating heater is turned on. The microcomputer is provided with a microcomputer for performing an arithmetic process in which an output value obtained by subtracting a signal is proportional to a flow rate and for diagnosing a failure of the flow sensor.

このとき、前記マイコンは、フローセンサの故障診断
を行なうのに、流量の有無にかかわりなくフローセンサ
の発熱ヒータをオフとしたときの出力信号が許容範囲を
越えた場合に異常信号を出すものとし、あるいは流量計
からの流量信号があり、かつフローセンサからの出力信
号が発熱ヒータをオフとしたときの出力信号および該発
熱ヒータをオンとしたときの出力信号が零の時、上流側
感温抵抗の断線故障と判断するものとする。
At this time, the microcomputer, in order to diagnose the failure of the flow sensor, outputs an abnormal signal when the output signal when the heating heater of the flow sensor is turned off exceeds the allowable range regardless of the flow rate. , Or when there is a flow rate signal from the flowmeter and the output signal from the flow sensor is 0 when the heating heater is off and when the heating heater is on, the upstream temperature sensing It shall be judged as a disconnection failure of the resistance.

また、前記マイコンは、流量計からの流量信号がな
く、しかもフローセンサからの出力信号が発熱ヒータを
オフとしたときの出力信号及び発熱ヒータをオンとした
ときの出力信号が各々許容値を越えたときに、下流側感
温抵抗の断線故障と判断するものとし、さらに流量計か
らの流量信号がある際、フローセンサからの出力信号が
発熱ヒータをオフとしたときの出力信号と該ヒータをオ
フとしたときの出力信号が等しい時に発熱ヒータの断線
故障と判断するものとする。
Further, the microcomputer has no flow rate signal from the flow meter, and the output signal from the flow sensor exceeds the allowable value when the heating heater is turned off and when the heating heater is turned on. When the flow rate signal from the flow meter is present, the output signal from the flow sensor and the output signal when the heater is turned off are When the output signals are the same when turned off, it is determined that the heating heater has a disconnection failure.

〔作用〕[Action]

本発明においては、フローセンサの流量信号と流量計
の流量信号とをマイコンに入力して、この両信号を比較
することにより、フローセンサに特有の故障モードを適
確に判断することができる。
In the present invention, by inputting the flow rate signal of the flow sensor and the flow rate signal of the flow meter to the microcomputer and comparing these two signals, the failure mode peculiar to the flow sensor can be accurately determined.

〔実施例〕〔Example〕

以下、本発明を図面に示す実施例に基づいて詳細に説
明する。
Hereinafter, the present invention will be described in detail based on embodiments shown in the drawings.

第1図は本発明の一実施例による複合型流量計の基本
的なブロック構成図で、第2図及び第3図は、第1図の
フローセンサのヒータ駆動回路およびそのフローセンサ
の信号をマイコンに入力するインターフェイス回路を示
すものであり、ここではガスメータに適用した場合を示
す。第1図においては、1はガスの流路4内の上流側に
配設されて例えば150/h以下の低流量域を測定するフ
ローセンサ、2はこの流路4内のフローセンサ1に近接
して配設されて例えば150/h以上の大流量領域を測定
するカルマン流量計、3はこれらフローセンサ1,カルマ
ン流量計2からの流量信号が入力されるマイコンであ
り、このマイコン3は、それら信号に基づき流量計測の
演算処理を行なうとともに、フローセンサ1の故障診断
を行なうものとなっている。
FIG. 1 is a basic block configuration diagram of a composite type flow meter according to an embodiment of the present invention, and FIGS. 2 and 3 show a heater drive circuit of the flow sensor of FIG. 1 and signals of the flow sensor. This figure shows the interface circuit that is input to the microcomputer, and here it is applied to a gas meter. In FIG. 1, 1 is a flow sensor arranged upstream of the gas flow path 4 to measure a low flow rate region of, for example, 150 / h or less, and 2 is close to the flow sensor 1 in the flow path 4. The Kalman flowmeter 3 for measuring a large flow rate region of, for example, 150 / h or more is a microcomputer to which the flow rate signals from the flow sensor 1 and the Kalman flowmeter 2 are input. Based on these signals, the flow rate measurement calculation processing is performed, and the failure diagnosis of the flow sensor 1 is performed.

このとき、フローセンサ1は、従来例と同様に、シリ
コンなどの基台上に発熱用のヒータと該ヒータの両側に
独立して配置された上流及び下流側感温抵抗からなる。
そして発熱ヒータ11は、第2図に示すように、電圧源12
からスイッチ13を介して供給される一定の電流により所
定の温度に加熱される。また、上流及び下流測感温抵抗
21,22は、第3図に示すように、固定抵抗23及び24を含
むブリッジ回路20の各辺にそれぞれ接続されており、そ
の検出点a−b間に生じる差電圧を差動増幅器25で増幅
したのち、A/D変換器26でディジタル信号に変換して、
流量に比例したパルス信号をマイコン3に入力するもの
となっている。
At this time, as in the conventional example, the flow sensor 1 is composed of a heater for heat generation on a base made of silicon or the like, and upstream and downstream temperature-sensitive resistors independently arranged on both sides of the heater.
Then, as shown in FIG. 2, the heater 11 includes a voltage source 12
Is heated to a predetermined temperature by a constant current supplied from the switch 13 through the switch 13. Also, upstream and downstream temperature sensing resistance
As shown in FIG. 3, reference numerals 21, 22 are connected to the respective sides of the bridge circuit 20 including the fixed resistors 23 and 24, and the differential voltage generated between the detection points ab is detected by the differential amplifier 25. After amplification, it is converted to a digital signal by the A / D converter 26,
A pulse signal proportional to the flow rate is input to the microcomputer 3.

また、マイコン3は、フローセンサ1の発熱ヒータ11
がオフ(スイッチ13が開)したときのパルス出力P1とそ
のヒータ11がオン(スイッチ13が閉)したときのパルス
出力P2を読み込み、その差P2−P1を演算して流量信号と
して認識する。ここで、前記パルス出力P1はある出力パ
ルス数の範囲、例えば0〜640パルスをもっており、同
じくP2は例えば0〜1390パルスをもっており、フローセ
ンサ1の各感温抵抗21,22と固定抵抗23,24及び差動増幅
器25のオフセット電圧のとき、ある値(例えば360パル
ス)になるように調整されている。なお、第3図中VB
駆動電源の電圧を示す。
Further, the microcomputer 3 uses the heating heater 11 of the flow sensor 1
The pulse output P 1 when the switch is off (switch 13 is open) and the pulse output P 2 when the heater 11 is on (switch 13 is closed) are read, and the difference P 2 -P 1 is calculated to calculate the flow rate signal. Recognize as. Here, the pulse output P 1 has a range of a certain number of output pulses, for example, 0 to 640 pulses, and similarly P 2 has, for example, 0 to 1390 pulses. The offset voltages of 23 and 24 and the differential amplifier 25 are adjusted to have a certain value (for example, 360 pulses). Note that V B in FIG. 3 represents the voltage of the driving power supply.

ところで、従来では、フローセンサ1を構成する上流
及び下流側感温抵抗21,22と固定抵抗23,24および差動増
幅器25のオフセット電圧の変化が大きくなると、その出
力P1はパルス範囲を越える虞れがあり、正確な流量が得
られなくなる。また、フローセンサ1の発熱ヒータ11,
上流及び下流側感温抵抗21,22はショートモードはない
が、オープン状態になることがある。そのため、この上
流側感温抵抗21がオープンになると、フローセンサ1の
出力P1,P2は常に0(零)となり、従って、流れがあっ
ても0となる。また、下流側感温抵抗22がオープンにな
ると、フローセンサ1の出力P1は最大の640パルス、同
じく出力P2は1390パルスとなり、その差P2−P1は750パ
ルスとなって、流れがなくても流量信号が出る。さら
に、発熱ヒータ11がオープンになると、各パルス出力P1
及びP2は、流れの有無にかかわらずP1=P2となり、流量
信号が0となるような不具合が生じていた。
By the way, conventionally, when the change in the offset voltage of the upstream and downstream temperature-sensitive resistors 21 and 22, the fixed resistors 23 and 24, and the differential amplifier 25 which constitute the flow sensor 1 becomes large, the output P 1 thereof exceeds the pulse range. There is a fear that an accurate flow rate cannot be obtained. In addition, the heat generating heater 11 of the flow sensor 1,
The upstream and downstream temperature-sensitive resistors 21 and 22 have no short mode, but may be in an open state. Therefore, when the upstream temperature-sensitive resistor 21 is opened, the outputs P 1 and P 2 of the flow sensor 1 are always 0 (zero), and therefore 0 even if there is a flow. When the downstream temperature-sensitive resistor 22 is opened, the output P 1 of the flow sensor 1 becomes maximum 640 pulses, the output P 2 becomes 1390 pulses, and the difference P 2 −P 1 becomes 750 pulses, and the flow Flow rate signal is output even without. Further, when the heating heater 11 is opened, each pulse output P 1
In P and P 2 , P 1 = P 2 regardless of the presence or absence of the flow, and there was a problem that the flow rate signal became 0.

しかるに、本発明は、このようなフローセンサの故障
の状態を容易に判別するようになされたものである。す
なわち、本実施例は、第1図〜第3図の構成において、
フローセンサ1の各上流及び下流側感温抵抗21,22と固
定抵抗23,24の経年変化および差動増幅器25のオフセッ
トドリフトにより、その出力P1が予め設定された初期値
(例えば360パルス)から変化すると、マイコン3によ
ってこのP1を監視することにより、それがある動作範囲
を越えたとき、故障前として警報Aを出力するものとな
っている。
However, the present invention is designed to easily determine the failure state of such a flow sensor. That is, in the present embodiment, in the configuration of FIG. 1 to FIG.
The output P 1 of the upstream and downstream temperature-sensitive resistors 21 and 22 and the fixed resistors 23 and 24 of the flow sensor 1 and the offset drift of the differential amplifier 25 are set to a preset initial value (for example, 360 pulses). When the value changes from the above, the microcomputer 3 monitors the P 1 so that when it exceeds a certain operating range, the alarm A is output before the failure.

また、マイコン3は、カルマン流量計2からの流量信
号があり、しかもフローセンサ1の出力P1及びP2が共に
0のとき(出力オーバー)、上流側感温抵抗21のオープ
ン故障として警報を出すものとなっている。このとき、
前記警報Aはリセットする。
Further, when there is a flow rate signal from the Kalman flowmeter 2 and the outputs P 1 and P 2 of the flow sensor 1 are both 0 (output over), the microcomputer 3 issues an alarm as an open failure of the upstream temperature-sensitive resistor 21. It is supposed to be issued. At this time,
The alarm A is reset.

また、マイコン3は、カルマン流量計2からの流量信
号がなく、しかもフローセンサ1の出力P1が許容値とし
て例えば640パルス、出力P2が1390パルスを越えたとき
(出力オーバーになったとき)、下流側感温抵抗22のオ
ープンとして警報を出すものとなっている。このときも
前記警報Aはリセットする。
Further, when there is no flow rate signal from the Kalman flow meter 2 and the output P 1 of the flow sensor 1 exceeds the allowable value of, for example, 640 pulses and the output P 2 exceeds 1390 pulses (when the output is over). ), An alarm is issued as the downstream temperature-sensitive resistor 22 is opened. At this time also, the alarm A is reset.

さらに、マイコン3は、カルマン流量計2からの流量
信号があるにもかかわらず、フローセンサ1の各出力P1
及びP2がP1=P2のとき、発熱ヒータ11のオープン故障と
して警報を出すものとなっている。
Further, the microcomputer 3 outputs each output P 1 of the flow sensor 1 in spite of the flow rate signal from the Kalman flow meter 2.
When P 1 and P 2 are P 1 = P 2, an alarm is issued as an open failure of the heating heater 11.

このように、かかる実施例によると、フローセンサ1
の故障および故障予知が正しく診断でき、ガスメータに
おいてメインテナンス上の修理箇所の明確化,修理のス
ピードアップが計れる利点を有する。
Thus, according to such an embodiment, the flow sensor 1
It has the advantages that the failure and failure prediction of can be correctly diagnosed, the repair location on the gas meter can be clarified, and the repair speed can be increased.

なお、本発明における大流量域の測定はカルマン流量
計を用いたが、これはフルイディック流量計,大流量用
フローセンサ等において代用することも可能である。
Although the Kalman flow meter was used for the measurement of the large flow rate region in the present invention, a fluidic flow meter, a flow sensor for a large flow rate, or the like can be used instead.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

以上説明したように、本発明によれば、低流量域を測
定するフローセンサと大流量域を測定する流量計からの
流量信号を入力し、発熱ヒータをオンしたときの出力信
号から発熱ヒータをオフしたときときの出力信号を差し
引いた出力値が流量に比例する演算処理を行なうマイコ
ンを搭載した複合型流量計において、フローセンサの故
障及び状態を診断するようにしたので、フローセンサに
特有な故障モードを適確に判断することができる。これ
によって、フローセンサの動作状態がはっきり分かるよ
うになる。これは、特にガスメータのメインテナンス上
の修理箇所の明確化、また修理のスピードアップが計れ
る点で有効である。
As described above, according to the present invention, the flow rate signals from the flow sensor for measuring the low flow rate region and the flow rate meter for measuring the large flow rate region are input, and the heating heater is determined from the output signal when the heating heater is turned on. In a combined flowmeter equipped with a microcomputer that performs an arithmetic process in which the output value obtained by subtracting the output signal when it is turned off is proportional to the flow rate, the failure and state of the flow sensor are diagnosed. The failure mode can be accurately determined. This allows the operating state of the flow sensor to be clearly seen. This is particularly effective in clarifying the repair points on the maintenance of the gas meter and speeding up the repair.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は本発明による複合型流量計の一実施例を示す基
本的なブロック構成図、第2図は第1図のフローセンサ
のヒータ駆動回路図、第3図はそのフローセンサの信号
をマイコンに入力するインターフェイス回路図である。 1……フローセンサ、2……カルマン流量計、3……マ
イコン(マイクロコンピュータ)、4……ガス流路、11
……発熱ヒータ、12……電圧源、13……スイッチ、21…
…上流側感温抵抗、22……下流側感温抵抗、23,24……
固定抵抗、25……差動増幅器、26……A/D変換器。
FIG. 1 is a basic block diagram showing an embodiment of a composite type flow meter according to the present invention, FIG. 2 is a heater driving circuit diagram of the flow sensor of FIG. 1, and FIG. 3 shows signals of the flow sensor. It is an interface circuit diagram which inputs into a microcomputer. 1 ... Flow sensor, 2 ... Kalman flowmeter, 3 ... Microcomputer, 4 ... Gas flow path, 11
...... Heating heater, 12 ...... Voltage source, 13 ...... Switch, 21 ...
… Upstream temperature resistance, 22 …… Downstream temperature resistance, 23,24 ……
Fixed resistance, 25 …… differential amplifier, 26 …… A / D converter.

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】基台上に発熱ヒータと該ヒータの両側に独
立して配置された上流及び下流側感温抵抗からなる低流
量域を測定するフローセンサと、 大流量域を測定する流量計と、 これらフローセンサ,流量計からの流量信号を入力し、
前記発熱ヒータをオンとしたときの出力信号から発熱ヒ
ータをオフとしたときの出力信号を差し引いた出力値が
流量に比例する演算処理を行なうとともに、前記フロー
センサの故障診断を行なうマイクロコンピュータと、 を備えたことを特徴とする複合型流量計。
1. A flow sensor for measuring a low flow rate region comprising a heating heater and upstream and downstream temperature-sensitive resistors independently arranged on both sides of the heater on a base, and a flow meter for measuring a large flow rate region. And input the flow signal from these flow sensor and flow meter,
A microcomputer that performs an arithmetic process in which an output value obtained by subtracting an output signal when the heating heater is turned off from an output signal when the heating heater is turned on is proportional to a flow rate, and performs a failure diagnosis of the flow sensor, A composite type flow meter characterized by being equipped with.
【請求項2】請求項1において、マイクロコンピュータ
は、流量の有無にかかわりなくフローセンサの発熱ヒー
タをオフとしたときの出力値が許容範囲を越えた場合に
異常信号を出す手段を有することを特徴とする複合型流
量計。
2. The microcomputer according to claim 1, further comprising means for outputting an abnormal signal when the output value when the heat generating heater of the flow sensor is turned off exceeds the allowable range regardless of the flow rate. Characteristic compound type flow meter.
【請求項3】請求項1において、マイクロコンピュータ
は、流量計からの流量信号があり、かつフローセンサか
らの出力信号が発熱ヒータをオフとしたときの出力信号
および該発熱ヒータをオンとしたときの出力信号が零の
時、上流側感温抵抗の断線故障と判断する手段を有する
ことを特徴とする複合型流量計。
3. The microcomputer according to claim 1, wherein the microcomputer has a flow rate signal from the flow meter, and the output signal from the flow sensor is an output signal when the heating heater is turned off and when the heating heater is turned on. When the output signal of 0 is zero, the composite type flow meter is provided with a means for judging a disconnection failure of the upstream temperature-sensitive resistor.
【請求項4】請求項1において、マイクロコンピュータ
は、流量計からの流量信号がなく、しかもフローセンサ
からの出力信号が発熱ヒータをオフとしたときの出力信
号および発熱ヒータをオンとしたときの出力信号が各々
許容値を越えたときに、下流側感温抵抗の断線故障と判
断する手段を有することを特徴とする複合型流量計。
4. The microcomputer according to claim 1, wherein there is no flow rate signal from the flow meter, and the output signal from the flow sensor is the output signal when the heating heater is off and the heating signal when the heating heater is on. A composite type flow meter, comprising means for determining a disconnection failure of a downstream temperature-sensitive resistor when the output signals exceed respective allowable values.
【請求項5】請求項1において、マイクロコンピュータ
は、流量計からの流量信号がある際、フローセンサから
の出力信号が発熱ヒータをオフとしたときの出力信号と
該ヒータをオフとしたときの出力信号が等しい時に発熱
ヒータの断線故障と判断する手段を有することを特徴と
する複合型流量計。
5. The microcomputer according to claim 1, wherein when there is a flow rate signal from the flow meter, the output signal from the flow sensor is the output signal when the heating heater is off and the output signal when the heater is off. A composite type flow meter, characterized in that it has means for judging that the heating heater has a disconnection failure when the output signals are the same.
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