JP2020012642A - Abnormality determination device and method - Google Patents

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Abstract

To enable identification of an abnormality occurring in a flow measurement system with a thermal type flowmeter to be easily performed.SOLUTION: A stop unit 101 stops a flow of a fluid. A heater stop unit 102 stops operation of a heater 123. A first determination unit 103 determines whether or not a sensor value is a value (e.g., 0) corresponding to that when the flow of the fluid is 0, in a state of the flow of the fluid being stopped by the stop unit 101 in a state of the heater 123 being operative. A second determination unit 104 determines whether or not the sensor value is a value (e.g., 0) corresponding to that when the flow of the fluid is 0, in a state of the heater 123 being stopped by the heater stop unit 102 after the flow of the fluid being stopped by the stop unit 101. An abnormality decision unit 105 decides abnormality by a determination result of the first determination unit 103 and a determination result of the second determination unit 104.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、熱式流量計による流量測定システムにおいて発生している異常を判定する異常判定装置および方法に関する。   The present invention relates to an abnormality determination device and method for determining an abnormality occurring in a flow measurement system using a thermal flow meter.

流路を流れる流体の流量や流速を測定する技術が、工業・医療分野などで幅広く利用されている。流量や流速を測定する装置としては、電磁流量計、渦流量計、コリオリ式流量計、熱式流量計など様々な種類があり、用途に応じて使い分けられている。熱式流量計は、 気体の検出が可能であり、圧力損失が基本的にはなく、質量流量が測定できるなどの利点がある。また、流路をガラス管から構成することで、腐食性の液体の流量を測定可能とした熱式流量計も用いられている（特許文献１参照）。このような液体の流量を測定する熱式流量計は、微量な流量の測定に適している。   Techniques for measuring the flow rate and flow velocity of a fluid flowing through a flow path are widely used in the industrial and medical fields. There are various types of devices for measuring a flow rate and a flow velocity, such as an electromagnetic flow meter, a vortex flow meter, a Coriolis flow meter, and a thermal flow meter, and they are used properly according to applications. The thermal flow meter has the advantages that it can detect gas, has essentially no pressure loss, and can measure mass flow. In addition, a thermal flow meter that can measure the flow rate of a corrosive liquid by forming a flow path from a glass tube is also used (see Patent Document 1). Such a thermal flow meter for measuring the flow rate of a liquid is suitable for measuring a very small flow rate.

熱式流量計では、ヒータの上下流の温度差により流量を測定している。配管の上流から下流に向かって第１の測温抵抗体、ヒータ、第２の測温抵抗体を順次設け、第１の測温抵抗体と第２の測温抵抗体との抵抗値の差から得られる値を気体の流速に応じたセンサ出力としている。   In the thermal flow meter, the flow rate is measured based on the temperature difference between the upstream and downstream of the heater. A first resistance thermometer, a heater, and a second resistance thermometer are sequentially provided from upstream to downstream of the pipe, and a difference in resistance between the first resistance thermometer and the second resistance thermometer is provided. Is a sensor output corresponding to the gas flow velocity.

特開２００６−０１０３２２号公報JP 2006-010322 A

ところで、上述した熱式流量計では、バルブを全閉にした状態にもかかわらず流量を検出するなどの異常が発生することがある。原因として、流体の漏れや流量計の異常やゼロ点ずれが考えられる。この原因を特定するためには、配管を分解する、配管の下流側に閉止弁を設置して閉じるなどの作業が必要になり、容易に作業することができない場合も発生する。このように、従来では、熱式流量計による流量測定システムにおいて発生している異常の特定が容易に実施できないという問題があった。   By the way, in the above-mentioned thermal type flow meter, an abnormality such as detection of the flow rate may occur even though the valve is fully closed. Possible causes include leakage of fluid, abnormalities in the flow meter, and zero point deviation. In order to identify the cause, work such as disassembling the pipe and installing and closing a shut-off valve on the downstream side of the pipe is required. In some cases, the work cannot be easily performed. As described above, conventionally, there has been a problem that it is not easy to specify an abnormality occurring in the flow measurement system using the thermal flow meter.

本発明は、以上のような問題点を解消するためになされたものであり、熱式流量計による流量測定システムにおいて発生している異常の特定が容易に実施できるようにすることを目的とする。   The present invention has been made in order to solve the above problems, and has as its object to easily identify an abnormality occurring in a flow measurement system using a thermal flow meter. .

本発明に係る異常判定装置は、測定対象の流体が流れる上流から下流に向かって順次に配置された第１温度測定部、ヒータ、第２温度測定部を備え、第１温度測定部と第２温度測定部との温度測定結果の差を元に流体の流量に応じたセンサ値を出力するセンサ部を備える流量制御システムの異常を判定する異常判定装置であって、流体の流れを停止するように構成された停止部と、ヒータを停止するように構成されたヒータ停止部と、ヒータが動作状態で停止部により流体の流れを停止した状態で、センサ値が、流体の流量が０である時に相当する値か否かを判定するように構成された第１判定部と、停止部により流体の流れを停止したあとヒータ停止部によりヒータを停止した状態で、センサ値が、流体の流量が０である時に相当する値か否かを判定するように構成された第２判定部と、第１判定部の判定結果と第２判定部の判定結果とにより異常を判断するように構成された異常判断部とを備える。   The abnormality determination device according to the present invention includes a first temperature measurement unit, a heater, and a second temperature measurement unit that are sequentially arranged from an upstream to a downstream where a fluid to be measured flows, and includes a first temperature measurement unit and a second temperature measurement unit. An abnormality determination device that determines an abnormality of a flow control system including a sensor unit that outputs a sensor value according to a flow rate of a fluid based on a difference between a temperature measurement result and a temperature measurement unit, wherein the flow of the fluid is stopped. The sensor value is 0 when the flow of the fluid is stopped by the stop unit while the heater is operating and the stop unit is configured to stop the heater. A first determination unit configured to determine whether or not the flow rate corresponds to the time, and a state in which the flow of the fluid is stopped by the stop unit and then the heater is stopped by the heater stop unit. Is the value equivalent to 0 Comprising a second determination unit configured to determine, and determination result and the abnormality judging section configured to judge an abnormality by the determination result of the second determination of the first determination unit.

上記異常判定装置において、異常判断部は、第１判定部がセンサ値は流体の流量が０である時に相当する値以外と判定し、第２判定部がセンサ値は流体の流量が０である時に相当する値以外と判定した場合、センサ部に異常が発生しているものと判断する。   In the abnormality determination device, the abnormality determination unit determines that the first determination unit determines that the sensor value is other than the value corresponding to the time when the fluid flow rate is zero, and the second determination unit determines that the sensor value is zero. When it is determined that the value is other than the value corresponding to the time, it is determined that an abnormality has occurred in the sensor unit.

上記異常判定装置において、異常判断部は、第１判定部がセンサ値は流体の流量が０である時に相当する値以外と判定し、第２判定部がセンサ値は流体の流量が０である時に相当する値と判定した場合、漏れが発生しているものと判断する。   In the abnormality determination device, the abnormality determination unit determines that the first determination unit determines that the sensor value is other than the value corresponding to the time when the fluid flow rate is zero, and the second determination unit determines that the sensor value is zero. When it is determined that the value corresponds to the time, it is determined that leakage has occurred.

本発明に係る異常判定方法は、測定対象の流体が流れる上流から下流に向かって順次に配置された第１温度測定部、ヒータ、第２温度測定部を備え、第１温度測定部と第２温度測定部との温度測定結果の差を元に流体の流量に応じたセンサ値を出力するセンサ部を備える流量制御システムの異常を判定する異常判定方法であって、流体の流れを停止する第１ステップと、流体の流れを停止した状態で、センサ値が、流体の流量が０である時に相当する値か否かを判定する第２ステップと、第２ステップの後で、ヒータを停止する第３ステップと、ヒータを停止した状態で、センサ値が、流体の流量が０である時に相当する値か否かを判定する第４ステップと、第２ステップの判定結果と第４ステップの判定結果とにより異常を判断する第５ステップとを備える。   An abnormality determination method according to the present invention includes a first temperature measurement unit, a heater, and a second temperature measurement unit that are sequentially arranged from an upstream to a downstream where a fluid to be measured flows, and includes a first temperature measurement unit and a second temperature measurement unit. An abnormality determination method for determining an abnormality of a flow control system including a sensor unit that outputs a sensor value according to a flow rate of a fluid based on a difference between a temperature measurement result and a temperature measurement unit, the method including: stopping a flow of a fluid. One step, a second step of determining whether or not the sensor value is a value corresponding to a time when the flow rate of the fluid is 0 in a state where the flow of the fluid is stopped, and stopping the heater after the second step. A third step, a fourth step of determining whether the sensor value is a value corresponding to a time when the flow rate of the fluid is 0 when the heater is stopped, a determination result of the second step, and a determination of the fourth step Fifth step to judge abnormalities based on results Tsu and a flop.

上記異常判定方法において、第５ステップでは、第２ステップでセンサ値が、流体の流量が０である時に相当する値以外と判定され、第４ステップでセンサ値が、流体の流量が０である時に相当する値以外と判定された場合、センサ部に異常が発生しているものと判断する。   In the abnormality determination method, in the fifth step, the sensor value is determined to be other than the value corresponding to the time when the fluid flow rate is 0 in the second step, and the sensor value is determined to be 0 in the fourth step. When it is determined that the value is other than the value corresponding to the time, it is determined that an abnormality has occurred in the sensor unit.

上記異常判定方法において、第５ステップでは、第２ステップでセンサ値が、流体の流量が０である時に相当する値以外と判定され、第４ステップでセンサ値が、流体の流量が０である時に相当する値と判定された場合、漏れが発生しているものと判断する。   In the abnormality determination method, in the fifth step, the sensor value is determined to be other than the value corresponding to the time when the fluid flow rate is 0 in the second step, and the sensor value is determined to be 0 in the fourth step. When it is determined that the value corresponds to the time, it is determined that leakage has occurred.

以上説明したように、本発明によれば、流体の流れを停止し、また、ヒータを停止した状態で、センサ値が、流体の流量が０である時に相当する値か否かを判定するようにしたので、熱式流量計による流量測定システムにおいて発生している異常の特定が容易に実施できるという優れた効果が得られる。   As described above, according to the present invention, with the flow of the fluid stopped and the heater stopped, it is determined whether or not the sensor value is a value corresponding to the case where the flow rate of the fluid is 0. Therefore, an excellent effect that an abnormality occurring in the flow measurement system using the thermal flow meter can be easily specified can be obtained.

図１は、本発明の実施の形態における異常判定装置１００の構成を示す構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram illustrating a configuration of an abnormality determination device 100 according to an embodiment of the present invention. 図２は、センサ部１２５の構成を示す構成図である。FIG. 2 is a configuration diagram illustrating a configuration of the sensor unit 125. 図３は、本発明の実施の形態における異常判定方法を説明するためのフローチャートである。FIG. 3 is a flowchart for explaining the abnormality determination method according to the embodiment of the present invention. 図４は、本発明の実施の形態における異常判定装置１００のハードウエア構成を示す構成図である。FIG. 4 is a configuration diagram illustrating a hardware configuration of the abnormality determination device 100 according to the embodiment of the present invention.

以下、本発明の実施の形態おける異常判定装置１００について図１を参照して説明する。異常判定装置１００は、流量制御システム１２１の異常を判定する。ここで、流量制御システム１２１は、図２に例示するように、測定対象の流体１５１が配管１５２を流れる上流から下流に向かって順次に配置された第１温度測定部１２２、ヒータ１２３、第２温度測定部１２４を備え、第１温度測定部１２２と第２温度測定部１２４との温度測定結果の差を元に、流体１５１の流量に応じたセンサ値を出力するセンサ部１２５を備える。   Hereinafter, an abnormality determination device 100 according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. The abnormality determination device 100 determines an abnormality of the flow control system 121. Here, as illustrated in FIG. 2, the flow rate control system 121 includes a first temperature measuring unit 122, a heater 123, and a second temperature measuring unit 122 in which a fluid 151 to be measured is sequentially arranged from upstream to downstream in the pipe 152. A temperature measurement unit is provided, and a sensor unit 125 that outputs a sensor value according to the flow rate of the fluid 151 based on a difference between the temperature measurement results of the first temperature measurement unit 122 and the second temperature measurement unit 124 is provided.

異常判定装置１００は、停止部１０１、ヒータ停止部１０２、第１判定部１０３、第２判定部１０４、異常判断部１０５、表示部１０６を備える。   The abnormality determination device 100 includes a stop unit 101, a heater stop unit 102, a first determination unit 103, a second determination unit 104, an abnormality determination unit 105, and a display unit 106.

停止部１０１は、流体の流れを停止する。例えば、停止部１０１は、図２に示す配管１５２の図示しない上流側に設けられているバルブを全閉状態とすることで、流体１５１の流れを停止する。ヒータ停止部１０２は、ヒータ１２３の動作を停止する。   The stop unit 101 stops the flow of the fluid. For example, the stop unit 101 stops the flow of the fluid 151 by fully closing a valve provided on an upstream side (not shown) of the pipe 152 shown in FIG. The heater stop unit 102 stops the operation of the heater 123.

第１判定部１０３は、ヒータ１２３が動作状態で停止部１０１により流体の流れを停止した状態で、センサ値（流量値）が０か否かを判定する。第２判定部１０４は、停止部１０１により流体の流れを停止した後で、ヒータ停止部１０２によりヒータ１２３を停止した状態で、センサ値（流量値）が０か否かを判定する。異常判断部１０５は、第１判定部１０３の判定結果と第２判定部１０４の判定結果とにより異常を判断する。   The first determination unit 103 determines whether the sensor value (flow rate value) is 0 in a state where the flow of the fluid is stopped by the stop unit 101 while the heater 123 is operating. The second determination unit 104 determines whether the sensor value (flow rate value) is 0 in a state where the heater 123 is stopped by the heater stop unit 102 after the flow of the fluid is stopped by the stop unit 101. The abnormality determination unit 105 determines an abnormality based on the determination result of the first determination unit 103 and the determination result of the second determination unit 104.

例えば、異常判断部１０５は、第１判定部１０３がセンサ値は０以外と判定し、第２判定部１０４がセンサ値は０以外と判定した場合、センサ部に異常が発生しているものと判断する。また、異常判断部１０５は、第１判定部１０３がセンサ値は０以外と判定し、第２判定部１０４がセンサ値は０と判定した場合、漏れが発生しているものと判断する。判断の結果は、例えば、表示部１０６に表示する。   For example, when the first determination unit 103 determines that the sensor value is other than 0 and the second determination unit 104 determines that the sensor value is other than 0, the abnormality determination unit 105 determines that an abnormality has occurred in the sensor unit. to decide. When the first determination unit 103 determines that the sensor value is other than 0 and the second determination unit 104 determines that the sensor value is 0, the abnormality determination unit 105 determines that a leak has occurred. The result of the determination is displayed on the display unit 106, for example.

次に、実施の形態における異常判定装置１００の動作例（異常判定方法）について、図３のフローチャートを用いて説明する。   Next, an operation example (an abnormality determination method) of the abnormality determination apparatus 100 according to the embodiment will be described with reference to the flowchart of FIG.

まず、ステップＳ１０１で、停止部１０１が、流体の流れを停止する（第１ステップ）。次に、ステップＳ１０２で、流体の流れを停止した状態で、第１判定部１０３が、センサ値が、流体の流量が０である時に相当する値か否かを判定する（第２ステップ）。センサ値が、流体の流量が０である時に相当する値は、例えば、０である。この判定結果を第１判定とする。次に、ステップＳ１０２の後のステップＳ１０３で、ヒータ停止部１０２が、ヒータを停止する（第３ステップ）。次に、ステップＳ１０４で、ヒータを停止した状態で、第２判定部１０４が、センサ値が、流体の流量が０である時に相当する値か否かを判定する（第４ステップ）。この判定結果を第２判定とする。   First, in step S101, the stopping unit 101 stops the flow of the fluid (first step). Next, in step S102, in a state where the flow of the fluid is stopped, the first determination unit 103 determines whether the sensor value is a value corresponding to when the flow rate of the fluid is 0 (second step). The value corresponding to the sensor value when the flow rate of the fluid is 0 is, for example, 0. This determination result is referred to as a first determination. Next, in step S103 after step S102, the heater stopping unit 102 stops the heater (third step). Next, in step S104, with the heater stopped, the second determination unit 104 determines whether the sensor value is a value corresponding to the time when the fluid flow rate is 0 (fourth step). This determination result is referred to as a second determination.

次に、ステップＳ１０２における第１判定が、センサ値は流体の流量が０である時に相当する値以外（センサ値が０以外）とされ（ステップＳ１０５のｎｏ）、ステップＳ１０４における第２判定が、センサ値は流体の流量が０である時に相当する値以外（センサ値が０以外）とされると（ステップＳ１０５のｎｏ）、ステップＳ１０７で、異常判断部１０５は、センサ部に異常が発生しているものと判断する。   Next, in the first determination in step S102, the sensor value is set to a value other than the value corresponding to the time when the flow rate of the fluid is 0 (the sensor value is other than 0) (no in step S105), and the second determination in step S104 is When the sensor value is set to a value other than the value corresponding to the time when the flow rate of the fluid is 0 (the sensor value is other than 0) (No in step S105), in step S107, the abnormality determination unit 105 determines that an abnormality has occurred in the sensor unit. Judge that it is.

一方、ステップＳ１０２における第１判定が、センサ値は流体の流量が０である時に相当する値以外（センサ値が０以外）とされ（ステップＳ１０５のｎｏ）、ステップＳ１０４における第２判定が、センサ値は流体の流量が０である時に相当する値（センサ値が０）とされると（ステップＳ１０５のｙｅｓ）、ステップＳ１０８で、異常判断部１０５は、漏れが発生しているものと判断する。なお、ステップＳ１０２における第１判定が、センサ値は流体の流量が０である時に相当する値（センサ値が０）とされ（ステップＳ１０５のｙｅｓ）、ステップＳ１０４における第２判定が、センサ値は流体の流量が０である時に相当する値（センサ値が０）とされると（ステップＳ１０５のｙｅｓ）、ステップＳ１０９で、異常判断部１０５は、異常は発生していないものと判断する。   On the other hand, in the first determination in step S102, the sensor value is determined to be a value other than the value corresponding to the time when the flow rate of the fluid is 0 (the sensor value is other than 0) (no in step S105). When the value is set to a value corresponding to the time when the flow rate of the fluid is 0 (the sensor value is 0) (Yes in step S105), in step S108, the abnormality determination unit 105 determines that a leak has occurred. . In the first determination in step S102, the sensor value is set to a value (sensor value is 0) corresponding to when the flow rate of the fluid is 0 (yes in step S105), and the second determination in step S104 is When the value corresponding to the time when the flow rate of the fluid is 0 is set to 0 (the sensor value is 0) (Yes in step S105), in step S109, the abnormality determination unit 105 determines that no abnormality has occurred.

なお、異常判定装置１００は、図４に示すように、ＣＰＵ（Central Processing Unit；中央演算処理装置）２０１と主記憶装置２０２と外部記憶装置２０３となどを備えたコンピュータ機器であり、主記憶装置に展開されたプログラムによりＣＰＵが動作することで、上述した各機能が実現される。   As shown in FIG. 4, the abnormality determination device 100 is a computer device including a CPU (Central Processing Unit) 201, a main storage device 202, an external storage device 203, and the like. The functions described above are realized by the operation of the CPU by the program developed in the above.

以上に説明したように、本発明によれば、流体の流れを停止し、また、ヒータを停止した状態で、センサ値が、流体の流量が０である時に相当する値か否かを判定するようにしたので、配管を分解し、また、配管の下流側に閉止弁を新たに設置するなどの作業が必要なく、熱式流量計による流量測定システムにおいて発生している異常の特定が容易に実施できるようになる。   As described above, according to the present invention, with the flow of the fluid stopped and the heater stopped, it is determined whether or not the sensor value is a value corresponding to when the flow rate of the fluid is 0. This eliminates the need to disassemble the piping and install a new shut-off valve downstream of the piping, making it easy to identify abnormalities that have occurred in the flow measurement system using a thermal flow meter. Be able to do it.

なお、本発明は以上に説明した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想内で、当分野において通常の知識を有する者により、多くの変形および組み合わせが実施可能であることは明白である。   Note that the present invention is not limited to the above-described embodiments, and many modifications and combinations can be made by those having ordinary knowledge in the art without departing from the technical concept of the present invention. That is clear.

１００…異常判定装置、１０１…停止部、１０２…ヒータ停止部、１０３…第１判定部、１０４…第２判定部、１０５…異常判断部、１０６…表示部、１２１…流量制御システム、１２２…第１温度測定部、１２３…ヒータ、１２４…第２温度測定部、１２５…センサ部、１５１…流体、１５２…配管。   100: abnormality determination device, 101: stop unit, 102: heater stop unit, 103: first determination unit, 104: second determination unit, 105: abnormality determination unit, 106: display unit, 121: flow control system, 122: 1st temperature measurement part, 123 ... heater, 124 ... 2nd temperature measurement part, 125 ... sensor part, 151 ... fluid, 152 ... piping.

Claims (6)

測定対象の流体が流れる上流から下流に向かって順次に配置された第１温度測定部、ヒータ、第２温度測定部を備え、前記第１温度測定部と前記第２温度測定部との温度測定結果の差を元に前記流体の流量に応じたセンサ値を出力するセンサ部を備える流量制御システムの異常を判定する異常判定装置であって、
前記流体の流れを停止するように構成された停止部と、
前記ヒータを停止するように構成されたヒータ停止部と、
前記ヒータが動作状態で前記停止部により前記流体の流れを停止した状態で、前記センサ値が、前記流体の流量が０である時に相当する値を出力しているか否かを判定するように構成された第１判定部と、
前記停止部により前記流体の流れを停止したあと前記ヒータ停止部により前記ヒータを停止した状態で、前記センサ値が、前記流体の流量が０である時に相当する値を出力しているか否かを判定するように構成された第２判定部と、
前記第１判定部の判定結果と前記第２判定部の判定結果とにより異常を判断するように構成された異常判断部と
を備えることを特徴とする異常判定装置。 A first temperature measurement unit, a heater, and a second temperature measurement unit are sequentially arranged from an upstream to a downstream where a fluid to be measured flows, and temperature measurement of the first temperature measurement unit and the second temperature measurement unit is performed. An abnormality determination device that determines an abnormality of the flow control system including a sensor unit that outputs a sensor value corresponding to the flow rate of the fluid based on a difference between the results,
A stop configured to stop the flow of the fluid,
A heater stop configured to stop the heater;
In a state where the flow of the fluid is stopped by the stop unit while the heater is operating, the sensor value is configured to determine whether or not a value corresponding to a time when the flow rate of the fluid is 0 is output. The determined first determination unit;
In a state in which the heater is stopped by the heater stop unit after the flow of the fluid is stopped by the stop unit, whether the sensor value outputs a value corresponding to a time when the flow rate of the fluid is 0 is determined. A second determination unit configured to determine,
An abnormality determination device, comprising: an abnormality determination unit configured to determine an abnormality based on a determination result of the first determination unit and a determination result of the second determination unit. 請求項１記載の異常判定装置において、
前記異常判断部は、前記第１判定部が前記センサ値は前記流体の流量が０である時に相当する値以外と判定し、前記第２判定部が前記センサ値は前記流体の流量が０である時に相当する値以外と判定した場合、前記センサ部に異常が発生しているものと判断する
ことを特徴とする異常判定装置。 The abnormality determination device according to claim 1,
The abnormality determination unit determines that the first determination unit determines that the sensor value is other than a value corresponding to a time when the flow rate of the fluid is 0, and the second determination unit determines that the sensor value indicates that the flow rate of the fluid is 0. An abnormality determination device, characterized in that when it is determined that the value is not a value corresponding to a certain time, it is determined that an abnormality has occurred in the sensor unit. 請求項１記載の異常判定装置において、
前記異常判断部は、前記第１判定部が前記センサ値は前記流体の流量が０である時に相当する値以外と判定し、前記第２判定部が前記センサ値は前記流体の流量が０である時に相当する値と判定した場合、漏れが発生しているものと判断する
ことを特徴とする異常判定装置。 The abnormality determination device according to claim 1,
The abnormality determination unit determines that the first determination unit determines that the sensor value is other than a value corresponding to a time when the flow rate of the fluid is 0, and the second determination unit determines that the sensor value indicates that the flow rate of the fluid is 0. An abnormality judging device characterized by judging that a leak has occurred when it is judged to be a value corresponding to a certain time. 測定対象の流体が流れる上流から下流に向かって順次に配置された第１温度測定部、ヒータ、第２温度測定部を備え、前記第１温度測定部と前記第２温度測定部との温度測定結果の差を元に前記流体の流量に応じたセンサ値を出力するセンサ部を備える流量制御システムの異常を判定する異常判定方法であって、
前記流体の流れを停止する第１ステップと、
前記流体の流れを停止した状態で、前記センサ値が、前記流体の流量が０である時に相当する値か否かを判定する第２ステップと、
前記第２ステップの後で、前記ヒータを停止する第３ステップと、
前記ヒータを停止した状態で、前記センサ値が、前記流体の流量が０である時に相当する値か否かを判定する第４ステップと、
前記第２ステップの判定結果と前記第４ステップの判定結果とにより異常を判断する第５ステップと
を備えることを特徴とする異常判定方法。 A first temperature measurement unit, a heater, and a second temperature measurement unit are sequentially arranged from an upstream to a downstream where a fluid to be measured flows, and temperature measurement of the first temperature measurement unit and the second temperature measurement unit is performed. An abnormality determination method for determining an abnormality of a flow control system including a sensor unit that outputs a sensor value according to a flow rate of the fluid based on a difference between the results,
A first step of stopping the flow of the fluid;
A second step of determining whether the sensor value is a value corresponding to a time when the flow rate of the fluid is 0 in a state where the flow of the fluid is stopped;
A third step of stopping the heater after the second step;
A fourth step of determining whether the sensor value is a value corresponding to a time when the flow rate of the fluid is 0 in a state where the heater is stopped;
A fifth step of determining an abnormality based on the determination result of the second step and the determination result of the fourth step. 請求項４記載の異常判定方法において、
前記第５ステップでは、前記第２ステップで前記センサ値が、前記流体の流量が０である時に相当する値以外と判定され、前記第４ステップで前記センサ値が、前記流体の流量が０である時に相当する値以外と判定された場合、前記センサ部に異常が発生しているものと判断する
ことを特徴とする異常判定方法。 In the abnormality determination method according to claim 4,
In the fifth step, the sensor value is determined to be other than the value corresponding to the time when the flow rate of the fluid is 0 in the second step, and in the fourth step, the sensor value is determined to be zero when the flow rate of the fluid is zero. When it is determined that the value is not a value corresponding to a certain time, it is determined that an abnormality has occurred in the sensor unit. 請求項４記載の異常判定方法において、
前記第５ステップでは、前記第２ステップで前記センサ値が、前記流体の流量が０である時に相当する値以外と判定され、前記第４ステップで前記センサ値が、前記流体の流量が０である時に相当する値と判定された場合、漏れが発生しているものと判断する
ことを特徴とする異常判定方法。 In the abnormality determination method according to claim 4,
In the fifth step, the sensor value is determined to be other than the value corresponding to the time when the flow rate of the fluid is 0 in the second step, and in the fourth step, the sensor value is determined to be zero when the flow rate of the fluid is zero. An abnormality determination method characterized by determining that a leak has occurred when a value corresponding to a certain time is determined.
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