JP2561227C - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 【０００１】 【産業上の利用分野】 本発明は産業ロボットの関節駆動用減速装置に関する。 【０００２】 【従来の技術】 産業ロボットにおいては、一般に、作業に適した出力トルクを得るために、ア ーム等の関節部の駆動系には、高速低トルクの電動サーボモータまたは電動パル
スモータと、この出力を低速高トルクに変換する減速装置とを用いている。 また、そのような減速装置は、例えば、減速比１／１２０程度の大減速比を有
していること、また、歯車間のガタ、すなわち、いわゆるバックラッシュが小さ
いこと、さらに、慣性を小さくするため軽量であること等が要求される。 【０００３】 このような要求を満たす従来の減速装置としては、例えば、特開昭５９−１７
５９８６号公報に開示されているような調和歯車装置（撓み噛合式の遊星歯車装
置）および特開昭５９−１０６７４４号公報に開示されているような偏心揺動型
の遊星歯車装置がある。前者の減速比は一般に１／８０〜１／３２０程度であり
、後者の減速比は一般に１／６〜１／２００程度である。また、前者は後者に比
して減速比当たりの外径、重量が小さく、かつ、ほとんどのロボットアームの関
節部の駆動用減速装置として必要な減速比および機械的強度を満足している。し
たがって、ロボットアームの関節部駆動用減速装置のほとんどは調和歯車装置単
体が適用され、まれに、調和歯車装置でも得られないほどの大減速比を必要とす
るもの、すなわち、小容量高速回転（例えば、出力が１０００ワット以下で回転
数が５０００ｒｐｍ）型のモータをロボットアームの駆動に用いる場合のように
１／６２５程度の減速比を必要とするもの、については特開昭５６−１５２５９
４号公報に開示されているように調和歯車装置に前段減速装置を結合したものが
用いられている。 【０００４】 【発明が解決しようとする課題】 しかしながら、上述した各減速装置をロボットの関節装置に用いた場合、減速
装置に入力する電動モータ回転数が低い領域で減速装置とロボットアーム等とが
ねじり共振を起こすという問題点があった。共振現象としては、ロボットアーム
の関節部近傍にねじり振動が現われることが多く、その結果、ロボットアームの
先端位置が定まらなくなり、ロボットによる作業のうち溶接、シーリング、組立
等、一般に電動モータの低回転数領域で行われる作業において、正確な作業軌跡
を得られない等の問題が生じる。 【０００５】 このような問題に対し、特開昭５８−２１１８８１号公報には、発生した振動
を打ち消すように電動モータの速度指令信号を変化させる電気的制御方式が提案
されている。しかしながら、このような方式においてはフィードバックゲインを
大きくすると系が不安定となり、特に剛性の低いロボット駆動系においては、逆
に発振し易くなるという問題を生じるため、ゲインを大きくできず、したがって
、充分な振動打ち消し効果を得られない。 【０００６】 また、特開昭５９−１７５９８６号公報には高張力を与えたタイミングベルト
で減速機を駆動し、該ベルトで振動を吸収する方式のものが提案されている。し
かしながら、この方式においてはタイミングベルトが破断するという危険がある
。また、特開昭５９−１１５１８９号公報には減速機の主軸にばねとおもりから
成る吸振器を取付ける方式が提案されている。しかし、この方式においては遠心
力により吸振器が破損したり、ロボットの負荷荷重に対応しておもり等を調整し
なければならないという問題点がある。さらに、これらのものは、複雑になり、
部品数も多くなるという問題点がある。 【０００７】 【課題を解決するための手段】 そこで、本発明は、最も大きな振動がロボットに生じる時のポイントを、ロボ
ットによる作業のうち溶接作業等のように正確な作業軌跡を要する作業の領域外
にシフトできる産業ロボットの関節駆動用減速装置を提供することを目的とする
。 【０００８】 本発明は、産業ロボットの関節駆動用減速装置において、内歯歯車、該内歯歯
車に噛み合う外歯歯車、該外歯歯車に係合してこれを偏心揺動させる複数のクラ
ンク軸、およびそれらクランク軸を軸受を介して支持すると共に外歯歯車の自転
運動を被駆動部に伝達する出力部材としての支持体を有する偏心揺動型の遊星歯
車装置と、前記遊星歯車装置の外歯歯車および支持体を挿通し、電動モータ回転
軸嵌合用の嵌合孔が設けられた一端部および該一端部より小径であって自由端の
他端部を有し、かつ前記支持体と同一軸上に配設された入力軸部材としての入力 回転軸、該入力回転軸の他端部に結合された入力歯車、および該入力歯車に噛み
合うと共に前記各クランク軸にそれぞれ結合された出力歯車、を有する平行軸型
歯車装置と、を備え、前記入力歯車および前記出力歯車と前記支持体の前記入力
回転軸一端部側平端面との間に前記外歯歯車が位置し、前記支持体の前記入力回
転軸他端部側平端面と前記外歯歯車との間に前記入力歯車および前記出力歯車が
位置し、前記支持体の前記入力回転軸他端部側平端面をロボットアーム駆動軸取
付用着座面とし、前記平行軸型歯車装置の減速比をロボットの固有ねじり振動数
と電動モータの通常制御域における毎秒当たり最高回転数との比より大きくする
と共に１／２〜１／５の範囲内とし、前記遊星歯車装置の減速比を１／２５〜１
／６０の範囲内とし、前記平行軸型歯車装置と前記遊星歯車装置とにより総減速
比を１／１１０〜１／１９０としたことを特徴とするものである。 【０００９】 【実施例】 以下、本発明に係る産業ロボットの関節駆動用減速装置を図面に基づいて説明
する。第１図ないし第３図は本発明に係る一実施例を示す図である。 【００１０】 まず、構成について説明する。第１図は本発明に係る産業ロボットの関節駆動
用減速装置を用いたロボットの関節部の全体概略図である。１は電動モータであ
り、電動モータ１のフランジ２は減速装置３の筒体４に固定されている。筒体４
は第１部材としての第１アーム５の先端部５ａに固定されている。電動モータ１
の出力の回転軸（駆動軸）７は減速装置３の入力回転軸（入力軸部材）８（第２
図）に連結され、減速装置３の出力は軸１０に伝達され、軸（出力軸部材）１０
は円筒体１１を貫通してロボットの第２アーム１２に固定されている。 【００１１】 第２アーム１２の端部の筒状体１３と第１アーム５の先端部５ａの下面から下
方に突出する円筒型の突出体１５との間には一対のベアリング１６が介装され第
２アーム１２は第１アーム５に回転自在に支持されている。突出体１５の内周面
と円筒体１１の中央部の外周面との間には一対のベアリング１７が介装されてい
る。円筒体１１の上部および下部の内面と軸１０との間にはそれぞれ一対のベア リング１８が介装されている。したがって、減速装置３は電動モータ１の回転数
を減速してロボットの被駆動部すなわち第２アーム１２を回動させる。また、電
動モータ１、減速装置３、第２アーム１２および第２アームに接続された負荷は
駆動系を構成する。 【００１２】 減速装置３は第２図および第３図に示すように、電動モータ１の回転数を減速
する前段回転伝導手段としての前段減速機２０に連結され、回転数をさらに減速
する後段回転伝導手段としての後段減速機２１と、から構成されている。前段減
速機２０は通常の平行軸型歯車装置であり、平歯歯車により構成され、後段減速
機２１の遊星歯車装置の入力側に設けられ、後段減速機２１とはわざわざ異なる
型式になされている。 【００１３】 電動モータ１の回転軸７の先端部７ａはテーパ軸であり、先端にねじ７ｂを有
する。ねじ部７ｂにはモータ出力軸の一部を構成する連絡軸７ｃが螺合されてい
る。８は入力回転軸であり、その先端部８ａは自由端、つまり軸受等で支持され
ておらず、この先端部８ａに前段減速機２０のピニオン２２が設けられると共に
モータ回転軸７を貫通させる孔８ｂを有し、且つ孔８ｂは回転軸７をテーパ部と
係合するテーパ孔部を有する。入力回転軸８は電動モータ１の回転軸７の先端部
７ａにナット２３によりねじ止めされる。回転軸７の先端部７ａは入力回転軸８
に半月キー２４により固定されている。すなわち、入力回転軸８は、電動モータ
１の回転軸７と同軸に配置され、後段減速機２１の外歯歯車２９を挿通して電動
モータ１の回転軸７を覆うようにして回転軸７に嵌合する一端部およびこの一端
部より小径であって自由端の他端部を有している。このような構成により入力回
転軸８の先端部８ａの軸径はモータの回転軸７の軸径より小さくすることができ
、したがって、ピニオン２２の歯数はモータ回転軸７に歯車を直接装着させる場
合に比べ、少なくすることができ、容量の割に回転軸径の大きい市販電動モータ
１を用いる場合であっても、所定の前段減速比を得ることができる。ピニオン２
２に噛み合う３個の平歯歯車２５は、後述する３本の入力クランク軸３０にそれ
ぞれ結合している。ピニオン２２およびお平歯歯車２５は、それぞれ前記平行軸
型 歯車装置の入力歯車、出力歯車を構成している。 【００１４】 遊星歯車装置（後段減速機）２１は筒体４に固定して設けられた内歯歯車２８
と、内歯歯車２８に噛み合う一対の外歯歯車２９と、外歯歯車２９に係合して外
歯歯車２９を揺動回転させる偏心入力軸としての３本の入力クランク軸３０と、
から構成されている。また、内歯歯車２８はピン歯３１を用いたピン歯車で構成
され、かつ外歯歯車２９の歯数より１つだけ多い歯数を有している。３３は円板
状のフランジであり、フランジ３３は遊星歯車装置２１の前端部を構成し、かつ
、入力クランク軸３０を円周上に等配しベアリング３４を介して軸支している。 【００１５】 ３５はブロック体であり、ブロック体３５はその中心部に軸方向の円筒状孔３
７を有し、入力回転軸８が遊嵌されている。同様に外歯歯車２９およびフランジ
３３の中心部にも孔が設けられている。ブロック体３５はその後端部に凹み３６
を設けたフランジ部３５ａを有し、軸１０のフランジ部３９に対向している。凹
み３６とフランジ部３９とによって形成された空洞内には、前段減速機２０が収
納されている。ブロック体３５のウランジ部３５ａは入力クランク軸３０を円周
上に等配しベアリング４１を介して軸支している。入力クランク軸３０の延在部
３０ａは凹み３６内まで突出し、平歯歯車２５を固定している。 【００１６】 入力クランク軸３０は円板部３３とブロック体３５の円周上に軸受３４、４１
を介して支持され、入力クランク軸３０の中央には１８０°の位相差をもつ一対
のクランク部４２を有し、各クランク部４２はベアリング４３を介して外歯歯車
２９を偏心揺動させるようにしている。ここで、前述したフランジ部３３と、ブ
ロック体３５とは支持体４４を構成する。フランジ部３３、ブロック体３５およ
びフランジ部３９は複数のボルト４６および固定ナット４７により同時に一体的
に固定されている。前述したピニオン（入力歯車）２２および平歯歯車（出力歯
車）２５と支持体４４のモータ１側端面との間に、後段減速手段の外歯歯車２９
が位置し、支持体４４のロボットアーム駆動軸１０取付用着座面である反モータ
側端面（フランジ部３９への当接面）と前記外歯歯車２９との間にピニオン２２ および平歯歯車２５が位置している。 【００１７】 電動モータ１の回転は回転軸７および入力回転軸８を介して前段減速機２０の
ピニオン２２に伝達され、前段減速機２０で減速される。前段減速機２０の出力
は平歯歯車２５の歯車軸により遊星歯車装置２１のクランク軸３０に入力される
。次いで、クランク軸３０の回転により偏心揺動させられる外歯歯車２９と、こ
の外歯歯車２９と噛み合い外歯歯車２９より１つ多い歯数を有する内歯歯車２８
とによりさらに減速され、外歯歯車２９のゆっくりした自転運動はキャリアとし
て作用する支持体４４から軸１０に伝達されアーム１２が回動される。 【００１８】 本実施例においては、入力回転軸８から軸１０までの総減速比は、１／１２０
に設定されている。一般に、遊星歯車装置単体が現実にとり得る減速比は当該歯
車の歯数の許容応力等から自ずとその上限、下限が定まれるものであり、本願の
「外歯歯車に係合して外歯歯車を駆動するカム軸を有する型式の遊星歯車装置」
においては、実在物としての上限は１／３２０程度で、下限は１／１０程度であ
る。したがって、本実施例における総減速比１／１２０は、第２段減速部２１と
しての遊星歯車装置単体の実在する減速比の範囲１／１０程度〜１／３２０程度
内に設定されている。 【００１９】 また本実施例においては、電動モータ１の通常制御回転数（ロボットの通常作
業時、例えば溶接ロボットに主作業たる溶接作業を行わしめる時のモータ回転数
）は０〜１０００ｒｐｍ、前段減速機２０の減速比ｉ₁は１／３、遊星歯車装置
２１の減速比ｉ₂は１／４０、減速装置３の総減速比ｉは上述したように１／１
２０、電動モータ１、減速装置３および第２アーム１２を含んで構成される駆動
系の固有ねじり振動数ｆ₀は約８．４Ｈｚである。したがって、電動モータ１は
産業ロボットの駆動系の固有ねじり振動数に対応する回転数（８．４Ｈｚに相当
する５００ｒｐｍ）を通常制御域（０〜１０００ｒｐｍ）内に有している。また
、前段減速機２０は電動モータ１の通常制御域における毎秒最高回転数（１００
０ｒｐｍに相当する毎秒１６．７回転）を、駆動系の固有ねじり振動数ｆ₀（約
８． ４Ｈｚ）以下になるよう（毎秒５．６回転）に減速する減速比ｉ₁（１／３）を
有している。 第２アームと軸１０を中心としたねじりばね定数Ｋ1 は約３７．５ｋｇ・ｍ／
分である。 【００２０】 次に作用について説明する。 電動モータ１を０〜１０００ｒｐｍの通常回転数で回転させると、減速比ｉ₁
が１／３の前段減速機２０の出力回転数は０〜３３３ｒｐｍとなり、減速比ｉ₂
が１／４０の後段減速機２１の出力回転数は０〜８．３ｒｐｍとなり、この範囲
では実質的に有害となるような振動は生じない。電動モータ１の出力回転数が１
５００ｒｐｍ近辺（このときの前段減速機２０の出力回転数は１５００ｒｐｍ×
１／３＝５００ｒｐｍ近辺、遊星歯車減速機２１の出力回転数は１５００ｒｐｍ
×１／３×１／４０＝１２．５ｒｐｍ近辺）で最大共振現象が生じ、この時の振
動が最も大きい。このような共振現象が電動モータ１の通常回転数領域外で生じ
る理由は明らかではないが、実験結果から推定するとそのような共振現象の主因
となるトルク変動が前段減速機２０ではなく、後段減速機２１に生じ、そのトル
ク変動が実施例のような偏心揺動型の遊星歯車装置では入力軸（クランク軸３０
）１回転当たり１生じるためと考えられる。 【００２１】 この実施例では、電動モータの通常の回転数領域において遊星歯車装置の入力
軸の最回転数は、３３３ｒｐｍ、すなわち毎秒５．６回であり、トルク変動は毎
秒５．６回発生することになる。このため、毎秒５．６回のトルク変動があって
も駆動系の固有ねじり振動数ｆ₀（約８．４Ｈｚ）より小さく、かつ離れている
ので、共振現象は生じないものと考えられる。 調和歯車装置（撓み噛み合い式遊星歯車装置）は、実験結果から推定すると、
入力軸（ウェーブジェネレータ）の１回転当たりの２つのトルク変動が生じる。 なお、電動モータ１および前段減速機２０のトルク変動が駆動系の共振に影響
を及ぼさないのは、これらのトルク変動は小さいこと、後段部２１を介すること
により吸収されること等によるものと考えられる。 【００２２】 【実験例】 前述の実施例の減速装置の他に次表の比較例１〜３に示す減速装置について実
施した振動測定試験について説明する。比較例１、２の偏心揺動型の遊星歯車装
置は、クランク軸および外歯歯車の揺動によるアンバランスを防いで振動の振幅
を小さくするため、前述の実施例同様に外歯歯車を２枚としこれらを１８０度の
位相差をもって組み付けたもので、かつ、内歯歯車が外歯歯車の歯数より１つ多
い歯数を有するものを用いた。また、調和歯車装置は内歯歯車が外歯歯車の歯数
より２つ多い歯数を有するものを用いた。それぞれ、減速装置の減速段数、減速
比ｉ₁、ｉ₂、回転ばね定数Ｋ₁（第９図参照）および慣性モーメントＪは次表に
示してある。 【００２３】 【表１】 【００２４】 実験は第５図に示す全体構成図によって実施した。すなわち、電動サーボモー
タ５１の出力軸５１ａに減速装置５２を取付け、減速装置５２の主力軸５２ａに
ロボットの被駆動部（第２アーム）の慣性モーメントＪに相当する慣性負荷とし
てフライホイール５３が取付けられた。フライホイール側面５３ａの半径上の位
置に、円周方向の加速度および振幅を測定できる圧電素子を利用した加速度ピッ
クアップ５４を取り付けた。この加速度ピックアップ５４の出力はインジケータ
５６に連結されている。モータ５１、減速装置５２およびフライホイール５３か
ら成る駆動系の固有振動数ｆ₀は約８．４Ｈｚになるよう調整してある。電動モ
ータの回転数を変化させて、その時のフライホイールの加速度の大きさを測定し
た。測定結果は第４図に示す。横軸は電動サーボモータ５１の回転数であり、縦
軸は加速度ピックアップ５４で検出された円周方向の加速度（単位：Ｇ）を示す
。 【００２５】 比較例１、比較例２および比較例３においては、共振のピークはそれぞれ、電
動モータ５１の回転数が、略７５０ｒｐｍ、略５００ｒｐｍおよび２５０ｒｐｍ
のときであり、電動モータ５１の通常制御回転数０〜１０００ｒｐｍの範囲で最 も大きな振動が生じている。しかしながら、本発明に係る減速装置を用いた実施
例の場合には、電動モータの通常制御領域外である１５００ｒｐｍを中心とする
近傍で共振ピークが生じ、この時の振動が最も大きい。しかし、通常制御回転数
０〜１０００ｒｐｍの範囲では、振動が低く押えられており、問題がない大きさ
になっている。 【００２６】 なお、後段回転伝導手段としての偏心揺動型遊星歯車装置を用いた本発明にお
いては、前段減速機の減速比をロボットの固有ねじり振動数と電動モータの通常
制御域における毎秒当たり最高回転数との比より大きくすることにより、最大共
振現象の発生を電動モータのロボットにおける一般的通常制御回転数範囲０〜１
０００ｒｐｍ以上の領域にシフトすることができる。例えばロボットの固有ねじ
り振動数ｆ₀が５〜９Ｈｚ、電動モータ回転数が最高回転数２０００ｒｐｍで通
常制御回転数０〜１０００ｒｐｍの範囲で共振ピークを生じさせないこととし、
更に必要減速比が１／１１０〜１／１９０の場合は、前段減速比ｉ₁を１／２〜
１／５、後段減速比ｉ₂を１／２５〜１／６０から選択することができる。 【００２７】 ここで、通常制御回転数０〜１０００ｒｐｍ以上の範囲に振動ピークをシフト
させる目的で、以上述べた総減速比の範囲及び固有ねじり振動数の範囲における
各種の場合について、前段減速比ｉ₁と後段減速比ｉ₂を計算してみる。 総減速比１／１１０の場合の計算を行うと、ｆ₀＝５Ｈｚではｉ₁は１／３．３
より高減速比の例えば１／４を選べ、ｉ₂＝１／２７．５が求まり共振ピークは
１２００ｒｐｍと予測できる。ｆ₀＝９Ｈｚではｉ₁は１／１．８５より高減速比
の例えば１／２を選べ、ｉ₂＝１／５５が求まり共振ピークは１０８０ｒｐｍと
予測できる。同様に総減速比１／１９０の場合の計算を行うと、ｆ₀＝５Ｈｚで
はｉ₁として例えば１／４を選ぶとｉ₂＝１／４７．５が求まり共振ピークは１２
００ｒｐｍと予測できる。ｆ₀＝９Ｈｚではｉ₁として例えば１／３．３を選べば
ｉ₂＝１／５７．６が求まり共振ピークは１７８２ｒｐｍと予測できる。 いずれの場合においても前述の減速比範囲からｉ₁、ｉ₂を選択することができ
、しかも共振ピークは１０００ｒｐｍ以上とすることができることがわかる。 【００２８】 【発明の効果】 以上説明したように、本発明によれば、本来なら、撓み噛み合い型遊星歯車装
置（調和歯車装置）や偏心揺動型遊星歯車装置のように内歯歯車、内歯歯車に噛
み合う外歯歯車および該外歯歯車に係合してこれを駆動するカム軸を有する型式
の単一の遊星歯車装置（以下、「カム軸入力型遊星歯車装置」と言う。）により
総減速比を満足できる産業ロボットの関節駆動用減速装置において、偏心用動型
遊星歯車装置（後段回転伝導手段）の入力側にわざわざ平行軸歯車装置（前段回
転伝導手段）を設けて前段回転伝導手段と後段回転伝導手段とにより上記総減速
比を得るようにしているので、本発明に係る減速装置をロボットの関節駆動に用
いてロボットに共振が生じるとしても最大共振現象の生じるポイント若しくは最
も大きな振動の生じるポイントを、従来に比し格段に高い駆動源（電動モータ）
回転数領域あるいは所望の駆動源回転数領域にシフトさせることができる。した
がって、最も大きな振動の生じる時のポイントを、ロボットによる作業のうち溶
接作業等のように正確な作業軌跡を要する作業の領域外にシフトさせることがで
き、ロボットの作業効率の向上に寄与することができる。 【００２９】 加えて、本発明によれば、平行軸歯車装置が遊星歯車装置を貫通する回転軸を
有すると共に、その回転軸が、偏心揺動型の遊星歯車装置の外歯歯車を挿通して
モータの駆動軸を覆うようにして該駆動軸に嵌合する一端部および該一端部より
小径の他端部を有しているので、回転軸の他端軸径をモータ軸径より補足するこ
とができ、モータ軸径が太い場合であっても簡単な構造により入力歯車の大きさ
を小さく設定することも、大きく設定することもできる。その結果、モータ軸径
が太い場合であっても平行軸歯車装置の減速比を幅広い値から選定することがで
き、上記最大共振現象の生じるポイントをシフトさせることのできる領域に充分
に確保することができる。 【００３０】 さらに、本発明によれば、前段減速手段の回転軸は、偏心揺動型遊星歯車装置
を貫通し、そのモータ側がモータの駆動軸と嵌合されているのに対し、入力歯車 が結合された反モータ側が自由端となっているため、回転軸の入力歯車が結合さ
れた部分が放射方向に微動可能となる。その結果、複数の出力歯車に均等に伝達
トルクがかかるように、回転軸が自動調心性を有するものとなる。従って、複数
のクランク支持用の軸受に、均等に負荷が作用し、減速機の寿命の低下が防止で
きる。 【００３１】 前段減速手段の回転軸はこのように構成されており、しかも、偏心揺動型遊星
歯車装置の外歯歯車を、前段減速手段の入力歯車および出力歯車と後段減速手段
の支持体のモータ側端面との間に位置させ、且つ支持体のロボットアーム駆動軸
取付用着座面である反モータ側端面と前記外歯歯車との間に前記入力歯車および
出力歯車を位置させているので、減速装置全体がコンパクトになるとともに、支
持体の前記反モータ側端面にロボットアーム駆動軸を簡単且つコンパクトに取り
付けることができる

【図面の簡単な説明】 【図１】 本発明に係る産業ロボットの関節装置の第１実施例の全体概略説明図 【図２】 第１実施例の減速装置の要部断面図 【図３】 図２のIII−III矢視断面図 【図４】 本発明に係る産業ロボットの関節装置の実施例および比較例の性能の説明図 【図５】 図４に係る実施例の全体構成図 【符号の説明】 １ 電動モータ ３ 減速装置 ５ 第１アーム ８ 入力回転軸（入力軸部材） １２ 第２アーム（第２部材） ２０ 前段減速機（前段回転伝導手段、平行軸歯車装置） ２１ 後段減速機（後段回転伝導手段、遊星歯車装置） ２８ 内歯歯車 ２９ 外歯歯車 ３０ 入力クランク軸（カム軸、クランク軸） ３３、３５ａ フランジ（支持体）

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 【請求項１】 内歯歯車、該内歯歯車に噛み合う外歯歯車、該外歯歯車に係合
   してこれを偏心揺動させる複数のクランク軸、およびそれらクランク軸を軸受を
   介して支持すると共に外歯歯車の自転運動を被駆動部に伝達する出力部材として
   の支持体を有する偏心揺動型の遊星歯車装置と、 前記遊星歯車装置の外歯歯車および支持体を挿通し、電動モータ回転軸嵌合用
   の嵌合孔が設けられた一端部および該一端部より小径であって自由端の他端部を
   有し、かつ前記支持体と同一軸上に配設された入力軸部材としての入力回転軸、
   該入力回転軸の他端部に結合された入力歯車、および該入力歯車に噛み合うと共
   に前記各クランク軸にそれぞれ結合された出力歯車、を有する平行軸型歯車装置
   と、を備え、 前記入力歯車および前記出力歯車と前記支持体の前記入力回転軸一端部側平端
   面との間に前記外歯歯車が位置し、前記支持体の前記入力回転軸他端部側平端面
   と前記外歯歯車との間に前記入力歯車および前記出力歯車が位置し、前記支持体
   の前記入力回転軸他端部側平端面をロボットアーム駆動軸取付用着座面とし、前
   記平行軸型歯車装置の減速比をロボットの固有ねじり振動数と電動モータの通常
   制御域における毎秒当たり最高回転数との比より大きくすると共に１／２〜１／
   ５の範囲内とし、前記遊星歯車装置の減速比を１／２５〜１／６０の範囲内とし
   、前記平行軸型歯車装置と前記遊星歯車装置とにより総減速比を１／１１０〜１
   ／１９０としたことを特徴とする産業ロボットの関節駆動用減速装置。