JP2555960B2 - 半導体レーザ装置 - Google Patents

半導体レーザ装置

Info

Publication number
JP2555960B2
JP2555960B2 JP5294652A JP29465293A JP2555960B2 JP 2555960 B2 JP2555960 B2 JP 2555960B2 JP 5294652 A JP5294652 A JP 5294652A JP 29465293 A JP29465293 A JP 29465293A JP 2555960 B2 JP2555960 B2 JP 2555960B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
semiconductor laser
laser device
light
active layer
light receiving
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP5294652A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH07176823A (ja
Inventor
隆 吉野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
Nippon Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Electric Co Ltd filed Critical Nippon Electric Co Ltd
Priority to JP5294652A priority Critical patent/JP2555960B2/ja
Publication of JPH07176823A publication Critical patent/JPH07176823A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2555960B2 publication Critical patent/JP2555960B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
  • Semiconductor Lasers (AREA)
  • Optical Communication System (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体レーザ装置に関
し、特に双方向通信システムに用いる半導体レーザ装置
に関する。
【0002】
【従来技術】半導体レーザ装置による双方向通信システ
ムは、図4に示すように2つの半導体レーザ装置50
(A,B)を光ファイバの両端にそれぞれ設置し、一方
からレーザ光を発するときには他方の半導体レーザ装置
50を受光装置として使用し、それぞれ双方からの送信
受信を可能した通信システムである。これは、従来のよ
うに一方に電気信号を光信号に変換する半導体レーザ装
置を配置し、他方に半導体レーザ装置からの光信号を電
気信号に変化する受光装置を設けた通信システムが、半
導体レーザ装置から受光装置への一方向のみの通信しか
行なえなかった点を解決したものである。
【0003】この双方向通信システムについて、2つの
半導体レーザ装置50のうち、図4の左側の半導体レー
ザ装置50Aを発光装置、図の右側の半導体レーザ装置
50Bを受光装置として使用した場合について説明す
る。
【0004】図5に、半導体レーザ装置50Aを示す。
半導体レーザ素子52の表面(レンズ4側)から出射さ
れたレーザ光は、レンズ4を介してピグテール6の端部
に集光され、ピグテール6から光ファイバ8を通して半
導体レーザ装置50Bに導かれる。半導体レーザ装置5
0Bに導かれたレーザ光は、図6に示すようにピグテー
ル6の端部から出射し、レンズ4を介して半導体レーザ
素子52の前面の活性層7の領域にほぼ集光され、半導
体レーザ素子52内に入射する。入射したレーザ光は、
図の点線に示すように半導体レーザ素子52内を進むに
したがって広がり、半導体レーザ素子52の後面に到達
する。そして、レーザ光は半導体レーザ素子52の後面
の反射率に相応して後面を透過し、受光素子12へと到
達し、半導体レーザ装置50Aからの発光を受光する。
【0005】このようにして、半導体レーザ装置50A
を発光装置、半導体レーザ装置50Bを受光装置とし
て、またその逆に半導体レーザ装置50Bを発光装置、
半導体レーザ装置50Aを受光装置として使用すること
により、通常の光通信システムでは双方向から発振、受
信を行うためには二対の半導体レーザ装置と受光装置が
必要であったのに対し、双方向光通信システムでは一対
の半導体レーザ装置にて双方向からの通信が可能とな
る。
【0006】ここで、前述したように半導体レーザ装置
50Aからの入射光を受光素子12にて受けることによ
り、半導体レーザ装置50Bを受光装置として使用して
いるが、本来半導体レーザ装置50は発光装置であり、
受光素子12はこの半導体レーザ装置50を発光装置と
して使用する場合に光出力の安定化をはかるための光強
度モニタ用として搭載されているものであるため、外部
入射光に対する受光素子12のモニタ電流Imが取りず
らく、双方向通信システムにおいては、発光装置である
半導体レーザ装置を受光装置として使用した場合、外部
入射光に対する受光素子12のモニタ電流Imをどれだ
け取れるかが、双方向通信システムに適応するためのポ
イントとなっている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、半導体
レーザ素子は、特開昭60−14489号公報や特開昭
60−39881号公報に示されるように特性向上のた
め、端面にコーティング膜を施している場合が多く、こ
の光通信システムに使用する半導体レーザ素子52にお
いても前方(出射方向)と後方の光出力比を最適化し半
導体レーザ特性を向上させるために、半導体レーザ素子
52の受光素子12側の端面に高反射コーティング膜を
施している。このために外部からの入射光は、半導体レ
ーザ素子52を透過して受光素子12に到達するときに
受光素子12側の高反射コーティング膜で反射されて光
量が大幅に減衰し、外部入力に対するモニタ電流が十分
にとれないという問題があった。
【0008】つまり、半導体レーザ特性と外部入射光に
対するモニタ電流特性はトレード・オフの関係があり、
したがって、半導体レーザ特性を維持し、同時に外部入
射光に対するモニタ電流を確保することが困難であっ
た。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明では、上記課題を
解決し、モニタ電流を大きくできる半導体レーザ装置を
提供することを目的として、レーザ光の出射方向に垂直
な面のうち少なくとも出射側の反対側の端面に反射防止
膜をレーザ光発振領域である活性層部分以外に形成した
半導体レーザ素子を有して半導体レーザ装置を構成し
た。又、レーザ光発振領域である活性層部分に高反射率
の反射膜を形成した。 半導体レーザ素子を対向させて一
対設け、これら半導体レーザ素子間で双方向送受信可能
に構成した。
【0010】
【作用】発光装置側から入射してきたレーザ光は、レン
ズによって半導体レーザ素子のレーザ光発振領域である
活性層に集光されて内部に入る。そして、内部を通過し
て半導体レーザ素子の後面に達した場合でも、後面には
レーザ光発振領域である活性層以外の部分には低反射率
の反射防止膜が形成されているので、減衰量が少なく後
面を通過して受光素子に到達できる。したがって、モニ
タ電流を大きくとれ、確実な通信が可能となる。又、活
性層には高反射膜が形成されているので、半導体レーザ
特性を高めることができる。 半導体レーザ素子を対向さ
せて半導体レーザ装置を構成したので、効率の高い良好
な双方向通信を実現できる。
【0011】
【実施例】次に、本発明の一実施例について図面を参照
して説明する。
【0012】尚、半導体レーザ装置1は、従来例で述べ
たと同様の構成であるので、説明は省略するが、用いら
れている半導体レーザ素子が異なるので、この点に関し
て説明する。
【0013】図1は、本実施例にかかる半導体レーザ素
子2をレーザ光の通過方向に垂直な方向から示す正面
図、図2は、図1の半導体レーザ素子2をレーザ光の通
過方向に沿って示す側面図である。
【0014】図に示すように、半導体レーザ素子2は、
ヒートシンク5に取り付けられ、ヒートシンク5はステ
ム9(図4参照)の上に設置されている。又半導体レー
ザ素子2の受光素子12側(図2において右側)端面に
は高反射コーティングを活性層7部分のみに形成し、そ
れ以外には反射防止膜3をコーティングした構造となっ
ている。尚、図中19はp−InGaAsP、20はp
−InP、21はn−InP、22はp−InP、23
はp−InP、24はInGaAsP、25はn−In
P、26はn−InPSUB、27、28は金属であ
る。
【0015】次に、半導体レーザ素子2の製法につい
て、波長λ=1.31μmにて発振する例を用いて説明
する。
【0016】まず低反射コーティング膜となる、厚さλ
/4=3275ÅのSiO2 膜を半導体レーザ素子2の
端面全面にコーティングし、反射防止膜3を形成する。
次に、半導体レーザ素子2の発振波長帯である1.31
μmの赤外光に十分対応するポジタイプのホトレジスト
を塗布した後、半導体レーザ素子2を発振させながら感
光、現像し、発光領域のみのレジストを除去する。その
ように除去したレジスト全体に、厚さλ/4=3275
Åのα−Si膜、厚さλ/4=3275ÅのSiO2
膜、厚さλ/4=3275Åのα−Si膜、厚さλ/4
=6550ÅのSiO2 膜のコーティングを順に行ない
高反射コーティング膜を形成する。そして、剥離液によ
ってレジストを剥離し、リフト・オフ法により発光領域
以外の高反射コーティング膜を除去し、発光領域以外に
は低反射コーティング膜の反射防止膜3を残すことによ
り図1、図2に示した構造を形成する。
【0017】図3に、外部からレーザ光が入射したとき
の半導体レーザ装置1内部での作用を示す。外部からの
レーザ光は、ピグテール6の端部から出射され、レンズ
4により半導体レーザ素子2の前面(レンズ4側の面)
の活性層7付近に集光される。集光されたレーザ光は、
活性層7周囲のInPを透過し、後面(受光素子12側
の端面)に到達する。図2に示すように、後面には、活
性層7部分以外に反射防止膜8(反射率6%以下)が形
成されているので、半導体レーザ素子2内部からの透過
率が高く、高反射コーティング(反射率95%)がなさ
れているときよりも透過光量が増加され、モニタ電流を
大幅に増大できる。例えば、1.0mWの外部入射光で
行なった実験では、従来の半導体レーザ素子では10μ
Aのモニタ電流しか得られなかったが、本実施例の半導
体レーザ素子2では20μAのモニタ電流を得ることが
できた。
【0018】一方、半導体レーザ装置1を発光装置とし
て用いるときには、活性層7の箇所には高反射率のコー
ティングがなされているので、発光強度は従来同様高い
値が得られる。
【0019】尚、上記実施例では、活性層7部分以外の
部分に低反射率の反射防止膜3を形成するのに、上記例
を用いたが本発明はこれに限るものではない。
【0020】
【発明の効果】本発明の半導体レーザ装置は、半導体レ
ーザ素子の発振領域である活性層部分をのぞいて、少な
くとも受光素子側の端面に反射防止膜を備えることとし
たので、双方向通信システムにおいて半導体レーザ装置
を受信装置として用いた場合においても、受光したレー
ザ光が半導体レーザ素子の端面で反射されることなく受
光素子側に出射されるので、内部を透過する光量が増加
し、外部入射光に対するモニタ電流を増大させ十分に確
保することができる。又、活性層に高反射膜を形成した
ので、高い半導体レーザ特性を得ることができる。 半導
体レーザ素子を対向させて半導体レーザ装置を構成した
ので、効率の高い良好な双方向通信を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明にかかる半導体レーザ素子をレーザ光の
通過方向に垂直な方向から示す正面図である。
【図2】図1の半導体レーザ素子をレーザ光の通過方向
に沿って示す側面図である。
【図3】本発明にかかる半導体レーザ装置の作動状態を
示す側面図である。
【図4】半導体レーザ装置全体を示す図である。
【図5】半導体レーザ装置の発光状態を示す図である。
【図6】従来の半導体レーザ装置を示す図である。
【符号の説明】
1,50 半導体レーザ装置 2,52 半導体レーザ素子 3 反射防止膜 4 レンズ 6 ピグテール 7 活性層 12 受光素子

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 レーザ光の出射方向に垂直な面のうち少
    なくとも出射側の反対側の端面に反射防止膜をレーザ光
    発振領域である活性層部分以外に形成した半導体レーザ
    素子を有することを特徴とする半導体レーザ装置。
  2. 【請求項2】 前記レーザ光発振領域である活性層部分
    に高反射率の反射膜を形成したことを特徴とする請求項
    1に記載の半導体レーザ装置。
  3. 【請求項3】 請求項1又は2に記載の半導体レーザ素
    子を対向させて一対設け、該半導体レーザ素子間で双方
    向送受信可能に構成したことを特徴とする半導体レーザ
    装置。
JP5294652A 1993-10-29 1993-10-29 半導体レーザ装置 Expired - Fee Related JP2555960B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5294652A JP2555960B2 (ja) 1993-10-29 1993-10-29 半導体レーザ装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5294652A JP2555960B2 (ja) 1993-10-29 1993-10-29 半導体レーザ装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH07176823A JPH07176823A (ja) 1995-07-14
JP2555960B2 true JP2555960B2 (ja) 1996-11-20

Family

ID=17810547

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5294652A Expired - Fee Related JP2555960B2 (ja) 1993-10-29 1993-10-29 半導体レーザ装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2555960B2 (ja)

Also Published As

Publication number Publication date
JPH07176823A (ja) 1995-07-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Simon GaInAsP semiconductor laser amplifiers for single-mode fiber communications
KR100539906B1 (ko) 반사형 반도체 광증폭기 광원
EP0806824B1 (en) Apparatus and method for a single-port modulator having amplification
EP2522057B1 (en) Laser system with highly linear output
US4427261A (en) Optical transmission system having reduced modal noise
US6606443B2 (en) Optical transmission device
JPH11133255A (ja) 光モニタデバイス及びその装置
US4648096A (en) Distributed feedback semiconductor laser
EP0150214A1 (en) COUPLED CAVITY LASER.
CA2122777A1 (en) Semiconductor laser with transverse emission, and coupling thereof to an optical waveguide
JP2555960B2 (ja) 半導体レーザ装置
JPH11191656A (ja) 光半導体素子
US5588017A (en) Optoelectronic semiconductor device, system for optical glass fibre communication having such a device, semiconductor diode laser for use in such a device, and method of manufacturing such a device
JPH11289130A (ja) 外部共振器型レーザ
JP2744455B2 (ja) 光増幅器および光デバイス
JPH05175611A (ja) 半導体光増幅器
JP2669335B2 (ja) 半導体光源及びその製造方法
JPS60207389A (ja) 半導体レ−ザ装置
US20040001243A1 (en) Semiconductor optical modulator and semiconductor optical device
JPH03195076A (ja) 外部共振器型波長可変半導体レーザ
JP2006521018A (ja) 高いsmsr単方向のエッチングレーザおよび低バック反射の光機能装置
JPH1168233A (ja) 可変波長レーザ光源
JP2833615B2 (ja) 光半導体集積素子
JPH10256663A (ja) 光増幅器集積光分波器及びその製造方法
KR100198424B1 (ko) 수직형 경사구조의 출력단을 갖는 광변조기 집적소자의 제조방법

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 19960709

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080905

Year of fee payment: 12

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees