JP2553048B2 - Method of forming resist film - Google Patents

Method of forming resist film

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JP2553048B2
JP2553048B2 JP61154094A JP15409486A JP2553048B2 JP 2553048 B2 JP2553048 B2 JP 2553048B2 JP 61154094 A JP61154094 A JP 61154094A JP 15409486 A JP15409486 A JP 15409486A JP 2553048 B2 JP2553048 B2 JP 2553048B2
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    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/26Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
    • G03F7/30Imagewise removal using liquid means
    • G03F7/32Liquid compositions therefor, e.g. developers
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  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、プリント配線板製造工程に於て導体の露出
したプリント配線板上へのレジスト膜の形成方法に関す
る。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to a method for forming a resist film on a printed wiring board where conductors are exposed in a printed wiring board manufacturing process.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

導体の露出したプリント配線板上へのレジスト膜の形
成方法として、レジストインクをスクリーン印刷等の方
法で印刷し、その後加熱や紫外線を照射する事によって
硬化させる方法が一般的である。
As a method of forming a resist film on a printed wiring board with exposed conductors, a method of printing a resist ink by a method such as screen printing and then curing it by heating or irradiating with ultraviolet rays is generally used.

しかしながら、近年プリント配線板の高密度化に併な
い、プリント配線板の導体回路形成ばかりでなくレジス
ト膜の形成に於ても、写真現像型のドライフィルムや液
状レジストが使用される様になって来た。
However, in recent years, as the density of printed wiring boards has increased, photo-developing dry films and liquid resists have come to be used not only for forming conductor circuits of printed wiring boards but also for forming resist films. I came.

写真現像型のドライフィルムや液状レジストの現像方
法として、普通トリクロロエタンやトリクレン等の有機
溶剤もしくは苛性ソーダ、炭酸ソーダ等の無機アルカリ
が多用されているが、前者の有機溶剤現像の場合は溶剤
蒸気による環境汚染等の公害問題や溶剤回収等の手間及
び溶剤のコストの高騰等の諸問題がある。一方、後者の
アルカリ現像の場合、レジストとして使用される樹脂
は、一般に多量のカルボキシル基を含有することが現像
特性からみても必要であるが、カルボキシル基がレジス
ト膜中に多く存在することは、多湿環境における電気絶
縁を悪化させ、更に現像時に無機アルカリを用いた際、
光硬化後の露光部被膜表面のカルボキシル基がアルカリ
中でナトリウム塩等のアルカリ塩となるため、硬化後も
塩として残存し、レジストの吸湿性を促進させて電気絶
縁性を著しく低下させる原因となっている。
Usually, organic solvents such as trichloroethane and trichlene or inorganic alkalis such as caustic soda and sodium carbonate are often used as a developing method for photo-developing dry films and liquid resists. There are various problems such as pollution problems such as pollution, time and effort for solvent recovery, and soaring solvent cost. On the other hand, in the case of the latter alkali development, the resin used as a resist is generally required to contain a large amount of carboxyl groups from the viewpoint of development characteristics, but the presence of many carboxyl groups in the resist film is Deteriorates electrical insulation in a humid environment, and when using an inorganic alkali during development,
Since the carboxyl group on the surface of the exposed coating film after photocuring becomes an alkali salt such as sodium salt in alkali, it remains as a salt even after curing, which promotes hygroscopicity of the resist and causes a significant decrease in electrical insulation. Has become.

このため、現在、かかるレジストの特性を低下させる
事のない溶剤現像型が主流となっている。しかしなが
ら、溶剤現像型は前記の様な別の諸問題をかかえてお
り、写真現像型のドライフィルムや液状レジストが市場
においていま一つ伸びない原因となっている。
Therefore, currently, the solvent developing type, which does not deteriorate the characteristics of the resist, is predominant. However, the solvent-developing type has various other problems as described above, and this is the reason why the photo-developing type dry film and the liquid resist do not grow further in the market.

さらに、また、近年のプリント配線板の高密度化に併
ない、ファインラインの電気絶縁性の向上は最大の課題
である。
Furthermore, the improvement of the electrical insulation of fine lines is the most important issue along with the recent increase in the density of printed wiring boards.

〔問題を解決するための手段〕[Means for solving problems]

本発明者らは、導体の露出したプリント配線板上に写
真現像型のレジストを塗布し、アルカリ現像を用いても
高湿度下で著しく電気絶縁性を低下させる事のない方法
を種々検討した結果、本発明に到達した。
The present inventors have studied various methods of applying a photo-developing resist on a printed wiring board with an exposed conductor and not using alkali development to significantly reduce the electrical insulation under high humidity. Has reached the present invention.

即ち本発明は、導体の露出したプリント配線板上に (A)酸価30〜500のカルボキシル基含有樹脂 (B)多価ビニルオリゴマー (C)多価エポキシ化合物 に、光重合開始剤を配合してなる組成物の被膜を形成
し、所望の図版のフォトマスクを通し紫外線照射を行っ
た後、未露光部を第3級アミン又は第3級アルカノール
アミン水溶液にて現像除去し、しかる後に加熱処理によ
って露光部被膜表面部に存在する第3級アミン又は第3
級アルカノールアミンを蒸発除去せしめる事を特徴とす
るレジスト膜の形成方法である。
That is, according to the present invention, a photopolymerization initiator is mixed with (A) a carboxyl group-containing resin having an acid value of 30 to 500 (B) a polyvalent vinyl oligomer (C) a polyvalent epoxy compound on a printed wiring board with an exposed conductor. After forming a coating film of the composition consisting of the composition and irradiating it with ultraviolet light through a photomask of a desired plate, the unexposed portion is developed and removed with an aqueous solution of a tertiary amine or a tertiary alkanolamine, followed by heat treatment. The tertiary amine or the tertiary amine present on the exposed surface of the coating by
A method for forming a resist film, characterized in that a high-grade alkanolamine is removed by evaporation.

以下、本発明を詳細に説明する。 Hereinafter, the present invention will be described in detail.

本発明で使用される酸価30〜500のカルボキシル基含
有樹脂としては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸等
の不飽和モノカルボン酸又はイタコン酸、無水マレイン
酸、フマール酸等の不飽和ジカルボン酸又はそのモノエ
ステル類等を共重合可能なビニル単量体と共重合して得
られる樹脂が最も一般的であり、共重合可能なビニル単
量体の適当な例としてはメタクリル酸メチル、メタクリ
ル酸エチル、メタクリル酸ブチル、メタクリル酸2−エ
チルヘキシル、アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、
アクリル酸ブチル、アクリル酸2−エチルヘキシル、ス
チレン、α−メチルスチレン、2−ヒドロキシエチルメ
タクリレート、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2
−ヒドロキシプロピルメタクリレート、2−ヒドロキシ
プロピルアクリレート、グリシジルメタクリレート、グ
リシジルアクリレート、t−ブチルアミノエチルメタク
リレート、t−ブチルアミノエチルアクリレート、ジメ
チルアミノメタクリレート、ジメチルアミノアクリレー
ト、アクリルアミド、メタクリルアミド、アクリロニト
リル、N−ビニルピロリドン等があげられる。
Examples of the carboxyl group-containing resin having an acid value of 30 to 500 used in the present invention include unsaturated monocarboxylic acids such as acrylic acid and methacrylic acid or itaconic acid, maleic anhydride, unsaturated dicarboxylic acids such as fumaric acid, and the like. Resins obtained by copolymerizing the monoesters and the like with a copolymerizable vinyl monomer are the most common, and suitable examples of the copolymerizable vinyl monomer include methyl methacrylate and ethyl methacrylate. , Butyl methacrylate, 2-ethylhexyl methacrylate, methyl acrylate, ethyl acrylate,
Butyl acrylate, 2-ethylhexyl acrylate, styrene, α-methylstyrene, 2-hydroxyethyl methacrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, 2
-Hydroxypropyl methacrylate, 2-hydroxypropyl acrylate, glycidyl methacrylate, glycidyl acrylate, t-butylaminoethyl methacrylate, t-butylaminoethyl acrylate, dimethylaminomethacrylate, dimethylaminoacrylate, acrylamide, methacrylamide, acrylonitrile, N-vinylpyrrolidone Etc.

上記した不飽和カルボン酸とこれらの共重合可能なビ
ニル単量体とを酸価が30〜500となる様適当な比率で組
み合わせて重合させ(A)の酸価30〜500のカルボキシ
ル基含有樹脂とする事ができる。なお、その他本発明に
おいては、又、多価アルコールと多価カルボン酸との結
合によって得られる酸価30〜500のポリエステル樹脂も
用いることも出来る。酸価30未満の樹脂を使用した場合
はアルカリ現像工程において現像が困難となる為不適当
であり、又酸価が500を越えると形成したレジスト膜の
電気絶縁性が不良となって不適当であり、特に酸価が30
〜500の範囲にあることが好ましい。
The above-mentioned unsaturated carboxylic acid and these copolymerizable vinyl monomers are combined and polymerized in an appropriate ratio so as to have an acid value of 30 to 500, and (A) a resin containing a carboxyl group having an acid value of 30 to 500. Can be In addition, in the present invention, a polyester resin having an acid value of 30 to 500 obtained by combining a polyhydric alcohol and a polycarboxylic acid can also be used. When a resin having an acid value of less than 30 is used, it is unsuitable because the development becomes difficult in the alkali developing process, and when the acid value is more than 500, the electrical insulation of the formed resist film is poor and unsuitable. Yes, especially with an acid value of 30
It is preferably in the range of to 500.

本発明の(B)多価ビニルオリゴマーとしては多価ア
ルコールのアクリル酸エステルおよびメタクリル酸エス
テル例えば、トリメチロールプロパン、トリメチロール
エタン、トリメチロールメタン、ペンタエリスリトー
ル、ジペンタエリスリトール、1,3−ブチレングリコー
ル、1,4−ブチレングリコール、1,6−ヘキサンジオー
ル、プロピレングリコール、トリプロピレングリコー
ル、ポリプロピレングリコール、エチレングリコール、
ポリエチレングリコール、ネオペンチルグリコール、ジ
ブロムネオペンチルグリコール、トリス(2−ヒドロキ
シエチル)イソシアヌル酸のアクリル酸、メタクリル酸
エステルが好ましいものとして挙げられる。またビスフ
ェノールAのアルキレンオキシド付加体のアクリル酸、
メタクリル酸エステルでたとえば2,2ビス(4−アクリ
ロキシエトキシフェニル)プロパン、2,2ビス(4−ア
クリロキシプロピロキシフェニル)プロパン等も使用可
能である。又、多価エポキシ化合物とアクリル酸又はメ
タクリル酸の如き不飽和カルボン酸の付加物も用いるこ
とが出来る。
Examples of the polyhydric vinyl oligomer (B) of the present invention include acrylic acid esters and methacrylic acid esters of polyhydric alcohols such as trimethylolpropane, trimethylolethane, trimethylolmethane, pentaerythritol, dipentaerythritol, and 1,3-butylene glycol. , 1,4-butylene glycol, 1,6-hexanediol, propylene glycol, tripropylene glycol, polypropylene glycol, ethylene glycol,
Preferred examples include polyethylene glycol, neopentyl glycol, dibromoneopentyl glycol, acrylic acid and methacrylic acid ester of tris (2-hydroxyethyl) isocyanuric acid. In addition, acrylic acid of alkylene oxide adduct of bisphenol A,
As the methacrylic acid ester, for example, 2,2bis (4-acryloxyethoxyphenyl) propane, 2,2bis (4-acryloxyproproxyphenyl) propane and the like can be used. Also, an adduct of a polyvalent epoxy compound and an unsaturated carboxylic acid such as acrylic acid or methacrylic acid can be used.

上記した(B)多価ビニルオリゴマーは、フォトマス
クを通しての紫外線照射によって露光部のみが硬化反応
し、該露光部が後述する現像工程において不溶となり、
所望の図版に対応するレジスト膜の形成を可能にするの
である。
In the above-mentioned (B) polyvalent vinyl oligomer, only the exposed portion undergoes a curing reaction by irradiation with ultraviolet rays through a photomask, and the exposed portion becomes insoluble in a developing step described later,
This makes it possible to form a resist film corresponding to a desired plate.

上記した(C)多価エポキシ化合物は、ビスフェノー
ルA、ビスフェノールF、ノボラック樹脂、クレゾール
ノボラック樹脂等の多価フェノール化合物とエピクロル
ヒドリンの反応によって得られるエポキシ樹脂;無水フ
タル酸、イソフタル酸、アジピン酸等の二塩基酸のグリ
シジルエステル類、ブタンジオール、トレメチロールプ
ロパン、ポリプロピレングリコール、水添加ビスフェノ
ールAの如き多価アルコールのグリシジルエーテル類;
アニリン、メチレンジアニリン、キシリレンジアミン、
ジアミノベンゾフェノン等のアミン類のグリシジル置換
体;シクロオレフィン類をエポキシ化したいわゆる脂環
族エポキシ化合物;トリグリシジルイソシアヌレート等
が用いられる。
The above-mentioned (C) polyhydric epoxy compound is an epoxy resin obtained by the reaction of polychlorophenol compounds such as bisphenol A, bisphenol F, novolac resin, cresol novolac resin and epichlorohydrin; phthalic anhydride, isophthalic acid, adipic acid and the like. Glycidyl ethers of polybasic alcohols such as glycidyl esters of dibasic acids, butanediol, tremethylolpropane, polypropylene glycol, and water-added bisphenol A;
Aniline, methylenedianiline, xylylenediamine,
Glycidyl-substituted products of amines such as diaminobenzophenone; so-called alicyclic epoxy compounds obtained by epoxidizing cycloolefins; triglycidyl isocyanurate and the like are used.

これ等の(C)多価エポキシ化合物は、現像後の加熱
処理工程において上記(A)のカルボキシル基含有樹脂
中のカルボキシル基と反応することによって、著しく多
湿環境下における電気絶縁性を向上せしめ、又配線導体
への密着性を向上させる。
These (C) polyhydric epoxy compounds react with the carboxyl groups in the carboxyl group-containing resin of (A) in the heat treatment step after development, thereby significantly improving the electric insulation in a humid environment, It also improves the adhesion to the wiring conductor.

上記(A)、(B)及び(C)の成分に更に必要に応
じビニル重合可能な単量体を混合しても良いが、これ等
単量体は塗布工程において蒸発してしまうと、使用条件
によってレジスト膜の性質が変化してしまうので沸点が
少なくとも150℃以上、好ましくは200℃以上のものであ
ることが望ましく、又かかる単量体の過剰な使用は、被
膜の粘着性を増大せしめ、作業工程の障害となるのでこ
れ等の障害のない範囲での使用が許される。
If necessary, vinyl-polymerizable monomers may be mixed with the above components (A), (B) and (C), but if these monomers evaporate in the coating step, they may be used. Since the properties of the resist film change depending on the conditions, it is desirable that the boiling point is at least 150 ° C or higher, preferably 200 ° C or higher. Excessive use of such a monomer increases the tackiness of the coating. However, since it becomes an obstacle to the work process, it is allowed to be used within the range where these obstacles do not occur.

上記した(A)、(B)及び(C)の配合割合は、
(A)の樹脂のカルボキシル基含有量及び(C)の多価
エポキシ化合物のエポキシ基含有量等によって適性値が
異なるが、全被膜形成成分のカルボキシル基含有量が酸
価として10〜200であり、カルボキシル基とエポキシ基
の比率が1:0.1〜1:10であるのが一般的だが、最も好ま
しくは1:0.2〜1:1である。
The mixing ratios of (A), (B) and (C) described above are
The suitability value varies depending on the carboxyl group content of the resin of (A) and the epoxy group content of the polyvalent epoxy compound of (C), etc., but the carboxyl group content of all film forming components is 10 to 200 as an acid value. The ratio of carboxyl group to epoxy group is generally 1: 0.1 to 1:10, but most preferably 1: 0.2 to 1: 1.

又(B)の多価ビニルオリゴマーの全被膜形成成分中
の重量割合が10〜40重量%であることが好ましい。
Further, the weight ratio of the polyvalent vinyl oligomer (B) to all the film forming components is preferably 10 to 40% by weight.

上記の(A)、(B)及び(C)には、光重合開始剤
を加えて紫外線照射部分の硬化を可能にするが、かかる
光重合開始剤としては例えばベンゾフェノン、4,4′−
ビス−(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4′−ビ
ス−(ジエチルアミノ)等のベンゾフェノン類;ベンゾ
イン、ベンゾインブチルエーテル、ベンゾインイソプロ
ピルエーテル等のベンゾインアルキルエーテル類;2,2−
ジエトキシアセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フ
ェニルアセトフェノン、2,2−ジクロル−4−フェノキ
シアセトフェノン等のアセトフェノン類;2−ヒドロキシ
−2−メチルプロピオフェノン、4−イソプロピル−2
−ヒドロキシ−2−メチルプロピオフェノン等のプロピ
オフェノン類;2−エチルアントラキノン、2−t−ブチ
ルアントラキノン、2−クロルアントラキノン等のアン
トラキノン類;ジエチルチオキサントン、ジイソプロピ
ルチオキサントン、クロルチオキサントン等のチオキサ
ントン類;その他ベンジル、1−ヒドロキシシクロヘキ
シルフェニルケトン、2−メチル−〔4−(メチルチ
オ)フェニル〕−2−モルフォリノ−1−プロパン等が
挙げられる。
A photopolymerization initiator is added to the above (A), (B) and (C) to make it possible to cure the UV-irradiated portion. Examples of such photopolymerization initiator include benzophenone, 4,4′-
Benzophenones such as bis- (dimethylamino) benzophenone and 4,4′-bis- (diethylamino); Benzoin alkyl ethers such as benzoin, benzoin butyl ether and benzoin isopropyl ether; 2,2-
Acetophenones such as diethoxyacetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone and 2,2-dichloro-4-phenoxyacetophenone; 2-hydroxy-2-methylpropiophenone, 4-isopropyl-2
-Hydroxy-2-methylpropiophenone and other propiophenones; 2-ethylanthraquinone, 2-t-butylanthraquinone, 2-chloroanthraquinone and other anthraquinones; diethylthioxanthone, diisopropylthioxanthone, chlorthioxanthone and other thioxanthones; Other examples include benzyl, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2-methyl- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholino-1-propane and the like.

これら光重合開始剤は単独あるいは混合して用いら
れ、その使用量は全被膜形成成分中の重量割合が0.1〜2
0重量%であり、好ましくは1〜15重量%である。
These photopolymerization initiators are used alone or as a mixture, and the amount used is such that the weight ratio in all the film-forming components is 0.1 to 2
It is 0% by weight, preferably 1 to 15% by weight.

本発明に用いる組成物には、更にエポキシ化合物の硬
化剤であるジシアンジアミド類、二塩基酸ヒドラジド
類、イミダゾール類を併用したり、レベリング性、消
泡、密着向上、チクソトロピー性付与等の機能を有する
公知の助剤類、着色剤、充填剤等を配合使用しても良
く、これ等の各成分を通常、有機溶剤は溶解又は分散せ
しめ、導体の露出したプリント配線板上に塗布し、溶剤
を蒸発除去して被膜を形成せしめる。
The composition used in the present invention further has a function of dicyandiamide, which is a curing agent for an epoxy compound, dibasic acid hydrazide, imidazole in combination, leveling property, defoaming, adhesion improvement, and thixotropy imparting property. Known aids, colorants, fillers and the like may be blended and used, and each of these components is usually dissolved or dispersed in an organic solvent and applied on a printed wiring board with an exposed conductor, and the solvent is added. Evaporation removes to form a film.

本発明においては、次に被膜を形成したプリント配線
板に、所望の図版のフォトマスクを通し、紫外線を照射
する。このフォトマスクは、被膜上に密着させても、又
被膜から一定の距離をおき、紫外線を平行光線として露
光してもいずれでも良い。
In the present invention, next, the printed wiring board on which the coating film is formed is irradiated with ultraviolet rays through a photomask having a desired plate. This photomask may be brought into close contact with the coating or may be exposed to ultraviolet rays as parallel rays at a certain distance from the coating.

紫外線露光部は光重合開始剤の分解によりラジカル種
を発生し、上記(B)の多価ビニルオリゴマー及び併用
する場合のあるビニル重合可能な単量体の重合反応がお
こる。
In the UV-exposed area, radical species are generated by the decomposition of the photopolymerization initiator, and the polymerization reaction of the polyvalent vinyl oligomer (B) and a vinyl-polymerizable monomer that may be used in combination occurs.

本発明においては、現像は第3級アミン又は第3級ア
ルカノールアミンの水溶液によって行われる。第3級ア
ミン又は第3級アルカノールアミンとしては、例えばト
リメチルアミン、トリエチルアミン、トレブチルアミ
ン、ジメチルベンジルアミン、トリエタノールアミン、
トリイソパノールアミン、ジメチルエタノールアミン、
ジエチルエタノールアミン等が用いらる。これらは、通
常0.1〜10重量%の水溶液として用いられる。
In the present invention, the development is carried out with an aqueous solution of a tertiary amine or a tertiary alkanolamine. Examples of the tertiary amine or tertiary alkanolamine include trimethylamine, triethylamine, trebutylamine, dimethylbenzylamine, triethanolamine,
Triisopropanolamine, dimethylethanolamine,
Diethyl ethanolamine or the like is used. These are usually used as an aqueous solution of 0.1 to 10% by weight.

上記の第3級アミン又は第3級アルカノールアミンの
水溶液に接触せしめることによって紫外線未露光部は溶
出し、露光部のみがプリント配線板上に被膜として残存
し現像が完了する。
By contacting with the aqueous solution of the above-mentioned tertiary amine or tertiary alkanolamine, the unexposed areas of the ultraviolet light are eluted, and only the exposed areas remain as a film on the printed wiring board to complete the development.

本発明においては、上記の如く現像を行った後通常10
0℃ないし200℃程度の温度において加熱処理を行い、残
存する第3級アミン又は第3級アルカノールアミンを蒸
発除去せしめる。加熱温度及び時間は、特に限定されな
いが、通常100℃であれば10分以上、150℃であれば3分
以上、200℃であれば20秒以上であることが好ましい。
勿論該上限の温度及び時間はプリント配線板の熱劣化や
変形が起こらない範囲において許容される。この加熱工
程において現像時に被膜表面部に塩を形成して存在する
第3級アミン又は第3級アルカノールアミンが解離し、
被膜中のカルボキシル基とエポキシ基の架橋反応を促進
すると共に、蒸発除去され強固に硬化したレジスト膜が
形成されるのである。
In the present invention, after the development as described above, it is usually 10
Heat treatment is performed at a temperature of about 0 ° C. to 200 ° C. to evaporate and remove the remaining tertiary amine or tertiary alkanolamine. The heating temperature and time are not particularly limited, but it is usually preferably 10 minutes or longer at 100 ° C., 3 minutes or longer at 150 ° C., and 20 seconds or longer at 200 ° C.
Of course, the upper limit temperature and time are allowed within the range where thermal deterioration or deformation of the printed wiring board does not occur. In this heating step, the tertiary amine or tertiary alkanolamine present by forming a salt on the surface of the coating film is dissociated during development,
This accelerates the crosslinking reaction between the carboxyl group and the epoxy group in the coating film, and at the same time forms a resist film which is evaporated and removed and hardened.

上記の如くして形成されたレジスト膜は、多湿環境下
においてもすぐれた電気絶縁性を示し、すぐれた信頼性
高密度プリント配線板の製造を可能にした。
The resist film formed as described above exhibits excellent electrical insulation even in a humid environment, and enables production of an excellent reliability high-density printed wiring board.

以下、実施例により本発明をより具体的に説明する。 Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to Examples.

〔実施例〕〔Example〕

実施例1 (a)50%メチルメタクリレート 20%ブチルアクリレート 10%エチルアクリレート 20%メタクリル酸からなる共重合体(酸価130) (50%メチルエチルケトン溶液で粘度測定6500cps 25
℃) 45(重量部) (b)エピコート828(シェル社製) 30 (c)トリメチロールプロパントリアクリレート10
(d)アロニックスM−315(東亜合成化学社製) 5
(e)ベンゾフェノン 4 (f)4,4−ビス−(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン
2 (g)カマヤ−PM−2(日本化薬社製) 3 (h)フタロシアニングリーン 3 (i)メチルエチルケトン 100 上記の配合にて感光液を調整し、導体の露出したプリ
ント配線板上にドクターブレードを用いて均一に塗布
後、70℃で10分間乾燥させる。乾燥した塗膜の膜厚は銅
回路上で21μであった。
Example 1 (a) Copolymer consisting of 50% methyl methacrylate 20% butyl acrylate 10% ethyl acrylate 20% methacrylic acid (acid value 130) (Viscosity measurement with 50% methyl ethyl ketone solution 6500 cps 25
45 ° C.) (b) Epicoat 828 (Shell) 30 (c) Trimethylolpropane triacrylate 10
(D) Aronix M-315 (manufactured by Toagosei Kagaku) 5
(E) Benzophenone 4 (f) 4,4-bis- (dimethylamino) benzophenone
2 (g) Kamaya-PM-2 (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) 3 (h) Phthalocyanine Green 3 (i) Methylethylketone 100 A photosensitive solution was prepared by the above composition, and a doctor blade was placed on a printed wiring board with an exposed conductor. After applying uniformly using the above, it is dried at 70 ° C for 10 minutes. The film thickness of the dried coating film was 21μ on the copper circuit.

次に所望のフォトマスクを通して5KWの超高圧水銀灯
(距離50cm)(オーク製作所製)にて90秒間露光した。
積算光量は400mJ/cm2であった。
Next, through a desired photomask, it was exposed for 90 seconds with a 5 KW ultra-high pressure mercury lamp (distance 50 cm) (Oak Seisakusho).
The integrated light quantity was 400 mJ / cm 2 .

露光した塗膜を2重量%のトリエタノールアミン水溶
液で(30℃)を用いて2分間浸漬することにより現像を
行った。未露光部は容易に現像され所望の画像が得られ
た。更に150℃にて30分間加熱処理を行った。この塗膜
の鉛筆硬度(JIS D−0202)は5Hであり、クロスカット
後の密着性(JIS D−0202)は100/100であった。またこ
の塗膜はアセトン、メチルエチルケトン、トリクレン、
トリクロルエタンの有機溶剤に各12時間浸漬後も何の異
常も認められなかった。更に10%塩酸、10%硫酸、10%
水酸化ナトリウム水溶液に12時間浸漬後も塗膜には全く
欠陥は無かった。更にクロスカット後の密着性(JIS D
−0202)も全て100/100であった。
Development was carried out by immersing the exposed coating film in a 2% by weight aqueous triethanolamine solution (30 ° C.) for 2 minutes. The unexposed area was easily developed to obtain the desired image. Further, heat treatment was performed at 150 ° C. for 30 minutes. The pencil hardness (JIS D-0202) of this coating film was 5H, and the adhesion (JIS D-0202) after cross-cut was 100/100. Also, this coating is acetone, methyl ethyl ketone, trichlene,
No abnormality was observed even after soaking for 12 hours in the organic solvent of trichloroethane. 10% hydrochloric acid, 10% sulfuric acid, 10%
There was no defect in the coating film even after being immersed in the aqueous sodium hydroxide solution for 12 hours. Adhesion after cross cutting (JIS D
-0202) were all 100/100.

一方、この塗膜を270℃にハンダ浴に30秒間浸漬して
も塗膜のフクレやハガレは全く無く、通常のハンダ付け
やハンダエアーレベターにも充分耐える事が分かった。
On the other hand, it was found that even if this coating film was dipped in a solder bath at 270 ° C. for 30 seconds, the coating film had no blistering or peeling and that it could withstand normal soldering and solder air leveler.

絶縁抵抗値(JIS−Z−3197クシ型電極)を測定した
が、初期値5.2×1013Ωで60℃、95%の湿度下で10000時
間後の値は8.3×1012Ωであった。
The insulation resistance value (JIS-Z-3197 comb type electrode) was measured and found to be 8.3 × 10 12 Ω after an initial value of 5.2 × 10 13 Ω at 60 ° C. and 95% humidity for 10,000 hours.

これらの事から得られた保護被膜はプリント配線板用
ソルダーレジストとして充分な特性を有する事が分かっ
た。
It was found that the protective film obtained from these things has sufficient properties as a solder resist for printed wiring boards.

実施例2〜5 次の感光組成物を製造した。Examples 2 to 5 The following photosensitive compositions were produced.

(例2) (a)45%スチレン 45%メチルメタクリレート 10%メタクリル酸からなる共重合体(酸価65) (50%メチルエチルケトン溶液で粘度測定4500cps25
℃) 40 (重量部) エピコート100/(シェル社製) 20 (c)トリメチロールプロパントリアクリレート15
(d)ペンタエリスリトールトリアクリレート15
(e)ベンゾフェノン 5 (f)4,4−ビス−(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン
2 (g)カマヤ−PM−2(日本化薬社製)2 (h)フタロシアニングリーン 2.5 (i)ブチルセロソルブアセテート 100 (例3) (a)1:1のスチレンマレイン酸共重合物のモノブチル
エステル化合物(酸価204) (50%メチルエチルケトン溶液で粘度測定9500cps25
℃) 75 (重量部) (b)トリグリシジルイソシアヌレート20 (c)ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート15
(d)2−ヒドロキシエチルメタクリレート5
(e)ベンゾフェノン 4 (f)4,4−ビス−(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン
2 (g)1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン2
(h)ベンゾトリアゾール 1.5 (i)フタロシアニングリーン 3 (j)セロソルブアセテート 150 (例4) 例3の感光性組成物100重量部にタルク30重量部、ア
エロジル2重量部を加え、三本ロール等の混練機を用い
て均一に分散し、スクリーン印刷可能な粘調液体を製造
した。
(Example 2) (a) Copolymer consisting of 45% styrene 45% methyl methacrylate 10% methacrylic acid (acid value 65) (Viscosity measurement with 50% methyl ethyl ketone solution 4500 cps25
℃) 40 (parts by weight) Epicoat 100 / (manufactured by Shell Co.) 20 (c) Trimethylolpropane triacrylate 15
(D) Pentaerythritol triacrylate 15
(E) Benzophenone 5 (f) 4,4-bis- (dimethylamino) benzophenone
2 (g) Kamaya-PM-2 (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) 2 (h) Phthalocyanine green 2.5 (i) Butyl cellosolve acetate 100 (Example 3) (a) Monobutyl ester of 1: 1 styrene-maleic acid copolymer Compound (acid value 204) (Viscosity measurement with 50% methyl ethyl ketone solution 9500cps25
℃) 75 (parts by weight) (b) Triglycidyl isocyanurate 20 (c) Dipentaerythritol hexaacrylate 15
(D) 2-hydroxyethyl methacrylate 5
(E) Benzophenone 4 (f) 4,4-bis- (dimethylamino) benzophenone
2 (g) 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone 2
(H) Benzotriazole 1.5 (i) Phthalocyanine Green 3 (j) Cellosolve Acetate 150 (Example 4) To 100 parts by weight of the photosensitive composition of Example 3, 30 parts by weight of talc and 2 parts by weight of Aerosil were added to prepare a three-roll roll or the like. A viscous liquid capable of being screen-printed was manufactured by uniformly dispersing it using a kneader.

(例5) (a)48%無水フタル酸 45%水添ビスフェノールA 7%トリメチロールプロパンからなるボリエステル樹脂
(酸価67) (50%メチルエチルケトン溶液12800cps25℃)55 (重
量部) (b)クレゾールノボラック型エポキシ樹脂15
(日本化薬社製EOCN−103) (c)アロニックスM−325(東亜合成化学社製) 20
(d)トリメチロールプロパントリアクリレート10
(e)2−ヒドロキシエチルアクリレート5
(f)2−メチル−〔4−(メチルチオ)フェニル〕−
2−モルフォリノ−1−プロパン 3 (g)t−ブチルアントラキノン 3 (h)p−ジメチルアミノ安息香酸エチメステル2
(i)ベンゾトリアゾール 1.5 (j)フタロシアニングリー 3 (k)ブチルセロソルブ/トルエンの1/1混合溶剤 85
以上の感光液をそれぞれ調整し、実施例1と同様に導
体の露出したプリント配線板上にドクターブレードを用
いて均一に塗布した。ただし例4は150メッシュのポリ
エステルモノフィラメントスクリーンを用いてスクリー
ン印刷する事により塗布した。塗布後80℃で15分間乾燥
する事により溶剤を蒸発除去しタックのない被膜を形成
した。次に所望のフォトマスクヲ通して5KWの超高圧水
銀灯(実施例1と同様)を用いて2分間露光した。露光
後、2重量%のトリエタノールアミンまたは1.5重量%
のトリエチルアミン水溶液(30℃)にてそれそれ2分間
浸漬する事により現像を行った。未露光部は溶解され所
望の画像が得られた。更に140℃で40分間加熱処理を行
い、被膜を完全硬化させた。
Example 5 (a) Polyester resin consisting of 48% phthalic anhydride 45% hydrogenated bisphenol A 7% trimethylolpropane (acid value 67) (50% methyl ethyl ketone solution 12800 cps 25 ° C.) 55 (parts by weight) (b) Cresol novolac Type epoxy resin 15
(Nippon Kayaku Co., Ltd. EOCN-103) (c) Aronix M-325 (Toa Gosei Chemical Co., Ltd.) 20
(D) trimethylolpropane triacrylate 10
(E) 2-hydroxyethyl acrylate 5
(F) 2-Methyl- [4- (methylthio) phenyl]-
2-morpholino-1-propane 3 (g) t-butyl anthraquinone 3 (h) p-dimethylaminobenzoic acid etimester 2
(I) Benzotriazole 1.5 (j) Phthalocyanine tree 3 (k) 1/1 mixed solvent of butyl cellosolve / toluene 85
Each of the above-mentioned photosensitive liquids was adjusted and applied uniformly on a printed wiring board having an exposed conductor in the same manner as in Example 1 using a doctor blade. However, Example 4 was applied by screen printing using a 150 mesh polyester monofilament screen. After coating, the solvent was removed by evaporation by drying at 80 ° C for 15 minutes to form a tack-free film. Next, it was exposed through a desired photomask for 2 minutes using a 5 KW ultra-high pressure mercury lamp (same as in Example 1). After exposure, 2% by weight triethanolamine or 1.5% by weight
Development was carried out by immersing the above in an aqueous solution of triethylamine (30 ° C.) for 2 minutes each. The unexposed area was dissolved to obtain the desired image. Furthermore, heat treatment was performed at 140 ° C. for 40 minutes to completely cure the coating.

以下に得られたレジスト膜を実施例1に従い、特性を
評価しその結果を表1に示す。
The characteristics of the resist film obtained below were evaluated according to Example 1, and the results are shown in Table 1.

(比較例1〜5) 実施例1〜5の感光液を用いて例1の作業工程に従
い、レジスト膜を形成させたが現像工程のみトリエタノ
ールアミンまたはトリエチルアミンの代わりに2重量%
の炭酸ナトリウム水溶液を用い て現像を行い、例1に従いレジスト膜の特性を評価し
た。その結果を表2に示す。
(Comparative Examples 1 to 5) A resist film was formed according to the working process of Example 1 using the photosensitive liquids of Examples 1 to 5, but only in the developing process, 2% by weight was used instead of triethanolamine or triethylamine.
Using an aqueous solution of sodium carbonate Was developed and the characteristics of the resist film were evaluated according to Example 1. The results are shown in Table 2.

以上の結果から現像液としてアミン系水溶液を用いな
ければレジスト膜の特性として特に耐溶剤性、耐酸・ア
ルカリ性、高温高湿下での絶縁抵抗値が著しく低下する
ことがわかる。
From the above results, it can be seen that unless an amine-based aqueous solution is used as a developing solution, the resist film properties, in particular, solvent resistance, acid / alkali resistance, and insulation resistance under high temperature and high humidity are significantly reduced.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭58−169143(JP,A) 特開 昭57−114141(JP,A) 特開 昭56−8145(JP,A) 特開 昭61−175636(JP,A) ─────────────────────────────────────────────────── --Continued from the front page (56) Reference JP-A-58-169143 (JP, A) JP-A-57-114141 (JP, A) JP-A-56-8145 (JP, A) JP-A 61- 175636 (JP, A)

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】導体の露出したプリント配線板上に (A)酸価30〜500のカルボキシル基含有樹脂 (B)多価ビニルオリゴマー (C)多価エポキシ化合物 に、光重合開始剤を配合してなる組成物の被膜を形成
し、所望の図版のフォトマスクを通し紫外線照射を行っ
た後、未露光部を第3級アミン又は第3級アルカノール
アミン水溶液にて現像除去し、しかる後に加熱処理によ
って露光部被膜表面部に存在する第3級アミン又は第3
級アルカノールアミンを解離せしめ、該被膜中のカルボ
キシル基とエポキシ基の架橋反応を促進せしめると共
に、蒸発除去せしめて強固に硬化したレジスト膜を形成
することを特徴とするレジスト膜の形成方法。
1. A photopolymerization initiator is added to (A) a carboxyl group-containing resin having an acid value of 30 to 500, (B) a polyvalent vinyl oligomer (C) and a polyvalent epoxy compound on a printed wiring board having an exposed conductor. After forming a coating film of the composition consisting of the composition and irradiating it with ultraviolet light through a photomask of a desired plate, the unexposed portion is developed and removed with an aqueous solution of a tertiary amine or a tertiary alkanolamine, followed by heat treatment. The tertiary amine or the tertiary amine present on the exposed surface of the coating by
A method for forming a resist film, which comprises dissociating a high-grade alkanolamine to promote a crosslinking reaction between a carboxyl group and an epoxy group in the coating film, and at the same time, removing by evaporation to form a hardened resist film.
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