JP2549422B2 - Active energy ray curable resin composition - Google Patents

Active energy ray curable resin composition

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JP2549422B2 JP23164588A JP23164588A JP2549422B2 JP 2549422 B2 JP2549422 B2 JP 2549422B2 JP 23164588 A JP23164588 A JP 23164588A JP 23164588 A JP23164588 A JP 23164588A JP 2549422 B2 JP2549422 B2 JP 2549422B2
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【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、紫外線、電子線等の活性エネルギー線の照
射によって硬化する樹脂組成物に関し、特に、プリント
配線板用銅張積層板、金属、ガラス、セラミックス、プ
ラスチック等の上に所望のパターン形状で積層すること
が可能な活性エネルギー線硬化型樹脂組成物に関する。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to a resin composition that is cured by irradiation with active energy rays such as ultraviolet rays and electron beams, and in particular, a copper clad laminate for printed wiring boards, metal, The present invention relates to an active energy ray-curable resin composition that can be laminated in a desired pattern shape on glass, ceramics, plastics and the like.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

近年、活性エネルギー線硬化型樹脂組成物は、塗料、
インキ、封止材料、レジスト材料、保護膜用材料、パタ
ーン形成用材料等として多用されている。例えば、プリ
ント配線板用の保護被覆膜またはその配線パターン形成
用レジスト材料として用いられる活性エネルギー線硬化
型樹脂組成物としては、具体的には、フィルム形成能を
有する高分子物質を含有するドライフィルムレジスト
(商品名RISTON:デュポン・ジャパン・リミテッド社製
など)、写真法による厚膜液状レジスト(商品名プロビ
マー:チバ・ガイギー(株)社製など)等が知られてい
る。
In recent years, active energy ray-curable resin compositions have been
It is widely used as an ink, a sealing material, a resist material, a material for a protective film, a material for pattern formation, and the like. For example, as an active energy ray-curable resin composition used as a protective coating film for a printed wiring board or a resist material for forming a wiring pattern thereof, specifically, a dry material containing a polymer substance having a film forming ability is used. Film resists (trade name: RISTON: manufactured by Dupont Japan Limited), photographic thick film liquid resists (trade name: Provimer: manufactured by Ciba Geigy Co., Ltd.) and the like are known.

上記のような組成物は、その組成物にフィルム状への
賦形あるいは乾燥皮膜への賦形等の性質を付与するため
の高分子物質(以下、単に高分子物質と称す)と、活性
エネルギー線硬化性物質とを主成分としている。これら
組成物の支持体に対する密着性、パターン形成のための
現像性、塗膜としての耐久性、塗布性および乾燥性など
は、上記高分子物質の種類、分子構造などに大きく影響
される。したがって、このような組成物が用いられる際
には上述したような特性を所望のレベルにすることを目
的として、その高分子物質の種類の選択および分子設計
が行なわれていた。
The composition as described above includes a polymer substance (hereinafter, simply referred to as a polymer substance) for imparting properties such as shaping into a film or shaping to a dry film to the composition, and an active energy. A main component is a line-curable substance. The adhesion of the composition to a support, the developability for pattern formation, the durability as a coating film, the applicability, the drying property, and the like are greatly affected by the type, molecular structure, and the like of the polymer substance. Therefore, when such a composition is used, selection of the type of the polymeric substance and molecular design have been carried out for the purpose of attaining the above-mentioned properties to desired levels.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problems to be Solved by the Invention]

しかしながら、上述のようにして高分子物質の種類の
選択および分子設計を行なっても、従来の活性エネルギ
ー線硬化型樹脂組成物は、種々の支持体に対する密着性
においては、まだ十分な特性を得るに至っていなかっ
た。
However, even if the kind of the polymer substance is selected and the molecular design is performed as described above, the conventional active energy ray-curable resin composition still has sufficient properties in adhesion to various supports. Was not reached.

この問題を解決するために、複素環式化合物のような
金属と錯体を形成することができる添加助剤あるいはカ
ップリング剤をそのような樹脂に添加することが提案さ
れている(特公昭51-5934、特公昭58-24035など)。し
かしこの方法には、長期間が経過すると、上記添加助剤
等がその組成物の酸化および腐蝕を引き起こしてしまう
という問題があった。
In order to solve this problem, it has been proposed to add an additive aid or a coupling agent capable of forming a complex with a metal such as a heterocyclic compound to such a resin (Japanese Patent Publication No. 5934, etc. Sho 58-24035). However, this method has a problem that, after a long period of time, the above-mentioned additive aids cause oxidation and corrosion of the composition.

一方、そのような添加助剤等を添加しなくとも十分な
密着性を有する硬化組成物を得ることを目的として、枝
鎖に極性基を有するグラフト共重合体を有する高分子物
質が特開昭61-283645号公報等において開示されてい
る。そこで開示された高分子物質を含有する活性エネル
ギー線硬化型樹脂組成物は、添加助剤等に頼ること無
く、塗膜の密着性の向上、更には耐久性の向上を実現す
ることができた。しかしながら、これらの技術において
は、その高分子物質(グラフト共重合高分子)の分子設
計が困難であるという問題がまだ残されていた。すなわ
ち、一般に、枝鎖の分子量および含有率を一定にしつ
つ、グラフト共重合体全体の重量平均分子量を広範囲
(5万〜35万程度)に渡り適宜所望の値の分子量になる
よう合成することは、技術的に困難を伴なう。
On the other hand, a polymer substance having a graft copolymer having a polar group in a branched chain is disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open It is disclosed in Japanese Patent Publication No. 61-283645. The active energy ray-curable resin composition containing the polymer substance disclosed therein was able to improve the adhesion of the coating film and further improve the durability without relying on an addition aid or the like. . However, in these techniques, there still remains a problem that molecular design of the polymer substance (graft copolymer) is difficult. That is, generally, it is not possible to synthesize the graft copolymer so that the weight average molecular weight of the entire graft copolymer becomes a desired value of molecular weight over a wide range (about 50,000 to 350,000) while keeping the molecular weight and content of the branch chains constant. With technical difficulties.

つまり、パターン形成時の現像特性、すなわち未重合
部の溶解速度、重合部の膨潤性、そしてそれらの結果と
しての感度、パターンのシャープさ、解像度を良好なも
のとするには、高分子物質の平均分子量は小さ過ぎては
ならない。グラフト共重合高分子において、比較的大き
な分子量の幹鎖に、有効な密着性が得られる程度に十分
な長さを持った枝鎖を多数結合させ、上述した目的に合
致する平均分子量を得ることは、現在の合成技術におい
ては、立体的障害の点から困難を伴なうものである。
That is, in order to improve the development characteristics during pattern formation, that is, the dissolution rate of the unpolymerized portion, the swellability of the polymerized portion, and the resulting sensitivity, pattern sharpness, and resolution, the polymer The average molecular weight should not be too low. To obtain an average molecular weight that meets the above-mentioned objectives by grafting a large number of branch chains of a graft copolymer with a relatively large molecular weight to a chain with sufficient length for effective adhesion. Is difficult in terms of steric hindrance in the current synthesis technology.

言い替えれば、高分子物質の平均分子量が低すぎる
と、それを用いてパターン形成を行なう際材料の現像特
性、すなわち未重合部の溶解速度、重合部の膨潤性、そ
してそれらの結果としての感度、パターンのシャープ
さ、解像度の調節に一定の制限を受けるのである。
In other words, if the average molecular weight of the polymeric substance is too low, the development characteristics of the material when patterning with it, i.e. the dissolution rate of the unpolymerized part, the swelling property of the polymerized part, and their resulting sensitivity, The sharpness and resolution of the pattern are subject to certain restrictions.

本発明は上記問題点に鑑み成されたものであり、その
目的はプリント配線板用鋼張積層板、金属、ガラス、セ
ラミックスプラスチック等上に所望のパターン形状で積
層することが可能な紫外線、電子線等の活性エネルギー
線(の照射)によって硬化する優れた樹脂組成物を提供
することである。
The present invention has been made in view of the above problems, and an object thereof is a steel-clad laminate for printed wiring boards, metal, glass, ultraviolet rays that can be laminated in a desired pattern shape on ceramics plastic, electronic. An object of the present invention is to provide an excellent resin composition that is cured by (irradiation of) active energy rays such as rays.

本発明の他の目的は、添加助剤等を添加しなくとも、
基体に対し優れた接着活性エネルギー線硬化型樹脂組成
物を提供することである。
Another object of the present invention is to add an auxiliary agent or the like,
An object of the present invention is to provide an adhesive active energy ray-curable resin composition that is excellent for substrates.

本発明の更に他の目的は、パターン形成時の現像特性
に優れた活性エネルギー線硬化型樹脂組成物を提供する
ことである。
Still another object of the present invention is to provide an active energy ray-curable resin composition which is excellent in development characteristics during pattern formation.

また、本発明は、種々の用途に応じて所望の特性が得
られるように(その特性を)容易に制御できる優れた活
性エネルギー線硬化型樹脂組成物を提供することをも目
的としている。」 〔課題を解決するための手段〕 本発明の上記目的は、 (A)アルキルメタアクリレート、アクリロニトリルお
よびスチレンからなる群より選ばれた一種以上のモノマ
ー(以下モノマーという)に由来する構造単位を主体
とする幹鎖に、下記一般式(x)および(y) [ただし、R1は水素、もしくは炭素原子数が1〜3のア
ルキル基またはヒドロキシアルキル基を表わし、R2は水
素、もしくは炭素原子数が1〜4のヒドロキシ基を有し
ていてもよいアルキル基またはアシル基を表わし、R3
炭素原子数2〜6のアルキル基、あるいはハロゲン置換
されたアルキル基、 CH2 OCH2 (ただし、2≦m+n≦6、n≠0、m≠0) で表わされるアルキルエーテル基、 (ただし、2≦m+n≦4、n=0あるいはm=0の場
合も含む) で表わされるフェニルアルキル基である。] で表わされるモノマーのうちの少なくとも一種のモノマ
ー(以下モノマーという)に由来する構造単位を有す
る枝鎖が付加されてなり、かつ数平均分子量が5千以上
であり、重量平均分子量が5万以下であるグラフト共重
合高分子と、 (B)メチルメタアクリレート、エチルメタアクリレー
ト、イソブチルメタアクリレート、t−ブチルメタアク
リレート、ベンジルメタアクリレート、アクリロニトリ
ル、イソボルニルメタアクリレート、イソボルニルアク
リレート、トリシクロデカンアクリレート、トリシクロ
デカンメタアクリレート、トリシクロデカンオキシエチ
ルメタアクリレート、スチレン、ジメチルアミノエチル
メタクリレート、シクロヘキシルメタクリレートからな
るモノマー群(z)より選ばれた一種以上のモノマー
(以下モノマーという)に由来する構造単位を有し、
かつ前記一般式(x)あるいは(y)で表わされるモノ
マーのうちの少なくとも一種のモノマー(以下モノマー
という)に由来する構造単位を有し、かつ数平均分子
量が5万以上であり、重量平均分子量が35万以下であ
り、ガラス転移温度が60℃以上である線状高分子と、 (C)分子内にエポキシ基を2個以上有する化合物の少
なくとも1種を含んでなるエポキシ樹脂に存在するエポ
キシ基の一部を不飽和カルボン酸によってエステル化し
てなる樹脂と、 (D)活性エネルギー線の照射によってルイス酸を発生
する重合開始剤と を有してなる活性エネルギー線硬化型樹脂組成物により
達成される。
Another object of the present invention is to provide an excellent active energy ray-curable resin composition that can be easily controlled (the characteristics thereof) so as to obtain desired characteristics according to various uses. [Means for Solving the Problems] The above object of the present invention is mainly based on (A) a structural unit derived from one or more monomers (hereinafter referred to as monomers) selected from the group consisting of alkyl methacrylate, acrylonitrile and styrene. The following general formulas (x) and (y) [Wherein R 1 represents hydrogen, or an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms or a hydroxyalkyl group, and R 2 represents hydrogen or an alkyl group optionally having a hydroxy group having 1 to 4 carbon atoms. Represents a group or an acyl group, R 3 is an alkyl group having 2 to 6 carbon atoms, or a halogen-substituted alkyl group, CH 2 n OCH 2 m (where 2 ≦ m + n ≦ 6, n ≠ 0, m ≠ 0 ) An alkyl ether group represented by (However, 2 ≦ m + n ≦ 4, including the case where n = 0 or m = 0) is a phenylalkyl group. ] A branch chain having a structural unit derived from at least one monomer (hereinafter referred to as a monomer) among the monomers represented by the following formula is added, and the number average molecular weight is 5,000 or more and the weight average molecular weight is 50,000 or less. And (B) methylmethacrylate, ethylmethacrylate, isobutylmethacrylate, t-butylmethacrylate, benzylmethacrylate, acrylonitrile, isobornylmethacrylate, isobornylacrylate, tricyclodecane. At least one monomer selected from the monomer group (z) consisting of acrylate, tricyclodecane methacrylate, tricyclodecane oxyethyl methacrylate, styrene, dimethylaminoethyl methacrylate, cyclohexyl methacrylate; A structural unit derived from a) as a monomer,
And having a structural unit derived from at least one monomer (hereinafter referred to as a monomer) among the monomers represented by the general formula (x) or (y), and having a number average molecular weight of 50,000 or more and a weight average molecular weight. Present in an epoxy resin containing at least one of a linear polymer having a glass transition temperature of 350,000 or less and a glass transition temperature of 60 ° C. or more and (C) a compound having two or more epoxy groups in the molecule. Achieved by an active energy ray-curable resin composition comprising a resin obtained by esterifying a part of the groups with an unsaturated carboxylic acid, and (D) a polymerization initiator that generates a Lewis acid upon irradiation with active energy rays. To be done.

以下、本発明の組成物を構成する各成分(A)〜
(D)について詳細に説明する。
Hereinafter, each component (A) constituting the composition of the present invention
(D) will be described in detail.

グラフト共重合高分子(A)の幹鎖に用いるモノマー
としては、前述したようにアルキルメタアクリレート、
アクリロニトリル、スチレンからなる群より選ばれた一
種以上を主成分として用いる。枝鎖に用いるモノマーと
しては、前記一般式(x)または(y)で表わされるモ
ノマーに加え、必要に応じて以下の極性モノマーを併用
することが必要である。
As the monomer used for the backbone chain of the graft copolymer (A), alkyl methacrylate, as described above,
At least one selected from the group consisting of acrylonitrile and styrene is used as a main component. As the monomer used for the branched chain, in addition to the monomer represented by the general formula (x) or (y), it is necessary to use the following polar monomer in combination, if necessary.

(I)アミノ基またはアルキルアミノ基含有アクリルモ
ノマー (II)カルボキシ基含有アクリルまたはビニルモノマー (III)N−ビニルピロリドン、もしくはその誘導体 (IV)ビニルピリジン、もしくはその誘導体 また、疎水性モノマーも、約25モル%以下の範囲内で
共重合の成分として用いることができる。
(I) Amino group- or alkylamino group-containing acrylic monomer (II) Carboxy group-containing acrylic or vinyl monomer (III) N-vinylpyrrolidone or its derivative (IV) Vinyl pyridine or its derivative It can be used as a component of copolymerization within the range of 25 mol% or less.

グラフト共重合高分子(A)の重合方法としては、例
えば「ポリマーアロイ基礎と応用」(高分子学会編集、
東京化学同人(株)発行、1981年)の10〜35頁に記載さ
れているような、従来より公知の種々の方法を用いるこ
とができる。それらの方法としては、連鎖移動法、
放射線を用いる方法、酸化重合法、イオングラフト
重合法、マクロモノマー法などがある。これらの方法
を用い、先に例示したモノマーとモノマーを用い
て、数平均分子量5千以上、重量平均分子量5万以下の
グラフト共重合高分子が得らえるように適宜重合条件を
選定して重合することによって、本発明の組成物を構成
するグラフト共重合高分子(A)を得ることができる。
Examples of the method for polymerizing the graft copolymer (A) include “Polymer alloy basics and applications” (edited by The Society of Polymer Science,
Various conventionally known methods such as those described on pages 10 to 35 of Tokyo Kagaku Dojin Co., Ltd., 1981) can be used. These methods include chain transfer method,
There are a method using radiation, an oxidative polymerization method, an ion graft polymerization method, a macromonomer method and the like. Using these methods, the above-exemplified monomers and monomers are used to perform polymerization by appropriately selecting the polymerization conditions so that a graft copolymer having a number average molecular weight of 5,000 or more and a weight average molecular weight of 50,000 or less can be obtained. By doing so, the graft copolymer (A) that constitutes the composition of the present invention can be obtained.

なお、前記方法からのうち、あるいはの方法
を用いると、共重合高分子(A)の枝鎖の長さが揃うの
で、特にの方法は材料選択(設計)の容易さの点から
より好ましい。
When any one of the above methods is used, the length of the branch chains of the copolymer polymer (A) can be made uniform, so that the above method is particularly preferable from the viewpoint of material selection (design).

線状高分子(B)は、前述したモノマーを主成分と
し、かつ前記一般式(x)あるいは(y)で表わされる
モノマーのうち少なくとも一種を用い、(モノマー)
数平均分子量5万以上、重量平均分子量35万以下で、ガ
ラス転移温度60℃以上の重合体になるように、適宜重合
条件を選定しつつ、従来より公知の方法を用いて重合す
ることにより得ることができる。なおモノマーつま
り、前記一般式(x)あるいは(y)で表わされるモノ
マー群より選択される少なくとも一種のモノマーは、5
モル%から30モル%の範囲で加えることが好ましい。そ
れは線状高分子中にこれらのモノマーを30モル%より多
く含有させると、硬化塗膜中の極性基濃度が高くなり、
密着性向上の効果がそれ以上上昇せずに、耐水性の低下
が現われてくるので好ましくない。また、5モル%より
少ないと、密着性向上だけでなく塗膜の結合剤としての
効果も不十分になる。
The linear polymer (B) contains the above-mentioned monomer as a main component and uses at least one of the monomers represented by the general formula (x) or (y).
Obtained by polymerizing using a conventionally known method while appropriately selecting the polymerization conditions so that the polymer has a number average molecular weight of 50,000 or more and a weight average molecular weight of 350,000 or less and a glass transition temperature of 60 ° C. or more. be able to. The monomer, that is, at least one monomer selected from the group of monomers represented by the general formula (x) or (y) is 5
It is preferably added in the range of mol% to 30 mol%. It is because if the linear polymer contains more than 30 mol% of these monomers, the concentration of polar groups in the cured coating increases,
It is not preferable because the effect of improving the adhesiveness does not increase any more and the water resistance decreases. On the other hand, if it is less than 5 mol%, not only the adhesion is improved but also the effect as a binder of the coating film becomes insufficient.

作成された硬化膜に対して高いガラス転移温度を与
え、耐水性を高める目的では、前述したモノマーのう
ち、メチルメタクリレート、イソボルニルメタクリレー
ト、イソボルニルアクリレート、トリシクロデカンメタ
クリレート、トリシクロデカンアクリレート等は特に好
ましい結果を与える。
Among the above-mentioned monomers, methyl methacrylate, isobornyl methacrylate, isobornyl acrylate, tricyclodecane methacrylate and tricyclodecane acrylate are given for the purpose of imparting a high glass transition temperature to the formed cured film and enhancing water resistance. Etc. give particularly favorable results.

本発明の活性エネルギー線硬化型樹脂組成物に含有さ
せるところの1分子内にエポキシ基を2個以上含む化合
物の1種以上からなるエポキシ樹脂に存在するエポキシ
基の一部を、不飽和カルボン酸によってエステル化して
得られる樹脂(C)(以後、ハーフエステル化エポキシ
樹脂と略称する)とは、後述する重合開始剤(D)の存
在下に本発明の樹脂組成物に活性エネルギー線による高
感度で十分な硬化性を発揮させ、これに加えて、本発明
の樹脂組成物をガラス、プラスチックス、セラミックス
等からなる各種支持体上に液体状で塗布してからこれを
硬化させて硬化膜として形成した際に、あるいはドライ
フィルムの形で各種支持体上に接着して用いた際に該樹
脂組成物からなる硬化膜に、より良好な支持体との密着
性、耐水性、耐薬品性、寸法安定性等を付与するための
成分である。
A part of the epoxy groups present in the epoxy resin composed of one or more compounds containing two or more epoxy groups in one molecule, which is contained in the active energy ray-curable resin composition of the present invention, is partially unsaturated carboxylic acid. The resin (C) (hereinafter abbreviated as a half-esterified epoxy resin) obtained by esterification by means of the resin composition of the present invention in the presence of a polymerization initiator (D) described later has high sensitivity to active energy rays. To exhibit sufficient curability, and in addition to this, the resin composition of the present invention is applied in liquid form on various supports made of glass, plastics, ceramics, etc. and then cured to form a cured film. When formed or adhered to various supports in the form of a dry film, the cured film made of the resin composition has better adhesion to the support, water resistance, and chemical resistance. Is a component for imparting dimensional stability.

このハーフエステル化エポキシ樹脂(C)通常の方法
によって得られるものでは例えば、分子内にエポキシ基
を2個以上含む化合物の1種以上を含んでなるエポキシ
樹脂に、所定量の不飽和カルボン酸を、付加触媒及び重
合禁止剤の共存下で、溶媒の存在下若しくは不存在下に
おいて、80〜120℃の温度条件によって反応させて、エ
ポキシ樹脂に存在するエポキシ基の一部をカルボン酸で
エステル化(ハーフエステル化)するなど、通常用いら
れている方法によって得ることができる。
In the half-esterified epoxy resin (C) obtained by an ordinary method, for example, an epoxy resin containing one or more compounds having two or more epoxy groups in the molecule is added with a predetermined amount of unsaturated carboxylic acid. , In the presence of an addition catalyst and a polymerization inhibitor, in the presence or absence of a solvent, by reacting at a temperature condition of 80 ~ 120 ℃, a part of the epoxy group present in the epoxy resin is esterified with a carboxylic acid It can be obtained by a commonly used method such as (half-esterification).

ハーフエステル化エポキシ樹脂(C)の形成に用いる
ことのできる1分子内にエポキシ基を2個以上含む化合
物の1種以上を含んでなるエポキシ樹脂としては、ビス
フェノールA型、ノボラック型、脂環型に代表されるエ
ポキシ樹脂、あるいは、ビスフェノールS、ビスフェノ
ールF、テトラヒドロキシフェニルメタンテトラグリシ
ジルエーテル、レゾルシノールジグリシジルエーテル、
グリセリントリグリシジルエーテル、ペンタエリストー
ルトリグリシジルエーテル、イソシアヌール酸トリグリ
シジルエーテルおよび下記一般式(I) (ただし、R4はアルキル基またはオキシアルキル基、R5
またはアルキル基を表わす) で表わされるエポキシウレタン樹脂等の多官能性のエポ
キシ樹脂及びこれらの一種以上の混合物などを挙げるこ
とができる。
Examples of the epoxy resin that can be used for forming the half-esterified epoxy resin (C) and include one or more kinds of compounds containing two or more epoxy groups in one molecule include bisphenol A type, novolak type, and alicyclic type. , Bisphenol S, bisphenol F, tetrahydroxyphenylmethane tetraglycidyl ether, resorcinol diglycidyl ether,
Glycerin triglycidyl ether, pentaerythritol triglycidyl ether, isocyanuric acid triglycidyl ether and the following general formula (I) (However, R 4 is an alkyl or oxyalkyl group, R 5
Is Or a polyfunctional epoxy resin such as an epoxy urethane resin represented by (representing an alkyl group) and a mixture of one or more of these.

なお、これら多官能性エポキシ樹脂の具体例としては
以下のようなものを挙げることができる。
The following may be mentioned as specific examples of these polyfunctional epoxy resins.

すなわち、ビスフェノールA型エポキシ樹脂として
は、例えばエピコート828、834、871、1001、1004(商
品名、シェル化学社製)、DER 331-J、337-J、661-J、6
64-J、667-J(ダウケミカル社製)及びエピクロン800
(商品名、大日本インキ化学工業(株)社製)など;ノ
ボラック型エポキシ樹脂としては、例えばエピコート15
2、154、172、(商品名、シェル化学社製)、アラルダ
イトEPN 1138(商品名、チバガイギー社製)、DER 43
1、438及び439(商品名、ダウケミカル社製)など;脂
環式エポキシ樹脂としては、例えばアラルダイトCY-17
5、‐176、‐179、‐182、‐184、‐192(商品名、チバ
ガイギー社製)、チッソノックス090、091、092、301、
313(商品名、チッソ(株)社製)、シラキュアー(CYR
ACURE)6100、6110、6200及びERL 4090、4617、2256、5
411(商品名、ユニオンカーバイド社製)など;脂肪族
多価アルコールの多価グリシジルエーテル類としては、
例えばエチレングリコールジグリシジルエーテル、ポリ
エチレングリコールジグリシジルエーテル、プロピレン
グリコールジグリシジルエーテル、ポリプロピレングリ
コールジグリシジルエーテル、ネオペンチルグリコール
ジグリシジルエーテル、1,6−ヘキサンジオールジグリ
シジルエーテル、グリセリンジグリシジルエーテル、ト
リメチロールプロパントリグリシジルエーテル、水素添
加ビスフェノールAのジグリシジルエーテル、2,2−ジ
ブロモネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル
等;芳香族多価アルコールから誘導された多価グリシジ
ルエーテルとしては、ビスフェノールAのアルキレンオ
キシドの2〜16モル付加体のジグリシジルエーテル、ビ
スフェノールFのアルキレンオキシドの2〜16モル付加
体のジグリシジルエーテル、ビスフェノールSのアルキ
レンオキシドの2〜16モル付加体のジグリシジルエーテ
ルなどがある。
That is, as the bisphenol A type epoxy resin, for example, Epicoat 828, 834, 871, 1001, 1004 (trade name, manufactured by Shell Chemical Co.), DER 331-J, 337-J, 661-J, 6
64-J, 667-J (Dow Chemical Company) and Epicron 800
(Trade name, manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc.), etc .; examples of novolac type epoxy resins include Epicoat 15
2, 154, 172, (trade name, manufactured by Shell Chemical Co., Ltd.), Araldite EPN 1138 (trade name, manufactured by Ciba Geigy), DER 43
1,438 and 439 (trade name, manufactured by Dow Chemical Co., Ltd.); Examples of alicyclic epoxy resin include Araldite CY-17
5, -176, -179, -182, -184, -192 (trade name, manufactured by Ciba Geigy), Chisso Knox 090, 091, 092, 301,
313 (trade name, manufactured by Chisso Corporation), Syracure (CYR
ACURE) 6100, 6110, 6200 and ERL 4090, 4617, 2256, 5
411 (trade name, manufactured by Union Carbide Co., Ltd.); As polyhydric glycidyl ethers of aliphatic polyhydric alcohol,
For example, ethylene glycol diglycidyl ether, polyethylene glycol diglycidyl ether, propylene glycol diglycidyl ether, polypropylene glycol diglycidyl ether, neopentyl glycol diglycidyl ether, 1,6-hexanediol diglycidyl ether, glycerin diglycidyl ether, trimethylolpropane Triglycidyl ether, hydrogenated bisphenol A diglycidyl ether, 2,2-dibromoneopentylglycol diglycidyl ether, etc .; Polyhydric glycidyl ethers derived from aromatic polyhydric alcohols include alkylene oxides of bisphenol A Diglycidyl ether of 16 mol adduct, diglycidyl ether of 2 to 16 mol adduct of alkylene oxide of bisphenol F , A diglycidyl ether of a 2 to 16 mol addition product of alkylene oxide of bisphenol S, and the like.

前述のエポキシ樹脂のエポキ基をシハーフエステル化
に用いることのできる不飽和カルボン酸としては、種々
のものを用いることができるが、本発明の樹脂組成物
に、より良好な活性化エネルギーによる硬化性を付与す
るためには、少なくとも分子の一方の末端にアクリル性
若しくはメタアクリル性ビニル基を有し、他方の末端に
カルボキシル基を有した一塩基性の不飽和カルボン酸を
好適なものとして用いることができる。
As the unsaturated carboxylic acid that can be used for the half-esterification of the epoxy group of the above-mentioned epoxy resin, various ones can be used, but the resin composition of the present invention can be cured by a better activation energy. In order to impart the property, a monobasic unsaturated carboxylic acid having an acrylic or methacrylic vinyl group at least at one end of the molecule and a carboxyl group at the other end is used as a suitable one. be able to.

そのような不飽和カルボン酸の代表例としては、アク
リル酸及びメタアクリル酸が挙げられるが、ジカルボン
酸と1個のヒドロキシル基を有する(メタ)アクリル酸
エステルとを反応させて得られるモノエステル化合物も
使用することができる。
Representative examples of such unsaturated carboxylic acid include acrylic acid and methacrylic acid, but a monoester compound obtained by reacting a dicarboxylic acid with a (meth) acrylic acid ester having one hydroxyl group. Can also be used.

上記のジカルボン酸としてはフタル酸、イソフタル
酸、テレフタル酸、シュウ酸、マロン酸、こはく酸、グ
ルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼ
ライン酸、セバシン酸、イソセバシン酸、テトラヒドロ
フタル酸及びこれらの無水物などを挙げることができ
る。
Examples of the above dicarboxylic acids include phthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid, oxalic acid, malonic acid, succinic acid, glutaric acid, adipic acid, pimelic acid, suberic acid, azelaic acid, sebacic acid, isosebacic acid, tetrahydrophthalic acid and these. And the like.

また、上記の1個のヒドロキシル基を有するメタアク
リル酸エステルとしては、2−ヒドロキシプロピル(メ
タ)アクリレート、3−クロロ−2−ヒドロキシプロピ
ル(メタ)アクリレート、4−ヒドロキシブチル(メ
タ)アクリレート、3−ヒドロキシブチル(メタ)アク
リレート、5−ヒドロキシペンチル(メタ)アクリレー
ト及び6−ヒドロキシヘキシル(メタ)アクリレート等
を挙げることができる。
Further, as the methacrylic acid ester having one hydroxyl group, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 3-chloro-2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 4-hydroxybutyl (meth) acrylate, 3 -Hydroxybutyl (meth) acrylate, 5-hydroxypentyl (meth) acrylate, 6-hydroxyhexyl (meth) acrylate and the like can be mentioned.

エポキシ樹脂のハーフエステル化反応に用いることの
できる付加反応触媒としては、例えば塩化亜鉛、塩化リ
チウムなどの金属ハロゲン化物、例えばジメチルサルフ
ァイド、メチルフェニルサルファイドなどのサルファイ
ド類の化合物、例えばジメチルスルホキシド、メチルエ
チルスルホキシドなどのスルホキド類の化合物、例えば
N,N−ジメチルアニリン、ピリジン、トリエチルアミ
ン、ベンジルジメチルアミンなどの第3級アミン類の化
合物及びその塩酸塩若しくは臭酸塩、例えばテトラメチ
ルアンモニウムクロライド、トリメチルドデシルベンジ
ルアンモニウムクロライド、トリエチルベンジルアンモ
ニウムクロライドなどの第4級アンモニウム塩、例えば
パラトルエンスルホン酸などのスルホン酸類の化合物及
び例えばエチルメルカプタン、プロピルメルカプタンな
どのメルカプタン類の化合物などを挙げることができ
る。
Examples of addition reaction catalysts that can be used in the half-esterification reaction of epoxy resins include metal halides such as zinc chloride and lithium chloride, for example, sulfide compounds such as dimethyl sulfide and methylphenyl sulfide, such as dimethyl sulfoxide and methyl ethyl. Compounds of the sulfoxide class, such as sulfoxide, eg
Compounds of tertiary amines such as N, N-dimethylaniline, pyridine, triethylamine, benzyldimethylamine and their hydrochlorides or hydrobromides such as tetramethylammonium chloride, trimethyldodecylbenzylammonium chloride and triethylbenzylammonium chloride Examples thereof include quaternary ammonium salts, compounds of sulfonic acids such as paratoluene sulfonic acid, and compounds of mercaptans such as ethyl mercaptan and propyl mercaptan.

更に、ハーフエステル化に用いることのできる重合禁
止剤としては、例えばハイドロキノン、アルキル若しく
はアリール置換ハイドロキノン、第3ブチルカテコー
ル、ピロガロール、ナフチルアミン、β−ナフトール、
塩化第一銅、2,6−ジ第3ブチル−p−クレゾール、フ
ェノチアジン、N−ニトロソジフェニルアミン及びニト
ロベンゼンなどを挙げることができる。
Furthermore, examples of the polymerization inhibitor that can be used for half-esterification include hydroquinone, alkyl- or aryl-substituted hydroquinone, tert-butylcatechol, pyrogallol, naphthylamine, β-naphthol,
Examples thereof include cuprous chloride, 2,6-di-tert-butyl-p-cresol, phenothiazine, N-nitrosodiphenylamine and nitrobenzene.

また、ハーフエステル化を溶媒の存在下で行なう場合
に使用することのできる溶媒としては、トルエン、キシ
レン、メチルイソブチルケトン、メチルエチルケトン、
酢酸エチル、酢酸ブチル及び酢酸イソブチルなどを挙げ
ることができる。
Further, as the solvent that can be used when the half-esterification is carried out in the presence of a solvent, toluene, xylene, methyl isobutyl ketone, methyl ethyl ketone,
Mention may be made of ethyl acetate, butyl acetate and isobutyl acetate.

ハーフエステル化の際のエポキシ樹脂とカルボン酸の
使用量は、エポキシ樹脂のエポキシ基とカルボン酸のカ
ルボキシル基との比率が、好ましくは1:0.3〜1:0.7、よ
り好ましくは1:0.45〜1:0.55となるように適宜選択され
る。
The amount of the epoxy resin and the carboxylic acid used in the half-esterification, the ratio of the epoxy group of the epoxy resin and the carboxyl group of the carboxylic acid is preferably 1: 0.3 to 1: 0.7, more preferably 1: 0.45 to 1 It is appropriately selected to be: 0.55.

すなわち、ハーフエステル化エポキシ樹脂における不
飽和カルボン酸によるエポキシ基のエステル化率が、上
記の範囲よりも高いと、エポキシ樹脂に由来する良好な
耐薬品性や寸法安定性等を本発明の樹脂組成物に有効に
活すことができず、また上記の範囲よりも低いと、メタ
アクリル酸エステル基に基づく、活性エネルギー線の作
用による高解像度で十分な硬化性が本発明の樹脂組成物
に得られない。
That is, when the esterification rate of the epoxy group by the unsaturated carboxylic acid in the half-esterified epoxy resin is higher than the above range, the resin composition of the present invention has good chemical resistance and dimensional stability derived from the epoxy resin. When it is not lower than the above range, the resin composition of the present invention has a high resolution and sufficient curability due to the action of active energy rays, which is based on the methacrylic acid ester group. I can't.

このように、本発明の活性エネルギー線硬化型樹脂組
成物は、ハーフエステル化エポキシ樹脂(C)の高感度
とアクリル酸エステル基に基づく活性エネルギー線の作
用による硬化性と、エポキシ基に基づく熱硬化性とを有
しており、本発明樹脂組成物に活性エネルギー線を照射
させて硬化させた後、80℃以上で、10分〜3時間程度加
熱して更に熱硬化させて得た硬化膜には、ハーフエステ
ルエポキシ樹脂に由来する良好な耐薬品性や寸法安定性
等が更に有効に付与される。
As described above, the active energy ray-curable resin composition of the present invention has the high sensitivity of the half-esterified epoxy resin (C) and the curability due to the action of the active energy ray based on the acrylate ester group, and the heat based on the epoxy group. A cured film having curability, which is obtained by irradiating the resin composition of the present invention with active energy rays to cure the resin composition, and then heating the resin composition at 80 ° C. or higher for about 10 minutes to 3 hours for further thermosetting. In addition, good chemical resistance and dimensional stability derived from the half-ester epoxy resin are effectively imparted.

本発明の樹脂組成物に含有させる活性エネルギー線の
照射によってルイス酸を発生する重合開始剤(D)と
は、該ルイス酸の作用によって前述のハーフエステル化
エポキシ樹脂(C)を硬化させ、本発明の樹脂組成物に
活性エネルギー線に対する高感度で十分な硬化性を発揮
させるための成分であり、好適には例えば特公昭52-142
78号公報に示されている第VIa族に属する元素を含む光
感知性を有する芳香族オニウム塩化合物、または特公昭
52-14279号公報に示されている第Va族に属する元素を含
む光感知性を有する芳香族オニウム塩化合物、あるいは
特公昭52-14277号に示されている光感知性を有する芳香
族ハロニウム塩などを用いることができる。これら芳香
族オニウム塩化合物または芳香族ハロニウム塩は、その
いずれもが活性エネルギー線の照射によってルイス酸を
放出してハーフエステル化エポキシ樹脂(C)を硬化さ
せるという特性を有している。
The polymerization initiator (D) which is contained in the resin composition of the present invention and generates a Lewis acid upon irradiation with active energy rays is a half-esterified epoxy resin (C) cured by the action of the Lewis acid, It is a component for allowing the resin composition of the invention to exhibit sufficient curability with high sensitivity to active energy rays, and is preferably, for example, JP-B-52-142.
Aromatic onium salt compounds containing an element belonging to Group VIa as disclosed in Japanese Patent Publication No. 78,
Aromatic onium salt compound having photosensitivity containing an element belonging to Group Va shown in Japanese Patent No. 52-14279, or aromatic halonium salt having photosensitivity shown in Japanese Patent Publication No. 52-14277. Etc. can be used. Each of these aromatic onium salt compounds or aromatic halonium salts has the property of releasing a Lewis acid upon irradiation with an active energy ray to cure the half-esterified epoxy resin (C).

上記の第VIa族若しくは第Va族に属する元素を有する
光感知性の芳香族オニウム塩化合物には、代表的には下
記一般式II; [(R3(R4(R5X] [MQe-(e-f)
(II) (上記式中、R3は一価の有機芳香族基、R4はアルキル
基、シクロアルキル基及び置換アルキル基から選らばれ
る一価の有機脂肪族基、R5は脂肪族基及び芳香族基から
選らばれる複素環若しくは縮合環構造を構成する多価有
機基、Xはイオウ、セレン及びテルルから選らばれる第
VIa族または窒素、リン、ヒ素、アンチモン及びビスマ
スから選らばれる第Va族に属する元素、Mは金属または
半金属及びQはハロゲン基をそれぞれ表わし、aはXが
第VIa族に属する元素である場合には0〜3の整数、X
が第Va族に属する元素である場合には0〜4の整数、b
は0〜2の整数、cはXが第VIa族に属する元素である
場合には0または1の整数、Xが第Va族に属する元素で
ある場合には0〜2の整数、fはMの価数で2〜7の整
数、eはfより大で8以下の整数であり、かつaとbと
cの和はXが第VIa族に属する元素である場合には3、
Xが第Va族に属する元素である場合には4及びd=e−
fである)で表される化合物が挙げられる。
The photosensitive aromatic onium salt compound having an element belonging to Group VIa or Group Va described above is typically represented by the following general formula II; [(R 3 ) a (R 4 ) b (R 5 ) c X] d + [MQ e ] -(ef) ...
(II) (In the above formula, R 3 is a monovalent organic aromatic group, R 4 is an alkyl group, a monovalent organic aliphatic group selected from a cycloalkyl group and a substituted alkyl group, R 5 is an aliphatic group and A polyvalent organic group forming a heterocyclic ring or a condensed ring structure selected from an aromatic group, X is a group selected from sulfur, selenium and tellurium.
Group VIa or an element belonging to Group Va selected from nitrogen, phosphorus, arsenic, antimony and bismuth, M is a metal or a metalloid and Q is a halogen group, and a is an element belonging to Group VIa. Is an integer from 0 to 3, X
Is an integer of 0 to 4 when b is an element belonging to Group Va, b
Is an integer of 0 to 2, c is an integer of 0 or 1 when X is an element belonging to Group VIa, 0 is an integer of 2 when X is an element belonging to Group Va, and f is M Is an integer of 2-7, e is an integer greater than f and 8 or less, and the sum of a, b, and c is 3, when X is an element belonging to Group VIa,
4 and d = e− when X is an element belonging to Group Va
and a compound represented by f).

また、光感知性の芳香族ハロニウム塩としては、下記
一般III; [(R6(R7X] [MQj-(k-l)…(III) (上記式中、R6は一価の芳香族有機基、R7は二価の芳香
族有機基、Xはハロゲン基、Mは金属または半金属及び
Qはハロゲン金属をそれぞれ表わし、gは0または2の
整数かつhは0または1の整数であって、gとhの和が
2またはXの原子価に等しく、iはk−1に等しく、j
は2〜7の整数でMの原価に等しく、kは1よりも大き
い8までの整数である)で表される化合物が挙げられ
る。
Further, as a light-sensitive aromatic halonium salt, the following general III; [(R 6 ) g (R 7 ) h X] i + [MQ j ] -(kl) (III) (wherein R 6 is a monovalent aromatic organic group, R 7 is a divalent aromatic organic group, X is a halogen group, M is a metal or metalloid and Q is a halogen metal, respectively, g is an integer of 0 or 2 and h Is an integer of 0 or 1, the sum of g and h is equal to the valence of 2 or X, i is equal to k−1, j
Is an integer from 2 to 7 and is equal to the cost of M, and k is an integer greater than 1 up to 8).

上記第VIa族若しくは第Va族に属する元素を含む光感
知性の芳香族オニウム塩化合物の具体例としては、例え
などの第VIa族に属する元素の光感知性の芳香族オニ
ウム塩、及び例えば などの第Va族に属する元素の光感知性の芳香族オニウム
塩などを挙げることができる。
Specific examples of the photosensitizing aromatic onium salt compound containing an element belonging to Group VIa or Group Va, for example, A photosensitive onium salt of an element belonging to Group VIa such as, and Examples thereof include photosensitized aromatic onium salts of elements belonging to Group Va.

また、光感知性の芳香族ハロニウム塩の具体例として
は、例えば、 等が挙げられる。
Further, specific examples of the light-sensitive aromatic halonium salt include, for example, Etc.

尚、上記のようなルイス酸を放出する重合開始剤
(D)に加えて、エポキシ樹脂の硬化剤として一般に広
く知られているポリアミン、ポリアミド、酸無水物、三
フッ化ホウ素−アミンコンプレックス、イミダゾール
類、イミダゾールと金属塩のコンプレックス等の硬化剤
を必要に応じて用いてもよい。
In addition to the polymerization initiator (D) that releases the Lewis acid as described above, polyamines, polyamides, acid anhydrides, boron trifluoride-amine complex, imidazoles that are generally widely known as curing agents for epoxy resins are used. If desired, a curing agent such as a complex of imidazole and a metal salt may be used.

本発明の活性エネルギー線硬化型樹脂組成物は、活性
エネルギー線によって硬化されるものであるが、グラフ
ト共重合高分子(A)及び/または線状高分子(B)と
して光重合性を有するものを用い、かつ活性エネルギー
線として波長250nm〜450nmの活性エネルギー線を用いる
場合には、活性エネルギー線の作用により賦活化し得、
有機遊離ラジカル生成し、ラジカル重合を開始するラジ
カル重合開始剤を該樹脂組成物中に添加しておくことが
好ましい。
The active energy ray-curable resin composition of the present invention, which is cured by active energy rays, has photopolymerizability as the graft copolymerization polymer (A) and / or linear polymer (B). And when using an active energy ray having a wavelength of 250 nm to 450 nm as the active energy ray, it can be activated by the action of the active energy ray,
It is preferable to add a radical polymerization initiator that generates organic free radicals and initiates radical polymerization to the resin composition.

そのようなラジカル重合開始剤を具体的に示せば、ベ
ンジルエーテル;ベンゾインイソブチルエーテル、ベン
ゾインイソプロピルエーテル、ベンゾイン−n−ブチル
エーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインメチ
ルエーテルなどのベンゾインアルキルエーテル類;ベン
ゾフェノン、4,4′−ビス(N,N−ジエチルアミノ)ベン
ゾフェノン、ベンゾフェノンメチルエーテルなどのベン
ゾフェノン類;2−エチルアントラキノン、2−tert−ブ
チルアントラキノンなどのアントラキノン類;2,4−ジメ
チルチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサン
トンなどのキサントン類;2,2−ジメトキシ−2−フェニ
ルアセトフェノン、α,α−ジクロロ−4−フェノキシ
アセトフェノン、p−tert−ブチルトリクロロアセトフ
ェノン、p−tert−ブチルジクロロアセトフェノン、2,
2−ジエトキシアセトフェノン、p−ジメチルアミノア
セトフェノンなどのアセトフェノン類;あるいはヒドロ
キシシクロヘキシルフェニルケトン(イルガキュア 18
4チバ・ガイギー(株)製);1−(4−イソプロピルフ
ェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−
オン(ダロキュア1116 メルク(MERCK)(株)製);2
−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−プロパン−
1−オン(ダロキュア1173 メルク(株)製)等が好適
に用いられるものとして挙げられる。これらのラジカル
重合開始剤に加えて、光重合促進剤としてアミノ化合物
を添加してもよい。
Specific examples of such radical polymerization initiators include benzyl ether; benzoin isobutyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin-n-butyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin methyl ether, and other benzoin alkyl ethers; benzophenone, 4,4 Benzophenones such as ′ -bis (N, N-diethylamino) benzophenone and benzophenone methyl ether; anthraquinones such as 2-ethylanthraquinone and 2-tert-butylanthraquinone; 2,4-dimethylthioxanthone and 2,4-diisopropylthioxanthone Xanthones; 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, α, α-dichloro-4-phenoxyacetophenone, p-tert-butyltrichloroacetophenone, p-tert-butyldichloro Acetophenone, 2,
Acetophenones such as 2-diethoxyacetophenone and p-dimethylaminoacetophenone; or hydroxycyclohexyl phenyl ketone (IRGACURE 18
4 Ciba-Geigy Co., Ltd.); 1- (4-isopropylphenyl) -2-hydroxy-2-methylpropane-1-
On (manufactured by Darocur 1116 MERCK); 2
-Hydroxy-2-methyl-1-phenyl-propane-
1-one (produced by Darocur 1173 Merck Co., Ltd.) and the like are preferably used. In addition to these radical polymerization initiators, an amino compound may be added as a photopolymerization accelerator.

光重合促進剤に用いられるアミノ化合物としては、エ
タノールアミン、エチル−4−ジメチルアミノベンゾエ
ート、2−(ジメチルアミノ)エチルベンゾエート、p
−ジメチルアミノ安息香酸n−アミルエステル、p−ジ
メチルアミノ安息香酸イソアミルエステル等が挙げられ
る。
Examples of the amino compound used for the photopolymerization accelerator include ethanolamine, ethyl-4-dimethylaminobenzoate, 2- (dimethylamino) ethylbenzoate, p
-Dimethylaminobenzoic acid n-amyl ester, p-dimethylaminobenzoic acid isoamyl ester and the like.

次に、本発明の活性エネルギー線硬化型組成物の成分
である上述したグラフト共重合高分子(A)、線状高分
子(B)、ハーフエステル化エポキシ樹脂(C)、重合
開始剤(D)の組成比(重量比率)は目的に応じて適宜
決定される。
Next, the above-mentioned graft copolymer polymer (A), linear polymer (B), half-esterified epoxy resin (C), polymerization initiator (D) which are components of the active energy ray-curable composition of the present invention. The composition ratio (weight ratio) of () is appropriately determined according to the purpose.

グラフト共重合高分子(A)と線状高分子(B)との
重量比率は(A):(B)=80:20〜50:50の範囲が望ま
しく、この範囲であるとグラフト共重合高分子に基づく
基体への良好な密着性と、線状高分子に基づく良好なパ
ターニング性が得られる。
The weight ratio of the graft copolymer (A) to the linear polymer (B) is preferably (A) :( B) = 80: 20 to 50:50. Good adhesion to a substrate based on a molecule and good patterning property based on a linear polymer can be obtained.

高分子物質の合計量(A)+(B)に対して、ハーフ
エステル化エポキシ樹脂(C)との重量比率は、
{(A)+(B):(C)}=100:50〜100:200の範囲
が望ましい。重合開始剤(D)は、前記樹脂の合計量
(A)+(B)+(C)に対して{(A)+(B)+
(C)}:(D)=100:1〜100:10の範囲で用いるのが
望ましい。
The weight ratio of the half-esterified epoxy resin (C) to the total amount (A) + (B) of the polymer substance is
The range of {(A) + (B) :( C)} = 100: 50 to 100: 200 is desirable. The polymerization initiator (D) is {(A) + (B) + with respect to the total amount (A) + (B) + (C) of the resin.
(C)}: (D) = It is desirable to use in the range of 100: 1 to 100: 10.

また、上記ラジカル重合開始剤(E)及び/または光
重合促進剤としてのアミノ化合物(F)を用いる場合の
これらの添加量{(E)+(F)}[(E)=0、
(F)=0の場合を含む]は、前記樹脂の合計量(A)
+(B)+(C)に対して{(A)+(B)+
(C)}:{(E)+(F)}=100:1〜100:10の範囲
で用いるのが望ましい。
Further, when the above radical polymerization initiator (E) and / or the amino compound (F) as a photopolymerization accelerator is used, their addition amount {(E) + (F)} [(E) = 0,
(Including the case of (F) = 0) is the total amount of the resin (A)
+ (B) + (C) for {(A) + (B) +
(C)}: {(E) + (F)} = 100: 1 to 100: 10 is preferably used in the range.

更に、本発明の活性エネルギー線硬化型樹脂組成物に
は、必要に応じて、縮合架橋触媒、熱重合禁止剤、染料
や顔料等の着色剤充てん剤、ヒドロキノンやパラメトキ
シフェノール等の熱安定剤、密着促進剤、可塑剤、シリ
カやタルク等の体質顔料、塗工適性を与えるレベリング
剤などを添加しても良い。
Further, the active energy ray-curable resin composition of the present invention, if necessary, a condensation crosslinking catalyst, a thermal polymerization inhibitor, a colorant filler such as a dye or a pigment, a thermal stabilizer such as hydroquinone or paramethoxyphenol. Further, an adhesion promoter, a plasticizer, an extender pigment such as silica or talc, and a leveling agent for imparting coating suitability may be added.

例えば、縮合架橋触媒としては、パラトルエンスルホ
ン酸に代表されるスルホン酸、ギ酸などのカルボン酸等
が挙げられる。熱重合禁止剤としては、ハイドロキノン
およびその誘導体、パラメトキシフェノール、フェノチ
アジン等が挙げられる。着色剤としては、油溶性染料及
び顔料が活性エネルギー線の透過を実質的に防げない範
囲で添加され得る。充填剤は、塗膜の硬度上昇、着色、
密着性、機械的強度上昇のために、塗料一般で使用され
る体質顔料、プラスチック微粒子等が用いられる。密着
促進剤としては、無機質表面改質剤としてのシランカッ
プリング剤、低合子界面活性剤等がある。
Examples of the condensation crosslinking catalyst include sulfonic acids typified by paratoluenesulfonic acid and carboxylic acids such as formic acid. Examples of the thermal polymerization inhibitor include hydroquinone and its derivatives, paramethoxyphenol, phenothiazine and the like. As the colorant, oil-soluble dyes and pigments can be added in a range that does not substantially prevent the transmission of active energy rays. Filler increases the hardness of the coating, coloring,
In order to increase adhesion and mechanical strength, extenders, plastic fine particles and the like commonly used in paints are used. Examples of the adhesion promoter include a silane coupling agent as an inorganic surface modifier, and a low particle surfactant.

本発明の活性エネルギー線硬化型樹脂組成物を溶液状
で用いる際、あるいはドライフィルムとする際のフィル
ム基材であるプラスチックフィルムなどの上に塗布する
場合などに用いる溶剤としては、アルコール類、グリコ
ールエーテル類、グリコールエステル類等の親水性溶剤
などが挙げられる。もちろん、これら親水性溶剤を主体
とし、それらに必要に応じてメチルエチルケトン、メチ
ルイソブチルケトン等のケトン類、酢酸エチル、酢酸イ
ソブチル等のエステル類、トルエン、キシレン等の芳香
族炭化水素及びそのハロゲン置換体、塩化メチレン、1,
1,1−トリクロルエタン等の塩素含有の脂肪族溶剤等を
適宜混合したものを用いることもできる。尚、これら溶
剤は、本発明の樹脂組成物の現像液として用いることも
できる。
As the solvent used when the active energy ray-curable resin composition of the present invention is used in the form of a solution, or when it is applied onto a plastic film or the like which is a film substrate when forming a dry film, alcohols and glycols are used. Examples include hydrophilic solvents such as ethers and glycol esters. Of course, these hydrophilic solvents are mainly used, and if necessary, ketones such as methyl ethyl ketone and methyl isobutyl ketone, esters such as ethyl acetate and isobutyl acetate, aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene, and halogen-substituted products thereof , Methylene chloride, 1,
A mixture appropriately containing a chlorine-containing aliphatic solvent such as 1,1-trichloroethane may also be used. These solvents can be used as a developer for the resin composition of the present invention.

次に、以上説明した方法によって得られる本発明の活
性エネルギー線硬化型樹脂組成物は、通常の方法に従っ
て支持体上に被覆することができ、例えば、 (1)基板上に硬化した膜塗布を形成する場合、液体状
の活性エネルギー線硬化型樹脂組成物を支持体上に液状
膜を形成するため付与する。引き続いて蒸発乾燥させ
る。そして乾燥した塗膜は、活性エネルギーで照射する
ことで硬化させる。
Next, the active energy ray-curable resin composition of the present invention obtained by the method described above can be coated on a support according to a usual method. For example, (1) coating a cured film on a substrate When forming, a liquid active energy ray-curable resin composition is applied to form a liquid film on a support. It is subsequently dried by evaporation. The dried coating film is cured by irradiation with active energy.

(2)支持体上に所望パターンの形状に保護硬化層を形
成する場合、 液体状の活性エネルギー線硬化型樹脂組成物を液状塗
膜を形成するため支持体上に付与する。引き続いて蒸発
乾燥させる。そして乾燥した層を所望のパターンにレー
ザービームで走査し、未露光部を1,1,1−トリクロロエ
タン等の適当な溶剤で除去することで支持体上に所望パ
ターンの形状に硬化した保護層を形成する。
(2) When forming a protective cured layer in a desired pattern shape on a support, a liquid active energy ray-curable resin composition is applied on the support to form a liquid coating film. It is subsequently dried by evaporation. Then, the dried layer is scanned with a laser beam in a desired pattern, and the unexposed portion is removed with an appropriate solvent such as 1,1,1-trichloroethane to form a protective layer cured in a desired pattern shape on the support. Form.

(3)支持体上に所望パターンの形状に保護硬化層を形
成する場合、 液体状の活性エネルギー線硬化型樹脂組成物を液状塗
膜を形成するために付与し、続いて蒸発乾燥する。活性
エネルギー線が透過しない所望の形状をもったパターン
を有するフォトマスクをそのドライフィルム層上に重ね
合わせ、フォトマスク上から活性エネルギー線で露光す
る。そして、未露光部を1,1,1−トリクロロエタン等の
適当な溶剤によって除去し、支持体上に所望のパターン
の形状に保護硬化層を形成する。
(3) When forming a protective cured layer in a desired pattern shape on a support, a liquid active energy ray-curable resin composition is applied to form a liquid coating film, and then evaporated and dried. A photomask having a pattern having a desired shape through which the active energy ray does not pass is superimposed on the dry film layer, and the photomask is exposed with the active energy ray. Then, the unexposed portions are removed with a suitable solvent such as 1,1,1-trichloroethane, and a protective cured layer is formed on the support in a desired pattern shape.

(4)感光性ドライフィルムを形成し支持体上に前記ド
ライフィルムを積層する場合、 液体状の活性エネルギー線硬化型樹脂を液状膜を形成
するためポリエチレンテレフタレートフィルム上に付与
し、続いて蒸発乾燥して前記ポリエチレンテレフタレー
トフィルム上に感光性ドライフィルムを得る。そのドラ
イフィルムを積層体を得るため通常の積層方法によって
支持体上に積層する。そして、支持体上に積層した感光
性ドライフィルムを上記した方法(1)と同様の方法で
活性エネルギー線で照射することで硬化する。
(4) In the case of forming a photosensitive dry film and laminating the dry film on a support, a liquid active energy ray-curable resin is applied onto a polyethylene terephthalate film to form a liquid film, followed by evaporation drying. Then, a photosensitive dry film is obtained on the polyethylene terephthalate film. The dry film is laminated on a support by a usual laminating method to obtain a laminated body. Then, the photosensitive dry film laminated on the support is cured by irradiating it with an active energy ray in the same manner as in the above-mentioned method (1).

硬化した感光性フィルムを所望のパターンに形成した
い場合は支持体上に積層した上記ドライフィルムを上記
した方法(2)又は(3)と同様の方法で処理する。
When it is desired to form a cured photosensitive film into a desired pattern, the dry film laminated on a support is treated in the same manner as in the above method (2) or (3).

活性エネルギー線硬化型樹脂組成物が前記(X)式に
よって表わされるモノマーを含むものである場合、上記
(1)〜(4)の方法で得た硬化膜を更に80℃〜200℃
の温度で加熱処理して縮合硬化させることは望ましい。
When the active energy ray-curable resin composition contains the monomer represented by the formula (X), the cured film obtained by the above method (1) to (4) is further heated to 80 ° C to 200 ° C.
It is desirable to heat-treat at a temperature of 3 ° C. for condensation curing.

本発明の活性エネルギー線硬化型樹脂組成物の硬化、
あるいは該組成物へのパターン露光等に用いる活性エネ
ルギー線としては、既に広く実用化されている紫外線あ
るいは電子線などが挙げられる。紫外線光源としては、
波長250nm〜450nmの光を多く含む高圧水銀灯、超高圧水
銀灯、メタルハライドランプ等が挙げられ、実用的に許
容されるランプー被照射物間の距離において365nmの近
傍の光の強度が1mW/cm2〜100mW/cm2程度のものが好ま
しい。電子線照射装置としては、特に限定はないが、0.
5〜20M Radの範囲の線量を有する装置が実用的に適して
いる。
Curing of the active energy ray-curable resin composition of the present invention,
Alternatively, examples of active energy rays used for pattern exposure of the composition include ultraviolet rays and electron beams that have already been widely used. As an ultraviolet light source,
Examples include high-pressure mercury lamps, ultra-high-pressure mercury lamps, and metal halide lamps that contain a large amount of light with a wavelength of 250 nm to 450 nm. At a practically acceptable distance between the lamp and the irradiated object, the light intensity near 365 nm is 1 mW / cm 2 ~ It is preferably about 100 mW / cm 2 . The electron beam irradiation device is not particularly limited, but 0.
Devices with doses in the range of 5-20M Rad are practically suitable.

〔実施例〕〔Example〕

以下、本発明を実施例によりさらに詳細に説明する。
本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to Examples.
The present invention is not limited to the following examples.

実施例1 1−1,本発明の活性エネルギー線硬化型組成物を構成
する成分(A)〜(D)として、以下にに示すものを用
意した。
Example 1 1-1 As the components (A) to (D) constituting the active energy ray-curable composition of the present invention, those shown below were prepared.

グラフト共重合高分子(A) 2−ヒドロキシエチルメタクリレート80重量部、ブチ
ルアクリレート20重量部を用い、チオグリコール酸を連
鎖移動剤、アゾビスイソブチルニトリルを重合開始剤と
して用い、ラジカル連鎖移動重合を行ない、分子鎖末端
にカルボキシ基を持つオリゴマーを得た。
Graft copolymerization polymer (A) Using 80 parts by weight of 2-hydroxyethyl methacrylate and 20 parts by weight of butyl acrylate, using thioglycolic acid as a chain transfer agent and azobisisobutylnitrile as a polymerization initiator, radical chain transfer polymerization is carried out. An oligomer having a carboxy group at the end of the molecular chain was obtained.

このオリゴマーに、グリシジルメタアクリレートを反
応させることにより、分子鎖の片末端にメタアクリロイ
ル基を持つマクロモノマーを得た。
By reacting the oligomer with glycidyl methacrylate, a macromonomer having a methacryloyl group at one end of the molecular chain was obtained.

このマクロモノマーのGPC法による数平均分子量は、
約3千であった。このマクロモノマー30重量部とメチル
メタクリレート70重量部とを、メチルセロソルブ溶媒中
で溶液重合し、重量平均分子量が約5万、数平均分子量
が約1万2千のグラフト共重合高分子を得た。
The number average molecular weight of this macromonomer by the GPC method is
It was about 3,000. 30 parts by weight of this macromonomer and 70 parts by weight of methyl methacrylate were solution polymerized in a methyl cellosolve solvent to obtain a graft copolymer having a weight average molecular weight of about 50,000 and a number average molecular weight of about 12,000. .

線状高分子(B) メチルメタクリレートとイソボルニルメタアクリレー
トと2−ヒドロキシエチルメタクリレートとを70:20:10
(モル比)の割合で重合して得た線状アクリル重合体。
なお、その数平均分子量は約7万、その重量平均分子量
は約25万である。
Linear polymer (B) Methyl methacrylate, isobornyl methacrylate and 2-hydroxyethyl methacrylate 70:20:10
A linear acrylic polymer obtained by polymerizing at a ratio of (molar ratio).
The number average molecular weight is about 70,000 and the weight average molecular weight is about 250,000.

ハーフエステル化エポキシ樹脂(C) オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂(縮合度
6〜7)の50%アクリル酸エステル化物 重合開始剤(D) 以下に2の重合開始剤1),2)を示す。(D)−1前
述した感光性の芳香族オニウム(l)塩化合物(UVE-10
14、GE社製) (D)−2イルガキュア651(チバガイギー社製) 次に、以上の材料(A)〜(D)−2を以下に示すよ
うな重量比通常の方法により混合することによって、本
発明の活性エネルギー線硬化型組成物を得た。
Half-esterified epoxy resin (C) 50% acrylic acid esterified product of orthocresol novolac type epoxy resin (condensation degree 6 to 7) Polymerization initiator (D) The polymerization initiators 1) and 2) of 2 are shown below. (D) -1 The above-mentioned photosensitive aromatic onium (l) salt compound (UVE-10
14, manufactured by GE) (D) -2 Irgacure 651 (manufactured by Ciba Geigy) Next, the above materials (A) to (D) -2 are mixed by a weight ratio ordinary method as shown below, An active energy ray-curable composition of the present invention was obtained.

材料 重量部 (A) 80 (B) 20 (C) 100 (D)−1 6 (D)−2 6 メチレンブルー 1 メチルセロソルブ 200 メチルエチルケチトン 100 1−3,樹脂硬化膜の準備 以上のようにして得た液体状の本発明の組成物を、清
浄処理されたガラス板に約80μmの厚さに塗布し、100
℃で15分熱風乾燥した。次いで、このガラス板(乾燥後
の塗膜厚約40μm)を高圧水銀灯下で、活性エネルギー
線により最大照射エネルギーが100mW/cm2の10秒露光し
た。
Material Parts by weight (A) 80 (B) 20 (C) 100 (D) -16 (D) -26 Methylene blue 1 Methyl cellosolve 200 Methyl ethyl ketithone 100 1-3, Preparation of cured resin film The liquid composition of the present invention obtained as described above was applied to a glass plate having been subjected to a cleaning treatment to a thickness of about 80 μm,
It was dried with hot air at 15 ° C for 15 minutes. Next, this glass plate (coating thickness after drying: about 40 μm) was exposed under a high-pressure mercury lamp for 10 seconds at a maximum irradiation energy of 100 mW / cm 2 by an active energy ray.

次いで、この基板を150℃にて30分間加熱し、熱処理
を施した。
Then, this substrate was heated at 150 ° C. for 30 minutes to be heat-treated.

以上のようにして得た本発明の組成物を被覆したガラ
ス板を、1%のカセイソーダ水溶液で10時間reflux処理
した。この処理後の露光(硬化)された樹脂塗膜はガラ
ス基板に対しての良好な密着性を維持し、かつ長期保存
においても白化およびふくれ等を生ずることがなかっ
た。
The glass plate coated with the composition of the present invention obtained as described above was subjected to a reflux treatment for 10 hours with a 1% aqueous solution of caustic soda. The exposed (cured) resin coating film after this treatment maintained good adhesion to the glass substrate and did not cause whitening or blistering even during long-term storage.

実施例2 実施例1の組成物を、表面を清浄したガラス板上に乾
燥後の膜厚が50μmとなるように実施例1と同様な方法
で塗布した。これに、最小が20μmの線巾と20μmの間
隔を有する等間隔条線群を有するガラスマスクを重ね、
平行度の高い、光線を発生する紫外線照射装置(マスク
アライナーMA-10、ミカサ(株)製)にて露光した。更
に同様の操作を露光条件を変えて繰り返した。露光後30
分経過してから、1,1,1−トリクロルエタンを用いた現
像を行なった。
Example 2 The composition of Example 1 was applied onto a glass plate having a cleaned surface in the same manner as in Example 1 so that the film thickness after drying was 50 μm. On top of this, overlay a glass mask with a group of evenly spaced stripes with a minimum line width of 20 μm and a spacing of 20 μm.
It was exposed by an ultraviolet irradiation device (mask aligner MA-10, manufactured by Mikasa Co., Ltd.) that generates light rays with high parallelism. Further, the same operation was repeated by changing the exposure condition. 30 after exposure
After a lapse of minutes, development with 1,1,1-trichloroethane was performed.

この方法で、3つの露光エネルギー(80mj/cm2、100m
j/cm2、120mj/cm2)で3つの異なるグループのサンプル
(サンプルグループI-III)を得た。
With this method, three exposure energies (80mj / cm 2 , 100m
Samples of three different groups (sample groups I-III) were obtained at j / cm 2 and 120 mj / cm 2 .

サンプルI-IIIの夫々において、異なった露光時間を
与えた(30秒、60秒、90秒)3つの異なるサンプルを得
た。
In each of Samples I-III, three different samples with different exposure times (30 seconds, 60 seconds, 90 seconds) were obtained.

比較例として、活性エネルギー線型樹脂組成物の準備
として実施例1の作成法でグラフト共重合高分子(A)
を100重量部とし、線状高分子(B)を使用しなかった
以外は同様にして比較の樹脂組成物を得た。
As a comparative example, a graft copolymer (A) was prepared by the method of Example 1 as a preparation of an active energy linear resin composition.
Was 100 parts by weight, and a comparative resin composition was obtained in the same manner except that the linear polymer (B) was not used.

そして、この比較の樹脂組成物を用いて上記方法をく
り返して比較サンプルグループI〜IIIを準備した。
Then, the above-mentioned method was repeated using this comparative resin composition to prepare comparative sample groups I to III.

このようにして得たサンプルをパターン解像度、未現
像部分の残渣そしてパターンふくれについて通常の評価
方法によって評価した。
The sample thus obtained was evaluated for the pattern resolution, the residue of the undeveloped portion and the pattern swelling by the usual evaluation method.

その評価結果を以下の表に示す。 The evaluation results are shown in the table below.

表−1に示す結果から、本発明の組成物は、露光、現
像の条件によらず常に安定していることが分かる。
The results shown in Table 1 show that the composition of the present invention is always stable regardless of the conditions of exposure and development.

実施例3 3−1,本発明の組成物を構成する成分として、以下にに
示(A)〜(D)示すものを用意した。
Example 3 3-1 As the components constituting the composition of the present invention, the components shown in (A) to (D) below were prepared.

グラフト共重合高分子(A) 2−ヒドロキシエチルメタクリレート50重量部、ブト
キシメチルアクリルアミド50重量部を用い、実施例1と
同様の方法を用いて、分子鎖の片末端にメタアクリロイ
ル基を持つマクロモノマーを得た。このマクロモノマー
のGPC法による数平均分子量は、約2千であった。
Graft copolymer (A) A macromonomer having a methacryloyl group at one end of the molecular chain using 50 parts by weight of 2-hydroxyethyl methacrylate and 50 parts by weight of butoxymethylacrylamide in the same manner as in Example 1. I got The number average molecular weight of this macromonomer by the GPC method was about 2,000.

このマクロモノマー30重量部とメチルメタクリレート
70重量部とを、メチルセロソルブ:メチルエチルケトン
(MEK)=60:40(重量比)の溶媒中で溶液重合し、数平
均分子量約6千、重量平均分子量が約4万5千の熱硬化
性グラフト共重合高分子を得た。
30 parts by weight of this macromonomer and methyl methacrylate
70 parts by weight and solution polymerization in a solvent of methyl cellosolve: methyl ethyl ketone (MEK) = 60:40 (weight ratio), a thermosetting graft having a number average molecular weight of about 6,000 and a weight average molecular weight of about 45,000. A copolymer polymer was obtained.

線状高分子(B) メチルメタクリレートと、トリシクロデカンメタクリ
レートと、N−メチルロールアクリルアミドとを、60:3
0:10のモル比で重合して得た線状アクリル共重合体。な
お、その数平均分子量は約6万、その重量平均分子量は
約26万である。
Linear polymer (B) Methyl methacrylate, tricyclodecane methacrylate, and N-methyl roll acrylamide were mixed at 60: 3.
Linear acrylic copolymer obtained by polymerization at a molar ratio of 0:10. The number average molecular weight is about 60,000 and the weight average molecular weight is about 260,000.

ハーフエステル化エポキシ樹脂(C) フェノールノボラック型エポキシ樹脂(縮合度5〜
6)の50%アクリル酸エステル化物 重合開始剤(D) 以下の2つの重合開始剤(D)−1,(D)−2を用意
した。
Half-esterified epoxy resin (C) Phenol novolac type epoxy resin (condensation degree of 5
6) 50% acrylic acid esterified product Polymerization initiator (D) The following two polymerization initiators (D) -1 and (D) -2 were prepared.

(D)−1.前述の成光性芳香族オニウム塩化合物(m) (D)−2.ダロキュア1173(メルク社製) 3−2.次に、以上の材料(A)〜(D)−2を以下に示
すような重量比で通常の方法を用いて混合することによ
って、本発明の組成物溶液を得た。
(D) -1. The above-mentioned light-transmitting aromatic onium salt compound (m) (D) -2. Darocur 1173 (manufactured by Merck & Co.) 3-2. Next, the above materials (A) to (D)- The composition solutions of the present invention were obtained by mixing 2 in the following weight ratio using a conventional method.

材料 重量部 (A) 50 (B) 50 (C) 100 (D)−1 6 (D)−2 6 メチレンブルー 1 メチルセルソルブ 200 メチルエチルケトン 100 3−3.プリント板上の硬化樹脂保護膜の形成 以上3−2のようにして得た液体状の本発明の組成物
を、ガラスクロスエポキシ基材上に厚さ60μmの銅箔の
導体回路が形成されたプリント配線板上に、乾燥後の厚
さが50μmになるように、通常の方法によりロールコー
タにて全面に塗布した。その際の乾燥は、100℃の熱風
オーブン中3分間で行なった。
Material Parts by weight (A) 50 (B) 50 (C) 100 (D) -16 (D) -26 Methylene blue 1 Methyl cellosolve 200 Methyl ethyl ketone 100 3-3. Formation of cured resin protective film on printed board 3-2, the composition of the present invention in a liquid state obtained on a printed wiring board on which a conductor circuit of a copper foil having a thickness of 60 μm is formed on a glass cloth epoxy substrate is dried. Of 50 μm was applied on the entire surface by a roll coater by a usual method. Drying at that time was performed in a hot air oven at 100 ° C. for 3 minutes.

次いで、冷却を行った後、その組成物の上にソルダー
マスクパターンを重ね、365nm付近での紫外線強度が7m
W/cm2であってコリメーション偏角が3°の平行度の高
い紫外線を発生する超高圧水銀灯を用いて35秒間露光し
た。露光後、1,1,1−トリクロルエタンを用いて20℃で5
0秒間スプレー現像を行なった。現像は、安定に進行
し、鮮明なパターンが得られた。現像後、乾燥し、更に
同じ超高圧水銀灯で5分間照射し、次いで150℃で15分
間加熱処理して、プリント基板上の硬化保護膜のパター
ン形成を完成した。
Then, after cooling, a solder mask pattern was overlaid on the composition, and the ultraviolet intensity near 365 nm was 7 m.
Exposure was carried out for 35 seconds using an ultra-high pressure mercury lamp that emits highly parallel UV light having a collimation deviation angle of 3 ° and W / cm 2 . After exposure, use 1,1,1-trichloroethane at 20 ° C for 5
Spray development was performed for 0 seconds. The development proceeded stably, and a clear pattern was obtained. After the development, it was dried, irradiated with the same ultra-high pressure mercury lamp for 5 minutes, and then heat-treated at 150 ° C. for 15 minutes to complete the pattern formation of the cured protective film on the printed board.

以上のようにして得たプリント配線板上の保護膜は、
酸、アルカリ、その他の化学薬品に対する耐性に優れた
ものであった。
The protective film on the printed wiring board obtained as described above is
It had excellent resistance to acids, alkalis and other chemicals.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

以上説明したように、本発明の活性エネルギー線硬化
型樹脂組成物は、グラフト共重合高分子(A)を構成成
分とするので、添加助剤等を添加しなくとも、種々の支
持体に対して十分な密着性を有し、かつ線状高分子
(B)を構成成分とするので、パターン形成時の現像特
性に優れる。また、同時に種々の用途に使用するに十分
な耐薬品性、耐久性等を有する。
As described above, since the active energy ray-curable resin composition of the present invention contains the graft copolymerization polymer (A) as a constituent component, it can be applied to various supports without adding an auxiliary agent or the like. Since it has sufficient adhesiveness and has the linear polymer (B) as a constituent component, it has excellent developing characteristics during pattern formation. At the same time, it has sufficient chemical resistance and durability for use in various applications.

更には、本発明の組成物は、その構成成分である高分
子物質として、グラフト共重合高分子と線状高分子とを
併用して用いるので、そのグラフト共重合高分子のみを
高分子物質として用いた場合に比べて、少ない活性エネ
ルギー線照射で、現像液に対する耐溶剤の塗膜になるの
で、その結果として、高感度、解像度のアップ、基材の
種類あるいは状態に左右されずにパターン形成ができる
等のパターニングプロセスの性質が向上し、作業条件巾
が拡大するのである。このこと故に、その用途は従来の
ものと比べて大きく広げるとができる。
Furthermore, since the composition of the present invention is used in combination with a graft copolymer and a linear polymer as its constituent polymer, only the graft copolymer is used as the polymer. Compared to the case of using, it is possible to form a coating film with solvent resistance to the developing solution with less active energy ray irradiation. As a result, high sensitivity, improvement of resolution, pattern formation independent of substrate type or condition This improves the properties of the patterning process, such as the ability to perform, and expands the range of working conditions. For this reason, its application can be greatly expanded as compared with the conventional one.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 //(C08L 63/00 51:06 33:04) ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (51) Int.Cl. 6 Identification code Office reference number FI technical display area // (C08L 63/00 51:06 33:04)

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】(A)アルキルメタアクリレート、アクリ
ロニトリルおよびスチレンからなる群より選ばれた一種
以上のモノマーに由来する構造単位を主体とする幹鎖
に、下記一般式(x)あるいは(y) [ただし、R1は水素、もしくは炭素原子数が1〜3のア
ルキル基またはヒドロキシアルキル基を表わし、R2は水
素、もしくは炭素原子数が1〜4のヒドロキシ基を有し
ていてもよいアルキル基またはアシル基を表わし、R3
炭素原子数2〜6のアルキル基、あるいはハロゲン置換
されたアルキル基、 CH2 OCH2 (ただし、2≦m+n≦6、n≠0、m≠0) で表わされるアルキルエーテル基、 (ただし、2≦m+n≦4、n=0あるいはm=0の場
合も含む) で表わされるフェニルアルキル基である。] で表わされるモノマーのうちの少なくとも一種のモノマ
ーに由来する構造単位を有する枝鎖が付加されてなり、
かつ数平均分子量が5千以上であり、重量平均分子量が
5万以下であるグラフト共重合高分子と、 (B)メチルメタアクリレート、エチルメタアクリレー
ト、イソブチルメタアクリレート、t−ブチルメタアク
リレート、ベンジルメタアクリレート、アクリロニトリ
ル、イソボルニルメタアクリレート、イソボルニルアク
リレート、トリシクロデカンアクリレート、トリシクロ
デカンメタアクリレート、トリシクロデカンオキシエチ
ルメタアクリレート、スチレン、ジメチルアミノエチル
メタクリレート、シクロヘキシルメタクリレートからな
る群より選ばれた一種以上のモノマーに由来する構造単
位を有し、かつ前記一般式(x)あるいは(y)で表わ
されるモノマーのうちの少なくとも一種のモノマーに由
来する構造単位を有し、かつ数平均分子量が5万以上で
あり、重量平均分子量が35万以下であり、ガラス転移温
度が60℃以上である線状高分子と、 (C)分子内にエポキシ基を2個以上有する化合物の少
なくとも1種を含んでなるエポキシ樹脂に存在するエポ
キシ基の一部を不飽和カルボン酸によってエステル化し
てなる樹脂と、 (D)活性エネルギー線の照射によってルイス酸を発生
する重合開始剤と を有してなる活性エネルギー線硬化型樹脂組成物。
1. A main chain comprising a structural unit derived from at least one monomer selected from the group consisting of (A) alkyl methacrylate, acrylonitrile and styrene, and the following general formula (x) or (y) [Wherein R 1 represents hydrogen, or an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms or a hydroxyalkyl group, and R 2 represents hydrogen or an alkyl group optionally having a hydroxy group having 1 to 4 carbon atoms. Represents a group or an acyl group, R 3 is an alkyl group having 2 to 6 carbon atoms, or a halogen-substituted alkyl group, CH 2 n OCH 2 m (where 2 ≦ m + n ≦ 6, n ≠ 0, m ≠ 0 ) An alkyl ether group represented by (However, 2 ≦ m + n ≦ 4, including the case where n = 0 or m = 0) is a phenylalkyl group. ] A branched chain having a structural unit derived from at least one of the monomers represented by
And a graft copolymer having a number average molecular weight of 5,000 or more and a weight average molecular weight of 50,000 or less, and (B) methyl methacrylate, ethyl methacrylate, isobutyl methacrylate, t-butyl methacrylate, benzyl meta. Selected from the group consisting of acrylate, acrylonitrile, isobornyl methacrylate, isobornyl acrylate, tricyclodecane acrylate, tricyclodecane methacrylate, tricyclodecaneoxyethyl methacrylate, styrene, dimethylaminoethyl methacrylate, cyclohexyl methacrylate Having a structural unit derived from at least one monomer, having a structural unit derived from at least one of the monomers represented by the general formula (x) or (y), and At least a linear polymer having an average molecular weight of 50,000 or more, a weight average molecular weight of 350,000 or less, and a glass transition temperature of 60 ° C. or more, and (C) a compound having two or more epoxy groups in the molecule. A resin obtained by esterifying a part of epoxy groups present in an epoxy resin containing one kind with an unsaturated carboxylic acid; and (D) a polymerization initiator generating a Lewis acid by irradiation with active energy rays. An active energy ray-curable resin composition comprising:
【請求項2】前記グラフト共重合高分子(A)と前記線
状高分子(B)との重量比が(A):(B)=80:20〜5
0:50である請求項1記載の活性エネルギー線硬化型樹脂
組成物。
2. The weight ratio of the graft copolymer (A) to the linear polymer (B) is (A) :( B) = 80: 20-5.
The active energy ray-curable resin composition according to claim 1, wherein the ratio is 0:50.
【請求項3】前記グラフト共重合高分子(A)および前
記線状高分子(B)の合計重量(A)+(B)と前記エ
ポキシ樹脂(C)の重量比が{(A)+(B)}:
(C)=100:50〜100:200である請求項1または2に記
載の活性エネルギー線硬化型樹脂組成物。
3. The weight ratio of the total weight (A) + (B) of the graft copolymer (A) and the linear polymer (B) to the epoxy resin (C) is {(A) + ( B)}:
(C) = 100: 50-100: 200, The active energy ray-curable resin composition according to claim 1 or 2.
【請求項4】前記グラフト共重合高分子(A)、前記線
状高分子(B)および前記樹脂(C)の合計重量(A)
+(B)+(C)と前記重合開始剤(D)の重量比が
{(A)+(B)+(C)}:(D)=100:1〜100:10
である請求項1〜3のいずれかに記載の活性エネルギー
線硬化型樹脂組成物。
4. The total weight (A) of the graft copolymer (A), the linear polymer (B) and the resin (C).
The weight ratio of + (B) + (C) to the polymerization initiator (D) is {(A) + (B) + (C)} :( D) = 100: 1 to 100: 10.
The active energy ray-curable resin composition according to any one of claims 1 to 3.
【請求項5】前記の重合開始剤(D)が芳香族ハロニウ
ム塩化合物及び周期律表第VIa族若しくは第Va族に属す
る元素を含む光感知性を有する芳香族オニウム塩化合物
から成る群より選択した1種以上である請求項1〜4の
いずれかに記載の活性エネルギー線硬化型樹脂組成物。
5. The photoinitiator (D) is selected from the group consisting of an aromatic halonium salt compound and a photosensitizing aromatic onium salt compound containing an element belonging to Group VIa or Va of the periodic table. The active energy ray-curable resin composition according to any one of claims 1 to 4, which is one or more of the above.
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