JP3391896B2 - Heat resistant photosensitive resin composition - Google Patents

Heat resistant photosensitive resin composition

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JP3391896B2 JP15675694A JP15675694A JP3391896B2 JP 3391896 B2 JP3391896 B2 JP 3391896B2 JP 15675694 A JP15675694 A JP 15675694A JP 15675694 A JP15675694 A JP 15675694A JP 3391896 B2 JP3391896 B2 JP 3391896B2
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Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は耐熱性感光性樹脂組成物
に関し、特にプリント配線板用ホトソルダーレジストと
して長期保存性に優れるとともに、半田耐熱性、耐薬品
性、電気絶縁性等に優れた、希アルカリ溶液で現像可能
な耐熱性感光性樹脂組成物に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a heat-resistant photosensitive resin composition, and in particular, it has excellent long-term storage stability as a photo solder resist for printed wiring boards, and also has excellent solder heat resistance, chemical resistance, electrical insulation and the like. , A heat-resistant photosensitive resin composition developable with a dilute alkaline solution.

【0002】[0002]

【従来の技術】プリント配線板製造工程において用いら
れるホトソルダーレジストパターンは、従来スクリーン
印刷法によって形成されていた。しかし、印刷時にブリ
ード、滲みあるいはダレといった現象が発生するため、
近年の高集積化された電子デバイス分野の要求に対応し
きれず、最近では、微細なパターンはホトリソグラフィ
ー法により形成されている。
2. Description of the Related Art A photo solder resist pattern used in a printed wiring board manufacturing process has conventionally been formed by a screen printing method. However, when printing, phenomena such as bleeding, bleeding, or sagging occur, so
It has not been possible to meet the demands in the field of highly integrated electronic devices in recent years, and recently, fine patterns have been formed by photolithography.

【0003】ホトリソグラフィー法では、あらかじめ銅
箔が積層された紙−ガラス、紙−フェノール樹脂、ガラ
ス−エポキシ樹脂等の基板上に、液状の感光性樹脂組成
物を塗布、あるいはドライフィルム状の感光性フィルム
を熱圧着し、これに紫外線などの活性エネルギー線をネ
ガマスクを介して選択的に照射し、現像することによっ
て所要のレジストパターンを形成している。
In the photolithography method, a liquid photosensitive resin composition is applied onto a substrate such as paper-glass, paper-phenol resin, glass-epoxy resin or the like on which a copper foil has been laminated in advance, or a photosensitive film in the form of a dry film. The desired film is formed by thermocompression-bonding a conductive film, selectively irradiating it with an active energy ray such as ultraviolet rays through a negative mask, and developing it.

【0004】このホトソルダーレジストに用いられる感
光性樹脂組成物は、耐熱性、耐薬品性、電気絶縁性、長
期保存性等に優れ、かつドライフィルム状にも形成可能
であることが求められ、さらに近年の環境問題、有毒物
質からの人体の保護などの観点から、希アルカリ溶液に
よって現像できることが好ましい。
The photosensitive resin composition used for the photo solder resist is required to have excellent heat resistance, chemical resistance, electrical insulation, long-term storage stability, etc., and to be able to be formed into a dry film. Further, from the viewpoints of recent environmental problems, protection of the human body from toxic substances, and the like, it is preferable that development can be performed with a dilute alkaline solution.

【0005】このため、これらの条件を満足すべく、例
えば、ノボラック型エポキシ樹脂と不飽和モノカルボ
ン酸とを反応させ、さらに飽和または不飽和多塩基酸無
水物を反応させた反応生成物、光重合開始剤、希釈
剤、およびエポキシ樹脂からなるソルダーレジストイ
ンキ(特開昭61−243869号公報)や、このソル
ダーレジストインキの成分中のノボラック型エポキシ
樹脂と不飽和モノカルボン酸との反応物をフェノール類
とフェノール性水酸基を有する芳香族アルデヒドとの縮
合物に代え、さらにエポキシ硬化剤を添加してなるソ
ルダーレジストインキ(特開平3−71137号公報)
などが開発されているが、これらはいずれも長期間保存
することが難しく、比較的高温となる夏期には短期間で
変質してゲル状となり使用不可能となることがある。
Therefore, in order to satisfy these conditions, for example, a reaction product obtained by reacting a novolac type epoxy resin with an unsaturated monocarboxylic acid and further reacting with a saturated or unsaturated polybasic acid anhydride A solder resist ink composed of a polymerization initiator, a diluent and an epoxy resin (Japanese Patent Laid-Open No. 61-243869) and a reaction product of a novolac type epoxy resin and an unsaturated monocarboxylic acid in the components of the solder resist ink are used. Solder resist ink obtained by adding an epoxy curing agent instead of a condensate of a phenol and an aromatic aldehyde having a phenolic hydroxyl group (JP-A-3-71137).
Have been developed, but all of them are difficult to store for a long period of time, and in the summer when the temperature is relatively high, they may be transformed into a gel and become unusable in a short period of time.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、かかる事情
に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、特
にプリント配線板用ホトソルダーレジストとして、希ア
ルカリ溶液によって現像可能で、かつ耐熱性、耐薬品
性、電気絶縁性に優れ、ドライフィルム状に形成した場
合でも性能低下が起こらず、とりわけ長期保存性に優れ
た耐熱性感光性樹脂組成物を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of such circumstances, and an object of the present invention is to develop a dilute alkaline solution as a photo solder resist for printed wiring boards and to obtain a heat-resistant material. It is to provide a heat-resistant photosensitive resin composition which has excellent properties, chemical resistance, and electrical insulation properties, does not cause performance deterioration even when formed into a dry film, and is particularly excellent in long-term storage stability.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明者らはかかる課題
を解決するために鋭意研究を重ねた結果、フェノール類
とフェノール性水酸基を有する芳香族アルデヒドとの縮
合物の水酸基をエポキシ化したものを不飽和モノカルボ
ン酸と反応させ、これにさらに多塩基酸無水物を反応し
て得られる化合物と、脂環式エポキシ樹脂とを組み合わ
せることによって、上記課題を解決することができるこ
とを見出し、本発明を完成させるに至った。
[Means for Solving the Problems] As a result of intensive studies for solving the problems, the present inventors have epoxidized a hydroxyl group of a condensate of a phenol and an aromatic aldehyde having a phenolic hydroxyl group. By reacting with an unsaturated monocarboxylic acid, a compound obtained by further reacting this with a polybasic acid anhydride, and by combining an alicyclic epoxy resin, it was found that the above problems can be solved, The invention was completed.

【0008】すなわち本発明は、(a)一般式(I)That is, the present invention provides (a) general formula (I)

【0009】[0009]

【化8】 (式中、Rは−H、−CH3 または−CH2 CH3 を表
し;nは1以上の整数を表す)で表されるエポキシ樹脂
のグリシジロキシ基が、一般式(II)で表される基お
よび一般式(III)で表される基
[Chemical 8] (In the formula, R represents —H, —CH 3 or —CH 2 CH 3 ; n represents an integer of 1 or more), and the glycidyloxy group of the epoxy resin is represented by the general formula (II). Group and group represented by general formula (III)

【0010】[0010]

【化9】 [Chemical 9]

【0011】[0011]

【化10】 {式中、R1[Chemical 10] {In the formula, R 1 is

【0012】[0012]

【化11】 (R5 は炭素数1〜3のアルキル基を表す)を表し;R
2
[Chemical 11] (R 5 represents an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms); R
2 is

【0013】[0013]

【化12】 を表す}で置換されている変性エポキシ樹脂と、(b)
エチレン系モノマーと、(c)光重合開始剤と、(d)
脂環式エポキシ樹脂とを含有し、必要な場合にはさらに
(e)エポキシ硬化剤を含有する、耐熱性感光性樹脂組
成物を提供するものである。
[Chemical 12] And a modified epoxy resin substituted with (b)
An ethylene-based monomer, (c) a photopolymerization initiator, and (d)
The present invention provides a heat-resistant photosensitive resin composition containing an alicyclic epoxy resin and, if necessary, further containing (e) an epoxy curing agent.

【0014】以下に、本発明の耐熱性感光性樹脂組成物
について詳述する。
The heat-resistant photosensitive resin composition of the present invention will be described in detail below.

【0015】(a)成分としての変性エポキシ樹脂は、
例えば、上記一般式(I)で表されるエポキシ樹脂のグ
リシジロキシ基に不飽和モノカルボン酸を反応させて該
グリシジロキシ基を一般式(II)で表される基に置換
し、ここに多塩基酸無水物を反応させて、該一般式(I
I)で置換された基をさらに一般式(III)で置換す
ることなどによって得ることができるが、これに限定さ
れるものではない。ここで「一般式(II)で表される
基および一般式(III)で表される基で置換する」と
は、例えば上記反応を例にとった場合、反応過程におけ
る途中段階の置換、非置換状態のものすべてを含むこと
を意味する。
The modified epoxy resin as the component (a) is
For example, the glycidyloxy group of the epoxy resin represented by the general formula (I) is reacted with an unsaturated monocarboxylic acid to replace the glycidyloxy group with the group represented by the general formula (II), and the polybasic acid By reacting an anhydride, the compound of the general formula (I
It can be obtained, for example, by further substituting the group substituted with I) with the general formula (III), but is not limited thereto. Here, "substituting with a group represented by the general formula (II) and a group represented by the general formula (III)" means, for example, when the above reaction is taken as an example, substitution at a mid-stage in the reaction process, It is meant to include all permutations.

【0016】上記一般式(I)で表されるエポキシ樹脂
は、公知の方法(特開昭57−141419号公報、
等)で製造することができ、例えばフェノール、o−ク
レゾール、m−クレゾール、p−クレゾール、2−エチ
ルフェノール等のフェノール類と、フェノール性水酸基
を有する芳香族アルデヒド(例えば、ヒドロキシベンズ
アルデヒド、サリチルアルデヒド、等)との反応物にエ
ピクロロヒドリンを反応させることによって生成し得
る。また不飽和モノカルボン酸としては、アクリル酸、
メタクリル酸、フマル酸モノメチル、フマル酸モノエチ
ル、フマル酸モノプロピル、マレイン酸モノメチル、マ
レイン酸モノエチル、マレイン酸モノプロピル等が例示
される。
The epoxy resin represented by the above general formula (I) can be prepared by a known method (Japanese Patent Application Laid-Open No. 57-141419).
Etc.), for example, phenols such as phenol, o-cresol, m-cresol, p-cresol, and 2-ethylphenol, and an aromatic aldehyde having a phenolic hydroxyl group (eg, hydroxybenzaldehyde, salicylaldehyde). , Etc.) with epichlorohydrin. As the unsaturated monocarboxylic acid, acrylic acid,
Examples thereof include methacrylic acid, monomethyl fumarate, monoethyl fumarate, monopropyl fumarate, monomethyl maleate, monoethyl maleate, monopropyl maleate and the like.

【0017】上記エポキシ樹脂のグリシジロキシ基と不
飽和モノカルボン酸との反応により該エポキシ樹脂に光
重合性が付与される。この際、エステル化触媒としてジ
エチルアミン酢酸塩、ジエチルアミン塩酸塩、トリエチ
ルアミン等の2級、3級塩を使用してもよい。この反応
において、該エポキシ樹脂のグリシジロキシ基1モルに
対し不飽和モノカルボン酸を0.7〜1.1モル、より
好ましくは0.9〜1.1モルとなる反応条件で反応さ
せるのが好ましい。0.7モル未満では残存するグリシ
ジロキシ基が必要以上に多く保存安定性が劣る。一方、
1.1モルを超えると不飽和モノカルボン酸から派生す
る不飽和基が樹脂中に多くなり、ホトソルダーレジスト
としてのレジスト性能を損なう。なお、この反応におい
てグリシジロキシ基が開環しヒドロキシル基が付加され
る。
Photopolymerizability is imparted to the epoxy resin by the reaction of the glycidyloxy group of the epoxy resin and the unsaturated monocarboxylic acid. At this time, secondary and tertiary salts such as diethylamine acetate, diethylamine hydrochloride and triethylamine may be used as the esterification catalyst. In this reaction, it is preferable to react the unsaturated monocarboxylic acid in an amount of 0.7 to 1.1 mol, more preferably 0.9 to 1.1 mol with respect to 1 mol of the glycidyloxy group of the epoxy resin. . If it is less than 0.7 mol, the residual glycidyloxy group is excessively large and the storage stability becomes poor. on the other hand,
If it exceeds 1.1 mol, unsaturated groups derived from unsaturated monocarboxylic acid will increase in the resin, impairing the resist performance as a photo solder resist. In this reaction, the glycidyloxy group is opened and a hydroxyl group is added.

【0018】次に、このようにして得られた反応物の上
記グリシジロキシ開環によるヒドロキシル基に多塩基酸
無水物を反応させて酸価を調整し、希アルカリ溶液に現
像可能な(a)成分としての変性エポキシ樹脂を得る。
多塩基酸無水物としては、無水フタル酸、ジヒドロ無水
フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無
水フタル酸、無水マレイン酸、無水コハク酸等を使用す
ることができる。これらは1種を用いてもよいし、2種
以上を組み合わせて用いてもよい。この反応において、
前記一般式(I)で表されるエポキシ樹脂のグリシジロ
キシ基1モルに対し多塩基酸無水物を0.2〜1モル、
より好ましくは0.3〜0.8モルとなる反応条件で反
応させるのが好ましい。0.2モル未満では希アルカリ
溶液によって現像することが困難となり、一方、1モル
を超えると希アルカリ溶液に過現像されアンダーカット
が大きくなるからである。
Next, a polybasic acid anhydride is reacted with the hydroxyl group by the above-mentioned glycidyloxy ring-opening of the reaction product thus obtained to adjust the acid value, and the component (a) which can be developed in a dilute alkaline solution. To obtain a modified epoxy resin.
As the polybasic acid anhydride, phthalic anhydride, dihydrophthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, maleic anhydride, succinic anhydride and the like can be used. These may be used alone or in combination of two or more. In this reaction,
0.2 to 1 mol of polybasic acid anhydride per 1 mol of glycidyloxy group of the epoxy resin represented by the general formula (I),
More preferably, the reaction is carried out under the reaction condition of 0.3 to 0.8 mol. If it is less than 0.2 mol, it becomes difficult to develop with a dilute alkali solution, while if it exceeds 1 mol, it is overdeveloped in a dilute alkali solution and the undercut becomes large.

【0019】このようにして、一般式(I)で表される
エポキシ樹脂のグリシジロキシ基が上記一般式(II)
で表される基および上記一般式(III)で表される基
で置換された(a)成分としての変性エポキシ樹脂が得
られる。ここで該グリシジロキシ基の70%以上が置換
されているのが好ましいが、これは上記した各好適な反
応条件下で反応を行うことにより有利に得ることができ
る。
Thus, the glycidyloxy group of the epoxy resin represented by the general formula (I) is changed to the above general formula (II).
A modified epoxy resin as the component (a) substituted with the group represented by and the group represented by the general formula (III) is obtained. Here, 70% or more of the glycidyloxy group is preferably substituted, which can be advantageously obtained by carrying out the reaction under each of the suitable reaction conditions described above.

【0020】この(a)成分としての変性エポキシ樹脂
は、当該(a)成分と後述の(b)成分および(d)成
分の合計100重量部中に5〜90重量部、より好まし
くは10〜80重量部の割合で配合される。
The modified epoxy resin as the component (a) is 5 to 90 parts by weight, more preferably 10 to 100 parts by weight of the total of 100 parts by weight of the component (a) and the components (b) and (d) described below. It is mixed in a ratio of 80 parts by weight.

【0021】(b)成分としてのエチレン系モノマー
は、架橋効率を上げ、耐熱性を向上させるために組成物
中に含有される。かかるエチレン系モノマーとしては、
例えばアクリル酸、メタクリル酸、フマル酸、マレイン
酸、クロトン酸、ケイ皮酸、フマル酸モノメチル、フマ
ル酸モノエチル、フマル酸モノプロピル、マレイン酸モ
ノメチル、マレイン酸モノエチル、マレイン酸モノプロ
ピル、ソルビン酸、2−ヒドロキシエチルアクリレー
ト、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、2−ヒドロ
キシプロピルアクリレート、2−ヒドロキシプロピルメ
タクリレート、エチレングリコールモノメチルエーテル
アクリレート、エチレングリコールモノメチルエーテル
メタクリレート、エチレングリコールモノエチルエーテ
ルアクリレート、エチレングリコールモノエチルエーテ
ルメタクリレート、グリセロールアクリレート、グリセ
ロールメタクリレート、ジペンタエリトリトールトリヒ
ドロキシメタクリレート、ジペンタエリトリトールトリ
ヒドロキシアクリレート、アクリル酸ジメチルアミノエ
チルエステル、メタクリル酸ジメチルアミノエチルエス
テル、テトラヒドロフルフリルアクリレート、テトラヒ
ドロフルフリルメタクリレート、アクリル酸アミド、メ
タクリル酸アミド、アクリロニトリル、メタクリロニト
リル、メチルアクリレート、メチルメタクリレート、エ
チルアクリレート、エチルメタクリレート、ブチルアク
リレート、ブチルメタクリレート、イソブチルアクリレ
ート、イソブチルメタクリレート、2−エチルヘキシル
アクリレート、2−エチルヘキシルメタクリレート、ベ
ンジルアクリレート、ベンジルメタクリレート、アクリ
ル酸カルビトール、メタクリル酸カルビトール、ε−カ
プロラクトン変性テトラフルフリルアクリレート、ε−
カプロラクトン変性テトラフルフリルメタクリレート、
ジエチレングリコールエトキシアクリレート、イソデシ
ルアクリレート、イソデシルメタクリレート、オクチル
アクリレート、オクチルメタクリレート、ラウリルアク
リレート、ラウリルメタクリレート、トリデシルアクリ
レート、トリデシルメタクリレート、ステアリルアクリ
レート、ステアリルメタクリレート、グリシジルアクリ
レート、グリシジルメタクリレート等の単官能モノマー
や、エチレングリコールジアクリレート、エチレングリ
コールジメタクリレート、トリエチレングリコールジア
クリレート、トリエチレングリコールジメタクリレー
ト、テトラエチレングリコールジアクリレート、テトラ
エチレングリコールジメタクリレート、ブチレングリコ
ールジメタクリレート、プロピレングリコールジアクリ
レート、プロピレングリコールジメタクリレート、トリ
メチロールプロパントリアクリレート、トリメチロール
プロパントリメタクリレート、テトラメチロールプロパ
ンテトラアクリレート、テトラメチロールプロパンテト
ラメタクリレート、ペンタエリトリトールトリアクリレ
ート、ペンタエリトリトールトリメタクリレート、ペン
タエリトリトールテトラアクリレート、ペンタエリトリ
トールテトラメタクリレート、ジペンタエリトリトール
ペンタアクリレート、ジペンタエリトリトールペンタメ
タクリレート、ジペンタエリトリトールヘキサアクリレ
ート、ジペンタエリトリトールヘキサメタクリレート、
1,6−ヘキサンジオールジアクリレート、1,6−ヘ
キサンジオールジメタクリレート、カルドエポキシジア
クリレート、ε−カプロラクトン変性ジペンタエリトリ
トールジアクリレート、ε−カプロラクトン変性ジペン
タエリトリトールジメタクリレート、ε−カプロラクト
ン変性ジペンタエリトリトールトリアクリレート、ε−
カプロラクトン変性ジペンタエリトリトールトリメタク
リレート、ε−カプロラクトン変性ヒドロキシピバリン
酸ネオペンチルグリコールエステルジアクリレート、ア
リルアクリレート、アリルメタクリレート、デカエチレ
ングリコールジアクリレート、デカエチレングリコール
ジメタクリレート、ペンタデカエチレングリコールジア
クリレート、ペンタデカエチレングリコールジメタクリ
レート、ペンタコンタヘクタエチレングリコールジアク
リレート、ペンタコンタヘクタエチレングリコールジメ
タクリレート、フタル酸ジエチレングリコールジアクリ
レート、フタル酸ジエチレングリコールジメタクリレー
ト、ネオペンチルグリコールヒドロキシピバリン酸エス
テルジアクリレート、1,4−ブタンジオールジアクリ
レート、1,4−ブタンジオールジメタクリレートなど
の多官能モノマー等を使用することができる。これらは
1種用いてもよいし2種以上を組み合わせて用いてもよ
い。
The ethylene-based monomer as the component (b) is contained in the composition in order to increase the cross-linking efficiency and heat resistance. As such an ethylene-based monomer,
For example, acrylic acid, methacrylic acid, fumaric acid, maleic acid, crotonic acid, cinnamic acid, monomethyl fumarate, monoethyl fumarate, monopropyl fumarate, monomethyl maleate, monoethyl maleate, monopropyl maleate, sorbic acid, 2 -Hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate, 2-hydroxypropyl acrylate, 2-hydroxypropyl methacrylate, ethylene glycol monomethyl ether acrylate, ethylene glycol monomethyl ether methacrylate, ethylene glycol monoethyl ether acrylate, ethylene glycol monoethyl ether methacrylate, glycerol Acrylate, glycerol methacrylate, dipentaerythritol trihydroxymethacrylate , Dipentaerythritol trihydroxy acrylate, acrylic acid dimethylaminoethyl ester, methacrylic acid dimethylaminoethyl ester, tetrahydrofurfuryl acrylate, tetrahydrofurfuryl methacrylate, acrylic acid amide, methacrylic acid amide, acrylonitrile, methacrylonitrile, methyl acrylate, Methyl methacrylate, ethyl acrylate, ethyl methacrylate, butyl acrylate, butyl methacrylate, isobutyl acrylate, isobutyl methacrylate, 2-ethylhexyl acrylate, 2-ethylhexyl methacrylate, benzyl acrylate, benzyl methacrylate, carbitol acrylate, carbitol methacrylate, ε-caprolactone Modified Tetrafurfuryl Acme Related, ε-
Caprolactone-modified tetrafurfuryl methacrylate,
Monofunctional monomers such as diethylene glycol ethoxy acrylate, isodecyl acrylate, isodecyl methacrylate, octyl acrylate, octyl methacrylate, lauryl acrylate, lauryl methacrylate, tridecyl acrylate, tridecyl methacrylate, stearyl acrylate, stearyl methacrylate, glycidyl acrylate and glycidyl methacrylate, Ethylene glycol diacrylate, ethylene glycol dimethacrylate, triethylene glycol diacrylate, triethylene glycol dimethacrylate, tetraethylene glycol diacrylate, tetraethylene glycol dimethacrylate, butylene glycol dimethacrylate, propylene glycol diacrylate, propylene Recall dimethacrylate, trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, tetramethylolpropane tetraacrylate, tetramethylolpropane tetramethacrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, pentaerythritol tetramethacrylate, dipenta Erythritol pentaacrylate, dipentaerythritol pentamethacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, dipentaerythritol hexamethacrylate,
1,6-hexanediol diacrylate, 1,6-hexanediol dimethacrylate, cardo epoxy diacrylate, ε-caprolactone modified dipentaerythritol diacrylate, ε-caprolactone modified dipentaerythritol dimethacrylate, ε-caprolactone modified dipentaerythritol Triacrylate, ε-
Caprolactone modified dipentaerythritol trimethacrylate, ε-caprolactone modified hydroxypivalic acid neopentyl glycol ester diacrylate, allyl acrylate, allyl methacrylate, decaethylene glycol diacrylate, decaethylene glycol dimethacrylate, pentadecaethylene glycol diacrylate, pentadecaethylene Glycol dimethacrylate, pentacontahector ethylene glycol diacrylate, pentacontahector ethylene glycol dimethacrylate, phthalic acid diethylene glycol diacrylate, phthalic acid diethylene glycol dimethacrylate, neopentyl glycol hydroxypivalic acid ester diacrylate, 1,4-butanediol diacrylate , 1,4- It may be used polyfunctional monomers such as Tan diol dimethacrylate. These may be used alone or in combination of two or more.

【0022】また、ヘキサメトキシメチルメラミン1モ
ルとヒドロキシアルキルアクリレートまたはヒドロキシ
アルキルメタクリレート1モル以上を反応させて得られ
るメラミンアクリレートは、反応モル比を調整すること
により1〜6個のアクリレートとすることができ、これ
らを必要応じて適宜選択して用いることができる。かか
るメラミンアクリレートは、メラミンからヘキサメチロ
ールメラミンを経てヘキサメトキシメラミンとした後、
ヒドロキシエチルアクリレート、ヒドロキシエチルメタ
クリレート、ヒドロキシプロピルアクリレート、ヒドロ
キシプロピルメタクリレート等のヒドロキシアルキルア
クリレートまたはヒドロキシアルキルメタクリレートと
反応させることにより得ることができる。このメラミン
アクリレートは、紫外線照射によって光重合した後にお
いてもメラミンアクリレート分子中にメチロール基が残
っている場合は、加熱により架橋、硬化するので、さら
に耐熱性を向上させることができる。
The melamine acrylate obtained by reacting 1 mol of hexamethoxymethyl melamine with 1 mol or more of hydroxyalkyl acrylate or hydroxyalkyl methacrylate may be adjusted to 1 to 6 acrylates by adjusting the reaction molar ratio. It is possible to appropriately select and use these. Such a melamine acrylate, after converting from melamine to hexamethylolmelamine to hexamethoxymelamine,
It can be obtained by reacting with hydroxyalkyl acrylate or hydroxyalkyl methacrylate such as hydroxyethyl acrylate, hydroxyethyl methacrylate, hydroxypropyl acrylate and hydroxypropyl methacrylate. This melamine acrylate is further crosslinked and cured by heating when the methylol group remains in the melamine acrylate molecule even after photopolymerization by ultraviolet irradiation, so that the heat resistance can be further improved.

【0023】この(b)成分としてのエチレン系モノマ
ーは、上記(a)成分と当該(b)成分および後述の
(d)成分の合計100重量部中に5〜90重量部、よ
り好ましくは10〜80重量部の割合で配合される。
The ethylene-based monomer as the component (b) is 5 to 90 parts by weight, more preferably 10 parts by weight based on 100 parts by weight of the total of the component (a), the component (b) and the component (d) described later. It is compounded in a ratio of -80 parts by weight.

【0024】(c)成分としての光重合開始剤は、従来
公知のものを任意に用い得る。具体的には、ベンゾフェ
ノン、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノ
ン、3,3’−ジメチル−4−メトキシ−ベンゾフェノ
ン等のベンゾフェノン誘導体;アントラキノン、2−メ
チルアントラキノン、2−エチルアントラキノン、te
rt−ブチルアントラキノン等のアントラキノン誘導
体;ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾイ
ンエチルエーテル、ベンゾインプロピルエーテルなどの
ベンゾインアルキルエーテル誘導体;アセトフェノン、
2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、
2,2−ジエトキシアセトフェノン、2−ヒドロキシ−
2−メチルプロピオフェノン、4’−イソプロピル−2
−ヒドロキシ−2−メチルプロピオフェノン、2−メチ
ル−1−〔4−(メチルチオ)フェニル〕−2−モルホ
リノ−1−プロパノン等のアセトフェノン誘導体;2−
クロロチオキサントン、ジエチルチオキサントン、イソ
プロピルチオキサントン、ジイソプロピルチオキサント
ン等のチオキサントン誘導体;ベンジル、2,4,6−
(トリハロメチル)−トリアジン、2−(o−クロロフ
ェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、9
−フェニルアクリジン、1,7−ビス(9−アクリジニ
ル)ヘプタン、1,5−ビス(9−アクリジニル)ペン
タン、1,3−ビス(9−アクリジニル)プロパン、ト
リメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキシド、ト
リブロモメチルフェニルスルホン、2−ベンジル−2−
ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブ
タン−1−オン等が使用可能である。この中でも特に、
2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホ
リノフェニル)−ブタン−1−オンは露光、現像時にパ
ターンのアンダーカットが生じにくく、好適に用いられ
る。
Any conventionally known photopolymerization initiator may be used as the component (c). Specifically, benzophenone, 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone, 3,3′-dimethyl-4-methoxy-benzophenone and other benzophenone derivatives; anthraquinone, 2-methylanthraquinone, 2-ethylanthraquinone, te
Anthraquinone derivatives such as rt-butylanthraquinone; Benzoin alkyl ether derivatives such as benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin propyl ether; acetophenone,
2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone,
2,2-diethoxyacetophenone, 2-hydroxy-
2-methylpropiophenone, 4'-isopropyl-2
-Hydroxy-2-methylpropiophenone, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholino-1-propanone and other acetophenone derivatives; 2-
Thioxanthone derivatives such as chlorothioxanthone, diethylthioxanthone, isopropylthioxanthone, diisopropylthioxanthone; benzyl, 2,4,6-
(Trihalomethyl) -triazine, 2- (o-chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazolyl dimer, 9
-Phenylacridine, 1,7-bis (9-acridinyl) heptane, 1,5-bis (9-acridinyl) pentane, 1,3-bis (9-acridinyl) propane, trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, tribromomethylphenyl Sulfone, 2-benzyl-2-
Dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one and the like can be used. Among these,
2-Benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one is preferably used because undercutting of a pattern hardly occurs during exposure and development.

【0025】この(c)成分としての光重合開始剤は、
上記(a)成分と(b)成分および後述の(d)成分の
合計100重量部に対し0.1〜30重量部、より好ま
しくは1〜20重量部の割合で配合される。
The photopolymerization initiator as the component (c) is
The component (a), the component (b), and the component (d) described below are added in an amount of 0.1 to 30 parts by weight, more preferably 1 to 20 parts by weight, based on 100 parts by weight in total.

【0026】(d)成分の脂環式エポキシ樹脂として
は、例えば一般式(IV)
Examples of the alicyclic epoxy resin as the component (d) include those represented by the general formula (IV)

【0027】[0027]

【化13】 (式中、Rは−Hまたは炭素数1〜5の直鎖若しくは側
鎖を有するアルキル基を表し;nは1〜30の整数を表
す)で表される化合物、または一般式(V)
[Chemical 13] (In the formula, R represents —H or an alkyl group having a straight chain or a side chain having 1 to 5 carbon atoms; n represents an integer of 1 to 30), or a general formula (V).

【0028】[0028]

【化14】 (式中、Rは−Hまたは炭素数1〜5の直鎖若しくは側
鎖を有するアルキル基を表し;nは1〜30の整数を表
す)で表される化合物や、下記の化15〜化29の構造
式を有するモノマーの中から選ばれた少なくとも1種を
上記(b)成分に示された単官能モノマーとともに重合
反応させて得られた化合物なども用いられ得る。
[Chemical 14] (In the formula, R represents —H or an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms and having a straight chain or a side chain; n represents an integer of 1 to 30), or A compound obtained by polymerizing at least one selected from the monomers having the structural formula of 29 with the monofunctional monomer represented by the component (b) may also be used.

【0029】[0029]

【化15】 [Chemical 15]

【0030】[0030]

【化16】 [Chemical 16]

【0031】[0031]

【化17】 [Chemical 17]

【0032】[0032]

【化18】 [Chemical 18]

【0033】[0033]

【化19】 [Chemical 19]

【0034】[0034]

【化20】 [Chemical 20]

【0035】[0035]

【化21】 [Chemical 21]

【0036】[0036]

【化22】 [Chemical formula 22]

【0037】[0037]

【化23】 [Chemical formula 23]

【0038】[0038]

【化24】 [Chemical formula 24]

【0039】[0039]

【化25】 [Chemical 25]

【0040】[0040]

【化26】 [Chemical formula 26]

【0041】[0041]

【化27】 [Chemical 27]

【0042】[0042]

【化28】 [Chemical 28]

【0043】[0043]

【化29】 (上記化15〜29中、R1 は−Hまたは−CH3 を表
し;R2 は炭素数1〜6の2価の脂肪族飽和炭化水素基
を表し;R3 は炭素数1〜10の2価の炭化水素基を表
し;mは1〜10の整数を表す) 上記化15〜29において、R2 としては、例えばメチ
レン、エチレン、プロピレン、テトラメチレン、エチル
エチレン、ペンタメチレン、ヘキサメチレン基などの直
鎖または分枝鎖のアルキレン基等を挙げることができ
る。また、R3 としては、例えばメチレン、エチレン、
プロピレン、テトラメチレン、エチルエチレン、ペンタ
メチレン、ヘキサメチレン、フェニレン、
[Chemical 29] (In the above Chemical Formulas 15 to 29, R 1 represents —H or —CH 3 ; R 2 represents a divalent aliphatic saturated hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms; R 3 represents 1 to 10 carbon atoms. Represents a divalent hydrocarbon group; m represents an integer of 1 to 10) In the above Chemical Formulas 15 to 29, R 2 is, for example, a methylene, ethylene, propylene, tetramethylene, ethylethylene, pentamethylene or hexamethylene group. Examples thereof include linear or branched alkylene groups and the like. R 3 is, for example, methylene, ethylene,
Propylene, tetramethylene, ethylethylene, pentamethylene, hexamethylene, phenylene,

【0044】[0044]

【化30】 等を挙げることができる。[Chemical 30] Etc. can be mentioned.

【0045】この(d)成分の脂環式エポキシ樹脂とし
ては、上記の中でも一般式(IV)または(V)で表さ
れる脂環式エポキシ樹脂が、本発明組成物の光硬化後の
ガラス転移点が高く、耐熱性、透明性、電気特性に優れ
ていることから好適に用いられる。
As the alicyclic epoxy resin as the component (d), the alicyclic epoxy resin represented by the general formula (IV) or (V) among the above is the glass after the photocuring of the composition of the present invention. It is preferably used because it has a high transition point and is excellent in heat resistance, transparency and electric characteristics.

【0046】本発明においては、上記(a)成分とこの
(d)成分とを組み合わせることにより、紫外線照射し
て初めて重合開始反応を始め得ることから、レジストパ
ターン形成時、精細なパターンを形成するために現像前
の予備乾燥を十分な時間行ってもゲル状に変性すること
がなく、優れた長期保存性が得られる。
In the present invention, by combining the above-mentioned component (a) and this component (d), the polymerization initiation reaction can be started only after irradiation with ultraviolet rays, so that a fine pattern is formed at the time of resist pattern formation. Therefore, even if pre-drying before development is carried out for a sufficient time, it does not become gelled and excellent long-term storage stability is obtained.

【0047】なお、(d)成分の脂環式エポキシ樹脂
は、上記(a)成分と(b)成分および当該(d)成分
の合計100重量部中に5〜80重量部 好ましくは1
0〜75重量部の割合で配合される。5重量部未満では
架橋構造が十分に得られず耐熱製が悪くなり、一方、8
0重量部を超えると現像速度が悪くなる。
The alicyclic epoxy resin as the component (d) is preferably 5 to 80 parts by weight in 100 parts by weight of the total of the components (a) and (b) and the component (d).
It is blended in a proportion of 0 to 75 parts by weight. If the amount is less than 5 parts by weight, the crosslinked structure is not sufficiently obtained and the heat resistance is deteriorated.
If it exceeds 0 parts by weight, the developing speed will be poor.

【0048】本発明では、上記(a)〜(d)成分に、
さらに(e)エポキシ硬化剤を好適に添加することがで
き、これにより上記(d)成分の熱硬化性をより向上さ
せることができる。このエポキシ硬化剤としては、ジシ
アンジアミドおよびその誘導体(例えば、フェニルピグ
アニド等);有機酸ヒドラジド(例えば、アジピン酸ヒ
ドラジド等);尿素、メラミンおよびそれらの誘導体
(例えば、ジアリルメラミン等);イミダゾール化合物
(例えば、2−エチル−4−メチルイミダゾール、1−
シアノエチル−2−エチル−4−メチルイミダゾール、
2,4−ジアミノ−6−(2’−メチルイミダゾール−
1)−エチル−S−トリアジン、2,4−ジアミノ−6
−(2’−メチルイミダゾリル−1)−エチル−S−ト
リアジン・イソシアヌル酸付加物、2−メチルイミダゾ
ール、1−フェニル−2−メチルイミダゾール、2−フ
ェニル−4−メチル−5−ヒドロキシメチルイミダゾー
ル等);トリアジン化合物(例えば、2,4−ジアミノ
−6−ビニル−S−トリアジン・イソシアヌル酸付加
物、2−ビニル−4,6−ジアミノ−S−トリアジン、
2−メトキシエチル−4,6−ジアミノ−S−トリアジ
ン等);ウレア化合物(例えば3−(3,4−ジクロロ
フェニル)−1,1’−ジメチルウレア、1,1’−イ
ソホロン−ビス(3−メチル−3−ヒドロキシエチルウ
レア)、1,1’−トリレン−ビス(3,3−ジメチル
ウレア)等;芳香族アミン化合物(例えば、4,4’−
ジアミノ−ジフェニルメタン等);脂肪族アミン化合物
(例えば、ジエチレントリアミン等);ポリフェノール
化合物(例えば、ポリビニルフェノール、フェノールノ
ボラック等);有機酸ホスフィン化合物(例えば、トリ
ブチルホスフィン、トリフェニルホスフィン等)および
光カチオン重合触媒(例えば、トリフェニルスルホニウ
ムヘキサフルオロホスフェート、トリフェニルスルホニ
ウムヘキサフルオロアンチモネート、トリフェニルセレ
ニウムヘキサフルオロホスフェート、トリフェニルセレ
ニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジフェニルヨー
ドニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジフェニルヨ
ードニウムヘキサフルオロホスフェート、2,4−シク
ロペンタジエン−1−イル((1−メチルエチル)−ベ
ンゼン)−Fe−ヘキサフルオロホスフェート(チバガ
イギー(株)製;イルガキュアー261)等を挙げるこ
とができる。これらは1種用いてもよいし2種以上を組
み合わせて用いてもよい。
In the present invention, the above components (a) to (d) include
Furthermore, (e) an epoxy curing agent can be suitably added, which can further improve the thermosetting property of the component (d). Examples of the epoxy curing agent include dicyandiamide and its derivatives (eg, phenylpiguanide); organic acid hydrazides (eg, adipic acid hydrazide); urea, melamine and their derivatives (eg, diallylmelamine); imidazole compounds (For example, 2-ethyl-4-methylimidazole, 1-
Cyanoethyl-2-ethyl-4-methylimidazole,
2,4-diamino-6- (2'-methylimidazole-
1) -Ethyl-S-triazine, 2,4-diamino-6
-(2'-Methylimidazolyl-1) -ethyl-S-triazine / isocyanuric acid adduct, 2-methylimidazole, 1-phenyl-2-methylimidazole, 2-phenyl-4-methyl-5-hydroxymethylimidazole, etc. ); Triazine compounds (for example, 2,4-diamino-6-vinyl-S-triazine / isocyanuric acid adduct, 2-vinyl-4,6-diamino-S-triazine,
2-methoxyethyl-4,6-diamino-S-triazine and the like); urea compounds (for example, 3- (3,4-dichlorophenyl) -1,1′-dimethylurea, 1,1′-isophorone-bis (3-) Methyl-3-hydroxyethylurea), 1,1′-tolylene-bis (3,3-dimethylurea), etc .; aromatic amine compounds (eg 4,4′-
Diamino-diphenylmethane etc.); Aliphatic amine compounds (eg diethylenetriamine etc.); Polyphenol compounds (eg polyvinylphenol, phenol novolac etc.); Organic acid phosphine compounds (eg tributylphosphine, triphenylphosphine etc.) and cationic photopolymerization catalysts (For example, triphenylsulfonium hexafluorophosphate, triphenylsulfonium hexafluoroantimonate, triphenylselenium hexafluorophosphate, triphenylselenium hexafluoroantimonate, diphenyliodonium hexafluoroantimonate, diphenyliodonium hexafluorophosphate, 2,4- Cyclopentadiene-1-yl ((1-methylethyl) -benzene) -Fe- Kisa hexafluorophosphate (manufactured by Ciba-Geigy Corporation; Irgacure 261). And the like can be given These may be used in combination of two or more kinds may be used in combination.

【0049】これらのエポキシ硬化剤を添加する場合に
は、上記(a)、(b)および(d)成分の合計100
重量部に対して0.01〜20重量部、好ましくは0.
1〜10重量部の配合割合で含有することができる。
When these epoxy curing agents are added, the total amount of the above components (a), (b) and (d) is 100.
0.01 to 20 parts by weight, preferably 0.
It can be contained in a mixing ratio of 1 to 10 parts by weight.

【0050】また、本発明は必要に応じてさらに他の成
分を添加することができる。このような成分としては、
まずタック性向上剤を挙げることができる。これは常温
で固体であり、アルカリ可溶性で光または熱で重合ある
いは架橋する化合物が好ましく、例えば、カルボキシル
基とN−アルコキシアクリルアミド基を有する化合物の
共重合体、あるいはスチレンと無水マレイン酸の共重合
物にヒドロキシエチルメタクリレートを反応させた化合
物等を使用することが可能である。
Further, in the present invention, other components can be added if necessary. Such ingredients include:
First, a tackiness improver can be mentioned. This is preferably a compound that is solid at room temperature and is soluble in alkali and polymerizes or crosslinks by light or heat. For example, a copolymer of a compound having a carboxyl group and an N-alkoxyacrylamide group, or a copolymer of styrene and maleic anhydride. It is possible to use a compound obtained by reacting a substance with hydroxyethyl methacrylate.

【0051】さらに、シリコーン系あるいはフッ素系消
泡剤、ゲル化防止や保存安定性を向上させるためにヒド
ロキノン、ヒドロキノンモノメチルエーテル等の重合禁
止剤、フタロシアニンブルー、フタロシアニングリー
ン、酸化チタン、カーボンブラック等の着色剤を添加す
ることができ、また、粒子径0.001〜10μm程度
のシリカ、タルク、硫酸バリウム、炭酸カルシウム、ク
レー、含水珪酸、水酸化アルミニウム、酸化アルミニウ
ム、三酸化アンチモン、炭酸マグネシウム、珪酸アルミ
ニウム、珪酸マグネシウム、アエロジル等をフィラーと
して添加することができる。
Further, silicone-based or fluorine-based antifoaming agents, polymerization inhibitors such as hydroquinone and hydroquinone monomethyl ether for preventing gelation and improving storage stability, phthalocyanine blue, phthalocyanine green, titanium oxide, carbon black, etc. A colorant may be added, and silica having a particle diameter of about 0.001 to 10 μm, talc, barium sulfate, calcium carbonate, clay, hydrous silicic acid, aluminum hydroxide, aluminum oxide, antimony trioxide, magnesium carbonate, silicic acid. Aluminum, magnesium silicate, aerosil, etc. can be added as a filler.

【0052】さらにまた、粘度を調整して塗膜性を良好
にするために溶剤を使用することができる。本発明に用
いられ得る溶剤としては、ヘキサン、ヘプタン、オクタ
ン、ノナン、デカン、ベンゼン、トルエン、キシレン、
ベンジルアルコール、メチルエチルケトン、アセトン、
メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、メタノー
ル、エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノ
ール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、ジエ
チレングリコール、グリセリン、エチレングリコールモ
ノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエー
テル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロ
ピレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリ
コールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノ
エチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテ
ル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、2−メト
キシブチルアセテート、3−メトキシブチルアセテー
ト、4−メトキシブチルアセテート、2−メチル−3−
メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシ
ブチルアセテート、3−エチル−3−メトキシブチルア
セテート、2−エトキシブチルアセテート、4−エトキ
シブチルアセテート、4−プロポキシブチルアセテー
ト、2−メトキシペンチルアセテート、3−メトキシペ
ンチルアセテート、4−メトキシペンチルアセテート、
2−メチル−3−メトキシペンチルアセテート、3−メ
チル−3−メトキシペンチルアセテート、3−メチル−
4−メトキシペンチルアセテート、4−メチル−4−メ
トキシペンチルアセテート、メチルラクテート、エチル
ラクテート、メチルアセテート、エチルアセテート、プ
ロピルアセテート、ブチルアセテート、プロピレングリ
コールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリ
コールモノエチルエーテルアセテート、メチルプロピオ
ネート、エチルプロピオネート、安息香酸メチル、安息
香酸エチル、安息香酸プロピル、安息香酸ブチル、メチ
ルブチレート、エチルブチレート、プロピルブチレート
等のほか、「スワゾール」(丸善石油化学(株)製)、
「ソルベッソ」(東燃石油化学(株)製)等の製品名で
入手可能な石油系溶剤等が挙げられるが、これらに限定
されるものではない。これらの中でも特にエチレングリ
コールモノエチルエーテル、エチルラクテート、3−メ
トキシブチルアセテート、プロピルアセテート、ブチル
アセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテル
アセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテル
アセテート、メチルプロピオネート、エチルプロピオネ
ート等が好適に用いられる。これら溶剤成分は、感光性
樹脂組成物100重量部に対して10〜900重量部の
配合割合で用いられる。
Furthermore, a solvent can be used to adjust the viscosity and improve the coating property. The solvent that can be used in the present invention, hexane, heptane, octane, nonane, decane, benzene, toluene, xylene,
Benzyl alcohol, methyl ethyl ketone, acetone,
Methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, methanol, ethanol, propanol, butanol, hexanol, cyclohexanol, ethylene glycol, diethylene glycol, glycerin, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether Ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, 2-methoxybutyl acetate, 3-methoxybutyl acetate, 4-methoxybutyl acetate, 2-methyl-3-
Methoxybutyl acetate, 3-methyl-3-methoxybutyl acetate, 3-ethyl-3-methoxybutyl acetate, 2-ethoxybutyl acetate, 4-ethoxybutyl acetate, 4-propoxybutyl acetate, 2-methoxypentyl acetate, 3- Methoxypentyl acetate, 4-methoxypentyl acetate,
2-methyl-3-methoxypentyl acetate, 3-methyl-3-methoxypentyl acetate, 3-methyl-
4-methoxypentyl acetate, 4-methyl-4-methoxypentyl acetate, methyl lactate, ethyl lactate, methyl acetate, ethyl acetate, propyl acetate, butyl acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, methyl pro In addition to pionate, ethyl propionate, methyl benzoate, ethyl benzoate, propyl benzoate, butyl benzoate, methyl butyrate, ethyl butyrate, propyl butyrate, etc., "Swazol" (Maruzen Petrochemical Co., Ltd.) ),
Examples thereof include petroleum-based solvents available under the product names such as “Solvesso” (manufactured by Tonen Petrochemical Co., Ltd.), but are not limited thereto. Among these, especially ethylene glycol monoethyl ether, ethyl lactate, 3-methoxybutyl acetate, propyl acetate, butyl acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, methyl propionate, ethyl propionate and the like. It is preferably used. These solvent components are used in an amount of 10 to 900 parts by weight based on 100 parts by weight of the photosensitive resin composition.

【0053】本発明に係る耐熱性感光性樹脂組成物は、
例えば以下のようにして調製後、液状のプリント配線板
用ホトソルダーレジストとして使用される。 (1)上記(a)〜(d)成分に、必要に応じて(e)
成分、さらにフィラー、消泡剤等を所定量加え、これを
3本ロールミル、ボールミル、サンドミル等でよく溶
解、分散、混練する。 (2)このように調製された耐熱性感光性樹脂組成物
を、銅箔が積層された基板(グラスファイバー+エポキ
シ樹脂積層板など)上に塗布する。塗布はスクリーン印
刷、ロールコータ、リバースコータ、スピンナー、カー
テンフローコータ、アプリケーター等で行うのがよい。
塗布後、室温にて数時間〜数日間放置するか、あるいは
温風ヒーター、赤外線ヒーター中に数十分〜数時間入れ
て溶剤を除去し、塗布膜厚1〜250μm程度に調整す
る。 (3)露光処理 次いで、所定パターンを有するネガマスクを介して露光
を行う。本発明の耐熱性感光性樹脂組成物への紫外線の
エネルギー量は、組成に応じて若干異なるが、50〜2
000mJ/cm2 程度が好ましい。 (4)現像処理 露光後、スプレーガン、浸漬法等によって現像を行う。
現像液としては、モノエタノールアミン、ジエタノール
アミン、トリエタノールアミン等の有機系のものや、水
酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、ア
ンモニア、4級アンモニウム塩等のアルカリ水溶液が好
適に使用される。露光後、塗膜の未露光部分を溶解除去
し、レジストパターンを得る。 (5)露光後加熱処理 得られたレジストパターンを100〜200℃で数十分
〜数時間放置することによって、グリシジロキシ基を開
環重合させ、架橋剤の架橋密度を向上させる。
The heat-resistant photosensitive resin composition according to the present invention comprises
For example, after being prepared as follows, it is used as a liquid photosolder resist for a printed wiring board. (1) The above components (a) to (d), if necessary, (e)
Predetermined amounts of the components, filler, defoaming agent, etc. are added, and this is well dissolved, dispersed, and kneaded by a three-roll mill, a ball mill, a sand mill and the like. (2) The heat-resistant photosensitive resin composition thus prepared is applied onto a substrate (glass fiber + epoxy resin laminate, etc.) on which copper foil is laminated. The application is preferably performed by screen printing, a roll coater, a reverse coater, a spinner, a curtain flow coater, an applicator or the like.
After coating, the coating film is left to stand at room temperature for several hours to several days, or placed in a warm air heater or infrared heater for several tens of minutes to several hours to remove the solvent, and the coating film thickness is adjusted to about 1 to 250 μm. (3) Exposure treatment Next, exposure is performed through a negative mask having a predetermined pattern. The amount of UV energy applied to the heat-resistant photosensitive resin composition of the present invention is slightly different depending on the composition.
It is preferably about 000 mJ / cm 2 . (4) Development processing After exposure, development is performed by a spray gun, a dipping method or the like.
As the developing solution, organic ones such as monoethanolamine, diethanolamine and triethanolamine and alkaline aqueous solutions such as sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, ammonia and quaternary ammonium salt are preferably used. After the exposure, the unexposed portion of the coating film is dissolved and removed to obtain a resist pattern. (5) Post-exposure heat treatment By leaving the obtained resist pattern at 100 to 200 ° C for several tens of minutes to several hours, the glycidyloxy group is subjected to ring-opening polymerization to improve the crosslinking density of the crosslinking agent.

【0054】このようにして目的とする微細なレジスト
パターンの形成されたプリント配線板が得られる。
In this way, the printed wiring board on which the desired fine resist pattern is formed can be obtained.

【0055】本発明の耐熱性感光性樹脂組成物を感光性
ドライフィルムとして使用する場合は、上記(1)で調
製した耐熱性感光性樹脂組成物をポリエチレンやポリエ
チレンテレフタレート等のプラスチックフィルム支持体
上に、バーコータ、ロールコータ、リバースコータ、静
電塗装機、スピンナー、アプリケーター等を用いて、乾
燥後の膜厚が1〜200μm、好ましくは10〜100
μmとなるように塗布、乾燥させて感光層を形成し、長
期保存する場合にはさらにポリエチレンやポリエチレン
テレフタレート等のプラスチックフィルムを厚さ20μ
m程度の保護層として感光層上にラミネートし、ロール
状に巻いてドライフィルムとする。なお、露光時ネガマ
スクとの密着性を向上させるために、支持体をマット化
したり、支持体と感光層との間にマット層を設けること
もある。
When the heat-resistant photosensitive resin composition of the present invention is used as a photosensitive dry film, the heat-resistant photosensitive resin composition prepared in the above (1) is placed on a plastic film support such as polyethylene or polyethylene terephthalate. Then, using a bar coater, a roll coater, a reverse coater, an electrostatic coating machine, a spinner, an applicator or the like, the film thickness after drying is 1 to 200 μm, preferably 10 to 100 μm.
To form a photosensitive layer by coating and drying to a thickness of μm, a plastic film such as polyethylene or polyethylene terephthalate with a thickness of 20μ is used for long-term storage.
As a protective layer of about m, it is laminated on the photosensitive layer and wound in a roll to form a dry film. In order to improve the adhesion to the negative mask during exposure, the support may be matted or a mat layer may be provided between the support and the photosensitive layer.

【0056】この感光性ドライフィルムを使用する際に
は、まず保護層(プラスチックフィルム)をドライフィ
ルムから剥がし、感光層を基板にラミネートして積層
し、次いで感光層から支持体を剥がし、以後上記(3)
〜(5)の工程に従ってホトソルダーレジストパターン
を得ることができる。
When this photosensitive dry film is used, first, the protective layer (plastic film) is peeled off from the dry film, the photosensitive layer is laminated on the substrate and laminated, and then the support is peeled off from the photosensitive layer. (3)
A photo solder resist pattern can be obtained by following the steps (5) to (5).

【0057】以下に本発明の実施例について説明する
が、本発明はこれによってなんら限定されるものではな
い。
Examples of the present invention will be described below, but the present invention is not limited thereto.

【0058】[0058]

【実施例】下記の表1〜2に示す配合組成に従って耐熱
性感光性樹脂組成物を調製した。
Example A heat-resistant photosensitive resin composition was prepared according to the composition shown in Tables 1 and 2 below.

【0059】[0059]

【表1】 [Table 1]

【0060】[0060]

【表2】 なお、表1〜2中の商品名の化合物は以下の通りであ
る。 KAYARAD TCR-1025 : トリスフェノール型エポキシアクリレートと二塩基酸 無水物との反応生成物(酸価103mgKOH/g) (日本化薬(株)製) *注1) KAYARAD CCR-1028 : クレゾールノボラック型エポキシアクリレートと二塩 基酸無水物との反応生成物(酸価106mgKOH/g) (日本化薬(株)製) *注1) KAYARAD PCR-1005 : フェノールノボラック型エポキシアクリレートと二塩 基酸無水物との反応生成物(酸価103mgKOH/g) (日本化薬(株)製) *注1) SP-4010 : フェノールノボラック型エポキシアクリレート (昭和高分子(株)製) **注2) KAYARAD R-931 : スチレン・マレイン酸樹脂の2−ヒドロキシエチルア クリレート付加物(酸価188mgKOH/g) (日本化薬(株)製) *注1) メチルメタクリレート/アクリル酸共重合体(平均分子量約60000) スチレン/メチルメタクリレート/アクリル酸/アクリル酸ブチル共重合体 (平均分子量約40000) フェノキシエチルアクリレート EHPE-3150 : 脂環式エポキシ樹脂(ダイセル化学(株)製) CYRACURE UVR-6100 : 脂環式エポキシ樹脂(U.C.C(株)製) CYRACURE UVR-6110 : 脂環式エポキシ樹脂(U.C.C(株)製) EPICRON N-695 : クレゾールノボラック型エポキシ樹脂 (大日本インキ化学工業(株)製) EPPN-201 : フェノールノボラック型エポキシ樹脂 (日本化薬(株)製) EPIKOTE 1001 : ビスフェノールA型エポキシ樹脂 (油化シェル(株)製) TEPIC SP : トリス(2,3−エポキシプロピル)イソシアヌレート (日産化学(株)製) KAYARAD DPHA : ジペンタエリトリトールポリアクリレート (日本化薬(株)製) NK ESTER TMPT : トリメチロールプロパントリメタクリレート (新中村化学(株)製) TONE 0301 : ポリオール樹脂(U.C.C.(株)製) DPM : ジプロピレングリコールモノメチルエーテル (ダウケミカル(株)製) ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート: 溶剤 SWASOL 1500 : ソルベントナフサ(丸善石油化学(株)製) IRGACURE 369 : 光重合開始剤 (チバガイギー(株)製) IRGACURE 907 : 光重合開始剤 (チバガイギー(株)製) KAYACURE DETX : 光重合開始剤 (日本化薬(株)製) KAYACURE EPA : 光重合開始剤 (日本化薬(株)製) CYRACURE UVI-6974 : 光カチオン重合触媒(U.C.C.(株)製) CYRACURE UVI-6990 : 光カチオン重合触媒(U.C.C.(株)製) ジシアンジアミド: エポキシ硬化剤 メラミン: エポキシ硬化剤 KS-66 : 消泡剤 (信越化学工業(株)製) フタロシアニングリーン: 着色顔料 タルク: 体質顔料 硫酸バリウム: 体質顔料 *注1) 「KAYARAD TCR-1025」、「KAYARAD CCR-1028」、「KAYARAD PCR-10 05」、「KAYARAD R-931 」はそれぞれ、製品100重量部中、ジエチレングリコ ールモノエチルエーテルアセテートを24.5重量部、「SWASOL 1500」 を10. 5重量部含有する。 **注2) 「SP-4010」は製品100重量部中、ジエチレングリコールモノエ チルエーテルアセテートを30重量部含有する。塗布処理 実施例1〜5、比較例1〜6については、配合成分を3
本ロールミルにて混練後、スクリーン印刷法によって、
乾燥後の膜厚が15〜25μmとなるように銅スルーホ
ールプリント配線基板に全面塗布し、塗膜を予備乾燥
(80℃、30分間、または80℃、60分間)した。
裏面についても同様に印刷、予備乾燥を行った。
[Table 2] The compounds having the trade names in Tables 1 and 2 are as follows. KAYARAD TCR-1025: Reaction product of trisphenol type epoxy acrylate and dibasic acid anhydride (acid value 103mgKOH / g) (Nippon Kayaku Co., Ltd.) * Note 1) KAYARAD CCR-1028: Cresol novolac type epoxy Reaction product of acrylate and di-salt-based acid anhydride (acid value 106mgKOH / g) (Nippon Kayaku Co., Ltd.) * Note 1) KAYARAD PCR-1005: Phenol novolac type epoxy acrylate and di-salt-based acid anhydride Reaction product with (acid value 103mgKOH / g) (Nippon Kayaku Co., Ltd.) * Note 1) SP-4010: Phenol novolac type epoxy acrylate (Showa Polymer Co., Ltd.) * Note 2) KAYARAD R -931: 2-hydroxyethyl acrylate adduct of styrene-maleic acid resin (acid value 188 mgKOH / g) (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) * Note 1) Methyl methacrylate / acrylic acid copolymer (average molecular weight about 60,000) ) Tylene / Methyl methacrylate / Acrylic acid / Butyl acrylate copolymer (Average molecular weight about 40,000) Phenoxyethyl acrylate EHPE-3150: Alicyclic epoxy resin (manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.) CYRACURE UVR-6100: Alicyclic epoxy resin (UCC Co., Ltd.) CYRACURE UVR-6110: Alicyclic epoxy resin (UCC Co., Ltd.) EPICRON N-695: Cresol novolac type epoxy resin (Dainippon Ink and Chemicals, Inc. ) EPPN-201: Phenol novolac type epoxy resin (Nippon Kayaku Co., Ltd.) EPIKOTE 1001: Bisphenol A type epoxy resin (Yukaka Shell Co., Ltd.) TEPIC SP: Tris (2,3-epoxypropyl) Isocyanurate (Nissan Chemical Co., Ltd.) KAYARAD DPHA: Dipentaerythritol Polyacrylate (Nippon Kayaku Co., Ltd.) NK ESTER TMPT: Trimethylolpropane Remethacrylate (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.) TONE 0301: Polyol resin (manufactured by UCC Co., Ltd.) DPM: Dipropylene glycol monomethyl ether (manufactured by Dow Chemical Co., Ltd.) Diethylene glycol monoethyl ether acetate: Solvent SWASOL 1500: Solvent naphtha (manufactured by Maruzen Petrochemical Co., Ltd.) IRGACURE 369: Photopolymerization initiator (manufactured by Ciba Geigy) IRGACURE 907: Photopolymerization initiator (manufactured by Ciba Geigy) KAYACURE DETX: Photopolymerization initiator (manufactured by Ciba Geigy) Nippon Kayaku Co., Ltd. KAYACURE EPA: Photopolymerization initiator (Nippon Kayaku Co., Ltd.) CYRACURE UVI-6974: Photocationic polymerization catalyst (U. C. C. CYRACURE UVI-6990: Cationic photopolymerization catalyst (manufactured by UCC Co., Ltd.) Dicyandiamide: Epoxy curing agent melamine: Epoxy curing agent KS-66: Defoaming agent (Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) Phthalocyanine green: Coloring pigment Talc: Body pigment barium sulfate: Body pigment * Note 1) "KAYARAD TCR-1025", "KAYARAD CCR-1028", "KAYARAD PCR-10 05" and "KAYARAD R-931" are respectively 24.5 parts by weight of diethylene glycol monoethyl ether acetate and 100 parts by weight of "SWASOL 1500" in 100 parts by weight of the product. Contains 5 parts by weight. ** Note 2) "SP-4010" contains 30 parts by weight of diethylene glycol monoethyl ether acetate in 100 parts by weight of the product. Coating Treatment For Examples 1 to 5 and Comparative Examples 1 to 6, the compounding ingredients were 3
After kneading with this roll mill, by screen printing method,
The copper through-hole printed wiring board was applied over the entire surface so that the film thickness after drying was 15 to 25 μm, and the coating film was pre-dried (80 ° C., 30 minutes, or 80 ° C., 60 minutes).
The back side was similarly printed and pre-dried.

【0061】実施例6および比較例7については、配合
成分を3本ロールミルにて混練後、厚さ0.025mm
の支持体(ポリエチレンテレフタレートフィルム)上
に、乾燥後の膜厚が40μmとなるようにバーコータで
塗布し、塗膜を予備乾燥(80℃、30分間、または8
0℃、60分間)して感光層を形成し、さらにその上に
厚さ0.016mmのポリエチレンフィルムを積層し、
感光性ドライフィルムを作成した。次いでこの保護層を
剥し、感光層をラミネーターを用いて銅スルーホールプ
リント配線基板上に熱圧着した後、支持体を剥した。
In Example 6 and Comparative Example 7, the ingredients were kneaded in a three-roll mill and then the thickness was 0.025 mm.
On a support (polyethylene terephthalate film) of No. 2 by a bar coater so that the film thickness after drying becomes 40 μm, and the coating film is pre-dried (80 ° C., 30 minutes, or 8
(0 ° C., 60 minutes) to form a photosensitive layer, and further laminate a 0.016 mm-thick polyethylene film thereon,
A photosensitive dry film was prepared. Next, the protective layer was peeled off, the photosensitive layer was thermocompression-bonded onto the copper through-hole printed wiring board using a laminator, and then the support was peeled off.

【0062】このようにして得られたものについて、後
述のとおり「指触乾燥性]の評価を行った。結果を表3
〜4に示す。
The thus obtained product was evaluated for "dryness to the touch" as described below.
~ 4.

【0063】露光−現像処理 次に、所定パターンを有するネガマスクを塗膜面に接触
させ、超高圧水銀灯両面同時露光装置(ハイテック
(株)製;HTE 102S)を用いてマイラーフィル
ム上600mJ/cm2 の光量で露光し、1.0wt%
の炭酸ソーダ水溶液で塗膜の未照射部分をスプレー圧
2.0kg/cm2 、液温30℃で未露光部が完全に除
去されるまでそれぞれ所定時間現像した。得られたもの
について、後述のとおり[現像性]、[アンダーカッ
ト]および[露光感度]の評価を行った。結果を表3〜
4に示す。
Exposure-Development Treatment Next, a negative mask having a predetermined pattern was brought into contact with the surface of the coating film, and 600 mJ / cm 2 was applied on the Mylar film using a double-side simultaneous exposure device for ultra-high pressure mercury lamp (manufactured by Hitec Co., Ltd .; HTE 102S). Exposure with the light amount of 1.0 wt%
The unirradiated portion of the coating film was developed with the above sodium carbonate aqueous solution at a spray pressure of 2.0 kg / cm 2 and a liquid temperature of 30 ° C. for a predetermined time until the unexposed portion was completely removed. The obtained product was evaluated for [developing property], [undercut] and [exposure sensitivity] as described below. The results are shown in Table 3 ~
4 shows.

【0064】露光後加熱処理 次いで熱風乾燥機で150℃、60分加熱硬化を行い、
得られた熱硬膜(ホトソルダーレジストパターン)を有
する試験片について、後述のとおり[塗膜硬度]、[半
田耐熱性]、[無電解金メッキ耐性]、[耐アルカリ
性]および[絶縁抵抗]の評価を行った。結果を表3〜
4に示す。
Post-exposure heat treatment Then, heat curing is carried out at 150 ° C. for 60 minutes with a hot air dryer,
Regarding the test piece having the obtained thermosetting film (photo solder resist pattern), as described below, [coating hardness], [solder heat resistance], [electroless gold plating resistance], [alkali resistance] and [insulation resistance] An evaluation was made. The results are shown in Table 3 ~
4 shows.

【0065】試験方法および評価方法 [指触乾燥性]10分間放冷後、塗膜の乾燥性をJIS
K 5400に準じて判定した。
Test method and evaluation method [Finger dryness] After being left to cool for 10 minutes, the dryness of the coating film was measured by JIS.
It was determined according to K 5400.

【0066】◎: 全くタックが認められないもの ○: わずかにタックが認められるもの ×: 顕著にタックが認められるもの [現像性]未露光部の現像時間(ブレークポイント;未
露光部が完全に除去されるまでの時間)を測定した。な
お、比較例1〜6で予備乾燥を80℃、60分間行った
ものについては、100秒間現像を行ったが、途中でゲ
ル化してしまい、現像できなかった。 [アンダーカット]現像後の塗膜のエッジ部の断面写真
を観察しアンダーカットを判定した。
⊚: No tack was observed at all ○: Slight tack was observed ×: Remarkably tack was observed [Developability] Development time of unexposed area (break point; unexposed area was completely removed) The time until removal) was measured. The samples of Comparative Examples 1 to 6 which had been pre-dried at 80 ° C. for 60 minutes were developed for 100 seconds, but gelled during the development and could not be developed. [Undercut] The undercut was judged by observing a cross-sectional photograph of the edge portion of the coating film after development.

【0067】○: アンダーカットが少ないもの △: アンダーカットが目立つもの ×: アンダーカットが著しいもの [露光感度]Stouffer Gray Scales(Stouffer Graphic
Arts 製、光学濃度0.15刻みで21段を有するネガ
フィルム)を前記の両面を予備乾燥して得た塗膜に密着
し、5kWの超高圧水銀灯を用いて600mJ/cm2
(マイラーフィルム上)の光量を照射した。この塗膜を
上記条件で現像し、銅箔上に残存する段数を調べた。 [塗膜硬度]塗膜の硬度をJIS K 5400に準じ
て測定し、評価した。 [半田耐熱性]JIS C 6481の試験方法に従っ
て、260℃の半田浴に試験片の10秒浸漬を下記のよ
うに5回または4回行い、外観の変化を評価した。 (ポストフラックス耐性)10秒浸漬を5回行い、外観
の変化を評価した。
○: Less undercut △: Undercut is noticeable ×: Undercut is noticeable [Exposure sensitivity] Stouffer Gray Scales (Stouffer Graphic
A negative film made of Arts and having 21 steps with an optical density of 0.15) is adhered to the coating film obtained by predrying the both sides, and 600 mJ / cm 2 using a 5 kW ultra-high pressure mercury lamp.
The amount of light (on mylar film) was applied. This coating film was developed under the above conditions, and the number of steps remaining on the copper foil was examined. [Coating film hardness] The hardness of the coating film was measured and evaluated according to JIS K 5400. [Solder Heat Resistance] According to the test method of JIS C 6481, the test piece was immersed in a solder bath at 260 ° C. for 10 seconds 5 times or 4 times as described below, and the change in appearance was evaluated. (Post-flux resistance) Immersion was performed 5 times for 10 seconds to evaluate the change in appearance.

【0068】○: 外観変化なし ×: 塗膜の浮き、剥れ、半田滑りあり 注)使用したポストフラックス: JIS−64P(山
栄化学(株)製) (レベラー用フラックス耐性)10秒浸漬を4回行い、
外観の変化を評価した。
○: No change in appearance ×: Floating, peeling, solder slipping of coating film Note) Post flux used: JIS-64P (manufactured by Sanei Chemical Co., Ltd.) (flux resistance for levelers) 10 seconds immersion Do 4 times,
The change in appearance was evaluated.

【0069】○: 外観変化なし ×: 塗膜の浮き、剥れ、半田滑りあり 注)使用したレベラー用フラックス:W−2304(メ
ック(株)製) [無電解金メッキ耐性]試験片にニッケル無電解メッキ
(トップニコロン N−47中に90℃、20分間)を
行い、次に奥野製薬(株)製「ムデンゴールド」を用い
て、液温90℃、10分間メッキを行い、0.1μmの
厚さの金メッキを析出させた後、塗膜の外観変化を目視
で観察した。密着性は、ソルダーレジストパターン部を
セロハンテープでピーリング試験を行いレジストの剥離
状態を判定した。
○: No change in appearance ×: Floating, peeling, solder slipping of the coating film Note) Flux for leveler used: W-2304 (manufactured by Mec Co., Ltd.) [Electroless gold plating resistance] No nickel on the test piece Electrolytic plating (in Top-Nicolon N-47 at 90 ° C. for 20 minutes) was performed, and then using “Muden Gold” manufactured by Okuno Chemical Industries Co., Ltd., plating was performed at a liquid temperature of 90 ° C. for 10 minutes. After depositing 1 μm thick gold plating, the appearance change of the coating film was visually observed. For the adhesiveness, a peeling test was performed on the solder resist pattern portion with cellophane tape to determine the peeled state of the resist.

【0070】○: 外観変化もなく、塗膜の剥離もまっ
たくない ×: 塗膜の浮きがみられた [耐アルカリ性]試験片を10vol/%水酸化ナトリ
ウム水溶液に25℃、15分間浸漬し、耐電解金メッキ
耐性試験と同様にして塗膜の状態を評価した。
◯: No change in appearance and no peeling of the coating film ×: [Alkali resistance] test piece showing floating coating film was immersed in 10 vol /% sodium hydroxide aqueous solution at 25 ° C. for 15 minutes, The state of the coating film was evaluated in the same manner as in the electrolytic gold plating resistance test.

【0071】○: 外観変化もなく、塗膜の膜減りもほ
とんどない ×: 膜減りがひどく、使用に適さなかった [絶縁抵抗]試験片を用いて、IPC−SM−840B
の試験方法(IPCクラスIII)に従い、7日間後の
吸湿および電食後の絶縁抵抗を測定した。
◯: There is no change in appearance and there is almost no film loss of the coating film. X: The film loss is severe and the film is not suitable for use. [Insulation resistance] Using a test piece, IPC-SM-840B
Insulation resistance after 7 days of moisture absorption and electrolytic corrosion was measured according to the test method (IPC class III) of.

【0072】[0072]

【表3】 [Table 3]

【0073】[0073]

【表4】 表3〜4から明らかなように、本発明の耐熱性感光性樹
脂組成物は、特に現像性の評価において予備乾燥を80
℃、60分間行ってもゲル化がまったく起こらず、比較
例に比して現像性(長期保存性)に極めて優れている。
さらに耐熱性、耐薬品性等、他のいずれの特性において
も優れていることがわかる。
[Table 4] As is clear from Tables 3 and 4, the heat-resistant photosensitive resin composition of the present invention was subjected to preliminary drying at 80% in the evaluation of developability.
Gelation does not occur even at 60 ° C. for 60 minutes, and the developability (long-term storability) is extremely excellent as compared with Comparative Examples.
Further, it can be seen that it is excellent in any other characteristics such as heat resistance and chemical resistance.

【0074】[0074]

【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば、特
にプリント配線板用ホトソルダーレジストとして長期保
存性、耐熱性、耐薬品性等に優れた、希アルカリ溶液で
現像可能な耐熱性感光性樹脂組成物が提供される。
As described above in detail, according to the present invention, a heat resistance feeling which can be developed with a dilute alkaline solution is excellent as a photo solder resist for a printed wiring board and has excellent long-term storage stability, heat resistance, chemical resistance and the like. A light-sensitive resin composition is provided.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI G03F 7/031 G03F 7/031 7/032 501 7/032 501 H05K 3/06 H05K 3/06 H 3/28 3/28 D (56)参考文献 特開 平6−93221(JP,A) 特開 平6−166843(JP,A) 特開 平6−107831(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G03F 7/038 503 G03F 7/027 515 G03F 7/031 G03F 7/032 501 C08G 59/20 C08G 59/40 C08L 63/00 H05K 3/06 H05K 3/28 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI G03F 7/031 G03F 7/031 7/032 501 501/03/03 501 H05K 3/06 H05K 3/06 H 3/28 3/28 D (56) References JP-A-6-93221 (JP, A) JP-A-6-166843 (JP, A) JP-A-6-107831 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7) , DB name) G03F 7/038 503 G03F 7/027 515 G03F 7/031 G03F 7/032 501 C08G 59/20 C08G 59/40 C08L 63/00 H05K 3/06 H05K 3/28

Claims (8)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 (a)一般式(I) 【化1】 (式中、Rは−H、−CH3 または−CH2 CH3 を表
し;nは1以上の整数を表す)で表されるエポキシ樹脂
のグリシジロキシ基が、一般式(II)で表される基お
よび一般式(III)で表される基 【化2】 【化3】 {式中、R1 は 【化4】 (R5 は炭素数1〜3のアルキル基を表す)を表し;R
2 は 【化5】 を表す}で置換されている変性エポキシ樹脂と、(b)
エチレン系モノマーと、(c)光重合開始剤と、(d)
脂環式エポキシ樹脂とを含有することを特徴とする、耐
熱性感光性樹脂組成物。
1. (a) General formula (I): (In the formula, R represents —H, —CH 3 or —CH 2 CH 3 ; n represents an integer of 1 or more), and the glycidyloxy group of the epoxy resin is represented by the general formula (II). A group and a group represented by the general formula (III): [Chemical 3] {In the formula, R 1 is (R 5 represents an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms); R
2 is [Chemical 5] And a modified epoxy resin substituted with (b)
An ethylene-based monomer, (c) a photopolymerization initiator, and (d)
An alicyclic epoxy resin is contained, The heat-resistant photosensitive resin composition characterized by the above-mentioned.
【請求項2】 (e)エポキシ硬化剤をさらに含有する
ことを特徴とする、請求項1記載の耐熱性感光性樹脂組
成物。
2. The heat-resistant photosensitive resin composition according to claim 1, further comprising (e) an epoxy curing agent.
【請求項3】 前記(a)変性エポキシ樹脂中におい
て、一般式(I)で表されるエポキシ樹脂のグリシジロ
キシ基の70%以上が、一般式(II)で表される基お
よび一般式(III)で表される基で置換されているこ
とを特徴とする、請求項1または2のいずれかに記載の
耐熱性感光性樹脂組成物。
3. In the (a) modified epoxy resin, 70% or more of the glycidyloxy groups of the epoxy resin represented by the general formula (I) are the group represented by the general formula (II) and the general formula (III). 3. The heat-resistant photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the heat-resistant photosensitive resin composition is substituted with a group represented by
【請求項4】 前記(a)変性エポキシ樹脂が、一般式
(I)で表されるエポキシ樹脂に不飽和モノカルボン酸
を反応させ、得られた反応物に該エポキシ樹脂のグリシ
ジロキシ基1モルに対し0.2〜1モルの多塩基酸無水
物を反応させることにより製造されることを特徴とす
る、請求項1〜3のいずれかに記載の耐熱性感光性樹脂
組成物。
4. The (a) modified epoxy resin is obtained by reacting an epoxy resin represented by the general formula (I) with an unsaturated monocarboxylic acid, and the resulting reaction product is added with 1 mol of a glycidyloxy group of the epoxy resin. The heat-resistant photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 3, which is produced by reacting 0.2 to 1 mol of a polybasic acid anhydride.
【請求項5】 前記(c)光重合開始剤が2−ベンジル
−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニ
ル)−ブタン−1−オンであることを特徴とする、請求
項1〜4のいずれかに記載の耐熱性感光性樹脂組成物。
5. The method according to claim 1, wherein the photopolymerization initiator (c) is 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one. The heat-resistant photosensitive resin composition according to any one of 1.
【請求項6】 前記(a)変性エポキシ樹脂、(b)エ
チレン系モノマーおよび(d)脂環式エポキシ樹脂の合
計100重量部中、(d)脂環式エポキシ樹脂を5〜8
0重量部の配合割合で含有することを特徴とする、請求
項1〜5のいずれかに記載の耐熱性感光性樹脂組成物。
6. A total of 100 parts by weight of the (a) modified epoxy resin, (b) ethylene-based monomer and (d) alicyclic epoxy resin, and (d) alicyclic epoxy resin in an amount of 5 to 8
The heat-resistant photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the heat-resistant photosensitive resin composition is contained in an amount of 0 part by weight.
【請求項7】 前記(d)脂環式エポキシ樹脂が、一般
式(IV) 【化6】 (式中、Rは−Hまたは炭素数1〜5の直鎖若しくは側
鎖を有するアルキル基を表し;nは1〜30の整数を表
す)で表されることを特徴とする、請求項1〜6のいず
れかに記載の耐熱性感光性樹脂組成物。
7. The alicyclic epoxy resin (d) has the general formula (IV): (In the formula, R represents —H or an alkyl group having a straight chain or a side chain having 1 to 5 carbon atoms; n represents an integer of 1 to 30). The heat-resistant photosensitive resin composition according to any one of 1 to 6.
【請求項8】 前記(d)脂環式エポキシ樹脂が、一般
式(V) 【化7】 (式中、Rは−Hまたは炭素数1〜5の直鎖若しくは側
鎖を有するアルキル基を表し;nは1〜30の整数を表
す)で表されることを特徴とする、請求項1〜6のいず
れかに記載の耐熱性感光性樹脂組成物。
8. The alicyclic epoxy resin (d) has the general formula (V): (In the formula, R represents —H or an alkyl group having a straight chain or a side chain having 1 to 5 carbon atoms; n represents an integer of 1 to 30). The heat-resistant photosensitive resin composition according to any one of 1 to 6.
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