JP2546748B2 - Gas curtain purging device in dustproof hood for optical equipment - Google Patents

Gas curtain purging device in dustproof hood for optical equipment

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JP2546748B2
JP2546748B2 JP3106540A JP10654091A JP2546748B2 JP 2546748 B2 JP2546748 B2 JP 2546748B2 JP 3106540 A JP3106540 A JP 3106540A JP 10654091 A JP10654091 A JP 10654091A JP 2546748 B2 JP2546748 B2 JP 2546748B2
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Japan
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curtain
hood
purge nozzle
gas
blower
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啓司 加藤
公明 中野
孝一 丸山
雅弘 菅原
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Nippon Steel Corp
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    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/708Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
    • G03F7/70908Hygiene, e.g. preventing apparatus pollution, mitigating effect of pollution or removing pollutants from apparatus
    • G03F7/70933Purge, e.g. exchanging fluid or gas to remove pollutants

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、製鉄所や化学工場等で
使用される工業用のテレビカメラや光電子スイッチ等の
光学機器に取付けられる防塵フード内のガスカーテン式
パージ装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a gas curtain type purging device in a dustproof hood which is attached to optical equipment such as industrial television cameras and optoelectronic switches used in steelworks and chemical plants.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、光学機器に装着される防塵フード
としては、特開昭55−48739号公報により公表さ
れているように、光学機器に装着されるフードの途中
に、空気によるエアーカーテンを形成するための吹込口
と、その吹込口に対向する吸出口とを設け、かつ前記吹
込口からの空気吹込量を少なくすると共に、前記吸出口
からの空気吸出量を多くするように、吹込口に比べて吸
出口を大きく形成し、前記吹込口に接続した送風管と前
記吸出口に接続した吸風管とを送風機に接続し、その送
風機により空気を循環させて、フード内にエアーカーテ
ンを形成させるように構成した構造のものが知られてい
る。
2. Description of the Related Art Conventionally, as a dustproof hood mounted on an optical device, an air curtain with air is provided in the middle of the hood mounted on the optical device as disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 55-48739. A blow port for forming and a suction port facing the blow port are provided, and while reducing the amount of air blown from the blow port, the blow port is increased so that the amount of air sucked from the blow port is increased. The air outlet is formed to be larger than that of the air blower, the air blower pipe connected to the blower outlet and the air blower pipe connected to the air outlet are connected to a blower, and the air is circulated by the blower to form an air curtain in the hood. Structures configured to form are known.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】前記従来の化学機器用
防塵フードの場合は、空気を循環させているので、加熱
炉付近などの高温部で使用すると非常に危険であり、か
つエアーカーテン1枚だけによる防塵であるので、エア
ーカーテンの外側の雰囲気圧力が増大した場合、エアー
カーテンが破られて粉塵がフード内に侵入する恐れがあ
る。また吸出能力を送風機だけに頼っているので、吹込
量が増大した場合、吸出量よりも吹込量が多くなること
が懸念される。さらに図7に示すように、吹込口の一端
部に送風管を接続しているので、吹込口の長さ方向の圧
力分布が大きく変化して乱流が発生し、そのためエアー
カーテンの能力を劣化させ、従って、従来の光学機器用
防塵フードの場合は、粉塵がフード内に侵入して光学機
器のガラス面に付着し、そのガラス面を曇らせるので、
誤操作を起こす危険性がある。
In the case of the above-mentioned conventional dustproof hood for chemical equipment, since air is circulated, it is extremely dangerous to use it in a high temperature part such as near a heating furnace, and one air curtain is used. Since it is dust-proof only by itself, if the atmospheric pressure on the outside of the air curtain increases, the air curtain may be broken and dust may enter the hood. Further, since the suction capacity depends only on the blower, there is a concern that when the blow rate increases, the blow rate becomes larger than the blow rate. Furthermore, as shown in FIG. 7, since the blower pipe is connected to one end of the blow-in port, the pressure distribution in the lengthwise direction of the blow-in port changes greatly and turbulence occurs, which deteriorates the performance of the air curtain. Therefore, in the case of the conventional dustproof hood for optical equipment, dust invades into the hood and adheres to the glass surface of the optical equipment, causing the glass surface to fog.
There is a risk of erroneous operation.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】本発明は、高温部で使用
しても安全性を確保できると共に、防塵フード内への粉
塵類の侵入を確実に防止するために、防塵フード10の
一側部に、不活性ガスによるガスカーテンを形成するた
めのバッファーノズルを有するカーテンパージノズル1
を設けると共に、前記防塵フード10の他側部に設けた
排出口11に排出用ファン3を設け、前記排出口11と
光学機器9との間において防塵フード10にフード内圧
上昇用断続式パージノズル2を設ける。またカーテンパ
ージノズル1から噴射される不活性ガスの圧力を均一化
するために、ブロワ7の吐出管14をカーテンパージノ
ズル1の両端に接続し、かつ粉塵類が防塵フード10内
に侵入するのを確実に防止するために、防塵フード10
内に内壁38を設けると共に、排出口11の周囲にガス
溜り部5を設ける。
According to the present invention, one side of the dustproof hood 10 is provided in order to ensure safety even when used in a high temperature part and to reliably prevent dust from entering the dustproof hood. Curtain purge nozzle 1 having a buffer nozzle for forming a gas curtain of an inert gas in its part
In addition, the exhaust fan 3 is provided at the exhaust port 11 provided on the other side of the dustproof hood 10, and the intermittent hood 10 for increasing the internal pressure of the hood is provided in the dustproof hood 10 between the exhaust port 11 and the optical device 9. To provide. Further, in order to make the pressure of the inert gas injected from the curtain purge nozzle 1 uniform, the discharge pipe 14 of the blower 7 is connected to both ends of the curtain purge nozzle 1, and dusts enter the dustproof hood 10. In order to reliably prevent
The inner wall 38 is provided inside, and the gas reservoir 5 is provided around the exhaust port 11.

【0005】[0005]

【実施例】図1は本発明の実施例に係る光学機器用防塵
フード内のガスカーテン式パージ装置を示し、図3およ
び図4はカーテンパージノズル1を示し、図5および図
6はフード内圧上昇用断続式パージノズル2を示すもの
である。工業用テレビカメラからなる光学機器9に、レ
ンズを囲む防塵フード10の基端部が装着され、その防
塵フード10の前方の上部に、不活性ガスによるカーテ
ンを形成するためのバッファーノズル20を有するカー
テンパージノズル1が、左右方向に延長するように配置
されて固定され、前記防塵フード10の前方の下部に、
前記カーテンパージノズル1に対向する位置において左
右方向に延長する排出口11が設けられ、かつ防塵フー
ド10の下部に、排出口11の全周を囲むガス溜り部5
が設けられ、さらにそのガス溜り部5と光学機器9との
間に、用途別の内壁38が固定され、また前記防塵フー
ド10の下部の基端部に、フード内圧上昇用断続式パー
ジノズル2が固定されている。
1 shows a gas curtain type purging device in a dustproof hood for optical equipment according to an embodiment of the present invention, FIGS. 3 and 4 show a curtain purging nozzle 1, and FIGS. 5 and 6 show hood internal pressure. 1 shows an intermittent ascending purge nozzle 2 for rising. A base end of a dustproof hood 10 surrounding a lens is attached to an optical device 9 composed of an industrial television camera, and a buffer nozzle 20 for forming a curtain of an inert gas is provided on the front upper portion of the dustproof hood 10. The curtain purge nozzle 1 is arranged and fixed so as to extend in the left-right direction, and is attached to the lower front part of the dustproof hood 10.
A discharge port 11 extending in the left-right direction is provided at a position facing the curtain purge nozzle 1, and a gas reservoir 5 that surrounds the entire circumference of the discharge port 11 is provided under the dustproof hood 10.
Is provided, the inner wall 38 for each application is fixed between the gas reservoir 5 and the optical device 9, and the intermittent purge nozzle 2 for increasing the hood internal pressure is provided at the lower base end of the dustproof hood 10. It is fixed.

【0006】前記排出口11内に複数の排出用ファン3
が配置され、ブロワ7の吸引管12は前記排出口11に
接続され、その吸引管12にフィルター8と流量指示調
節装置6とが設けられ、前記ブロワ7の吐出管13はフ
ード内圧上昇用ノズル2の両端部に接続され、前記吐出
管13におけるノズル2の両端に連結された部分に圧力
指示調節装置16が設けられ、かつ前記ブロワ7の吐出
管14はカーテンパージノズル1の両端部に接続され、
さらに前記吐出管14におけるカーテンパージノズル1
の両端部に接続された部分に流量指示調節装置17が設
けられている。前記吐出管14に調節弁27を有する不
活性ガス供給口15が設けられ、この不活性ガス供給口
15から窒素ガス等の不活性ガスが供給される。また前
記防塵フード10の先端部は例えば加熱炉18の監視孔
に接続される。
A plurality of discharge fans 3 are provided in the discharge port 11.
, The suction pipe 12 of the blower 7 is connected to the discharge port 11, the suction pipe 12 is provided with a filter 8 and a flow rate indicator adjusting device 6, and the discharge pipe 13 of the blower 7 is a nozzle for increasing the hood internal pressure. 2 is connected to both ends of the discharge pipe 13, and a pressure instruction adjusting device 16 is provided at a portion of the discharge pipe 13 connected to both ends of the nozzle 2. The discharge pipe 14 of the blower 7 is connected to both ends of the curtain purge nozzle 1. Is
Further, the curtain purge nozzle 1 in the discharge pipe 14
A flow rate indicator adjusting device 17 is provided at a portion connected to both ends of the. The discharge pipe 14 is provided with an inert gas supply port 15 having a control valve 27, and an inert gas such as nitrogen gas is supplied from the inert gas supply port 15. The tip of the dustproof hood 10 is connected to, for example, a monitoring hole of the heating furnace 18.

【0007】また、図2は本発明の実施例に係る炉内ガ
スを利用する光学機器用防塵フード内のガス循環カーテ
ン式パージ装置を示すものである。工業用テレビカメラ
からなる光学機器9に、レンズを囲む防塵フード10の
基端部が装着され、その防塵フード10の中間の上部
に、不活性ガスによるカーテンを形成するためのバッフ
ァーノズル20を有するカーテンパージノズル1が、左
右方向に延長するように配置されて固定され、前記防塵
フード10の中間の下部に、前記カーテンパージノズル
1に対向する位置において左右方向に延長する排出口1
1が設けられ、かつ防塵フード10の下部に、排出口1
1の全周を囲むガス溜り部5が設けられ、さらにそのガ
ス溜り部5と光学機器9との間に、用途別の内壁38が
固定され、また前記防塵フード10の下部の基端部に、
フード内圧上昇用断続式パージノズル2が固定されてい
る。
FIG. 2 shows a gas circulation curtain type purging device in a dustproof hood for optical equipment which uses the gas in the furnace according to an embodiment of the present invention. A base end of a dustproof hood 10 surrounding a lens is attached to an optical device 9 composed of an industrial television camera, and a buffer nozzle 20 for forming a curtain of an inert gas is provided in an upper part in the middle of the dustproof hood 10. A curtain purge nozzle 1 is arranged and fixed so as to extend in the left-right direction, and a discharge port 1 that extends in the left-right direction at a position facing the curtain purge nozzle 1 is provided in a lower middle portion of the dustproof hood 10.
1 is provided, and at the bottom of the dustproof hood 10, a discharge port 1
1 is provided with a gas reservoir 5 surrounding the entire circumference thereof, and an inner wall 38 for each application is fixed between the gas reservoir 5 and the optical device 9, and at the lower end of the dustproof hood 10 at the base end. ,
The intermittent purge nozzle 2 for increasing the hood internal pressure is fixed.

【0008】前記排出口11内に複数の排出用ファン3
が配置され、ブロワ28の吸引管32は前記排出口11
に接続され、排出口11内のガスは、ブロワ28の吐出
管29を通り排出部31から加熱炉18内に戻される。
A plurality of discharge fans 3 are provided in the discharge port 11.
And the suction pipe 32 of the blower 28 is connected to the outlet 11
The gas in the discharge port 11 is returned to the heating furnace 18 from the discharge part 31 through the discharge pipe 29 of the blower 28.

【0009】さらにブロワ7の吸引管12は炉内ガス取
出部30に接続され、その吸引管12にフィルター8と
流量指示調節装置6とが設けられ、前記ブロワ7の吐出
管13はフード内圧上昇用断続式パージノズル2の両端
部に接続され、前記吐出管13におけるノズル2の両端
に連結された部分に圧力指示調節装置16が設けられ、
かつ前記ブロワ7の吐出管14はカーテンパージノズル
1の両端部に接続され、さらに前記吐出管14における
カーテンパージノズル1の両端部に接続された部分に流
量指示調節装置17が設けられている。また前記防塵フ
ード10の先端部は、例えば加熱炉18の監視孔に接続
される。
Further, the suction pipe 12 of the blower 7 is connected to the in-furnace gas take-out section 30, the suction pipe 12 is provided with a filter 8 and a flow rate indicator adjusting device 6, and the discharge pipe 13 of the blower 7 has an increased hood internal pressure. Is connected to both ends of the intermittent purge nozzle 2 for use, and a pressure instruction adjusting device 16 is provided in a portion of the discharge pipe 13 connected to both ends of the nozzle 2.
Further, the discharge pipe 14 of the blower 7 is connected to both ends of the curtain purge nozzle 1, and a flow rate instruction adjusting device 17 is provided in a portion of the discharge pipe 14 connected to both ends of the curtain purge nozzle 1. The tip of the dustproof hood 10 is connected to, for example, a monitoring hole of the heating furnace 18.

【0010】図3および図4はカーテンパージノズル1
の構造を示すものであって、バッファーノズル20にお
ける底板33に、側板34に沿って延長するスリットが
設けられ、その側板34が延長されてフランジ21が形
成され、前記底板33におけるスリットの縁部に沿って
延長する内壁板19は、バッファーノズル20内に配置
されると共に、バッファーノズル20の底板33および
両側の端板35に固定され、前記内壁板19が延長され
て、前記フランジ21に平行に配置されたフランジ36
が形成され、小間隔をおいて対向する一対のフランジ2
1,36の間に噴射口22が設けられて、カーテンパー
ジノズル1が構成されている。
3 and 4 show a curtain purge nozzle 1
In the buffer nozzle 20, a bottom plate 33 is provided with a slit extending along a side plate 34, the side plate 34 is extended to form a flange 21, and an edge portion of the slit in the bottom plate 33. An inner wall plate 19 extending along the inner wall plate 19 is disposed in the buffer nozzle 20 and is fixed to the bottom plate 33 and both end plates 35 of the buffer nozzle 20. The inner wall plate 19 is extended and parallel to the flange 21. Flange 36 located at
Formed with a pair of flanges 2 facing each other with a small gap
The injection port 22 is provided between the nozzles 1 and 36 to configure the curtain purge nozzle 1.

【0011】各フランジ21,36に、フランジ長手方
向に間隔をおいて配置された多数の噴射口巾調節用ビス
23が挿通され、噴射口22から噴射される不活性ガス
の圧力がカーテンパージノズル1の全長Lにわたってほ
ぼ均等になるように、かつ噴射口22から噴射されるガ
スの流量が噴射口22の全長にわたって一定になるよう
に、多数のビス23により各フランジ21,36の間隔
が調整される。また前記バッファーノズル20の両端の
端板35に、開口部37が設けられると共に、前記吐出
管14が接続される。
A large number of injection port width adjusting screws 23, which are arranged at intervals in the longitudinal direction of the flange, are inserted into the respective flanges 21 and 36, and the pressure of the inert gas injected from the injection port 22 is changed to the curtain purge nozzle. The distance between the flanges 21 and 36 is adjusted by a large number of screws 23 so that the flow rate of the gas injected from the injection port 22 is uniform over the entire length L of the injection port 1 and is constant over the entire length of the injection port 22. To be done. Also, openings 37 are provided in the end plates 35 at both ends of the buffer nozzle 20, and the discharge pipe 14 is connected thereto.

【0012】図5および図6はフード内圧上昇用断続式
パージノズル2の構造を示すものであって、内管24と
外管25とが同心的に配置されて連結部材(図示を省略
した)を介して連結され、かつ前記外管25における防
塵フード内に配置される部分には、外管長手方向に延長
する多数の噴射スリット26が設けられ、さらに前記内
管24と外管25との間に吐出管13が接続される。吐
出管13の管内圧がある一定以上になった時だけ、弁4
0を開き、すぐに閉じることで断続式パージを実現す
る。また図7に示すような圧力不均一分布を防止するた
めに、カーテンパージノズル1の両端に吐出管14が接
続されると共に、前記断続式パージノズル2の両端に吐
出管13が接続され、内管24の外径よりも吐出管13
の内径が大きく設定される。図8および図9は用途別の
内壁38の形状を示すものであって、開口部41の面積
を最小限にするために、カメラ用内壁ではカメラ視野分
のみ開口とし、レーザー用内壁ではレーザーライン幅分
のみを開口とする。更に、排気効果を高めるために、内
壁の端部には角度θをもたせてある。
FIG. 5 and FIG. 6 show the structure of the intermittent purge nozzle 2 for increasing the internal pressure of the hood, in which the inner pipe 24 and the outer pipe 25 are concentrically arranged and a connecting member (not shown) is provided. A plurality of injection slits 26 extending in the longitudinal direction of the outer pipe are provided in a portion of the outer pipe 25 which is connected through the outer pipe 25 and is disposed in the dustproof hood, and between the inner pipe 24 and the outer pipe 25. The discharge pipe 13 is connected to. Only when the internal pressure of the discharge pipe 13 exceeds a certain level, the valve 4
The intermittent purge is realized by opening 0 and closing it immediately. Further, in order to prevent the uneven pressure distribution as shown in FIG. 7, discharge pipes 14 are connected to both ends of the curtain purge nozzle 1, and discharge pipes 13 are connected to both ends of the intermittent purge nozzle 2 to form an inner pipe. Discharge pipe 13 than the outer diameter of 24
The inner diameter of is set large. 8 and 9 show the shape of the inner wall 38 for each application. In order to minimize the area of the opening 41, the inner wall for the camera is opened only for the camera field of view, and the inner wall for the laser is a laser line. Open only the width. Further, in order to enhance the exhaust effect, the end of the inner wall has an angle θ.

【0013】本発明の防塵フード内のガスカーテン式パ
ージ装置において、ブロワ7を運転すると共に、排出用
ファン3を回転させ、不活性ガス供給口15から不活性
ガスを補給すると、その不活性ガスがカーテンパージノ
ズル1から排出口11に向かって吹込まれて、防塵フー
ド10内に不活性ガスによるカーテンが形成され、かつ
断続式パージノズル2からも防塵フード10内に不活性
ガスが吹込まれて、ガスカーテンの内側の圧力が高圧に
なるので、ガスカーテンの外側の雰囲気圧力が多少高く
なっても、ガスカーテンが破られることはなく、そのた
め雰囲気圧力が多少変化する悪い雰囲気の製鉄所や工場
等で使用する工業用テレビカメラに、前記ガスカーテン
式パージ装置を有する防塵フードを装着した場合は、雰
囲気中の粉塵や金属蒸気等が防塵フード10内に侵入す
るのを防止することができる。
In the gas curtain type purging device in the dustproof hood of the present invention, when the blower 7 is operated, the exhaust fan 3 is rotated, and the inert gas is supplied from the inert gas supply port 15, the inert gas is discharged. Is blown from the curtain purge nozzle 1 toward the discharge port 11, a curtain of inert gas is formed in the dustproof hood 10, and the inert gas is blown into the dustproof hood 10 also from the intermittent purge nozzle 2. Since the pressure inside the gas curtain becomes high, the gas curtain will not be broken even if the atmospheric pressure on the outside of the gas curtain rises slightly, so the atmosphere pressure will change slightly. When the dustproof hood with the gas curtain type purging device is attached to the industrial TV camera used in, the dust and gold in the atmosphere It can be steam or the like is prevented from entering the dust-proof hood 10.

【0014】本発明の防塵フード内の炉内ガス循環カー
テン式パージ装置において、ブロワ7およびブロワ28
を運転すると共に、排出用ファン3を回転させ、炉内ガ
ス取出部30から炉内ガスを補給すると、その炉内ガス
がカーテンパージノズル1から排出口11に向かって吹
込まれて、防塵ファン10内に炉内ガスによるカーテン
が形成され、かつ断続式パージノズル2からも防塵フー
ド10内に炉内ガスが吹込まれて、ガスカーテンの内側
の圧力が高圧になるので、ガスカーテンの外側の雰囲気
圧力が多少高くなっても、ガスカーテンが破られること
はなく、そのため雰囲気圧力が多少変化する悪い雰囲気
の製鉄所や工場等で使用する工業テレビカメラに、前記
ガスカーテン式パージ装置を有する防塵フードを装着し
た場合は、雰囲気中の粉塵や金属蒸気等が防塵フード1
0内に侵入するのを防止することができる。
In the purging device for circulating gas in the furnace in the dustproof hood of the present invention, the blower 7 and the blower 28 are used.
When the exhaust fan 3 is rotated and the in-furnace gas is replenished from the in-furnace gas extraction part 30, the in-furnace gas is blown from the curtain purge nozzle 1 toward the exhaust port 11, and the dustproof fan 10 A curtain is formed by the gas inside the furnace, and the gas inside the furnace is blown into the dustproof hood 10 from the intermittent purge nozzle 2 as well, so that the pressure inside the gas curtain becomes high, so the atmospheric pressure outside the gas curtain. The gas curtain will not be broken even if the temperature rises a little, so the dustproof hood with the gas curtain type purging device will be attached to the industrial TV camera used in a steel mill or factory where the atmospheric pressure changes a little. When installed, dust and metal vapor in the atmosphere prevent dust hood 1.
It is possible to prevent intrusion into 0.

【0015】万一、粉塵がガスカーテンを通過して光学
機器9側に侵入しようとしても、その侵入は内壁38お
よび断続式パージノズル2から噴射される不活性ガスに
より阻止される。また排出口11に侵入した粉塵は、排
出用ファン3およびブロワ7(図2においてはブロワ2
8)の吸引力によりブロワ7(図2においてはブロワ2
8)に向かって移送され、フィルター8により濾過され
るので、カーテンパージノズル1から清浄な不活性ガス
が噴射される。
Even if dust passes through the gas curtain and enters the optical device 9, the invasion is blocked by the inert gas injected from the inner wall 38 and the intermittent purge nozzle 2. Moreover, the dust that has entered the discharge port 11 is discharged by the discharge fan 3 and the blower 7 (the blower 2 in FIG. 2).
8) by the suction force of the blower 7 (in FIG. 2, the blower 2
Since it is transferred toward 8) and filtered by the filter 8, clean inert gas is injected from the curtain purge nozzle 1.

【0016】また安全のために設けられたガス溜り部5
は、ある程度の吹込ガス量を蓄積することができ、さら
に流量指示調節装置6,17によって流量バランスを目
視確認することができる。さらにまた、前記排出口11
に設けた排出用ファン3により防塵フード10内のガス
が強制的に排出されるので、吹込量が排出量を上回るこ
とはない。
Further, a gas reservoir 5 provided for safety
Can accumulate a certain amount of blown gas, and the flow rate balance can be visually confirmed by the flow rate indicator adjusting devices 6 and 17. Furthermore, the outlet 11
Since the gas in the dustproof hood 10 is forcibly discharged by the exhaust fan 3 provided in the above, the blowing amount does not exceed the discharging amount.

【0017】本発明のガスカーテン式パージ装置におい
ては、不活性ガスを循環させるので、加熱炉等の高温部
にも設置することができ、そのため製鉄所や化学工場な
どでの使用に効果がある。
Since the inert gas is circulated in the gas curtain type purging apparatus of the present invention, it can be installed in a high temperature part such as a heating furnace, and is therefore effective for use in a steel mill or a chemical factory. .

【0018】[0018]

【発明の効果】本発明によれば、不活性ガスまたは炉内
ガスを、大容量外管を有するカーテンパージノズル1か
ら噴射してガスカーテンを形成するので、防塵フード1
0を装着した光学機器9を高温部で使用しても安全であ
り、かつカーテンパージノズル1に対向する排出口11
に排出用ファン3を設けると共に、排出口11と光学機
器9との間において防塵フード10にフード内圧上昇用
断続式パージノズル2と、内壁38とを設けたので、外
部雰囲気圧力に対して強いガスカーテンを形成すること
ができ、そのため防塵フード10内への粉塵類の侵入を
有効に防止することができる。またブロワ7の吐出管1
4をカーテンパージノズル1の両端に接続することによ
り、カーテンパージノズル1から噴射される不活性ガス
の圧力分布を従来の防塵ノズルにおける吹込口から噴射
される空気圧力分布に比べて均一化することができ、か
つ排出口11と光学機器との間に内壁38を設けると共
に、排出口11の周囲にガス溜り部5を設けることによ
り、防塵フード10内への粉塵類の侵入を確実に防止す
ることができる。また、炉内ガス循環によるガスカーテ
ン式パージ装置の場合は、不活性ガスの供給が不要であ
るので、経済的に有利である。
According to the present invention, since the inert gas or the in-furnace gas is injected from the curtain purge nozzle 1 having a large-capacity outer tube to form a gas curtain, the dustproof hood 1
It is safe to use the optical device 9 equipped with 0 in a high temperature part, and the discharge port 11 facing the curtain purge nozzle 1
Since the exhaust fan 3 is provided in the above, the intermittent hood internal pressure increasing purge nozzle 2 and the inner wall 38 are provided in the dustproof hood 10 between the exhaust port 11 and the optical device 9, a gas that is strong against the external atmospheric pressure is provided. A curtain can be formed, and therefore, invasion of dusts into the dustproof hood 10 can be effectively prevented. In addition, the discharge pipe 1 of the blower 7
By connecting 4 to both ends of the curtain purge nozzle 1, the pressure distribution of the inert gas injected from the curtain purge nozzle 1 is made uniform as compared with the air pressure distribution injected from the blowing port in the conventional dustproof nozzle. By providing the inner wall 38 between the discharge port 11 and the optical device and by providing the gas reservoir 5 around the discharge port 11, it is possible to reliably prevent dust from entering the dustproof hood 10. be able to. Further, in the case of the gas curtain type purging device by circulating the gas in the furnace, the supply of the inert gas is unnecessary, which is economically advantageous.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】光学機器用防塵フード内のガスカーテン式パー
ジ装置の縦断側面図である。
FIG. 1 is a vertical sectional side view of a gas curtain type purging device in a dustproof hood for an optical device.

【図2】炉内ガス循環によるガスカーテン式パージ装置
の縦断側面図である。
FIG. 2 is a vertical cross-sectional side view of a gas curtain type purging device by circulating gas in a furnace.

【図3】カーテンパージノズルの斜視図である。FIG. 3 is a perspective view of a curtain purge nozzle.

【図4】カーテンパージノズルの断面図である。FIG. 4 is a sectional view of a curtain purge nozzle.

【図5】フード内圧上昇用ノズルの斜視図である。FIG. 5 is a perspective view of a nozzle for increasing the internal pressure of the hood.

【図6】フード内圧上昇用ノズルの断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view of a hood internal pressure increasing nozzle.

【図7】カメラ用内壁の斜視図である。FIG. 7 is a perspective view of an inner wall for a camera.

【図8】レーザー用内壁の斜視図である。FIG. 8 is a perspective view of an inner wall for laser.

【図9】従来の防塵フードにおける吹込口の圧力分布を
示す図である。
FIG. 9 is a diagram showing a pressure distribution at a blow-in port in a conventional dustproof hood.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 カーテンパージノズル 2 フード内圧上昇用断続式パージノズル 3 排出用ファン 4 仕切板 5 ガス溜り部 6 流量指示調節装置 7 ブロワ 8 フィルター 9 光学機器 10 防塵フード 11 排出口 12 吸引管 13 吐出管 14 吐出管 15 不活性ガス供給口 16 圧力指示調節装置 17 流量指示調節装置 18 加熱炉 19 内壁板 20 大容量外管 21 フランジ 22 噴射口 23 噴射口巾調節用ビス 24 内管 25 外管 26 噴射スリット 27 調節弁 28 ブロワ 29 吐出管 30 炉内ガス取出部 31 炉内ガス排出部 32 吸引管 33 底板 34 側板 35 端板 36 フランジ 37 開口部 38 内壁 39 検出器 40 電磁弁 41 開口部 1 Curtain Purge Nozzle 2 Intermittent Purge Nozzle for Raising Hood Internal Pressure 3 Discharge Fan 4 Partition Plate 5 Gas Reservoir 6 Flow Rate Control Device 7 Blower 8 Filter 9 Optical Equipment 10 Dustproof Hood 11 Suction Port 12 Suction Pipe 13 Discharge Pipe 14 Discharge Pipe 15 Inert Gas Supply Port 16 Pressure Indication Adjusting Device 17 Flow Rate Indication Adjusting Device 18 Heating Furnace 19 Inner Wall Plate 20 Large Capacity Outer Pipe 21 Flange 22 Injection Port 23 Injection Port Width Adjusting Screw 24 Inner Pipe 25 Outer Pipe 26 Injection Slit 27 Adjustment Valve 28 Blower 29 Discharge pipe 30 In-furnace gas extraction part 31 In-furnace gas discharge part 32 Suction pipe 33 Bottom plate 34 Side plate 35 End plate 36 Flange 37 Opening 38 Inner wall 39 Detector 40 Solenoid valve 41 Opening

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 光学機器9の前部に装着された防塵フー
ド10の一側部に、不活性ガスによるガスカーテンを形
成するためのバッファーノズル20を有するカーテンパ
ージノズル1が設けられ、前記防塵フード10の他側部
に、カーテンパージノズル1に対向する位置において排
出口11が設けられると共に、その排出口11内に排出
用ファン3が設けられ、前記排出口11と光学機器9と
の間にフード内圧上昇用断続式パージノズル2と、内壁
38とが設けられ、ブロワ7の吸引管12が前記排出口
11に接続され、ブロワ7の吐出管13が前記断続式パ
ージノズル2に接続され、ブロワ7の吐出管14が前記
カーテンパージノズル1の両端部に接続され、ブロワ7
の吸引管12または吐出管に不活性ガス供給口15が設
けられている光学機器用防塵フード内のガスカーテン式
パージ装置。
1. A curtain purge nozzle 1 having a buffer nozzle 20 for forming a gas curtain of an inert gas is provided on one side of a dustproof hood 10 mounted on a front portion of an optical device 9, and the dustproof hood 10 is provided. A discharge port 11 is provided on the other side of the hood 10 at a position facing the curtain purge nozzle 1, and a discharge fan 3 is provided in the discharge port 11 so that a space between the discharge port 11 and the optical device 9 is provided. Is provided with an intermittent purge nozzle 2 for increasing the internal pressure of the hood and an inner wall 38, the suction pipe 12 of the blower 7 is connected to the discharge port 11, and the discharge pipe 13 of the blower 7 is connected to the intermittent purge nozzle 2. The discharge pipe 14 of the blower 7 is connected to both ends of the curtain purge nozzle 1.
1. A gas curtain type purging device in a dustproof hood for optical equipment, in which an inert gas supply port 15 is provided in the suction pipe 12 or the discharge pipe.
【請求項2】 光学機器9の前部に装着された防塵フー
ド10の一側部に、不活性ガスによるガスカーテンを形
成するためのバッファーノズル20を有するカーテンパ
ージノズル1が設けられ、前記防塵フード10の他側部
に、カーテンパージノズル1に対向する位置において、
排出口11とガス溜り部5と排出用ファン3とが設けら
れ、ガス溜り部5と光学機器9との間に内壁38が設け
られ、その内壁38と光学機器9との間に、フード内圧
上昇用断続式パージノズル2が設けられ、ブロワ7の吸
引管12が前記排出口11に接続され、ブロワ7の吐出
管13が前記断続式パージノズル2に接続され、ブロワ
7の吐出管14が前記カーテンパージノズル1に接続さ
れ、ブロワ7の吸引管12または吐出管に不活性ガス供
給口15が設けられている光学機器用防塵フード内のガ
スカーテン式パージ装置。
2. A curtain purge nozzle 1 having a buffer nozzle 20 for forming a gas curtain of an inert gas is provided on one side of a dustproof hood 10 mounted on the front part of an optical device 9, and the dustproof hood 10 is provided. On the other side of the hood 10, at a position facing the curtain purge nozzle 1,
The exhaust port 11, the gas reservoir 5 and the exhaust fan 3 are provided, the inner wall 38 is provided between the gas reservoir 5 and the optical device 9, and the hood internal pressure is provided between the inner wall 38 and the optical device 9. An ascending purge purge nozzle 2 for rising is provided, a suction pipe 12 of a blower 7 is connected to the discharge port 11, a discharge pipe 13 of the blower 7 is connected to the intermittent purge nozzle 2, and a discharge pipe 14 of the blower 7 is the curtain. A gas curtain type purging device in a dustproof hood for an optical device, which is connected to the purge nozzle 1 and has an inert gas supply port 15 provided in the suction pipe 12 or the discharge pipe of the blower 7.
【請求項3】 炉内ガス循環カーテン式パージ装置にお
いて、光学機器9の前部に装着された防塵フード10の
一側部に、不活性ガスによるガスカーテンを形成するた
めのバッファーノズル20を有するカーテンパージノズ
ル1が設けられ、前記防塵フード10の他側部に、カー
テンパージノズル1に対向する位置において排出口11
が設けられると共に、その排出口11内に排出用ファン
3が設けられ、前記排出口11と光学機器9との間にフ
ード内圧上昇用断続式パージノズル2が設けられ、ブロ
ワ7の吸引管12が炉内ガス取出部30に接続され、ブ
ロワ7の吐出管13が前記断続式パージノズル2に接続
され、ブロワ7の吐出管14が前記カーテンパージノズ
ル1の両端部に接続されている光学機器用防塵フード内
の炉内ガス循環カーテン式パージ装置。
3. The in-furnace gas circulation curtain type purging apparatus has a buffer nozzle 20 for forming a gas curtain of an inert gas on one side of the dustproof hood 10 mounted on the front part of the optical device 9. A curtain purge nozzle 1 is provided, and a discharge port 11 is provided on the other side of the dustproof hood 10 at a position facing the curtain purge nozzle 1.
Is provided, an exhaust fan 3 is provided in the exhaust port 11, an intermittent hood internal pressure increasing purge nozzle 2 is provided between the exhaust port 11 and the optical device 9, and a suction pipe 12 of the blower 7 is provided. Dustproof for optical equipment, which is connected to the in-furnace gas extraction part 30, the discharge pipe 13 of the blower 7 is connected to the intermittent purge nozzle 2, and the discharge pipe 14 of the blower 7 is connected to both ends of the curtain purge nozzle 1. Furnace gas circulation curtain type purging device in the hood.
【請求項4】 炉内ガス循環カーテン式パージ装置にお
いて、光学機器9の前部に装着された防塵フード10の
一側部に、炉内ガスによるガスカーテンを形成するため
のバッファーノズル20を有するカーテンパージノズル
1が設けられ、前記防塵フード10の他側部に、カーテ
ンパージノズル1に対向する位置において、排出口11
とガス溜り部5と排出用ファン3とが設けられ、ガス溜
り部5と光学機器9との間に内壁38が設けられ、その
内壁38と光学機器9との間にフード内圧上昇用断続式
パージノズル2が設けられ、ブロワ7の吸引管12が炉
内ガス取出口30に接続され、ブロワ7の吐出管13が
前記断続式パージノズル2に接続され、ブロワ7の吐出
管14が前記カーテンパージノズル1に接続されている
光学機器用防塵フード内の炉内ガス循環カーテン式パー
ジ装置。
4. The in-furnace gas circulation curtain type purging device has a buffer nozzle 20 for forming a gas curtain of in-furnace gas on one side of the dustproof hood 10 mounted on the front part of the optical device 9. A curtain purge nozzle 1 is provided, and a discharge port 11 is provided on the other side of the dustproof hood 10 at a position facing the curtain purge nozzle 1.
A gas reservoir 5 and an exhaust fan 3 are provided, an inner wall 38 is provided between the gas reservoir 5 and the optical device 9, and an intermittent hood internal pressure increasing mechanism is provided between the inner wall 38 and the optical device 9. The purge nozzle 2 is provided, the suction pipe 12 of the blower 7 is connected to the in-furnace gas outlet 30, the discharge pipe 13 of the blower 7 is connected to the intermittent purge nozzle 2, and the discharge pipe 14 of the blower 7 is the curtain purge nozzle. A furnace gas circulation curtain type purging device in a dustproof hood for optical equipment connected to 1.
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