JP2512346B2 - Gas curtain type purging device in dustproof hood for optical equipment - Google Patents

Gas curtain type purging device in dustproof hood for optical equipment

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JP2512346B2
JP2512346B2 JP3346091A JP3346091A JP2512346B2 JP 2512346 B2 JP2512346 B2 JP 2512346B2 JP 3346091 A JP3346091 A JP 3346091A JP 3346091 A JP3346091 A JP 3346091A JP 2512346 B2 JP2512346 B2 JP 2512346B2
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hood
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公明 中野
孝一 丸山
雅弘 菅原
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    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
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    • G03F7/708Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
    • G03F7/70908Hygiene, e.g. preventing apparatus pollution, mitigating effect of pollution or removing pollutants from apparatus
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Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、製鉄所や化学工場等で
使用される工業用のテレビカメラや光電子スイッチ等の
光学機器に取付けられる防塵フード内のガスカーテン式
パージ装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a gas curtain type purging device in a dustproof hood which is attached to optical equipment such as industrial television cameras and optoelectronic switches used in steelworks and chemical plants.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、光学機器に装着される防塵フード
としては、特開昭55−48739号公報により公表さ
れているように、光学機器に装着されるフードの途中
に、空気によるエアーカーテンを形成するための吹込口
と、その吹込口に対向する吸出口とを設け、かつ前記吹
込口からの空気吹込量を少なくすると共に、前記吸出口
からの空気吸出量を多くするように、吹込口に比べて吸
出口を大きく形成し、前記吹込口に接続した送風管と前
記吸出口に接続した吸風管とを送風機に接続し、その送
風機により空気を循環させて、フード内にエアーカーテ
ンを形成させるように構成した構造のものが知られてい
る。
2. Description of the Related Art Conventionally, as a dustproof hood mounted on an optical device, an air curtain with air is provided in the middle of the hood mounted on the optical device as disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 55-48739. A blow port for forming and a suction port facing the blow port are provided, and while reducing the amount of air blown from the blow port, the blow port is increased so that the amount of air sucked from the blow port is increased. The air outlet is formed to be larger than that of the air blower, the air blower pipe connected to the blower outlet and the air blower pipe connected to the air outlet are connected to a blower, and the air is circulated by the blower to form an air curtain in the hood. Structures configured to form are known.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】前記従来の化学機器用
防塵フードの場合は、空気を循環させているので、加熱
炉付近などの高温部で使用すると非常に危険であり、か
つエアーカーテン1枚だけによる防塵であるので、エア
ーカーテンの外側の雰囲気圧力が増大した場合、エアー
カーテンが破られて粉塵がフード内に侵入する恐れがあ
る。また吸出能力を送風機だけに頼っているので、吹込
量が増大した場合、吸出量よりも吹込量が多くなること
が懸念される。さらに図7に示すように、吹込口の一端
部に送風管を接続しているので、吹込口の長さ方向の圧
力分布が大きく変化して乱流が発生し、そのためエアー
カーテンの能力を劣化させ、従って、従来の光学機器用
防塵フードの場合は、粉塵がフード内に侵入して光学機
器のガラス面に付着し、そのガラス面を曇らせるので、
誤操作を起こす危険性がある。
In the case of the above-mentioned conventional dustproof hood for chemical equipment, since air is circulated, it is extremely dangerous to use it in a high temperature part such as near a heating furnace, and one air curtain is used. Since it is dust-proof only by itself, if the atmospheric pressure on the outside of the air curtain increases, the air curtain may be broken and dust may enter the hood. Further, since the suction capacity depends only on the blower, there is a concern that when the blow rate increases, the blow rate becomes larger than the blow rate. Furthermore, as shown in FIG. 7, since the blower pipe is connected to one end of the blow-in port, the pressure distribution in the lengthwise direction of the blow-in port changes greatly and turbulence occurs, which deteriorates the performance of the air curtain. Therefore, in the case of the conventional dustproof hood for optical equipment, dust invades into the hood and adheres to the glass surface of the optical equipment, causing the glass surface to fog.
There is a risk of erroneous operation.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】本発明は、高温部で使用
しても安全性を確保できると共に、防塵フード内への粉
塵類の侵入を確実に防止するために、防塵フード10の
一側部に、不活性ガスによるガスカーテンを形成するた
めの大容量外管を有するカーテンパージノズル1を設け
ると共に、前記防塵フード10の他側部に設けた排出口
11に排出用ファン3を設け、前記排出口11と光学機
器9との間において防塵フード10にフード内圧上昇用
ノズル2を設ける。またカーテンパージノズル1から噴
射される不活性ガスの圧力を均一化するために、ブロワ
7の吐出管14をカーテンパージノズル1の両端に接続
し、かつ粉塵類が防塵フード10内に侵入するのを確実
に防止するために、防塵フード10内に仕切板4を設け
ると共に、排出口11の周囲にガス溜り部5を設ける。
According to the present invention, one side of the dustproof hood 10 is provided in order to ensure safety even when used in a high temperature part and to reliably prevent dust from entering the dustproof hood. 1 is provided with a curtain purge nozzle 1 having a large capacity outer tube for forming a gas curtain of an inert gas, and an exhaust fan 3 is provided at an exhaust port 11 provided on the other side of the dustproof hood 10. A nozzle 2 for raising the hood internal pressure is provided in the dustproof hood 10 between the discharge port 11 and the optical device 9. Further, in order to make the pressure of the inert gas injected from the curtain purge nozzle 1 uniform, the discharge pipe 14 of the blower 7 is connected to both ends of the curtain purge nozzle 1, and dusts enter the dustproof hood 10. In order to reliably prevent the above, the partition plate 4 is provided in the dustproof hood 10, and the gas reservoir 5 is provided around the discharge port 11.

【0005】[0005]

【実施例】図1は本発明の実施例に係る光学機器用防塵
フード内のガスカーテン式パージ装置を示し、図3およ
び図4はカーテンパージノズル1を示し、図5および図
6は内圧上昇用ノズル2を示すものである。工業用テレ
ビカメラからなる光学機器9に、レンズを囲む防塵フー
ド10の基端部が装着され、その防塵フード10の前方
の上部に、不活性ガスによるカーテンを形成するための
大容量外管20を有するカーテンパージノズル1が、左
右方向に延長するように配置されて固定され、前記防塵
フード10の前方の下部に、前記カーテンパージノズル
1に対向する位置において左右方向に延長する排出口1
1が設けられ、かつ防塵フード10の下部に、排出口1
1の全周を囲むガス溜り部5が設けられ、さらにそのガ
ス溜り部5における光学機器9の側の上縁部に、上方に
突出する仕切板4が固定され、また前記防塵フード10
の下部の基端部に、フード内圧上昇用ノズル2が固定さ
れている。
1 shows a gas curtain type purging device in a dustproof hood for an optical device according to an embodiment of the present invention, FIGS. 3 and 4 show a curtain purging nozzle 1, and FIGS. 5 and 6 show an increase in internal pressure. The nozzle 2 is shown. A base end of a dustproof hood 10 that surrounds the lens is attached to an optical device 9 composed of an industrial television camera, and a large-capacity outer tube 20 for forming a curtain of inert gas is provided on the front upper portion of the dustproof hood 10. A curtain purge nozzle 1 having the above is arranged and fixed so as to extend in the left-right direction, and a discharge port 1 extending in the left-right direction at a position facing the curtain purge nozzle 1 at a lower portion in front of the dustproof hood 10.
1 is provided, and at the bottom of the dustproof hood 10, a discharge port 1
1 is provided with a gas reservoir 5 surrounding the entire circumference thereof, and a partition plate 4 protruding upward is fixed to the upper edge of the gas reservoir 5 on the optical device 9 side.
A nozzle 2 for increasing the hood internal pressure is fixed to the lower base end of the.

【0006】前記排出口11内に複数の排出用ファン3
が配置され、ブロワ7の吸引管12は前記排出口11に
接続され、その吸引管12にフィルター8と流量指示調
節装置6とが設けられ、前記ブロワ7の吐出管13はフ
ード内圧上昇用ノズル2の両端部に接続され、前記吐出
管13におけるノズル2の両端に連結された部分に流量
指示調節装置16が設けられ、かつ前記ブロワ7の吐出
管14はカーテンパージノズル1の両端部に接続され、
さらに前記吐出管14におけるカーテンパージノズル1
の両端部に接続された部分に流量指示調節装置17が設
けられている。前記吐出管14に調節弁27を有する不
活性ガス供給口15が設けられ、この不活性ガス供給口
15から窒素ガス等の不活性ガスが供給される。また前
記防塵フード10の先端部は例えば加熱炉18の監視孔
に接続される。
A plurality of discharge fans 3 are provided in the discharge port 11.
, The suction pipe 12 of the blower 7 is connected to the discharge port 11, the suction pipe 12 is provided with a filter 8 and a flow rate indicator adjusting device 6, and the discharge pipe 13 of the blower 7 is a hood internal pressure increasing nozzle. 2 is connected to both ends of the discharge pipe 13, and a flow rate indicator adjusting device 16 is provided at a portion of the discharge pipe 13 connected to both ends of the nozzle 2. The discharge pipe 14 of the blower 7 is connected to both ends of the curtain purge nozzle 1. Is
Further, the curtain purge nozzle 1 in the discharge pipe 14
A flow rate indicator adjusting device 17 is provided at a portion connected to both ends of the. The discharge pipe 14 is provided with an inert gas supply port 15 having a control valve 27, and an inert gas such as nitrogen gas is supplied from the inert gas supply port 15. The tip of the dustproof hood 10 is connected to, for example, a monitoring hole of the heating furnace 18.

【0007】また、図2は本発明の実施例に係る炉内ガ
スを利用する光学機器用防塵フード内のガス循環カーテ
ン式パージ装置を示すものである。工業用テレビカメラ
からなる光学機器9に、レンズを囲む防塵フード10の
基端部が装着され、その防塵フード10の中間の上部
に、不活性ガスによるカーテンを形成するための大容量
外管20を有するカーテンパージノズル1が、左右方向
に延長するように配置されて固定され、前記防塵フード
10の中間の下部に、前記カーテンパージノズル1に対
向する位置において左右方向に延長する排出口11が設
けられ、かつ防塵フード10の下部に、排出口11の全
周を囲むガス溜り部5が設けられ、さらにそのガス溜り
部5における光学機器9の側の上縁部に、上方に突出す
る仕切板4が固定され、また前記防塵フード10の下部
の基端部に、フード内圧上昇用ノズル2が固定されてい
る。
FIG. 2 shows a gas circulation curtain type purging device in a dustproof hood for optical equipment which uses the gas in the furnace according to an embodiment of the present invention. A base end of a dustproof hood 10 that surrounds the lens is attached to an optical device 9 composed of an industrial television camera, and a large-capacity outer tube 20 for forming a curtain of an inert gas is provided in the upper middle part of the dustproof hood 10. The curtain purge nozzle 1 having the above is arranged and fixed so as to extend in the left-right direction, and a discharge port 11 extending in the left-right direction at a position facing the curtain purge nozzle 1 is provided at a lower portion in the middle of the dustproof hood 10. A gas reservoir 5 is provided below the dustproof hood 10 and surrounds the entire circumference of the discharge port 11, and a partition protruding upward is provided at the upper edge of the gas reservoir 5 on the optical device 9 side. The plate 4 is fixed, and the hood internal pressure increasing nozzle 2 is fixed to the lower base end of the dustproof hood 10.

【0008】前記排出口11内に複数の排出用ファン3
が配置され、ブロワ28の吸引管32は前記排出口11
に接続され、排出口11内のガスは、ブロワ28の吐出
管29を通り排出部31から加熱炉18内に戻される。
A plurality of discharge fans 3 are provided in the discharge port 11.
And the suction pipe 32 of the blower 28 is connected to the outlet 11
The gas in the discharge port 11 is returned to the heating furnace 18 from the discharge part 31 through the discharge pipe 29 of the blower 28.

【0009】さらにブロワ7の吸引管12は炉内ガス取
出部30に接続され、その吸引管12にフィルター8と
流量指示調節装置6とが設けられ、前記ブロワ7の吐出
管13はフード内圧上昇用ノズル2の両端部に接続さ
れ、前記吐出管13におけるノズル2の両端に連結され
た部分に流量指示調節装置16が設けられ、かつ前記ブ
ロワ7の吐出管14はカーテンパージノズル1の両端部
に接続され、さらに前記吐出管14におけるカーテンパ
ージノズル1の両端部に接続された部分に流量指示調節
装置17が設けられている。また前記防塵フード10の
先端部は、例えば加熱炉18の監視孔に接続される。
Further, the suction pipe 12 of the blower 7 is connected to the in-furnace gas take-out section 30, the suction pipe 12 is provided with a filter 8 and a flow rate indicator adjusting device 6, and the discharge pipe 13 of the blower 7 has an increased hood internal pressure. A flow rate indicator adjusting device 16 is provided at a portion of the discharge pipe 13 connected to both ends of the nozzle 2 and connected to both ends of the nozzle 2, and the discharge pipe 14 of the blower 7 is provided at both ends of the curtain purge nozzle 1. Further, a flow rate indicator adjusting device 17 is provided at a portion of the discharge pipe 14 connected to both ends of the curtain purge nozzle 1. The tip of the dustproof hood 10 is connected to, for example, a monitoring hole of the heating furnace 18.

【0010】図3および図4はカーテンパージノズル1
の構造を示すものであって、大容量外管20における底
板33に、側板34に沿って延長するスリットが設けら
れ、その側板34が延長されてフランジ21が形成さ
れ、前記底板33におけるスリットの縁部に沿って延長
する内壁板19は、大容量外管20内に配置されると共
に、大容量外管20の底板33および両側の端板35に
固定され、前記内壁板19が延長されて、前記フランジ
21に平行に配置されたフランジ36が形成され、小間
隔をおいて対向する一対のフランジ21,36の間に噴
射口22が設けられて、カーテンパージノズル1が構成
されている。
3 and 4 show a curtain purge nozzle 1
In the bottom plate 33 of the large-capacity outer tube 20, a slit extending along the side plate 34 is provided, the side plate 34 is extended to form the flange 21, and the slit of the bottom plate 33 is formed. The inner wall plate 19 extending along the edge portion is arranged in the large-capacity outer pipe 20, and is fixed to the bottom plate 33 and the end plates 35 on both sides of the large-capacity outer pipe 20, and the inner wall plate 19 is extended. A curtain 36 is formed by forming a flange 36 arranged in parallel with the flange 21 and providing an injection port 22 between a pair of flanges 21 and 36 facing each other with a small interval.

【0011】各フランジ21,36に、フランジ長手方
向に間隔をおいて配置された多数の噴射口巾調節用ビス
23が挿通され、噴射口22から噴射される不活性ガス
の圧力がカーテンパージノズル1の全長Lにわたってほ
ぼ均等になるように、かつ噴射口22から噴射されるガ
スの流量が噴射口22の全長にわたって一定になるよう
に、多数のビス23により各フランジ21,36の間隔
が調整される。また前記大容量外管20の両端の端板3
5に、開口部37が設けられると共に、前記吐出管14
が接続される。
A large number of injection port width adjusting screws 23, which are arranged at intervals in the longitudinal direction of the flange, are inserted into the respective flanges 21 and 36, and the pressure of the inert gas injected from the injection port 22 is changed to the curtain purge nozzle. The distance between the flanges 21 and 36 is adjusted by a large number of screws 23 so that the flow rate of the gas injected from the injection port 22 is uniform over the entire length L of the injection port 1 and is constant over the entire length of the injection port 22. To be done. In addition, the end plates 3 at both ends of the large capacity outer pipe 20.
5, an opening 37 is provided, and the discharge pipe 14 is provided.
Is connected.

【0012】図5および図6はフード内圧上昇用ノズル
2の構造を示すものであって、内管24と外管25とが
同心的に配置されて連結部材(図示を省略した)を介し
て連結され、かつ前記外管25における防塵フード内に
配置される部分には、外管長手方向に延長する多数の噴
射スリット26が設けられ、さらに前記内管24と外管
25との間に吐出管13が接続される。また図7に示す
ような圧力不均一分布を防止するために、カーテンパー
ジノズル1の両端に吐出管14が接続されると共に、前
記ノズル2の両端に吐出管13が接続され、内管24の
外径よりも吐出管13の内径が大きく設定される。
5 and 6 show the structure of the nozzle 2 for increasing the internal pressure of the hood, in which the inner pipe 24 and the outer pipe 25 are arranged concentrically and via a connecting member (not shown). A large number of injection slits 26 extending in the longitudinal direction of the outer pipe are provided in a portion of the outer pipe 25 that is connected and arranged in the dustproof hood, and further discharges between the inner pipe 24 and the outer pipe 25. The pipe 13 is connected. Further, in order to prevent the uneven pressure distribution as shown in FIG. 7, the discharge pipe 14 is connected to both ends of the curtain purge nozzle 1, the discharge pipe 13 is connected to both ends of the nozzle 2, and the inner pipe 24 is The inner diameter of the discharge pipe 13 is set to be larger than the outer diameter.

【0013】本発明の防塵フード内のガスカーテン式パ
ージ装置において、ブロワ7を運転すると共に、排出用
ファン3を回転させ、不活性ガス供給口15から不活性
ガスを補給すると、その不活性ガスがカーテンパージノ
ズル1から排出口11に向かって吹込まれて、防塵フー
ド10内に不活性ガスによるカーテンが形成され、かつ
ノズル2からも防塵フード10内に不活性ガスが吹込ま
れて、ガスカーテンの内側の圧力が高圧になるので、ガ
スカーテンの外側の雰囲気圧力が多少高くなっても、ガ
スカーテンが破られることはなく、そのため雰囲気圧力
が多少変化する悪い雰囲気の製鉄所や工場等で使用する
工業用テレビカメラに、前記ガスカーテン式パージ装置
を有する防塵フードを装着した場合は、雰囲気中の粉塵
や金属蒸気等が防塵フード10内に侵入するのを防止す
ることができる。
In the gas curtain type purging device in the dustproof hood of the present invention, when the blower 7 is operated, the exhaust fan 3 is rotated, and the inert gas is supplied from the inert gas supply port 15, the inert gas is discharged. Is blown from the curtain purge nozzle 1 toward the discharge port 11 to form a curtain of inert gas in the dustproof hood 10, and the inert gas is blown from the nozzle 2 into the dustproof hood 10 as well. Since the internal pressure of the gas becomes high, the gas curtain will not be broken even if the atmospheric pressure on the outside of the gas curtain becomes slightly higher, so it is used in steelworks or factories with bad atmosphere where the atmospheric pressure changes slightly. When a dustproof hood equipped with the gas curtain type purging device is attached to an industrial television camera, the dust and metal vapor in the atmosphere are protected. It can be prevented from entering the hood 10.

【0014】本発明の防塵フード内の炉内ガス循環カー
テン式パージ装置において、ブロワ7およびブロワ28
を運転すると共に、排出用ファン3を回転させ、炉内ガ
ス取出部30から炉内ガスを補給すると、その炉内ガス
がカーテンパージノズル1から排出口11に向かって吹
込まれて、防塵ファン10内に炉内ガスによるカーテン
が形成され、かつノズル2からも防塵フード10内に炉
内ガスが吹込まれて、ガスカーテンの内側の圧力が高圧
になるので、ガスカーテンの外側の雰囲気圧力が多少高
くなっても、ガスカーテンが破られることはなく、その
ため雰囲気圧力が多少変化する悪い雰囲気の製鉄所や工
場等で使用する工業テレビカメラに、前記ガスカーテン
式パージ装置を有する防塵フードを装着した場合は、雰
囲気中の粉塵や金属蒸気等が防塵フード10内に侵入す
るのを防止することができる。
In the purging device for circulating gas in the furnace in the dustproof hood of the present invention, the blower 7 and the blower 28 are used.
When the exhaust fan 3 is rotated and the in-furnace gas is replenished from the in-furnace gas extraction part 30, the in-furnace gas is blown from the curtain purge nozzle 1 toward the exhaust port 11, and the dustproof fan 10 Since the curtain is formed inside by the gas inside the furnace, and the gas inside the furnace is blown into the dustproof hood 10 from the nozzle 2 as well, the pressure inside the gas curtain becomes high, so that the atmospheric pressure outside the gas curtain is somewhat increased. Even if it gets higher, the gas curtain will not be broken, so the atmospheric pressure will change somewhat, and the dustproof hood with the gas curtain type purge device is attached to the industrial TV camera used in a steel mill or factory where the atmosphere is bad. In this case, it is possible to prevent dust and metal vapor in the atmosphere from entering the dustproof hood 10.

【0015】万一、粉塵がガスカーテンを通過して光学
機器9側に侵入しようとしても、その侵入は仕切板4お
よびノズル2から噴射される不活性ガスにより阻止され
る。また排出口11に侵入した粉塵は、排出用ファン3
およびブロワ7(図2においてはブロワ28)の吸引力
によりブロワ7(図2においてはブロワ28)に向かっ
て移送され、フィルター8により濾過されるので、カー
テンパージノズル1から清浄な不活性ガスが噴射され
る。
Even if dust passes through the gas curtain and enters the optical device 9, the invasion is blocked by the inert gas ejected from the partition plate 4 and the nozzle 2. Also, the dust that has entered the discharge port 11 will not be discharged by the discharge fan 3
Further, the suction force of the blower 7 (in FIG. 2, blower 28) transfers the blower 7 toward the blower 7 (in FIG. 2, blower 28) and the filter 8 filters the clean inert gas from the curtain purge nozzle 1. Is jetted.

【0016】また安全のために設けられたガス溜り部5
は、ある程度の吹込ガス量を蓄積することができ、さら
に流量指示調節装置6,16,17によって流量バラン
スを目視確認することができる。さらにまた、前記排出
口11に設けた排出用ファン3により防塵フード10内
のガスが強制的に排出されるので、吹込量が排出量を上
回ることはない。
Further, a gas reservoir 5 provided for safety
Is capable of accumulating a certain amount of blown gas, and the flow rate balance can be visually confirmed by the flow rate control devices 6, 16 and 17. Furthermore, since the gas in the dustproof hood 10 is forcibly discharged by the discharge fan 3 provided at the discharge port 11, the blown amount does not exceed the discharged amount.

【0017】本発明のエアーカーテン式パージ装置にお
いては、不活性ガスを循環させるので、加熱炉等の高温
部にも設置することができ、そのため製鉄所や化学工場
などでの使用に効果がある。
In the air curtain type purging apparatus of the present invention, since the inert gas is circulated, it can be installed in a high temperature part such as a heating furnace, which is effective for use in a steel mill or a chemical factory. .

【0018】[0018]

【発明の効果】本発明によれば、不活性ガスまたは炉内
ガスを、大容量外管を有するカーテンパージノズル1か
ら噴射してガスカーテンを形成するので、防塵フード1
0を装着した光学機器9を高温部で使用しても安全であ
り、かつカーテンパージノズル1に対向する排出口11
に排出用ファン3を設けると共に、排出口11と光学機
器9との間において防塵フード10にフード内圧上昇用
ノズル2を設けたので、外部雰囲気圧力に対して強いガ
スカーテンを形成することができ、そのため防塵フード
10内への粉塵類の侵入を有効に防止することができ
る。またブロワ7の吐出管14をカーテンパージノズル
1の両端に接続することにより、カーテンパージノズル
1から噴射される不活性ガスの圧力分布を従来の防塵ノ
ズルにおける吹込口から噴射される空気圧力分布に比べ
て均一化することができ、かつ排出口11の光学機器側
に仕切板4を設けると共に、排出口11の周囲にガス溜
り部5を設けることにより、防塵フード10内への粉塵
類の侵入を確実に防止することができる。また、炉内ガ
ス循環によるガスカーテン式パージ装置の場合は、不活
性ガスの供給が不要であるので、経済的に有利である。
According to the present invention, since the inert gas or the in-furnace gas is injected from the curtain purge nozzle 1 having a large-capacity outer tube to form a gas curtain, the dustproof hood 1
It is safe to use the optical device 9 equipped with 0 in a high temperature part, and the discharge port 11 facing the curtain purge nozzle 1
Since the exhaust fan 3 is provided in the above, and the hood internal pressure increasing nozzle 2 is provided in the dustproof hood 10 between the exhaust port 11 and the optical device 9, it is possible to form a gas curtain that is strong against the external atmospheric pressure. Therefore, it is possible to effectively prevent dust from entering the dustproof hood 10. Further, by connecting the discharge pipe 14 of the blower 7 to both ends of the curtain purge nozzle 1, the pressure distribution of the inert gas injected from the curtain purge nozzle 1 is changed to the air pressure distribution injected from the blowing port of the conventional dustproof nozzle. In comparison, the partition plate 4 is provided on the optical device side of the discharge port 11 and the gas reservoir 5 is provided around the discharge port 11 so that dust can enter the dustproof hood 10. Can be reliably prevented. Further, in the case of the gas curtain type purging device by circulating the gas in the furnace, the supply of the inert gas is unnecessary, which is economically advantageous.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】光学機器用防塵フード内のガスカーテン式パー
ジ装置の縦断側面図である。
FIG. 1 is a vertical sectional side view of a gas curtain type purging device in a dustproof hood for an optical device.

【図2】炉内ガス循環によるガスカーテン式パージ装置
の縦断側面図である。
FIG. 2 is a vertical cross-sectional side view of a gas curtain type purging device by circulating gas in a furnace.

【図3】カーテンパージノズルの斜視図である。FIG. 3 is a perspective view of a curtain purge nozzle.

【図4】カーテンパージノズルの断面図である。FIG. 4 is a sectional view of a curtain purge nozzle.

【図5】フード内圧上昇用ノズルの斜視図である。FIG. 5 is a perspective view of a nozzle for increasing the internal pressure of the hood.

【図6】フード内圧上昇用ノズルの断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view of a hood internal pressure increasing nozzle.

【図7】従来の防塵フードにおける吹込口の圧力分布を
示す図である。
FIG. 7 is a diagram showing a pressure distribution of a blow-in port in a conventional dustproof hood.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 カーテンパージノズル 2 フード内圧上昇用ノズル 3 排出用ファン 4 仕切板 5 ガス溜り部 6 流量指示調節装置 7 ブロワ 8 フィルター 9 光学機器 10 防塵フード 11 排出口 12 吸引管 13 吐出管 14 吐出管 15 不活性ガス供給口 16 流量指示調節装置 17 流量指示調節装置 18 加熱炉 19 内壁板 20 大容量外管 21 フランジ 22 噴射口 23 噴射口巾調節用ビス 24 内管 25 外管 26 噴射スリット 27 調節弁 28 ブロワ 29 吐出管 30 炉内ガス取出部 31 炉内ガス排出部 32 吸引管 33 底板 34 側板 35 端板 36 フランジ 37 開口部 1 Curtain Purge Nozzle 2 Nozzle for Raising Inner Pressure of Hood 3 Discharge Fan 4 Partition Plate 5 Gas Reservoir 6 Flow Rate Control Device 7 Blower 8 Filter 9 Optical Equipment 10 Dustproof Hood 11 Discharge Port 12 Suction Pipe 13 Discharge Pipe 14 Discharge Pipe 15 No Active gas supply port 16 Flow rate control device 17 Flow rate control device 18 Heating furnace 19 Inner wall plate 20 Large capacity outer pipe 21 Flange 22 Injection port 23 Injection port width adjusting screw 24 Inner pipe 25 Outer pipe 26 Injection slit 27 Control valve 28 Blower 29 Discharge pipe 30 In-furnace gas extraction part 31 In-furnace gas discharge part 32 Suction pipe 33 Bottom plate 34 Side plate 35 End plate 36 Flange 37 Opening

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 光学機器9の前部に装着された防塵フー
ド10の一側部に、不活性ガスによるガスカーテンを形
成するための大容量外管を有するカーテンパージノズル
1が設けられ、前記防塵フード10の他側部に、カーテ
ンパージノズル1に対向する位置において排出口11が
設けられると共に、その排出口11内に排出用ファン3
が設けられ、前記排出口11と光学機器9との間にフー
ド内圧上昇用ノズル2が設けられ、ブロワ7の吸引管1
2が前記排出口11に接続され、ブロワ7の吐出管13
が前記ノズル2に接続され、ブロワ7の吐出管14が前
記カーテンパージノズル1の両端部に接続され、ブロワ
7の吸引管12または吐出管に不活性ガス供給口15が
設けられている光学機器用防塵フード内のガスカーテン
式パージ装置。
1. A curtain purge nozzle 1 having a large-capacity outer tube for forming a gas curtain of an inert gas is provided on one side of a dustproof hood 10 mounted on a front part of an optical device 9, A discharge port 11 is provided on the other side of the dustproof hood 10 at a position facing the curtain purge nozzle 1, and a discharge fan 3 is provided in the discharge port 11.
Is provided, a nozzle 2 for increasing the internal hood pressure is provided between the discharge port 11 and the optical device 9, and the suction pipe 1 of the blower 7 is provided.
2 is connected to the discharge port 11, and the discharge pipe 13 of the blower 7
Is connected to the nozzle 2, the discharge pipe 14 of the blower 7 is connected to both ends of the curtain purge nozzle 1, and the suction pipe 12 or the discharge pipe of the blower 7 is provided with an inert gas supply port 15. Gas curtain type purging device inside the dustproof hood.
【請求項2】 光学機器9の前部に装着された防塵フー
ド10の一側部に、不活性ガスによるガスカーテンを形
成するための大容量外管を有するカーテンパージノズル
1が設けられ、前記防塵フード10の他側部に、カーテ
ンパージノズル1に対向する位置において、排出口11
とガス溜り部5と排出用ファン3とが設けられ、ガス溜
り部5と光学機器9との間に仕切板4が設けられ、その
仕切板4と光学機器9との間に、フード内圧上昇用ノズ
ル2が設けられ、ブロワ7の吸引管12が前記排出口1
1に接続され、ブロワ7の吐出管13が前記ノズル2に
接続され、ブロワ7の吐出管14が前記カーテンパージ
ノズル1に接続され、ブロワ7の吸引管12または吐出
管に不活性ガス供給口15が設けられている光学機器用
防塵フード内のガスカーテン式パージ装置。
2. A curtain purge nozzle 1 having a large-capacity outer tube for forming a gas curtain of an inert gas is provided on one side of a dustproof hood 10 mounted on a front part of an optical device 9, On the other side of the dustproof hood 10, at the position facing the curtain purge nozzle 1, the discharge port 11
A gas reservoir 5 and an exhaust fan 3 are provided, a partition plate 4 is provided between the gas reservoir 5 and the optical device 9, and a pressure inside the hood increases between the partition plate 4 and the optical device 9. Nozzle 2 is provided, and the suction pipe 12 of the blower 7 is connected to the discharge port 1
1, the discharge pipe 13 of the blower 7 is connected to the nozzle 2, the discharge pipe 14 of the blower 7 is connected to the curtain purge nozzle 1, and the suction pipe 12 or the discharge pipe of the blower 7 is supplied with an inert gas supply port. 15. A gas curtain type purging device in a dustproof hood for optical equipment provided with 15.
【請求項3】 炉内ガス循環カーテン式パージ装置にお
いて、光学機器9の前部に装着された防塵フード10の
一側部に、不活性ガスによるガスカーテンを形成するた
めの大容量外管を有するカーテンパージノズル1が設け
られ、前記防塵フード10の他側部に、カーテンパージ
ノズル1に対向する位置において排出口11が設けられ
ると共に、その排出口11内に排出用ファン3が設けら
れ、前記排出口11と光学機器9との間にフード内圧上
昇用ノズル2が設けられ、ブロワ7の吸引管12が炉内
ガス取出部30に接続され、ブロワ7の吐出管13が前
記ノズル2に接続され、ブロワ7の吐出管14が前記カ
ーテンパージノズル1の両端部に接続されている光学機
器用防塵フード内の炉内ガス循環カーテン式パージ装
置。
3. In the in-furnace gas circulation curtain type purging device, a large-capacity outer tube for forming a gas curtain of an inert gas is provided on one side of the dustproof hood 10 mounted on the front part of the optical device 9. A curtain purge nozzle 1 is provided, a discharge port 11 is provided on the other side of the dustproof hood 10 at a position facing the curtain purge nozzle 1, and a discharge fan 3 is provided in the discharge port 11. A nozzle 2 for increasing the pressure inside the hood is provided between the discharge port 11 and the optical device 9, the suction pipe 12 of the blower 7 is connected to the in-furnace gas extraction unit 30, and the discharge pipe 13 of the blower 7 is connected to the nozzle 2. A furnace gas circulation curtain type purging device in a dustproof hood for optical equipment, which is connected and discharge pipes 14 of the blower 7 are connected to both ends of the curtain purging nozzle 1.
【請求項4】 炉内ガス循環カーテン式パージ装置にお
いて、光学機器9の前部に装着された防塵フード10の
一側部に、炉内ガスによるガスカーテンを形成するため
の大容量外管を有するカーテンパージノズル1が設けら
れ、前記防塵フード10の他側部に、カーテンパージノ
ズル1に対向する位置において、排出口11とガス溜り
部5と排出用ファン3とが設けられ、ガス溜り部5と光
学機器9との間に仕切板4が設けられ、その仕切板4と
光学機器9との間にフード内圧上昇用ノズル2が設けら
れ、ブロワ7の吸引管12が炉内ガス取出口30に接続
され、ブロワ7の吐出管13が前記ノズル2に接続さ
れ、ブロワ7の吐出管14が前記カーテンパージノズル
1に接続されている光学機器用防塵フード内の炉内ガス
循環カーテン式パージ装置。
4. In the furnace gas circulation curtain type purging device, a large-capacity outer tube for forming a gas curtain by the furnace gas is provided on one side of the dustproof hood 10 mounted on the front part of the optical device 9. The curtain purge nozzle 1 is provided, and the other side portion of the dustproof hood 10 is provided with an exhaust port 11, a gas reservoir 5, and an exhaust fan 3 at a position facing the curtain purge nozzle 1, and a gas reservoir. 5 and an optical device 9 are provided with a partition plate 4, a partition plate 4 and the optical device 9 are provided with a nozzle 2 for increasing the internal pressure of the hood, and the suction pipe 12 of the blower 7 is connected to the gas outlet of the furnace. 30, the discharge pipe 13 of the blower 7 is connected to the nozzle 2, and the discharge pipe 14 of the blower 7 is connected to the curtain purge nozzle 1. apparatus.
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