JP2546431B2 - Film carrier tape - Google Patents

Film carrier tape

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JP2546431B2
JP2546431B2 JP2291584A JP29158490A JP2546431B2 JP 2546431 B2 JP2546431 B2 JP 2546431B2 JP 2291584 A JP2291584 A JP 2291584A JP 29158490 A JP29158490 A JP 29158490A JP 2546431 B2 JP2546431 B2 JP 2546431B2
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resin
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film carrier
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明 吉開
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Nippon Electric Co Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、フィルムキャリアテープに関し、特に半導
体装置の製造用に用いるフィルムキャリアテープに関す
る。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to a film carrier tape, and more particularly to a film carrier tape used for manufacturing a semiconductor device.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

従来、この種のフィルムキャリアテープは第6図に示
す様に搬送及び位置決め用のスプロケットホール2、半
導体チップ11が入るためのデバイスホール5及びアウタ
ーリード8下のアウターリードホール6を有するポリイ
ミド等の絶縁フィルム1上に銅等の金属箔を接着し、金
属箔をエッチング等により所望の形状のインナーリード
3、アウターリード8、及び電気選別用パッド4が形成
されているものである。
Conventionally, a film carrier tape of this kind is made of polyimide or the like having a sprocket hole 2 for carrying and positioning, a device hole 5 for inserting a semiconductor chip 11 and an outer lead hole 6 under an outer lead 8 as shown in FIG. A metal foil such as copper is adhered onto the insulating film 1, and the metal foil is etched to form the inner lead 3, the outer lead 8 and the electrical selection pad 4 having a desired shape.

このフィルムキャリアテープを用いた半導体装置の製
造方法は、第7図(a),(b)に示すように、あらか
じめ電極端子上に金属突起物であるバンプ12を設けた半
導体チップ11を準備し、次にフィルムキャリアテープ上
のインナーリード3と半導体チップ11上のバンプ12とを
位置合わせし、熱圧着法又は共晶法等によりインナーリ
ードボンディングし、フィルムキャリアテープの状態で
電気選別用パッド4に接触子を接触させて電気選別やバ
イアス試験を実施する。ここで絶縁フィルム1の枠であ
るサスペンダー7はインナーリード3及びアウターリー
ド8の変形防止として機能する。又、樹脂13をポッティ
ングして樹脂封止を行ない信頼性を向上させ機械的に保
護することが一般的に行なわれている。その後アウター
リード8を所望の長さに切断し、次いで第9図に示す様
に、例えばプリント基板15上に接着剤16により固定後、
アウターリード8をプリント基板10上のボンディングパ
ッド17にアウターリードボンディングされる。これらの
フィルムキャリアテープを用いた半導体装置はボンディ
ングがリード数と無関係に一度で可能であるため、スピ
ードが速いことスプロケットホールを用いた搬送,位置
決めが可能でしかもリール状での使用が可能なため作業
の自動化が容易であることをさらに薄い絶縁フィルム及
び金属箔を用いるため非常に薄く、小型でありしかも軽
量の半導体装置が提供できる等の利点を有している。
As shown in FIGS. 7 (a) and 7 (b), a semiconductor device manufacturing method using this film carrier tape prepares a semiconductor chip 11 in which bumps 12 which are metal projections are provided on electrode terminals in advance. Then, the inner leads 3 on the film carrier tape and the bumps 12 on the semiconductor chip 11 are aligned, and inner leads are bonded by a thermocompression bonding method or a eutectic method, and the electrical selection pad 4 in the state of the film carrier tape. Conduct electrical selection and bias test by contacting the contactor with. Here, the suspender 7, which is the frame of the insulating film 1, functions to prevent deformation of the inner leads 3 and the outer leads 8. It is generally practiced to pot the resin 13 to seal the resin to improve reliability and mechanically protect it. After that, the outer lead 8 is cut into a desired length, and then, as shown in FIG.
The outer lead 8 is outer lead bonded to the bonding pad 17 on the printed circuit board 10. Since semiconductor devices using these film carrier tapes can be bonded at one time regardless of the number of leads, the speed is fast, and they can be transported and positioned using sprocket holes and can be used in reel form. It has the advantage that it is easy to automate the work and that a thin insulating film and a metal foil are used, so that a very thin, small and lightweight semiconductor device can be provided.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problems to be Solved by the Invention]

上述した従来のフィルムキャリアテープは、信頼性向
上及び機械的保護のために行なう樹脂によるポッティン
グを行なう際、アウターリードホールが存在している部
分では第7図(a)の様にサスペンダーの端部で樹脂が
表面張力によりそれ以上、即ちアウターリードホール内
に流出することはないがアウターリードホールが存在し
ない部分即ちタイバー9の部分では第7図(b)の様に
樹脂がタイバー9上に流出するため半導体チップ上にポ
ッティングされた封止樹脂13の膜厚が不安定となる。
又、プリント基板等に実装するためにタイバーを切断す
る際タイバー9上に流出した封止樹脂13によりタイバー
9の絶縁フィルム1の実質的な膜厚が厚くなり、又この
封止樹脂13は通常、硬いために切断金型の摩耗が早く、
場合によっては破損に至るという欠点がある。これを防
止するため第8図の様にサスペンダー7上の樹脂封止を
行なう領域の外側にあらかじめ、スクリーン印刷等の方
法によりソルダーレジスト14を塗布しておき、これを樹
脂止めとして利用する方法があるが、この場合スクリー
ン印刷を行なう工程でマスク等によるインナーリード3
又はアウターリード8を変形させてしまうことがあるた
めフィルムキャリアテープ製造歩留が低下する。又、ソ
ルダーレジスト14中の不純物イオンにより信頼性に悪影
響を与えるという欠点があった。
In the conventional film carrier tape described above, when potting with a resin for improving reliability and mechanical protection is performed, the portion where the outer lead hole exists has the end portion of the suspender as shown in FIG. 7 (a). Therefore, the resin does not flow out further due to the surface tension, that is, it does not flow into the outer lead hole, but in the portion where the outer lead hole does not exist, that is, the portion of the tie bar 9, the resin flows out onto the tie bar 9 as shown in FIG. 7 (b). Therefore, the film thickness of the sealing resin 13 potted on the semiconductor chip becomes unstable.
Further, when the tie bar is cut for mounting on a printed circuit board or the like, the sealing resin 13 that has flowed out onto the tie bar 9 increases the substantial film thickness of the insulating film 1 of the tie bar 9. , The cutting die wears quickly because it is hard,
In some cases, it has the drawback of leading to damage. In order to prevent this, as shown in FIG. 8, there is a method in which a solder resist 14 is applied to the outside of the region of the suspender 7 to be sealed with resin by a method such as screen printing in advance, and this is used as a resin stopper. However, in this case, the inner leads 3 made of a mask or the like are used in the screen printing process.
Or, since the outer leads 8 may be deformed, the production yield of the film carrier tape is reduced. Further, there is a drawback that the impurity ions in the solder resist 14 adversely affect the reliability.

本発明はかかる問題に鑑みてなされたものであり、樹
脂の膜厚が安定し、タイバーの切断金型の寿命を短かく
することのないフィルムキャリアテープをコストの増大
なく提供しようとするものである。
The present invention has been made in view of the above problems, and is intended to provide a film carrier tape in which the film thickness of the resin is stable and does not shorten the life of the cutting die of the tie bar without increasing the cost. is there.

〔課題を解決するための手段〕[Means for solving the problem]

本発明のフィルムキャリアテープは、搬送及び位置決
め用スプロケットホールと、半導体チップが入るための
デバイスホール及び外部との電気的接続を行なうための
アウターリードが設けられるアウターリードホールとを
少なくとも有する絶縁フィルム上に金属により形成され
たリードと該リードに接続された電気選別用パッドを少
なくとも有し、さらに前記デバイスホールと前記アウタ
ーリードホールの間に存在する前記絶縁フィルムの枠で
あるサスペンダーと該サスペンダーの支えであるタイバ
ーを有するフィルムキャリアテープに於て、前記タイバ
ー付近の前記サスペンダー上にのみ、前記デバイスホー
ル寄りの部分を避けて前記金属により形成されたポッテ
ィング時の樹脂止めブロックを備えている。
The film carrier tape of the present invention is an insulating film having at least a sprocket hole for carrying and positioning, a device hole into which a semiconductor chip is inserted, and an outer lead hole provided with an outer lead for electrically connecting to the outside. A lead formed of metal and at least an electric selection pad connected to the lead, and a suspender which is a frame of the insulating film existing between the device hole and the outer lead hole and a support for the suspender. In the film carrier tape having the tie bar, the resin stopper block formed by the metal for avoiding the portion near the device hole is provided only on the suspender near the tie bar.

〔実施例〕〔Example〕

次に本発明について図面を参照して説明する。 Next, the present invention will be described with reference to the drawings.

第1図は本発明の第1の実施例を示すフィルムキャリ
アテープの平面図である。
FIG. 1 is a plan view of a film carrier tape showing a first embodiment of the present invention.

本実施例ではスプロケットホール2のデバイスホール
5及びアウターリードホール6を有する絶縁フィルム1
上に従来例同様のインナーリード3、アウターリード8
及び電気選別用パッド4以外にサスペンダー7の各コー
ナー部のタイバー9付近4ケ所に矩形の樹脂止めブロッ
ク10(アウターリード8と同じ程度の幅の金属片)が設
けられている。この樹脂止めブロック10を設けたフィル
ムキャリアテープとバンプ12を設けた半導体チップ11と
をインナーリードボンディングした後、樹脂でポッティ
ングした場合、第2図に示す様に封止樹脂13は樹脂止め
ブロック10により、タイバーへ流れることができず半導
体チップ上の膜厚を所望の厚さに保つことが可能とな
る。例えば、サスペンダー幅0.5mm,タイバー幅0.75mm,
タイバー長1.7mmのフィルムキャリアテープにて実験を
行なったところ樹脂止めブロック10のないものでは約80
%のものがタイバー全体に樹脂が流出したが樹脂止めブ
ロック10を設けた場合、タイバーに流出するものがほと
んどなく、サスペンダー幅が狭いものでは若干流出する
がその場合も流出量は樹脂止めブロックのないものに比
べ非常に少なくなるため封止樹脂13の膜厚も樹脂止めブ
ロックがない場合に比べ安定した。その後、タイバー9
及びアウターリード8を切断(第3図)し、従来例同様
第9図に示す様に実装を行なうが、この実装前のタイバ
ー9の切断時に封止樹脂13の流出が従来に比べ非常に少
ないため金型を著しく劣化させることがない。又、樹脂
止めブロックはインナーリード3及びアウターリード8
等のパターンと同時に形成することが可能であるためコ
ストの増大はない。
In this embodiment, the insulating film 1 having the device hole 5 of the sprocket hole 2 and the outer lead hole 6
Inner lead 3 and outer lead 8 similar to the conventional example
In addition to the electrical selection pad 4, rectangular resin stopper blocks 10 (metal pieces having the same width as the outer leads 8) are provided at four locations near the tie bar 9 at each corner of the suspender 7. When the film carrier tape provided with the resin stopper block 10 and the semiconductor chip 11 provided with the bump 12 are inner lead bonded and then potted with resin, the sealing resin 13 is sealed with the resin stopper block 10 as shown in FIG. As a result, the film cannot flow to the tie bar and the film thickness on the semiconductor chip can be maintained at a desired value. For example, suspender width 0.5mm, tie bar width 0.75mm,
An experiment was conducted using a film carrier tape with a tie bar length of 1.7 mm.
% Of the resin leaked to the entire tie bar, but when the resin stop block 10 was provided, there was almost no resin that flowed out to the tie bar, and when the suspender width was narrow, there was a slight outflow. The film thickness of the sealing resin 13 was more stable than that without the resin stopper block because it was much smaller than that without the resin block. Then tie bar 9
Also, the outer leads 8 are cut (Fig. 3) and mounted as shown in Fig. 9 as in the conventional example, but the sealing resin 13 is much less outflow than before when the tie bar 9 before mounting is cut. Therefore, the mold is not significantly deteriorated. In addition, the resin stop block has inner leads 3 and outer leads 8
Since it can be formed at the same time as the pattern such as, the cost does not increase.

第4図及び第5図はそれぞれ本発明の第2及び第3の
実施例を示す平面図である。尚、図はタイバー付近のみ
を示したものである。
FIGS. 4 and 5 are plan views showing the second and third embodiments of the present invention, respectively. The figure shows only the vicinity of the tie bar.

第1の実施例では1本の矩形片であった樹脂止めブロ
ックをより効果を増すため、複数本にしたものである。
又、第5図の第3の実施例では円弧状としたものであ
る。樹脂止めブロックは隣接するリード又は、サスペン
ダー7の端部に接触して設けることができないため、樹
脂止めブロックとリード及びサスペンダー端部にすき間
があること、樹脂の粘度によっては1本では止めること
が難かしい場合等にこれらの実施例のように、ブロック
を2重,3重に設けることにより確実に樹脂を止めること
ができる。この様に樹脂止めブロックの形状や数につい
ては実施例のものに限定されるわけではないことは言う
までもない。
In the first embodiment, a plurality of resin stopper blocks, which are one rectangular piece, are used in order to enhance the effect.
The third embodiment shown in FIG. 5 has an arc shape. Since the resin stop block cannot be provided in contact with the adjacent lead or the end of the suspender 7, there is a gap between the resin stop block and the end of the lead and the suspender. In the case where it is difficult, the resin can be surely stopped by providing the blocks in double or triple as in these examples. It goes without saying that the shape and number of the resin stopping blocks are not limited to those in the embodiment.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

以上説明したように本発明は、絶縁フィルム上の金属
箔をエッチング加工等によりインナーリード、アウター
リードおよび電気選別用パッドを形成する際、同時に樹
脂止めブロックをタイバー付近のサスペンダー上に設け
ることによりリード切断に使用する金型の寿命を短かく
することがなく、又封止樹脂の膜厚が安定したフィルム
キャリアテープを使用した半導体装置の製造をコストを
増大させることなく提供できる効果がある。
INDUSTRIAL APPLICABILITY As described above, according to the present invention, when the inner lead, the outer lead and the electric selection pad are formed by etching the metal foil on the insulating film, the resin stopper block is provided on the suspender near the tie bar at the same time. There is an effect that the life of the die used for cutting is not shortened, and the manufacturing of a semiconductor device using a film carrier tape in which the film thickness of the sealing resin is stable can be provided without increasing the cost.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は本発明の第1の実施例を示す平面図、第2図は
第1の実施例による半導体装置の製造工程の説明に使用
する断面図、第3図は第1の実施例を使用した半導体装
置の平面図、第4図および第5図はそれぞれ本発明の第
2及び第3の実施例を示す平面図、第6図は従来例を示
す平面図、第7図〜第9図は従来例を使用した半導体装
置の製造方法を説明するための断面図であり、第7図
(a),(b)はそれぞれ第6図のA−A線相当部,B−
B線相当部の断面図である。 1…絶縁フィルム、2…スプロケットホール、3…イン
ナーリード、4…電気選別用パッド、5…デバイスホー
ル、6…アウターリドホール、7…サスペンダー、8…
アウターリード、9…タイバー、10…樹脂止めブロッ
ク、11…半導体チップ、12…バンプ、13…封止樹脂、14
…ソルダーレジスト、15…プリント基板、16…接着剤、
17…ボンディングパッド。
FIG. 1 is a plan view showing a first embodiment of the present invention, FIG. 2 is a sectional view used for explaining a manufacturing process of a semiconductor device according to the first embodiment, and FIG. 3 is a first embodiment. A plan view of the semiconductor device used, FIGS. 4 and 5 are plan views showing second and third embodiments of the present invention, respectively. FIG. 6 is a plan view showing a conventional example, and FIGS. FIGS. 7A and 7B are sectional views for explaining a method of manufacturing a semiconductor device using a conventional example, and FIGS. 7A and 7B are views corresponding to line AA and line B-A in FIG. 6, respectively.
It is sectional drawing of a B line equivalent part. 1 ... Insulating film, 2 ... Sprocket hole, 3 ... Inner lead, 4 ... Electrical selection pad, 5 ... Device hole, 6 ... Outer lid hole, 7 ... Suspender, 8 ...
Outer leads, 9 ... Tie bar, 10 ... Resin stop block, 11 ... Semiconductor chip, 12 ... Bump, 13 ... Sealing resin, 14
… Solder resist, 15… Printed circuit board, 16… Adhesive,
17 ... Bonding pad.

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】搬送及び位置決め用スプロケットホール
と、半導体チップが入るためのデバイスホール及び外部
との電気的接続を行なうためのアウターリードが設けら
れるアウターリードホールとを少なくとも有する絶縁フ
ィルム上に金属により形成されたリードと該リードに接
続された電気選別用パッドを少なくとも有し、さらに前
記デバイスホールと前記アウターリードホールの間に存
在する前記絶縁フィルムの枠であるサスペンダーと該サ
スペンダーの支えであるタイバーを有するフィルムキャ
リアテープに於て、前記タイバー付近の前記サスペンダ
ー上にのみ前記デバイスホール寄りの部分を避けて前記
金属により形成されたポッティング時の樹脂止めブロッ
クを備えたことを特徴とするフィルムキャリアテープ。
1. A metal on an insulating film having at least a sprocket hole for carrying and positioning, a device hole into which a semiconductor chip is inserted, and an outer lead hole provided with an outer lead for electrically connecting to the outside by metal. A suspender that is a frame of the insulating film and has a tie bar that is a support for the suspender and that has at least the formed lead and an electric selection pad connected to the lead and that is present between the device hole and the outer lead hole. A film carrier tape having: a film carrier tape provided with a resin stopper block at the time of potting formed of the metal, avoiding a portion near the device hole only on the suspender near the tie bar. .
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