JP2541550B2 - 光磁気記録媒体 - Google Patents
光磁気記録媒体Info
- Publication number
- JP2541550B2 JP2541550B2 JP62105486A JP10548687A JP2541550B2 JP 2541550 B2 JP2541550 B2 JP 2541550B2 JP 62105486 A JP62105486 A JP 62105486A JP 10548687 A JP10548687 A JP 10548687A JP 2541550 B2 JP2541550 B2 JP 2541550B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- magneto
- recording medium
- optical recording
- single crystal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Description
【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 本発明は磁性膜がガーネット単結晶膜からなる微小面
積部分からなる光磁気記録媒体に関する。
積部分からなる光磁気記録媒体に関する。
近年、半導体レーザ光により磁気記録を行なう光磁気
記録媒体が高密度記録用として種々研究されている。従
来、これら光磁気記録媒体としては遷移金属と希土類金
属との合金からなるアモルファス磁性合金膜、例えばTb
Fe、GdCo、GdTbFe、TbFeCo等が盛んに研究されている。
これらアモルファス磁性合金膜は垂直磁気異方性を示
し、高密度記録が可能であり、保磁力Hcが高く、しかも
キュリー温度Tcは低く光磁気メモリ材料には適している
ものの、磁気光学効果が小さく、従ってC/N比が満足で
きるものではなく、酸化しやすく安定性も良くない等の
問題点を有するものであった。
記録媒体が高密度記録用として種々研究されている。従
来、これら光磁気記録媒体としては遷移金属と希土類金
属との合金からなるアモルファス磁性合金膜、例えばTb
Fe、GdCo、GdTbFe、TbFeCo等が盛んに研究されている。
これらアモルファス磁性合金膜は垂直磁気異方性を示
し、高密度記録が可能であり、保磁力Hcが高く、しかも
キュリー温度Tcは低く光磁気メモリ材料には適している
ものの、磁気光学効果が小さく、従ってC/N比が満足で
きるものではなく、酸化しやすく安定性も良くない等の
問題点を有するものであった。
本発明は上記の如き問題点を改善し、記録感度が高
く、再生特性に優れ、安定な光磁気記録媒体を提供する
ことを目的とするものである。
く、再生特性に優れ、安定な光磁気記録媒体を提供する
ことを目的とするものである。
本発明の光磁気記録媒体は、基板上の磁性膜が、ガー
ネット単結晶膜からなる１辺１μｍ〜５μｍの四角形も
しくは直径１μｍ〜５μｍの円形の微小面積部分を１μ
ｍ〜５μｍの間隔をおいて規則的に並べて構成され、こ
の磁性膜上に反射膜が設けられたことを特徴とするもの
である。
ネット単結晶膜からなる１辺１μｍ〜５μｍの四角形も
しくは直径１μｍ〜５μｍの円形の微小面積部分を１μ
ｍ〜５μｍの間隔をおいて規則的に並べて構成され、こ
の磁性膜上に反射膜が設けられたことを特徴とするもの
である。
以下に本発明の構成例を示す第１図を参照して説明す
る。
る。
第１図において、１は基板であり、この基板１として
ガラス、GGG、石英、セラミック等が使用できる。この
ような基板１上には磁性層としてのガーネット単結晶膜
２が図のようにパターン化されて設けられている。ガー
ネット単結晶膜２はGdBiIG、GdBiAlIG、GdTbIG、EuErI
G、YEuGdIG等の希土類鉄ガーネットが用いられ、基板１
上にLPE法、CVD法およびスパッタ法等で作製される。そ
して、その膜厚は0.1〜５μｍ程度の範囲とし、この範
囲内で再生特性を良くするためにできるだけ厚くするこ
とが好ましい。このガーネット単結晶膜２のパターニン
グは湿式エッチング、ドライエッチング等で行い、１辺
１〜５μｍの正方形または直径１〜５μｍの円形をなす
微小面積部分を形成するようにする。この微小面積部分
は１〜５μｍの間隔をおいて規則的に並んでいる。これ
はディスク基板上にスパイラル状に形成してもよい。
ガラス、GGG、石英、セラミック等が使用できる。この
ような基板１上には磁性層としてのガーネット単結晶膜
２が図のようにパターン化されて設けられている。ガー
ネット単結晶膜２はGdBiIG、GdBiAlIG、GdTbIG、EuErI
G、YEuGdIG等の希土類鉄ガーネットが用いられ、基板１
上にLPE法、CVD法およびスパッタ法等で作製される。そ
して、その膜厚は0.1〜５μｍ程度の範囲とし、この範
囲内で再生特性を良くするためにできるだけ厚くするこ
とが好ましい。このガーネット単結晶膜２のパターニン
グは湿式エッチング、ドライエッチング等で行い、１辺
１〜５μｍの正方形または直径１〜５μｍの円形をなす
微小面積部分を形成するようにする。この微小面積部分
は１〜５μｍの間隔をおいて規則的に並んでいる。これ
はディスク基板上にスパイラル状に形成してもよい。
このガーネット単結晶膜２上およびガーネット単結晶
膜２が形成されていない基板１上には反射膜３が形成さ
れている。反射膜３は、Au、Ag、Al、Cu、Cr等の材料が
用いられ、スパッタ法、蒸着法およびイオンプレーティ
ング法等で、膜厚0.1〜0.5μｍ、好ましくは0.2〜0.5μ
ｍとなるよう成膜する。
膜２が形成されていない基板１上には反射膜３が形成さ
れている。反射膜３は、Au、Ag、Al、Cu、Cr等の材料が
用いられ、スパッタ法、蒸着法およびイオンプレーティ
ング法等で、膜厚0.1〜0.5μｍ、好ましくは0.2〜0.5μ
ｍとなるよう成膜する。
なお、エンチング時のマスク用材料としてSiO2を用
い、反射膜とガーネット膜との間にSiO2膜を設けてもよ
い。
い、反射膜とガーネット膜との間にSiO2膜を設けてもよ
い。
以上のように構成される本発明に係る光磁気記録媒体
は、ガーネット単結晶膜２の微小面積部分の１つ１つが
それぞれ１個１個の記憶単位に相当し、上向きの磁化お
よび下向きの磁化のいずれかをもつようになる。そし
て、本発明のガーネット膜は単結晶であるので、微小面
積部分全体が上か下かの磁化をもつ単磁区構造を有する
ようになる。
は、ガーネット単結晶膜２の微小面積部分の１つ１つが
それぞれ１個１個の記憶単位に相当し、上向きの磁化お
よび下向きの磁化のいずれかをもつようになる。そし
て、本発明のガーネット膜は単結晶であるので、微小面
積部分全体が上か下かの磁化をもつ単磁区構造を有する
ようになる。
このような本発明に係る光磁気記録媒体を用いて、記
録再生を行う場合は、基板１側からレーザ光を磁性層と
してのガーネット単結晶膜２の微小面積部分に照射し、
この微小面積部分の温度をキュリー温度付近まで上げ、
その磁化方向を反転して記録し、再生する場合は記録時
のパワーより弱いレーザ光を直線偏光にして微小面積部
分に照射し、反射膜３により反射してもどってくる光の
偏光角を検出することにより行う。
録再生を行う場合は、基板１側からレーザ光を磁性層と
してのガーネット単結晶膜２の微小面積部分に照射し、
この微小面積部分の温度をキュリー温度付近まで上げ、
その磁化方向を反転して記録し、再生する場合は記録時
のパワーより弱いレーザ光を直線偏光にして微小面積部
分に照射し、反射膜３により反射してもどってくる光の
偏光角を検出することにより行う。
実 施 例 GGG基板上にGd1.8Bi1.2Fe5O12のガーネット単結晶膜
をLPE法で約２μｍの厚みにエピタキシャル成長させ
た。この膜の上をAu膜で第１図に示すようなパターンに
マスクしてリン酸に硫酸を加えた溶液（液温約150℃）
中にジャブ漬けして２分間放置し、エッチングした。そ
のあと表面をアルコール洗浄して乾燥させた。そのあと
スパッタ装置を用いてAu膜を膜厚0.2μｍ設けた。
をLPE法で約２μｍの厚みにエピタキシャル成長させ
た。この膜の上をAu膜で第１図に示すようなパターンに
マスクしてリン酸に硫酸を加えた溶液（液温約150℃）
中にジャブ漬けして２分間放置し、エッチングした。そ
のあと表面をアルコール洗浄して乾燥させた。そのあと
スパッタ装置を用いてAu膜を膜厚0.2μｍ設けた。
得られた記録媒体は、そのGd1.8Bi1.2Fe5O12膜のファ
ラデー回転角が1.1deg/μｍ（λ＝780nm）と大きく、キ
ュリー温度は290℃と低く、記録感度が高く、再生特性
が良く、光磁気記録媒体として実用上有用なものである
ことを示した。
ラデー回転角が1.1deg/μｍ（λ＝780nm）と大きく、キ
ュリー温度は290℃と低く、記録感度が高く、再生特性
が良く、光磁気記録媒体として実用上有用なものである
ことを示した。
以上のような本発明によれば、記録感度が高く、再生
特性が良い、安定な光磁気記録媒体が得られるという効
果を有する。
特性が良い、安定な光磁気記録媒体が得られるという効
果を有する。
第１図は本発明に係る光磁気記録媒体の構成例を示す概
略斜視説明図である。 １……基板、２……ガーネット単結晶膜 ３……反射層
略斜視説明図である。 １……基板、２……ガーネット単結晶膜 ３……反射層
Claims (1)
- 【請求項１】基板上に磁性膜を有する光磁気記録媒体に
おいて、該磁性膜が、ガーネット単結晶膜からなる１辺
１μｍ〜５μｍの四角形もしくは直径１μｍ〜５μｍの
円形の微小面積部分を１μｍ〜５μｍの間隔をおいて規
則的に並べて構成され、この磁性膜上に反射膜が設けら
れたことを特徴とする光磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62105486A JP2541550B2 (ja) | 1987-04-28 | 1987-04-28 | 光磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62105486A JP2541550B2 (ja) | 1987-04-28 | 1987-04-28 | 光磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63269353A JPS63269353A (ja) | 1988-11-07 |
| JP2541550B2 true JP2541550B2 (ja) | 1996-10-09 |
Family
ID=14408920
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62105486A Expired - Lifetime JP2541550B2 (ja) | 1987-04-28 | 1987-04-28 | 光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2541550B2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51148407A (en) * | 1975-06-13 | 1976-12-20 | Mitsubishi Electric Corp | Magnetic recording medium |
| JPS5580106A (en) * | 1978-12-11 | 1980-06-17 | Mitsubishi Electric Corp | Operation order change-over circuit |
-
1987
- 1987-04-28 JP JP62105486A patent/JP2541550B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63269353A (ja) | 1988-11-07 |
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