JP2536663B2 - Method for manufacturing electrostrictive effect element - Google Patents
Method for manufacturing electrostrictive effect elementInfo
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、複数枚のセラミックグリーンシートを積層
し一体焼成して得られた焼結体を用いた積層型の電歪効
果素子の製造方法の改良に関する。The present invention relates to a method for manufacturing a laminated electrostrictive effect element using a sintered body obtained by laminating a plurality of ceramic green sheets and firing them integrally. Regarding the improvement of.
上記のような積層型電歪効果素子の一例を第３図に示
す。An example of the laminated electrostrictive effect element as described above is shown in FIG.
電歪効果素子１は、例えばセラミック発振子等に使用
されるものである。電歪効果素子１では、電歪材料よる
焼結体２内に内部電極の形態で励振電極3,4がセラミッ
ク層５を介して重なり合うように配置されている。励振
電極3,4には、引出し電極6,7がそれぞれ接続されてお
り、該引出し電極6,7により焼結体２の側面2a,2bに引出
されている。側面2a,2bには、それぞれ引出し電極6,7と
導電的に接続された外部電極8,9が形成されている。The electrostrictive effect element 1 is used, for example, in a ceramic oscillator or the like. In the electrostrictive effect element 1, the excitation electrodes 3 and 4 are arranged in the form of internal electrodes in the sintered body 2 made of an electrostrictive material so as to overlap with each other via the ceramic layer 5. Extraction electrodes 6 and 7 are connected to the excitation electrodes 3 and 4, respectively, and are extracted to the side surfaces 2a and 2b of the sintered body 2 by the extraction electrodes 6 and 7. External electrodes 8 and 9 that are conductively connected to the extraction electrodes 6 and 7 are formed on the side surfaces 2a and 2b, respectively.
なお、第２図では、励振電極3,4の位置を明確にする
ために、励振電極3,4は引出し電極6,7より肉厚に図示さ
れているが、後述の製造方法から明らかなように、励振
電極3,4は、実際には6,7と等しい厚みを有するように形
成されるのが常である。In FIG. 2, the excitation electrodes 3 and 4 are shown to be thicker than the extraction electrodes 6 and 7 in order to clarify the positions of the excitation electrodes 3 and 4, but it is clear from the manufacturing method described later. In addition, the excitation electrodes 3 and 4 are usually formed to have a thickness equal to 6 and 7, in fact.
電歪効果素子１では、励振電極3,4の外側に、空洞10
a,10bが形成されている。空洞10a,10bは、励振電極3,4
が形成されている部分の振動を妨げないようにするため
に設けられている。In the electrostrictive effect element 1, the cavity 10 is provided outside the excitation electrodes 3 and 4.
a and 10b are formed. The cavities 10a, 10b are the excitation electrodes 3, 4
It is provided so as not to disturb the vibration of the part where the is formed.
上記電歪効果素子１は、第１図に示すセラミックグリ
ーンシートを用いて製造されていた。すなわち、電歪材
料粉末に、有機溶媒に溶解または分散されたバインダを
混合してなる有機系セラミックグリーンシートを打ち抜
き、矩形形状の複数枚のセラミックグリーンシート11〜
15を用意する。セラミックグリーンシート12,14には、
それぞれ、円形の開口12a,14aが形成されている。この
開口12a,14aは、前述した空洞10a,10bを形成するために
設けられているものである。セラミックグリーンシート
13の両主面には、励振電極3,4及び引出し電極6,7を形成
するために、導電ペースト3,4,6,7が塗布されている
（導電ペーストの参照番号については後述の焼成工程に
より焼付けられて形成される励振電極及び引出し電極に
用いたのと同一参照番号を付与することとする）。The electrostrictive effect element 1 was manufactured using the ceramic green sheet shown in FIG. That is, the electrostrictive material powder, punched out an organic ceramic green sheet obtained by mixing a binder dissolved or dispersed in an organic solvent, a plurality of rectangular ceramic green sheets 11 ~
Prepare 15. Ceramic green sheets 12 and 14 have
Circular openings 12a and 14a are formed respectively. The openings 12a and 14a are provided to form the above-mentioned cavities 10a and 10b. Ceramic green sheet
Conductive pastes 3, 4, 6 and 7 are applied to both main surfaces of 13 in order to form the excitation electrodes 3 and 4 and the extraction electrodes 6 and 7 (reference is given to the conductive paste for firing described later). The same reference numerals as those used for the excitation electrode and the extraction electrode formed by baking in the process will be given).
次に、第１図のセラミックグリーンシート11〜15を積
層し、一体焼成することにより第３図の焼結体２を得
る。しかる後、焼結体２の側面2a,2bに公知の外部電極
形成方法により外部電極8,9を形成する。Next, the ceramic green sheets 11 to 15 of FIG. 1 are laminated and integrally fired to obtain the sintered body 2 of FIG. Thereafter, the external electrodes 8 and 9 are formed on the side surfaces 2a and 2b of the sintered body 2 by a known external electrode forming method.
しかしながら、上記した従来の製造方法では、積層体
の圧着後の焼成に際し、第１図に示したセラミックグリ
ーンシート11が自重により開口12a内に陥没しがちであ
った。その結果、得られた焼結体では、励振電極３に上
方のセラミックグリーンシート11が接触した状態で焼結
されることがあった。従って、圧電特性が劣化しがちで
あり、設計通りの特性を確実に得ることが困難であっ
た。However, in the above-described conventional manufacturing method, the ceramic green sheet 11 shown in FIG. 1 tends to be depressed into the opening 12a due to its own weight when firing the laminated body after pressure bonding. As a result, the obtained sintered body was sometimes sintered in a state where the upper ceramic green sheet 11 was in contact with the excitation electrode 3. Therefore, the piezoelectric characteristics tend to deteriorate, and it is difficult to reliably obtain the characteristics as designed.
また、上記の問題を解消するために、励振電極3,4上
に、セラミックスの焼成時の温度で消失するカーボンペ
ーストのような可燃性材料ペーストを塗布した後、圧着
・焼成を行う方法も考えられた。しかしながら、このよ
うな可燃性材料ペーストを用いても、大きな効果は得ら
れなかった。Further, in order to solve the above problems, a method of applying a combustible material paste such as a carbon paste that disappears at the temperature during firing of ceramics to the excitation electrodes 3 and 4 and then performing pressure bonding and firing is also considered. Was given. However, even if such a flammable material paste was used, a great effect was not obtained.
これは、有機溶媒をバインダ溶解用または分散用媒体
として用いたセラミックグリーンシートでは、焼成途中
のおいて該セラミックグリーンシート11が自己の重みに
耐え得るだけの強度を消失するからであると考えられ
る。This is considered to be because, in a ceramic green sheet using an organic solvent as a medium for dissolving or dispersing a binder, the ceramic green sheet 11 loses strength enough to withstand its own weight during firing. .
よって、本発明の目的は、励振電極上に振動を妨げな
い空洞を設けた構造を有する積層型の電歪効果素子の製
造方法であって、空洞を閉成するセラミックス部分と励
振電極との接触を確実に防止することができ、従って設
計通りの圧電特性を得ることが可能な電歪効果素子の製
造方法を提供することにある。Therefore, an object of the present invention is a method of manufacturing a laminated electrostrictive effect element having a structure in which a cavity that does not hinder vibration is provided on an excitation electrode, in which a ceramic portion that closes the cavity and an excitation electrode are contacted with each other. Therefore, it is an object of the present invention to provide a method for manufacturing an electrostrictive effect element capable of reliably preventing the above-mentioned phenomenon and thus obtaining the piezoelectric characteristics as designed.
本発明の電歪効果素子の製造方法は、電歪材料よりな
るセラミック焼結体と、該焼結体内においてセラミック
ス層を介して重なり合うように配置された励振電極と、
該励振電極に電気的に接続されており、かつ該励振電極
を焼結体側面に引出すための引出し電極と、該焼結体側
面に形成されており、かつ前記引出し電極と電気的に接
続された外部電極とを備え、焼結体の厚み方向において
少なくとも１枚の前記励振電極の外側に励振電極部分の
振動を妨げないための空洞が形成されている構造を有す
る電歪効果素子の製造方法であって、下記の一連の工程
を少なくとも備えることを特徴とする。A method for manufacturing an electrostrictive effect element according to the present invention, a ceramic sintered body made of an electrostrictive material, and an excitation electrode arranged so as to overlap with each other via a ceramic layer in the sintered body,
An extraction electrode electrically connected to the excitation electrode, for extracting the excitation electrode to the side surface of the sintered body, and an extraction electrode formed on the side surface of the sintered body and electrically connected to the extraction electrode. And an external electrode, and a method for manufacturing an electrostrictive effect element having a structure in which a cavity is formed outside at least one of the excitation electrodes in the thickness direction of the sintered body for preventing vibration of the excitation electrode portion. And, it is characterized by including at least the following series of steps.
すなわち、両主面に、励振電極及び引出し電極を形成
するための導電ペーストが塗布された第１のセラミック
グリーンシートを用意する。他方、励振電極よりも広い
面積の開口を有する第２のセラミックグリーンシートを
用意する。そして、第１のセラミックグリーンシートの
開口内に前記励振電極用導電ペーストを臨ませるよう
に、第１のセラミックグリーンシートの少なくとも一方
主面に第２のセラミックグリーンシートが積層されてお
り、第２のセラミックグリーンシートの第１のセラミッ
クグリーンシートが積層されている側と反対側に、水分
散液系セラミックグリーンシートが積層されて上記開口
が閉成されている構造を備える積層体を得る。That is, a first ceramic green sheet having conductive paste for forming the excitation electrode and the extraction electrode on both main surfaces is prepared. On the other hand, a second ceramic green sheet having an opening having a larger area than the excitation electrode is prepared. Then, a second ceramic green sheet is laminated on at least one main surface of the first ceramic green sheet so that the conductive paste for excitation electrodes is exposed in the opening of the first ceramic green sheet, and the second ceramic green sheet is laminated. A laminated body having a structure in which an aqueous dispersion ceramic green sheet is laminated on the opposite side of the ceramic green sheet from which the first ceramic green sheet is laminated to close the opening.
次に、得られた積層体の厚み方向に圧力を付加し、セ
ラミックグリーンシート同士を圧着し、焼成することに
より焼結体を得る。Next, pressure is applied in the thickness direction of the obtained laminated body, the ceramic green sheets are pressure-bonded to each other, and fired to obtain a sintered body.
次に、引出し電極用導電ペーストが引出されている焼
結体側面に外部電極を付与する。Next, an external electrode is provided on the side surface of the sintered body from which the conductive paste for the extraction electrode is extracted.
なお、上記水分散液系セラミックグリーンシートと
は、セラミックグリーンシートを製造するに際し、有機
溶媒ではなく水を分散媒としてバインダを分散させた分
散液を用いて製造されたものを意味する。The aqueous dispersion-based ceramic green sheet means a ceramic green sheet manufactured by using a dispersion liquid in which a binder is dispersed using water as a dispersion medium instead of an organic solvent when the ceramic green sheet is manufactured.
本発明では、開口を閉成するのに用いられるセラミッ
クグリーンシートとして、上記した水分散液系セラミッ
クグリーンシートが用いられる。In the present invention, the above-mentioned water dispersion ceramic green sheet is used as the ceramic green sheet used to close the opening.
これは、有機系セラミックグリーンシートと水分散液
系セラミックグリーンシートとに熱可塑性のちがいがあ
るためで、焼成時に有機系セラミックグリーンシートが
さらに柔らかくなるのに対して、水分散液系セラミック
グリーンシートはさほど柔らかくならず、十分な保形性
を有する。This is because the organic ceramic green sheet and the aqueous dispersion ceramic green sheet have different thermoplasticity, and the organic ceramic green sheet becomes even softer during firing, whereas the aqueous dispersion ceramic green sheet becomes softer. It does not become so soft and has sufficient shape retention.
よって、開口内へのセラミックグリーンシートの撓み
込みがほとんど生じないため、得られた焼結体中の空洞
形成部分において、励振電極にセラミックスが付着する
ことを効果的に防止することができる。Therefore, since the ceramic green sheet hardly bends into the opening, it is possible to effectively prevent ceramics from adhering to the excitation electrode in the cavity forming portion in the obtained sintered body.
以下、本発明の非限定的な実施例につき、図面を参照
しつつ説明する。Hereinafter, non-limiting examples of the present invention will be described with reference to the drawings.
まず、第１図に示すセラミックグリーンシート11〜15
を用意する。セラミックグリーンシート11〜15の形状自
体については、前述した従来と同様であるため、同一の
参照番号を付して説明することとする。First, the ceramic green sheets 11 to 15 shown in FIG.
To prepare. Since the shapes of the ceramic green sheets 11 to 15 are the same as the conventional ones described above, the same reference numerals are given and described.
本実施例では、バインダ製造工程において水を分散媒
として用いた水分散液系セラミックグリーンシートで、
第１のセラミックグリーンシート13を作製する。このセ
ラミックグリーンシート13の上面及び下面には、それぞ
れ、Ag−pdのような導電性材料を主体とする導電ペース
ト3,4,6,7が印刷されている。導電ペースト3,4は、後述
の励振電極3,4を、導電ペースト6,7は後述の引出し電極
6,7を形成するために印刷されている。In this embodiment, an aqueous dispersion ceramic green sheet using water as a dispersion medium in the binder manufacturing process,
First ceramic green sheet 13 is prepared. Conductive pastes 3, 4, 6, and 7 mainly composed of a conductive material such as Ag-pd are printed on the upper surface and the lower surface of the ceramic green sheet 13, respectively. The conductive pastes 3 and 4 are excitation electrodes 3 and 4 described below, and the conductive pastes 6 and 7 are extraction electrodes described below.
Printed to form 6,7.
また、第２のセラミックグリーンシート12,14とし
て、従来と同様にバインダを有機溶媒で溶解または分散
してなる有機系セラミックグリーンシートを用意する。
有機溶媒としては、トルエン等の適宜の溶媒が用いられ
る。セラミックグリーンシート12,14には、それぞれ、
空洞を形成するための開口12a,14aが形成されている。Further, as the second ceramic green sheets 12 and 14, an organic ceramic green sheet prepared by dissolving or dispersing a binder in an organic solvent is prepared as in the conventional case.
An appropriate solvent such as toluene is used as the organic solvent. Ceramic green sheets 12 and 14 have
Openings 12a and 14a for forming cavities are formed.
さらに、セラミックグリーンシート11,15は、セラミ
ックグリーンシート13と同様に、水分散液系セラミック
グリーンシートで構成されている。Further, the ceramic green sheets 11 and 15 are made of an aqueous dispersion ceramic green sheet, like the ceramic green sheet 13.
上記セラミックグリーンシート11〜15を第１図の向き
のまま積層し、厚み方向に圧力を付加することにより、
積層体を得る。得られた積層体を第２図に示す。By stacking the ceramic green sheets 11 to 15 in the orientation shown in FIG. 1 and applying pressure in the thickness direction,
Obtain a laminate. The obtained laminated body is shown in FIG.
第２図から明らかなように、積層体20では、上記開口
12a,14aに基づく空洞10a,10bが、励振電極3,4が臨むよ
うに形成されている。As is clear from FIG. 2, in the laminated body 20, the opening
Cavities 10a and 10b based on 12a and 14a are formed so that the excitation electrodes 3 and 4 face.
次に、積層体20を焼成し、導電ペースト3,4,6,7及び
セラミックグリーンシート11〜15を一体焼成することに
より、第３図に示した焼結体２と同様の構造を有する焼
結体が得られる。そして、公知の外部電極形成方法によ
り外部電極8,9を焼結体２の両側面に形成することによ
り、電歪効果素子１を得ることができる。Next, the laminated body 20 is fired, and the conductive pastes 3, 4, 6, 7 and the ceramic green sheets 11 to 15 are integrally fired to obtain a fired body having a structure similar to that of the sintered body 2 shown in FIG. A union is obtained. Then, the electrostrictive effect element 1 can be obtained by forming the external electrodes 8 and 9 on both side surfaces of the sintered body 2 by a known external electrode forming method.
本実施例では、第２図の積層体の状態において、空洞
10a,10bが水分散液系セラミックグリーンシート11,15で
閉成されている。従って、焼成に際し昇温したとして
も、水分散液系セラミックグリーンシートが、有機系セ
ラミックグリーンシートに比べて柔らかくならないた
め、第２図の形状を保ったまま焼成が進行する。よっ
て、空洞10a内に上方のセラミックグリーンシート11が
垂れ込むおそれがないため、第３図に示した設計通りの
形状の空洞10a,10bを形成し得る。すなわち、焼成後に
励振電極３に上方のセラミックス部分が付着するという
事故を確実に防止することができる。In this embodiment, in the state of the laminated body of FIG.
10a and 10b are closed by water dispersion type ceramic green sheets 11 and 15. Therefore, even if the temperature is raised during firing, the aqueous dispersion ceramic green sheet does not become softer than the organic ceramic green sheet, and firing proceeds while maintaining the shape of FIG. Therefore, since there is no possibility that the upper ceramic green sheet 11 hangs in the cavity 10a, the cavities 10a and 10b having the shape as designed as shown in FIG. 3 can be formed. That is, it is possible to reliably prevent an accident that the upper ceramic portion adheres to the excitation electrode 3 after firing.
なお、上記実施例では、バインダを有機溶媒に溶解ま
たは分散した状態で混合してなる有機系セラミックグリ
ーンシートで第２のセラミックグリーンシート12,14が
構成されている。よって、第２のセラミックグリーンシ
ート12,14に、第１のセラミックグリーンシート13及び
水分散液系セラミックグリーンシート11,15が確実に接
着されるため、緻密な焼結体を得ることができる。In the above embodiment, the second ceramic green sheets 12 and 14 are composed of organic ceramic green sheets obtained by mixing the binder in a state of being dissolved or dispersed in the organic solvent. Therefore, the first ceramic green sheet 13 and the water dispersion liquid-based ceramic green sheets 11 and 15 are reliably bonded to the second ceramic green sheets 12 and 14, so that a dense sintered body can be obtained.
もっとも、水分散液系セラミックグリーンシート同士
を確実に密着させ得ることが可能であれば、第２のセラ
ミックグリーンシート12,14についても水分散液系セラ
ミックグリーンシートにより構成してもよい。However, the second ceramic green sheets 12 and 14 may also be configured by the water-dispersion ceramic green sheets as long as it is possible to reliably bring the water-dispersion ceramic green sheets into close contact with each other.
また、上記実施例では、励振電極3,4の各外側に空洞1
0a,10bを形成するために、第１のセラミックグリーンシ
ート13の両面に第２のセラミックグリーンシート12,14
を積層した。しかしながら、本発明は、一方の励振電極
の外側にのみ空洞を設けた電歪効果素子の製造にも適用
することができる。その場合には、第１のセラミックグ
リーンシートの一方主面側にのみ第２のセラミックグリ
ーンシートが積層され、第１のセラミックグリーンシー
トの他方面側に開口を有しないセラミックグリーンシー
トが積層された積層体を用いることになる。Further, in the above-mentioned embodiment, the cavity 1 is provided on the outer side of each of the excitation electrodes 3 and 4.
The second ceramic green sheets 12, 14 are formed on both sides of the first ceramic green sheet 13 to form 0a, 10b.
Were laminated. However, the present invention can also be applied to the manufacture of an electrostrictive effect element in which a cavity is provided only outside one of the excitation electrodes. In that case, the second ceramic green sheet is laminated only on one main surface side of the first ceramic green sheet, and the ceramic green sheet having no opening is laminated on the other surface side of the first ceramic green sheet. A laminated body will be used.
以上のように、本発明では、空洞を形成するための開
口を閉成するセラミックグリーンシートとして、水分散
液系セラミックグリーンシートを用いるため、焼成工程
において、励振電極側への上方のセラミックグリーンシ
ートの垂れ下がりを効果的に防止することができ、従っ
て励振電極と上方のセラミック部分との付着を確実に防
止することができる。よって、所望通りの電歪特性を有
する電歪効果素子を確実に量産することが可能となる。As described above, according to the present invention, since the water dispersion liquid ceramic green sheet is used as the ceramic green sheet that closes the opening for forming the cavity, the ceramic green sheet above the excitation electrode side in the firing step. It is possible to effectively prevent the drooping of the electrode, and thus it is possible to reliably prevent the excitation electrode and the ceramic portion above from adhering to each other. Therefore, it becomes possible to reliably mass-produce the electrostrictive effect element having a desired electrostrictive characteristic.
第１図は積層されるセラミックグリーンシート及びその
上に形成される導電ペーストの印刷形状を説明するため
の分解斜視図、第２図は本発明の一実施例の製造方法に
用いられる積層体を示す断面図、第３図は本発明が適用
される電歪効果素子の断面図である。 図において、１は電歪効果素子、２は焼結体、3,4は励
振電極、５はセラミック層、6,7は引出し電極、8,9は外
部電極、10a,10bは空洞、11,15は水分散液系セラミック
グリーンシート、12,14は第２のセラミックグリーンシ
ート、13は第１のセラミックグリーンシートを示す。FIG. 1 is an exploded perspective view for explaining a printed shape of a laminated ceramic green sheet and a conductive paste formed thereon, and FIG. 2 shows a laminated body used in a manufacturing method according to an embodiment of the present invention. FIG. 3 is a sectional view showing an electrostrictive effect element to which the present invention is applied. In the figure, 1 is an electrostrictive effect element, 2 is a sintered body, 3 and 4 are excitation electrodes, 5 is a ceramic layer, 6 and 7 are extraction electrodes, 8 and 9 are external electrodes, 10a and 10b are cavities, 11 and Reference numeral 15 is an aqueous dispersion type ceramic green sheet, 12 and 14 are second ceramic green sheets, and 13 is a first ceramic green sheet.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 田村 博 京都府長岡京市天神２丁目26番10号 株 式会社村田製作所内 (56)参考文献 特開 平１−158810（ＪＰ，Ａ) ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Hiroshi Tamura 2-26-10 Tenjin, Nagaokakyo City, Kyoto Prefecture Murata Manufacturing Co., Ltd. (56) References JP-A-1-158810 (JP, A)
Claims (1)
焼結体内にセラミック層を介して重なり合うように配置
された励振電極と、該励振電極を焼結体側面に引き出す
ための引出し電極と、前記焼結体の側面に形成されてお
り、かつ前記引出し電極と電気的に接続された外部電極
とを備え、焼結体の厚み方向において少なくとも１枚の
前記励振電極の外側に、前記励振電極の振動を妨げない
ための空洞が形成されている電歪効果素子の製造方法で
あって、 両主面に励振電極及び引出し電極形成用導電ペーストが
塗布された第１のセラミックグリーンシートを用意する
工程と、 前記励振電極より広い面積の開口を有する第２のセラミ
ックグリーンシートを用意する工程と、 前記開口内に前記励振電極用導電ペーストを臨ませるよ
うに、第１のセラミックグリーンシートの少なくとも一
方主面に第２のセラミックグリーンシートが積層されて
おり、かつ第２のセラミックグリーンシートの第１のセ
ラミックグリーンシートの積層されている側と反対側
に、水分散液系セラミックグリーンシートを積層して前
記開口が閉成されている積層体を得る工程と、 前記積層体の厚み方向に圧力を付加し、積層されている
セラミックグリーンシート同士を圧着し、しかる後焼成
する工程と、 前記引出し電極用導電ペーストの引出されている焼結体
側面に外部電極を付与する工程とを備えることを特徴と
する電歪効果素子の製造方法。1. A ceramic sintered body made of an electrostrictive material, an excitation electrode arranged in the sintered body so as to overlap with each other with a ceramic layer interposed therebetween, and an extraction electrode for extracting the excitation electrode to a side surface of the sintered body. And an external electrode formed on a side surface of the sintered body and electrically connected to the extraction electrode, the external electrode being at least one of the excitation electrodes in the thickness direction of the sintered body. A method for manufacturing an electrostrictive effect element in which a cavity for preventing vibration of an excitation electrode is formed, comprising: a first ceramic green sheet having an excitation electrode and a conductive paste for forming an extraction electrode applied to both main surfaces thereof. A step of preparing, a step of preparing a second ceramic green sheet having an opening having a larger area than the excitation electrode, and a first step of exposing the conductive paste for the excitation electrode in the opening. A second ceramic green sheet is laminated on at least one main surface of the lamic green sheet, and an aqueous dispersion system is provided on the opposite side of the second ceramic green sheet from the laminated first ceramic green sheet. A step of laminating ceramic green sheets to obtain a laminated body in which the openings are closed; a pressure is applied in the thickness direction of the laminated body, the laminated ceramic green sheets are pressure-bonded to each other, and then fired. A method of manufacturing an electrostrictive effect element, comprising: a step; and a step of applying an external electrode to a side surface of the sintered body from which the conductive paste for extraction electrode is drawn out.
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| JPH0417376A JPH0417376A (en) | 1992-01-22 |
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